CN101840845A - 基板分类方法 - Google Patents

Abstract

本发明涉及基板分类方法。本发明提供一种即使在分类的基板的种类的数目比分类口的数目更多的场合，也能不降低效率地进行分类，并且，即使在某个分类口的盒装满的时候，也不必停止基板从搬入口的流动的基板分类方法。用于基板分类方法的基板分类装置具备：暂时保持收容在设置于搬入口的盒的基板的搬入侧缓冲装置；把保持在搬入侧缓冲装置的基板一片片搬送到分类口的某一个的搬送装置；以及设置于各分类口、暂时保持被搬送装置搬送的基板的搬出侧缓冲装置。在此，搬出侧缓冲装置之中的至少一台是随机存取缓冲装置。在上述基板分类方法中，一边在随机存取缓冲装置中保持多种基板，一边将基板按每个种类搬出到不同的搬出盒。

Description

基板分类方法

技术领域

本发明涉及使用例如LCD(液晶)工厂或半导体工厂等的超净室内设置的基板分类装置进行的基板分类方法。

背景技术

原来，在制作LCD(液晶)等的基板的场合，是在大型的基板(例如玻璃基板)上形成多个相同的电路图案后，将该基板切断并把得到的所需的电路基板送到下一个压焊工序。

近年来，伴随着电路图案的制造工序变得复杂，电路规模变大，电路不良的发生率有增加的倾向。这种电路不良的基板被原样送到下一个压焊工序的话，压焊工序就没用了。于是，为了将损失减少到最小限度，在基板的切断前进行各电路图案的功能测试。

并且，通过基于电路图案的功能测试的结果，根据基板上的不良电路的位置把基板分类，从而进行不良电路的修理，或者在切断后废弃包含不良电路的基板。

此外，由于有时也用同一条生产线依次制造多个品种的基板，也需要根据不同的品种对基板进行分类。

在这种分类工序中，如下述专利文献1(日本特许第3185595号公报)以及专利文献2(日本特开2001-163416号公报)所述，通过将在盒内以水平重叠收容的状态搬送到搬入口的多个基板，用直进式缓冲装置一片片从盒中取出后按种类(每批)搬送到分类口的盒中来进行基板的分类。

在该分类工序，需要按基板种类数准备分类口。即使在批次的数目少的场合，也需要基板种类数的分类口。

在如上所述现有的分类工序中，在要分类的基板的种类数比分类口数更多时，需要分多次来进行分类工序，从而分类效率低下。

此外，直进式缓冲装置只能从下面依次将收容在盒内的基板一片片取出，不能改换在搬入口的从盒中搬出基板的顺序。因此，在某个分类口的盒装满了的时候，有需要搬送到该分类口的基板的话，必须停止基板从搬入口的流动直到该分类口的盒的改换结束。

发明内容

因此，本发明就是鉴于上述问题而提出的技术方案，本发明的目的在于提供一种即使在要分类的基板的种类的数目比分类口的数目更多的场合，也能够不降低效率地进行分类，并且，即使在某个分类口的盒装满了的时候，也不必停止基板从搬入口的流动的基板分类方法。

为了解决上述问题，达到上述目的，本发明具有以下技术方案的任一个。

方案1

本发明的基板分类方法所使用的基板分类装置是，将以水平重叠状态收容在搬入盒、至少从一个搬入口搬入的多个种类的多个基板按每个种类进行分类并搬送到与各种类对应的多个分类口，搬出到设置于各分类口的搬出盒中的基板分类装置，该基板分类装置具备：设置于搬入口、暂时保持收容在搬入盒中的基板的搬入侧缓冲装置；把保持在搬入侧缓冲装置中的基板一片片搬送到分类口的某一个的搬送装置；以及设置于各分类口、暂时保持被搬送装置搬送的基板的搬出侧缓冲装置。在此，搬出侧缓冲装置的至少一台是可把基板插入到保持基板的多个保持部之中的任意的保持部中，并且，可取出所保持的多个基板之中的任意的基板的随机存取缓冲装置。

在本发明的基板分类方法中，使用上述基板分类装置，一边将多种基板保持在随机存取缓冲装置中，一边将基板按每个种类搬出到不同的搬出盒中。

方案2

本发明的基板分类方法所使用的基板分类装置是，将以水平冲叠状态收容在搬入盒、至少从一个搬入口搬入的多个种类的多个基板按每个种类进行分类并搬送到与各种类对应的多个分类口，搬出到设置于各分类口的搬出盒中的基板分类装置，该基板分类装置具备：设置于搬入口、暂时保持收容在搬入盒中的基板的搬入侧缓冲装置；把保持在搬入侧缓冲装置中的基板一片片搬送到分类口的某一个的搬送装置；以及设置于各分类口、暂时保持被搬送装置搬送的基板的搬出侧缓冲装置。在此，搬入侧缓冲装置的至少一台是可把基板插入到保持基板的多个保持部之中的任意的保持部中，并且，可取出所保持的多个基板之中的任意的基板的随机存取缓冲装置。在本发明的基板分类方法中，使用上述基板分类装置，避开被搬送到上述多个保持部均保持有基板的搬出侧缓冲装置中的基板，优先搬送被搬送到上述多个保持部中有空闲的其它搬出侧缓冲装置中的基板。

本发明的效果如下。

在方案1的本发明的基板分类方法中，搬出侧缓冲装置的至少一台是随机存取缓冲装置，基板可插入到保持基板的多个保持部之中的任意保持部，并且，可取出所保持的多个基板之中的任意基板。因此，可将多种基板保持在随机存取缓冲装置中，然后将基板按每个种类搬出到不同的搬出盒中。

因此，采用本发明的基板分类方法的话，即使在分类的基板的种类的数目比分类口的数目更多的情况下，也能不降低效率地进行分类。此外，即使在某个分类口的搬出盒装满了的时候，也不必停止基板从搬入口的流动。

另外，由于在随机存取缓冲装置中保持多种基板，并将基板按每个种类搬出到不同的搬出盒，因而即使在分类的基板的种类的数目比分类口的数目多的场合，也能不降低效率地进行分类。

在方案2的本发明的基板分类方法中，搬入侧缓冲装置的至少一台是随机存取缓冲装置，基板可插入到保持基板的多个保持部之中的任意保持部中，并且，可取出所保持的多个基板之中的任意基板。因此，可将多种基板保持在随机存取缓冲装置中，然后能将基板按每个种类搬出到不同的搬出盒中。

因此，采用本发明的基板分类方法的话，能够避开被搬送到上述多个保持部均保持有基板的搬出侧缓冲装置中的基板，优先搬送被搬送到上述多个保持部中有空闲的其它搬出侧缓冲装置中的基板。此外，由于在所有的多个保持部中避开被搬送到保持着基板的搬出侧缓冲装置的基板，优先搬送被搬送到多个保持部中有空的其它搬出侧缓冲装置中的基板，因此，即使在某个分类口的搬出盒装满了的时候，也不必停止基板从搬入口的流动。

附图说明

图1是表示在本发明的基板分类方法的一个实施方式中所使用的基板分类装置的构成的俯视图。

图2是表示上述基板分类装置的随机存取缓冲装置的构成的立体图。

图3是表示上述基板分类装置的直进式缓冲装置的构成的立体图。

图4是表示上述随机存取缓冲装置的使用状况的主视图。

图5是表示上述基板分类装置的动作的流程图。

图6是表示在本发明的基板分类方法的另一个实施方式中所使用的基板分类装置的构成的俯视图。

图7是表示图6所示的基板分类装置的动作的流程图。

图中：

1-搬送装置；101-基板；B1、B2-搬入侧缓冲装置；B3～B11-搬出侧缓冲装置；C1、C2-盒；C3～C11-盒。

具体实施方式

以下参照附图对本发明的实施方式进行说明。

在本实施方式的基板分类方法中所使用的装置中，如图1所示，多个种类的多个基板101以水平重叠的状态收容在盒C1、C2中，从至少一个搬入口搬入。被搬入的基板101按照种类分类后，被搬送到与各种类对应的分类口。被搬送的基板101被搬出到在各分类口所设置的盒C3～C11中。此外，本实施方式的基板分类方法通过使用本实施方式的基板分类装置来进行。

在图1所示的基板分类装置中，搬入口有2个部位，在这些搬入口设置了收容了多个基板101的盒C1、C2。另外，分类口有9个部位，在这些分类口设置了收容了分类了的基板101的盒C3～C11。

在搬入口设置有暂时保持收容在盒C1、C2中的基板101的搬入侧缓冲装置B1、B2。另外，在分类口设置有暂时保持收容在盒C3～C11中的基板101的搬出侧缓冲装置B3～B11。

该基板分类装置具备把保持在搬入侧缓冲装置B1、B2中的基板101一片片搬送到分类口的任一个的搬送装置1。搬送装置1是用控制装置(未图示)控制的传送带装置等。搬送装置1根据种类(品种)或检查结果，把基板101搬送直到归定的分类口的搬出侧缓冲装置B3～B11。

并且，在该基板分类装置中，使搬入侧缓冲装置B1、B2以及搬出侧缓冲装置B3～B11之中的至少一台是随机存取缓冲装置。在此，搬出侧缓冲装置B3～B11之中的一台搬出侧缓冲装置B11是随机存取缓冲装置。

随机存取缓冲装置如图2所示，在保持基板101的多个保持部11的两侧具备可升降的基板支撑机构12。通过基板支撑机构12，可把基板101插入到多个保持部11之中的任意保持部11中。此外，通过基板支撑机构12，可取出所保持的多个基板101之中的任意基板101。基板支撑机构12用控制装置控制。

还有，对于该随机存取缓冲装置的构成，记载于本申请的申请人的日本国专利申请公报即日本国特开2005-170675号公报以及日本国特开2005-175429号公报中。

如图3所示，不是随机存取缓冲装置的缓冲装置B1～B10为直进式缓冲装置。该直进式缓冲装置在保持基板101的多个保持部11的下方具备可升降的基板支撑机构13。利用基板支撑机构13，可从上方按顺序将基板101插入到多个保持部11中。此外，能够从下方按顺序取出所保持的多个基板101。基板支撑机构13用控制装置控制。该直进式缓冲装置不能改变基板101的插入顺序以及取出顺序。

如图4所示，在随机存取缓冲装置B11中，能够把多个种类的基板101a、101b、101c、101d收容到按种类汇总的位置。多个种类的基板101a、101b、101c、101d以随机顺序被搬送，但被插入到与其种类相应的规定的保持部11中，分类到按种类汇总的位置。

在随机存取缓冲装置B11内按种类分类的基板101a、101b、101c、101d一边交换顺序一边按种类被搬出到分类口的盒C11中。这样，基板按每个种类被收容到不同的盒C11中。即，该基板分类装置将多种基板101保持在随机存取缓冲装置B11中，这些基板101从随机存取缓冲装置B11按每个种类被搬出到不同的盒C11中。

随机存取缓冲装置B11适合于与其它种类(批次)相比枚数更少的基板101的搬送目的地。采用该基板分类装置的话，能够对比分类口的数目更多的种类的基板101进行分类。

其次，参照图5的流程图，说明该基板分类装置的动作。收容了多个基板101的盒C1、C2被搬入到搬入口后(步骤st1)，控制装置对要搬送到各分类口的基板101的种类进行分配(步骤st2)。然后，盒C1、C2内的基板101全部被移送到搬入侧缓冲装置B1、B2中(步骤st3)。

其次，控制装置检索并决定下一个要搬送的基板101的搬送目的地(步骤st4)。从搬入侧缓冲装置B1、B2把下一个要搬送的1枚基板101移送到搬送装置1上(步骤st5)。移送到搬送装置1上的基板101的ID被读取(步骤st6)，将基板101搬送到搬送目的地的搬出侧缓冲装置B3～B11的某一个。(步骤st7)。

此时，判断作为直进式缓冲装置的搬出侧缓冲装置B3～B10是否处于基板101向盒C3～C10的搬出过程中(步骤st8)。在搬出过程中的话，搬送装置1上的基板101就被搬送到作为随机存取缓冲装置的搬出侧缓冲装置B11中，处理进到步骤st10。另一方面，若不在搬出过程中，则处理则进到步骤st9。

步骤st8为否定的场合(搬送目的地的搬出侧缓冲装置B3～B10不在把基板101搬出到盒C3～C10的过程中的场合)，优先进行基板101向搬出侧缓冲装置B3～B10的搬送(步骤st9)，处理进到步骤st10。

步骤st8为肯定的场合(搬送目的地的搬出侧缓冲装置B3～B10在把基板101搬出到盒C3～C10的过程中的场合)，或者，在进行步骤st9的处理后，判断搬出侧缓冲装置B3～B11的任一个是否装满了基板101(步骤st10)。若已装满，处则理进到步骤st11，未装满的话，处理返回步骤st5。这样一来，进行基板101的搬送，直到将任一个搬出侧缓冲装置B3～B11装满(直到步骤st10为肯定)。

然后，在任一个搬出侧缓冲装置B3～B11装满时，搬出侧缓冲装置B3～B11内的全部基板101被搬出到分类口的盒C3～C11(步骤st11)。随后，盒C3～C11被搬出(步骤st12)，处理返回步骤st1。

其次，对基板分类装置的其他构成例进行说明。在该基板分类装置中，如图6所示，搬入侧缓冲装置B1、B2的至少一个作为随机存取缓冲装置来构成。在该场合，搬出侧缓冲装置B3～B11既可以全部是直进式缓冲装置，也可以任一个是随机存取缓冲装置。

使用该基板分类装置的话，能够在多个保持部11的全部中避开被搬送到保持着基板101的搬出侧缓冲装置(装满的搬出侧缓冲装置)B3～B11中的基板101，优先搬送被搬送到保持部11中有空的其它搬出侧缓冲装置B3～B11中的基板101。因此，该基板分类装置即使任一个搬出侧缓冲装置B3～B11装满，也不必停止基板101从搬入口的流动，能够迅速地进行分类。

其次，参照图7的流程图对该基板分类装置的动作进行说明。收容了多个基板101的盒C1、C2被搬入到搬入口后(步骤st21)，控制装置对搬送到各分类口的基板101的种类进行分配(步骤st22)。然后，盒C1、C2内的基板101全部被移送到搬入侧缓冲装置B1、B2中(步骤st23)。

接着，控制装置检索并决定下一个要搬送的基板101的搬送目的地(步骤st24)。然后，判断搬出侧缓冲装置B3～B11是否处于基板101向盒C3～C11的搬出过程中(步骤st25)。若在搬出过程中，则处理就回到步骤st24，不在搬出过程中的话，处理则进到步骤st26。在此，处理返回到步骤st24的场合，控制装置再检索基板101不在搬出过程中的搬出缓冲装置B3～B11，决定作为基板101的搬送目的地。

另一方面，在步骤st25为否定的场合(搬送目的地的搬出侧缓冲装置B3～B11不在把基板101搬出到盒C3～C11过程中的场合)，则从搬入侧缓冲装置B1、B2把接下来要搬送的1枚基板101移送到搬送装置1上(步骤st26)。读取被移送到搬送装置1上的基板101的ID(步骤27)，将基板101搬送到搬送目的地的搬出侧缓冲装置B3～B11的某一个(步骤st28)。

接着，判断搬出侧缓冲装置B3～B11的任一个是否装满了基板101(步骤st29)。装满了的话，处理进到步骤st30，若未装满，处理返回步骤st26。这样一来，进行基板101的搬送，直到将任一个搬出侧缓冲装置B3～B11装满(直到步骤st29为肯定)。

然后，在任一个搬出侧缓冲装置B3～B11装满时，搬出侧缓冲装置B3～B11内的全部基板101被搬出到分类口的盒C3～C11中(步骤st30)。随后，盒C3～C11被搬出(步骤st31)，处理返回步骤st21。

本发明的基板分类方法能够利用上述基板分类装置在例如LCD(液晶)工厂或半导体工厂等的超净室内实施。

Claims (5)

1.一种基板分类方法，其特征在于，使用基板分类装置，该基板分类装置是将以水平重叠状态收容在搬入盒中、至少从一个搬入口搬入的多个种类的多个基板按每个种类进行分类，搬送到与各种类对应的多个分类口，并搬出到设置于各分类口的搬出盒中的基板分类装置，该基板分类装置具备：

设置于上述搬入口、暂时保持收容在上述搬入盒中的基板的搬入侧缓冲装置；

把保持在上述搬入侧缓冲装置中的基板一片片搬送到上述分类口的某一个的搬送装置；以及

设置于上述各分类口、暂时保持利用上述搬送装置搬送的基板的搬出侧缓冲装置；

上述搬出侧缓冲装置之中的至少一台是可把基板插入到保持基板的多个保持部之中的任意的保持部中，并且，可取出所保持的多个基板之中的任意的基板的随机存取缓冲装置；

该基板分类方法使用上述基板分类装置，将多种基板一边保持在上述随机存取缓冲装置，一边将基板按每个种类搬出到不同的搬出盒中。

2.根据权利要求1所述的基板分类方法，其特征在于，上述随机存取缓冲装置以外的上述搬出侧缓冲装置是直进式缓冲装置，

从上述随机存取缓冲装置即上述搬出侧缓冲装置按基板的种类交换搬出盒，并按每个种类搬出基板。

3.根据权利要求1所述的基板分类方法，其特征在于，包括以下步骤：

(a)将收容了基板的上述搬入盒搬入上述搬入口；

(b)将搬入了上述搬入口的基板全部移送到上述搬入侧缓冲装置；

(c)决定与下一个被搬送的基板的搬送目的地的上述分类口对应的上述搬出侧缓冲装置；

(d)将下一个被搬送的基板从上述搬入侧缓冲装置移送到上述搬送装置；

(e)判断由步骤(c)决定的搬送目的地的上述搬出侧缓冲装置是否将基板搬出到上述分类口上的上述搬出盒中；

(f)在由步骤(e)判断为基板在搬出中的场合，利用上述搬送装置将基板搬送到作为上述随机存取缓冲装置的上述搬出侧缓冲装置中；

(g)在由步骤(e)判断为基板不在搬出中的场合，利用上述搬送装置将基板搬送到由步骤(c)决定的搬送目的地的上述搬出侧缓冲装置中；

(h)判断任一个上述搬出侧缓冲装置是否装满；

(i)在由步骤(h)判断为装满的场合，将基板从全部上述搬出侧缓冲装置搬出到各上述分类口上的上述搬出盒中；

(j)在由步骤(h)判断为未装满的场合，对下一个搬送的基板进行从步骤(c)开始的处理。

4.一种基板分类方法，其特征在于，使用基板分类装置，该基板分类装置是将以水平重叠状态收容在搬入盒中、至少从一个搬入口搬入的多个种类的多个基板按每个种类进行分类，并搬送到与各种类对应的多个分类口，搬出到设置于各分类口的搬出盒中的基板分类装置，该基板分类装置具备：

设置于上述搬入口、暂时保持收容在上述搬入盒中的基板的搬入侧缓冲装置；

把保持在上述搬入侧缓冲装置中的基板一片片搬送到上述分类口的某一个的搬送装置；

设置于上述各分类口、暂时保持被上述搬送装置搬送的基板的搬出侧缓冲装置；

上述搬入侧缓冲装置的至少一台是可把基板插入到保持基板的多个保持部之中的任意的保持部中，并且，可取出所保持的多个基板之中的任意的基板的随机存取缓冲装置；

该基板分类方法使用上述基板分类装置，避开被搬送到上述多个保持部均保持有基板的搬出侧缓冲装置中的基板，优先搬送被搬送到上述多个保持部中有空闲的其它搬出侧缓冲装置中的基板。

5.根据权利要求4所述的基板分类方法，其特征在于，包括以下步骤：

(a)将收容了基板的上述搬入盒搬入上述搬入口；

(b)将搬入了上述搬入口的基板全部移送到上述搬入侧缓冲装置中；

(c)决定与下一个被搬送的基板的搬送目的地的上述分类口对应的上述搬出侧缓冲装置；

(d)判断由步骤(c)决定的搬送目的地的上述搬出侧缓冲装置是否将基板搬出到上述分类口上的上述搬出盒中，在判断为基板在搬出中的场合，返回步骤(c)，对于其它基板，决定与搬送目的地的上述分类口对应的上述搬出侧缓冲装置；

(e)将下一个被搬送的基板从上述搬入侧缓冲装置移送到上述搬送装置；

(f)用上述搬送装置将基板搬送到由步骤(c)决定的搬送目的地的上述搬出侧缓冲装置中；

(g)判断任一个上述搬出侧缓冲装置是否装满；

(h)在由步骤(g)判断为装满的场合，将基板从全部的上述搬出侧缓冲装置搬出到各上述分类口上的上述搬出盒中；

(i)在由步骤(g)判断为未装满的场合，对下一个搬送的基板进行从步骤(c)开始的处理。

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