JP2000044015A - 半導体ウェーハの保管設備およびこれを用いた半導体ウェーハの保管管理方法 - Google Patents
半導体ウェーハの保管設備およびこれを用いた半導体ウェーハの保管管理方法Info
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- JP2000044015A JP2000044015A JP21602898A JP21602898A JP2000044015A JP 2000044015 A JP2000044015 A JP 2000044015A JP 21602898 A JP21602898 A JP 21602898A JP 21602898 A JP21602898 A JP 21602898A JP 2000044015 A JP2000044015 A JP 2000044015A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】半導体ウェーハの保管設備内で１枚毎の管理が
可能で、さらに半導体ウェーハの品質を劣化させること
なく管理できる半導体ウェーハの保管設備およびこれを
用いた半導体ウェーハの保管管理方法を提供する。 【解決手段】半導体ウェーハの保管設備１は複数枚の半
導体ウェーハＷを収納する保管用カセット３が収納され
る収納部４が複数個形成された保管棚５と、この保管棚
５に対応して設けられ収納部４の保管用カセット３を入
出庫するカセット搬送ロボット６と、保管用カセット３
と入出庫用カセット７間で半導体ウェーハＷの移載を行
うウェーハ移載ロボット８と、このウェーハ移載ロボッ
ト８およびカセット搬送ロボット６を制御し入力手段２
２が設けられた制御手段９とを有する。
可能で、さらに半導体ウェーハの品質を劣化させること
なく管理できる半導体ウェーハの保管設備およびこれを
用いた半導体ウェーハの保管管理方法を提供する。 【解決手段】半導体ウェーハの保管設備１は複数枚の半
導体ウェーハＷを収納する保管用カセット３が収納され
る収納部４が複数個形成された保管棚５と、この保管棚
５に対応して設けられ収納部４の保管用カセット３を入
出庫するカセット搬送ロボット６と、保管用カセット３
と入出庫用カセット７間で半導体ウェーハＷの移載を行
うウェーハ移載ロボット８と、このウェーハ移載ロボッ
ト８およびカセット搬送ロボット６を制御し入力手段２
２が設けられた制御手段９とを有する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は半導体ウェーハの保
管設備およびこれを用いた半導体ウェーハの保管管理方
法に係わり、特に半導体ウェーハの管理の改善を図った
半導体ウェーハの保管設備およびこれを用いた半導体ウ
ェーハの保管管理方法に関する。
管設備およびこれを用いた半導体ウェーハの保管管理方
法に係わり、特に半導体ウェーハの管理の改善を図った
半導体ウェーハの保管設備およびこれを用いた半導体ウ
ェーハの保管管理方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体ウェーハの製造は引上げられた半
導体インゴットの切断、研削、エッチングおよび研磨等
多くの工程を経て製造され保管される。このようにして
製造される半導体ウェーハの大口径化に伴い、半導体ウ
ェーハの保管や搬送の単位は小さくなっており、半導体
ウェーハ１枚毎の管理が必要となってきた。
導体インゴットの切断、研削、エッチングおよび研磨等
多くの工程を経て製造され保管される。このようにして
製造される半導体ウェーハの大口径化に伴い、半導体ウ
ェーハの保管や搬送の単位は小さくなっており、半導体
ウェーハ１枚毎の管理が必要となってきた。
【０００３】しかし、製造工程によっては散在保管され
１枚毎に管理されている半導体ウェーハを特性や製造履
歴等に応じて品種毎に集結し、複数個のカセットで構成
する管理単位に集結する必要が生じる。この集結として
例えば出荷ロットの構成や加工バッチの構成がある。
１枚毎に管理されている半導体ウェーハを特性や製造履
歴等に応じて品種毎に集結し、複数個のカセットで構成
する管理単位に集結する必要が生じる。この集結として
例えば出荷ロットの構成や加工バッチの構成がある。
【０００４】従来複数個のカセットで構成する管理単位
に集結する場合、再構成に必要な半導体ウェーハが入っ
ている複数個のカセットを人手によって調査し、このカ
セットを保管設備から出庫させ、移載装置や人手によっ
て半導体ウェーハを空いたカセットに移し替えることで
管理単位の再構成を行っていた。
に集結する場合、再構成に必要な半導体ウェーハが入っ
ている複数個のカセットを人手によって調査し、このカ
セットを保管設備から出庫させ、移載装置や人手によっ
て半導体ウェーハを空いたカセットに移し替えることで
管理単位の再構成を行っていた。
【０００５】このように従来の保管設備ではカセット単
位で半導体ウェーハの管理を行い、保管設備の保管棚へ
の入出庫もカセット単位で行っていた。
位で半導体ウェーハの管理を行い、保管設備の保管棚へ
の入出庫もカセット単位で行っていた。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】従来の保管設備を用い
た半導体ウェーハの保管管理方法は、半導体ウェーハを
１枚毎に管理して取り扱うことができないため、前記の
移し替え作業が必要となっていた。この作業は長い作業
時間を要し、また作業の繁雑さからゴミによる汚染やキ
ズ等により半導体ウェーハの品質に悪影響を及ぼし、さ
らに作業員の判断ミスから異品種を収納すべきでないカ
セットに混入させる虞れもあった。
た半導体ウェーハの保管管理方法は、半導体ウェーハを
１枚毎に管理して取り扱うことができないため、前記の
移し替え作業が必要となっていた。この作業は長い作業
時間を要し、また作業の繁雑さからゴミによる汚染やキ
ズ等により半導体ウェーハの品質に悪影響を及ぼし、さ
らに作業員の判断ミスから異品種を収納すべきでないカ
セットに混入させる虞れもあった。
【０００７】本発明は上述した事情を考慮してなされた
もので、保管設備内で１枚毎の管理が可能で、さらに半
導体ウェーハの品質を劣化させることなく管理できる半
導体ウェーハの保管管理設備およびこれを用いた保管管
理方法を提供することを目的としている。
もので、保管設備内で１枚毎の管理が可能で、さらに半
導体ウェーハの品質を劣化させることなく管理できる半
導体ウェーハの保管管理設備およびこれを用いた保管管
理方法を提供することを目的としている。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
になされた本願請求項１の発明は、複数枚の半導体ウェ
ーハが収納可能な複数個の保管用カセットと、この保管
用カセットを収納する収納部が複数個形成された保管棚
と、この保管棚に対応して設けられ前記収納部に前記保
管用カセットを入出庫するカセット搬送ロボットと、前
記保管用カセットとの半導体ウェーハの出入れに用いら
れる入出庫用カセットと、この入出庫用カセットと前記
保管カセット間で半導体ウェーハの移載を行うウェーハ
移載ロボットと、このウェーハ移載ロボットおよび前記
カセット搬送ロボットを制御し入力手段が設けられた制
御手段とを有することを特徴とする半導体ウェーハの保
管設備であることを要旨としている。
になされた本願請求項１の発明は、複数枚の半導体ウェ
ーハが収納可能な複数個の保管用カセットと、この保管
用カセットを収納する収納部が複数個形成された保管棚
と、この保管棚に対応して設けられ前記収納部に前記保
管用カセットを入出庫するカセット搬送ロボットと、前
記保管用カセットとの半導体ウェーハの出入れに用いら
れる入出庫用カセットと、この入出庫用カセットと前記
保管カセット間で半導体ウェーハの移載を行うウェーハ
移載ロボットと、このウェーハ移載ロボットおよび前記
カセット搬送ロボットを制御し入力手段が設けられた制
御手段とを有することを特徴とする半導体ウェーハの保
管設備であることを要旨としている。
【０００９】本願請求項２の発明では上記ウェーハ移載
ロボットはウェーハステーションに設けられ、この前記
ウェーハステーションにはそれぞれ制御手段により制御
され、入出庫用カセットの高さを調整する入出庫用カセ
ット昇降装置と保管用カセットの高さを調整する保管用
カセット昇降装置が設けられたことを特徴とする請求項
１に記載の半導体ウェーハの保管設備であることを要旨
としている。
ロボットはウェーハステーションに設けられ、この前記
ウェーハステーションにはそれぞれ制御手段により制御
され、入出庫用カセットの高さを調整する入出庫用カセ
ット昇降装置と保管用カセットの高さを調整する保管用
カセット昇降装置が設けられたことを特徴とする請求項
１に記載の半導体ウェーハの保管設備であることを要旨
としている。
【００１０】本願請求項３の発明では上記入出庫用カセ
ット昇降装置は複数個設けられたことを特徴とする請求
項２に記載の半導体ウェーハの保管設備であることを要
旨としている。
ット昇降装置は複数個設けられたことを特徴とする請求
項２に記載の半導体ウェーハの保管設備であることを要
旨としている。
【００１１】本願請求項４の発明では上記ウェーハ移載
ロボットのアームは保管用カセットまたは入出庫用カセ
ットに収納され移載される半導体ウェーハの収納位置に
応じてホークの高さが変えられるように昇降自在に設け
られたことを特徴とする請求項１ないし３いずれか１項
に記載の半導体ウェーハの保管設備であることを要旨と
している。
ロボットのアームは保管用カセットまたは入出庫用カセ
ットに収納され移載される半導体ウェーハの収納位置に
応じてホークの高さが変えられるように昇降自在に設け
られたことを特徴とする請求項１ないし３いずれか１項
に記載の半導体ウェーハの保管設備であることを要旨と
している。
【００１２】本願請求項５の発明では上記制御手段には
ホストコンピュータと入力手段が接続されたことを特徴
とする請求項１ないし５いずれか１項に記載の半導体ウ
ェーハの保管設備であることを要旨としている。
ホストコンピュータと入力手段が接続されたことを特徴
とする請求項１ないし５いずれか１項に記載の半導体ウ
ェーハの保管設備であることを要旨としている。
【００１３】本願請求項６の発明では上記制御手段には
マーキング情報読み取り用の読取装置が接続されたこと
を特徴とする請求項５に記載の半導体ウェーハの保管設
備であることを要旨としている。
マーキング情報読み取り用の読取装置が接続されたこと
を特徴とする請求項５に記載の半導体ウェーハの保管設
備であることを要旨としている。
【００１４】本願請求項７の発明では上記保管用カセッ
トは入出庫用カセットより半導体ウェーハの収納容量が
大きいことを特徴とする請求項１ないし６項いずれか１
項に記載の半導体ウェーハの保管設備であることを要旨
としている。
トは入出庫用カセットより半導体ウェーハの収納容量が
大きいことを特徴とする請求項１ないし６項いずれか１
項に記載の半導体ウェーハの保管設備であることを要旨
としている。
【００１５】本願請求項８の発明では上記保管用カセッ
トは入出庫用カセットと同一形状を有しカセット識別用
の識別記号が付されたことを特徴とする請求項１ないし
６項いずれか１項に記載の半導体ウェーハの保管設備で
あることを要旨としている。
トは入出庫用カセットと同一形状を有しカセット識別用
の識別記号が付されたことを特徴とする請求項１ないし
６項いずれか１項に記載の半導体ウェーハの保管設備で
あることを要旨としている。
【００１６】本願請求項９の発明は多品種の半導体ウェ
ーハが収納された入出庫用カセットを用意しておき、こ
の入出庫用カセットに収納された半導体ウェーハの認識
情報を制御手段に入力し、この制御手段により半導体ウ
ェーハが収納可能な保管用カセットを検索し、前記制御
手段の指令によりカセット搬送用ロボットを作動させて
前記保管用カセットを保管棚の収納部から入出庫口まで
搬送し、前記制御手段によりウェーハ移載用ロボットを
作動させて前記入出庫用カセットの半導体ウェーハを前
記保管用カセットに収納し、前記制御手段によりカセッ
ト搬送用ロボットを作動させて半導体ウェーハが収納さ
れた前記保管用カセットを収納部に収納する半導体ウェ
ーハの保管管理方法であることを要旨としている。
ーハが収納された入出庫用カセットを用意しておき、こ
の入出庫用カセットに収納された半導体ウェーハの認識
情報を制御手段に入力し、この制御手段により半導体ウ
ェーハが収納可能な保管用カセットを検索し、前記制御
手段の指令によりカセット搬送用ロボットを作動させて
前記保管用カセットを保管棚の収納部から入出庫口まで
搬送し、前記制御手段によりウェーハ移載用ロボットを
作動させて前記入出庫用カセットの半導体ウェーハを前
記保管用カセットに収納し、前記制御手段によりカセッ
ト搬送用ロボットを作動させて半導体ウェーハが収納さ
れた前記保管用カセットを収納部に収納する半導体ウェ
ーハの保管管理方法であることを要旨としている。
【００１７】本願請求項１０の発明は半導体ウェーハが
収納可能な入出庫用カセットを用意し、出庫させる半導
体ウェーハの認識情報を制御手段に入力し、この制御手
段からの指令によりカセット搬送用ロボットを作動させ
て出庫させる半導体ウェーハが収納されたウェーハ保管
カセットを入出庫口まで搬送し、前記制御手段からの指
令によりウェーハ移載用ロボットを作動させて前記保管
用カセットの半導体ウェーハを前記入出庫用カセットに
収納し、この前記入出庫用カセットを半導体ウェーハの
保管設備外に取り出す半導体ウェーハの保管管理方法で
あることを要旨としている。
収納可能な入出庫用カセットを用意し、出庫させる半導
体ウェーハの認識情報を制御手段に入力し、この制御手
段からの指令によりカセット搬送用ロボットを作動させ
て出庫させる半導体ウェーハが収納されたウェーハ保管
カセットを入出庫口まで搬送し、前記制御手段からの指
令によりウェーハ移載用ロボットを作動させて前記保管
用カセットの半導体ウェーハを前記入出庫用カセットに
収納し、この前記入出庫用カセットを半導体ウェーハの
保管設備外に取り出す半導体ウェーハの保管管理方法で
あることを要旨としている。
【００１８】本願請求項１１の発明は半導体ウェーハを
入庫させる場合には、多品種の半導体ウェーハが収納さ
れた複数個の保管用カセットを用意しておき、これらの
保管カセットに収納された半導体ウェーハの認識情報を
制御手段に入力し、この制御手段により半導体ウェーハ
が収納可能な保管用カセットを検索し、前記制御手段の
指令によりカセット搬送用ロボットを作動させて前記保
管用カセットを保管棚の収納部から入出庫口まで搬送
し、前記制御手段によりウェーハ移載用ロボットを作動
させて前記入出庫用カセットの半導体ウェーハを前記保
管用カセットに収納し、前記制御手段によりカセット搬
送用ロボットを作動させて半導体ウェーハが収納された
前記保管用カセットを収納部に収納し、半導体ウェーハ
を出庫させる場合には、半導体ウェーハが収納可能な入
出庫用カセットを用意し、出庫させる半導体ウェーハの
認識情報を制御手段に入力し、この制御手段からの指令
によりカセット搬送用ロボットを作動させて出庫させる
半導体ウェーハが収納されたウェーハ保管カセットを入
出庫口まで搬送し、前記制御手段からの指令によりウェ
ーハ移載用ロボットを作動させて前記保管用カセットの
半導体ウェーハを前記入出庫用カセットに収納し、この
前記入出庫用カセットを半導体ウェーハの保管設備外に
取り出す半導体ウェーハの保管管理方法であることを要
旨としている。
入庫させる場合には、多品種の半導体ウェーハが収納さ
れた複数個の保管用カセットを用意しておき、これらの
保管カセットに収納された半導体ウェーハの認識情報を
制御手段に入力し、この制御手段により半導体ウェーハ
が収納可能な保管用カセットを検索し、前記制御手段の
指令によりカセット搬送用ロボットを作動させて前記保
管用カセットを保管棚の収納部から入出庫口まで搬送
し、前記制御手段によりウェーハ移載用ロボットを作動
させて前記入出庫用カセットの半導体ウェーハを前記保
管用カセットに収納し、前記制御手段によりカセット搬
送用ロボットを作動させて半導体ウェーハが収納された
前記保管用カセットを収納部に収納し、半導体ウェーハ
を出庫させる場合には、半導体ウェーハが収納可能な入
出庫用カセットを用意し、出庫させる半導体ウェーハの
認識情報を制御手段に入力し、この制御手段からの指令
によりカセット搬送用ロボットを作動させて出庫させる
半導体ウェーハが収納されたウェーハ保管カセットを入
出庫口まで搬送し、前記制御手段からの指令によりウェ
ーハ移載用ロボットを作動させて前記保管用カセットの
半導体ウェーハを前記入出庫用カセットに収納し、この
前記入出庫用カセットを半導体ウェーハの保管設備外に
取り出す半導体ウェーハの保管管理方法であることを要
旨としている。
【００１９】本願請求項１２の発明では上記保管用カセ
ットは品種毎に専用のカセットが用いられることを特徴
とする請求項９ないし１１いずれか１項に記載の半導体
ウェーハの保管管理方法であることを要旨としている。
ットは品種毎に専用のカセットが用いられることを特徴
とする請求項９ないし１１いずれか１項に記載の半導体
ウェーハの保管管理方法であることを要旨としている。
【００２０】
【発明の実施の形態】以下、本発明に係わる半導体ウェ
ーハの保管設備およびこれを用いた半導体ウェーハの保
管管理方法を図面を参照して説明する。
ーハの保管設備およびこれを用いた半導体ウェーハの保
管管理方法を図面を参照して説明する。
【００２１】図１および図２に示すように半導体ウェー
ハの保管設備１は、クリーンルーム２に設置され、複数
枚の半導体ウェーハＷが収納保管可能な複数個の保管用
カセット３と、この保管用カセット３を収納する収納部
４が複数個形成された保管棚５と、この保管棚５に対応
して配置され収納部４に保管用カセット３を入出庫する
カセット搬送ロボット６と、半導体ウェーハの保管設備
１に半導体ウェーハＷを入出庫するための入出庫用カセ
ット７と、この入出庫用カセット７と保管用カセット３
間で半導体ウェーハＷを移載するウェーハ移載ロボット
８と、このウェーハ移載ロボット８およびカセット搬送
ロボット６を制御する制御手段９とを有している。
ハの保管設備１は、クリーンルーム２に設置され、複数
枚の半導体ウェーハＷが収納保管可能な複数個の保管用
カセット３と、この保管用カセット３を収納する収納部
４が複数個形成された保管棚５と、この保管棚５に対応
して配置され収納部４に保管用カセット３を入出庫する
カセット搬送ロボット６と、半導体ウェーハの保管設備
１に半導体ウェーハＷを入出庫するための入出庫用カセ
ット７と、この入出庫用カセット７と保管用カセット３
間で半導体ウェーハＷを移載するウェーハ移載ロボット
８と、このウェーハ移載ロボット８およびカセット搬送
ロボット６を制御する制御手段９とを有している。
【００２２】上記保管棚５は第１の保管棚５ａと第２の
保管棚５ｂが対面して配置され、各々の保管棚５ａ、５
ｂには行列状に保管用カセット３を収納する前記収納部
４が複数個設けられ、この収納部４にはそれぞれ収納部
４を識別するアドレスが付与されている。このアドレス
は、例えば第１の保管棚５ａの第１行目、第１列目の収
納部４にはアドレス（１０１、１０１）が与えられ、第
２の保管棚５ｂの第１行目、第ｎ列目の収納部４ｂには
アドレス（２０１、２０ｎ）が与えられる。
保管棚５ｂが対面して配置され、各々の保管棚５ａ、５
ｂには行列状に保管用カセット３を収納する前記収納部
４が複数個設けられ、この収納部４にはそれぞれ収納部
４を識別するアドレスが付与されている。このアドレス
は、例えば第１の保管棚５ａの第１行目、第１列目の収
納部４にはアドレス（１０１、１０１）が与えられ、第
２の保管棚５ｂの第１行目、第ｎ列目の収納部４ｂには
アドレス（２０１、２０ｎ）が与えられる。
【００２３】また、保管棚５ａ、５ｂにそれぞれ対応し
て前記カセット搬送ロボット６が配置され、このカセッ
ト搬送ロボット６は保管用カセット３を収納部４に入出
庫するもので、保管棚５の行方向に設けられた収納部４
に対向して水平に張設されたガイドバー１０と、このガ
イドバー１０に移動自在に取り付けられ１８０度回動可
能なアーム６ｂに取り付けられたグリップ６ｃを有する
搬送ロボット本体６ａとで構成されている。
て前記カセット搬送ロボット６が配置され、このカセッ
ト搬送ロボット６は保管用カセット３を収納部４に入出
庫するもので、保管棚５の行方向に設けられた収納部４
に対向して水平に張設されたガイドバー１０と、このガ
イドバー１０に移動自在に取り付けられ１８０度回動可
能なアーム６ｂに取り付けられたグリップ６ｃを有する
搬送ロボット本体６ａとで構成されている。
【００２４】この搬送ロボット本体６ａは前記制御手段
９により制御されてガイドバー１０上を水平に移動し、
またガイドバー１０が前記制御手段９により制御されて
上下に昇降することにより、搬送ロボット本体６ａは制
御手段８が指令するアドレスの収納部４の位置に到達す
るようになっている。前記ガイドバー１０の昇降はこの
ガイドバー１０が昇降自在に取り付けられた一対のガイ
ド支柱１１とこのガイド支柱１１に設けられ制御手段９
に制御されるガイドバー昇降装置１２によって行われ
る。
９により制御されてガイドバー１０上を水平に移動し、
またガイドバー１０が前記制御手段９により制御されて
上下に昇降することにより、搬送ロボット本体６ａは制
御手段８が指令するアドレスの収納部４の位置に到達す
るようになっている。前記ガイドバー１０の昇降はこの
ガイドバー１０が昇降自在に取り付けられた一対のガイ
ド支柱１１とこのガイド支柱１１に設けられ制御手段９
に制御されるガイドバー昇降装置１２によって行われ
る。
【００２５】上記のように搬送ロボット本体６ａの水平
移動とガイドバー１０の昇降移動により、搬送ロボット
６は保管用カセット３を収納部４と図３に示すようなカ
セットステーション１３上に形成されたカセット入出庫
口１４間で移動する。例えば、搬送ロボット本体は制御
手段７が指令するアドレスの収納部４の位置に到達し、
グリップ６ｃに保持された保管用カセット３を指令され
たアドレスの収納部４に収納し、あるいは指令されたア
ドレスの収納部４に収納されている保管用カセット３を
グリップ６ｃに保持してカセット入出庫口１４まで取り
出せるようになっている。なお、ガイドバー昇降装置１
２の代わりにカセット搬送ロボット６に昇降装置を設置
しても、所望の位置に制御することも可能である。
移動とガイドバー１０の昇降移動により、搬送ロボット
６は保管用カセット３を収納部４と図３に示すようなカ
セットステーション１３上に形成されたカセット入出庫
口１４間で移動する。例えば、搬送ロボット本体は制御
手段７が指令するアドレスの収納部４の位置に到達し、
グリップ６ｃに保持された保管用カセット３を指令され
たアドレスの収納部４に収納し、あるいは指令されたア
ドレスの収納部４に収納されている保管用カセット３を
グリップ６ｃに保持してカセット入出庫口１４まで取り
出せるようになっている。なお、ガイドバー昇降装置１
２の代わりにカセット搬送ロボット６に昇降装置を設置
しても、所望の位置に制御することも可能である。
【００２６】図３に示すようにカセットステーション１
３上には、中央部に前記ウェーハ移載ロボット８が設け
られ、このウェーハ移載ロボット８を中心として左右に
入出庫用カセット７が載置される受部１５ａを具備した
２個の入出庫用カセット昇降装置１５が設置され、奥側
部位にはカセット入出庫口１４が設けられ、このカセッ
ト入出庫口１４の部位にはカセットステーション１３に
内装された保管用カセット昇降装置１６の受部１７が位
置して設けられている。手前側部位にはクリーンルーム
２のカセット出入扉１８に対向してカセット置場１９が
設けられている。
３上には、中央部に前記ウェーハ移載ロボット８が設け
られ、このウェーハ移載ロボット８を中心として左右に
入出庫用カセット７が載置される受部１５ａを具備した
２個の入出庫用カセット昇降装置１５が設置され、奥側
部位にはカセット入出庫口１４が設けられ、このカセッ
ト入出庫口１４の部位にはカセットステーション１３に
内装された保管用カセット昇降装置１６の受部１７が位
置して設けられている。手前側部位にはクリーンルーム
２のカセット出入扉１８に対向してカセット置場１９が
設けられている。
【００２７】ウェーハ移載ロボット８は３６０度回転可
能な多関節アーム８ａとこの多関節アーム８ａの先端に
取り付けられたウェーハ保持用のホーク８ｂが設けられ
ている。ウェーハ移載ロボット８の左右に配置され上記
入出庫用カセット７が載置される入出庫用カセット昇降
装置１５は上記制御手段９により制御されて受部１５ａ
が昇降し、この受部１５ａに載置された入出庫用カセッ
ト７を昇降させて、半導体ウェーハＷをホーク８ｂで保
持できるようになっている。
能な多関節アーム８ａとこの多関節アーム８ａの先端に
取り付けられたウェーハ保持用のホーク８ｂが設けられ
ている。ウェーハ移載ロボット８の左右に配置され上記
入出庫用カセット７が載置される入出庫用カセット昇降
装置１５は上記制御手段９により制御されて受部１５ａ
が昇降し、この受部１５ａに載置された入出庫用カセッ
ト７を昇降させて、半導体ウェーハＷをホーク８ｂで保
持できるようになっている。
【００２８】従って、このホーク８ｂにより、２個の入
出庫用カセット昇降装置１５の受部１５ａに載置された
入出庫用カセット７とカセット入出庫口１４に位置し保
管用カセット昇降装置１６の受部１７に載置された保管
用カセット３間で半導体ウェーハＷの移載が行える。
出庫用カセット昇降装置１５の受部１５ａに載置された
入出庫用カセット７とカセット入出庫口１４に位置し保
管用カセット昇降装置１６の受部１７に載置された保管
用カセット３間で半導体ウェーハＷの移載が行える。
【００２９】上記受部６ａに載置された入出庫用カセッ
ト７は、図４に示すように金属汚染のない高純度の合成
樹脂製で、ほぼ鞍形形状をなし、一対の垂直状のウェー
ハ支持面部７ａと、このウェーハ支持面部７ａを連設す
る連設部７ｂと、ウェーハ支持面部７ａに多数形成され
一定幅（高さ）を有するウェーハ支持溝７ｃを例えば２
４個有して半導体ウェーハＷが２４枚収納可能で、連接
部７ｂの上面部７ｄにはカセット識別用の識別記号例え
ばバーコード７ｅが付けられている。なお、上記保管用
カセット３も入出庫用カセット７と同様の形状をなす
が、背丈が高く例えば４８枚の半導体ウェーハＷが収納
できるようになっており、この保管用カセット３には本
実施の形態では同一品種の半導体ウェーハＷが収納され
ている。同一の保管用カセット３に同一品種の半導体ウ
ェーハＷを収納しておけば、半導体ウェーハＷの検索効
率はよく、また１個の保管用カセット３に多品種の半導
体ウェーハＷを収納しておけば、検索効率は若干低下す
るが保管棚５のスペース効率は向上する。
ト７は、図４に示すように金属汚染のない高純度の合成
樹脂製で、ほぼ鞍形形状をなし、一対の垂直状のウェー
ハ支持面部７ａと、このウェーハ支持面部７ａを連設す
る連設部７ｂと、ウェーハ支持面部７ａに多数形成され
一定幅（高さ）を有するウェーハ支持溝７ｃを例えば２
４個有して半導体ウェーハＷが２４枚収納可能で、連接
部７ｂの上面部７ｄにはカセット識別用の識別記号例え
ばバーコード７ｅが付けられている。なお、上記保管用
カセット３も入出庫用カセット７と同様の形状をなす
が、背丈が高く例えば４８枚の半導体ウェーハＷが収納
できるようになっており、この保管用カセット３には本
実施の形態では同一品種の半導体ウェーハＷが収納され
ている。同一の保管用カセット３に同一品種の半導体ウ
ェーハＷを収納しておけば、半導体ウェーハＷの検索効
率はよく、また１個の保管用カセット３に多品種の半導
体ウェーハＷを収納しておけば、検索効率は若干低下す
るが保管棚５のスペース効率は向上する。
【００３０】上記バーコード７ｅは、バーコード読取装
置２０によって読み取られ、図２に示すようにホストコ
ンピュータ２１に接続された制御手段９を介して、入出
庫用カセット７のバーコード７ｅの識別情報がホストコ
ンピュータ２１に記憶される。また、ウェーハ支持溝７
ｃに支持されて入出庫用カセット７に収納される半導体
ウェーハＷには、図５に示すような半導体ウェーハＷの
面取部Ｗａにレーザーにより識別記号例えばバーコード
Ｗｂが付けられている。このバーコードＷｂもバーコー
ド読取装置２０によって読み取られ、制御手段９を介し
て、半導体ウェーハＷの識別情報がホストコンピュータ
２１に記憶される。また、半導体ウェーハＷの品種情報
（特性や製造履歴等によって区分される半導体ウェーハ
の種類情報）は別個の入力手段を用いて別途ホストコン
ピュータ２１に記憶される。このように半導体ウェーハ
Ｗの識別情報および品種情報などの認識情報はホストコ
ンピュータ２１に記憶される。
置２０によって読み取られ、図２に示すようにホストコ
ンピュータ２１に接続された制御手段９を介して、入出
庫用カセット７のバーコード７ｅの識別情報がホストコ
ンピュータ２１に記憶される。また、ウェーハ支持溝７
ｃに支持されて入出庫用カセット７に収納される半導体
ウェーハＷには、図５に示すような半導体ウェーハＷの
面取部Ｗａにレーザーにより識別記号例えばバーコード
Ｗｂが付けられている。このバーコードＷｂもバーコー
ド読取装置２０によって読み取られ、制御手段９を介し
て、半導体ウェーハＷの識別情報がホストコンピュータ
２１に記憶される。また、半導体ウェーハＷの品種情報
（特性や製造履歴等によって区分される半導体ウェーハ
の種類情報）は別個の入力手段を用いて別途ホストコン
ピュータ２１に記憶される。このように半導体ウェーハ
Ｗの識別情報および品種情報などの認識情報はホストコ
ンピュータ２１に記憶される。
【００３１】なお、保管管理をする半導体ウェーハの規
模が小さい場合には必ずしもマーキング情報読み取り用
の読取装置１１を設ける必要はなく、半導体ウェーハＷ
のバーコードＷｂも必要なく、入庫の都度入力手段２２
から半導体ウェーハＷの認識情報を制御手段９、ホスト
コンピュータ２１に入力し、記憶させてもよい。
模が小さい場合には必ずしもマーキング情報読み取り用
の読取装置１１を設ける必要はなく、半導体ウェーハＷ
のバーコードＷｂも必要なく、入庫の都度入力手段２２
から半導体ウェーハＷの認識情報を制御手段９、ホスト
コンピュータ２１に入力し、記憶させてもよい。
【００３２】なお、ウェーハ移載ロボット８の多関節ア
ーム８ａ自身を昇降可能にし、保管用カセット３または
入出庫用カセット７に収納され移載される半導体ウェー
ハＷの収納位置に応じてホーク８ｂの高さが変えられる
ようにすれば、入出庫用カセット昇降装置１５および保
管用カセット昇降装置１６は必ずしも必要としない。
ーム８ａ自身を昇降可能にし、保管用カセット３または
入出庫用カセット７に収納され移載される半導体ウェー
ハＷの収納位置に応じてホーク８ｂの高さが変えられる
ようにすれば、入出庫用カセット昇降装置１５および保
管用カセット昇降装置１６は必ずしも必要としない。
【００３３】本発明に係わる半導体ウェーハの保管設備
１は以上のような構造になっているから、半導体ウェー
ハの保管設備１を用いた半導体ウェーハの保管管理方法
について説明する。
１は以上のような構造になっているから、半導体ウェー
ハの保管設備１を用いた半導体ウェーハの保管管理方法
について説明する。
【００３４】半導体ウェーハＷを入庫させる場合には、
最初に半導体ウェーハの保管設備１外に設置されたバー
コード読取装置２０よって入出庫用カセット７の識別情
報と半導体ウェーハＷの識別情報をホストコンピュータ
２１に記憶させ、また半導体ウェーハＷについてはその
品種情報を別個の入力手段を介してホストコンピュータ
２１に記憶させる。次に共にホストコンピュータ２１に
識別情報および品種情報が記憶された半導体ウェーハＷ
をウェーハ支持溝７ｃを介して入出庫用カセット７に収
納する。
最初に半導体ウェーハの保管設備１外に設置されたバー
コード読取装置２０よって入出庫用カセット７の識別情
報と半導体ウェーハＷの識別情報をホストコンピュータ
２１に記憶させ、また半導体ウェーハＷについてはその
品種情報を別個の入力手段を介してホストコンピュータ
２１に記憶させる。次に共にホストコンピュータ２１に
識別情報および品種情報が記憶された半導体ウェーハＷ
をウェーハ支持溝７ｃを介して入出庫用カセット７に収
納する。
【００３５】次にクリーンルーム２のカセット出入扉１
８を開けて、半導体ウェーハＷが収納された入出庫用カ
セット７を１個の入出庫用カセット昇降装置１５の受部
１５ａに載置する。
８を開けて、半導体ウェーハＷが収納された入出庫用カ
セット７を１個の入出庫用カセット昇降装置１５の受部
１５ａに載置する。
【００３６】次に入力手段２２から半導体ウェーハＷの
品種情報を入力し制御手段９、ホストコンピュータ２１
を介して収納部４のアドレスを検出させる。
品種情報を入力し制御手段９、ホストコンピュータ２１
を介して収納部４のアドレスを検出させる。
【００３７】例えば、上記受部１５ａ上の入出庫用カセ
ット７に収納された半導体ウェーハＷと品種の半導体ウ
ェーハＷが収納され収納可能な保管用カセット３が収納
された収納部４のアドレス（１０１，１０１）を検出さ
せ、このアドレス情報に基づき搬送ロボット本体６ａを
このアドレス（１０１、１０１）の収納部４に対向する
位置に移動させる。しかる後搬送ロボット本体６ａのグ
リップ６ｃにより対向する収納部４に収納された保管用
カセット３を保持させ、カセット入出庫口１４まで搬送
させて、保管用カセット昇降装置１６の受部１７に載置
させる。
ット７に収納された半導体ウェーハＷと品種の半導体ウ
ェーハＷが収納され収納可能な保管用カセット３が収納
された収納部４のアドレス（１０１，１０１）を検出さ
せ、このアドレス情報に基づき搬送ロボット本体６ａを
このアドレス（１０１、１０１）の収納部４に対向する
位置に移動させる。しかる後搬送ロボット本体６ａのグ
リップ６ｃにより対向する収納部４に収納された保管用
カセット３を保持させ、カセット入出庫口１４まで搬送
させて、保管用カセット昇降装置１６の受部１７に載置
させる。
【００３８】さらに入力手段２２から指令を出して、制
御手段９を介して入出庫口１４まで搬送された保管用カ
セット３に受部１５ａ上に載置された入出庫用カセット
７内の半導体ウェーハＷを移載する。半導体ウェーハＷ
の移載時、入出庫用カセット昇降装置１５、保管用カセ
ット昇降装置１６を作動させて、入出庫用カセット７、
保管用カセット３の高さを変え円滑な半導体ウェーハＷ
の移載作業を行う。この半導体ウェーハＷの移載完了
後、半導体ウェーハＷが移載された保管用カセット３を
入力手段２２から制御手段９を介してカセット搬送ロボ
ット６を作動させて元のアドレス（１０１、１０１）の
収納部４に戻す。一方移載が完了して空になった入出庫
用カセット７はセット出入扉１８を開放して半導体ウェ
ーハの保管設備１外に取り出されて半導体ウェーハＷの
入庫シーケンスは完了する。
御手段９を介して入出庫口１４まで搬送された保管用カ
セット３に受部１５ａ上に載置された入出庫用カセット
７内の半導体ウェーハＷを移載する。半導体ウェーハＷ
の移載時、入出庫用カセット昇降装置１５、保管用カセ
ット昇降装置１６を作動させて、入出庫用カセット７、
保管用カセット３の高さを変え円滑な半導体ウェーハＷ
の移載作業を行う。この半導体ウェーハＷの移載完了
後、半導体ウェーハＷが移載された保管用カセット３を
入力手段２２から制御手段９を介してカセット搬送ロボ
ット６を作動させて元のアドレス（１０１、１０１）の
収納部４に戻す。一方移載が完了して空になった入出庫
用カセット７はセット出入扉１８を開放して半導体ウェ
ーハの保管設備１外に取り出されて半導体ウェーハＷの
入庫シーケンスは完了する。
【００３９】このような入庫シーケンスにおいて、入力
手段２２からの入力情報は制御手段９およびホストコン
ピュータ２１に記憶されるので、例えばアドレス（１０
１、１０１）の収納部４に収納された保管用カセット３
にはどのような品種の半導体ウェーハＷが何枚収納され
ているか記憶される。
手段２２からの入力情報は制御手段９およびホストコン
ピュータ２１に記憶されるので、例えばアドレス（１０
１、１０１）の収納部４に収納された保管用カセット３
にはどのような品種の半導体ウェーハＷが何枚収納され
ているか記憶される。
【００４０】半導体ウェーハＷを出庫させる場合には、
入庫の場合とは逆に空の入出庫用カセット７を入出庫用
カセット昇降装置１５の受部１５ａに載置し、所望の半
導体ウェーハＷの品種情報を入力手段２２から入力し、
カセット搬送ロボット６を作動させて例えばアドレス
（２０１、２０ｎ）の収納部４ｂの所望の半導体ウェー
ハＷが収納された保管用カセット３をカセット入出庫口
１４に搬送させて、受部１７に載置させる。
入庫の場合とは逆に空の入出庫用カセット７を入出庫用
カセット昇降装置１５の受部１５ａに載置し、所望の半
導体ウェーハＷの品種情報を入力手段２２から入力し、
カセット搬送ロボット６を作動させて例えばアドレス
（２０１、２０ｎ）の収納部４ｂの所望の半導体ウェー
ハＷが収納された保管用カセット３をカセット入出庫口
１４に搬送させて、受部１７に載置させる。
【００４１】しかる後、入力手段２２から入力し、カセ
ット入出庫口１４に搬送された保管用カセット３からウ
ェーハ移載ロボット８を作動させて所望の半導体ウェー
ハＷを受部１５ａに載置された空の入出庫用カセット７
に移載する。半導体ウェーハＷの移載時、入出庫用カセ
ット昇降装置１５、保管用カセット昇降装置１６を作動
させて、入出庫用カセット７、保管用カセット３の高さ
を変え円滑な半導体ウェーハＷの移載作業を行う。
ット入出庫口１４に搬送された保管用カセット３からウ
ェーハ移載ロボット８を作動させて所望の半導体ウェー
ハＷを受部１５ａに載置された空の入出庫用カセット７
に移載する。半導体ウェーハＷの移載時、入出庫用カセ
ット昇降装置１５、保管用カセット昇降装置１６を作動
させて、入出庫用カセット７、保管用カセット３の高さ
を変え円滑な半導体ウェーハＷの移載作業を行う。
【００４２】半導体ウェーハＷの移載完了後、半導体ウ
ェーハＷが移載された保管用カセット３を入力手段２２
から制御手段９を介してカセット搬送ロボット６を作動
させて元のアドレス（１０１、１０１）の収納部４に戻
す。一方半導体ウェーハ移載された入出庫用カセット７
は半導体ウェーハの保管設備１外に取り出されて半導体
ウェーハＷの出庫シーケンスは完了する。
ェーハＷが移載された保管用カセット３を入力手段２２
から制御手段９を介してカセット搬送ロボット６を作動
させて元のアドレス（１０１、１０１）の収納部４に戻
す。一方半導体ウェーハ移載された入出庫用カセット７
は半導体ウェーハの保管設備１外に取り出されて半導体
ウェーハＷの出庫シーケンスは完了する。
【００４３】このような出庫シーケンスにおいて、入力
手段２２からの入力情報は制御手段９およびホストコン
ピュータ２１に記憶されるので、例えばアドレス（２０
１、２０ｎ）の収納部４に収納された保管用カセット３
にはどのような品種の半導体ウェーハＷが何枚収納され
ているか記憶される。
手段２２からの入力情報は制御手段９およびホストコン
ピュータ２１に記憶されるので、例えばアドレス（２０
１、２０ｎ）の収納部４に収納された保管用カセット３
にはどのような品種の半導体ウェーハＷが何枚収納され
ているか記憶される。
【００４４】なお、客先の要求等に基づき１個の入出庫
用カセット７に複数品種例えば２品種の半導体ウェーハ
Ｗを収納して出庫する場合、入出庫用昇降装置１５をケ
ースステーション１３上に複数個例えば２個設けること
で出庫効率を向上させることができる。また、生産の都
合で複数個例えば２個の入出庫用カセット７に収納され
た同一品種の半導体ウェーハＷを同一の保管用カセット
３に入庫する場合にも、入出庫用昇降装置１５を複数個
例えば２個設けることで入庫効率を向上させることがで
きる。
用カセット７に複数品種例えば２品種の半導体ウェーハ
Ｗを収納して出庫する場合、入出庫用昇降装置１５をケ
ースステーション１３上に複数個例えば２個設けること
で出庫効率を向上させることができる。また、生産の都
合で複数個例えば２個の入出庫用カセット７に収納され
た同一品種の半導体ウェーハＷを同一の保管用カセット
３に入庫する場合にも、入出庫用昇降装置１５を複数個
例えば２個設けることで入庫効率を向上させることがで
きる。
【００４５】さらに、複数個例えば２個の入出庫用昇降
装置１５を用いて受部１５ａに載置された複数個例えば
２個の入出庫用カセット７間で複数品種の半導体ウェー
ハＷを適宜移載するのに用いれば、汚染なく入出庫用カ
セット７に収納される半導体ウェーハＷの品種毎の整理
ができる。
装置１５を用いて受部１５ａに載置された複数個例えば
２個の入出庫用カセット７間で複数品種の半導体ウェー
ハＷを適宜移載するのに用いれば、汚染なく入出庫用カ
セット７に収納される半導体ウェーハＷの品種毎の整理
ができる。
【００４６】また、本実施例の形態の保管用カセット３
の半導体ウェーハ収納容量を入出庫用カセット７の２倍
としたが、さらに大きくしてもよい。
の半導体ウェーハ収納容量を入出庫用カセット７の２倍
としたが、さらに大きくしてもよい。
【００４７】またさらに、保管用カセット３と入出庫用
カセット７の形状を同一にし保管用カセット３、入出庫
用カセット７の半導体ウェーハＷの収納状態によって
は、保管用カセット３ごと半導体ウェーハＷを出庫さ
せ、あるいは入出庫用カセット７ごと半導体ウェーハＷ
を入庫させることができ、入出庫作業効率が向上する。
また、全てのカセットにカセット識別用の識別記号例え
ばバーコードを付しておけば、特定の品種の半導体ウェ
ーハが収納された保管用カセットを特別なアドレスの収
納部に収納する必要がなく、任意の位置の収納部に収納
しても、カセットの識別、特定が可能になり、半導体ウ
ェーハ保管管理上も便利である。
カセット７の形状を同一にし保管用カセット３、入出庫
用カセット７の半導体ウェーハＷの収納状態によって
は、保管用カセット３ごと半導体ウェーハＷを出庫さ
せ、あるいは入出庫用カセット７ごと半導体ウェーハＷ
を入庫させることができ、入出庫作業効率が向上する。
また、全てのカセットにカセット識別用の識別記号例え
ばバーコードを付しておけば、特定の品種の半導体ウェ
ーハが収納された保管用カセットを特別なアドレスの収
納部に収納する必要がなく、任意の位置の収納部に収納
しても、カセットの識別、特定が可能になり、半導体ウ
ェーハ保管管理上も便利である。
【００４８】
【発明の効果】以上に述べたように本発明に係る半導体
ウェーハの保管設備およびこれを用いた半導体ウェーハ
の保管管理方法であり、半導体ウェーハを品種毎に１枚
単位で保管、管理を可能になった。
ウェーハの保管設備およびこれを用いた半導体ウェーハ
の保管管理方法であり、半導体ウェーハを品種毎に１枚
単位で保管、管理を可能になった。
【００４９】また要求された品種の半導体ウェーハを１
枚単位で出庫して複数枚の半導体ウェーハが収納された
複数個の入出庫用カセットによって構成される管理単位
を容易に作ることができる。
枚単位で出庫して複数枚の半導体ウェーハが収納された
複数個の入出庫用カセットによって構成される管理単位
を容易に作ることができる。
【００５０】半導体ウェーハの入出庫を入力手段からの
入力によって自動的に行うことができるので、短時間で
半導体ウェーハを汚染することなく、入出庫が可能とな
った。
入力によって自動的に行うことができるので、短時間で
半導体ウェーハを汚染することなく、入出庫が可能とな
った。
【００５１】ウェーハ移載ロボットが設けられるカセッ
トステーションに入出庫用カセット昇降装置と保管用カ
セット昇降装置を設けたので、半導体ウェーハの収納位
置に係わりなく半導体ウェーハの移載が円滑に行える。
トステーションに入出庫用カセット昇降装置と保管用カ
セット昇降装置を設けたので、半導体ウェーハの収納位
置に係わりなく半導体ウェーハの移載が円滑に行える。
【００５２】カセット昇降装置をケースステーション上
に複数個設けることで出庫効率を向上させることがで
き、また、生産の都合で複数個入出庫用カセットに収納
された同一品種の半導体ウェーハＷを同一の保管用カセ
ットに入庫する場合にも入庫効率を向上させることがで
きる。
に複数個設けることで出庫効率を向上させることがで
き、また、生産の都合で複数個入出庫用カセットに収納
された同一品種の半導体ウェーハＷを同一の保管用カセ
ットに入庫する場合にも入庫効率を向上させることがで
きる。
【００５３】ホストコンピュータが制御手段に接続され
ているので、大量の半導体ウェーハを１枚毎にきめ細か
く管理できる。制御手段にマーキング情報読み取り用の
読取装置を接続したので、大量の半導体ウェーハの迅速
に識別情報をホストコンピュータに記憶させることがで
き、半導体ウェーハの保管、管理がより迅速かつ正確に
なる。保管用カセットの半導体ウェーハ収納容量を入出
庫用カセットより大きい場合には、同一品種の半導体ウ
ェーハＷを同一保管用カセットに大量に収納できるの
で、出庫効率が良くなる。保管用カセットと入出庫用カ
セットを同一形状にしカセット識別用の識別記号を付し
た場合には、任意の位置の収納部に収納しても、カセッ
トの識別、特定が可能になり、半導体ウェーハ保管管理
上も便利になる。
ているので、大量の半導体ウェーハを１枚毎にきめ細か
く管理できる。制御手段にマーキング情報読み取り用の
読取装置を接続したので、大量の半導体ウェーハの迅速
に識別情報をホストコンピュータに記憶させることがで
き、半導体ウェーハの保管、管理がより迅速かつ正確に
なる。保管用カセットの半導体ウェーハ収納容量を入出
庫用カセットより大きい場合には、同一品種の半導体ウ
ェーハＷを同一保管用カセットに大量に収納できるの
で、出庫効率が良くなる。保管用カセットと入出庫用カ
セットを同一形状にしカセット識別用の識別記号を付し
た場合には、任意の位置の収納部に収納しても、カセッ
トの識別、特定が可能になり、半導体ウェーハ保管管理
上も便利になる。
【図１】本発明に係わる半導体ウェーハの保管設備の一
実施の形態を示す説明図。
実施の形態を示す説明図。
【図２】図１に示すような本発明に係わる半導体ウェー
ハの保管設備の制御関連図。
ハの保管設備の制御関連図。
【図３】図１に示すような本発明に係わる半導体ウェー
ハの保管設備に用いられるカセットステーションの斜視
図。
ハの保管設備に用いられるカセットステーションの斜視
図。
【図４】図１に示すような本発明に係わる半導体ウェー
ハの保管設備に用いられる入出庫用カセットの斜視図。
ハの保管設備に用いられる入出庫用カセットの斜視図。
【図５】図１に示すような本発明に係わる半導体ウェー
ハの保管設備で保管管理される半導体ウェーハの説明
図。
ハの保管設備で保管管理される半導体ウェーハの説明
図。
【図６】図１に示すような本発明に係わる半導体ウェー
ハの保管設備を用いた半導体ウェーハの入庫シーケン
ス。
ハの保管設備を用いた半導体ウェーハの入庫シーケン
ス。
【図７】図１に示すような本発明に係わる半導体ウェー
ハの保管設備を用いた半導体ウェーハの出庫シーケン
ス。
ハの保管設備を用いた半導体ウェーハの出庫シーケン
ス。
１ 半導体ウェーハの保管設備 ２ クリーンルーム ３ 保管用カセット ４ 収納部 ５ 保管棚 ６ カセット搬送ロボット ６ａ 搬送ロボット本体 ６ｂ アーム ６ｃ グリップ ７ 入出庫用カセット ７ａ ウェーハ支持面部 ７ｂ 連設部 ７ｃ ウェーハ支持溝 ７ｄ 上面部 ７ｅ バーコード ８ ウェーハ移載ロボット ８ａ 多関節アーム ８ｂ ホーク ９ 制御手段 １０ ガイドバー １１ ガイド支柱 １２ ガイドバー昇降装置 １３ カセットステーション １４ カセット入出庫口 １５ 入出庫用カセット昇降装置 １５ａ 受部 １６ 保管用カセット昇降装置 １７ 受部 １８ カセット出入扉 １９ カセット置場 ２０ バーコード読取装置 ２１ ホストコンピュータ ２２ 入力手段
Claims (12)
- 【請求項１】 複数枚の半導体ウェーハが収納可能な複
数個の保管用カセットと、この保管用カセットを収納す
る収納部が複数個形成された保管棚と、この保管棚に対
応して設けられ前記収納部に前記保管用カセットを入出
庫するカセット搬送ロボットと、前記保管用カセットと
の半導体ウェーハの出入れに用いられる入出庫用カセッ
トと、この入出庫用カセットと前記保管カセット間で半
導体ウェーハの移載を行うウェーハ移載ロボットと、こ
のウェーハ移載ロボットおよび前記カセット搬送ロボッ
トを制御し入力手段が設けられた制御手段とを有するこ
とを特徴とする半導体ウェーハの保管設備。 - 【請求項２】 上記ウェーハ移載ロボットはウェーハス
テーションに設けられ、この前記ウェーハステーション
にはそれぞれ制御手段により制御され、入出庫用カセッ
トの高さを調整する入出庫用カセット昇降装置と保管用
カセットの高さを調整する保管用カセット昇降装置が設
けられたことを特徴とする請求項１に記載の半導体ウェ
ーハの保管設備。 - 【請求項３】 上記入出庫用カセット昇降装置は複数個
設けられたことを特徴とする請求項２に記載の半導体ウ
ェーハの保管設備。 - 【請求項４】 上記ウェーハ移載ロボットのアームは保
管用カセットまたは入出庫用カセットに収納され移載さ
れる半導体ウェーハの収納位置に応じてホークの高さが
変えられるように昇降自在に設けられたことを特徴とす
る請求項１ないし３いずれか１項に記載の半導体ウェー
ハの保管設備。 - 【請求項５】 上記制御手段にはホストコンピュータと
入力手段が接続されたことを特徴とする請求項１ないし
４いずれか１項に記載の半導体ウェーハの保管設備。 - 【請求項６】 上記制御手段にはマーキング情報読み取
り用の読取装置が接続されたことを特徴とする請求項５
に記載の半導体ウェーハの保管設備。 - 【請求項７】 上記保管用カセットは入出庫用カセット
より半導体ウェーハの収納容量が大きいことを特徴とす
る請求項１ないし６項いずれか１項に記載の半導体ウェ
ーハの保管設備。 - 【請求項８】 上記保管用カセットは入出庫用カセット
と同一形状を有しカセット識別用の識別記号が付された
ことを特徴とする請求項１ないし６項いずれか１項に記
載の半導体ウェーハの保管設備。 - 【請求項９】 多品種の半導体ウェーハが収納された入
出庫用カセットを用意しておき、この入出庫用カセット
に収納された半導体ウェーハの認識情報を制御手段に入
力し、この制御手段により半導体ウェーハが収納可能な
保管用カセットを検索し、前記制御手段の指令によりカ
セット搬送用ロボットを作動させて前記保管用カセット
を保管棚の収納部から入出庫口まで搬送し、前記制御手
段によりウェーハ移載用ロボットを作動させて前記入出
庫用カセットの半導体ウェーハを前記保管用カセットに
収納し、前記制御手段によりカセット搬送用ロボットを
作動させて半導体ウェーハが収納された前記保管用カセ
ットを収納部に収納する半導体ウェーハの保管管理方
法。 - 【請求項１０】 半導体ウェーハが収納可能な入出庫用
カセットを用意し、出庫させる半導体ウェーハの認識情
報を制御手段に入力し、この制御手段からの指令により
カセット搬送用ロボットを作動させて出庫させる半導体
ウェーハが収納されたウェーハ保管カセットを入出庫口
まで搬送し、前記制御手段からの指令によりウェーハ移
載用ロボットを作動させて前記保管用カセットの半導体
ウェーハを前記入出庫用カセットに収納し、この前記入
出庫用カセットを半導体ウェーハの保管設備外に取り出
す半導体ウェーハの保管管理方法。 - 【請求項１１】 半導体ウェーハを入庫させる場合に
は、多品種の半導体ウェーハが収納された複数個の保管
用カセットを用意しておき、これらの保管カセットに収
納された半導体ウェーハの認識情報を制御手段に入力
し、この制御手段により半導体ウェーハが収納可能な保
管用カセットを検索し、前記制御手段の指令によりカセ
ット搬送用ロボットを作動させて前記保管用カセットを
保管棚の収納部から入出庫口まで搬送し、前記制御手段
によりウェーハ移載用ロボットを作動させて前記入出庫
用カセットの半導体ウェーハを前記保管用カセットに収
納し、前記制御手段によりカセット搬送用ロボットを作
動させて半導体ウェーハが収納された前記保管用カセッ
トを収納部に収納し、半導体ウェーハを出庫させる場合
には、半導体ウェーハが収納可能な入出庫用カセットを
用意し、出庫させる半導体ウェーハの認識情報を制御手
段に入力し、この制御手段からの指令によりカセット搬
送用ロボットを作動させて出庫させる半導体ウェーハが
収納されたウェーハ保管カセットを入出庫口まで搬送
し、前記制御手段からの指令によりウェーハ移載用ロボ
ットを作動させて前記保管用カセットの半導体ウェーハ
を前記入出庫用カセットに収納し、この前記入出庫用カ
セットを半導体ウェーハの保管設備外に取り出す半導体
ウェーハの保管管理方法。 - 【請求項１２】上記保管用カセットは品種毎に専用のカ
セットが用いられることを特徴とする請求項９ないし１
１いずれか１項に記載の半導体ウェーハの保管管理方
法。
Priority Applications (1)
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|---|---|---|---|
| JP21602898A JP2000044015A (ja) | 1998-07-30 | 1998-07-30 | 半導体ウェーハの保管設備およびこれを用いた半導体ウェーハの保管管理方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21602898A JP2000044015A (ja) | 1998-07-30 | 1998-07-30 | 半導体ウェーハの保管設備およびこれを用いた半導体ウェーハの保管管理方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000044015A true JP2000044015A (ja) | 2000-02-15 |
Family
ID=16682173
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21602898A Pending JP2000044015A (ja) | 1998-07-30 | 1998-07-30 | 半導体ウェーハの保管設備およびこれを用いた半導体ウェーハの保管管理方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000044015A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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-
1998
- 1998-07-30 JP JP21602898A patent/JP2000044015A/ja active Pending
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| A02 | Decision of refusal |
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