KR102000776B1 - 베어 워크피스 스토커용 컨테이너 스토리지 애드-온 - Google Patents

베어 워크피스 스토커용 컨테이너 스토리지 애드-온 Download PDF

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Abstract

본 발명은 물체들을 보관 및 이송하는 장치 및 방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 반도체 웨이퍼, 레티클 또는 캐리어 박스용 스토커와 같은 워크피스 스토커 구성에 관한 것이다.

Description

베어 워크피스 스토커용 컨테이너 스토리지 애드-온{CONTAINER STORAGE ADD-ON FOR BARE WORKPIECE STOCKER}
본 발명은 반도체 장비, 및 더욱 상세하게는 제조 설비 처리를 향상시키기 위한 장비 및 방법에 관한 것이다.
일반적으로, 스토커(stocker)들은 웨이퍼들, 평면 패널 디스플레이들, LCD, 포토리소그래피 레티클(reticle)들, 또는 마스크들과 같은 워크피스(workpiece)들을 일시적으로 보관하기 위해 반도체 설비 내에 설치된다.
반도체 디바이스들, LCD 패널들, 등을 제작하는 프로세스에서는, 수백 가지의 처리 장비 및 그에 따른 수백 가지의 제작 단계가 존재한다. 웨이퍼들, 평면 패널들, 또는 LCD들(이후, 워크피스라고 함)의 흐름을 단계마다, 도구마다 균일하게 하는 것은 매우 어려운 일이다. 최고의 일정계획(planner)에도 불구하고, 도구 고장(tool down), 긴급 로트 주문(emergecny lot coming through), 계획보다 오래 지속되는 주기적 유지보수와 같은 예기지 못한 시나리오가 항상 존재하기 때문에, 일정한 도구들에 대해서 일정한 단계들에서 다양한 워크피스들의 축적이 존재한다. 축적된 워크피스들은 처리를 대기하는 동안 스토리지 스토커(storage stocker)에 보관될 필요가 있다.
또한, 포토리소그래피 프로세스는, 상당수의 포토리소그래피 마스크들 또는 레티클들(이후, 레티클이라고 함)을 수반하는 반도체 제작 설비에서, 대단히 중요한 프로세스이다. 따라서, 레티클들은 스토리지 스토커에 보관되는 것이 보통이고, 필요할 때 리소그래피 노광 장비로 회수된다.
워크피스들 및 레티클들(이후, 물품(articles)이라 함)의 스토리지는 청정도(cleanliness)의 요건으로 인해 훨씬 더 복잡해진다. 물품들에 대한 손상은 입자 형태의 물리적 손상, 또는 상호작용 형태의 화학적 손상일 수 있다. 임계 치수가 0.1 미크론을 넘는 반도체 디바이스 처리에서는, 0.1 미크론 크기의 입자들 및 반응종(reactive species)이 물품들에 접근하는 것을 방지할 필요가 있다. 처리와의 사이에서의 정화를 줄이는 것을 보장하도록, 통상적으로, 스토리지 구역들은 처리 설비보다 훨씬 더 깨끗할 필요가 있다.
따라서, 스토커 스토리지 구역들은 가능한 화학 반응을 방지하기 위해, 바람직하게는 일정한 공기배기(purging) 상태로, 및 심지어 불활성 가스가 유동하는 상태로, 통상적으로 외부 환경으로부터 밀봉되도록 설계된다. 스토리지 구역들로의 액세스는 로드-록(load-lock) 상태가 되어, 청정한 스토리지 환경과 외부 환경 사이의 분리가 보장된다.
통상의 베어(bare) 스토커 시스템에 있어서는, 워크피스들을 캐리어 박스들로부터 분리하고 나서, 스토리지 챔버에 적재하기 위해 통상적으로 로봇을 사용하고, 이 경우에 워크피스들은 원래의 캐리어 박스들 없이 보관된다. 박스 스토커 시스템의 경우에는, 워크피스들을 캐리어 박스들에서 분리할 필요없이, 워크피스들이 캐리어 박스들과 함께 보관된다.
캐리어 박스는 처리 기계들 외부의 환경에 대한 기판 노출을 최소화하고 미립자 오염으로부터 기판을 보호하는 보호용 컨테이너이다. 캐리어 박스들은, 지면 상의 또는 천장 트랙에 매달린, 소정의 노선들을 주행하는 무인 반송 차량 또는 오버헤드 수송 차량과 같은 자동 자재 취급 시스템에 의해 또는 조작자에 의해 취급된다. 반도체 웨이퍼에 대하여, 캐리어 박스들은 보통, 도구의 장비 프론트 엔드 모듈(EFEM; equipment front end module)에서 조작자에 의해 취급되거나 또는 자동 수송 시스템에서 자동으로 집어올려지고 배치시키는, SMIF(standard machine interface; 표준 기계 인터페이스) 또는 FOUP(front opening unified pod; 전방 개방 통합 포드)와 같은, 카세트 포드(cassettes pods)이다.
일 유형의 종래의 수송 시스템은 천장에 설치된 레일에서 자유롭게 주행하는, OHT(overhead transport) 차량을 포함하는 OHT 시스템이다. OHT 차량은 처리 시스템과 같은 설비 장비와 스토커 사이에서 카세트 포드를 운반한다. OHT 차량은 장비의 적재 포트, 예컨대 MLP(Mobile Launch Platform; 이동식 론치 플랫폼) 또는 EFEM에서 카세트 포드를 적재하거나 내릴 수 있다. 거기에서, 카세트 포드 또는 웨이퍼들이 장비의 내외로 이송될 수 있다.
본 발명은 워크피스 스토커와 같은 장비의 애드-온 스토리지(add-on storage)로서 기능하는 버퍼 스테이션(buffer station)들에 관한 것이다. 예컨대, 본 발명의 버퍼 애드-온 스토리지는 베어 워크피스 스토커용 워크피스 컨테이너들을 보관하는데 사용될 수 있다.
몇몇 실시예에 있어서, 본 발명은 외부 스토리지로서 기능하도록 기존의 장비에 추가될 수 있는 버퍼 스토리지 어셈블리를 포함하는 시스템들 및 방법들을 개시한다. 버퍼 스토리지 어셈블리는 스토리지 챔버 및 스토리지 챔버와 접속하는 로봇 시스템을 포함한다. 로봇 시스템은 장비의 스테이션과 스토리지 챔버 사이에서 물체들을 이송하기 위해, 장비의 로드록 스테이션들(예컨대, 적재 또는 내리기 스테이션들)에, 또는 (이송 스테이션 또는 교환 스테이션과 같은)임의의 중간 스테이션에 더 액세스할 수 있다. 예컨대, 버퍼 스토리지 어셈블리는 장비에 인접하여, 장비의 측면에서, 및 장비의 로드록 스테이션 근처에 설치될 수 있다. 로봇 암은 컨테이너를 로드록 스테이션에서 스토리지 챔버로 옮기도록 집어올리거나, 또는 스토리지 챔버로부터 취한 컨테이너를 로드록 스테이션에 배치시키기 위해, 로드록 스테이션에 이르도록 구성될 수 있다.
몇몇 실시예에 있어서, 본 발명은, 예컨대 비어 있는 컨테이너들을 베어 워크피스 스토커에 보관 및 공급하기 위해, 베어 워크피스 스토커에 커플링되는 버퍼 스토리지 어셈블리를 개시한다. 버퍼 스토리지 어셈블리는, 내부에 워크피스들이 보관되어 있는 컨테이너들을 보관하는데 사용될 수도 있다.
몇몇 실시예에 있어서, 버퍼 스토리지 어셈블리는 내부에 워크피스들이 보관되어 있는 컨테이너들을 보관하는데 사용될 수 있다. 베어 워크피스 스토커 및 버퍼 스토리지 어셈블리의 전체 어셈블리는 비어 있는 컨테이너 보관 능력 이외에, 베어 워크피스 보관 및 컨테이너들 내부의 워크피스들의 보관의 추가된 기능을 가질 수 있다.
몇몇 실시예에 있어서, 본 발명은 버퍼 스토리지 어셈블리에 커플링된 베어 워크피스 스토커를 포함하는 콤비네이션 워크피스 스토커를 개시한다. 버퍼 스토리지 어셈블리는 베어 워크피스 스토커로부터 분리될 수 있고, 컨테이너 이송 레벨에서만 커플링될 수 있다. 대안으로서, 버퍼 스토리지 어셈블리는 베어 워크피스 스토커에 완전히 통합되어 다중 능력을 갖는 완전한 시스템을 형성할 수 있다.
도 1a 내지 도 1c는 베어 워크피스 스토커를 위한 워크피스 컨테이너 애드-온 스토리지의 예시적인 구성을 도시한다.
도 2a 내지 도 2c는 본 발명의 몇몇 실시예에 따른 예시적인 버퍼 애드-온 스토리지 어셈블리의 세부사항들을 도시한다.
도 3은 본 발명의 몇몇 실시예에 따른 예시적인 버퍼 애드-온 스토리지 어셈블리의 사시도를 도시한다.
도 4a 및 도 4b는 본 발명의 몇몇 실시예에 따른 예시적인 버퍼 애드-온 스토리지 어셈블리들을 도시한다.
도 5a 및 도 5b는 본 발명의 몇몇 실시예에 따른 버퍼 스토리지의 예시적인 구성들을 도시한다.
도 6a 및 도 6b는 본 발명의 몇몇 실시예에 따른 x-y 이동 메커니즘의 예시적인 구성들을 도시한다.
도 7a 내지 도 7c는 본 발명의 몇몇 실시예에 따른 예시적인 단부 핸들 이동 순서들을 도시한다.
도 8a 및 도 8b는 본 발명의 몇몇 실시예에 따른 예시적인 컨테이너 및 예시적인 단부 핸들 이동들을 도시한다.
도 9a 내지 도 9d는 본 발명의 몇몇 실시예에 따른 스토리지 장소로의 예시적인 컨테이너 이송 순서를 도시한다.
도 10a 내지 도 10d는 본 발명의 몇몇 실시예에 따른 가동 갈래살(movable prong)들을 갖는 로봇의 예시적인 이동 순서를 도시한다.
도 11a 내지 도 11e는 본 발명의 몇몇 실시예에 따른 스토리지 장소로의 가동 갈래살들의 예시적인 컨테이너 이송 순서를 도시한다.
도 12a 내지 도 12c는 본 발명의 몇몇 실시예에 따른 그리퍼 암(gripper arm)들을 갖는 로봇의 예시적인 이동 순서를 도시한다.
도 13a 내지 도 13i는 본 발명의 몇몇 실시예에 따른 스토리지 장소로의 가동 그리퍼 암들의 예시적인 컨테이너 이송 순서를 도시한다.
도 14a 내지 도 14c는 본 발명의 몇몇 실시예에 따른 로봇 암에 회전 가능하게 연결되는 예시적인 단부 핸들을 도시한다.
도 15a 내지 도 15e는 본 발명의 몇몇 실시예에 따른 회전 가능한 단부 핸들의 예시적인 컨테이너 이송 순서를 도시한다.
도 16a 내지 도 16e는 본 발명의 몇몇 실시예에 따른 회전 가능한 단부 핸들의 다른 예시적인 컨테이너 이송 순서를 도시한다.
도 17a 내지 도 17d는 본 발명의 몇몇 실시예에 따른 로봇 암의 예시적인 구성들을 도시한다.
도 18a 내지 도 18d는 본 발명의 몇몇 실시예에 따른 회전 가능한 단부 핸들을 가진 로봇 암의 예시적인 구성들을 도시한다.
도 19a 내지 도 19d는 본 발명의 몇몇 실시예에 따른 상이한 단부 핸들들을 가진 접이식 암들의 예시적인 구성들을 도시한다.
도 20a 내지 도 20c는 본 발명의 몇몇 실시예에 따른 굴곡식 단부 핸들을 가진 예시적인 로봇 암을 도시한다.
도 21a 내지 도 21d는 본 발명의 몇몇 실시예에 따른 로봇 암들의 예시적인 액세스 순서들을 도시한다.
도 22는 베어 워크피스 스토리지를 위한 스토리지 챔버(226), 및 컨테이너 스토리지를 위한 스토리지 챔버(225), 및 워크피스 및 컨테이너 취급을 위한 부분(220)을 갖는 통합형 스토커를 도시한다.
도 23은 본 발명의 몇몇 실시예에 따른 버퍼 스토리지 어셈블리를 워크피스 스토커와 조립하는 예시적인 플로차트를 도시한다.
도 24a 내지 도 24c는 본 발명의 몇몇 실시예에 따른 베어 워크피스 스토커를 조작하는 예시적인 플로차트들을 도시한다.
도 25a 내지 도 25b는 본 발명의 몇몇 실시예에 따른 버퍼 어셈블리를 적재 또는 내리기 버퍼 스토리지로서 이용하는 예시적인 플로차트들을 도시한다.
도 26a 내지 도 26b는 본 발명의 몇몇 실시예에 따른 예시적인 컨트롤러 시스템을 도시한다.
본 발명은 워크피스 스토커와 같은 장비의 애드-온 스토리지로서 기능하는 버퍼 스테이션들에 관한 것이다. 몇몇 실시예에 있어서, 본 발명은 외부 스토리지로서 기능하도록 기존의 장비에 추가될 수 있는 버퍼 스토리지 어셈블리를 위한 시스템들 및 방법들을 개시한다. 버퍼 스토리지 어셈블리는 스토리지 챔버 및 스토리지 챔버와 접속하는 로봇 시스템을 포함한다. 로봇 시스템은 장비의 스테이션과 스토리지 챔버 사이에서 물체들을 이송하기 위해, 장비의 로드록 스테이션들(예컨대, 적재 또는 내리기 스테이션들)에, 또는 (이송 스테이션 또는 교환 스테이션과 같은)임의의 중간 스테이션에 더 액세스할 수 있다. 예컨대, 버퍼 스토리지 어셈블리는 장비에 인접하여, 장비의 측면에서, 및 장비의 로드록 스테이션 근처에 설치될 수 있다. 로봇 암은 컨테이너를 로드록 스테이션에서 스토리지 챔버로 옮기도록 집어올리거나, 또는 스토리지 챔버로부터 취한 컨테이너를 로드록 챔버에 배치시키기 위해, 로드록 스테이션에 이르도록 구성될 수 있다.
몇몇 실시예에 있어서, 본 발명의 버퍼 애드-온 스토리지는 베어 워크피스 스토커에 워크피스 컨테이너들을 보관하는데 사용될 수 있다. 베어 워크피스 스토커들에 있어서, 워크피스들은 스토커 스토리지에 베어 상태로 보관되는 컨테이너들로부터 분리된다. 컨테이너들은 다른 곳에 놓여서, 예컨대 다른 워크피스들을 위해 재사용되거나, 또는 스토리지로 복귀시키기 위해 재-세정된다. 따라서, 베어 스토커로부터 워크피스들이 필요해질 때, 새로운 컨테이너가 공급되어야만 한다. 본 발명의 버퍼 애드-온 스토리지는, 비어 있는 컨테이너를 찾으러 갈 필요 없이, 컨테이너들을 보관 및 공급하기 위한 수단을 제공한다.
도 1a 내지 도 1c는 베어 워크피스 스토커를 위한 워크피스 컨테이너 애드온 스토리지의 예시적인 구성을 도시한다. 본 명세서의 기재는 베어 워크피스 스토커를 위한 워크피스 컨테이너 애드-온 스토리지를 기술하지만, 본 발명은 이에 한정되는 것이 아니며, 워크피스 스토커를 위한 외부 워크피스 애드-온 스토리지, 또는 처리 장비를 위한 워크피스 애드-온 스토리지와 같이, 임의의 시스템을 위한 애드-온 스토리지 어셈블리로서 사용될 수 있다.
도 1a에 있어서, 워크피스 컨테이너 애드-온 스토리지(11)는 적재 스테이션(13)을 갖는 베어 워크피스 스토커(12)에 커플링된다. 적재 스테이션이라는 용어는, 본 발명의 맥락에서는, 워크피스 컨테이너를 지지하는 스테이션, 예컨대 수동 I/O 스테이션(예컨대, 조작자에 의해 워크피스 컨테이너들을 워크피스 스토커(12)에 대하여 적재하고 내리기 위한 스테이션), 자동 I/O 스테이션(예컨대, 자동 오버헤드 수송 시스템에 의해 워크피스 컨테이너들을 워크피스 스토커(12)에 대하여 적재하고 내리기 위한 스테이션), 또는 I/O 스테이션과 워크피스 스토커 시스템 사이에서 이행 스테이션으로서 워크피스 컨테이너를 지지하도록 기능하는, 워크피스 스토커(12) 내부의 중간 또는 인터페이스 스테이션으로서 사용된다. 예컨대, 컨테이너는 I/O 스테이션(수동 또는 자동)에 적재되고 나서, 중간 스테이션으로 이송될 수 있으며, 여기서 컨테이너는 내부의 워크피스에 로봇이 액세스할 수 있게 개방된다.
몇몇 실시예에 있어서, 베어 워크피스 스토커(12)는 제작 설비 내의 다른 장비와 접속하는 수동 또는 자동 I/O 스테이션을 가진, 독립적인 작업이 가능한 독립형 워크피스 스토커이다. 베어 워크피스 스토커는 내부에 워크피스들이 보관되어 있는 컨테이너들을 수용해서, 그 베어 워크피스 스토리지 챔버에 베어 워크피스들만을 보관하고, 워크피스 컨테이너들을 무시한다. 워크피스 컨테이너 애드-온 스토리지(11)는 워크피스 스토커의 측면에 부착되어, 워크피스 스토커의 외부 스토리지로서 작용할 수 있다. 워크피스 컨테이너 애드-온(11)과 워크피스 스토커(12)간의 커플링은 바람직하게는 컨테이너 애드-온 스토리지(11)의 로봇 암을 워크피스 스토커(12)의 적재 스테이션(13)들과 결부시키는 것을 포함하므로, 컨테이너 애드-온 스토리지(11)는 적재 스테이션(13)들 내의 컨테이너들에 액세스할 수 있어, 예컨대 적재 스테이션(13) 내의 컨테이너를 집어올려서 컨테이너 애드-온 어셈블리(11)의 스토리지 챔버에 보관하거나, 또는 컨테이너 애드-온 어셈블리(11)의 스토리지 챔버로부터 컨테이너를 적재 스테이션(13)에 배치시킨다.
예시적인 프로세스 흐름에 있어서, 컨테이너는 워크피스 스토커(12)로 옮겨지고, 컨테이너 내부의 워크피스들은 분리되어 워크피스 스토커(12)에 보관된다. 이후, 컨테이너 애드-온 스토리지의 로봇은 컨테이너(완전히 비어 있거나 또는 부분적으로 비어 있음)를 집어올려서, 컨테이너를 컨테이너 애드-온 스토리지(11)의 컨테이너 스토리지 챔버에 보관한다. 몇몇 실시예에 있어서, 로봇은, 워크피스 스토커가 워크피스들에 액세스하기 전에, 모든 워크피스가 내부에 있는 컨테이너를 집어올려서, 그 컨테이너 스토리지 챔버에 만재(full) 컨테이너를 보관할 수 있다. 예컨대, 이 능력에 있어서, 컨테이너 애드-온 스토리지(11)는, 워크피스 스토커가 매우 단시간에 다수의 컨테이너를 수용하는 것을 허용하며, 워크피스들을 베어 스토리지 챔버로 천천히 회수하는, 워크피스 스토커용 입력 버퍼 스테이션으로서 기능할 수 있다.
예컨대, 다수의 만재 컨테이너들을 수용해서 컨테이너 스토리지에 보관한 후에, 로봇은 만재 컨테이너들을 한번에 하나씩 회수해서 적재 스테이션(13)으로 되돌리고, 워크피스 스토커가 컨테이너 내부의 워크피스들을 베어 스토리지 챔버에 보관되도록 회수하는 것을 허용한다. 이후, 비어 있는 컨테이너는 로봇에 의해 집어올려져서, 컨테이너 스토리지 챔버에 재보관된다. 이후, 다른 만재 컨테이너가 컨테이너 스토리지로부터 적재 스테이션으로 이송된다. 상기 프로세스는 다수의 만재 컨테이너들 내의 모든 워크피스가 베어 워크피스 스토리지 챔버에 이송될 때까지 계속되며, 비어 있는 컨테이너들은 컨테이너 스토리지 챔버에 보관된다.
대안으로서, 컨테이너 스토리지 챔버는 워크피스 스토커용 출력 버퍼로서 기능할 수 있다. 예컨대, 다수의 워크피스가, 필요에 앞서, 다수의 컨테이너에 이송되어 컨테이너 스토리지 챔버에 보관될 수 있다. 예컨대, 컨트롤러는 다음 6, 8, 10 또는 24 시간 내에 필요해질 워크피스들을 결정하고 나서, 워크피스들을 적절한 컨테이너들 내부에 모아서, 만재 컨테이너들을 컨테이너 스토리지 챔버에 보관할 수 있다. 필요할 때, 만재 컨테이너들은, 워크피스들이 컨테이너에 모아지기를 기다리지 않고, 이송 준비가 된다.
또한, 비어 있는 컨테이너를 보관하는 컨테이너 스토리지 애드-온(11)에 의하면, 워크피스들을 워크피스 컨테이너들에 자동으로 모으거나 분산시키는 것이 수행될 수 있어서, 보다 신속한 처리가 허용된다. 예컨대, 워크피스 컨테이너들로부터 워크피스들을 자동으로 모으거나 분산시키는 것은 한 번의 작업(예컨대, 만재 컨테이너를 워크피스 스토커로 옮기는 작업)으로, 두 번의 작업(예컨대, 비어 있는 컨테이너를 분리시키는 추가 작업)을 대신하여, 수행될 수 있다.
도 1b 및 도 1c는 각각 워크피스 스토커(12)에 부착된 애드-온 스토리지(11)의 평면도 및 정면도를 도시한다. 워크피스 스토커(12)는 컨테이너들을 수용하는 수동 I/O 스테이션(13)들, 베어 워크피스 스토리지 챔버와 같은 스토리지 챔버(16), 및 I/O 스테이션(13)들과 스토리지 챔버(16) 사이에서 워크피스들을 이송하는 로봇(18)을 포함한다. 자동 오버헤드 수송 시스템과 커플링하는 자동 오버헤드 I/O 스테이션(19), 및 컨테이너용 또는 워크피스용 인터페이스 스테이션으로서 기능할 수 있는 중간 스테이션(13A)과 같은 추가의 스테이션들이 포함될 수 있다. 예컨대, I/O 스테이션(13) 내의 컨테이너는 인터페이스 스테이션(13A)으로 옮겨질 수 있으며, 여기서는 로봇(18)이 그 덮개를 개방하고, 워크피스들에 액세스할 수 있다. 대안으로서, I/O 스테이션(13) 내의 컨테이너 내의 워크피스는 스토리지 챔버(16)로 이송되기 전에, 인터페이스 스테이션(13A)으로 옮겨질 수 있다(예컨대, 로봇(18)에 의해). 인터페이스 스테이션은 워크피스 정렬을 허용하거나, 또는 단부 이펙터(end effector)에 의한 수평 지지부터 로봇(18)의 그리퍼에 의한 수직 지지까지와 같은, 워크피스 방위 변경을 허용할 수 있다. 워크피스 스토커를 조작하기 위한 정보 및 명령어들을 포함하는, 컨트롤러(17B)가 포함되는 것이 바람직하다. 예컨대, 컨트롤러는 통신 모듈 및 센서들(예컨대, 위치 센서들, 온도 센서들, 가스 유량 센서들, 전기 센서들, 고장 센서들 등), 미터(예컨대, 온도계, 가스 유량계, 전기 미터, 고장 미터, 압력계, 불순물 미터 등), 및 커맨드들(예컨대, 모터 커맨드들, 공압 커맨드들, 수압 커맨드들, 유동 커맨드들, 진공 커맨드들, 전력 커맨드들 등)에 커플링될 수 있다. 컨트롤러는 작업 순서를 결정하는 소프트웨어 프로그램을 포함할 수 있다. 예컨대, 컨트롤러는 다음 24 시간 이내에 필요해질 또는 이에 따라 제작 설비의 중앙 컴퓨터와의 통신을 통해 워크피스들에 대한 정보를 검색 수집할 수 있으며, 예컨대 미리 적절한 컨테이너들에 필요한 워크피스들을 모아서 필요한 동작들을 결정할 수 있다. 컨트롤러는 워크피스들을 어디에 둘지를 알기 위해 스토리지 챔버 내의 비어 있는 스토리지 장소들을 결정할 수 있다. 컨트롤러는 필요한 워크피스들을 회수하는 것이 가능하도록, 보관된 워크피스들의 장소들을 알 수 있다.
애드-온 스토리지 어셈블리(11)는 로봇 어셈블리(15) 및 워크피스 컨테이너들을 보관하는 복수의 선반(14)을 포함한다. 로봇 어셈블리(15)는 선반(14)들 내의, 그리고 또한 워크피스 스토커(12)의 적재 스테이션들(13 및 13A) 내의 컨테이너들에 액세스하도록 구성된다. 예컨대, 로봇 어셈블리(15)는 x-y 장소들에 배치된 선반(14)들에 액세스하는 x-y 선형 가이드, 및 외측의 적재 스테이션들(13 및 13A) 내의 컨테이너들에 액세스하는 연장 가능한 로봇 암을 포함할 수 있다. 애드-온 스토리지 어셈블리(11)는 그 작업들을 제어하는 컨트롤러(17A)를 또한 포함한다. 컨트롤러(17A)는 워크피스 스토커(12)의 컨트롤러(17B)와 유사한 기능들을 포함할 수 있다. 컨트롤러(17A)는 컨트롤러(17B)와 통신해서 정보를 얻을 수 있거나, 또는 설비 컴퓨터와 통신할 수 있다.
도 2a 내지 도 2c는 본 발명의 몇몇 실시예에 따른 예시적인 버퍼 애드-온 스토리지 어셈블리의 세부사항들을 도시한다. 도 2a에 있어서, 버퍼 애드-온 스토리지(21)는 워크피스 스토커(22)와 커플링하기 위한 개구(28A 및 28B)를 포함한다. 예컨대, 개구(28A)는 수동 적재 스테이션들(23 및 23')에 대한 액세스를 허용하고, 개구(28B)는 자동 오버헤드 적재 스테이션(29)에 대한 액세스를 허용한다. 도 2b는 개구들(28A 및 28B)을 도시하는, 버퍼 애드-온 스토리지(21)의 측단면도를 도시한다. 선형 가이드 로봇 어셈블리(25)에 의해 액세스된 컨테이너(24)들은 어레이들로 배열된다. 컨테이너들의 어레이들 사이에는, 로봇 어셈블리(25)에 의해 수송된 컨테이너의 통과를 허용하기 위해, 수송 경로들이 존재한다. 도 2c는 수동 적재 스테이션들(23 및 23') 및 오버헤드 적재 스테이션(29)과 같은, 워크피스 스토커(22)의 몇몇 구성요소 외에, 버퍼 애드-온 스토리지(21)의 정단면도를 도시한다. 로봇 어셈블리(25)는 단부 핸들(26B)을 갖는 로봇 암(26A)을 포함한다. 단부 핸들러(26B)는, 단부 핸들러(26B)가 로봇 암(26A)과는 상이한 평면에 위치되게 하는, 굴곡부를 포함할 수 있다. 이 디자인에서는, 로봇 암(26A)이 보다 가까이 있는 수동 적재 스테이션(23')을 우회해서 보다 멀리 있는 수동 적재 스테이션(23)에 대하여 컨테이너를 집어올리거나 배치시킬 수 있다. 도시된 바와 같이, 버퍼 애드-온 스토리지(21)는 하나의 층의 스토리지 컨테이너들을 포함해서 점유 공간을 최소화한다. 대안으로서, 임의의 수 개의 스토리지 층들이 사용될 수 있다.
몇몇 실시예에 있어서, 스토리지 격실들은 워크피스 수송을 허용하도록 격실들 사이에 수송 경로들을 두고 하나 이상의 x-y 어레이로 배열된다. 각각의 스토리지 격실은, 워크피스가 수송 경로로 취해지거나 또는 그로부터 옮겨지는 것을 허용하는, 수송 경로에 대면하는 적어도 하나의 측면을 갖는다. 수송 경로들은 격실들 사이에서의 이동(워크피스들이 격실들에서 수송 경로들로 취해진 후), 또는 외측 스테이션에 대한 이동과 같이, 워크피스들의 이동을 수용할 만큼 충분히 크다. 수송 경로들은 워크피스가 임의의 스토리지 격실로 주행하는 것 또는 그 반대가 가능하도록 연결된다. 예컨대, 수송 경로들은 버퍼 스토리지 어셈블리의 길이를 가로지르는 수평 경로, 및 버퍼 스토리지 어셈블리의 높이를 가로지르는 다수의 수직 경로를 포함할 수 있다. 워크피스는 수평 경로를 따라 주행하고, 수직 경로로 돌아서, 도착지 격실에 도달할 수 있다.
도 3은 본 발명의 몇몇 실시예에 따른 예시적인 버퍼 애드-온 스토리지 어셈블리의 사시도를 도시한다. 버퍼 어셈블리(31)는 내부 구성요소들을 보다 잘 나타내기 위해 외벽들 없이 도시된다. 복수의 선반(34)은 컨테이너(33)들(또는 워크피스들)을 보관하기 위해 어레이들(30A 내지 30C)에 배열된다. 센서(39)들은 컨테이너(33)들의 유무를 검출하기 위해 스토리지 선반들에 배치될 수 있다. 선반(34)들 및 어레이들(30A 내지 30C)은, 컨테이너를 선반들에 수송하도록 구성되는, 수송 경로들(32 및 38) 사이에 배열된다. 어레이들(30A 내지 30C)은 각각의 선반(34)이 수송 경로에 대면하는 측면을 갖도록 배열되는 것이 바람직하며, 그에 따라 로봇이 수송 경로를 따라 선반 장소들에 컨테이너를 이동시키는 것이 허용된다.
예컨대, 어레이(30A)는, 각각의 열이 수직 y 수송 경로(32)에 대면해 있는, 2열로 배치된다. 버퍼 스토리지 어셈블리의 에지에 있는 어레이들(30B 및 30C)은 벽에 대면해 있을 수 있으며, 1-열 어레이들에 배치될 수 있다. 버퍼 스토리지의 수평 x 방향을 따라 주행하는 수평 수송 경로(38)가 포함될 수 있다. 수평 경로(38)는 최종 수직 열 선반 어레이(30B)에서 정지할 수 있거나, 또는 최종 수직 열 선반 어레이(30C)를 통과할 수 있다.
로봇 어셈블리(35)는 로봇 암(36A)을 수송 경로들(32 및 38)을 따라 선반(34)들로 이동시키기 위해 어레이 스토리지 다음에 배치될 수 있는 x-y 선형 가이드들을 포함한다. 로봇 암(36A)은 컨테이너(33)를 취급하는 단부 핸들(36B)을 포함할 수 있다. 로봇 암(36A)은 스토커의 적재 스테이션에 대하여 컨테이너를 집어올리거나 배치시키기 위해 z 방향으로 워크피스 스토커까지 연장될 수 있다. 컨트롤러(37)는, 스토리지 선반(34)들과 워크피스 스토커 사이에서 컨테이너들을 이송하는, 로봇 어셈블리(35)의 이동을 제어할 수 있다. 컨트롤러(37)는 버퍼 스토리지 어셈블리를 조작하기 위한 상술한 기능들과 같은 다른 기능들을 포함할 수 있다.
도 4a 및 도 4b는 본 발명의 몇몇 실시예에 따른 예시적인 버퍼 애드-온 스토리지 어셈블리를 도시한다. 컨테이너(55)들은, 중간에 수송 경로들이 있는 어레이들에 배열되는, 버퍼 스토리지(41)의 선반(44)들에 보관된다. 버퍼 스토리지(41)는 워크피스 스토커의 수동 적재 스테이션들과 연결하기 위한 이송 장소(43)들, 및 워크피스 스토커의 자동 오버헤드 적재 스테이션과 연결하기 위한 이송 장소(49)를 포함한다. 컨테이너(55)는 스토커에 이송될 이송 스테이션(43)으로 이동될 수 있다. 컨테이너(57)는 수직 수송 경로에서 주행(42)할 수 있거나, 또는 스토리지 선반들로 이동(46)할 수 있다. 컨테이너(53)는 선반 장소들에 도달하도록 수직 수송 경로에 연결된 수평 수송 경로에서 주행(48)할 수 있다. 컨트롤러(47)는 로봇의 이동을 제어하는 버퍼 스토리지 어셈블리를 조작한다.
몇몇 실시예에 있어서, 버퍼 스토리지 어셈블리는, 스토리지 용량이 부차적인 고려사항이 되도록, 최소한의 바닥 공간을 점유하도록 구성된다. 버퍼 스토리지 어셈블리 크기는 기존의 장비의 일 측면의 길이 및 높이와 일치하는 길이(예컨대, x 방향을 따름) 및 높이(예컨대, y 방향을 따름)를 포함할 수 있기 때문에, 버퍼 스토리지 어셈블리는 기존 장비의 측면에 부착될 수 있다. 몇몇 실시예에 있어서, 버퍼 스토리지 어셈블리는 워크피스 및 x-y 이동 메커니즘을 수용하기에 충분히 넓은 폭으로, 하나의 층의 스토리지 격실들을 보관하는 최소한의 폭(예컨대, z 방향을 따름)을 포함한다.
도 5a 및 도 5b는 본 발명의 몇몇 실시예에 따른 버퍼 스토리지의 예시적인 구성들을 도시한다. 도 5a는 스토커에 부착될 최소 구성을 제공하는, 하나의 층의 스토리지를 갖춘 버퍼 스토리지 어셈블리를 도시한다. 컨테이너(55, 53 또는 57)는 보관된 컨테이너들과 동일한 폭으로 주행할 수 있기 때문에, 최소 폭이 달성될 수 있다. 컨테이너(53, 55 또는 57)를 지지하는 로봇 암(52A 또는 52B)을 이동시키는 로봇(51)은 스토리지 어레이들 옆에 배치된다. 로봇 암(52A)은 장애물 주위로의 이동을 허용할 수 있는 상이한 평면으로 굴곡된 단부 핸들을 구비한다. 로봇 암(52B)은 로봇에 가장 가까운 스테이션에 액세스하기 위해, 암에 직접 연결된 단부 핸들을 갖는다.
몇몇 실시예에 있어서, 버퍼 스토리지 어셈블리는 스토리지 챔버에 커플링된 x-y 이동 메커니즘을 더 포함한다. 워크피스 스토리지 격실에 대한 워크피스의 이동을 허용하는 x-y 이동 메커니즘은 스토리지 격실들에 도달할 수 있다. x-y 이동 메커니즘은 워크피스를 x 방향을 따라(예컨대, 버퍼 스토리지 어셈블리의 길이를 따라) 및 y 방향을 따라(예컨대, 버퍼 스토리지 어셈블리의 높이를 따라) 이동시킬 수 있는 x-y 선형 가이드를 포함할 수 있다. 몇몇 실시예에 있어서, 로봇 시스템은 워크피스를 지지하는 로봇 암을 이동시키기 위해 x-y 이동 메커니즘에 커플링될 수 있다.
도 6a 및 도 6b는 본 발명의 몇몇 실시예에 따른 x-y 이동 메커니즘의 예시적인 구성들을 도시한다. 도 6a는 모터(62)를 통해 수직으로 이동하는 수평 선형 가이드(63)를 지지하는 수직 선형 가이드들(61A, 61B)을 도시한다. 로봇 연결부(65)는 수평 선형 가이드(63)에 커플링되고, 모터(64)를 통해 수평으로 이동해서, 컨테이너(66)를 운반한다. 컨트롤러(67A)는, 예컨대 모터들(62 및 64)을 통해 선형 가이드들의 이동을 제어한다.
도 6b는 컨테이너(66)를 지지하는 로봇 연결부(69)에 연결되는 로봇 암(68)을 이동시키는 로봇(67)을 도시한다. 로봇 암(68)을 회전시킴으로써, 컨테이너(66)는 버퍼 스토리지 어셈블리 내의 임의의 장소들 사이에서, 예컨대 이송 장소들(43 및 49) 사이에서 임의의 스토리지 선반(44)들로 이동될 수 있다. 컨트롤러(67B)는, 예컨대 로봇 암(68)을 회전시키는 로봇 내부의 모터들을 통해 로봇(67)의 이동을 제어한다.
몇몇 실시예에 있어서, 로봇 시스템은 워크피스를 지지하기 위해 단부 핸들을 포함한다. 단부 핸들은, 워크피스에 있는 리세스에의 진입시에, 워크피스를 스토리지 격실에서(또는 장비의 스테이션에서) 이동시키도록 들어올릴 수 있는, 단부 블레이드, 단부 이펙터, 또는 하나 이상의 포크를 포함할 수 있다. 워크피스를 배치시키기 위한 작업들은 정반대이며, 지지 받침대 상에 워크피스를 배치시키기 위해 로봇이 포크들을 하강시키고 나서, 포크들을 빼내는 것을 포함한다.
도 7a 내지 도 7c는 본 발명의 몇몇 실시예에 따른 예시적인 단부 핸들 이동 순서들을 도시한다. 도 7a에 있어서, 로봇 암(72)은 컨테이너(71)(또는 워크피스)를 지지하기 위해 로봇 암의 단부에 커플링된 블레이드 또는 단부 이펙터(73) 형태의 단부 핸들을 갖는다. 예컨대, 컨테이너 내의 리세스를 통해 컨테이너(71)에 진입하면, 암(72)은 올려져서 컨테이너를 그 지지 받침대에서 들어올릴 수 있다. 이후, 로봇 암은 컨테이너를 보관 장소로 이동시킬 수 있다. 그리고, 단부 핸들이 리세스에서 자유로워질 때까지 로봇 암을 내리면, 로봇 암을 빼낼 수 있다. 도 7b에 있어서, 로봇 암(72)은 컨테이너(71)(또는 워크피스)를 지지하기 위해 로봇 암의 단부에 커플링된 2개의 포크(74) 형태의 단부 핸들을 갖는다. 예컨대, 컨테이너 내의 리세스를 통해 컨테이너(71)에 진입하면, 암(72)은 올려져서 컨테이너를 그 지지 받침대에서 들어올릴 수 있다. 이후, 로봇 암은 컨테이너를 보관 장소로 이동시킬 수 있다. 그리고, 단부 핸들이 리세스에서 자유로워질 때까지 로봇 암을 내리면, 로봇 암을 빼낼 수 있다. 도 7c에 있어서, 단부 핸들(73 또는 74)이 컨테이너(71)의 리세스(76)에 진입하는 작업의 측면도가 도시된다. 들어올릴 때, 단부 핸들은 리세스의 상부(77)에 접촉한다. 로봇은 컨테이너를 상부(77)에 의해 지지할 수 있으며, 로봇 암의 이동에 의해 컨테이너를 이동시킬 수 있다.
몇몇 실시예에 있어서, 단부 핸들은 다양한 방향에서 워크피스에 진입할 수 있기 때문에, 워크피스를 집어올리거나 배치시키는데 있어서 융통성이 있다. 예컨대, 단부 핸들은 로드록 스테이션에서 z 방향에서 워크피스에 진입할 수 있고, 이후 스토리지 격실에서 +x 방향 또는 -x 방향으로 워크피스를 벗어날 수 있다.
도 8a 및 도 8b는 본 발명의 몇몇 실시예에 따른 예시적인 컨테이너 및 예시적인 단부 핸들 이동들을 도시한다. 리세스(76)를 형성하기 위해 일 측면(79)에서 컨테이너 본체에 연결된 상부(77)를 포함하는 예시적인 컨테이너(71)가 도시된다. 리세스(76)의 3개의 다른 측면들이 개방되어, 단부 핸들이 리세스(76)에 진입 및 진출하는 것을 허용한다.
도 9a 내지 도 9d는 본 발명의 몇몇 실시예에 따른 스토리지 장소로의 예시적인 컨테이너 이송 순서를 도시한다. 로봇 암(94)은 상이한 장소들로의 이동을 위해 x-y 이동 메커니즘(92)에 커플링된다. 로봇 암(94)은 워크피스 스토커에서 컨테이너(71)에 액세스하도록 연장될 수 있다. 도 9a에 있어서, 로봇 암(94)은 단부 핸들(93)이 컨테이너(71) 내의 리세스에 진입할 때까지 연장된다. 단부 핸들은 정면(71A)에서 컨테이너에 진입한다. 도 9b에 있어서, 로봇 암(94)은 로봇이 버퍼 스토리지 어셈블리에 복귀하도록 수축된다. 도 9c에 있어서, x-y 메커니즘(92)은 로봇을 이동시켜서 컨테이너(71)를 선반(95)까지 운반한다. 이후, x-y 메커니즘(92)은 컨테이너(71)를 선반(95)으로 내린다. 도 9d에 있어서, x-y 메커니즘(92)은 로봇 단부 핸들을 측면(71B)으로부터 컨테이너 외부로 이동시킨다. 대안으로서, 다른 선반(95')에 대하여, 로봇은 다른 방향으로부터 선반(95')에 접근할 수 있으며, 단부 핸들은 다른 측면(71C)으로부터 컨테이너 외부로 이동된다. 컨테이너는 정반대의 작업에 의해 스토리지 선반들로부터 회수될 수 있다.
몇몇 실시예에 있어서, 단부 핸들은 컨테이너 내외로의 단부 핸들의 이동을 허용하기 위해 가동 갈래살들을 구비할 수 있다. 도 10a 내지 도 10d는 본 발명의 몇몇 실시예에 따른 가동 갈래살들을 갖는 로봇의 예시적인 이동 순서를 도시한다. 도 10a는 커넥터부(106)를 통해 본체에 연결된 상부(107)를 갖는 예시적인 컨테이너(101)를 도시한다. 도 10b는 연장(104A) 및 수축(104B)될 수 있는 가동 갈래살들을 갖는 단부 핸들을 구비한 로봇 암(102)을 도시한다. 도 10c에 있어서, 로봇은 동일한 방향에서 컨테이너(101)에 진입 및 그로부터 복귀할 수 있다. 도 10d에 있어서, 정면 방향으로부터 컨테이너에 진입하고 나서, 갈래살들이 수축되고, 로봇 암이 컨테이너의 어느 한 측면으로부터 컨테이너의 외부로 이동할 수 있다.
도 11a 내지 도 11e는 본 발명의 몇몇 실시예에 따른 스토리지 장소로의 가동 갈래살들의 예시적인 컨테이너 이송 순서를 도시한다. 로봇 암(114)은 상이한 장소들로의 이동을 위해 x-y 이동 메커니즘(112)에 커플링된다. 로봇 암(114)은 워크피스 스토커에서 컨테이너(107)에 액세스하도록 연장될 수 있다. 도 11a에 있어서, 로봇 암(94)은 단부 핸들(113)이 커넥터부(106) 주위로 컨테이너(101)에 진입할 때까지 연장된다. 단부 핸들은 정면에서 컨테이너에 진입한다. 도 11b에 있어서, 로봇 암(114)은 로봇이 버퍼 스토리지 어셈블리에 복귀하도록 수축된다. 도 11c에 있어서, x-y 메커니즘(112)은 로봇을 이동시켜서 컨테이너(101)를 선반(115)까지 운반한다. 이후, x-y 메커니즘(112)은 컨테이너(101)를 선반(115)으로 내린다. 도 11d에 있어서, 단부 핸들의 갈래살들이 수축되어 로봇이 컨테이너의 외부로 이동하는 것이 허용된다. 도 11e에 있어서, x-y 메커니즘(112)은 로봇 단부 핸들을 컨테이너 외부로 측면으로부터 이동시킨다. 대안으로서, 다른 선반(115')에 대하여, 로봇은 다른 방향에서 선반(115')에 접근할 수 있고, 단부 핸들은 컨테이너 외부로 다른 측면으로부터 이동된다. 컨테이너는 정반대의 작업에 의해 스토리지 선반들로부터 회수될 수 있다.
몇몇 실시예에 있어서, 단부 핸들은 컨테이너를 파지하기 위해 그리퍼 암들을 포함할 수 있다. 도 12a 내지 도 12c는 본 발명의 몇몇 실시예에 따른 그리퍼 암들을 갖는 로봇의 예시적인 이동 순서를 도시한다. 도 12a는 커넥터부(126)를 통해 본체에 연결된 상부를 갖는 예시적인 컨테이너(121)를 도시한다. 로봇 암(122)은, 예컨대 단부 핸들(123) 내에 위치된 모터 또는 다른 형태의 이동 메커니즘을 통해, 연장(124A) 및 수축(124B)될 수 있는 가동 그리퍼 암들을 갖는 단부 핸들(123)을 구비한다. 로봇 암(122)은, 그리퍼 암들이 컨테이너의 파지 가능한 부분들의 외측으로 연장되는 상태로, 컨테이너(121)에 접근한다. 도 12b에 있어서, 그리퍼 암들은 컨테이너(121)의 상부를 파지한다. 도 12c에 있어서, 그리퍼 암들은 컨테이너(121)의 커넥터부(126)를 파지한다.
도 13a 내지 도 13i는 본 발명의 몇몇 실시예에 따른 스토리지 장소로의 가동 그리퍼 암들의 예시적인 컨테이너 이송 순서를 도시한다. 로봇 암(132)은 상이한 장소들로의 이동을 위해 x-y 이동 메커니즘(112)에 커플링된다. 로봇 암(132)은 워크피스 스토커에서 컨테이너(131)에 액세스하도록 연장될 수 있다. 도 13a에 있어서, 로봇 암(132)은 그리퍼 암(134A)들이 컨테이너(131)를 상부 주위로 둘러쌀 때까지 연장된다. 도 13b는 상응하는 측면도를 도시한다. 도 13c에 있어서, 그리퍼 암들은 컨테이너를 지지하도록 수축(134B)된다. 도 13d에 있어서, 로봇 암(132)은 로봇이 버퍼 스토리지 어셈블리에 복귀하도록 수축된다. 도 13e에 있어서, x-y 메커니즘(112)은 로봇을 이동시켜서 컨테이너(131)를 선반(135)까지 운반한다. 이후, x-y 메커니즘(112)은 컨테이너(131)를 선반(135)으로 내린다. 도 13f에 있어서, 단부 핸들의 그리퍼 암들은 로봇이 컨테이너 외부로 이동하는 것을 허용하도록 연장된다. 도 13g 및 도 13h에 있어서, x-y 메커니즘(112)은 로봇 단부 핸들을 컨테이너로부터 위로 이동(134C)시킨다. 도 13i에 있어서, x-y 메커니즘(112)은 로봇 단부 핸들을 컨테이너 외부로 이동시킨다. 컨테이너는 정반대의 작업에 의해 스토리지 선반들로부터 회수될 수 있다.
몇몇 실시예에 있어서, 단부 핸들은 로봇 암의 단부에서 회전될 수 있어서, 단부 핸들이 다수의 방향에서, 예컨대 버퍼 스토리지 어셈블리의 폭을 따르는 z 방향, 또는 버퍼 스토리지 어셈블리의 길이를 따르는 +x 방향 또는 -x 방향에서, 워크피스에 대면하는 것을 허용한다. 예컨대, 워크피스를 집어올린 후에, 단부 핸들은 버퍼 스토리지 어셈블리에 진입하기 전에 원하는 스토리지 격실에 대면(예컨대, x 방향 또는 -x 방향에 대면)하도록 회전될 수 있다. 몇몇 실시예에 있어서, 단부 핸들은 가동 포크들을 구비할 수 있어서, 다수의 방향으로부터의 워크피스의 취급이 허용된다.
도 14a 내지 도 14c는 본 발명의 몇몇 실시예에 따른 로봇 암에 회전 가능하게 연결되는 예시적인 단부 핸들을 도시한다. 로봇(142)은 2개의 갈래살 핸들로서 도시된 단부 핸들(144)에 회전 가능한 연결부(143)를 통해 커플링된다. 단부 핸들은 상이한 방향들로 회전할 수 있어서, 단부 핸들이 로봇 암(142)에 대하여 상이한 방위들을 취하는 것이 허용된다.
도 15a 내지 도 15e는 본 발명의 몇몇 실시예들에 따른 회전 가능한 단부 핸들의 예시적인 컨테이너 이송 순서를 도시한다. 로봇 암(152)은 상이한 장소들로의 이동을 위해 x-y 이동 메커니즘(112)에 커플링된다. 로봇 암(152)은 워크피스 스토커에서 컨테이너(151)에 액세스하도록 연장될 수 있다. 도 15a에 있어서, 로봇 암(152)은 단부 핸들이 컨테이너(151) 내의 리세스에 진입할 때까지 연장된다. 단부 핸들은 정면으로부터 컨테이너에 진입하도록 회전될 수 있다. 도 15b에 있어서, 단부 핸들은 장래의 스토리지 선반의 방향으로 회전한다. 예컨대, 단부 핸들은 스토리지 선반(155)에 대면하도록 시계방향으로 회전된다. 도 15c에 있어서, 로봇 암(152)은 로봇이 버퍼 스토리지 어셈블리에 복귀하도록 수축된다. 도 15d에 있어서, x-y 메커니즘(112)은 로봇을 이동시켜서 컨테이너(151)를 선반(155)까지 운반한다. 이후, x-y 메커니즘(112)은 컨테이너(151)를 선반(155)으로 내린다. 도 15e에 있어서, x-y 메커니즘(112)은 로봇 단부 핸들을 컨테이너 외부로 측면으로부터 이동시킨다. 컨테이너는 정반대의 작업에 의해 스토리지 선반들로부터 회수될 수 있다.
도 16a 내지 도 16e는 본 발명의 몇몇 실시예에 따른 회전 가능한 단부 핸들의 다른 예시적인 컨테이너 이송 순서를 도시한다. 반대편의 선반(155')에 대하여, 로봇은 상이한 방향으로부터 컨테이너(162) 또는 선반(155')에 접근하도록 단부 핸들을 회전시킬 수 있다. 도 16a에 있어서, 연장된 로봇 암(152)은 단부 핸들이 컨테이너(151) 내의 리세스에 진입할 때까지 이동된다. 단부 핸들은 컨테이너에 정면에서 진입하도록 회전될 수 있다. 도 16b에 있어서, 단부 핸들은 장래의 스토리지 선반의 방향으로 회전한다. 예컨대, 단부 핸들은 스토리지 선반(155')에 대면하도록 반시계방향으로 회전된다. 도 16c에 있어서, 로봇 암(152)은 로봇이 버퍼 스토리지 어셈블리로 복귀하도록 수축된다. 도 16d에 있어서, x-y 메커니즘(112)은 로봇을 이동시켜서 컨테이너(151)를 선반(155')까지 운반한다. 이후, x-y 메커니즘(112)은 컨테이너(151)를 선반(155')으로 내린다. 도 16e에 있어서, x-y 메커니즘(112)은 로봇 단부 핸들을 컨테이너 외부로 측면으로부터 이동시킨다. 컨테이너는 정반대의 작업에 의해 스토리지 선반들로부터 회수될 수 있다.
몇몇 실시예에 있어서, 로봇 시스템은 x-y 평면(예컨대, x-y 이동 메커니즘에 의해 또는 스토리지 격실들의 x-y 어레이들에 의해 형성된 평면)으로부터 멀리 단부 핸들을 연장시키기 위해 연장 메커니즘을 포함한다. 단부 핸들은 부착된 워크피스 스토커에 도달하도록, 예컨대 로드록 스테이션 또는 중간 스테이션을 향해 연장될 수 있다. 단부 핸들은 굴곡형 로봇 암에 커플링될 수 있어서, 로봇 암의 연장 도중에 단부 핸들이 장애물들을 회피할 수 있게 한다. 예컨대, 장비는 z 방향을 따라(예컨대, 버퍼 스토리지 어셈블리로부터 멀리) 배치된 2개의 로드록을 포함할 수 있으며, 그에 따라 로봇 암은 보다 멀리 있는 로드록에 배치된 워크피스를 집거나 배치시키기 위해 보다 가까운 로드록을 지나 도달하도록 구성된다. 단부 핸들은 스토리지 격실들과 정렬하는 위치로 수축될 수 있다. 수축된 위치에서, 단부 핸들은 x-y 이동 메커니즘에 의해, 바람직하게는 수송 경로들을 따라 수송될 수 있다.
연장 메커니즘은 일단부가 x-y 이동 메커니즘에 커플링되어 있고 타단부가 단부 핸들에 커플링되어 있는 접이식 암들을 포함할 수 있다. 연장될 때, 접이식 암들은 장비 내부에 배치된 워크피스에 도달하도록 z 방향을 따라 연신된다. 접힐 때, 접이식 암들은 x 방향을 따라(예컨대, 버퍼 스토리지 어셈블리의 길이를 따라), 또는 y 방향을 따라(예컨대, 버퍼 스토리지 어셈블리의 높이를 따라) 접힐 수 있다. 몇몇 실시예에 있어서, 접이식 암들은 스토리지 격실들을 회피하는 경로 내에서 연장된다. 예컨대, x-접이식 암들은 수평 경로에 위치될 때 연장될 수 있으며, y-접이식 암들은 수직 경로에 위치될 때 연장될 수 있다. 대안으로서, 연장 메커니즘은 신축형 메커니즘 또는 가위형 메커니즘과 같은 다른 메커니즘들을 포함할 수 있다.
워크피스 스토커 내로 도달하는 로봇 암의 연장 메커니즘은 x 방향(예컨대, 버퍼 어셈블리의 길이를 따르는 방향), y 방향(예컨대, 버퍼 어셈블리의 높이를 따르는 방향), 또는 임의의 다른 방향들로 위치될 수 있다.
도 17a 내지 도 17d는 본 발명의 몇몇 실시예에 따른 로봇 암의 예시적인 구성들을 도시한다. 도 17a에 있어서, 로봇 암은 이동 메커니즘(112)에 커플링된 접이식 암(173)들을 포함한다. 도 17b에 있어서, 로봇 암은 이동 메커니즘(112)에 커플링된 가위형 암(178)들을 포함한다. 로봇 암은, 접힐 때에는, 컨테이너(174)를 버퍼 스토리지 어셈블리(175) 내에 유지한다. 로봇 암은, 연장될 때에는, 워크피스 스토커(176) 내의 적재 스테이션에 보관된 컨테이너에 도달한다.
도 18a 내지 도 18d는 본 발명의 몇몇 실시예에 따른 회전 가능한 단부 핸들을 갖춘 로봇 암의 예시적인 구성들을 도시한다. 도 18a에 있어서, 로봇 암은 이동 메커니즘(112)에 커플링된 접이식 암(183)들을 포함한다. 접이식 암(183)들은 x 방향을 따라, 예컨대 버퍼 어셈블리(175)의 길이를 따라 접히고 연장될 수 있다. 로봇 암은, 접힐 때에는, 컨테이너(184)를 버퍼 스토리지 어셈블리(175) 내에 유지한다. 컨테이너(184)를 지지하는 단부 핸들은 이동 메커니즘(112)과 평행하게 회전되는 회전 메커니즘(188)에 커플링된다. 컨테이너(184)를 지지하는 단부 핸들은 워크피스 스토커(176)의 적재 스테이션에 도달하도록 회전되어서, 버퍼 어셈블리(175)에 수직한 방향으로부터 적재 스테이션에 진입한다. 도 18b에 있어서, 로봇 암은 y 방향을 따라, 예컨대 버퍼 어셈블리(175)의 높이를 따라 접히고 연장되는 접이식 암(189)들을 또한 포함한다. 로봇 암들은, 접힐 때에는, 컨테이너를 메커니즘(112)과 수직한 방향으로 유지한다. 컨테이너를 지지하는 단부 핸들은 워크피스 스토커(176)의 적재 스테이션에 도달하도록 회전되어서, 버퍼 어셈블리(175)에 평행한 방향으로부터 적재 스테이션에 진입한다.
몇몇 실시예에 있어서, 단부 핸들은 로봇 암들과 동일한 평면 또는 상이한 평면에 배치될 수 있다. 굴곡된 단부 핸들은 로봇 암들이 장애물을 회피하는 것을 허용할 수 있다. 도 19a 내지 도 19d는 본 발명의 몇몇 실시예에 따른 상이한 단부 핸들들을 갖춘 접이식 암들의 예시적인 구성들을 도시한다. 도 19a는 선형 단부 핸들 구성을 도시하는, x 방향을 따르는(예컨대, 버퍼 어셈블리의 길이를 따르는) 버퍼 어셈블리(175) 및 워크피스 스토커(176)의 평면도를 도시한다. 도 19b는 y 방향을 따르는(예컨대, 버퍼 어셈블리의 높이를 따르는) 버퍼 어셈블리(175) 및 워크피스 스토커(176)의 측면도를 도시한다. 단부 핸들(191B)은 로봇 암(191A)들의 선형 연장부로서 연결되어서, 로봇 암들이 z 방향으로, 예컨대 워크피스 스토커(176)를 향해 위치된 컨테이너들을 취급하는 것을 허용한다.
도 19c는 굴곡된 단부 핸들 구성을 도시하는, x 방향을 따르는 버퍼 어셈블리(175) 및 워크피스 스토커(176)의 평면도를 도시한다. 도 19d는 y 방향을 따르는 버퍼 어셈블리(175) 및 워크피스 스토커(176)의 측면도를 도시한다. 단부 핸들(192B)은 로봇 암(192A)들로부터 굴곡되어서, 연장될 때에는, 로봇 암과는 상이한 평면에 배치된다. 굴곡된 부분은 로봇 암들이 로봇 암의 경로 내의 적재 스테이션(194)을 회피하는 것을 허용해서, 보다 멀리 있는 적재 스테이션(195)에 배치된 컨테이너의 취급을 허용한다.
도 20a 내지 도 20c는 본 발명의 몇몇 실시예에 따른 굴곡된 단부 핸들을 갖춘 예시적인 로봇 암을 도시한다. 로봇 암들은 커플링(209)에 의해 연결된 부분들(202A 및 202B)을 포함한다. 단부 핸들(203)은 굴곡 부분을 포함하고, 조인트(208)를 통해 암 부분(202B)과 연결된다. 굴곡 부분은 로봇이 보다 가까이 있는 적재 스테이션(204)을 피해서, 보다 멀리 있는 적재 스테이션(205) 내의 컨테이너에 액세스하는 것을 허용한다. 굴곡된 단부 핸들을 대신하여 곡선형 로봇 암들과 같이, 두 적재 스테이션에 액세스하기 위한 다른 구성들이 사용될 수도 있다.
몇몇 실시예에 있어서, 버퍼 스토리지 어셈블리는 워크피스 스토커의 스테이션에 도달하도록 연장되는 로봇 암을 위한 이송 장소를 포함한다. 이송 장소에서, 로봇은 버퍼 스토리지 평면 외부로 연장될 수 있다. 이송 장소는 이송 스테이션 또는 로드록 스테이션과 같은, 워크피스 스토커의 스테이션에 대응된 위치들에 배치될 수 있다. 몇몇 실시예에 있어서, 버퍼 스토리지 어셈블리는 다수의 이송 장소, 예컨대 워크피스 스토커의 수동 로드록 스테이션을 취급하기 위한 이송 장소, 및 자동 이송 스테이션을 취급하기 위한 다른 이송 장소를 포함한다.
예컨대, 워크피스 스토커는 상이한 장비들을 연결하는 오버헤드 수송 라인에 커플링된 자동 수송 스테이션을 포함할 수 있다. 자동 수송 스테이션은 연결이 용이하도록 장비의 상부에 배치될 수 있다. 자동 수송 스테이션을 수동 로드록 스테이션과 커플링하기 위해 이동식 론치 플랫폼이 사용될 수 있으며, 이로써 워크피스 스토커가 수동 로드록 스테이션들에서의 수동 수송 외에, 워크피스 컨테이너들의 자동 수송을 수용할 수 있게 된다. 버퍼 스토리지 어셈블리는 자동 수송 스테이션에 직접 액세스하는 이송 장소를 포함해서, 버퍼 스토리지 챔버를 자동 수송 라인에 연결할 수 있다. 버퍼 스토리지 챔버에 보관된 컨테이너들 및 워크피스들은 다른 장비와 교환될 수 있으며, 이로써 버퍼 스토리지 어셈블리가 다수의 베어 워크피스 스토커와 같은 다수의 장비에 대하여 기능할 수 있게 된다.
도 21a 내지 도 21d는 본 발명의 몇몇 실시예에 따른 로봇 암들의 예시적인 액세스 순서들을 도시한다. 버퍼 어셈블리(215)는 워크피스들 또는 컨테이너들을 보관하기 위한 스토커(216) 옆에 위치된다. 버퍼 어셈블리(215)는 스토커(216)에 이송하기 위한 이송 장소들 또는 스테이션들(218A 및 218B)을 포함한다. 로봇(213)은 컨테이너를 상부 이송 스테이션(218A)으로부터 오버헤드 적재 스테이션(211A 또는 211B)으로 이동시킬 수 있다. 로봇(213)은 컨테이너를 하부 이송 스테이션(218B)으로부터 수동 적재 스테이션(212A 또는 212B)으로 이동시킬 수도 있다. 굴곡된 단부 핸들은 로봇 암(213)이 보다 가까운 스테이션(211A 또는 212A)을 피해서 보다 멀리 있는 스테이션(211B 또는 212B)에 제각기 도달할 수 있게 한다. 오버헤드 수송 어셈블리(217)는 오버헤드 수송 스테이션들(211A 및 211B) 옆에 배치되어, 장비들간에서의 컨테이너들의 자동 이송을 허용한다.
이동식 론치 플랫폼(218A)과 같은 이송 메커니즘은 수동 적재 스테이션(212A)과 오버헤드 적재 스테이션(211A) 사이에서 이들 두 적재 스테이션간에 컨테이너들을 이송하기 위해 커플링될 수 있다. 스테이션들(211B 및 212B)간의 연결을 위해 선택적인 이송 메커니즘(218B)이 포함될 수 있다.
몇몇 실시예에 있어서, 본 발명은, 예컨대 베어 워크피스 스토커에 비어 있는 컨테이너들을 보관 및 공급하기 위해, 버퍼 스토리지 어셈블리가 베어 워크피스 스토커에 커플링되는 것을 개시한다. 버퍼 스토리지 어셈블리는, 내부에 워크피스들이 보관되어 있는 컨테이너들을 보관하는데 사용될 수도 있다. 상기 기재는 워크피스 스토커에의 커플링 도중에 컨테이너들을 보관하기 위한 버퍼 어셈블리를 기술하고 있지만, 본 발명은 그것에 한정되는 것은 아니며, 워크피스들을 보관하는 버퍼 어셈블리에 적용될 수 있다.
몇몇 실시예에 있어서, 본 발명은 버퍼 스토리지 어셈블리에 커플링된 베어 워크피스 스토커를 포함하는 콤비네이션 워크피스 스토커를 개시한다. 버퍼 스토리지 어셈블리는 베어 워크피스 스토커로부터 분리될 수 있고, 컨테이너 이송 레벨에서만 커플링될 수 있다. 대안으로서, 버퍼 스토리지 어셈블리는 베어 워크피스 스토커에 완전히 통합되어 다중 능력을 갖는 완전한 시스템을 형성할 수 있다. 몇몇 실시예에 있어서, 본 발명은 컨테이너들을 보관하는 추가적인 스토리지 능력을 갖는 베어 워크피스 스토커를 개시한다. 컨테이너 스토리지의 개수는 한정될 수 있으며, 주로 긴급한 또는 특수한 상황과 같이, 제한된 상황에서 베어 워크피스 스토커에 컨테이너들을 제공하는데 쓰일 수 있다. 여분의 컨테이너들이 외부 스토리지에 수동 또는 자동으로 수송될 수 있다.
도 22는 베어 워크피스 스토리지용 스토리지 챔버(226), 및 컨테이너 스토리지용 스토리지 챔버(225)를 갖는 통합 스토커와, 워크피스 및 컨테이너를 취급하기 위한 부분(220)을 도시한다. 적재 스테이션(227)들은 컨테이너들을 수동 또는 자동 적재 및 내리도록 구성된다. 이송 스테이션(223)은 컨테이너 또는 워크피스를 지지하기 위해 선택적으로 포함된다. 로봇(222)은 적재 스테이션(227)과 스토리지 챔버들(225 및 226) 사이에서 워크피스들 및 워크피스 컨테이너들을 취급할 수 있다. 컨트롤러(221)는 스토커를 조작하기 위한 프로그램들, 센서들 및 커맨드들을 포함한다.
몇몇 실시예에 있어서, 본 발명은 버퍼 스토리지 어셈블리를 베어 워크피스 스토커와 커플링하는 방법들을 개시한다. 버퍼 스토리지 어셈블리는, 바람직하게는 워크피스 스토커의 적재 스테이션에 배치된 컨테이너에 액세스하기 위한 연장 가능한 로봇 암을 포함하여, 스토리지 장소들에 액세스하기 위한 그 자신의 내부 로봇을 포함한다.
도 23은 본 발명의 몇몇 실시예에 따른 버퍼 스토리지 어셈블리를 워크피스 스토커와 조립하는 예시적인 플로차트를 도시한다. 작업(235)은 베어 워크피스 스토커를 제공한다. 작업(236)은 베어 워크피스 스토커의 측면에 버퍼 스토리지 어셈블리를 커플링한다. 작업(237)은 베어 워크피스 스토커의 스테이션에 배치된 컨테이너에 액세스하도록 버퍼 스토리지 어셈블리의 로봇을 커플링한다. 작업(238)은 로봇의 이동을 제어하기 위해 베어 워크피스 스토커의 컨트롤러를 버퍼 스토리지 어셈블리의 컨트롤러에 커플링한다.
몇몇 실시예에 있어서, 본 발명은 버퍼 스토리지 어셈블리를 베어 워크피스 스토커와 함께 이용하는 방법들을 개시한다.
도 24a 내지 도 24c는 본 발명의 몇몇 실시예에 따른 베어 워크피스 스토커를 조작하는 예시적인 플로차트들을 도시한다. 워크피스들이 분리되어 베어 워크피스 스토커에 보관된 후에, 비어 있는 컨테이너는 버퍼 스토리지 어셈블리에 보관될 수 있다. 예시적인 순서에 있어서, 하나 이상의 워크피스를 내포하는 컨테이너가 베어 워크피스 스토커의 로드록 스테이션으로 옮겨진다. 컨테이너는 레티클을 포함하는 레티클 컨테이너, 또는 복수의 웨이퍼를 포함하는 웨이퍼 컨테이너일 수 있다. 베어 워크피스 스토커는 컨테이너를 개방하고, 워크피스들을 수용해서, 워크피스들을 베어 워크피스 스토리지 챔버에 이송한다. 컨테이너는 폐쇄되고, 버퍼 스토리지 어셈블리에 보관되도록 이송될 수 있다. 예컨대, 버퍼 스토리지 어셈블리의 로봇 암은 로드록 스테이션에 도달하도록 연장되며, 단부 핸들로 컨테이너를 집어올린다. 로봇 암은 수축되어, 컨테이너가 버퍼 스토리지 어셈블리의 경로 내의 위치로 옮겨진다. 이후, x-y 이동 메커니즘이 로봇 암, 및 단부 핸들에 의해 지지된 컨테이너를 원하는 스토리지 격실로 이동시킨다. 이후, 컨테이너는 스토리지 격실에 놓이고, x-y 이동 메커니즘은 로봇을 휴지 위치로 복귀시킨다.
도 24a에 있어서, 컨테이너가 베어 워크피스 스토커로 옮겨진 후에, 워크피스들이 베어 워크피스 스토커로 이송되고, 컨테이너는 버퍼 스토리지 어셈블리에 보관된다. 작업(240)은 하나 이상의 워크피스를 내포하고 있는 컨테이너를 베어 워크피스 스토커의 로드록 스테이션으로 옮긴다. 작업(241)은 컨테이너 내의 워크피스들을 베어 워크피스 스토커의 스토리지 챔버로 이송한다. 작업(242)은 비어 있는 컨테이너를 컨테이너 스토리지 챔버로 이송한다.
베어 워크피스 스토커로부터 워크피스들을 분리하는 작업은 정반대로 행해진다. 예컨대, 비어 있는 컨테이너는 베어 워크피스 스토커로부터 회수되는 워크피스들을 보관하기 위해 버퍼 스토리지 어셈블리로부터 옮겨질 수 있다. 예시적인 순서에 있어서, 비어 있는 컨테이너는 스토리지 격실로부터 베어 워크피스 스토커의 로드록으로 옮겨진다. 예컨대, x-y 이동 메커니즘은 비어 있는 컨테이너를 집어올리기 위해 로봇 암을 원하는 스토리지 격실로 이동시킨다. 컨테이너는 단부 핸들에 의해 집어올려지고, x-y 이동 메커니즘은 로봇을 이송 장소로 이동시킨다. 이송 장소에서, 버퍼 스토리지 어셈블리의 로봇 암은 로드록 스테이션에 도달하도록 연장되고, 컨테이너를 로드록 스테이션에 배치시킨다. 로봇 암은 수축되며, 베어 워크피스 스토커는 비어 있는 컨테이너에 보관될 원하는 개수의 워크피스를 이송할 수 있다.
도 24b에 있어서, 비어 있는 컨테이너는 스토커에서 취한 워크피스들을 유지하기 위해 베어 워크피스 스토커로 옮겨진다. 작업(245)은 비어 있는 컨테이너를 컨테이너 스토리지 챔버로부터 베어 워크피스 스토커의 로드록 스테이션으로 옮긴다. 작업(246)은 하나 이상의 워크피스를 베어 워크피스 스토커의 스토리지 챔버로부터 컨테이너로 이송한다.
몇몇 실시예에 있어서, 버퍼 스토리지 어셈블리는 내부에 워크피스들이 보관되어 있는 컨테이너들을 보관하는데 사용될 수 있다. 베어 워크피스 스토커 및 버퍼 스토리지 어셈블리의 전체 어셈블리는 비어 있는 컨테이너 스토리지 능력 이외에, 베어 워크피스 스토리지 및 컨테이너들 내부의 워크피스들의 스토리지의 추가된 기능을 가질 수 있다.
도 24c에 있어서, 워크피스들을 포함하는 컨테이너는 버퍼 스토리지 어셈블리에 보관된다. 작업(248)은 하나 이상의 워크피스를 내포하는 컨테이너를 베어 워크피스 스토커의 로드록 스테이션으로 옮긴다. 작업(249)은 컨테이너를 컨테이너 스토리지 챔버로 이송한다.
몇몇 실시예에 있어서, 버퍼 스토리지 어셈블리는 베어 워크피스 스토커용 적재 버퍼로서 기능할 수 있다. 베어 스토커는 베어 스토커에 보관될 워크피스들을 포함하는 복수의 컨테이너를 수용할 수 있다. 컨테이너들이 워크피스들을 분리하는 속도보다 빨리 도착하면, 컨테이너들은 대기하거나, 수송 라인을 막거나, 또는 조작자 시간을 허비할 수 있다. 버퍼 어셈블리는, 대기를 해소하도록 컨테이너들을 보관하고 나서, 워크피스들이 베어 스토커에 이송될 수 있게 컨테이너들을 다시(back) 옮기는 적재 버퍼 스토리지로서 사용될 수 있다.
도 25a 및 도 25b는 본 발명의 몇몇 실시예에 따른 버퍼 어셈블리를 적재 또는 내리기 버퍼 스토리지로서 이용하는 예시적인 플로차트들을 도시한다. 도 25a에 있어서, 버퍼 어셈블리는 베어 스토커에 도달하는 컨테이너들의 대기를 해소하도록 적재 버퍼 스토리지로서 기능할 수 있다. 작업(250)은 만재 컨테이너들을 버퍼 어셈블리로 옮긴다. 작업(251)은 만재 컨테이너 내의 워크피스들이 베어 워크피스 스토커의 스토리지 챔버로 이송될 수 있게 만재 컨테이너를 베어 스토커의 적재 스테이션으로 이송한다. 작업(252)은 비어 있는 컨테이너를 버퍼 어셈블리로 복귀시킨다. 작업(253)은 모든 만재 컨테이너가 적재 스테이션으로 이송될 때까지 계속된다.
몇몇 실시예에 있어서, 버퍼 스토리지 어셈블리는 베어 워크피스 스토커용 내리기 버퍼로서 기능할 수 있다. 정한 시간에, 설비는 베어 스토커가 전달할 수 있는 것보다 빠른 컨테이너 이송 속도를 필요로 할 수 있으며, 베어 스토커는 이 요구가 충족되지 않으면 설비의 처리량에 영향을 미칠 수 있다. 베어 스토커는 미리 컨테이너들을 모을 수 있으며, 모인 컨테이너들을 버퍼 어셈블리에 보관해서, 필요할 때, 송출할 수 있게 컨테이너들이 준비된다. 베어 스토커의 컨트롤러는 다음 6 시간, 12 시간, 또는 24 시간과 같은 다음 주기에 필요해질 워크피스들을 알 수 있게 설비와 통신할 수 있다. 이들 워크피스는 모아진다. 버퍼 어셈블리는, 필요할 때 송출될 모인 컨테이너들을 보관하는, 내리기 버퍼 스토리지로서 사용될 수 있다.
도 25b에 있어서, 버퍼 어셈블리는 베어 스토커의 처리량을 초과하는 설비의 처리량 요구를 달성하기 위해 내리기 버퍼 스토리지로서 기능할 수 있다. 작업(255)은 다음 주기에 필요해질 워크피스들에 관련된 정보를 취득한다. 작업(256)은 필요한 워크피스들이 베어 워크피스 스토커의 스토리지 챔버로부터 비어 있는 컨테이너로 이송될 수 있게, 비어 있는 컨테이너를 베어 스토커의 적재 스테이션으로 이송한다. 작업(257)은 만재 컨테이너를 버퍼 어셈블리로 복귀시킨다. 작업(258)은 필요한 모든 워크피스가 비어 있는 컨테이너들로 이송될 때까지 계속된다.
본 발명은 기계 또는 컴퓨터 판독 가능한 포맷으로, 예컨대 적절히 프로그래밍된 컴퓨터, 다양한 프로그래밍 언어들 중 어느 하나로 기입된 소프트웨어 프로그램으로 구현될 수도 있다. 소프트웨어 프로그램은 본 발명의 다양한 기능적인 작업들을 수행하도록 기입된다. 또한, 본 발명의 기계 또는 컴퓨터 판독 가능한 포맷은, 디스켓, 하드 디스크, CD, DVD, 비휘발성 전자 메모리 등과 같은 다양한 프로그램 스토리지 디바이스들에서 구현될 수 있다. 소프트웨어 프로그램은 다양한 디바이스들, 예컨대 프로세서 상에서 가동될 수 있다. 소프트웨어는 장비를 조작하는 컴퓨터 또는 컨트롤러에 저장될 수 있다.
도 26a를 참조하면, 본 발명의 다양한 양태를 실시하기 위한 예시적인 환경은 처리 유닛(331), 시스템 메모리(332), 및 시스템 버스(330)를 포함하는 컨트롤러(301)를 포함한다. 처리 유닛(331)은 단일의 마이크로프로세서, 이중 마이크로프로세서 또는 다른 다중프로세서 아키텍처와 같은 다양한 가용 프로세서들 중 어느 하나일 수 있다. 시스템 버스(330)는, 12-비트 버스(12-bit bus), 산업 표준 아키텍처(Industrial Standard Architecture (ISA)), 마이크로채널 아키텍처(MicroChannel Architecture (MSA)), 확장형 ISA(EISA), 지능형 드라이브 전자기기(Intelligent Drive Electronics (IDE)), 베사 로컬 버스(VESA Local Bus (VLB)), 주변 장치 인터커넥트(Peripheral Component Interconnect (PCI)), 범용 직렬 버스(Universal Serial Bus (USB)), 어드밴스드 그래픽 포트(Advanced Graphics Port (AGP)), 퍼스널 컴퓨터 규격 협회 버스(Personal Computer Memory Card International Association bus (PCMCIA)), 또는 소형 컴퓨터 시스템 인터페이스(Small Computer Systems Interface (SCST))와 같은 임의의 유형의 버스 구조 또는 아키텍처일 수 있다.
시스템 메모리(332)는 휘발성 메모리(333) 및 비휘발성 메모리(334)를 포함할 수 있다. 비휘발성 메모리(334)는 리드 온리 메모리(ROM), 프로그램 가능 ROM(PROM), 전기적 프로그램 가능 ROM(EPROM), 전기적 소거 가능 ROM(EEPROM), 또는 플래시 메모리를 포함할 수 있다. 휘발성 메모리(333)는 랜덤 액세스 메모리(RAM), 동기식 RAM(SRAM), 다이나믹 RAM(DRAM), 동기식 DRAM(SDRAM), 2배속 SDRAM(DDR SDRAM), 강화된 SDRAM(ESDRAM), 싱크링크 DRAM(SLDRAM), 또는 다이렉트 램버스 RAM(DRRAM)을 포함할 수 있다.
컨트롤러(301)는 외장형/내장형의, 휘발성/비휘발성 디스크 스토리지, 자기 디스크 드라이브, 플로피 디스크 드라이브, 테이프 드라이브, 재즈(Jaz) 드라이브, 집(Zip) 드라이브, LS-100 드라이브, 플래시 메모리 카드, 메모리 스틱, 광디스크 드라이브 예를 들면 콤팩트 디스크 ROM 디바이스(CD-ROM), CD 기록 가능 드라이브(CD-R Drive), CD 재기입 드라이브(CD-RW Drive) 또는 디지털 다기능 디스크 ROM 드라이브(DVD-ROM)와 같은 저장 매체(336)를 또한 포함한다. 외장형 또는 내장형 인터페이스(335)는 접속을 용이하게 하도록 사용될 수 있다.
컨트롤러 시스템(301)은, 시스템 메모리(332) 내에 또는 디스크 스토리지(336) 상에 저장되는, 운영 체제(311), 시스템 애플리케이션(312)들, 프로그램 모듈(313)들 및 프로그램 데이터(314)와 같은 구동용 소프트웨어를 더 포함할 수 있다. 다양한 운영 체제들 또는 운영 체제들의 조합들이 사용될 수 있다.
입력 디바이스들은 커맨드들 또는 데이터를 입력하는데 사용될 수 있으며, 인터페이스 포트(338)들을 통해 접속된, 마우스, 트랙볼, 스타일러스, 터치 패드, 키보드, 마이크로폰, 조이스틱, 게임 패드, 위성 안테나, 스캐너, TV 튜너 카드, 사운드 카드, 디지털 카메라, 디지털 비디오 카메라, 웹 카메라 등과 같은 포인팅 디바이스를 포함할 수 있다. 인터페이스 포트(338)들은 직렬 포트, 병렬 포트, 게임 포트, 범용 직렬 버스(USB), 및 1394 버스를 포함할 수 있다. 인터페이스 포트(338)들은 출력 디바이스들을 수용할 수도 있다. 예컨대, USB 포트는 컨트롤러(301)에 입력을 제공하고, 컨트롤러(301)로부터 출력 디바이스에 정보를 출력하는데 사용될 수 있다. 비디오 카드 또는 사운드 카드와 같은 출력 어댑터(339)는 모니터들, 스피커들, 및 프린터들과 같은 몇몇 출력 디바이스들에의 접속을 위해 제공된다.
컨트롤러(301)는, 퍼스널 컴퓨터, 서버, 라우터, 네트워크 PC, 워크스테이션, 마이크로프로세서 기반 가전제품, 대등 접속 디바이스(peer device) 또는 다른 공통 네트워크 노드 등일 수 있는 원격 컴퓨터들과 네트워크로 연결된 환경에서 작동될 수 있으며, 통상적으로 컨트롤러(301)에 관하여 기술된 다수의 요소들 또는 모든 요소들을 포함한다. 원격 컴퓨터들은 네트워크 인터페이스 및 통신 접속부(337)를 통해 컨트롤러(301)에 접속될 수 있다. 네트워크 인터페이스는 로컬-에어리어 네트워크(LAN) 및 와이드 에어리어 네트워크(WAN)와 같은 통신 네트워크일 수 있다. LAN 기술들은 파이버 분산형 데이터 인터페이스(Fiber Distributed Data Interface (FDDI)), 코퍼 분산형 데이터 인터페이스(Copper Distributed Data Interface (CDDI)), 이더넷(Ethernet)/IEEE 1202.3, 토큰 링(Token Ring)/IEEE 1202.5 등을 포함한다. WAN 기술들은 2 지점간 링크(point-to-point links), 종합 정보 통신망(Integrated Services Digital Networks (ISDN))과 같은 회로 전환 네트워크와 그 변형, 패킷 전환 네트워크, 및 디지털 가입자 회선(Digital Subscriber Lines (DSL))을 포함하지만, 이들에 한정되는 것은 아니다.
컨트롤러(301)는 입력들을 수신해서 상이한 어셈블리 시스템들에 대하여 커맨드들을 송신하기 위해 컨트롤러 인터페이스(349)를 포함할 수 있다. 컨트롤러 인터페이스(349)는 임의의 설치된 센서들로부터 온도 입력, 유량 입력, 장소 입력, 또는 고장 입력과 같은 센서 입력(350)들 및 미터 입력(251)들을 수신할 수 있다. 컨트롤러 인터페이스(349)는 모터 커맨드(352)들, 공압 커맨드(352)들, 수압 커맨드(353)들, 유동 커맨드(354)들, 진공 커맨드(355)들, 또는 전력 커맨드(356)들과 같은 커맨드들을 스토커 또는 버퍼 어셈블리에 송신할 수 있다.
도 26b는 본 발명이 상호작용할 수 있는 샘플 컴퓨팅 환경(340)의 개략적인 블록 다이어그램이다. 시스템(340)은 복수의 클라이언트 시스템(341)을 포함한다. 시스템(340)은 복수의 서버(343)를 또한 포함한다. 서버(343)들은 본 발명을 채택하기 위해 사용될 수 있다. 클라이언트 시스템(341)은 제작 설비를 작동시키도록 기능하는 설비 컴퓨터 또는 컨트롤러일 수 있다. 시스템(340)은 클라이언트(341)들과 서버(343)들 사이에서의 통신을 가능하게 하기 위해 통신 네트워크(345)를 포함한다. 클라이언트 시스템(341)에 접속된 클라이언트 데이터 스토리지(342)는 정보를 국소 저장할 수 있다. 유사하게, 서버(343)는 서버 데이터 스토리지(344)들을 포함할 수 있다.
본 발명이 다양한 수정 및 대체 형태를 받아들이고 있지만, 그 세부 사항은 도면에 예로서 도시되어 있으며 상세히 기술된다. 그러나, 그 의도가 상술된 특정 실시예들에 발명을 한정하는 것은 아니라는 점을 이해해야 한다. 반대로, 그 의도는 첨부된 특허청구범위에 의해 규정되는 발명의 사상 및 범주 내에 있는 모든 수정, 등가물, 및 대체 구성을 포함하는 것이다.

Claims (21)

  1. 워크피스 스토커(workpiece stocker)용 버퍼 스토리지 애드-온(buffer storage add-on)으로서,
    복수의 워크피스 스토리지 격실들을 포함하는 스토리지 챔버로서, 상기 스토리지 격실들이 상기 스토리지 격실들 사이의 수송 경로들과 함께 x-y 어레이로 배열되며, 상기 스토리지 격실들은 하나 이상의 측면이 수송 경로에 대면해 있으며, 상기 수송 경로들은 워크피스의 이동을 수용할 만큼 충분히 크고, 상기 수송 경로들은 워크피스가 임의의 스토리지 격실로 주행할 수 있게 연결되는, 스토리지 챔버;
    상기 스토리지 챔버에 커플링된 x-y 메커니즘;
    워크피스를 지지하기 위한 단부 핸들을 포함하는 로봇 암으로서, x-y 평면으로부터 멀리 z-방향으로 상기 단부 핸들을 연장시키기 위한 연장 메커니즘을 포함하는, 로봇 암을 포함하고,
    상기 로봇 암은 상기 워크피스 스토커의 스테이션에서 워크피스를 집거나 또는 배치시키기 위해 연장되고,
    상기 로봇 암은 상기 단부 핸들에 지지된 워크피스를 상기 수송 경로들을 따라 스토리지 격실로 이동시키기 위해 상기 x-y 메커니즘에 커플링되는
    버퍼 스토리지 애드-온.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 스토리지 격실들은 2열의 경로들 사이에 배치되는 하나 또는 둘 이상의 2-열 어레이를 포함하는
    버퍼 스토리지 애드-온.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 스토리지 격실들은 2열의 스토리지 격실들 사이에 개재된(sandwiched) 1열 경로를 포함하는
    버퍼 스토리지 애드-온.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 스토리지 격실들은 1열의 스토리지 격실들 다음에 1열의 경로 다음에 2열의 스토리지 격실들 다음에 1열의 경로 다음에 1열의 스토리지 격실을 포함하는
    버퍼 스토리지 애드-온.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 수송 경로들은 상기 버퍼 스토리지 애드-온을 가로질러 뻗는 1행의 수송 경로 또는 상기 버퍼 스토리지 애드-온을 가로질러 뻗는 1열 또는 2열 이상의 수송 경로를 포함하는
    버퍼 스토리지 애드-온.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 연장 메커니즘은 1행의 수송 경로를 따라 또는 1열의 수송 경로를 따라 연장하고 접히는 접이식 암을 포함하는
    버퍼 스토리지 애드-온.
  7. 제 1 항에 있어서,
    상기 단부 핸들은 컨테이너를 파지하기 위해 상기 z-방향으로 대면하는 하나 또는 둘 이상의 활성화된 그리퍼(gripper)를 포함하는
    버퍼 스토리지 애드-온.
  8. 제 1 항에 있어서,
    상기 단부 핸들은, 상기 단부 핸들이 워크피스를 단단한 물체 주위에서 집거나 또는 배치시킬 수 있게 하기 위해, 굴곡부에서 상기 로봇 암에 커플링되는
    버퍼 스토리지 애드-온.
  9. 베어 워크피스 스토커가 적재 스테이션에서 내부에 워크피스들이 보관되어 있는 컨테이너들을 수용하고, 베어 워크피스들을 베어 워크피스 스토리지 챔버에 보관하는, 베어 워크피스 스토커용 컨테이너 스토리지 애드-온으로서,
    복수의 컨테이너 스토리지 격실들을 포함하는 컨테이너 스토리지 챔버로서, 상기 스토리지 격실들이 상기 스토리지 격실들 사이의 수송 경로들과 함께 x-y 어레이로 배열되며, 상기 스토리지 격실들은 하나 이상의 측면이 수송 경로에 대면해 있으며, 상기 수송 경로들은 워크피스의 이동을 수용할 만큼 충분히 크고, 상기 수송 경로들은 컨테이너가 임의의 스토리지 격실로 주행할 수 있게 연결되는, 컨테이너 스토리지 챔버;
    상기 스토리지 챔버에 커플링된 x-y 메커니즘;
    컨테이너를 지지하기 위한 단부 핸들을 포함하는 로봇 암으로서, x-y 평면으로부터 멀리 z-방향으로 상기 단부 핸들을 연장시키기 위한 연장 메커니즘을 포함하며, 상기 로봇 암은 상기 베어 워크피스 스토커의 스테이션에서 컨테이너를 집거나 또는 배치시키기 위해 연장되고, 상기 로봇 암은 상기 단부 핸들에 지지된 컨테이너를 상기 수송 경로들을 따라 스토리지 격실로 이동시키기 위해 상기 x-y 메커니즘에 커플링되는, 로봇 암을 포함하며,
    상기 컨테이너 스토리지 애드-온은, 컨테이너 내부에 보관되어 있는 워크피스들이 상기 베어 워크피스 스토커에 보관되도록 이송된 후에, 비어 있는 컨테이너들의 보관을 가능하게 하고,
    상기 컨테이너 스토리지 애드-온은, 상기 베어 워크피스 스토커로부터 회수된 베어 워크피스들을 유지하기 위해, 비어 있는 컨테이너를 상기 적재 스테이션에 공급하는 것을 가능하게 하는
    컨테이너 스토리지 애드-온.
  10. 제 9 항에 있어서,
    상기 스토리지 격실들은 하나의 층의 x-y 스토리지 격실들을 포함하는
    컨테이너 스토리지 애드-온.
  11. 제 9 항에 있어서,
    상기 수송 경로들은, 상기 컨테이너 스토리지 애드-온을 가로질러 뻗는 1행의 수송 경로, 및 상기 컨테이너 스토리지 애드-온을 가로질러 뻗는 1열 또는 2열 이상의 수송 경로를 포함하는
    컨테이너 스토리지 애드-온.
  12. 제 9 항에 있어서,
    상기 연장 메커니즘은 1행의 수송 경로를 따라 또는 1열의 수송 경로를 따라 연장하고 접히는 접이식 암을 포함하는
    컨테이너 스토리지 애드-온.
  13. 제 9 항에 있어서,
    상기 단부 핸들은 컨테이너를 파지하기 위해 상기 z-방향으로 대면하는 하나 또는 둘 이상의 활성화된 그리퍼를 포함하는
    컨테이너 스토리지 애드-온.
  14. 제 9 항에 있어서,
    상기 단부 핸들은, 상기 단부 핸들이 컨테이너를 단단한 물체 주위에서 집거나 또는 배치시킬 수 있게 하기 위해, 굴곡부에서 상기 로봇 암에 커플링되는
    컨테이너 스토리지 애드-온.
  15. 제 9 항에 있어서,
    상기 로봇 암은 상기 베어 워크피스 스토커의 수동 적재 스테이션 또는 자동 오버헤드 수송 스테이션에서 컨테이너를 집거나 또는 배치시키기 위해 연장되는
    컨테이너 스토리지 애드-온.
  16. 제 9 항에 있어서,
    상기 컨테이너 스토리지 애드-온은 비어 있는 컨테이너들을 또는 내부에 워크피스들이 보관되어 있는 컨테이너들을 보관하는
    컨테이너 스토리지 애드-온.
  17. 베어 워크피스 스토커로서,
    베어 워크피스들을 보관하기 위한 베어 워크피스 스토리지;
    내부에 워크피스들이 보관되어 있는 워크피스 컨테이너를 수용하기 위한 적재 스테이션;
    베어 워크피스 스토리지와 인터페이스 스테이션을 접속하며, 상기 베어 워크피스 스토리지와 상기 적재 스테이션 내의 워크피스 컨테이너 사이에서 워크피스들을 이송하는 이송 메커니즘; 및
    비어 있는 컨테이너들을 상기 인터페이스 스테이션에 공급하거나, 또는 상기 인터페이스 스테이션으로부터 비어 있는 컨테이너들을 보관하기 위해 상기 적재 스테이션과 접속하는 컨테이너 스토리지 버퍼를 포함하고,
    상기 컨테이너 스토리지 버퍼는, 컨테이너 내부에 보관되어 있는 워크피스들이 상기 베어 워크피스 스토커에 보관되도록 이송된 후에, 비어 있는 컨테이너들의 보관을 가능하게 하고,
    상기 컨테이너 스토리지 버퍼는, 상기 베어 워크피스 스토커로부터 회수된 베어 워크피스들을 유지하기 위해, 비어 있는 컨테이너를 상기 적재 스테이션에 공급하는 것을 가능하게 하고,
    상기 컨테이너 스토리지 버퍼는,
    복수의 컨테이너 스토리지 격실들을 포함하는 컨테이너 스토리지 챔버로서, 상기 스토리지 격실들이 상기 스토리지 격실들 사이의 수송 경로들과 함께 x-y 어레이로 배열되며, 상기 스토리지 격실들은 하나 이상의 측면이 수송 경로에 대면해 있으며, 상기 수송 경로들은 워크피스의 이동을 수용할 만큼 충분히 크고, 상기 수송 경로들은 컨테이너가 임의의 스토리지 격실로 주행할 수 있게 연결되는, 컨테이너 스토리지 챔버;
    상기 스토리지 챔버에 커플링된 x-y 메커니즘;
    컨테이너를 지지하기 위한 단부 핸들을 포함하는 로봇 암으로서, x-y 평면으로부터 멀리 z-방향으로 상기 단부 핸들을 연장시키기 위한 연장 메커니즘을 포함하는, 로봇 암을 포함하고,
    상기 로봇 암은 상기 인터페이스 스테이션에서 컨테이너를 집거나 또는 배치시키기 위해 연장되고,
    상기 로봇 암은 상기 단부 핸들에 지지된 컨테이너를 상기 수송 경로들을 따라 스토리지 격실로 이동시키기 위해 상기 x-y 메커니즘에 커플링되는,
    베어 워크피스 스토커.
  18. 삭제
  19. 제 17 항에 있어서,
    상기 스토리지 격실들은 하나의 층의 x-y 스토리지 격실들을 포함하는
    베어 워크피스 스토커.
  20. 제 17 항에 있어서,
    상기 단부 핸들은 컨테이너 또는 워크피스를 파지하기 위해 상기 z-방향으로 대면하는 하나 또는 둘 이상의 활성화된 그리퍼를 포함하는
    베어 워크피스 스토커.
  21. 제 17 항에 있어서,
    상기 적재 스테이션은,
    조작자로부터 또는 자동 수송부로부터 워크피스 컨테이너를 수용하기 위한 1개 또는 2개의 적재 스테이션, 및
    상기 베어 워크피스 스토커 내부의 이송 스테이션
    중 하나 이상을 포함하는
    베어 워크피스 스토커.
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Families Citing this family (28)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20050101050A1 (en) * 2003-11-07 2005-05-12 Lg Philips Lcd Co., Ltd. Photolithograph system and method for driving the same
US9214372B2 (en) * 2008-08-28 2015-12-15 Tokyo Ohka Kogyo Co., Ltd. Substrate processing system, carrying device and coating device
JP2015141915A (ja) * 2014-01-27 2015-08-03 東京エレクトロン株式会社 基板熱処理装置、基板熱処理装置の設置方法
WO2016018908A1 (en) * 2014-07-29 2016-02-04 Robotic Arts, Inc. Robotically controlled architectural elements
KR102174332B1 (ko) * 2014-07-30 2020-11-04 삼성전자주식회사 반도체 제조 라인의 스토커 및 상기 스토커를 이용하여 웨이퍼를 이송하는 방법
US9576834B2 (en) * 2015-03-16 2017-02-21 Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. Stocker and method for dispatching wafer carrier in stocker
US9617075B2 (en) * 2015-03-24 2017-04-11 Joseph Porat System and method for overhead warehousing
US11569138B2 (en) * 2015-06-16 2023-01-31 Kla Corporation System and method for monitoring parameters of a semiconductor factory automation system
US20170025190A1 (en) * 2015-07-23 2017-01-26 Richard Allen Gibson Spherical fusion reactor with aerogel material
US20190031440A1 (en) * 2016-02-15 2019-01-31 Murata Machinery, Ltd. Storage apparatus and conveyance system
WO2017150006A1 (ja) * 2016-03-03 2017-09-08 村田機械株式会社 一時保管システム
US10138060B1 (en) * 2016-06-22 2018-11-27 Amazon Technologies, Inc. Modular, multi-function robotic positioning system
CN106044229A (zh) * 2016-07-22 2016-10-26 京东方科技集团股份有限公司 一种掩模板搬运设备及曝光机组系统
US10928792B2 (en) * 2016-07-25 2021-02-23 Leridge Corporation Parallel manufacturing systems and methods
US10220511B2 (en) * 2016-07-28 2019-03-05 X Development Llc Customized robotic installation based on measurements collected on site
US20180029235A1 (en) * 2016-07-28 2018-02-01 X Development Llc Error Accrual and Mitigation During Robotic Process
EP3519937A4 (en) 2016-09-30 2020-04-29 Staples, Inc. HYBRID MODULAR MEMORY ACCESS SYSTEM
US10683171B2 (en) 2016-09-30 2020-06-16 Staples, Inc. Hybrid modular storage fetching system
US10589931B2 (en) 2016-09-30 2020-03-17 Staples, Inc. Hybrid modular storage fetching system
WO2018147953A1 (en) * 2017-01-05 2018-08-16 Staples, Inc. Hybrid modular storage fetching system
US11590997B1 (en) 2018-08-07 2023-02-28 Staples, Inc. Autonomous shopping cart
US11084410B1 (en) 2018-08-07 2021-08-10 Staples, Inc. Automated guided vehicle for transporting shelving units
US11630447B1 (en) 2018-08-10 2023-04-18 Staples, Inc. Automated guided vehicle for transporting objects
US11437258B2 (en) * 2018-08-30 2022-09-06 Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. Workpiece storage system, method of storing workpiece, and method of transferring workpiece using the same
US11180069B2 (en) 2018-12-31 2021-11-23 Staples, Inc. Automated loading of delivery vehicles using automated guided vehicles
US11119487B2 (en) 2018-12-31 2021-09-14 Staples, Inc. Automated preparation of deliveries in delivery vehicles using automated guided vehicles
US11124401B1 (en) 2019-03-31 2021-09-21 Staples, Inc. Automated loading of delivery vehicles
US20230016251A1 (en) * 2021-07-15 2023-01-19 Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. Compound fork device and system including the same

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009010287A (ja) * 2007-06-29 2009-01-15 Tokyo Electron Ltd 基板の処理システム
US20100228378A1 (en) 2009-01-26 2010-09-09 Yoshiteru Fukutomi Stocker apparatus and substrate treating apparatus

Family Cites Families (48)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3746189A (en) * 1966-04-18 1973-07-17 Clark Equipment Co Automatic control system for storage systems transfer cart
US3929229A (en) * 1973-09-10 1975-12-30 Mcneil Corp Article storage facility
US4591198A (en) * 1984-02-16 1986-05-27 Monforte Robotics, Inc. Robotic end effectors
EP0235488B1 (fr) * 1986-09-19 1990-01-24 REDOUTE CATALOGUE Société Anonyme: Installation de manutention robotisée
JPH03109750A (ja) * 1989-09-25 1991-05-09 Nikon Corp 基板の管理及び保管装置
US5378145A (en) * 1992-07-15 1995-01-03 Tokyo Electron Kabushiki Kaisha Treatment system and treatment apparatus
US5746008A (en) * 1992-07-29 1998-05-05 Shinko Electric Co., Ltd. Electronic substrate processing system using portable closed containers
JPH06244266A (ja) * 1993-02-19 1994-09-02 Nippon Steel Corp ウェハ搬送車
JPH08213446A (ja) 1994-12-08 1996-08-20 Tokyo Electron Ltd 処理装置
JP2968742B2 (ja) * 1997-01-24 1999-11-02 山形日本電気株式会社 自動保管棚及び自動保管方法
US5980183A (en) * 1997-04-14 1999-11-09 Asyst Technologies, Inc. Integrated intrabay buffer, delivery, and stocker system
JPH11334810A (ja) * 1998-03-25 1999-12-07 Hitachi Ltd 搬送装置及び製造方法
JP2987148B1 (ja) * 1999-01-26 1999-12-06 国際電気株式会社 基板処理装置
US6612797B1 (en) 1999-05-18 2003-09-02 Asyst Technologies, Inc. Cassette buffering within a minienvironment
US6811369B2 (en) * 1999-09-02 2004-11-02 Canon Kabushiki Kaisha Semiconductor fabrication apparatus, pod carry apparatus, pod carry method, and semiconductor device production method
JP3971601B2 (ja) * 2000-11-28 2007-09-05 大日本スクリーン製造株式会社 基板受渡装置および基板処理装置
ITPO20010004A1 (it) * 2001-04-24 2002-10-24 Immobiliare La Valluccia Srl Impianto di magazzinaggio automatico
JP2003124284A (ja) * 2001-10-11 2003-04-25 Hitachi Kokusai Electric Inc 基板処理装置および半導体装置の製造方法
EP2790210A3 (en) * 2002-06-19 2014-12-31 Murata Machinery, Ltd. Automated material handling system
TWI246982B (en) * 2002-08-01 2006-01-11 Daifuku Kk Rack apparatus
US7039499B1 (en) 2002-08-02 2006-05-02 Seminet Inc. Robotic storage buffer system for substrate carrier pods
US10957569B2 (en) 2002-10-11 2021-03-23 Murata Machinery Ltd. Access to one or more levels of material storage shelves by an overhead hoist transport vehicle from a single track position
US6914251B1 (en) * 2003-03-07 2005-07-05 Axcelis Technologies, Inc. Alignment structure and method for mating a wafer delivery device to a wafer treatment tool
DE10314383A1 (de) * 2003-03-28 2004-10-07 Integrated Dynamics Engineering Gmbh Schnelle Wechselstation für den Wafertransport
US9111972B2 (en) * 2004-07-13 2015-08-18 Hitachi Kokusai Electric Inc. Substrate processing apparatus and manufacturing method for a semiconductor device
JP2006041027A (ja) * 2004-07-23 2006-02-09 Canon Inc 半導体製造装置およびデバイス製造方法
JP4266197B2 (ja) * 2004-10-19 2009-05-20 東京エレクトロン株式会社 縦型熱処理装置
DE102005009361A1 (de) * 2005-03-01 2006-09-07 Jungheinrich Aktiengesellschaft Flurförderzeug
TWI393171B (zh) 2006-01-19 2013-04-11 尼康股份有限公司 A moving body driving method and a moving body driving system, a pattern forming method and a pattern forming apparatus, an exposure method and an exposure apparatus, and an element manufacturing method
JP2007219931A (ja) 2006-02-17 2007-08-30 Sharp Corp 生産条件管理制御システム、生産条件管理制御方法、コンピュータプログラム、記録媒体、生産システムおよび生産方法
WO2007114293A1 (ja) 2006-03-31 2007-10-11 Youthengineering Co., Ltd. ウエハー用保管庫及びその保管制御方法
JP4904995B2 (ja) * 2006-08-28 2012-03-28 シンフォニアテクノロジー株式会社 ロードポート装置
JP4313824B2 (ja) * 2007-03-23 2009-08-12 東京エレクトロン株式会社 基板移載装置及び基板移載方法並びに記憶媒体
JP2009010009A (ja) * 2007-06-26 2009-01-15 Hitachi Kokusai Electric Inc 基板処理装置及び半導体装置の製造方法
US8033769B2 (en) * 2007-11-30 2011-10-11 Novellus Systems, Inc. Loadlock designs and methods for using same
WO2009098650A1 (en) * 2008-02-05 2009-08-13 Dynamic Micro Systems Automatic handling buffer for bare stocker
US8070410B2 (en) 2008-02-05 2011-12-06 Lutz Rebstock Scalable stocker with automatic handling buffer
JP5131094B2 (ja) * 2008-08-29 2013-01-30 東京エレクトロン株式会社 熱処理装置及び熱処理方法並びに記憶媒体
JP4720932B2 (ja) * 2009-02-10 2011-07-13 ムラテックオートメーション株式会社 移載装置
JP5212165B2 (ja) * 2009-02-20 2013-06-19 東京エレクトロン株式会社 基板処理装置
JP4973675B2 (ja) * 2009-02-26 2012-07-11 東京エレクトロン株式会社 基板処理装置及び基板処理方法
JP5083278B2 (ja) * 2009-06-15 2012-11-28 村田機械株式会社 装置前自動倉庫
JP5421043B2 (ja) * 2009-09-29 2014-02-19 大日本スクリーン製造株式会社 基板処理装置及びこれを備えた基板処理システム
JP2012012283A (ja) 2010-05-31 2012-01-19 Namiki Precision Jewel Co Ltd Ｂｉ置換希土類鉄ガーネット単結晶とその製造方法及び光デバイス
JP5796994B2 (ja) * 2010-06-08 2015-10-21 株式会社日立国際電気 処理システム、基板処理装置、処理システムのデータ処理方法、収集ユニット及び記録媒体並びに半導体装置の製造方法
JP5722092B2 (ja) * 2011-03-18 2015-05-20 株式会社Ｓｃｒｅｅｎホールディングス 基板処理装置
JP6278751B2 (ja) * 2014-03-04 2018-02-14 東京エレクトロン株式会社 搬送方法及び基板処理装置
JP7017859B2 (ja) 2017-03-21 2022-02-09 日鉄鋼板株式会社 建築パネル

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009010287A (ja) * 2007-06-29 2009-01-15 Tokyo Electron Ltd 基板の処理システム
US20100228378A1 (en) 2009-01-26 2010-09-09 Yoshiteru Fukutomi Stocker apparatus and substrate treating apparatus

Also Published As

Publication number Publication date
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CN103946967B (zh) 2018-02-02
US20200126833A1 (en) 2020-04-23
US20210398836A1 (en) 2021-12-23
US20130058743A1 (en) 2013-03-07
JP2014529914A (ja) 2014-11-13

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