CN101877322A - 产品投放方法及系统 - Google Patents
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Abstract
本发明提供产品投放方法及系统，以防止投放进入生产线的产品在机台前的停留时间超过允许等待时间而导致产品缺陷，降低产品良率等问题。本发明提供的产品投放方法，该方法包括步骤：确定出下一个休憩机台前将要处理该产品的各个机台；获得所述各机台对应的该产品允许等待时间、到达时间及初始处理时间；对于各机台，分别判断初始处理时间是否小于到达时间与允许等待时间之和；在各机台的判断结果均为小于时，投放该产品，否则禁止投放该产品。
Description
技术领域
本发明涉及半导体制造领域，尤其涉及产品投放方法及系统。
背景技术
半导体生产过程中，半导体产品顺次经过一系列机台进行相应工艺制程处理，然后得到最终产品。产品在经过前一机台处理完毕送至后一机台后，由于后一机台可能在处理其它产品或有其它产品需要优先处理，因此送来的产品就需要停留一段时间才能由后一机台处理。
在前一机台处理完半导体产品后，通常需要在既定时间内由后一机台处理该半导体产品，否则该半导体产品可能就会产品缺陷，降低产品良率，所述既定时间称为允许等待时间。其中如果到达某些机台的半导体产品无需在既定时间内由该机台处理，则称这些机台为休憩机台。
如果投放进入生产线生产的产品数目或种类过多，则可能导致一个或多个机台前产品停留的时间超过允许等待时间，带来产品缺陷等问题。因此在投放产品进入生产线进行生产时，需要防止投放的产品在由其工艺流程对应的下一个休憩机台前各个机台处理时，其停留时间超过允许等待时间。
由于目前同一机台通常会处理不同工艺的不同产品，即同一机台涉及的工艺和产品数目较多，因此难以衡量将要投放进入生产线的产品是否会有在机台前停留时间超过允许等待时间的问题。
发明内容
本发明解决的问题是提供一种产品投放方法及系统，以防止投放进入生产线的产品在机台前的停留时间超过允许等待时间而导致产品缺陷，降低产品良率等问题。
本发明提供了一种产品投放方法，该方法包括步骤：确定出下一个休憩机台前将要处理该产品的各个机台；获得所述各机台对应的该产品允许等待时间、到达时间及初始处理时间；对于各机台，分别判断初始处理时间是否小于到达时间与允许等待时间之和；在各机台的判断结果均为小于时，投放该产品，否则禁止投放该产品。
本发明提供了一种产品投放系统，该系统包括：机台确定单元，用于确定出下一个休憩机台前将要处理该产品的各个机台；时间获得单元，用于获得所述各机台对应的该产品允许等待时间、到达时间及初始处理时间；判断单元，用于分别判断各机台的初始处理时间是否小于到达时间与允许等待时间之和；投放单元，用于在各机台的判断结果均为小于时，投放该产品；以及禁止投放单元，用于在各机台的判断结构并非均为小于时禁止投放该产品。
由于采用了上述技术方案，与现有技术相比，本发明具有以下优点：
1、能够在投放产品前判断出产品投放后是否会有产品在机台前的停留时间超过允许等待时间而导致产品缺陷，降低产品良率等问题，并在有上述问题时，禁止投放该产品，从而避免上述问题。
2、不会改变各机台的预定派工顺序及派工规则，使派工简便化。
附图说明
图1为本发明实施例提供的产品投放方法流程图；
图2为本发明实施例提供的产品投放系统的结构示意图。
具体实施方式
为解决背景技术的问题，本申请发明人提出如果能够在投放产品前，判断出该投放的产品进入生产过程后是否会有在机台前停留时间超过允许等待时间的问题，并在判断出有所述问题时，禁止投放该产品，则能够避免上述问题，提高产品良率。
图1为本发明实施例提出的产品投放方法流程图，结合该图，该方法包括：
步骤1，确定出下一个休憩机台前将要处理产品的各个机台；
半导体产品生产过程中，产品需要由一系列机台进行工艺处理，不同产品对应的机台系列可能不一样。下一个休憩机台前将要处理产品的机台可以根据该产品的工艺流程确定出来。
步骤2，获得所述各机台对应的该产品允许等待时间、到达时间及初始处理时间；
当产品经过前一机台处理完到达当前机台时，其一般需要在允许等待时间内由当前机台进行处理，不同机台对应的该产品允许等待时间一般不同，且一般是既定的。
机台对应的产品到达时间是指产品由该机台前面的机台处理完到达该机台的时间，由该机台前的所有机台的产品允许等待时间及处理该产品所需的时间确定。本实施例中，获得产品到达时间可以包括步骤：
步骤a1，获得在该机台前，需要处理该产品的各机台处理该产品所需的时间及允许等待时间；
步骤a2，计算所述允许等待时间及处理该产品所需的时间之和，作为该机台对应的该产品的到达时间。
机台对应的产品初始处理时间是指该机台能够开始处理该产品的时间。由于一个机台可能需要先处理其它产品，然后才能处理该产品，所述其它产品与该产品的种类可以相同也可以不同，因此机台对应的产品初始处理时间由机台处理其它产品的时间来确定，于是本实施例中，获得机台对应的产品初始处理时间可以由下述过程得到：首先从预定派工单获得机台在处理该产品前需处理的其它产品的数目及类型，其中预定派工单为本领域专业术语，包括机台需要处理的产品的数目及类型信息；然后获得处理所述单个其它产品所需的时间；再计算出处理该产品前处理完其它产品所需的总时间，作为该产品的初始处理时间。
步骤3，对于各机台，分别判断初始处理时间是否小于到达时间与允许等待时间之和；
步骤4，在各机台的判断结果均为小于时，投放该产品，否则禁止投放该产品。
如果初始处理时间小于到达时间与允许等待时间之和，则表明在产品到达机台后，在产品停留的时间小于允许等待时间时，机台就能够开始处理产品，即产品在机台前停留的时间小于允许等待时间，因此可以投放该产品。
如果至少有一个机台对应的产品初始处理时间大于到达时间与允许等待时间之和，则表明在产品到达机台后，产品在该机台前的停留时间将超过允许等待时间，这将造成产品缺陷，带来产品良率降低等问题，因此此时需要禁止投放该产品。
通过上述步骤，本实施例的产品投放方案能够在产品投放前判断出是否会有停留时间超过允许等待时间的问题，并在有该问题时禁止投放产品而避免该问题。
为根据实际情况选择在向哪些机台投放产品前需要判断是否要投放，本实施例提出还可以包括选择在投放产品前，需要执行所述确定、获得及判断步骤来确定是否投放产品的机台的步骤，其中选择的机台可以是处理该产品的全部机台，这能够尽可能避免停留时间超过允许等待时间的问题，选择的机台也可以是处理该产品的部分机台，这能够节省处理资源。
此外上述方案不会改变各机台的预定派工顺序及派工规则，使派工简便化。
本发明实施例还提出了产品投放系统，以在产品投放前判断出是否会有停留时间超过允许等待时间的问题，并在有该问题时禁止投放该产品而避免该问题。
图2为本发明实施例提出的产品投放系统的结构示意图，结合该图，该系统包括：
机台确定单元21，用于确定出下一个休憩机台前将要处理该产品的各个机台；
时间获得单元22，用于获得机台确定单元21确定的所述各机台对应的该产品允许等待时间、到达时间及初始处理时间；
判断单元23，用于分别判断时间获得单元22获得的各机台的初始处理时间是否小于到达时间与允许等待时间之和；
投放单元24，用于在判断单元23判断出的各机台判断结果均为小于时，投放该产品；
禁止投放单元25，用于在判断单元23判断出的各机台判断结果并非均为小于时禁止投放该产品。
参照上述方法实施例，对于到达时间，时间获得单元22可以具体包括：用于获得在该机台前，需要处理该产品的各机台处理该产品所需的时间及允许等待时间的子单元；及用于计算所述允许等待时间及处理该产品所需的时间之和，作为该机台对应的该产品的到达时间的子单元。
对于初始处理时间，所述时间获得单元22可以具体包括：用于从预定派工单获得各个机台在处理该产品前需处理的其它产品的数目及类型的子单元；用于获得处理所述单个其它产品所需的时间的子单元；以及用于计算出处理该产品前处理完其它产品所需的总时间，作为该产品的初始处理时间的子单元。
通过上述系统，本实施例的产品投放方案能够在产品投放前判断出是否会有停留时间超过允许等待时间的问题，并在有该问题时禁止投放产品而避免该问题。
为根据实际情况选择在向哪些机台投放产品前需要判断是否要投放，本实施例提出的系统还可以包括用于选择在投放产品前，需要执行所述确定、获得及判断步骤来确定是否投放产品的机台的单元，其中选择的机台可以是处理该产品的全部机台，这能够尽可能避免停留时间超过允许等待时间的问题，选择的机台也可以是处理该产品的部分机台，这能够节省处理资源。
此外上述方案不会改变各机台的预定派工顺序及派工规则，使派工简便化。
虽然本发明已以较佳实施例披露如上，但本发明并非限定于此。任何本领域技术人员，在不脱离本发明的精神和范围内，均可作各种更动与修改，因此本发明的保护范围应当以权利要求所限定的范围为准。
Claims (12)
1.一种产品投放方法，其特征在于，包括：
确定出下一个休憩机台前将要处理该产品的各个机台；
获得所述各机台对应的该产品允许等待时间、到达时间及初始处理时间；
对于各机台，分别判断初始处理时间是否小于到达时间与允许等待时间之和；
在各机台的判断结果均为小于时，投放该产品，否则禁止投放该产品。
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，获得该产品到达时间具体包括：
获得在该机台前，需要处理该产品的各机台处理该产品所需的时间及允许等待时间；
计算所述允许等待时间及处理该产品所需的时间之和，作为该机台对应的该产品的到达时间。
3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，获得各机台对应的该产品初始处理时间，具体包括：
从预定派工单获得各个机台在处理该产品前需处理的其它产品的数目及类型；
获得处理所述单个其它产品所需的时间；
计算出处理该产品前处理完其它产品所需的总时间，作为该产品的初始处理时间。
4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，还包括选择在投放产品前，需要执行所述确定、获得及判断步骤来确定是否投放产品的机台的步骤。
5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，选择的机台为处理该产品的全部机台。
6.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，选择的机台为处理该产品的部分机台。
7.一种产品投放系统，其特征在于，包括：
机台确定单元，用于确定出下一个休憩机台前将要处理该产品的各个机台；
时间获得单元，用于获得机台确定单元确定的所述各机台对应的该产品等待时间、到达时间及初始处理时间；
判断单元，用于分别判断时间获得单元获得的各机台的初始处理时间是否小于到达时间与允许等待时间之和；
投放单元，用于在判断单元判断的各机台判断结果均为小于时，投放该产品；以及
禁止投放单元，用于在判断单元判断的各机台判断结果并非均为小于时禁止投放该产品。
8.如权利要求7所述的系统，其特征在于，所述时间获得单元具体包括：
用于获得在该机台前，需要处理该产品的各机台处理该产品所需的时间及允许等待时间的子单元；及
用于计算所述允许等待时间及处理该产品所需的时间之和，作为该机台对应的该产品的到达时间的子单元。
9.如权利要求7所述的系统，其特征在于，所述时间获得单元具体包括：
用于从预定派工单获得各个机台在处理该产品前需处理的其它产品的数目及类型的子单元；
用于获得处理所述单个其它产品所需的时间的子单元；
用于计算出处理该产品前处理完其它产品所需的总时间，作为该产品的初始处理时间的子单元。
10.如权利要求7所述的系统，其特征在于，还包括用于选择在投放产品前，需要执行所述确定、获得及判断步骤来确定是否投放产品的机台的单元。
11.如权利要求10所述的系统，其特征在于，所述选择机台的单元选择的机台为处理该产品的全部机台。
12.如权利要求10所述的系统，其特征在于，所述选择机台的单元选择的机台为处理该产品的部分机台。
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| CN2009100504110A CN101877322A (zh) | 2009-04-30 | 2009-04-30 | 产品投放方法及系统 |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| CN103399561A (zh) * | 2013-08-14 | 2013-11-20 | 上海华力微电子有限公司 | 自动派工方法及系统 |
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| CN105302078A (zh) * | 2014-06-04 | 2016-02-03 | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 | 一种半导体制造工艺中炉管机台运行的控制系统及方法 |
| CN110164803A (zh) * | 2019-06-23 | 2019-08-23 | 郑州工业应用技术学院 | 一种释放机台程式的方法及系统 |
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2009
- 2009-04-30 CN CN2009100504110A patent/CN101877322A/zh active Pending
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