TWI410366B - Handling control device and handling control method - Google Patents

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Description

搬運控制裝置及搬運控制方法
本發明是關於：在複數個處理裝置間存有複數個被搬運物之搬運途徑的場合中，用來控制在上述搬運途徑上搬運被搬運物之搬運裝置的搬運控制裝置及搬運控制方法。
傳統上，存在著具有複數個處理裝置的處理設備。在複數個處理裝置間，存有複數個被搬運物的搬運途徑。而處理設備具有用來在上述搬運途徑上搬運被搬運物的搬運裝置。而該處理設備，可使複數個被搬運物對應於一個搬運裝置。
在上述的處理設備中，為了實現效率良好的處理，對於要將哪一個被搬運物搬運至哪一個處理裝置，則必須適當地控制搬運裝置。
在傳統的搬運控制方法中，搬運裝置是依據「根據被搬運物對搬運裝置的到達順序、到達時刻、搬運時間及等待時間等所預約」的順序、或依據「根據負荷狀況等所預先排程」的順序，來搬運被搬運物。
此外，在傳統的搬運控制方法中，被搬運物是被積存於儲存匣且集中複數個後才搬運。
舉例來說，在日本特開平9-30617號公報中記載一種：藉由與被搬運物的搬運同步，並由控制裝置對下一個控制裝置輸出搬運指示資料的方式，而迅速地將被搬運物搬運至搬運機器的搬運系統。該搬運系統具備：堆高式起重機、軌道式台車、承接用輸送機、及入出庫用輸送機，而作為在自動倉庫内搬運被搬運物的搬運裝置。起重機控制裝置控制起重機，台車控制裝置控制軌道式台車，而輸送機控制裝置控制各輸送機。而各控制裝置、與產生用來指示搬運作業之資料(搬運指示資料)的倉管電腦，是以同一個通訊迴路所連接。
由倉管電腦所輸出的搬運指示資料，是經由通訊迴路而從控制裝置朝控制裝置依序輸出，各控制裝置是依據搬運指示資料來控制搬運裝置而執行搬運作業。
在前述的傳統搬運控制方法中，由於是將複數個被搬運物積存於儲存匣且集中後才搬運，故在被搬運物之更迭較少步驟中可提高搬運效率。但是，在被搬運物之更迭較多的步驟中，反而使搬運效率下降。在被搬運物之更迭較多的步驟中，並非將複數個被搬運物搭載儲存匣後搬運，而是逐個對被搬運物進行，也就是採用所謂的逐片式搬運方法來搬運的作法可提高搬運效率。
但是，在逐個搬運被搬運物之逐片式的搬運線中，由於演算處理資料量暴增，受限於演算處理所需的時間而難以縮短產距時間。此外，就演算處理裝置而言也需要大型的裝置。
舉例來說，在液晶面板製造工場，生產管理系統管理著所有的作業順序。但是，倘若1片1片地搬運基板後進行處理，由於生產管理系統與逐片搬運控制系統之間的通訊量大增，而使得生產管理系統難以管理所有作業處理的順序。
有鑑於此，本發明的目的是提供一種：即使在所謂的逐片搬運線中，不會使演算處理資料量暴增，不需要大型的裝置作為演算處理裝置，演算處理所需的時間也不會增長的搬運控制裝置、及搬運控制方法。
本發明的搬運控制裝置，是在複數個處理裝置間存有複數個被搬運物的搬運途徑，並具有複數個沿著前述搬運途徑搬運被搬運物的搬運裝置，且令複數個被搬運物對應於一個前述搬運裝置的處理設備中，用來控制前述搬運裝置的裝置。搬運控制裝置，備有用來控制前述各搬運裝置的控制手段。前述控制手段，是從高階系統接後作業流程，並根據該作業流程而產生生產批量資訊，而將該生產批量資訊及處理内容指派給前述各處理裝置，並判斷是否有閒置的處理裝置、及生產批量的完成，而根據該判斷結果，決定將前述各被搬運物中的哪一個被搬運物搬運至哪一個前述處理裝置，並根據該決定來控制前述搬運裝置。
本發明的搬運控制方法，是在複數個處理裝置間存有複數個被搬運物的搬運途徑，並具有複數個沿著前述搬運途徑搬運被搬運物的搬運裝置，且令複數個被搬運物對應於一個前述搬運裝置的處理設備中，用來控制前述搬運裝置的方法。根據前述搬運控制方法，可從高階系統取得作業流程，並根據該作業流程產生生產批量資訊，而將該生產批量資訊及處理内容指派給前述各處理裝置，並判斷是否有閒置的處理裝置、及生產批量的完成，而根據該判斷結果，決定將前述各被搬運物中的哪一個被搬運物搬運至哪一個處理裝置，並根據該決定來控制前述搬運裝置。
根據本發明的搬運控制裝置，控制手段可從高階系統接收作業流程，而決定該把各被搬運物中的哪一個被搬運物搬運至哪一個處理裝置。因此，控制手段即使無法從高階系統取得對各個被搬運物的指示，也能依處理順序單獨地處理被搬運物，故能提高搬運效率。
根據本發明的搬運控制方法，可從高階系統取得作業流程，並決定將各被搬運物中的哪一個被搬運物搬運至哪一個處理裝置。因此，即使無法針對各個被搬運物從高階系統取得指示，也能依處理順序單獨地處理被搬運物，故可提高搬運效率。
以下，根據圖面說明本發明的一種實施形態。
[搬運控制裝置的構造]
第1圖，是顯示本實施形態之搬運控制裝置構造的區塊圖。
本實施形態的搬運控制裝置，如第1圖所示，具有從生產管理系統(高階系統)1接收指示的搬運控制系統(控制手段)2。搬運控制系統2，是控制複數個機器控制盤3-1、3-2、...、3-n，並透過機器控制盤3-1、3-2、...、3-n來控制複數個處理裝置及搬運裝置的動作。而，複數個處理裝置及搬運裝置構成處理設備。
第2圖，是顯示採用本實施形態之搬運控制裝置的處理設備的構造，其中(a)為俯視圖，(b)為側視圖。
採用本實施形態之搬運控制裝置的處理設備，如第2(a)圖所示，被搬運物是從作為出入口105的埠A~E投入。被搬運物，是藉由輸送機(搬運裝置)106、107，而在複數個處理裝置(作業裝置)101~104之間搬運。
輸送機107，如第2(b)圖所示，是由：具有堆高功能的輸送機(以下，稱為堆高型輸送機：FCV)、與具有縱向搬運(升降)功能的輸送機(以下，稱為縱向搬運輸送機：縱向CV)所形成。堆高型輸送機(FCV)，是水平地搬運被搬運物，並在處理裝置101~104之間執行被搬運物的收授。
在該處理設備中，處理程序A的處理裝置101與處理程序D的處理裝置104是上下堆疊所配置。此外，處理程序B的處理裝置102與處理程序C的處理裝置103是上下堆疊所配置。上述的各處理裝置101~104，是面向堆高型輸送機(FCV)所設置。接著，在搬運線的起始端與終端設置有緩衝區108。此外，在處理裝置101與處理裝置104之間設置有緩衝區109。不僅如此，在處理裝置102與處理裝置103之間設置有緩衝區110。上述的緩衝區108、109、110是面向縱向搬運輸送機(縱向CV)所設置。從任何一個處理裝置被搬運到下一個處理裝置之過程中的被搬運物，可暫時地滯留於上述的緩衝區108、109、110。
該處理設備，是藉由以本實施形態的搬運控制裝置來控制輸送機106、107，而將各被搬運物搬運至各處理裝置101~104及各緩衝區108~110的任意場所，並由各處理裝置101~104對各搬運物實施特定處理(檢査)。
第3圖，是顯示實施本實施形態之搬運控制方法的處理設備之構造的區塊圖。
如第3圖所示，在處理設備中，於複數個處理裝置101~104之間存有複數個被搬運物的搬運途徑。處理設備具有：沿著搬運途徑搬運被搬運物的複數個搬運裝置。此外，是使複數個被搬運物對應於一個搬運裝置。
在上述的處理設備中，是根據從高階系統所取得之處理裝置101~104(步驟A~D)間的搬運資訊，使搬運線内的被搬運物(譬如：FPD或半導體所使用的玻璃基板等)在處理裝置101~104間依序搬運。本實施形態的搬運控制方法，可改善上述處理設備的搬運效率。
在該處理設備中，被投入出入口105的被搬運物，是依序被搬運至各處理裝置101~104，並在施以特定處理後，再度回到出入口105。在該處理設備中，被搬運物可對應於在各處理裝置的處理結果(譬如：檢査結果)，而變更下一個搬運場所(目標)的處理裝置(步驟)。此外，在該處理設備中，由於被搬運物有時會被重複搬運至同一個處理裝置(譬如：檢査裝置)，因此在各處理裝置間的搬運途徑中，存在大量的分岐與合流。
本實施形態的搬運控制方法，特別適用於一次搬運1片被搬運物的逐片搬運線。在逐片搬運線中，同時搬運控制之被搬運物的數量暴增，故在傳統的搬運控制方法中非常難以控制。
[搬運控制裝置的動作(搬運控制方法)]
第4圖，是顯示本實施形態之搬運控制裝置的搬運控制系統之動作的流程圖。
在該搬運控制裝置中，搬運控制系統2是執行第4圖所示的處理。
在步驟st1中，收納著複數個被搬運物的儲存匣到達步驟(處理設備)。在步驟st2中，從生產管理系統(高階系統)1接收作業流程，並使處理進入步驟st3及步驟st4。
在步驟st3中，將作業流程予以展開而成為作業資訊，並將作業資訊指派至各處理裝置(作業裝置)。而作業資訊是被蓄積於作業資訊資料庫。
另外，在步驟st4中，從生產管理系統(高階系統)1接收分類資訊，並使處理進入步驟st5及步驟st6。
在步驟st5中，將分類資訊予以展開，並將分類資訊指派至各儲存匣。而分類資訊是被蓄積於分類資訊資料庫。
在步驟st6中，是根據步驟st3所蓄積的作業資訊，製作成儲存匣内之各個被搬運物(譬如：基板)的作業流程，並使處理進入步驟st7。在步驟st7中，則根據作業流程來搬運被搬運物(基板)，並使處理進入步驟st8。
在步驟st8中，是對應於作業處理結果，並根據作業流程來決定下一個搬運場所(目標)，並使處理進入步驟st9。在步驟st9中，判斷截至步驟st8為止所執行的處理是否為最終處理，倘若是最終處理便使處理進入步驟st10，倘若非最終處理便使處理回到步驟st7。
在步驟st10中，根據在步驟st5所蓄積的分類資訊，並依據分類條件將被搬運物(基板)搬運至分類用儲存匣。
第5(a)圖，是顯示在本實施形態之搬運控制裝置的搬運控制系統中作業資訊之產生動作的流程圖。
如第5(a)圖所示，在產生作業資訊之際，倘若在步驟st11中搬運控制系統2接收了作業流程，處理便進入步驟st12及步驟st13。在本說明書中，是將用來表示「搬運控制系統從生產管理系統接收作業流程之範例」的區塊圖，顯示於第7(a)圖中。如第7(a)圖所示，作業流程是由：譬如「生產批量資訊」、「品種代碼」、「批量ID」、「現行作業代碼」、「分類代碼」、「後續作業代碼」、「後續作業方法ID」所形成。而對應於第7(a)之搬運物(基板)的流程範例，則以第7(b)圖表示。
在步驟st12中，產生生產批量資訊，並使處理進入步驟st14。在步驟st14中，判斷是否已接收生產批量完成資訊，倘若接收了生產批量完成資訊，便使處理進入步驟st15。倘若尚未接收生產批量完成資訊，便使處理停留於步驟st14。生產批量完成資訊如第5(b)圖所示，是由：譬如「管理ID」、「品種代碼」、「批量ID」、「作業代碼」、「分類代碼」所形成。
在步驟st15中，添加批量末端標誌，並使處理進入步驟st19。
另外，在步驟st13中，產生各線的生產批量資訊，並使處理進入步驟st16。生產批量資訊如第5(c)圖所示，是由：譬如「管理ID」、「品種代碼」、「批量ID」、「作業代碼」、「分類代碼」、「處理片數」、「完成片數」、「破損片數」、「處理狀態」所形成。
在步驟st16中，判斷是否有閒置的處理裝置，倘若存有閒置的處理裝置，便使處理進入步驟st17。倘若沒有閒置的處理裝置，便使處理停留於步驟st16。在步驟st17中，將生產批量資訊指派給搬運線的處理裝置，並使處理進入步驟st18。在步驟st18中，對處理裝置指派方法ID(處理內容)，並使處理進入步驟st19。
在步驟st19中，產生搬運指示資訊，並使處理進入步驟st20。搬運指示資訊如第5(d)圖所示，是由：譬如「搬運ID」、「基板ID」、「批量末端標誌」、「開始(From)位置」、「終了(To)位置」、「最終搬運場所」、「處理狀態」所形成。
在步驟st20中，判斷是否能朝下一個步驟搬運，倘若可以搬運，便使處理進入步驟st21。倘若不能搬運，便使處理停留於步驟st20。在步驟st21中，指示被搬運物(基板)的搬運，並使處理進入步驟st22。在步驟st22中，判斷是否為批量末端，倘若為批量末端便結束批量。倘若非批量末端，便使處理回到步驟st19。
第6(a)圖，是顯示「本實施形態之搬運控制裝置的搬運控制系統中之分類資訊」的產生動作的流程圖。
如第6(a)圖所示，當產生分類資訊之際，一旦在步驟st31中搬運控制系統2接收分類條件，便使處理進入步驟st32。在本說明書中，是將用來表示「搬運控制系統從生產管理系統接收分類條件之範例」的區塊圖，顯示於第8(a)圖中。如第8(a)圖所示，分類條件是由：譬如「管理ID」、「品種代碼」、「批量ID」、「代表作業代碼」、「代表分類代碼」、「優先度」、「基板資訊」、「搬運基板片數」、「處理狀態」所形成。而對應於第8(a)之搬運物(基板)的流程範例，則以第8(b)圖表示。
在步驟st32中，產生分類資訊，並使處理進入步驟st33。分類資訊如第6(b)圖所示，是由：譬如「管理ID」、「品種代碼」、「批量ID」、「代表作業代碼」、「代表分類代碼」、「優先度」、「基板資訊」、「搬出基板片數」、「處理狀態」所形成。
在步驟st33中，判斷是否有閒置的埠，倘若有閒置的埠，便使處理進入步驟st34。倘若沒有閒置的埠，便使處理停留於步驟st33。
在步驟st34中，判斷生產批量是否已開始，倘若已開始，便使處理進入步驟st35。倘若尚未開始，便使處理停留於步驟st34。
在步驟st35中，判斷生產批量是否已完成，倘若已完成，便使處理進入步驟st36。倘若尚未完成，便使處理停留於步驟st35。
在步驟st36中，判斷是否有高優先度的分類條件，倘若有高優先度的分類條件，便使處理進入步驟st37。倘若沒有高優先度的分類條件，便使處理停留於步驟st36。
在步驟st37中，對埠指派分類資訊，並完成處理。
1．．．生產管理系統(高階系統)
2．．．搬運控制系統(控制手段)
3-1~n．．．機器控制盤
101~104．．．處理裝置(處理程序A~D)
106、107．．．搬運裝置
第1圖：是顯示本發明的搬運控制裝置之其中一種實施形態的構造的區塊圖。
第2圖：是顯示採用前述搬運控制裝置之處理設備的構造，其中(a)為俯視圖，(b)為側視圖。
第3圖：是顯示採用本發明之搬運控制方法的一種實施形態之處理設備的構造的區塊圖。
第4圖：是顯示前述搬運控制裝置的搬運控制系統之動作的流程圖。
第5圖：(a)是顯示前述搬運控制裝置的搬運控制系統之作業資訊的產生動作的流程圖，(b)是顯示生產批量完成資訊之項目例的表格，(c)是顯示生產批量資訊之項目例的表格，(d)是顯示搬運指示資訊之項目例的表格。
第6圖：(a)是顯示前述搬運控制裝置的搬運控制系統之分類資訊的產生動作的流程圖，(b)是顯示分類資訊之項目例的表格。
第7圖：(a)是顯示前述搬運控制裝置從生產管理系統接收之作業流程例的區塊圖，(b)是對應於(a)之搬運物的流程範例圖。
第8圖：(a)是顯示前述搬運控制裝置從生產管理系統接收之分類條件例的區塊圖，(b)是對應於(a)之搬運物的流程範例圖。
1．．．生產管理系統(高階系統)
2．．．搬運控制系統(控制手段)
3-1~3-n．．．機器控制盤

Claims (2)

  1. 一種搬運控制裝置，是在處理設備中，用來控制前述搬運裝置的搬運控制裝置，上述處理裝置是在複數個處理裝置間存在有複數個被搬運物的搬運途徑，且沿著前述搬運途徑具有複數個用來搬運被搬運物的搬運裝置，並使複數個被搬運物對應於一個前述搬運裝置，其特徵為：具備用來控制前述各搬運裝置的控制手段，前述控制手段，是從高階系統接收作業流程，根據該作業流程而產生生產批量資訊，而將該生產批量資訊及處理内容指派至前述各處理裝置，並判斷是否有閒置的處理裝置、及生產批量的完成，而根據該判斷結果來決定將前述各被搬運物之中的哪一個被搬運物搬運至哪一個前述處理裝置，並根據該決定來控制前述搬運裝置。
  2. 一種搬運控制方法，是在處理設備中，用來控制前述搬運裝置的搬運控制方法，上述處理裝置是在複數個處理裝置間存在有複數個被搬運物的搬運途徑，且沿著前述搬運途徑具有複數個用來搬運被搬運物的搬運裝置，並使複數個被搬運物對應於一個前述搬運裝置，其特徵為：從高階系統取得作業流程，根據該作業流程產生生產批量資訊，將該生產批量資訊及處理内容指派至前述各處理裝置，並判斷是否有閒置的處理裝置、及生產批量的完成，根據該判斷結果來決定將前述各被搬運物之中的哪一個被搬運物搬運至哪一個前述處理裝置，根據該決定來控制前述搬運裝置。
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