JPH08268512A - 基板仕分け装置を備えた荷保管設備 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 無人化を達成でき、歩留りを改善できる基板
仕分け装置を備えた荷保管設備を提供する。 【構成】 仕分け元となる異なるタイプの複数の基板を
収納した実カセット３Ａを載置する仕分け元ステージ
と、タイプ別仕分け先となる空カセット３Ｂを載置する
複数のタイプ別仕分けステージを配置した架台23と、実
カセット３Ａから、ガラス基板を各基板の情報に基づい
て空カセット３Ｂに仕分ける搬送ロボット25と、カセッ
ト３を収納する棚４と、実カセット３Ａと空カセット３
Ｂを架台23の各ステージに供給する出し入れ装置11を備
える。 【効果】 作業員の存在を無くすことができ、またガラ
ス基板のカセット３の取扱が自動化されることにより、
作業員によるガラス基板の損傷を無くすことができ、ま
たガラス基板とカセット３の情報を自動管理することが
できる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、たとえばＬＣＤ（液
晶）などの半導体工場のクリーンルーム内に設置される
基板仕分け装置を備えた荷保管設備に関するものであ
る。

【０００２】

【従来の技術】ＬＣＤ（液晶）などの半導体工場では、
液晶の基板などを製作する場合、大型の基板（たとえ
ば、ガラス基板）に複数の同一の回路パターンを形成
し、この基板をダイシング（切断）して希望の回路基板
を得、次のボンディング工程に送っている。しかし、回
路パターンの製造工程が複雑なり、回路の規模が大きく
なることにより、多くの回路に不良が発生する。この回
路不良の基板をそのまま次のボンディング工程に送る
と、ボンディングの工程が無駄になることからロスを最
少限に抑えるため、基板のダイシングの前に各回路パタ
ーンの機能テストを行っている。そして、このテスト結
果に基づいて、基板上の不良回路の存在位置別のタイプ
に仕分けして、基板を戻して不良回路の修理を行うか、
あるいは切断後、不良が発生した回路基板を廃棄してい
る。

【０００３】上記タイプ別の仕分けは、現状作業員が介
在して仕分け用の収納箱を準備するなどの作業を行って
いる。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかし、ＬＣＤ（液
晶）などの半導体工場のクリーンルームでは、塵埃の発
生源となる作業員が存在しないことが、歩留りを改善す
る方策の一つであるが、この方策に反しており、また作
業員は基板を損傷しないように基板の収納箱の取扱には
慎重を期する必要があり、作業員の負担になっている。

【０００５】本発明は上記問題を解決するものであり、
無人化を達成でき、歩留りを改善できる基板仕分け装置
を備えた荷保管設備を提供することを目的とするもので
ある。

【０００６】

【課題を解決するための手段】上記問題を解決するため
第１発明の基板仕分け装置を備えた荷保管設備は、異な
るタイプの複数の基板を、これら各基板の情報に基づい
てタイプ別に仕分ける基板仕分け装置と、前記基板を収
納するカセットを保管する複数のカセット収納部を有す
る棚と、前記カセットの入出庫を行う搬入出装置を備え
た荷保管設備であって、前記基板仕分け装置を、仕分け
元となる異なるタイプの複数の基板を収納した実カセッ
トを載置する仕分け元ステージと、タイプ別仕分け先と
なる空カセットを載置する複数のタイプ別仕分けステー
ジを配置した架台と、前記実カセットから、基板を前記
各基板の情報に基づいて前記空カセットに仕分ける基板
出し入れ装置とから構成し、前記搬入出装置により、前
記棚のカセット収納部と架台のステージ間で前記カセッ
トの搬入出を行うことを特徴とする。

【０００７】また第２発明の基板仕分け装置を備えた荷
保管設備は、上記第１発明の基板仕分け装置を備えた荷
保管設備であって、棚の一部を基板仕分け装置の架台と
して使用することを特徴とする。

【０００８】

【作用】上記第１発明の構成によると、実カセットと空
カセットは、棚のカセット収納部よりそれぞれ搬入出装
置により各ステージへ供給され、実カセットの基板は、
基板出し入れ装置により、各回路の良否判定情報に基づ
いてタイプ別に仕分けられ、実カセットの基板の仕分け
が終了すると、また空カセットが仕分けられた基板で満
杯となると、搬入出装置により棚のカセット収納部に収
納され、保管される。

【０００９】また第２発明の構成によると、棚の一部は
基板仕分け装置の架台として使用され、設備としてのス
ペースが縮小される。

【００１０】

【実施例】以下、本発明の一実施例を図面に基づいて説
明する。図１は本発明の一実施例である基板仕分け装置
を備えた荷保管設備の平面図、図２は同荷保管設備の正
面図、図３は同荷保管設備の側面図である。

【００１１】荷保管設備１は、図４に示すように、４回
路がパターン形成された複数毎のガラス基板２を水平に
収納するカセット３を保管し、入出庫するとともに、不
良回路の存在位置別のタイプにガラス基板２の仕分けを
行う基板仕分け装置を備えた設備であり、垂直な支柱と
この支柱に取付けた腕木により上下方向ならびに左右方
向に上記複数のカセット３の収納空間４Ａが形成された
棚４と、入庫されるカセット３に取付けられたカセット
ＩＤから成るバーコードを読み取るバーコードリーダ５
を有し、カセット３の入庫口を形成する第１荷受け台６
と、出庫されるカセット３の出庫口を形成する第２荷受
け台８と、棚４に対向して設けられた基板仕分け装置
（詳細は後述する）９と、棚４および基板仕分け装置９
のカセット３の入出庫面（前面）に沿った一定経路10を
走行自在に構成され、上下方向に昇降自在な昇降体を備
え、この昇降体上に、棚４のカセット収納空間と、基板
仕分け装置９と、第１，第２荷受け台６，８に対して出
退自在なカセット３の出し入れ具（フォーク）を備えた
出し入れ装置（搬入出装置）11と、基板仕分け装置９お
よび出し入れ装置11を制御するコントローラ12（詳細は
後述する）から形成されている。

【００１２】第１荷受け台６に設けられたバーコードリ
ーダ５により読み取られたカセット３のコード（カセッ
トＩＤ）はコントローラ12へ入力される。またガラス基
板２の製造工程を管理するホストコンピュータ13が設け
られており、ホストコンピュータ13には、棚４のカセッ
ト収納空間毎に、カセット３の有無、カセット３が有る
場合には、カセットＩＤとガラス基板２の有無が記憶さ
れている。また、テスト済みのガラス基板２が収納され
たカセット（以下、実カセットと称す）３Ａについて
は、各ガラス基板２のテスト結果（以下、ガラス情報と
称す）が記憶されている。

【００１３】このガラス情報は、図５に示すように、不
良（ＮＧ）の回路の位置により、Ａ〜Ｆのタイプが設定
されている。また、上記第１，第２荷受け台６，８に
は、カセット３を載せて回転スライドするテーブル14，
15が設けられ、またこれらテーブル14，15には、出し入
れ装置11の出し入れ具がカセット３の下方に自在に出し
入れを可能とするとともに、カセット３の位置決めを行
う台座が設けられている。

【００１４】また棚４の背面には、クリーンエア供給ユ
ニット（清浄装置）16が設けられ、棚４と出し入れ装置
11にクリーンエアを供給している。なお荷保管設備１全
体にはクリーンルーム天井からクリーンエアが供給され
ている。また図２に示すように、棚４の側面には、作業
員に空らのカセット（以下、空カセットと称す）３Ｂの
補充が必要なことを報知するシグナルランプ17が設けら
れている。

【００１５】基板仕分け装置９は、図６〜図８に示すよ
うに、実カセット３Ａを載置する仕分け元ステージ21
と、上記Ａ〜Ｆのタイプ別の仕分け先となる空カセット
３Ｂを載置する複数のタイプ別仕分けステージ22を一列
に配置した架台23と、ステージ21，22に沿った一定経路
24を走行自在で、実カセット３Ａと空カセット３Ｂに対
して出退自在なガラス基板２の出し入れ具（フォーク）
を備えた基板出し入れ装置を形成する搬送ロボット25
と、周囲に巡らせた開閉自在な透明な板体26から形成さ
れている。

【００１６】架台23の仕分け元ステージ21には、カセッ
ト３の位置決めを行う台座27と、台座27に載置された実
カセット３Ａを左右方向から挟む移動腕28を有し、実カ
セット３Ａのガラス基板２の位置をセンターに揃えるセ
ンタリング装置29が配設され、タイプ別仕分けステージ
22には、カセット３の位置決めを行う台座30が設けられ
ている。また、これらステージ21，22には、出し入れ装
置11の出し入れ具をカセット３の下方に出し入れ自在と
する出し入れ具挿入口31が設けられている。

【００１７】上記荷保管設備１の制御構成図を図９に示
す。コントローラ12に出し入れ装置11のコントローラ41
とセンタリング装置29と搬送ロボット25のコントローラ
42が接続され、これら機器の動作を統括している。

【００１８】まず、搬送ロボット25のコントローラ42の
動作を図10，図11に基づいて説明する。 〔搬送ロボットの動作〕図11に示すように、仕分け元ス
テージ21とＡ〜Ｆのタイプ別仕分けステージ22に載置さ
れた全てのカセット３に対応するメモリを有しており、
実カセット３Ａよりガラス基板２が移載（仕分け）され
る毎に、最上段（Ｎo.１）よりガラスＩＤを埋めてい
き、最下段（Ｎo.25）の箇所にガラスＩＤが記憶され
る。なお、初期状態では、Ａ〜Ｆのタイプ別仕分けステ
ージ22に載置された全てのカセット３にはガラス基板２
が収納されていない状態で記憶しており、また最大収納
できるガラス基板２の枚数を25枚としている。

【００１９】まず、コントローラ12より仕分け元ステー
ジ21に載置された実カセット３ＡのカセットＩＤとこの
カセット内のガラス基板２のＩＤおよびガラス情報（Ａ
〜Ｆ）と、Ａ〜Ｆのタイプ別仕分けステージ22に載置さ
れたカセットＩＤからなる仕分け情報を入力すると（ス
テップ−１）、この仕分け情報を記憶し（ステップ−
２）、続いて実カセット３Ａのｎ段（１≦ｎ≦25）より
ガラスＩＤとガラス情報を検索し（ステップ−３，
４）、搬送ロボット25へこのｎ段のガラス基板２をガラ
ス情報（Ａ〜Ｆ）のタイプ別仕分けステージ22の空カセ
ット３Ｂへ移載する搬送指令を出力する（ステップ−
５）。そして、搬送ロボット25より搬送終了の信号を入
力すると（ステップ−６）、上述したように、搬送先の
カセット３Ｂのメモリを更新する（ステップ−７）。

【００２０】次に、このメモリが更新されたカセット３
Ｂが満杯（最下段までガラスＩＤが記憶）となったかど
うかを確認し（ステップ−８）、満杯の場合、移載を中
止して、ガラス情報（ロケーション情報）とカセットＩ
Ｄと記憶したガラスＩＤの一覧からなる満杯信号をコン
トローラ12へ出力する（ステップ−９）。そして、上記
ロケーション情報のカセット３が出庫され、次の空カセ
ットのカセットＩＤを入力すると（ステップ−10）、こ
のロケーションのメモリの初期化、およびカセットＩＤ
を記憶し（ステップ−11）、次のガラス基板２の移載を
再開する。

【００２１】そして、25枚のガラス基板２を移載するま
で、ステップ−４〜13を繰り返し、25枚のガラス基板２
の実カセット３Ａからの移載（仕分け）が終了すると
（ステップ−13）、仕分け終了信号をコントローラ12へ
出力して（ステップ−14）、終了する。

【００２２】次にコントローラ12の詳細な動作を、図12
〜図15に示すフローチャートにしたがって説明する。 〔入庫動作〕（図12参照） まず、第１荷受け台６に設けられたバーコードリーダ５
により読み取られたコード（カセットＩＤ）を入力する
と（ステップ−１）、このカセットＩＤをホストコンピ
ュータ13へ出力する（ステップ−２）。そして、ホスト
コンピュータ13より、カセットＩＤ、および入庫するカ
セット３を格納するカセット収納空間のロケーション情
報からなる入庫情報（空カセット３Ｂが必要なときは空
カセット補充情報を含む）を入力すると（ステップ−
３）、この入庫情報を記憶し（ステップ−４）、上記ロ
ケーション情報を出し入れ装置10へ出力し、一旦実カセ
ット３をカセット収納空間に格納させる（ステップ−
５）。次に、入庫情報に空カセット補充情報が含まれて
いるときは（ステップ−６）、シグナルランプ17を点灯
し（ステップ−７）、含まれていないときはシグナルラ
ンプ17を消灯する（ステップ−８）。そして、出し入れ
装置10より入庫終了信号を入力すると（ステップ−
９）、カセットＩＤと入力終了信号をホストコンピュー
タ13へ出力する（ステップ−10）。 〔仕分け動作〕（図13，図14参照） ホストコンピュータ13より、Ａ〜Ｆのタイプ別仕分けス
テージ22へ出力する空カセット３ＢのカセットＩＤとロ
ケーション情報、および仕分けを行う実カセット３Ａの
カセットＩＤとロケーション情報およびカセット内に収
納されたガラス基板２のガラス情報（６種類）、および
ガラスＩＤからなる仕分け情報を入力すると（ステップ
−１）、この仕分け情報を記憶し（ステップ−２）、出
し入れ装置11へＡ〜Ｆのタイプ別仕分けステージ22へ出
力する空カセット３Ｂのロケーション情報を出力し（ス
テップ−３）、出し入れ装置11よりＡ〜Ｆのタイプ別仕
分けステージ22への出力終了信号を入力すると（ステッ
プ−４）、Ａ〜Ｆのタイプ別仕分けステージ22に載置さ
れたカセットＩＤを記憶し（ステップ−５）、次に最初
に仕分けを行う実カセット３Ａのロケーション情報を出
し入れ装置11へ出力し（ステップ−６，７）、出し入れ
装置11より仕分け元ステージ21への出力終了信号を入力
すると（ステップ−８）、仕分け元ステージ21に載置さ
れたカセットＩＤを記憶する（ステップ−９）。

【００２３】次に、センタリング装置29へ移動腕28の駆
動命令信号を出力し（ステップ−10）、センタリング装
置29から駆動終了信号を入力すると（ステップ−11）、
搬送ロボット25のコントローラ（以下、搬送コントロー
ラと称す）42へ、仕分け元ステージ21に載置された実カ
セット３Ａの収納されたガラス基板２のガラス情報（６
種類）、およびガラスＩＤと、Ａ〜Ｆのタイプ別仕分け
ステージ22に載置された空カセット３ＢのカセットＩＤ
からなる移載情報を出力する（ステップ−12）。

【００２４】そして、搬送コントローラ42より上記満杯
情報（カセットＩＤ）を入力すると（ステップ−13）、
ホストコンピュータ13へ満杯となったカセット（以下、
仕分けカセットと称す）３を移動するロケーション情報
と次に用意する空カセット３Ｂのロケーション情報を要
求する要求信号を出力する（ステップ−14）。これら情
報をホストコンピュータ13より入力すると（ステップ−
15）、出し入れ装置11へまず、仕分けカセット３のロケ
ーション情報とこの仕分けカセット３を収納する棚４の
カセット収納空間のロケーション情報からなる収納情報
を出力し（ステップ−16）、出し入れ装置11より収納終
了信号を入力すると（ステップ−17）、空カセット３Ｂ
のロケーション情報と、この空カセット３Ｂを載置する
タイプ別仕分けステージ22のロケーション情報からなる
移動情報を出力し（ステップ−18）、出し入れ装置11よ
り移動終了信号を入力すると（ステップ−19）、移動し
た空カセット３Ｂの情報を記憶し（ステップ−20）、空
カセット３ＢのカセットＩＤからなる情報を搬送コント
ローラ42へ出力する（ステップ−21）。

【００２５】そして、搬送コントローラ42より仕分け終
了信号を入力すると（ステップ−22）、ホストコンピュ
ータ13へ仕分け済みで空カセット３Ｂとなったこの空カ
セット３を移動するロケーション情報を要求する要求信
号を出力する（ステップ−23）。この情報をホストコン
ピュータ13より入力すると（ステップ−24）、出し入れ
装置11へ、仕分け元ステージ21のロケーション情報とこ
の仕分け済みカセット３を収納する棚４のカセット収納
空間のロケーション情報からなる収納情報を出力し（ス
テップ−25）、出し入れ装置11より収納終了信号を入力
すると（ステップ−26）、次の実カセット３Ａの仕分け
を実行する（ステップ−27，28）。そして、全ての仕分
けが終了すると（ステップ−28）、ホストコンピュータ
13へ仕分け終了信号を出力する（ステップ−29）。 〔出庫動作〕（図15参照） ホストコンピュータ13より、カセットＩＤ、および出庫
するカセット３を格納するカセット収納空間のロケーシ
ョン情報からなる出庫情報を入力すると（ステップ−
１）、この出庫情報を記憶し（ステップ−２）、上記ロ
ケーション情報を出し入れ装置10へ出力し、一旦カセッ
ト３を第２荷受け台８へ出庫させ（ステップ−３）、出
し入れ装置10より出庫終了信号を入力すると（ステップ
−４）、カセットＩＤと入力終了信号をホストコンピュ
ータ13へ出力する（ステップ−５）。

【００２６】上記構成によるカセット３の移動動作を図
16にしたがって説明する。 第１荷受け台６にカセット３が載置され、そのカセッ
トＩＤがバーコードリーダにより読み取られると、この
カセット３はホストコンピュータ13の入庫情報に基づい
て棚４のカセット収納空間４Ａへ入庫される。 ホストコンピュータ13の仕分け情報に基づいて、空カ
セット３Ｂがタイプ別仕分けステージ22へ移動され、仕
分けされる実カセット３Ａが仕分け元ステージ21へ移動
される。 次にホストコンピュータ13の仕分け情報に基づいて、
実カセット３Ａのガラス基板２がタイプ別仕分けステー
ジ22の空カセット３Ｂへ移載される。 満杯となった仕分けカセット３はホストコンピュータ
13の収納情報に基づいて、棚４のカセット収納空間へ収
納され、空カセット３Ｂがタイプ別仕分けステージ22へ
補充される。 仕分けの終了した仕分け済みカセット３はホストコン
ピュータ13の移動情報に基づいて、棚４のカセット収納
空間へ収納され、次の実カセット３Ａが仕分け元ステー
ジ21へ移動される。 仕分けカセット３が、ホストコンピュータ13の出庫情
報に基づいて第２荷受け台８へ出庫される。

【００２７】なお、仕分けカセット３は、タイプ別仕分
けステージ22から直接第２荷受け台８へ出庫されること
もある。このように、実カセット３Ａと空カセット３Ｂ
は、それぞれ出し入れ装置11により各ステージ21，22へ
供給され、実カセット３Ａのガラス基板２は、搬送ロボ
ット25により、ガラス情報に基づいてタイプ別に仕分け
られ、実カセット３Ａのガラス基板２の仕分けが終了す
ると、また空カセット３Ｂが仕分けられたガラス基板２
で満杯となると、出し入れ装置11により取換えられる。
したがって、クリーンルームでの塵埃の発生源となる作
業員の存在を無くすことができ、またガラス基板２のカ
セット３の取扱が自動化されることにより、作業員によ
るガラス基板２の損傷を無くすことができ、また作業ミ
スを無くすことができ、さらにガラス基板２とカセット
３の情報を自動管理することができる。

【００２８】また実カセット３Ａと空カセット３Ｂと仕
分けカセット３が棚４のカセット収納空間に収納され
て、保管され、ステージ21，22へ供給されることによ
り、仕分け作業を迅速に行うことができ、全体の製造効
率を向上させることができ、さらに棚４を設けることに
より、カセット３の保管スペースを少なくすることがで
きる。また、クリーンエアが棚４と出し入れ装置11に供
給されることにより、カセット３をクリーンな状態で供
給・保管できる。

【００２９】図17に荷保管設備の他の構成を示す。ガラ
ス基板２のテストを行う検査装置51が隣接され、この検
査装置51からカセット３を搬送するローラコンベヤ装置
52の終端が直接荷保管設備１内に配置され、この終端位
置に上下に昇降自在な仕分け元ステージ21’を設け、ロ
ーラコンベヤ装置52により搬送されてきた実カセット３
Ａを台座上に載置する構成としている。

【００３０】コントローラ12は、検査装置51よりコンベ
ヤ装置52を介して実カセット３Ａが直接入庫されると、
仕分け元ステージ21’の台座に移載し、搬送ロボット25
によりガラス情報に基づいてタイプ別仕分けステージ22
の空カセット３Ｂにガラス基板２を仕分けるようにして
いる。また勿論、図10〜図16で説明した実施例の動作と
同様の動作を実行することもできる。

【００３１】この構成により、実カセット３Ａの搬入を
自動化することができ、さらに迅速な仕分け作業を実施
でき、全体の製造効率を向上させることができる。な
お、上記実施例では、架台23の上方を棚として使用して
いないが、棚として形成することもでき、カセット３の
保管スペースを増加させることができる。また、逆に棚
４を架台23のスペースに移動し、棚４の一部を架台23と
して使用することも可能であり、設備としての設置スペ
ースを縮小でき、工場内のスペースを有効に使用するこ
とができる。

【００３２】

【発明の効果】以上のように第１発明によれば、実カセ
ットと空カセットは、それぞれ搬入出装置により各ステ
ージへ供給され、実カセットの基板は、基板出し入れ装
置により、各基板の情報に基づいてタイプ別に仕分けら
れ、実カセットの基板の仕分けが終了すると、また空カ
セットが仕分けられた基板で満杯となると、搬入出装置
により取換えられることによって、基板の仕分け作業に
おける作業員の存在を無くすことができ、よってクリー
ンルームでの塵埃の発生源をなくすことができ、またカ
セットの取扱が自動化されることにより、作業員による
基板の損傷を防止することができ、また作業ミスを無く
すことができ、さらに基板とカセットの情報を自動管理
することができる。さらに棚を設けることにより、カセ
ットの保管スペースを少なくすることができる。

【００３３】また第２発明によれば、棚の一部を基板仕
分け装置の架台として使用することにより、設備として
のスペースを縮小でき、工場内のスペースを有効に使用
することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例における基板仕分け装置を備
えた荷保管設備の平面図である。

【図２】同荷保管設備の正面図である。

【図３】同荷保管設備の側面図である。

【図４】同荷保管設備に収納するカセットおよびガラス
基板の説明図である。

【図５】同荷保管設備に収納するガラス基板のタイプの
説明図である。

【図６】同荷保管設備の基板仕分け装置の平面図であ
る。

【図７】同荷保管設備の基板仕分け装置（図６）Ａ−Ａ
矢視図である。

【図８】同荷保管設備の基板仕分け装置（図６）Ｂ−Ｂ
矢視図である。

【図９】同荷保管設備の制御構成図である。

【図10】同荷保管設備の基板仕分け装置の搬送ロボット
コントローラの動作フローチャートである。

【図11】同荷保管設備の基板仕分け装置の搬送ロボット
コントローラのメモリマップである。

【図12】同荷保管設備のコントローラの動作フローチャ
ートである。

【図13】同荷保管設備のコントローラの動作フローチャ
ートである。

【図14】同荷保管設備のコントローラの動作フローチャ
ートである。

【図15】同荷保管設備のコントローラの動作フローチャ
ートである。

【図16】同荷保管設備の動作説明図である。

【図17】本発明の他の実施例における基板仕分け装置を
設置した荷保管設備の構成図である。

【符号の説明】

１ 荷保管設備 ２ ガラス基板 ３ カセット ３Ａ 実カセット ３Ｂ 空カセット ４ 棚 ５ バーコードリーダ ６，８ 荷受け台 ９ 基板仕分け装置 10 一定経路 11 出し入れ装置（搬入出装置） 12 コントローラ 16 クリーンエア供給ユニット（清浄装置） 21 仕分け元ステージ 22 タイプ別仕分けステージ 23 架台 24 一定経路 25 搬送ロボット（基板出し入れ装置） 27，30 台座 29 センタリング装置 42 搬送ロボットのコントローラ 51 検査装置 52 ローラコンベヤ装置

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 異なるタイプの複数の基板を、これら各
   基板の情報に基づいてタイプ別に仕分ける基板仕分け装
   置と、前記基板を収納するカセットを保管する複数のカ
   セット収納部を有する棚と、前記カセットの入出庫を行
   う搬入出装置を備えた荷保管設備であって、 前記基板仕分け装置を、 仕分け元となる異なるタイプの複数の基板を収納した実
   カセットを載置する仕分け元ステージと、タイプ別仕分
   け先となる空カセットを載置する複数のタイプ別仕分け
   ステージを配置した架台と、 前記実カセットから、基板を前記各基板の情報に基づい
   て前記空カセットに仕分ける基板出し入れ装置と、から
   構成し、 前記搬入出装置により、前記棚のカセット収納部と架台
   のステージ間で前記カセットの搬入出を行うことを特徴
   とする基板仕分け装置を備えた荷保管設備。
2. 【請求項２】 請求項１記載の基板仕分け装置を備えた
   荷保管設備であって、棚の一部を基板仕分け装置の架台
   として使用することを特徴とする。