CN105700490B

CN105700490B - 一种提高产品良率的方法及系统

Info

Publication number: CN105700490B
Application number: CN201410713121.0A
Authority: CN
Inventors: 郭腾冲; 徐梅
Original assignee: Semiconductor Manufacturing International Shanghai Corp; Semiconductor Manufacturing International Tianjin Corp
Current assignee: Semiconductor Manufacturing International Shanghai Corp; Semiconductor Manufacturing International Tianjin Corp
Priority date: 2014-11-28
Filing date: 2014-11-28
Publication date: 2018-09-07
Anticipated expiration: 2034-11-28
Also published as: CN105700490A

Abstract

本发明提供了一种提高产品良率的方法及系统，利用ESB总线实现机台恢复系统、数据库(存储有影响产品良率的案件)以及良率分析系统数据的集成，并将数据通过一数据转换系统传达至MES系统，进而准确的知道每个案件对良率的最终影响，为提升良率提供了依据；同时可对连续出现的潜在影响产品良率的案件进行重点追踪和控制，进而更加有效的提升产品良率及生产效率。

Description

一种提高产品良率的方法及系统

技术领域

本发明涉及半导体制造领域，确切的说，涉及一种提高产品良率的方法及系统。

背景技术

集成电路制造生产过程中会出现各种各样的情况而导致晶圆有可能出现缺陷，而能够自动的获取这些信息并且及时地进行分析处理，从而提高芯片在最后出货时的良率一直是本领域技术人员所致力追求的目标。

在集成电路制造过程中，当遇到机台报警或者停机，就需要通过机台恢复系统(RRC)采取人工干预的方式，对没有完全完成生产的lot进行特殊处理。但是这种特殊处理往往会对产品的良率产生很大影响，是一种潜在影响产品良率的案件。因此工程师需要记录晶圆当时的具体信息并根据不同的情况来决策是否需要到相关部门做检测，并根据检测结果来对生产进行相应调整。但是由于人工记录的局限性，不可避免会导致漏记、错记的情况产生，从而导致将不合格的产品出到了客户那边，最终产生重大经济损失。同时，错误的潜在影响产品良率的案件信息也会影响到产品质量的调优，以及后续技术分析。

目前，在对机台进行恢复处理后，主要存在以下问题：

1、由于机台的报警和停机在生产线中是时常可以遇到的情形，而同时机台恢复系统遇到的案件多，且情形复杂，如果通过工程师手工处理的方式，常常会产生错记和漏记的情况，从而导致潜在影响良率案件库的信息不准确。

2、对于在一定时间内多次出现影响良率的问题，无法逐步提高控制等级。重点追踪在制造生产的某一段时间内，如果在某个部门的某个机台因为相同的原因而出现多个有可能影响产品良率的问题，无法进行重点归类统计并分析。

3、对有可能产生影响出货良率的情况无法通过IT中MES系统进行自动控制。在集成电路制造过程中，自动化往往是通过IT中制造执行系统(Manufacturing ExecutionSystem，简称MES系统)为机台自动化系统(Equipment automation program，简称EAP系统)提供运行参数，并通过EAP系统来操作相应的机台来实现的。然而在发现有可能会出现低良率的晶圆批次的时候，没有一个地方可以控制这批晶圆在出货之前必须暂停并且到相关部门进行良率检测，以至于最后出货时晶圆良率较低，从而产生不良影响。因此，MES系统以及EAP系统必须获得相关的信息来控制晶圆的生产流程。

4、与芯片代工企业的良率分析系统没有交互，无法准确地知道对良率的最终影响。每一个芯片代工企业都会有一个统一的良率分析系统，每一批晶圆都会在良率分析系统有对应的纪录。在分析低良率的产品批次的时候，目前没有一个集成的系统去察看是生产过程中出现的什么问题而导致这批晶圆良率低下，无法知道出现问题当时的具体数据。因此，无法准确地知道对良率的最终影响。

发明内容

本专利可以自动获取来自机台恢复系统的对潜在可能影响良率的案件，并将多次出现且属性信息相同的案件筛选出来得到一案件草稿，通过及时处理这些案件，可以提高生产线上的产品质量，并提高产品良率。

一种提高产品良率的方法，应用于MES系统中的若干机台上，其中，所述方法包括：

当所述机台存在异常时，通过一机台恢复系统对所述机台进行恢复处理，且该机台恢复系统将异常信息中潜在影响产品良率因素的信息传递至一数据库；

对存储在所述数据库中的所有潜在影响产品良率因素的信息进行确认后，对数据库中所有的潜在影响产品良率因素的信息进行筛选，生成影响产品良率案件并将该影响产品良率案件发送至所述MES系统；

所述MES系统根据所述影响产品良率案件对所述机台进行调整。

上述的方法，其中，所述方法还包括：

通过在所述MES系统设置lot暂停站点，并于所述暂停站点处利用良率分析系统对在所述机台上进行工艺的lot进行良率分析。

上述的方法，其中，所述MES系统设置有一调控模块，根据工艺需求来通过所述调控模块在所述MES系统中设置lot需要暂停的站点。

上述的方法，其中，所述机台恢复系统、案件库、良率分析系统均与ESB总线连接。

上述的方法，其中，所述机台恢复系统、案件库、良率分析系统均通过网络服务线路与所述ESB(Enterprise Service Bus，企业服务总线)总线对接。

上述的方法，其中，所述ESB总线通过一数据转换系统与所述MES进行连接。

上述的方法，其中，所述良率分析系统获取WAT(WordAssociate Test。晶圆可接受测试)测试数据和/或CP(Chip Test)测试数据并通过所述ESB总线传达至所述MES系统。

上述的方法，其中，所述确认后的潜在影响产品良率因素的信息均包含以下属性信息：所处的生产工艺、及该生产工艺所对应的站点、进行该生产工艺设备的ID、进行该生产工艺产品的ID和造成该异常的原因信息。

上述的方法，其中，对确认后的潜在影响产品良率因素的信息进行筛选的步骤如下：

根据工艺需求预设一筛选时间段；

在所述筛选时间段，若多个影响产品良率因素的信息所包含的各项属性信息均完全相同时，则在所述多个影响产品良率因素的信息中选取部分影响产品良率因素的信息作为所述影响产品良率案件。

一种提高产品良率的系统，包括若干机台，其中，包括：

机台恢复模块，用于对机台进行恢复处理；

数据存储模块，用于获取机台在进行恢复处理后所产生的每个潜在影响产品良率因素的信息，并进行存储；

制造执行模块；

其中，所述数据存储模块包含有一处理模块，所述处理模块对存储在所述数据存储模块中所有影响产品良率因素的信息进行确认后并进行筛选，生成影响产品良率案件并发送至所述制造执行模块，所述制造执行模块根据所述影响产品良率案件对所述机台进行调整。

上述的系统，其中，所述机台恢复模块、数据存储模块、良率分析模块均与ESB总线连接。

上述的系统，其中，所述ESB总线通过一数据转换模块与所述制造执行模块进行连接。

上述的系统，其中，所述机台恢复模块、数据存储模块、良率分析模块均通过网络服务线路与所述ESB总线对接。

上述的系统，其中，所述良率分析模块获取WAT测试数据和/或CP测试数据并通过所述ESB总线传达至所述制造执行模块。

上述的系统，其中，所述确认后的潜在影响产品良率因素的信息均包含以下属性信息：所处的生产工艺、及该生产工艺所对应的站点、进行该生产工艺设备的ID、进行该生产工艺产品的ID和造成该异常的原因信息。

上述的系统，其中，对确认后的潜在影响产品良率因素的信息进行筛选的步骤如下：

根据工艺需求预设一筛选时间段；

上述的系统，其中，所述制造执行模块还设置有一调控单元，根据工艺需求来通过所述调控单元在所述制造执行模块中设置lot需要暂停的站点。

上述的方法，其中，所述系统还包括一机台自动化模块，所述机台自动化模块用于执行所述制造执行模块对机台进行的操作。

本发明具有如下优点：

1、通过系统集成方案，实现了机台恢复系统与存储的潜在影响产品良率因素的有效集成，保证了案件库能够及时准确的获取潜在影响产品良率的案件，从而提高了产品质量；

2、利用统计分析的方法，自动产生对连续出现的潜在影响产品良率的案件的追踪和控制；

3、通过系统集成方案，实现了与制造执行系统(MES)的集成，直接根据对潜在影响产品良率的信息的分析结果控制产品生产过程，从而有效的保证产品的质量；

4、与良率分析系统集成，准确的知道每个案件对良率的最终影响，为提升良率提供了依据。

附图说明

通过阅读参照以下附图对非限制性实施例所作的详细描述，本发明及其特征、外形和优点将会变得更明显。在全部附图中相同的标记指示相同的部分。并未刻意按照比例绘制附图，重点在于示出本发明的主旨。

图1为本发明一种提高产品良率的系统的示意图。

具体实施方式

下面结合附图对本发明的具体实施方式作进一步的说明：

本发明提供了一种通过数据集成实现良率分析的方法，通过ESB总线可自动获取来自机台恢复系统的潜在可能影响良率因素的信息，并自动生成相应案件的草稿，并根据案件草稿来提出相应的处置方案，最后在MES系统中对生产进行相应调整，并通过EAP系统控制机台进行自动化生产，进而提高产品良率。

具体的为：

一种提高产品良率的方法，应用于MES系统中的若干机台上，包括如下步骤：

步骤S1：当机台存在异常时，通过一机台恢复系统对所述机台进行恢复处理，在进行生产时，若部分机台(或机台组)由于某种异常原因而导致报警或者停机时，此时需要对出现异常的机台进行恢复处理，以避免产品在有异常的机台上继续运行，从而造成更大的损失。在本发明中可采用一机台恢复系统(RRC)来对异常的机台进行恢复处理。但是机台的恢复处理往往会对产品的良率产生很大的影响，造成经过恢复处理后的机台的产品良率下降，如果没有及时发现问题所在且做出相应调整的话，可能会进一步加剧产品良率下降的现象，并将不符合要求的产品送至客户，进而给生产造成损失。因此需要对机台恢复系统进行恢复处理时所可能影响产品良率的因素的信息进行记录。在本发明中，利用机台恢复系统进行恢复操作后，机台恢复系统通过网络服务线路通过ESB总线将异常信息中潜在影响产品良率因素的信息传递至一数据库并进行储存。在本发明中，数据库、机台恢复系统均通过网络服务线路(Web service)与ESB总线对接，从而实现数据的互联互通。其中，潜在影响产品良率因素的信息均包含以下属性信息：所处的生产工艺(Module)、及该生产工艺所对应的站点(Stage)、进行该生产工艺设备的ID(EQ-ID)、进行该生产工艺产品的ID(Product-ID)和造成该异常的原因信息(Reason code)。

步骤S2：对存储在数据库中的所有潜在影响产品良率因素的信息进行确认后进行筛选，生成影响产品良率案件。筛选的规则为：在一定时间段内，若存在多个属性信息完全相同的潜在影响产品良率因素的信息，则会在这些属性信息完全相同的潜在影响产品良率因素的信息中筛选出部分影响产品良率因素的信息生成影响产品良率案件。根据影响产品良率案件可更加清楚的了解由于机台恢复处理所可能造成影响产品良率的相关因素。在一个实施例中，筛选的具体步骤如下：

首先根据工艺需求预设一筛选时间段，例如近三个月，然后对数据库中近三个月内中储存的所有潜在影响产品良率因素的信息进行筛选，当满足相同条件时，即潜在影响产品良率因素的信息包含的各项属性信息完全相同时，即所处的生产工艺、及该生产工艺所对应的站点、进行该生产工艺设备的ID、进行该生产工艺产品的ID和造成该异常的原因信息全部相同时，在包含有上述各项相同属性信息的潜在影响产品良率因素的信息中筛选出部分以作为影响产品良率案件，这些案件可较为真实的反映在进行机台恢复处理后对产品良率所造成的影响。例如，在三个月内，如果上述属性信息完全相同，且该类型的潜在影响产品良率因素的信息出现次数达到5*N件时，例如相同类型案件如果出现有20次，则选取第5次、第10次、第15次、第20次出现的潜在影响产品良率因素的信息作为影响产品良率案件，如果潜在影响产品良率因素的信息出现的次数越多，则生成的影响产品良率案件也会越多，从而更好的为提高良率服务。本发明利用统计分析的方法，通过对潜在影响产品良率的案件库进行筛选进而得到一案件草稿，对连续出现的潜在影响良率案件进行重点追踪和控制，进而在MES系统中有针对性的做出相应调整，提高产品良率。

步骤S3：数据库再通过ESB总线将生成的影响产品良率案件传达至MES系统，并通过MES系统来根据影响产品良率案件对进行过恢复处理的机台进行微调，从而减少机台由于进行恢复处理从而对产品良率所造成的影响。其中，数据库通过网络服务线路将影响产品良率案件通过ESB进行传输时，还需要通过一数据转换系统，通过ESB总线与数据转换系统的连接，使得影响产品良率案件通过ESB总线和数据转换系统进而最终转达至MES系统中。其中，ESB总线和数据转换系统之间的连接以及数据转换系统和MES系统是通过两种不同的数据传输方式进行的，在本发明中，数据转换系统与ESB之间是通过网络服务线路进行连接，而数据转换系统与MES系统则通过信息总线(Message Bus)进行连接。

同时，在本发明中，还包括一良率分析系统，该良率分析系统同样通过网络服务线路(Web service)与ESB总线进行连接。良率分析系统可用来获取WAT测试数据和/或CP测试数据，并通过ESB总线和数据转换系统将良率分析系统的数据传达至MES系统，根据良率分析系统的测试数据并结合影响产品良率案件的数据，可更好的在MES系统中做出对机台相关的调整，提升产品良率；同时还可结合影响产品良率案件以及相应的测试数据来进行产品良率分析，从而更加准确了解案件对良率的影响程度，进而更加有利于正确的对生产进行调整：1.对预料之内的案件，即不会产生良率问题的案件，可以直接放过；2.对于怀疑会产生良率问题的案件，可以选择等待WAT测试结果，等待CP伪测结果或者等待CP正常测试结果，通过良率分析系统的测试数据并结合筛选得出的影响产品良率案件，然后在MES系统中进行相应设置来对生产进行调整，最后可通过EAP系统来控制机台执行相应操作，提高产品良率。进一步的，在MES系统中，还包括一调控模块，根据工艺需求来通过调控模块在MES系统中设置lot(批次的产品)需要暂停的站点，进而在lot进行检查或者其他操作。在芯片生产过程中设置有许多站点，对于某些站点lot可以直接跳过，而对于经过某些站点的lot需要进行特殊操作或进行测试，因此lot在经过某些站点时，需要进行暂停并接受相应操作。例如WAT站点由于肩负晶圆测试的任务，其比较特殊，重要程度较高，lot在经过WAT站点时，需要在WAT站点暂停并接受测试，因此需要在调控模块中设置WAT站点的Number(编号)，在lot经过相应的站点时，则会停下接受相应操作；而对于没有设置的站点，lot则会直接跳过。通过对这些数据及时的分析处理，可以准确的知道案件对良率的影响程度，从而控制了案件的影响面，保证了制程的稳定。

本发明通过利用ESB总线及数据转换系统，实现了机台恢复系统、案件分析系统、良率分析系统与制造执行系统(MES)的集成，实现了消息的互连互通，为提高产品良率提供了有效依据。

同时本发明提供了一种提高产品良率的系统，包括若干机台，具体的包括：机台恢复模块、数据存储模块、良率分析模块和制造执行模块，机台恢复模块、数据存储模块、良率分析模块均通过网络服务总线(Web service)与ESB总线进行连接，ESB总线通过一数据转换模块实现将与制造执行模块进行连接，且数据转换模块通过信息总线(Message Bus)实现与制造执行模块的连接。

其中，机台恢复模块用于对机台进行恢复处理，在进行生产时，若部分机台(或机台组)由于某种异常原因而导致报警或者停机时，此时需要对出现异常的机台进行恢复处理，以避免产品在有异常的机台上继续运行，从而造成更大的损失。但是在进行机台恢复处理后，可能会对产品良率造成影响，因此需要将由于恢复处理从而对良率造成负面影响的因素考虑到实际生产中。

数据存储模块通过ESB总线获取在进行恢复处理后机台所产生的潜在影响产品良率的信息并予以存储。在机台进行恢复处理后，机台恢复系统会准确及时的将机台恢复处理的详细情况反映给数据存储模块，并通过数据存储模块将每个潜在影响产品良率的信息予以记录，以生成一潜在影响产品良率的案件库并进行存储。其中，潜在影响产品良率因素的信息包含以下属性信息：所处的生产工艺(Module)、及该生产工艺所对应的站点(Stage)、进行该生产工艺设备的ID(EQ-ID)、进行该生产工艺产品的ID(Product-ID)和造成该异常的原因信息(Reason code)。

同时，该数据存储模块中还设置有一筛选单元，用于对存储模块中的所有潜在影响产品良率因素的信息进行确认后并进行筛选，筛选的规则为：在一定时间段内，若存在多个属性信息完全相同的潜在影响产品良率因素的信息，则会在包含有这些属性信息完全相同的潜在影响产品良率因素的信息中筛选出部分影响产品良率因素的信息生成影响产品良率案件，并通过ESB总线传输至制造执行模块，根据影响产品良率案件可更加清楚了解由于进行了机台恢复处理所可能造成影响产品良率的相关因素。下面就具体筛选步骤体提供一实施例来进行进一步阐述。

首先根据工艺需求预设一筛选时间段，例如近三个月，然后对数据库中近三个月内中储存的所有潜在影响产品良率因素的信息进行筛选，当潜在影响产品良率因素的信息包含的各项属性信息存在有完全相同的情况时，即所处的生产工艺、及该生产工艺所对应的站点、进行该生产工艺设备的ID、进行该生产工艺产品的ID和造成该异常的原因信息全部相同时，在包含有上述各项相同属性信息的潜在影响产品良率因素的信息中筛选出部分以作为影响产品良率案件，这些案件可较为真实的反映在进行机台恢复处理后对产品良率所造成的影响。例如，在三个月内，如果上述属性信息完全相同，且该类型的潜在影响产品良率因素的信息出现次数达到5*N件时，例如相同类型案件如果出现有20次，则选取第5次、第10次、第15次、第20次出现的潜在影响产品良率因素的信息作为影响产品良率案件，并传输至制造执行模块。潜在影响产品良率因素的信息出现的次数越多，则生成的影响产品良率案件也会越多，更好的为提高良率所提供依据。本发明利用统计分析的方法，通过对潜在影响产品良率的案件库进行筛选进而得到一案件草稿，对连续出现的潜在影响良率案件进行重点追踪和控制，进而在MES系统中有针对性的做出相应调整，提高产品良率。本发明利用统计分析的方法，通过对潜在影响产品良率的案件的信息进行筛选进而得到较为接近真实影响产品良率的案件，对连续出现的潜在影响良率案件进行重点追踪和控制，进而在MES系统中有针对性的做出相应调整，提高产品良率。

良率分析模块用于获取WAT测试数据和/或CP测试数据，并通过ESB总线和数据转换模块来将相应的测试数据传达至制造执行模块。在晶圆制作过程中，相应站点在完成对lot完成WAT测试和/或CP测试以及其他相关测试后，可将测试的数据发送到良率分析模块，良率分析模块通过ESB总线及数据转换模块将WAT测试数据和/或CP测试数据及其他相关数据传送至制造执行模块，通过结合这些测试数据以及影响产品良率案件并进行及时的分析处理，可以准确的知道案件对良率的影响程度，从而控制了案件的影响面，保证了制程的稳定。本发明利用企业服务总线(ESB)，实现了良率分析系统与MES系统的集成，使得在MES对生产进行调整时更加有依据。

在本发明中，数据存储模块中的筛选单元得出的影响产品良率案件以及良率分析模块的测试数据由于可以通过ESB总线及数据集成系统传输至制造执行模块，不仅可以根据影响产品良率案件来对生产进行调整，还可根据良率分析模块输出的测试数据来对生产进行调整；同时，本发明中还可结合案件草稿以及相应的测试数据来进行产品良率分析，从而更加准确了解进行恢复处理后对良率的影响程度，进而更加有利于正确的对生产进行调整：1.对预料之内的案件，即不会产生良率问题的案件，可以直接放过；2.对于怀疑会产生良率问题的案件，可以选择等待WAT测试结果，等待CP伪测结果或者等待CP正常测试结果，通过良率分析系统的测试数据并结合案件草稿，然后在制造执行模块中进行相应设置来对生产进行调整，进而提高产品良率。

同时，在制造执行模块中还设置有一调控单元，利用该调整单元来设置lot暂停的站点，使得lot在经过相应的站点暂停。在芯片生产过程中设置有许多站点，对于某些不重要的站点lot可以直接跳过，而对于经过某些站点lot需要进行特殊操作或进行测试，因此lot在经过某些站点时，必须进行暂停并接受相应操作。例如WAT站点由于肩负晶圆测试的任务，其比较特殊，重要程度较高，lot在经过WAT站点时，需要在WAT站点暂停并接受测试，因此需要在调控模块中设置WAT站点的Number(编号)，在lot经过相应的站点时，则会停下接受相应操作；而对于没有设置的站点，lot则会直接跳过。

进一步的，本发明还包括一机台自动化模块，该机台自动化模块可用来执行所述制造执行模块对机台进行的操作，从而实现机台的自动划生产。

本发明通过利用ESB总线及数据集成系统，实现了机台恢复系统、案件分析系统、良率分析系统与MES系统的集成，实现了消息的互连互通，为提高产品良率提供更加有效的依据，保证了芯片的质量。在MES系统中可根据特定情况对生产进行调整，EAP系统根据MES系统对机台进行控制，实现机台自动运行。这些系统的高效的集成，实现了芯片检查的全面自动化，提高生产效率。

综上所述，由于本发明采用了以上技术方案，通过将ESB总线实现机台恢复系统、案件分析系统、良率分析系统的集成，可以准确的记录分析来自机台报警或者停机而产生的潜在影响产品良率案件。通过及时的处理这些案件，可以提高生产线上产品的质量。同时，分析案件可以为提高产品良率提供数据支持，最终保证了整个生产线的安全。

以上对本发明的较佳实施例进行了描述。需要理解的是，本发明并不局限于上述特定实施方式，其中未尽详细描述的设备和结构应该理解为用本领域中的普通方式予以实施；任何熟悉本领域的技术人员，在不脱离本发明技术方案范围情况下，都可利用上述揭示的方法和技术内容对本发明技术方案作出许多可能的变动和修饰，或修改为等同变化的等效实施例，这并不影响本发明的实质内容。因此，凡是未脱离本发明技术方案的内容，依据本发明的技术实质对以上实施例所做的任何简单修改、等同变化及修饰，均仍属于本发明技术方案保护的范围内。

Claims

1.一种提高产品良率的方法，应用于MES系统中的若干机台上，其特征在于，所述方法包括：

2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述方法还包括：通过在所述MES系统设置lot暂停站点，并于所述暂停站点处利用良率分析系统对在所述机台上进行工艺的lot进行良率分析。

3.如权利要求2所述的方法，其特征在于，所述MES系统设置有一调控模块，根据工艺需求来通过所述调控模块在所述MES系统中设置lot需要暂停的站点。

4.如权利要求2所述的方法，其特征在于，所述机台恢复系统、案件库、良率分析系统均与ESB总线连接。

5.如权利要求4所述的方法，其特征在于，所述机台恢复系统、案件库、良率分析系统均通过网络服务线路与所述ESB总线对接。

6.如权利要求4所述的方法，其特征在于，所述ESB总线通过一数据转换系统与所述MES进行连接。

7.如权利要求4所述的方法，其特征在于，所述良率分析系统获取WAT测试数据和/或CP测试数据并通过所述ESB总线传达至所述MES系统。

8.如权利要求1所述的方法，其特征在于，确认后的所述潜在影响产品良率因素的信息均包含以下属性信息：所处的生产工艺、及该生产工艺所对应的站点、进行该生产工艺设备的ID、进行该生产工艺产品的ID和造成该异常的原因信息。

9.如权利要求8所述的方法，其特征在于，对确认后的潜在影响产品良率因素的信息进行筛选的步骤如下：

根据工艺需求预设一筛选时间段；

10.一种提高产品良率的系统，包括若干机台，其特征在于，所述系统还包括：

机台恢复模块，用于对机台进行恢复处理；

制造执行模块；

11.如权利要求10所述的系统，其特征在于，所述机台恢复模块、数据存储模块、良率分析模块均与ESB总线连接。

12.如权利要求11所述的系统，其特征在于，所述ESB总线通过一数据转换模块与所述制造执行模块进行连接。

13.如权利要求11所述的系统，其特征在于，所述机台恢复模块、数据存储模块、良率分析模块均通过网络服务线路与所述ESB总线对接。

14.如权利要求12所述的系统，其特征在于，所述良率分析模块获取WAT测试数据和/或CP测试数据并通过所述ESB总线传达至所述制造执行模块。

15.如权利要求10所述的系统，其特征在于，确认后的所述潜在影响产品良率因素的信息均包含以下属性信息：所处的生产工艺、及该生产工艺所对应的站点、进行该生产工艺设备的ID、进行该生产工艺产品的ID和造成该异常的原因信息。

16.如权利要求15所述的系统，其特征在于，对确认后的潜在影响产品良率因素的信息进行筛选的步骤如下：

根据工艺需求预设一筛选时间段；

在所述筛选时间段，若多个影响产品良率因素的信息所包含的各项属性信息完全相同时，则在所述多个影响产品良率因素的信息中选取部分影响产品良率因素的信息作为所述影响产品良率案件。

17.如权利要求10所述的系统，其特征在于，所述制造执行模块还设置有一调控单元，根据工艺需求来通过所述调控单元在所述制造执行模块中设置lot需要暂停的站点。

18.如权利要求10所述的系统，其特征在于，所述系统还包括一机台自动化模块，所述机台自动化模块用于执行所述制造执行模块对机台进行的操作。