KR20180084067A - 장치의 실시간 상태 기반 자재 스케쥴링 방법 및 시스템 - Google Patents

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KR20180084067A
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Abstract

본 발명은 반도체 장치의 실시간 상태 기반 자재 스케쥴링 방법 및 시스템을 제공하는 것이며, 상기 방법은: 이미 확정된 매개 변수에 따라, 사전에 최적의 자재 스케쥴링 규칙을 획득하는 S1 단계: 모든 자재가 모두 이미 지정된 이송 및 공정 임무를 완성했는지의 여부를 판단하고, 만약 완성했다면, 스케쥴링을 종료하고; 완성하지 않았다면 S3 단계를 실행하도록 하는 S2 단계; 장치의 실시간 상태 정보에 따라 상기 자재 스케쥴링 규칙을 하나씩 통과시키고, 통과시킨 결과에 따라 상기 자재 스케쥴링 규칙에 대응하는 동작 명령을 실행하는 S3 단계; 상기 동작 명령의 실행이 완료된 후 상기 장치의 실시간 상태 정보를 대응하는 장치 상태로 업데이트하고, S2 단계로 돌아가도록 하는 S4 단계를 포함한다. 따라서, 제공된 장치의 실시간 상태 기반 자재 스케쥴링 방법는 실시간으로 자재의 최적 경로를 획득할 수 있고, 계산의 정확성을 향상시킬 수 있으며, 장치의 공정 효율을 향상시킬 수 있다.

Description

장치의 실시간 상태 기반 자재 스케쥴링 방법 및 시스템
본 발명은 마이크로 전자 영역에 속하고, 반도체 가공 장치에 관한 것이며, 구체적으로, 반도체 장치의 실시간 상태 기반 자재 스케쥴링 방법 및 시스템에 관한 것입니다.
반도체 기술의 발달에 따라, 반도체 가공 장치도 점점 복잡해지고 있다. 자재(처리 대기 부재)들이 가공 공정에서 복수개의 서로 다른 챔버들 사이에서 이송되어야 하고, 심지어 다른 공정에서 가공 처리를 진행해야 한다.
예를 들어, 분산 브래그 반사경(Distributed Bragg reflector) 장치를 이용하여 자재를 가공할 경우, 도 1에 도시된 바와 같이, 자재는 통상 버퍼 챔버(미도시), 사전 세정 챔버(1), 고온 탈기 챔버(2) 및 공정 챔버(3) 사이에서 이송되어야 하며, 자재는 공정 챔버(3) 내의 서로 다른 공정 위치들(A, B, C, D) 사이에서 이송될 수 있다. 자재가 서로 다른 챔버들 사이에서 이송되는 것은 통상 로봇암(6)을 통해 진행되고, 다른 공정 위치들(A, B, C, D) 사이에서 이송되는 것은 통상 회전판(5)을 회전시켜서 진행된다. 표 1은 두 종류의 자재가 각각 분산 브래그 반사경 장치 내에서 가공될 때의 단계 및 대응하는 시간 변수를 나타낸다. 표 1로부터 알 수 있듯이, 자재를 이송하고 자재를 처리하는 시간이 다르기 때문에, 장치 내에는 유휴 재원이 존재하고, 상기 유휴 재원은 병목 현상을 발생시킨다.
표 1은 분산 브래그 반사경 장치의 가공 단계 및 시간 변수를 나타낸 표이다.
공정유형
처리 단계		 2 스텝 공정(s) 3 스텝 공정(s)
사전 세정 챔버 200s 200s
고온 탈기 챔버 90s 90s
공정 챔버(공정 위치 A) 135s 135s
공정 챔버(공정 위치 B) 270s 135s
공정 챔버(공정 위치 B) -- 135s
로봇암의 픽앤플레이스(pick and place) 시간 2s 2s
회전판 회전 45°시간 2s 2s
여기서, 관련 기술자는 검색 트리 기반의 열거 방식을 제안하였고, 미리 설정된 자재 이송 경로 및 장치의 각 부재의 변수(예를 들어, 로봇암의 웨이퍼 이송 시간)에 따라 검색 트리 방식을 이용하여 자재의 모든 가능한 이동 순서를 검토한 후, 최종적으로 시간이 가장 짧은 가지가 자재의 이동 순서로 선택된다. 그러나, 자재의 이송 경로가 비교적 복잡할 경우, 검색 트리가 생성하는 가지가 비교적 많으며, 이러한 상황에서 자재의 모든 가능한 이동 순서를 검토하는데 많은 시간이 소모되어, 계산 효율이 저하되고, 실시간 계산 요구를 만족시킬 수 없다.이로 인해, 기술자는 N 단계를 통해 단계별 스케쥴링 전략을 제안하였고, 일정한 검색 범위(N)가 정해지면, 알고리즘은 N 단계 내에서 시스템 시뮬레이션 스케쥴링 결과를 시뮬레이션하고, N 단계의 가지에 대해 평가를 실시한다. 그 다음, 평과 결과에 따라 최적의 경로 가지가 자재의 이동 순서 스케쥴링의 시퀀스로 결정된다. 그러나, 이 방법은 복잡한 상황하에서의 알고리즘 실시간 문제를 해결할 수 있으나, 이 방법을 통해 계산한 결과는 종종 이론상 최적의 경로가 아니며, 그렇기 때문에 특히 구조 및 자재의 경로가 비교적 간단한 장치에 대해 비교적 가공 시간이 길어지게 되고, 상기 방법을 사용하여 확정한 자재 이동 순서가 최적이 아니기 때문에 고객의 장치에 대한 요구 사항과도 상당한 거리가 있게 된다. 표 1의 두 종류의 공정을 이용하여 25개의 자재를 가공할 경우, 이론 상으로 최적의 경로에서 소요되는 시간 및 실제 N 단계로 분할된 스케쥴링을 이용하는데 소요되는 시간 사이에는 비교적 큰 차이가 있다. 표 2에 도시된 바와 같이, 차이는 N 단계로 분할된 스케쥴링 경로와 이론상 최적의 경로와의 차이값이고; 차이의 백분율은 차이와 이론상 최적 경로의 비율과 같다.
표 2는 이론상 최적 경로에서 소요되는 시간과 N 단계로 분할된 스케쥴링을 이용했을 때 실제 소요되는 시간의 대비표이다.
N 단계로 분할된 스케쥴링 경로 이론상 최적 경로 차이 차이 백분율
2스텝 공정 127.5min 124.2min 3.3min 2.70%
3스텝 공정 99.1min 92.7min 6.4min 6.90%
종합하면, 실시간 계산을 만족하고, 계산의 정확성을 향상시킬 수 있는 자재 스케쥴링 방법을 어떻게 설계하느냐 하는 것이 현재 긴급한 해결 과제이다.
상기한 기술 문제를 해결하기 위하여, 본 발명은 장치의 실시간 상태 기반 자재 스케쥴링 방법 및 시스템을 제공하여, 실시간으로 자재의 최적 경로를 획득할 수 있고, 계산 정확성을 향상시킬 수 있으며, 그로 인해 장치의 가공 효율을 향상시킬 수 있다.
상기 기술 문제를 해결하기 위해 채용된 기술 방안은 장치의 실시간 상태 기반 자재 스케쥴링 방법을 제공하는 것이며, 그 중 이하의 단계:
이미 확정된 매개 변수에 따라, 사전에 최적의 자재 스케쥴링 규칙을 획득하는 S1 단계:
모든 자재가 모두 이미 지정된 전송 및 가공 임무를 완성했는지의 여부를 판단하고, 만약 완성했다면, 스케쥴링을 종료하고; 완성하지 않았다면 S3 단계를 실행하도록 하는 S2 단계;
장치의 실시간 상태 정보에 따라 상기 자재 스케쥴링 규칙을 하나씩 통과시키고, 통과시킨 결과에 따라 상기 자재 스케쥴링 규칙에 대응하는 동작 명령을 실행하는 S3 단계;
상기 동작 명령의 실행이 완료된 후 상기 장치의 실시간 상태 정보를 대응하는 장치 상태로 업데이트하고, S2 단계로 되돌아가도록 하는 S4 단계를 포함한다.
상기 매개 변수는: 사전 세정 시간, 탈기 시간, 각 공정 위치에서 상기 자재의 공정 시간, 로봇암의 웨이퍼 픽앤플레이스 시간, 및 현재 공정 위치에서 다음 공정 위치로 상기 자재를 이동하는 시간을 포함한다.
상기 S3 단계는:
상기 장치의 실시간 상태 정보에 상태 변수를 하나씩 결합하여, 모든 상태 변수에 대응하는 동작 명령을 획득할 때까지 상기 자재 스케쥴링 규칙을 통과시키는 S31 단계; 및
이미 모든 자재의 스케쥴링 규칙을 통과시켰는지 여부를 판단하고, 만약 그렇다면, 모든 상태 변수에 대응하는 동작 명령을 실행하고; 그렇지 않으면, 상기 S31 단계로 되돌아 가도록 하는 S32 단계를 더 포함한다.
상기 S4 단계는:
모든 상기 동작 명령이 동시에 실행 종료되었는지를 판단하고, 만약 그렇다면 S42 단계를 실행하고; 그렇지 않다면, S43 단계를 실행하도록 하는 S41 단계;
상기 장치의 실시간 상태 정보를 모든 동작 명령의 실행이 완료된 후의 장치 상태로 업데이트하고, S2 단계로 돌아가도록 하는 S42 단계; 및
상기 장치의 실시간 상태 정보를 먼저 실행이 완료된 동작 명령에 대응하는 장치 상태 및 실행중인 동작 명령에 대응하는 장치 상태로 업데이트하고, S2 단계로 되돌아가도록 하는 S43 단계를 더 포함한다.
상기 장치는 적재 챔버, 사전 세정 챔버, 탈기 챔버 및 공정 챔버를 포함하고, 그 중 상기 적재 챔버 내에는 상기 사전 세정 챔버, 탈기 챔버 및 공정 챔버들 사이에서 자재를 이송하기 위한 로봇암이 배치되고; 상기 공정 챔버 내에는 독립적으로 자재를 가공하기 위하여 원주에 따라 대칭으로 복수개의 공정 위치가 분포하고, 상기 공정 챔버 내에는 회전판 및 원판이 더 배치되고, 상기 회전판은 회전을 통해 상기 자재를 대응하는 원판의 상측으로 전송하고; 상기 원판은 상하로 움직여서 상기 자재를 상기 공정 위치 또는 회전판 상으로 이송하며;
상기 자재 스케쥴링 규칙은:
상기 장치의 초기 상태 정보를 획득하는 S100 단계;
상기 로봇암의 상태를 업데이트 하는 S101 단계;
상기 원판의 상태를 업데이트 하는 S102 단계;
상기 적재 챔버가 상기 자재를 구비하는지 여부를 판단하고, 상기 사전 세정 챔버가 비어있는지 여부를 판단하며, 만약 그렇다면, S103-1 단계를 실행하고, 그렇지 않으면, S104 단계를 실행하도록 하는 S103 단계;
상기 사전 세정 챔버가 가공을 완료하였는지 여부를 판단하고, 만약 그렇다면 S105 단계를 실행하고, 그렇지 않다면 S104-1 단계를 실행하도록 하는 S104 단계;
상기 탈기 챔버가 비어있는지 여부를 판단하고, 그렇지 않다면, S105-1 단계를 실행하고, 만약 그렇다면 상기 로롯암을 비우고, S106 단계를 실행하고, 상기 로봇암이 비어있지 않으면, S107 단계를 실행하도록 하는 S105 단계;
상기 로봇암을 이용하여 상기 자재를 상기 사전 세정 챔버로부터 상기 탈기 챔버로 이송하고, 상기 사전 세정 챔버, 상기 탈기 챔버 및 상기 로봇암의 상태를 업데이트하는 S106 단계;
최종 출력인지 여부를 판단하고, 만약 그렇다면, 최종 가공 규칙에 따라 자재를 스케쥴링하고; 그렇지 않다면, S108 단계를 실행하도록 하는 S107 단계; 여기서, 상기 최종 출력은: 상기 적재 챔버가 상기 자재를 구비하지 않고, 상기 사전 세정 챔버 및 상기 탈기 챔버는 이미 공정을 완료하였으며, 단지 상기 원판 상에 미 가공된 상기 자재가 구비된 것을 나타내고,
가공이 완료되었는지 여부를 판단하고, 그렇다면 종료하고; 그렇지 않다면 S101 단계를 실행하도록 하는 S108 단계;
상기 로봇암이 비어있는지 여부를 판단하고, 만약 그렇다면, S103-2 단계를 실행하고; 그렇지 않다면, S104 단계를 실행하도록 하는 S103-1 단계;
상기 로봇암을 이용하여 상기 자재를 상기 적재 챔버로부터 상기 사전 세정 챔버로 이송하고, 상기 로봇암 및 상기 사전 세정 챔버의 상태를 업데이트하며, 그 다음 S107 단계를 실행하도록 하는 S103-2 단계;
상기 탈기 챔버의 공정이 완료되었는지 여부를 판단하고, 만약 그렇다면, 상기 로봇암을 비우고, S104-2 단계를 실행하며, 그렇지 않다면, S105 단계를 실행하도록 하는 S104-1 단계;
상기 원판이 이용 가능한지 여부를 판단하고, 그렇다면, S104-3 단계를 실행하도록 하는 S104-2 단계;
상기 로봇암을 이용하여 자재를 상기 탈기 챔버로부터 상기 공정 챔버로 이송하고, 상기 로봇암, 상기 탈기 챔버 및 상기 공정 챔버의 상태를 업데이트하며, 그 다음 S107 단계를 실행하도록 하는 S104-3 단계; 및
상기 탈기 챔버의 공정이 완료되었는지 여부를 판단하고, 그렇다면 상기 로봇암을 비우고, S104-2 단계를 실행하며; 그렇지 않다면, S106 단계를 실행하도록 하는 S105-1 단계를 포함한다.
상기 장치는 버퍼 챔버를 더 포함하고;
상기 S104-2 단계에서, 상기 원판이 이용 가능하지 않으면, S104-4 단계를 실행하며;
상기 자재 스케쥴링 규칙은:
상기 버퍼 챔버가 이용 가능한지 여부를 판단하고, 그렇다면, S104-5 단계를 실행하도록 하는 S104-4 단계; 및
상기 로봇암이 자재를 상기 탈기 챔버로부터 상기 버퍼 챔버로 이송하고, 상기 로봇암, 상기 버퍼 챔버, 상기 탈기 챔버의 상태를 업데이트하며, 그 다음 상기 S107 단계를 실행하도록 하는 S104-5 단계를 더 포함한다.
상기 최종 가공 규칙은:
상기 원판이 비어있는지 여부를 판단하고, 그렇다면 상기 회전판을 회전시켜 미가공된 자재를 상기 원판 상으로 이송하고; 상기 원판을 상승시켜 상기 자재를 대응하는 상기 공정 위치 내로 이동하여 공정을 진행하도록 한다.
상기 원판이 비어있고, 두 개 이상의 상기 공정 위치가 모두 미가공된 자재를 구비하면, 동시에 상기 미가공된 자재에 대해 공정을 진행한다.
상기 S1 단계에서, 이미 확정된 매개 변수에 근거하여 동태 규칙 이론에 따라 최적의 자재 스케쥴링 규칙을 획득한다.
다른 기술 방안으로서, 본 발명은 장치의 실시간 상태에 따라 자재를 스케쥴링하는 시스템을 제공하고, 상기 시스템은 저장부, 판단부, 스케쥴링부, 실행부 및 업데이트부를 포함하며, 그 중, 상기 저장부는 최적의 자재 스케쥴링 규칙을 미리 저장하고, 상기 자재 스케쥴링 규칙은 이미 확정된 매개 변수에 따라 획득되며; 상기 판단부는 상기 자재가 모두 지정된 이송 및 공정 임무를 완료하였는지 여부를 판단하고, 만약 그렇다면, 상기 스케쥴링부로 스케쥴링 종료 신호를 전송하고; 그렇지 않다면, 상기 스케쥴링부로 통과 신호를 전송하며; 상기 스케쥴링부가 스케쥴링 종료 신호를 수신하면, 스케쥴링을 종료하고; 상기 통과 신호를 수신하면, 상기 장치의 실시간 상태 정보에 따라 상기 저장부 내의 자재 스케쥴링 규칙을 하나씩 통과시키고, 통과 결과에 따라 상기 실행부로 상기 자재의 스케쥴링 규칙에 대응하는 동작 명령을 전송하며; 상기 실행부는 상기 스케쥴링부로부터 수신한 동작 명령을 실행하고, 상기 동작 명령이 완료되면 상기 업데이트부로 신호를 전송하며; 그리고, 상기 업데이트부는 상기 실행부로부터의 신호에 따라 상기 장치의 실시간 상태 정보를 상기 동작 명령의 실행 완료 후 대응하는 장치 상태로 업데이트하고, 상기 판단부로 업데이트 판단 신호를 전송한다.
상기 매개 변수는: 사전 세정 시간, 탈기 시간, 각 공정 위치에서 상기 자재의 공정 시간, 로봇암의 웨이퍼 픽앤플레이스 시간, 및 현재 공정 위치에서 다음 공정 위치로 상기 자재를 이동하는 시간을 포함한다.
상기 스케쥴링부는 통과 모듈 및 제1 판단 모듈을 포함하고, 그 중, 상기 통과 모듈은 상기 통과 신호가 수신되면, 상기 장치의 실시간 상태 정보에 상태 변수를 하나씩 결합하여, 모든 매개 변수에 대응하는 동작 명령을 획득할 때까지 상기 자재 스케쥴링 규칙을 통과시키고, 상기 제1 판단 모듈은 상기 통과 모듈이 이미 모든 자재의 스케쥴링 규칙을 통과시켰는지 여부를 판단하고, 만약 그렇다면, 상기 통과 모듈이 상기 실행부 측으로 모든 상태 변수에 대응하는 동작 명령을 전송하도록 제어하고; 그렇지 않으면, 상기 통과 모듈이 상기 자재 스케쥴링 규칙을 계속 통과시키도록 제어한다.
상기 업데이트부는 업데이트 모듈 및 제2 판단 모듈을 포함하고, 그 중, 상기 제2 판단 모듈은 상기 실행부로부터의 신호에 따라 상기 동작 명령이 모두 동시에 실행 완료되었는지 여부를 판단하고, 만약 그렇다면 상기 업데이트 모듈 측으로 제1 신호를 전송하고; 그렇지 않으면 상기 업데이트 모듈 측으로 제2 신호를 전송하며; 상기 업데이트 모듈이 상기 제2 판단 모듈로부터 제1 신호를 수신하면, 상기 장치의 실시간 상태 정보를 모든 동작 명령이 완료된 후의 장치 상태로 업데이트하고, 상기 판단부로 업데이트 판단 신호를 전송하며; 상기 제2 판단 모듈로부터 제2 신호를 수신하면 상기 장치의 실시간 상태 정보를 미리 실행된 동작 명령에 대응하는 장치 상태 및 실행 중인 동작 명령에 대응하는 장치 상태로 업데이트하고, 상기 판단부로 업데이트 판단 신호를 전송한다.
본 발명이 제공하는 장치의 실시간 상태 기반 자재 스케쥴링 방법은, 사전에 온라인에서 이미 확정된 매개 변수에 따라 최적의 자재 스케쥴링 규칙을 획득하고, 그 후 온라인 상에서 스케쥴링할 때, 장치의 실시간 상태 정보에 근거하여 상기 자재 스케쥴링 규칙을 하나씩 통과시키고, 통과 결과에 따라 자재 스케쥴링 규칙에 대응하는 동작 명령을 실행한다. 이러한 온라인에서 자재의 스케쥴링 규칙을 획득하고, 온라인 상에서 장치의 실시간 상태 정보를 자재의 스케쥴링 규칙과 매칭시키는 방법은 자재의 최적 경로를 획득할 수 있을 뿐만 아니라 계산의 정확성을 향상시킬 수 있고, 또한 장치의 가공 효율을 향상시킬 수 있다.
본 발명이 제공하는 장치의 실시간 상태 기반 자재 스케쥴링 시스템은 저장부의 도움을 받아 미리 최적의 자재 스케쥴링 규칙을 저장하고, 스케쥴일부를 통해 장치의 실시간 상태 정보에 따라 자재의 스케쥴링 규칙을 하나씩 통과시키며, 통과 결과에 따라 제어부는 자재 스케쥴링 규칙에 대응하는 동작 명령을 실행하도록 제어함으로써, 실시간으로 자재의 최적 경로를 획득할 수 있을 뿐만 아니라, 계산의 정확성을 향상시킬 수 있고, 장치의 가공 효율을 향상시킬 수 있다.
도 1은 일반적인 분산 브래그 반사경 장치의 구조를 나타낸 개략도이고;
도 2는 본 발명의 제1 실시예에 따른 장치의 실시간 상태 기반 자재 스케쥴링 방법을 나타낸 흐름도이고;
도 3은 본 발명의 제2 실시예에 따른 장치의 실시간 상태 기반 자재 스케쥴링 방법을 나타낸 흐름도이며; 및
도 4는 본 발명의 제2 실시예에 따른 자재 스케쥴링 규칙을 나타낸 개략도이고;
도 5는 본 발명의 실시예에 따른 장치의 실시간 상태 기반 자재 스케쥴링 시스템의 원리 블럭도이다.
본 발명의 목적, 기술 방안 및 장점을 더 명백하게 하기 위하여, 아래 도면을 참조하여 본 발명이 제공하는 장치의 실시간 상태 기반 자재 스케쥴링 방법 및 시스템에 대해서 설명한다. 여기서 서술된 구체적인 실시예는 단지 본 발명의 이해를 돕기 위한 것이며, 본 발명을 한정하기 위한 것이 아니다.
도 2는 본 발명의 제1 실시예에 따른 장치의 실시간 상태 기반 자재 스케쥴링 방법을 나타낸 흐름도이다. 도 2를 참조하면, 상기 자재 스케쥴링 방법은:
이미 확정된 매개 변수에 따라, 사전에 최적의 자재 스케쥴링 규칙을 획득하는 S1 단계,
모든 자재가 모두 이미 지정된 전송 및 공정 임무를 완성했는지의 여부를 판단하고, 만약 완성했다면, 스케쥴링을 종료하고; 완성하지 않았다면 S3 단계를 실행하도록 하는 S2 단계,
장치의 실시간 상태 정보에 따라 상기 자재 스케쥴링 규칙을 하나씩 통과시키고, 통과시킨 결과에 따라 상기 자재 스케쥴링 규칙에 대응하는 동작 명령을 실행하는 S3 단계,
상기 동작 명령의 실행이 완료된 후 상기 장치의 실시간 상태 정보를 대응하는 장치 상태로 업데이트하고, S2 단계로 되돌아가도록 하는 S4 단계를 포함한다.
S1 단계는 온라인에서 진행되며, 상기 단계 S1에서의, 자재 스케쥴링 규칙은 모든 공정 과정에서 자재의 이송 순서를 나타내는 것이다. 실제 응용에서, 자재를 이송 및 자재를 가공하는 시간이 서로 다르고, 또한 장치는 종종 복수개의 자재에 대해 동시에 연속 가공을 진행하기 때문에, 장치 내에 유휴 자원이 존재하게 되고, 이 유휴 자원은 병목 현상을 발생시킨다. 따라서, 자재의 이송 순서 및 공정 챔버 내에서 각각의 공정 위치에서 공정을 시작하는 시간 등을 어떻게 배치하느냐 하는 것(즉, 최적의 자재 스케쥴링 규칙을 설정하는 것)은 장치의 생산 능력을 향상시키는 중요한 요소이다. 이밖에, 상기 자재 스케쥴링 규칙은 이미 확정된 매개 변수에 의해 제정된 것이며, 상기 매개 변수는 구체적으로: 사전 세정 시간, 탈기 시간, 각 공정 위치에서 상기 자재의 공정 시간, 로봇암의 웨이퍼 픽앤플레이스 시간, 및 현재 공정 위치에서 다음 공정 위치로 상기 자재를 이동하는 시간 등등을 포함한다.
상기 매개 변수에 근거하여 동태 규칙 이론(수학 모형과 유사)에 따라 최적의 자재 스케쥴링 규칙을 획득하여, 장치의 생산 능력을 향상시키는 목적을 달성할 수 있다.
S3 단계에서, 장치의 실시간 상태 정보는 챔버, 로봇암 등의 현재 동작 상태를 나타내는 것이며, 다수의 상태 변수, 예를 들어 챔버에 자재가 있는지의 여부, 챔버가 가공을 완료하였는지의 여부, 로봇암이 비어있는지의 여부 등등을 포함한다.
사전에 온라인에서 이미 확정된 매개 변수에 근거하여, 최적의 자재 스케쥴링 규칙을 획득하고, 그 후 온라인 상에서 스케쥴링을 할 때, 장치의 실시간 상태 정보에 따라 상기 자재의 스케쥴링 규칙을 통과시키고, 통과 결과에 따라 자재의 스케쥴링 규칙에 대응하는 동작 명령을 실행한다. 온라인에서 자재의 스케쥴링 규칙을 획득하고, 온라인 상에서 장치의 실시간 상태 정보를 자재의 스케쥴링 규칙과 매칭시키는 방법은 자재의 최적 경로를 획득할 수 있을 뿐만 아니라 계산의 정확성을 향상시킬 수 있고, 또한 장치의 가공 효율을 향상시킬 수 있다.
도 3은 본 발명의 제2 실시예에 따른 장치의 실시간 상태 기반 자재의 스케쥴링 방법을 나타낸 흐름도이다. 도 3을 참조하면, 상기 자재 스케쥴링 방법은 이하의 단계를 포함한다:
S11 단계에서, 이미 확정된 매개 변수에 따라, 미리 최적의 자재 스케쥴링 규칙을 획득한다.
S12 단계에서, 모든 자재가 이미 지정된 이송된 공정 임무를 모두 완성하였는지 여부를 판단하고, 만약 그렇다면 스케쥴링을 종료하고; 그렇지 않다면, S13 단계를 실행하도록 한다.
S13 단계에서, 장치의 실시간 상태에 상태 변수를 하나씩 결합하여, 모든 상태 변수에 대응하는 동작 명령을 획득할 때까지 상기 자재 스케쥴링 규칙을 통과시킨다.
S14 단계에서, 이미 모든 자재의 스케쥴링 규칙을 통과시켰는지 여부를 판단하고, 만약 그렇다면, S15 단계를 실행하고, 그렇지 않다면, S13 단계로 되돌아 가도록 한다.
S15 단계에서, 모든 상태 변수에 대응하는 동작 명령을 실행한다.
S16 단계에서, 모든 상기 동작 명령이 동시에 실행 종료되었는지를 판단하고; 만약 그렇다면 S17 단계를 실행하고; 그렇지 않다면, S18 단계를 실행한다.
S17 단계에서, 장치의 실시간 상태 정보를 모든 동작 명령의 실행이 완료된 후의 장치 상태로 업데이트하고, S12 단계로 되돌아 간다.
S18 단계에서, 장치의 실시간 상태 정보를 먼저 실행이 완료된 동작 명령에 대응하는 장치 상태 및 실행중인 동작 명령에 대응하는 장치 상태로 업데이트하고, S12 단계로 되돌아 간다.
단계 S13에서, 장치의 실시간 상태 정보는 복수개의 상태 변수를 포함하고, 모든 상태 변수에 대응하는 동작 명령을 획득할 때까지 각 상태 변수에 대해서 상기 자재 스케쥴링 규칙을 통과시킨다. 또한, 이전 상태 변수가 자재 스케쥴링 규칙 통과를 완료하고, 대응하는 동작 명령을 획득하면, 바로 그 동작 명령을 실행하지 않고 저장되며, 모든 상태 변수에 대응하는 동작 명령이 획득된 이후에 다시 같이 실행된다.
모든 동작 명령의 실행 완료 시간은 두 가지 상황이 존재한다. 즉, 제1 상황은 모든 동작 명령이 동시에 완료되는 상황이고; 제2 상황은 모든 동작 명령 중 먼저 실행 완료되는 동작 명령이 존재하는 상황이다. 따라서, S16 단계는 상기 두 가지 서로 다른 상황에 대해서 판단을 진행하고, 장치의 상태에 대해서 업데이트를 진행한다. 만약, 제1 상황이며, 단계 S17을 실행하고; 만약 제2 상황이면, S18 단계를 실행한다.
이하, 도 1에 도시된 분산 브래그 반사경 장치를 예로 들어, 본 발명의 실시예에 따른 자재 스케쥴링 규칙을 상세하게 설명하기로 한다. 구체적으로, 상기 장치는 적재 챔버, 사전 세정 챔버, 탈기 챔버 및 공정 챔버를 포함하고, 그 중 상기 적재 챔버 내에는 사전 세정 챔버, 탈기 챔버 및 공정 챔버들 사이에서 자재를 이송하기 위한 로봇암이 배치된다. 공정 챔버 내에는 독립적으로 자재를 가공하기 위하여 원주에 따라 대칭으로 복수개의 공정 위치가 분포하고, 가공 챔버 내에는 회전판 및 원판이 더 배치되며, 회전판은 회전을 통해 자재를 대응하는 원판의 상측으로 전송하고; 원판은 상하로 움직여서 상기 자재를 공정 위치 또는 회전판 상으로 이송시킨다.
다시 말해, 원판은 각 공정 위치의 하측에 일대일로 대응하여 위치한다. 회전판 상에는 원주를 따라 균일하게 분포하고 자재를 지지하기 위한 복수개의 지지 위치가 구비된다. 로봇암은 지정된 픽앤플레이스 위치에서 자재를 회전판 상의 각 지지 위치로 이송한다. 회전판의 회전을 통해 각 지지 위치가 각 원판의 상측에 일대일 대응하도록 회전하고, 각 원판을 상승시켜 일대일 대응하는 회전판의 각 지지 위치 상의 자재를 들어올리고, 이를 공정 위치로 이송하여 공정을 진행한다. 공정 완료 후, 원판을 하강시켜, 자재가 회전판 상으로 다시 이송되도록 하고, 회전판의 회전을 통해 자재를 지정된 픽앤플레이스 위치로 회전시켜, 로봇암에 의해 인출되도록 한다.
도 4는 본 발명의 제2 실시예에 따른 자재 스케쥴링 규칙을 나타낸 개략도이다. 도 4를 참조하면, 자재 스케쥴링 규칙은:
상기 장치의 초기 상태 정보를 획득하는 S100 단계;
상기 로봇암의 상태를 업데이트 하는 S101 단계;
상기 원판의 상태를 업데이트 하는 S102 단계;
상기 적재 챔버가 상기 자재를 구비하는지 여부를 판단하고, 상기 사전 세정 챔버가 비어있는지 여부를 판단하며, 만약 그렇다면, 단계 S103-1을 실행하고, 그렇지 않으면, S104 단계를 실행하도록 하는 S103 단계;
상기 사전 세정 챔버가 가공을 완료하였는지 여부를 판단하고, 만약 그렇다면 S105 단계를 실행하고, 그렇지 않다면 S104-1 단계를 실행하도록 하는 S104 단계;
상기 탈기 챔버가 비어있는지 여부를 판단하고, 만약 그렇지 않다면, S105-1 단계를 실행하고, 그렇다면 상기 로롯암을 비우고, S106 단계를 실행하고, 상기 로봇암이 비어있지 않으면, S107 단계를 실행하도록 하는 S105 단계;
상기 로봇암을 이용하여 상기 자재를 상기 사전 세정 챔버로부터 상기 탈기 챔버로 이송하고, 상기 사전 세정 챔버, 상기 탈기 챔버 및 상기 로봇암의 상태를 업데이트하는 S106 단계;
최종 출력인지 여부를 판단하고, 만약 그렇다면, 최종 가공 규칙에 따라 자재를 스케쥴링하고; 그렇지 않다면, S108 단계를 실행하도록 하는 S107 단계; 여기서, 상기 최종 출력은: 상기 적재 챔버가 상기 자재를 구비하지 않고, 상기 사전 세정 챔버 및 상기 탈기 챔버는 이미 공정을 완료하였으며, 단지 상기 원판 상에 미 가공된 상기 자재가 구비된 것을 나타내고,
가공이 완료되었는지 여부를 판단하고, 만약 그렇다면 종료하고; 그렇지 않다면 S101 단계를 실행하도록 하는 S108 단계;
상기 로봇암이 비어있는지 여부를 판단하고, 만약 그렇다면, S103-2 단계를 실행하고; 그렇지 않다면, S104 단계를 실행하도록 하는 S103-1 단계;
상기 로봇암을 이용하여 상기 자재를 상기 적재 챔버로부터 상기 사전 세정 챔버로 이송하고, 상기 로봇암 및 상기 사전 세정 챔버의 상태를 업데이트하며, 그 다음 S107 단계를 실행하도록 하는 S103-2 단계;
상기 탈기 챔버의 공정이 완료되었는지 여부를 판단하고, 만약 그렇다면, 상기 로봇암을 비우고, S104-2 단계를 실행하며, 그렇지 않다면, S105 단계를 실행하도록 하는 S104-1 단계;
상기 원판이 이용 가능한지 여부를 판단하고, 만약 그렇다면, S104-3 단계를 실행하도록 하는 S104-2 단계;
상기 로봇암을 이용하여 자재를 상기 탈기 챔버로부터 상기 공정 챔버로 이송하고, 상기 로봇암, 상기 탈기 챔버 및 상기 공정 챔버의 상태를 업데이트하며, 그 다음 S107 단계를 실행하도록 하는 S104-3 단계;
상기 탈기 챔버의 공정이 완료되었는지 여부를 판단하고, 만약 그렇다면 상기 로봇암을 비우고, S104-2 단계를 실행하며; 그렇지 않다면, S106 단계를 실행하도록 하는 S105-1 단계를 포함한다.
S101 단계에서, 로봇암의 이송 시작 시간, 이송 대상 및 현재 시간에 따라 로봇암의 이송 과정이 종료하였는지 여부를 판단하고, 판단 결과에 따라 로봇암의 상태를 업데이트한다. 상기 로봇암의 이송 시작 시간 및 이송 대상은 로봇암의 상태 변수에 기록될 수 있다.
S102 단계에서, 자재 가공의 시작 시간, 자재 가공 소요 시간 및 현재 시간에 따라, 자재 가공이 완료되었는지 여부를 판단하고, 판단 결과에 따라 원판의 상태를 업데이트 하며; 그리고, 회전판의 회전 시작 시간, 회전 소요 시간 및 현재 시간에 따라 회전판의 회전이 완료되었는지 여부를 판단하고, 판단 결과에 따라 원판의 상태를 업데이트 한다. 다시 말해, 원판이 비어있는 상태이면, 즉 회전판이 회전하지 않아 동시에 원판이 가공 위치에 있지 않으면, 이러한 상황에서, 제1 공정 위치에 미가공된 자재가 있으면 공정을 시작한다. 만약 원판이 비어있는 상태이고, 동시에 회전판 상의 반송 위치에 대기하고 있는 자재가 있으면, 이러한 상황에서 회전판이 먼저 회전하여 상기 자재가 제1 공정 위치의 하측으로 회전하면, 원판을 이용하여 자재를 상기 제1 공정 위치로 상승시키고; 그 다음, 회전판의 회전이 완료된 후, 회전판의 제2 공정 위치 하측에 위치하는 지지 위치에 가공을 대기하는 자재가 있는지 여부를 판단하고, 만약 있으면, 원판을 이용하여 상기 자재를 상기 제2 공정 위치까지 상승시키고, 제1 공정 위치 및 제2 공정 위치에서 동시에 가공을 진행하고, 가공 시간은 두 가공 위치의 가공 시간 중 가장 긴 시간을 취한다. 만약 없으면, 제1 가공 위치에서만 가공을 진행한다. 원판이 비어있는 상태이고, 동시에 회전판의 제1 지지 위치(즉 반송 위치) 상에 이미 가공 완료된 자재가 있으면, 로봇암을 이용하여 상기 자재를 인출하고, 로봇암의 상태 및 원판의 상태를 업데이트 한다.
S107 단계에서, 최종 가공 규칙은: 원판이 비어있는지 여부를 판단하고, 만약 그렇다면 상기 회전판을 회전시켜 미가공된 자재를 상기 원판 상으로 이송하고; 상기 원판을 상승시켜 상기 자재를 대응하는 상기 공정 위치 내로 이동시켜 공정을 진행하도록 한다. 다시 말해, 원판이 비어있는 상태이고, 동시에 회전판의 제2 공정 위치의 하측에 위치하는 지지 위치 상에 가공을 대기하거나 이미 가공이 완료된 자재가 있으면, 회전판을 회전시킨다. 만약, 제1 공정 위치 및 제2 공정 위치 내에 모두 가공을 대기하는 자재가 있으면, 두 자재 모두 동시에 가공을 진행하고, 가공 시간은 두 공정 위치의 가공 시간 중 가장 긴 시간을 취한다. 만약, 제2 공정 위치에만 가공을 대기하는 자재가 있으면 가공을 시작하고, 가공 시간은 제2 공정 위치의 공정 시간이 된다. 기타 상황에 대해서, 회전판 상에 자재가 있기만 하면, 회전판을 회전시키고; 만약 회전판 상에 자재가 없으면 가공 완료를 표시하고 과정을 종료한다. 설명이 필요한 것은, 본 실시예는 두 공정 위치에서의 가공 방식을 예로 들어 설명하였으나, 본 발명은 이에 한정되지 않고, 실제 응용에서, 세 개 이상의 공정 위치에서 가공하는 방식은 두 개의 공정 위치에서 가공하는 방식과 유사하다.
장치가 버퍼 챔버를 더 포함하면, 자재 스케쥴링 규칙은;
상기 S104-2 단계에서, 상기 원판이 이용 가능하지 않으면, S104-4 단계를 실행하도록 하고,
상기 버퍼 챔버가 이용 가능한지 여부를 판단하고, 만약 그렇다면, 단계 S104-5를 실행하고; 그렇지 않으면, S105 단계를 실행하도록 하는 S104-4 단계; 및
상기 로봇암이 자재를 상기 탈기 챔버로부터 상기 버퍼 챔버로 이송하고, 상기 로봇암, 상기 버퍼 챔버, 상기 탈기 챔버의 상태를 업데이트하며, 그 다음 상기 S107 단계를 실행하도록 하는 S104-5 단계를 더 포함한다.
이상 분산 브래그 반사경 장치를 기반으로 하여, 온라인에서 계산을 통해 자재 스케쥴링 규칙을 획득한다. 상기 자재 스케쥴링 규칙은 장치의 제어 시스템을 도입하고, 상기 시스템은 장치의 실시간 상태 정보에 따라 자재 스케쥴링 규칙을 통과시키며, 통과 결과에 따라 모든 자재가 이미 지정된 이송 및 공정 임무를 완료했는지 여부를 판단할 때까지 자재 스케쥴링 규칙에 대응하는 동작 명령을 실행한다. 이러한 온라인에서 자재 스케쥴링 규칙을 획득하고, 온라인 상에서 장치의 실시간 상태 정보를 자재의 스케쥴링 규칙과 매칭시키는 방식은 실시간으로 자재의 최적 경로를 획득할 수 있을 뿐만 아니라, 계산의 정확성을 향상시킬 수 있고, 장치의 가공 효율을 향상시킬 수 있다.
본 발명의 장치의 실시간 정보 기반 자재 스케쥴링 방법에 대응하여, 본 발명은 장치의 실시간 정보 기반 자재 스케쥴링 시스템을 더 제공하고, 도 5는 본 발명의 실시예에 따른 장치의 실시간 상태 기반 자재의 스케쥴링 시스템의 원리 블럭도이다. 도 5를 참조하면, 자재 스케쥴링 시스템은 저장부(100), 판단부(200), 스케쥴링부(300), 실행부(400) 및 업데이트부(500)를 포함하며, 그 중, 상기 저장부(100)는 가장 바람직한 자재 스케쥴링 규칙을 미리 저장하고, 상기 자재 스케쥴링 규칙의 제정은 온라인에서 진행된 것이며, 이미 확정된 매개 변수에 따라 획득되며, 그 다음 저장부(100)에 저장된다. 자재 스케쥴링 규칙 및 매개 변수는 이미 상기 자재 스케쥴링 방법에서 상세하게 서술되어, 여기서 다시 서술하지는 않는다.
판단부(200)는 모든 자재가 지정된 이송 및 공정 임무를 모두 완료하였는지 여부를 판단하고, 만약 그렇다면, 스케쥴링부(300)로 스케쥴링 종료 신호를 전송하고; 만약 그렇지 않다면, 스케쥴링부(300)로 통과 신호를 전송한다. 스케쥴링부(300)는 스케쥴링 종료 신호를 수신하면, 스케쥴링을 종료하고; 상기 통과 신호를 수신하면, 상기 장치의 실시간 상태 정보에 따라 저장부(100) 내의 자재 스케쥴링 규칙을 하나씩 통과시키고, 통과 결과에 따라 실행부(400)로 자재의 스케쥴링 규칙에 대응하는 동작 명령을 전송한다. 실행부(400)는 스케쥴링부(300)로부터 수신한 동작 명령을 실행하고, 상기 동작 명령이 완료되면 업데이트부(500)로 신호를 전송한다. 업데이트부(500)는 실행부(400)로부터의 신호에 따라 장치의 실시간 상태 정보를 동작 명령의 실행 완료 후 대응하는 장치 상태로 업데이트하고, 판단부(200)로 업데이트 판단 신호를 전송한다.
저장부(100)의 도움을 받아 미리 최적의 자재 스케쥴링 규칙을 저장하고, 스케쥴일부(300)를 통해 장치의 실시간 상태 정보에 따라 상기 자재의 스케쥴링 규칙을 하나씩 통과시키며, 통과 결과에 따라 제어부(400)는 자재 스케쥴링 규칙에 대응하는 동작 명령을 실행하도록 제어함으로써, 실시간으로 자재의 최적 경로를 획득할 수 있을 뿐만 아니라, 계산의 정확성을 향상시킬 수 있고, 장치의 가공 효율을 향상시킬 수 있다.
또한, 스케쥴링부(300)는 통과 모듈(301) 및 제1 판단 모듈(302)을 포함하고, 그 중, 통과 모듈(301)은 판단부(200)로부터 통과 신호가 수신되면, 장치의 실시간 상태 정보에 상태 변수를 하나씩 결합하여, 모든 상태 변수에 대응하는 동작 명령을 획득할 때까지 자재 스케쥴링 규칙을 통과시킨다. 제1 판단 모듈(302)은 통과 모듈(301)이 이미 모든 자재의 스케쥴링 규칙을 통과시켰는지 여부를 판단하고, 만약 그렇다면, 통과 모듈(301)이 실행부(400) 측으로 모든 상태 변수에 대응하는 동작 명령을 전송하도록 제어하고; 그렇지 않으면, 통과 모듈(301)이 자재 스케쥴링 규칙을 계속 통과시키도록 제어한다.
장치의 실시간 상태 정보는 복수의 상태 변수를 포함하고, 통과 모듈(301)은 각 상태 변수에 대해 자재 스케쥴링 규칙을 통과시켜, 모든 상태 변수에 대응하는 동작 명령을 획득하도록 한다. 또한, 이전 상태 변수가 자재 스케쥴링 규칙 통과를 완료하고, 대응하는 동작 명령을 획득하면, 통과 모듈(301)은 바로 실행부(400) 측으로 자재 스케쥴링 규칙에 대응하는 동작 명령을 전송하지 않고, 이를 저장부(100)에 저장한다. 그 다음, 제1 판단 모듈(302)은 통과 모듈(301)이 모든 자재 스케쥴링 규칙을 통과시켰는지 여부를 판단하고, 모든 상태 변수에 대응하는 동작 명령을 획득 한 후, 실행부(400) 측으로 모든 동작 명령을 동시에 전송한다.
이밖에, 모든 동작 명령의 실행이 완료되는 시간은 두 종류의 상황이 존재한다. 즉, 제1 상황은 모든 동작 명령이 실행을 완료하는 것이고; 제2 상황은 모든 동작 명령 중 먼저 실행이 완료된 동작 명령이 존재하는 것이다. 따라서, 업데이트부(500)는 업데이트 모듈(502) 및 제2 판단 모듈(501)을 더 포함하고, 그 중, 상기 제2 판단 모듈(501)은 실행부(400)로부터의 신호에 따라 모든 동작 명령이 동시에 실행 완료되었는지 여부를 판단하고, 만약 그렇다면 업데이트 모듈(502) 측으로 제1 신호를 전송하고; 만약 그렇지 않으면 업데이트 모듈(502) 측으로 제2 신호를 전송한다. 업데이트 모듈(502)이 제2 판단 모듈(501)로부터 제1 신호를 수신하면, 장치의 실시간 상태 정보를 모든 동작 명령이 완료된 후의 장치 상태로 업데이트하고, 판단부(200)로 업데이트 판단 신호를 전송한다. 업데이트 모듈(502)이 제2 판단 모듈(501)로부터 제2 신호를 수신하면, 장치의 실시간 상태 정보를 미리 실행된 동작 명령에 대응하는 장치 상태 및 실행 중인 동작 명령에 대응하는 장치 상태로 업데이트하고, 판단부(200)로 업데이트 판단 신호를 전송한다. 이로부터 알 수 있듯이, 제2 판단 모듈(501)을 이용하여 상기한 두 종류의 서로 다른 상황에 대해서 판단을 진행하고, 업데이트 모듈(502)을 이용하여 이러한 두 종류의 상황에 대해 장치의 상태를 업데이트한다.
이상 실시예들은 단지 본 발명의 몇 개의 실시 방식을 대표하는 것이고, 그 설명이 비교적 구체적이고 상세하지만, 본 발명의 특허청구범위를 제한하는 것으로 해석되지 않는다. 반드시 지적하고자 하는 것은, 해당 영역의 통상적인 기술자에게 있어서, 본 발명의 사상을 벗어나지 않는다는 전제하에서, 약간의 변형 및 개량을 진행할 수 있으며, 이것은 모두 본 발명의 보호 범위에 속한다.

Claims (13)

  1. 이미 확정된 매개 변수에 따라, 사전에 최적의 자재 스케쥴링 규칙을 획득하는 S1 단계:
    모든 자재가 모두 이미 지정된 이송 및 공정 임무를 완성했는지의 여부를 판단하고, 만약 완성했다면, 스케쥴링을 종료하고; 완성하지 않았다면 S3 단계를 실행하도록 하는 S2 단계;
    장치의 실시간 상태 정보에 따라 상기 자재 스케쥴링 규칙을 하나씩 통과시키고, 통과시킨 결과에 따라 상기 자재 스케쥴링 규칙에 대응하는 동작 명령을 실행하는 S3 단계; 및
    상기 동작 명령의 실행이 완료된 후 상기 장치의 실시간 상태 정보를 대응하는 장치 상태로 업데이트하고, S2 단계로 되돌아가도록 하는 S4 단계를 포함하는 장치 실시간 상태 기반 자재 스케쥴링 방법.
  2. 제1항에 있어서, 상기 매개 변수는: 사전 세정 시간, 탈기 시간, 각 공정 위치에서 상기 자재의 공정 시간, 로봇암의 픽앤플레이스 시간, 및 현재 공정 위치에서 다음 공정 위치로 상기 자재를 이동하는 시간을 포함하는 것을 특징으로 하는 장치 실시간 상태 기반 자재 스케쥴링 방법.
  3. 제1항에 있어서, 상기 S3 단계는:
    상기 장치의 실시간 상태 정보에 상태 변수를 하나씩 결합하여, 모든 상태 변수에 대응하는 동작 명령을 획득할 때까지 상기 자재 스케쥴링 규칙을 통과시키는 S31 단계; 및
    이미 모든 자재의 스케쥴링 규칙을 통과시켰는지 여부를 판단하고, 만약 그렇다면, 모든 상태 매개 변수에 대응하는 동작 명령을 실행하고; 그렇지 않으면, 상기 S31 단계로 되돌아 가도록 하는 S32 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 장치 실시간 상태 기반 자재 스케쥴링 방법.
  4. 제1항에 있어서, 상기 S4 단계는:
    모든 상기 동작 명령이 동시에 실행 종료되었는지를 판단하고, 만약 그렇다면 S42 단계를 실행하고; 그렇지 않다면, S43 단계를 실행하도록 하는 S41 단계;
    상기 장치의 실시간 상태 정보를 모든 동작 명령의 실행이 완료된 후의 장치 상태로 업데이트하고, S2 단계로 돌아가도록 하는 S42 단계; 및
    상기 장치의 실시간 상태 정보를 먼저 실행이 완료된 동작 명령에 대응하는 장치 상태 및 실행중인 동작 명령에 대응하는 장치 상태로 업데이트하고, S2 단계로 되돌아가도록 하는 S43 단계를 더 포함 하는 것을 특징으로 하는 장치 실시간 상태 기반 자재 스케쥴링 방법.
  5. 제1항에 있어서, 상기 장치는 적재 챔버, 사전 세정 챔버, 탈기 챔버 및 공정 챔버를 포함하고,
    그 중 상기 적재 챔버 내에는 상기 사전 세정 챔버, 탈기 챔버 및 공정 챔버들 사이에서 자재를 이송하기 위한 로봇암이 배치되고; 상기 공정 챔버 내에는 독립적으로 자재를 가공하기 위하여 원주에 따라 대칭으로 복수개의 공정 위치가 분포하고, 상기 가공 챔버 내에는 회전판 및 원판이 더 배치되고, 상기 회전판은 회전을 통해 상기 자재를 대응하는 원판의 상측으로 이송하고; 상기 원판은 상하로 움직여서 상기 자재를 상기 공정 위치 또는 회전판 상으로 이송하며;
    상기 자재 스케쥴링 규칙은:
    상기 장치의 초기 상태 정보를 획득하는 S100 단계;
    상기 로봇암의 상태를 업데이트 하는 S101 단계;
    상기 원판의 상태를 업데이트 하는 S102 단계;
    상기 적재 챔버가 상기 자재를 구비하는지 여부를 판단하고, 상기 사전 세정 챔버가 비어있는지 여부를 판단하며, 만약 그렇다면, 단계 S103-1을 실행하고, 그렇지 않으면, S104 단계를 실행하도록 하는 S103 단계;
    상기 사전 세정 챔버가 가공을 완료하였는지 여부를 판단하고, 만약 그렇다면 S105 단계를 실행하고, 그렇지 않다면 S104-1 단계를 실행하도록 하는 S104 단계;
    상기 탈기 챔버가 비어있는지 여부를 판단하고, 만약 그렇지 않다면, S105-1 단계를 실행하고, 그렇다면 상기 로롯암을 비우고, S106 단계를 실행하고, 상기 로봇암이 비어있지 않으면, S107 단계를 실행하도록 하는 S105 단계;
    상기 로봇암을 이용하여 상기 자재를 상기 사전 세정 챔버로부터 상기 탈기 챔버로 이송하고, 상기 사전 세정 챔버, 상기 탈기 챔버 및 상기 로봇암의 상태를 업데이트하는 S106 단계;
    최종 출력인지 여부를 판단하고, 만약 그렇다면, 최종 가공 규칙에 따라 자재를 스케쥴링하고; 그렇지 않다면, S108 단계를 실행하도록 하는 S107 단계; 여기서, 상기 최종 출력은: 상기 적재 챔버가 상기 자재를 구비하지 않고, 상기 사전 세정 챔버 및 상기 탈기 챔버는 이미 공정을 완료하였으며, 상기 원판 상에 미 가공된 상기 자재가 구비된 것을 나타내고,
    가공이 완료되었는지 여부를 판단하고, 만약 그렇다면 종료하고; 그렇지 않다면 S101 단계를 실행하도록 하는 S108 단계;
    상기 로봇암이 비어있는지 여부를 판단하고, 만약 그렇다면, S103-2 단계를 실행하고; 그렇지 않다면, S104 단계를 실행하도록 하는 S103-1 단계;
    상기 로봇암을 이용하여 상기 자재를 상기 적재 챔버로부터 상기 사전 세정 챔버로 이송하고, 상기 로봇암 및 상기 사전 세정 챔버의 상태를 업데이트하며, 그 다음 S107 단계를 실행하도록 하는 S103-2 단계;
    상기 탈기 챔버의 공정이 완료되었는지 여부를 판단하고, 만약 그렇다면, 상기 로봇암을 비우고, S104-2 단계를 실행하며, 그렇지 않다면, S105 단계를 실행하도록 하는 S104-1 단계;
    상기 원판이 이용 가능한지 여부를 판단하고, 만약 그렇다면, S104-3 단계를 실행하도록 하는 S104-2 단계;
    상기 로봇암을 이용하여 자재를 상기 탈기 챔버로부터 상기 공정 챔버로 이송하고, 상기 로봇암, 상기 탈기 챔버 및 상기 공정 챔버의 상태를 업데이트하며, 그 다음 S107 단계를 실행하도록 하는 S104-3 단계; 및
    상기 탈기 챔버의 공정이 완료되었는지 여부를 판단하고, 만약 그렇다면 상기 로봇암을 비우고, S104-2 단계를 실행하며; 그렇지 않다면, S106 단계를 실행하도록 하는 S105-1 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 장치 실시간 상태 기반 자재 스케쥴링 방법.
  6. 제5항에 있어서, 상기 장치는 버퍼 챔버를 더 포함하고;
    상기 S104-2 단계에서, 상기 원판이 이용 가능하지 않으면, S104-4 단계를 실행하도록 하며;
    상기 자재 스케쥴링 규칙은:
    상기 버퍼 챔버가 이용 가능한지 여부를 판단하고, 만약 그렇다면, S104-5 단계를 실행하도록 하는 S104-4 단계; 및
    상기 로봇암이 자재를 상기 탈기 챔버로부터 상기 버퍼 챔버로 이송하고, 상기 로봇암, 상기 버퍼 챔버, 상기 탈기 챔버의 상태를 업데이트하며, 그 다음 상기 S107 단계를 실행하도록 하는 S104-5 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 장치 실시간 상태 기반 자재 스케쥴링 방법.
  7. 제5항에 있어서, 상기 최종 가공 규칙은:
    상기 원판이 비어있는지 여부를 판단하고, 만약 그렇다면 상기 회전판을 회전시켜 미가공된 자재를 상기 원판 상으로 이송시키고; 상기 원판을 상승시켜 상기 자재를 대응하는 상기 공정 위치 내로 이동시킴으로써 공정을 진행하도록 하는 것을 특징으로 하는 장치 실시간 상태 기반 자재 스케쥴링 방법.
  8. 제7항에 있어서, 상기 원판이 비어있고, 두 개 이상의 상기 공정 위치가 모두 미가공된 자재를 구비하면, 동시에 상기 미가공된 자재에 대해 공정을 진행하는 것을 특징으로 하는 장치 실시간 상태 기반 자재 스케쥴링 방법.
  9. 제1항에 있어서, 상기 S1 단계에서, 이미 확정된 매개 변수에 근거하여 동태 규칙 이론에 따라 최적의 자재 스케쥴링 규칙을 획득하는 것을 특징으로 하는 장치 실시간 상태 기반 자재 스케쥴링 방법.
  10. 장치의 실시간 상태에 따라 자재를 스케쥴링하는 시스템은, 저장부, 판단부, 스케쥴링부, 실행부 및 업데이트부를 포함하고, 그 중,
    상기 저장부는 가장 바람직한 자재 스케쥴링 규칙을 미리 저장하고, 상기 자재 스케쥴링 규칙은 이미 확정된 매개 변수에 따라 획득되며;
    상기 판단부는 상기 자재가 모두 지정된 이송 및 공정 임무를 완료하였는지 여부를 판단하고, 만약 그렇다면, 상기 스케쥴링부로 스케쥴링 종료 신호를 전송하고; 그렇지 않다면, 상기 스케쥴링부로 통과 신호를 전송하며;
    상기 스케쥴링부가 스케쥴링 종료 신호를 수신하면, 스케쥴링을 종료하고; 상기 통과 신호를 수신하면, 상기 장치의 실시간 상태 정보에 따라 상기 저장부 내의 자재 스케쥴링 규칙을 하나씩 통과시키고, 통과 결과에 따라 상기 실행부로 상기 자재의 스케쥴링 규칙에 대응하는 동작 명령을 전송하며;
    상기 실행부는 상기 스케쥴링부로부터 수신한 동작 명령을 실행하고, 상기 동작 명령이 완료되면 상기 업데이트부로 신호를 전송하며; 그리고
    상기 업데이트부는 상기 실행부로부터의 신호에 따라 상기 장치의 실시간 상태 정보를 상기 동작 명령의 실행 완료 후 대응하는 장치 상태로 업데이트하고, 상기 판단부로 업데이트 판단 신호를 전송하는 것을 특징으로 하는 장치의 실시간 상태 기반 자재 스케쥴링 시스템.
  11. 제10항에 있어서, 상기 매개 변수는: 사전 세정 시간, 탈기 시간, 각 공정 위치에서 상기 자재의 공정 시간, 로봇암의 웨이퍼 이송 시간, 및 현재 공정 위치에서 다음 공정 위치로 상기 자재를 이동하는 시간을 포함하는 것을 특징으로 하는 장치의 실시간 상태 기반 자재 스케쥴링 시스템.
  12. 제10항에 있어서, 상기 스케쥴링부는 통과 모듈 및 제1 판단 모듈을 포함하고, 그 중,
    상기 통과 모듈은 상기 통과 신호가 수신되면, 상기 장치의 실시간 상태 정보에 상태 변수를 하나씩 결합하여, 모든 상태 변수에 대응하는 동작 명령을 획득할 때까지 상기 자재 스케쥴링 규칙을 통과시키고,
    상기 제1 판단 모듈은 상기 통과 모듈이 이미 모든 자재의 스케쥴링 규칙을 통과시켰는지 여부를 판단하고, 만약 그렇다면, 상기 통과 모듈이 상기 실행부 측으로 모든 상태 변수에 대응하는 동작 명령을 전송하도록 제어하고; 그렇지 않으면, 상기 통과 모듈이 상기 자재 스케쥴링 규칙을 계속 통과시키도록 제어하는 것을 특징으로 하는 장치의 실시간 상태 기반 자재 스케쥴링 시스템.
  13. 제10항에 있어서, 상기 업데이트부는 업데이트 모듈 및 제2 판단 모듈을 포함하고, 그 중,
    상기 제2 판단 모듈은 상기 실행부로부터의 신호에 따라 상기 동작 명령이 모두 동시에 실행 완료되었는지 여부를 판단하고, 그렇다면 상기 업데이트 모듈 측으로 제1 신호를 전송하고; 그렇지 않으면 상기 업데이트 모듈 측으로 제2 신호를 전송하며;
    상기 업데이트 모듈은 상기 제2 판단 모듈로부터 제1 신호를 수신하면, 상기 장치의 실시간 상태 정보를 모든 동작 명령이 완료된 후의 장치 상태로 업데이트하고, 상기 판단부로 업데이트 판단 신호를 전송하며; 상기 제2 판단 모듈로부터 제2 신호를 수신하면 상기 장치의 실시간 상태 정보를 미리 실행된 동작 명령에 대응하는 장치 상태 및 실행 중인 동작 명령에 대응하는 장치 상태로 업데이트하고, 상기 판단부로 업데이트 판단 신호를 전송하는 것을 특징으로 하는 장치의 실시간 상태 기반 자재 스케쥴링 시스템.
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