CN103439893A - 设备装载端口的预约使用控制方法 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及一种设备装载端口的预约使用控制方法，所述方法包括以下步骤：提供一批次需要被预约送往工艺设备的装载端口的晶圆；生产管理系统对任一所述晶圆进行预约，并将该晶圆的预约信息发送至所述设备；所述设备对所述晶圆的预约信息进行确认；当所述工艺设备确认预约成功后，所述晶圆所在的硅片盒被运送至所述装载端口；当所述设备确认预约失败后，所述晶圆所在的硅片盒被运送至保管棚。本发明方法能够在一定程度上提高硅片盒运送的效率，进而在一定程度上也提高了设备加工生产硅片的产能。

Description

设备装载端口的预约使用控制方法
技术领域
本发明涉及一种半导体工艺控制方法，尤其涉及一种设备装载端口的预约使用控制方法。
背景技术
随着半导体制造业的飞速发展，半导体生产过程中的生产效率一直是行业中所关心的重要问题，如何在有限的投入下尽可能大的提高生产效率，这是一个极其具有现实意义的课题。
在对硅片进行不同的工艺之前，为了提高生产效率，某些设备会把放置硅片的硅片盒（FOUP）从设备的装载端口（Port）拿进设备内，并放置于设备内部的缓冲器（Buffer）上，这样原本放有硅片盒的装载端口就处于空闲状态，此时，可以就可以在该装载端口上再放置另外一个硅片盒，通过同样的方法，将该硅片盒再搬送到设备内的缓冲器上，如此循环，直到将硅片盒放满整个缓冲器。然后由设备对放置于缓冲器上的硅片盒调用并对其中的硅片进行相应的加工工艺。当对整盒的硅片都进行完工艺之后，设备再把硅片盒从缓冲器放回到装载端口，等待搬送系统（overhead hoist transport，简称OHT）把装载端口的缓冲器搬离。
但是，在实际的生产过程中，由于生产线都是全自动化的，对于硅片盒的预约、搬送、处理等条件的指定都不需要人为的干预。因而在实际生产过程中可能会导致以下情况的发生：当编号为A的硅片盒从保管棚被搬送到编号为1的装载端口时，此时编号为B的硅片盒正好从设备里被拿出也需要被放到编号为1的装载端口上，这样就会存在冲突，导致搬送系统无法把编号为A的硅片盒搬送到该装载端口上，同时编号为B的硅片盒也无法被搬走。这样不但影响工艺设备的工作效率，也会影响搬送系统的工作效率，最终导致生产效率的下降。
中国专利（CN100514548）公开了一种集群式工具的处理系统和模块周期时间监视程序，该发明的处理系统在处理时间独立的多个处理模块之间避免晶片搬入搬出的定时冲突危险，具体在该处理系统中，在群集式工具内同时作业的多个例如处理模块（PM1、PM2、PM3、PM4）中，将被处理滞留时间与位于其前后的附带的忙碌时间相加的模块周期时间设定成相同长度，搬送模块的搬送机器人在对处理模块依次访问中通过拿起和放置工作搬出处理完的晶片并与之交替地搬入下一个晶片。该发明从搬入晶片和搬出晶片的时间上进行设定，虽然可以避免搬入搬出的时间冲突，但是其需要事先对整个工艺的搬送时间进行设定，当工艺变动时仍需再次设定，这就导致了方法的灵活度不高，在一定程度上影响了该方法的实际使用。
可见，对于硅片盒搬送冲突的问题，目前还尚不存在一种行之有效的解决方法。
发明内容
鉴于上述问题，本发明提供一种设备装载端口的预约使用控制方法。
本发明解决技术问题所采用的技术方案为：
一种设备装载端口的预约使用控制方法，其中，所述方法包括以下步骤：
提供一批次需要被预约送往工艺设备的装载端口的晶圆；
生产管理系统对任一所述晶圆进行预约，并将该晶圆的预约信息发送至所述设备；
所述设备对所述晶圆的预约信息进行确认；
当所述工艺设备确认预约成功后，所述晶圆所在的硅片盒被运送至所述装载端口；
当所述设备确认预约失败后，所述晶圆所在的硅片盒被运送至保管棚。
所述的设备装载端口的预约使用控制方法，其中，所述方法还包括：提供一设备自动化系统，由所述生产管理系统将所述预约信息发送给所述设备自动化系统，然后由所述设备自动化系统向所述设备发送指令，以要求所述设备回复是否预约成功的信息。
所述的设备装载端口的预约使用控制方法，其中，所述方法还包括：当所述设备确认预约失败后，由所述设备自动化系统发送指令给所述生产管理系统，以解除对所述晶圆的预约。
所述的设备装载端口的预约使用控制方法，其中，采用搬送系统对所述硅片盒进行运送。
上述技术方案具有如下优点或有益效果：
本发明方法通过利用生产管理系统和设备自动化系统，并对生产管理系统和设备自动化系统以及设备三者之间设定一定的工作规则，使得硅片盒在预约送往设备装载端口的过程中能够避免与从设备中送出至设备装载端口的硅片盒之间的冲突，从而保证了硅片盒从保管棚向设备中运送的流畅度和稳定度，在一定程度上提高了硅片盒运送的效率，进而也在一定程度上提高了设备加工生产硅片的产能。
附图说明
参考所附附图，以更加充分的描述本发明的实施例。然而，所附附图仅用于说明和阐述，并不构成对本发明范围的限制。
图1是本发明方法中的步骤示意图。
具体实施方式
本发明提供一种设备装载端口的预约使用控制方法，可用于全自动搬送条件下的生产设备中。
本发明的中心思想是通过在现有的生产管理系统和设备自动化系统中设计一种工作方法，从而使得硅片盒（FOUP）在被送往工艺设备的装载端口的过程中不会与设备中加工完送出至装载端口（port）的硅片盒发生冲突。
在本发明方法中包括：生产管理系统（Manufacturing ExecutionSystem，简称MES）和设备自动化系统（Equipment AutomationProgramming，简称EAP）。
生产管理系统是用于让自动化系统实现计划的执行系统，其主要负责车间的生产管理和调度执行。该系统可以在统一的平台上集成注入生产调度、产品跟踪、质量控制、设备故障分析、网络报表等管理功能。生产管理系统在产品从工单发出到成品产出的过程中，扮演着生产活动最佳化的信息传递者，当事件发生变化时，接着实时正确的信息、生产执行系统规范、原始工作情况、资料反应及回馈等，迅速作出响应，以减少无附加价值的生产活动，进而提升生产制程的效率。
设备自动化系统是介于生产管理系统与生产设备之间，用于信息传输、数据收集、流程控制等几个方面，以达到工厂自动化生产的目的。
下面对本发明方法进行详细说明。
首先，需要被运送至设备进行工艺的晶圆批次（Lot）被生产管理系统预约，当生产管理系统确定预约完成后，会发送数据信息给设备自动化系统（EAP），该数据信息中包含有该晶圆批次所在的硅片盒的去向，比如：被搬送至哪个设备的哪个装载端口。
然后，设备自动化系统将上述的数据信息进行整合，将其转化为包含有这些信息的指令信息发送给工艺设备，即向工艺设备发送预约该装载端口的指令。设备自动化系统发送完指令后，此时设备自动化系统等待工艺设备进行答复。
当工艺设备向设备自动化系统回复预约成功的数据信息，则设备自动化系统继续进行后续正常的流程；当工艺设备向设备自动化系统回复预约失败的数据信息，则说明该装载端口已经被其他的硅片盒占用，此时，设备自动化系统向生产管理系统发送指令，根据该指令，生产管理系统会解除对这个晶圆批次的预约，此时该硅片盒将不会被搬送至工艺设备上的装载端口，而是被搬送回保管棚，继续等待下次的搬送。
通过在生产管理系统和设备自动化系统间设置上述的工作流程，可以使得硅片盒在被预约送去指定的装载端口的过程中避免与已经加工完成而从设备送出至该装载端口的硅片盒发生同时占用同一个装载端口的冲突。
综上所述，本发明通过利用生产管理系统和设备自动化系统在需要送至设备装载端口以等待送入设备的硅片盒和加工完后从设备中送出至装载端口的硅片盒之间设定一定的规则，确保了当装载端口被从设备中送出的硅片盒占用的时候，不会将预约的硅片盒送至该装载端口，而是相应地送回保管棚进行保管。通过这种方法有效避免了送入设备和送出设备的硅片盒之间可能引起的冲突，保证了设备装载端口预约的可靠性和效率。
对于本领域的技术人员而言，阅读上述说明后，各种变化和修正无疑将显而易见。因此，所附的权利要求书应看作是涵盖本发明的真实意图和范围的全部变化和修正。在权利要求书范围内任何和所有等价的范围与内容，都应认为仍属本发明的意图和范围内。

Claims (4)

1.一种设备装载端口的预约使用控制方法，其特征在于，所述方法包括以下步骤：
提供一批次需要被预约送往工艺设备的装载端口的晶圆；
生产管理系统对任一所述晶圆进行预约，并将该晶圆的预约信息发送至所述设备；
所述设备对所述晶圆的预约信息进行确认；
当所述工艺设备确认预约成功后，所述晶圆所在的硅片盒被运送至所述装载端口；
当所述设备确认预约失败后，所述晶圆所在的硅片盒被运送至保管棚。
2.如权利要求1所述的设备装载端口的预约使用控制方法，其特征在于，所述方法还包括：提供一设备自动化系统，由所述生产管理系统将所述预约信息发送给所述设备自动化系统，然后由所述设备自动化系统向所述设备发送指令，以要求所述设备回复是否预约成功的信息。
3.如权利要求1所述的设备装载端口的预约使用控制方法，其特征在于，所述方法还包括：当所述设备确认预约失败后，由所述设备自动化系统发送指令给所述生产管理系统，以解除对所述晶圆的预约。
4.如权利要求1所述的设备装载端口的预约使用控制方法，其特征在于，采用搬送系统对所述硅片盒进行运送。
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