CN103399561B - 自动派工搬送方法及系统 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种自动派工搬送方法及系统，该方法包括如下步骤：建立机台载货台列表；建立制品列表；实时运算出当前制品完成后下一工序可使用哪个机台的哪个载货台，并根据该机台载货台列表、该制品列表以及各机台的工作状态，生成自动派工控制表；当某一批次完成当前工序后，MES根据自动派工控制表直接发出搬送指令，本发明实现了机台到机台端的自动派工搬送，不仅节省了搬送资源，提高了制品的生产周期，而且达到了降低运算量的目的。

Description

自动派工搬送方法及系统
技术领域
本发明关于一种自动派工搬送方法及系统，特别是涉及一种机台到机台的自动派工搬送方法及系统。
背景技术
随着半导体生产制造自动化程度的进步，许多半导体制造工厂都有了自动搬送系统和自动派工系统。
目前业界比较普遍的自动派工模式是针对在棚架内的制品，即所有制品完成上工艺后都进入棚架，下工艺机台的派货范围只针对棚架内的，所以完成一批制品的一步工艺需要2次搬送。这样的派货模式浪费了一部分的搬送能力；对于制品而言，每步骤之间也增加了一些等待时间，该派货方式费时费力。
目前，业界中也出现了一些‘机台到机台’的自动派工方式，该自动派工方式如下：如一批货当前有N台可作业机台，那系统将会对这N台机台进行运算，得出哪台最符合要求。这种方式虽然实现了自动派工，但是该种方式要求非常大的硬件运算性能，若有M批制品，N台机台，运算量会呈几何倍增加。
发明内容
为克服上述现有技术存在的不足，本发明之目的在于提供一种自动派工搬送方法及系统，通过实现机台到机台端的自动派工搬送，不仅节省了搬送资源，提高了制品的生产周期，而且达到了降低运算量的目的。
为达上述及其它目的，本发明提出一种自动派工搬送方法，包括如下步骤：
建立机台载货台列表；
建立制品列表；
实时运算出当前制品完成后下一工序可使用哪个机台的哪个载货台，并根据该机台载货台列表、该制品列表以及各机台的工作状态，生成自动派工控制表；
当某一批次完成当前工序后，MES根据自动派工控制表直接发出搬送指令。
进一步地，该机台载货台列表定义了适用于机台到机台自动派工的所有机台和载货台。
进一步地，该该制品列表定义了适用于机台到机台自动派工的所有制品。
进一步地，该自动派工控制表记录了当前批次完成后，下一步应被搬送到哪个机台。
为达到上述及其它目的，本发明还提供一种自动派工搬送系统，至少包括：
机台载货台列表建立模组，用于建立机台载货台列表；
制品列表建立模组，用于建立制品列表；
自动派工控制表生成模组，实时运算出当前制品完成后下一工序可使用哪个机台的哪个载货台，并根据该机台载货台列表、该制品列表以及各机台的工作状态，生成自动派工控制表；
自动派工搬送模组，于某一批次制品完成当前工序后，根据该自动派工控制表直接发出搬送指令。
进一步地，该机台载货台列表定义了适用于机台到机台自动派工的所有机台和载货台。
进一步地，该该制品列表定义了适用于机台到机台自动派工的所有制品。
进一步地，该自动派工控制表记录了当前批次完成后，下一步应被搬送到哪个机台。
与现有技术相比，本发明一种自动派工搬送方法及系统通过建立机台载货台列表及制品列表，并根据实时运算结果及机台载货台列表、制品列表生成自动派工控制表，以于当前工序完成时，自动根据自动派工控制表发出搬送指令，实现了机台到机台的自动派工搬送，不仅节省了搬送资源及棚架的存储空间，而且提高了制品的生产周期，同时降低了运算量。
附图说明
图1为本发明一种自动派工搬送方法的步骤流程图；
图2为本发明一种自动派工搬送系统的系统架构图。
具体实施方式
以下通过特定的具体实例并结合附图说明本发明的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所揭示的内容轻易地了解本发明的其它优点与功效。本发明亦可通过其它不同的具体实例加以施行或应用，本说明书中的各项细节亦可基于不同观点与应用，在不背离本发明的精神下进行各种修饰与变更。
图1为本发明一种自动派工搬送方法的步骤流程图。如图1所示，本发明本发明一种自动派工搬送方法，用于半导体制造中，包括如下步骤：
步骤101，建立机台载货台列表，该机台载货台列表义了适用于机台到机台自动派工的所有机台和载货台，如下表1所示。
表1
Machine Port
AAAA 1
AAAA 2
BBBB 1
CCCC 1
其中，Machine为机台名称，Port载货台代号。
步骤102，建立制品列表，该制品列表定义了适用于机台到机台自动派工的所有制品。如下表2所示。
表2
LotID Priority Qty.
Lot1 1 25
Lot2 1 25
Lot3 1 25
Lot4 1 24
其中,LotID为批次号，Priority为优先级，Qty为数量。
步骤103，系统实时运算出当前制品完成后下一工序可使用哪个机台的哪个载货台，并根据机台载货台列表、制品列表以及各机台的工作状态，生成自动派工控制表，该自动派送控制表则记录了当前制品完成后，下一步应被搬送到哪个机台。自动派工控制表如表3所示。
表3
Machine Port Lot Step
AAAA 1 Lot1 500
BBBB 1 Lot3 400
AAAA 2 Lot2 500
CCCC 1 Lot4 600
步骤104，当某一批次(lot)制品完成当前工序后，制造执行系统(MES)根据自动派工控制表直接发出搬送指令。此时，制造执行系统(MES)无需计算下游哪个机台合适，只需要根据表3直接发出搬送指令。
图2为本发明一种自动派工搬送系统的系统架构图。如图2所示，本发明一种自动派工搬送系统，至少包括：机台载货台列表建立模组201、制品列表建立模组202、自动派工控制表生成模组203、自动派工搬送模组204。其中机台载货台列表建立模组201用于建立机台载货台列表，该机台载货台列表义了适用于机台到机台自动派工的所有机台和载货台；制品列表建立模组202用于建立制品列表，该制品列表定义了适用于机台到机台自动派工的所有制品；自动派工控制表生成模组203实时运算出当前制品完成后下一工序可使用哪个机台的哪个载货台，并根据机台载货台列表、制品列表以及各机台的工作状态，生成自动派工控制表，该自动派送控制表则记录了当前制品完成后，下一步应被搬送到哪个机台；自动派工搬送模组204于某一批次(lot)制品完成当前工序后，根据自动派工控制表直接发出搬送指令。此时，无需计算下游哪个机台合适，只需要根据表3直接发出搬送指令。
综上所述，本发明一种自动派工搬送方法及系统通过建立机台载货台列表及制品列表，并根据实时运算结果及机台载货台列表、制品列表生成自动派工控制表，以于当前工序完成时，自动根据自动派工控制表发出搬送指令，实现了机台到机台的自动派工搬送，不仅节省了搬送资源及棚架的存储空间，而且提高了制品的生产周期，同时降低了运算量。
上述实施例仅例示性说明本发明的原理及其功效，而非用于限制本发明。任何本领域技术人员均可在不违背本发明的精神及范畴下，对上述实施例进行修饰与改变。因此，本发明的权利保护范围，应如权利要求书所列。

Claims (8)

1.一种自动派工搬送方法，包括如下步骤：
建立机台载货台列表；
建立制品列表；
实时运算出当前制品完成后下一工序可使用哪个机台的哪个载货台，并根据该机台载货台列表、该制品列表以及各机台的工作状态，生成自动派工控制表；
当某一批次完成当前工序后，制造执行系统根据自动派工控制表直接发出搬送指令。
2.如权利要求1所述的一种自动派工搬送方法，其特征在于：该机台载货台列表定义了适用于机台到机台自动派工的所有机台和载货台。
3.如权利要求2所述的一种自动派工搬送方法，其特征在于：该该制品列表定义了适用于机台到机台自动派工的所有制品。
4.如权利要求3所述的一种自动派工搬送方法，其特征在于：该自动派工控制表记录了当前批次完成后，下一步应被搬送到哪个机台。
5.一种自动派工搬送系统，至少包括：
机台载货台列表建立模组，用于建立机台载货台列表；
制品列表建立模组，用于建立制品列表；
自动派工控制表生成模组，实时运算出当前制品完成后下一工序可使用哪个机台的哪个载货台，并根据该机台载货台列表、该制品列表以及各机台的工作状态，生成自动派工控制表；
自动派工搬送模组，于某一批次制品完成当前工序后，根据该自动派工控制表直接发出搬送指令。
6.如权利要求5所述的一种自动派工搬送系统，其特征在于：该机台载货台列表定义了适用于机台到机台自动派工的所有机台和载货台。
7.如权利要求6所述的一种自动派工搬送系统，其特征在于：该该制品列表定义了适用于机台到机台自动派工的所有制品。
8.如权利要求7所述的一种自动派工搬送系统，其特征在于：该自动派工控制表记录了当前批次完成后，下一步应被搬送到哪个机台。
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