TWI401198B

TWI401198B - Substrate classification method

Info

Publication number: TWI401198B
Application number: TW99106771A
Authority: TW
Inventors: Fumio Hasegawa
Original assignee: Ihi Corp
Priority date: 2009-03-12
Filing date: 2010-03-09
Publication date: 2013-07-11
Also published as: CN101840845B; JP5115501B2; CN101840845A; TW201033095A; JP2010208843A

Description

基板分類方法

本發明係關於使用例如被設置在LCD(液晶顯示器)工廠或半導體工廠等的無塵室內的基板分類裝置而進行的基板分類方法。

從前，在製作LCD(液晶顯示器)等的基板的場合，在大型的基板(例如玻璃基板)上形成複數相同電路圖案後，切斷(dicing，切割成片)此基板而得到的所要的電路基板送至次一焊接(bonding)步驟。

近年來，伴隨著電路圖案的製造步驟變得複雜，電路的規模變大，電路不良的發生率有增加的傾向。這樣的電路不良的基板直接送至次一焊接步驟的話，會使焊接步驟變成浪費(徒勞)。此處，為了把損失抑制到最少限度，於基板之切割前進行各電路圖案的功能測試。

而根據電路圖案的功能測試的結果，因應於基板上的不良電路的位置進行分類基板，以進行不良電路的修理，或是切割後丟棄包含不良電路的基板。

此外，亦有在同一製造生產線依序製作複數種類的基板的場合，所以有必要把基板依據品種別進行分類。

在這樣的分類步驟，如下述專利文獻1及2所記載的，水平重疊而被收容於卡匣內的狀態下被搬送進搬入埠的複數基板，藉由線上緩衝器而1枚枚地由卡匣取出之後，依種類(依批次)而被搬送至分類埠的卡匣，進行基板的分類。

在此分類步驟，必須要依照基板的種類數而準備分類埠。在有數量很少的批次時，也必須要準備基板的種類數之分類埠。

[先行技術文獻] [專利文獻]

[專利文獻1]日本特許第3185595號公報

[專利文獻2]日本專利特開2001-163416號公報

在如前所述之從前的分類步驟，在被分類的基板的種類數比分類埠數目更多的場合，有必要把分類步驟分成複數次進行，會使分類的效率降低。

此外，線上緩衝器，只能把收容於卡匣內的基板由下依序1枚1枚地取出，無法替換由在搬入埠之卡匣搬出之基板搬出順序。因此，在某個分類埠的卡匣裝滿而有應該被搬送至該分類埠的基板時，直到該分類埠的卡匣之替換結束為止不得不要停止由搬送埠搬送基板之流程。

在此，本發明，係有鑑於前述實情而提案者，本發明之目的在於提供即使分類的基板的種類數比分類埠的數目還多的場合，也可以不降低效率地進行分類，此外，在某個分類埠的卡匣裝滿時，也沒有必要停止來自搬入埠的基板的運送之基板分類方法。

為了解決前述課題，達成前述目的，本發明係具有以下的構成之任一者。

[構成1]

使用於相關於本發明之基板分類方法的基板分類裝置，把由水平重疊的狀態下被收容於搬入卡匣的至少一個搬入埠搬入的複數種類之複數基板，依種類分類而搬送至對應於各種類的複數分類埠，搬出至被設置於各分類埠的搬出卡匣者，具備：被設置於搬入埠，暫時保持被收容於搬入卡匣的基板之搬入側緩衝裝置，及把被保持於搬入側緩衝裝置的基板一枚一枚地搬送往分類埠之任一之搬送裝置，及被設置於各分類埠，暫時保持藉由搬送裝置搬送的基板之搬出側緩衝裝置。此處，搬出側緩衝裝置之至少一台，係可於保持基板的複數保持部之中之任意的保持部插入基板，且可以取出保持的複數基板之中的任意基板的隨機存取緩衝裝置。相關於本發明的基板分類方法，使用前述基板分類裝置，將複數種類之基板持續保持於隨機存取緩衝裝置，而將基板依種類搬出至不同的搬出卡匣。

[構成2]

使用於相關於本發明之基板分類方法的基板分類裝置，把由水平重疊的狀態下被收容於搬入卡匣的至少一個搬入埠搬入的複數種類之複數基板，依種類分類而搬送至對應於各種類的複數分類埠，搬出至被設置於各分類埠的搬出卡匣者，具備：被設置於搬入埠，暫時保持被收容於搬入卡匣的基板之搬入側緩衝裝置，及把被保持於搬入側緩衝裝置的基板一枚一枚地搬送往分類埠之任一之搬送裝置，及被設置於各分類埠，暫時保持藉由搬送裝置搬送的基板之搬出側緩衝裝置。此處，搬入側緩衝裝置之至少一台，係可於保持基板的複數保持部之中之任意的保持部插入基板，且可以取出保持的複數基板之中的任意基板的隨機存取緩衝裝置。在相關於本發明之基板分類方法，使用前述基板分類裝置，避開被搬送至複數保持部之全部保持著基板的搬出側緩衝裝置之基板，而優先搬送被搬送至複數保持部還有空的其他搬出側緩衝裝置的基板。

於相關於構成1之本發明的基板分類方法，搬出側緩衝裝置之至少一台係隨機存取緩衝裝置，可於保持基板的複數保持部之中之任意的保持部插入基板，且可以取出保持的複數基板之中的任意基板。因此，可以將複數種類之基板持續保持於隨機存取緩衝裝置，其後，將該基板依種類而搬出至不同的搬出卡匣。

亦即，根據相關於本發明之基板分類方法，分類的基板種類數比分類埠的數目還多的場合，也可以不降低效率地進行分類。此外，即使某個分類埠之搬出卡匣裝滿，也沒有必要停止由搬送埠之基板搬送。此外，可以使複數種類之基板保持於隨機存取緩衝裝置，依種類把基板搬出至不同的搬出卡匣，所以即使是分類的基板種類數比分類埠的數目還多的場合，也可以不降低效率地進行分類。

於相關於構成2之本發明的基板分類方法，搬入側緩衝裝置之至少一台係隨機存取緩衝裝置，可於保持基板的複數保持部之中之任意的保持部插入基板，且可以取出保持的複數基板之中的任意基板。因此，可以將複數種類之基板持續保持於隨機存取緩衝裝置，其後，將該基板依種類而搬出至不同的搬出卡匣。

亦即，根據相關於本發明之基板分類方法的話，可以避開被搬送至複數保持部之全部保持著基板的搬出側緩衝裝置之基板，而優先搬送被搬送至複數之保持部還有空的其他搬出側緩衝裝置的基板。此外，因為避開被搬送至複數保持部之全部保持著基板的搬出側緩衝裝置之基板，而優先搬送被搬送至複數之保持部還有空的其他搬出側緩衝裝置的基板，所以即使某個分類埠之搬出卡匣裝滿時，也不必要停止由搬入埠搬動基板。

以下，根據圖面說明本發明之實施型態。

在使用於本實施型態的基板分類方法之裝置，如圖1所示，複數種類之複數基板101，以水平重疊的狀態被收容於卡匣C1,C2，由至少一個搬入埠被搬入。被搬入的基板101，依照種類分類，被搬送至對應於各種類的分類埠。被搬送的基板101，被搬出至設置於各分類埠的卡匣C3～C11。此外，本實施型態之基板分類方法，係使用本實施型態之基板分類裝置來進行。

在圖1所示的基板分類裝置，搬入埠有2處所，於這些搬入埠，被設置收容複數基板101的卡匣C1,C2。此外，分類埠有9處，於這些分類埠，被設置有收容被分類的基板101之卡匣C3～C11。

於搬入埠，被設置有暫時保持被收容於卡匣C1,C2的基板101之搬入側緩衝裝置B1,B2。此外，於分類埠，被設置有暫時保持被收容於卡匣C3～C11的基板101之搬出側緩衝裝置B3～B11。

此基板分類裝置，具備把保持於搬入側緩衝裝置B1,B2的基板101一枚一枚地搬送至分類埠之任一的搬送裝置1。搬送裝置1，係藉由控制裝置(未圖示)控制的輸送帶裝置等。搬送裝置1，因應於種類(品種)或檢查結果，將基板101搬送至特定的分類埠的搬出側緩術裝置B3～B11。

接著，在此基板分類裝置，搬入側緩衝裝置B1,B2及搬出側緩衝裝置B3～B11之中之至少1台，為隨機存取緩衝裝置。此處，搬出側緩衝裝置B3～B11之中的1台之搬出側緩衝裝置B11為隨機存取緩衝裝置。

隨機存取緩衝裝置，如圖2所示，於保持基板101的複數保持部11的兩側具備可昇降的基板支撐機構12。藉由基板支撐機構12，可以將基板101插入複數保持部11之中的任意保持部11。此外，藉由基板支撐機構12，可以取出被保持著的複數基板101之中的任意基板101。基板支撐機構12，藉由控制裝置控制。

又，針對此隨機存取緩衝裝置之構成，記載於本案申請人所提出之日本國專利公開公報之特開2005-170675公報及特開2005-175429公報。

不是隨機存取緩衝裝置之緩衝裝置B1～B10，如圖3所示，為線上緩衝裝置。此線上緩衝裝置，在保持基板101的複數保持部11的下方，具備可昇降的基板支撐機構13。藉由基板支撐機構13，可以對複數之保持部11由上方依序插入基板101。此外，可以由下方依序取出被保持著的複數基板101。基板支撐機構13，藉由控制裝置控制。在此線上緩衝裝置，不能改變基板101的插入順序及取出順序。

如圖4所示，於隨機存取緩衝裝置B11，可以將複數種類之基板101a,101b,101c,101d依種類收容於集中的位置。複數種類之基板101a,101b,101c,101d，以隨機的順序被搬送來，被插入因應其種類之特定的保持部11，依種類被分類至集中的位置。

在隨機存取緩衝裝置B11內的依種類被分類的基板101a,101b,101c,101d，依序交換分類埠的卡匣C11而依各種類被搬出。藉此，基板依種類而被收容於不同的卡匣C11。亦即，在此基板分類裝置，於隨機存取緩衝裝置B11被保持著複數種類的基板101，這些基板101由隨機存取緩衝裝置B11依種類而搬出至不同的卡匣C11。

隨機存取緩衝裝置B11，適於與其他種類(批次)相比枚數較少的基板101的搬送目的地。根據此基板分類裝置，可以進行比分類埠的數目更多種類的基板101的分類。

其次，參照圖5之流程圖，說明此基板分類裝置之動作。收容複數之基板101的卡匣C1,C2被搬入搬入埠(步驟st1)，控制裝置分配應該搬送至各分類埠的基板101的種類(st2)。接著，卡匣C1,C2內的基板101，全部被移動至搬入側緩衝裝置B1,B2(步驟st3)。

其次，控制裝置，檢索而決定接下來被搬送的基板101的搬送目的地(步驟st4)。接下來被搬送的1枚基板101，從搬入側緩衝裝置B1,B2被移動至搬送裝置1上(步驟st5)。讀入被移動至搬送裝置1上的基板101之ID(步驟st6)，基板101被搬送至搬送目的地的搬出側緩衝裝置B3～B11之任一(步驟st7)。

此時，線上緩衝裝置之搬出側緩衝裝置B3～B10，判別是否在基板101往卡匣C3～C10之搬出中(步驟st8)。如果是在搬出中的話，搬送裝置1上的基板101，被搬送至隨機存取緩衝裝置之搬出側緩衝裝置B11，處理前進至步驟st10。另一方面，如果不是搬出中，處理前進至步驟st9。

步驟st8為否定的場合(搬送目的地之搬出側緩衝裝置B3~B10不是正把基板101搬出至卡匣C3~C10的場合)，基板101對搬出側緩衝裝置B3~B10之搬送優先進行(步驟st9)處理前進至步驟st10。

步驟st8為肯定的場合(搬送目的地之搬出側緩衝裝置B3~B10正把基板101搬出至卡匣C3~C10的場合)，或者在步驟st9之處理後，判斷搬出側緩衝裝置B3~B10之任一是否裝滿基板101(步驟st10)。如果裝滿的話，處理前進至步驟st11，未裝滿的話處理回到步驟st5。如此進行，直到任一搬出側緩衝裝置B3~B11變滿為止(步驟st10為肯定為止)，進行基板101的搬送。

接著，在任一之搬出側緩衝裝置B3~B11變滿時，搬出側緩衝裝置B3~B11內之基板101全部被搬出分類埠的卡匣C3~C11(步驟st11)。其次，卡匣C3~C11被搬出(步驟st12)，處理回到步驟st1。

其次，說明基板分類裝置之其他構成例。在此基板分類裝置，如圖6所示，搬入側緩衝裝置B1,B2之至少一個被構成為隨機存取緩衝裝置。在此場合，搬出側緩衝裝置B3~B11，其全部為線上緩衝裝置亦可，任一為隨機存取緩衝裝置亦可。

使用此基板分類裝置的話，避開被搬送至複數保持部11之全部保持著基板101的搬出側緩衝裝置(裝滿的搬出側緩衝裝置)B3~B11的基板101，而可以優先搬送要被搬送至保持部11還空著的其他的搬出側緩衝裝置B3~ B11的基板101。亦即，在此基板分類裝置，即使任一搬出側緩衝裝置B3~B11裝滿，也沒有必要停止由搬入埠搬入基板101，可以進行迅速的分類。

其次，參照圖7之流程圖，說明此基板分類裝置之動作。收容複數之基板101的卡匣C1,C2被搬入搬入埠(步驟st21)，控制裝置分配應該搬送至各分類埠的基板101的種類(st22)。接著，卡匣C1,C2內的基板101，全部被移動至搬入側緩衝裝置B1,B2(步驟st23)。

其次，控制裝置，檢索而決定接下來被搬送的基板101的搬送目的地(步驟st24)。接著，搬出側緩衝裝置B3~B11，判別是否在基板101往卡匣C3~C11之搬出中(步驟st25)。如果是在搬出中的話，處理回到步驟st24，不是搬出中的話處理前進到步驟st26。此處，在處理回到步驟st24的場合，控制裝置再檢索不是在基板101的搬出中之搬出側緩衝裝置B3~B11，決定為基板101的搬送目的地。

另一方面，步驟st25為否定的場合(搬送目的地之搬出側緩衝裝置B3~B11不是正把基板101搬出至卡匣C3~C11的場合)，由搬入側緩衝裝置B1,B2，使接下來被搬送的1枚基板101移動至搬送裝置1上(步驟st26)。讀入被移動至搬送裝置1上的基板101之ID(步驟st27)，基板101被搬送至搬送目的地的搬出側緩衝裝置B3~B11之任一(步驟st28)。

接著，判別搬出側緩衝裝置B3~B11之任一是否裝滿基板101(步驟st29)。如果裝滿的話，處理前進至步驟st30，未裝滿的話處理回到步驟st26。如此進行，直到任一搬出側緩衝裝置B3～B11變滿為止(步驟st29為肯定為止)，進行基板101的搬送。

接著，在任一之搬出側緩衝裝置B3～B11變滿時，搬出側緩衝裝置B3～B11內之基板101全部被搬出分類埠的卡匣C3～C11(步驟st30)。其次，卡匣C3～C11被搬出(步驟st31)，處理回到步驟st21。

[產業上利用可能性]

相關於本發明之基板分類方法，藉由前述基板分類裝置，例如可以在LCD(液晶顯示器)工廠或半導體工廠等的無塵室內實施。

1．．．搬送裝置

101．．．基板

B1,B2．．．搬入側緩衝裝置

B3～B11．．．搬出側緩衝裝置

C1,C2．．．卡匣

C3～C11．．．卡匣

圖1係顯示使用於本發明之基板分類方法之一實施型態之基板分類裝置的構成之平面圖。

圖2係顯示前述基板分類裝置之隨機存取緩衝裝置的構成之立體圖。

圖3係顯示前述基板分類裝置之線上緩衝裝置的構成之立體圖。

圖4係顯示前述隨機存取緩衝裝置的使用狀況之正面圖。

圖5係顯示前述基板分裂裝置的動作之流程圖。

圖6係顯示使用於本發明之基板分類方法之其他實施型態之基板分類裝置的構成之平面圖。

圖7係顯示前述基板分裂裝置的動作之流程圖。