JP2005170675A - 基板搬送装置、基板保管搬送装置、基板搬入システム、基板搬出システム及び基板搬入／搬出システム - Google Patents

Abstract

【課題】 高密度に多段収納された基板を任意かつ最小限の汚染で搬入出すること。
【解決手段】 複数のガラス基板４を水平姿勢にて上下方向に多段収納し得る基板カセット１と、該基板カセット１内に基板搬送方向と直交する方向への往復動により抜き差しされる基板搬入出手段と、基板カセット１を昇降移動させるカセット昇降機構とを備える。基板搬入出手段は、ガラス基板４の下面両側縁部４ａ，４ｂをそれぞれ支持し得る複数対の搬送ローラ２４と、この搬送ローラ２４よりも基板搬送方向と直交する方向に長尺なハンド部２６とを備える。このハンド部２６の上面２６Ａには、送気ブロワから送気可能な吹出孔２７ａが開口しており、ガラス基板４を非接触に支持できる。
【選択図】 図１

Description

この発明は、例えば液晶用ガラス等の薄板基板の搬送ラインに設置される基板搬送装置、この基板搬送装置を備えた基板保管搬送装置、並びにこの基板保管搬送装置を備えた基板搬入システム、基板搬出システム及び基板搬入／搬出システムに関する。

この種の基板保管搬送装置としては、基板をハンドリングする多関節ロボット又は水平往復動ハンドと、基板を多段に格納可能なカセット状の棚とを組み合わせ、基板を任意に搬入出可能な機能を持たせた装置が知られている。
また、昇降可能なカセット状の棚と、固定されたコンベヤとを組み合わせ、棚の上段から順に基板を搬入して格納する一方、格納された基板を下段から順に搬出する機能を持つ装置も知られている（例えば、特許文献１，２）。
特開２００２−２８９６７８号公報 特開２００１−２５３５４１号公報

しかしながら、上記多関節ロボットを用いた技術では、任意の棚へ基板を搬入出することができる反面、ロボットハンドとの干渉を避けるために棚の基板収納ピッチを広く必要があり、基板の収納枚数を増すことが困難である。また、ロボットと棚を組み合わせるために、設置スペースが大きいという問題もある。この設置スペースの問題は、特にクリーンルームで使用される場合に顕著となる。
他方、上記カセット状の棚を昇降可能にした技術では、上記ような設置スペースの問題はないが、任意の棚へ基板を搬入出することができないという制約がある。

この発明は、上記事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、高密度に多段収納された基板を任意に搬入出可能にすることにある。

上記課題を解決するために、この発明は、基板搬送装置に関する解決手段として、複数の基板を水平姿勢にて上下方向に多段収納し得る基板カセットに対し、基板搬送方向と直交する方向への往復動により抜き差しされる基板搬入出手段を備え、この基板搬入出手段は、前記基板の下面両側縁部をそれぞれ支持し得る複数対の搬送ローラを備えてなる、という手段を採用する。
このような構成において、前記基板搬入出手段は、前記基板を非接触に支持し得るハンド部を備え、このハンド部は、前記搬送ローラよりも前記基板搬送方向と直交する方向に長尺である、という手段を採用することもできる。

また、前記ハンド部の基板支持面には、送気源から送気可能な吹出孔が開口している、という手段を採用することもできる。
また、この発明は、基板保管搬送装置に関する解決手段として、複数の基板を水平姿勢にて上下方向に多段収納し得る基板カセットと、上記構成の基板搬入出手段と、基板カセットを基板搬入出手段に対し相対的に昇降移動させる昇降機構とを備えてなる、という手段を採用する。

さらに、この発明は、基板搬入システムに関する解決手段として、基板の搬入経路上に設けられた上記基板保管搬送装置と、搬入経路上において基板保管搬送装置の上流に設けられ、当該基板保管搬送装置に外部から供給された基板カセット内の基板を供給する基板供給装置と、搬入経路上の基板保管搬送装置から払い出された基板をプロセス装置に供給する移送装置とを具備する、という手段を採用する。

また、この発明は、基板搬出システムに関する解決手段として、基板の搬出経路上に設けられた上記基板保管搬送装置と、搬出経路上において基板保管搬送装置の下流に設けられ、当該基板保管搬送装置から供給された基板を基板カセット内に収納する基板供給装置と、プロセス装置から排出された基板を基板保管搬送装置に供給する移送装置とを具備する、という手段を採用する。

さらに、この発明は、基板搬入／搬出システムに関する解決手段として、基板の搬入経路上及び搬出経路上に各々設けられた上記基板保管搬送装置と、搬入経路上において基板保管搬送装置の上流に設けられ、当該基板保管搬送装置に外部から供給された基板カセット内の基板を供給する第１の基板供給装置と、搬出経路上において基板保管搬送装置の下流に設けられ、当該基板保管搬送装置から供給された基板を基板カセット内に収納する第２の基板供給装置と、搬入経路上の基板保管搬送装置から払い出された基板をプロセス装置に供給すると共に、プロセス装置から排出された基板を搬出経路上の基板保管搬送装置に供給する移送装置とを具備する、という手段を採用する。

上記基板搬送装置に関する解決手段によれば、基板を搬入出したい段に基板搬入出手段を抜き差しできるよう、昇降機構を用いて基板カセットと基板搬入出手段の高さ位置を合わせた後、基板搬入出手段を基板カセットの外内へ水平方向に抜き差しすることにより、多関節ロボットを用いずとも、基板収納ピッチの狭い基板カセットに対し、基板を任意に搬入出できる。
また、搬入出時における基板への接触は、搬送ローラにより直接支持される下面両側縁部だけであるから、基板汚染を低減することができる。特に、基板が搬送ローラだけでなく、それよりも長尺なハンド部によっても非接触に支持されるので、基板に直接接触する搬送ローラの長さを極力短くし得て、基板汚染の極小化を図ることができる。

以下、この発明の最良の形態である実施例を図１〜図１５の図面を参照して説明する。
この実施例による基板保管搬送装置は、例えば液晶表示パネル（ＬＣＤ）やプラズマディスプレイパネル（ＰＤＰ）等に用いられるガラス基板のように、大型かつ薄板状で、しかも、汚染防止等のために搬送物の両側縁部を支持しながら搬送することが要求されるものの搬送に用いて好適であり、図１及び図２に示すように、基板カセット１と、搬送ローラ（基板搬入出手段）２４及びハンド部２６を備えた搬送ローラユニット２と、カセット昇降機構（昇降機構）３とを備えて構成されている。

基板カセット１は、基板搬送方向（図１の白抜矢印）の前側及び後側がガラス基板４の搬入口１１ａ及び搬出口１１ｂとなる箱形形状をなしており、その内空部には、ガラス基板４を水平姿勢にて搬入出及び格納するための棚段が上下方向に多数形成されている。
各棚段を構成する基板支持部１２は、基板搬送方向と直交する方向（すなわち、基板幅方向）に水平に延びる、例えばワイヤ等から構成されていて、１つの棚段につき複数個（この実施例では５つ）が基板搬送方向に所定の間隔をおいて配設されている。
以上の構成により、基板カセット１は、ガラス基板４を基板支持部１２で水平姿勢に保持しつつ上下方向に多段収納できるようになっている。

基板カセット１は、ガラス基板４を基板カセット１内の任意の棚段に搬入したり、基板カセット１内の任意の棚段からガラス基板４を搬出できるように、上下方向に定位置に支持された搬送ローラ２４及びハンド部２６に対し、相対的に昇降移動できるようになっている。そのためのカセット昇降機構３は、基板カセット１の底部１１ｃを支持するブラケット３１と、サーボ駆動によりブラケット３１を上下動させるボールネジ３２（図３）と、ブラケット３１の上下動を案内するガイド３３と、基板カセット１の上下方向の位置出しに用いられるセンサとを備えて構成されている。
なお、図３では、搬送ローラユニット２の図示は省略している。

搬送ローラユニット２は、搬送物であるガラス基板４の幅方向、言い換えればガラス基板の搬送方向と直交する方向に間隔をおいて対向配置された一対のベース２１を備え、各ベース２１には基板搬送方向に間隔をおいて複数（この実施例では４つ）のコンベヤフレーム２２が固定されている。
コンベヤフレーム２２には、ベアリング等の軸サポート２３を介して搬送ローラ２４が回転自在に支持されていると共に、これら搬送ローラ２４よりも基板搬送方向と直交する方向（基板幅方向）に長尺な平面視長板状のハンド部２６が支持されている。

搬送ローラ２４は、１つのコンベヤフレーム２２につき、複数個（この実施例では６つ）が基板搬送方向に間隔をおいて並設されている。ハンド部２６は、これら搬送ローラ２４よりも若干低い位置にくるよう、コンベヤフレーム２２に片持ち状態に支持されている。
そして、搬送ローラ２４及びハンド部２６の基板カセット１内への抜き差しは、各コンベヤフレーム２２を一体に固定しているベース２１を水平方向、かつ基板搬送方向と直交する方向に前進及び後退させるローラ往復動機構（図示略）により実現される。

搬送ローラ２４は、図４に示すように、円柱軸状のローラ本体２４ａと、その先端部及び基端部にそれぞれ外挿された基板搬送部２４ｂ及びローラ駆動ギヤ２５とを備えてなり、駆動モータ（図示略）からの回転駆動力は、このローラ駆動ギヤ２５を介して搬送ローラ２４に伝達される。基板搬送力は、この搬送ローラ２４の回転時に生じる基板搬送部２４ｂとガラス基板４との摩擦力により生まれるものであるから、基板搬送部２４ｂの材質はガラス基板４に対し所定の摩擦力を得るものが選定される。
なお、基板搬送部２４ｂは、図４に示すような円筒状のものに限らず、例えば図５に示すように、軸方向に間隔をおいて配設されたＯリング等の弾性体２４ｃであってもよい。

図１及び図４に示すように、ハンド部２６の内部には、その上面（基板支持面）２６Ａに開口する複数の吹出孔２７ａと、これら吹出孔２７ａに連通するエア通路２７ｂが形成されている。吹出孔２７ａは、上面２６Ａの長さ方向（基板搬送方向と直交する方向）略全長にわたって等間隔に多数形成されていると共に、この長さ方向に沿う１列の吹出孔群が上面２６Ａの幅方向（基板搬送方向）に複数列（この実施例では、５列）並んでいる。
ハンド部２６の基端には、送気ブロワ又はコンプレッサ（送気源）と接続された管路がカプラ等の連結手段を介して接続されている。

そして、送気ブロワを運転すると、管路及びカプラを経て各ハンド部２６に供給された圧搾空気が吹出孔２７ａを通って上方に向かって噴射され、基板カセット１内に搬入出されたガラス基板４の下面両側縁部４ａ，４ｂすなわち搬送ローラ２４で支持される部分よりも基板中央寄りの部分４ｃが非接触に支持される。
なお、複数のハンド部２６のいずれか１つにカプラ等の連結手段を設け、他のハンド部２６にはこのカプラから延びる分配管を介して送気ブロワからの圧搾空気を分配するようにしてもよい。

次に、以上の如く構成された基板保管搬送装置において、ガラス基板４を基板カセット１の任意の棚段に搬入する際の一手順について説明する。
図６（ａ），（ｂ）は、基板カセット１にガラス基板４が搬入される前の状態を示したものである。基板カセット１は最も上昇した位置にあり、また、搬送ローラ２４及びハンド部２６は基板カセット１外に抜き出された位置にある。

この状態から、まず、カセット昇降機構３を駆動し、搬送ローラ２４及びハンド部２６の前進移動先に、ガラス基板４を搬入しようとする棚段（以下、搬入予定段）が位置するように基板カセット１を昇降させる（図７）。このとき、搬入予定段に対応する基板支持部１２は、搬送ローラ２４よりも若干低めに位置決めされる。
次いで、図８（ａ），（ｂ）に示すように、ローラ往復動機構を駆動し、搬送ローラ２４及びハンド部２６を前進させて基板カセット１内に差し込む。

そして、送気ブロワから管路，及びカプラを経てハンド部２６に圧搾空気を送気すると、この圧搾空気はハンド部２６の上面２６Ａに開口する吹出孔２７ａから上方に向けて噴射される。これにより、搬入されたガラス基板４とハンド部２６の上面２６Ａとの間にエア浮上層を形成し得るようになり、搬入されたガラス基板４は、搬送ローラ２４に支持される下面両側縁部４ａ，４ｂよりも基板中央寄りの部分４ｃが、このエア浮上層を介して非接触に支持することが可能になる。

しかる後、駆動モータを駆動し、その回転駆動力をローラ駆動ギヤ２５を介して搬送ローラ２４に伝達し、搬送ローラ２４をその軸回りに回転させる。
すると、図９（ａ），（ｂ）に示すように、基板カセット１の上流側に移送されてきたガラス基板４は、その下面両側縁部４ａ，４ｂに対する搬送ローラ２４との接触によって生じる摩擦力により、搬送方向前方（図９（ａ）の白抜矢印）に向かう搬送力を付与されて基板カセット１内に搬入される。

このとき、ガラス基板４の下面両側縁部４ａ，４ｂは、それに転がり接触している搬送ローラ２４によって下方より直接支持されている。
これに対し、搬送ローラ２４と下面両側縁部４ａ，４ｂとの接触部分よりも基板中央寄りの部分４ｃは、ハンド部２６に供給された圧搾空気が吹出孔２７ａより噴射されることにより、搬送ローラ２４の頂部と、それよりも若干低い位置に設けられたハンド部２６の上面２６Ａとの段差に生ずる隙間に形成されたエア浮上層を介して、非接触に支持されている。

ガラス基板４が基板カセット１内に完全に搬入されると（図１０）、カセット昇降機構３を駆動して基板カセット１を上昇させ、搬入されたガラス基板４を基板カセット１の基板支持部１２に預けると共に、送気ブロワからハンド部２６への送気を遮断する。
そして、ガラス基板４が搬送ローラ２４から離間したところで、つまり、ガラス基板４を基板支持部１２に完全に預けたところで、図１１（ａ），（ｂ）に示すように、ローラ往復動機構を駆動し、搬送ローラ２４及びハンド部２６を後退させて基板カセット１から抜き出す。以上が搬入動作の一例である。

次に、基板カセット１内に格納されている任意の棚段のガラス基板４を搬出する際の一手順について説明する。

まず、カセット昇降機構３を駆動し、搬送ローラ２４及びハンド部２６の前進移動先に、搬出予定のガラス基板４を格納している棚段（以下、搬出予定段）が位置するように基板カセット１を昇降させる。このとき、搬出予定段に対応する基板支持部１２は、搬送ローラ２４よりも若干高めに位置決めされる。
次に、ローラ往復動機構を駆動し、搬送ローラ２４及びハンド部２６を前進させて基板カセット１内に差し込んだ後（図１２）、送気を開始し、カセット昇降機構３を駆動して基板カセット１を下降させ、搬出予定のガラス基板４の下面両側縁部４ａ，４ｂを搬送ローラ２４に預ける（図１３）。

送気ブロワから管路，及びカプラを経てハンド部２６に圧搾空気を送気すると、この圧搾空気はハンド部２６の上面２６Ａに開口する吹出孔２７ａから上方に向けて噴射される。これにより、搬出予定のガラス基板４とハンド部２６の上面２６Ａとの間にエア浮上層が形成されるので、搬送ローラ２４に支持された下面両側縁部４ａ，４ｂよりも基板中央寄りの部分４ｃは、このエア浮上層を介してハンド部２６に非接触に支持される。

しかる後、駆動モータを駆動して搬送ローラ２４をその軸回りに回転させると、基板カセット１内に格納されていた搬出予定のガラス基板４は、図１４に示すように、その下面両側縁部４ａ，４ｂに対する搬送ローラ２４との接触によって生じる摩擦力により、搬送方向前方（図１４の白抜矢印）に向かう搬送力を付与されて基板カセット１外に搬出される。このとき、ガラス基板４の下面両側縁部４ａ，４ｂは、それに転がり接触している搬送ローラ２４によって下方より直接支持されているが、搬送ローラ２４と下面両側縁部４ａ，４ｂとの接触部分よりも基板中央寄りの部分４ｃは、ハンド部２６に供給された圧搾空気が吹出孔２７ａより噴射されることにより、エア浮上層を介して非接触に支持されている。

ガラス基板４が基板カセット１外に完全に搬出されると、送気ブロワからハンド部２６への送気を遮断すると共に、図１５（ａ），（ｂ）に示すように、ローラ往復動機構を駆動し、搬送ローラ２４及びハンド部２６を後退させて基板カセット１から抜き出す。以上が搬出動作の一例である。

以上説明したように、この実施例による基板保管搬送装置によれば、ガラス基板４を搬入出したい棚段に搬送ローラ２４及びハンド部２６を抜き差しできるよう、カセット昇降機構３を用いて基板カセット１と搬送ローラ２４の高さ位置を合わせた後、搬送ローラ２４を基板カセット１の外内へ水平方向に抜き差しすることにより、多関節ロボットを用いずとも、基板収納ピッチの狭い基板カセット１に対し、ガラス基板４を任意に搬入出することができる。

しかも、この搬入出中は、終始、ガラス基板４の基板中央寄りの部分４ｃをハンド部２６でエア浮上させて非接触に支持しているので、ガラス基板４への接触は搬送ローラ２４が差し込まれる下面両側縁部４ａ，４ｂだけとなる。さらに、ガラス基板４が搬送ローラ２４だけでなく、それよりも長尺なハンド部２６によっても非接触に支持されるので、ガラス基板４に直接接触する搬送ローラ２４の長さを極力短くすることもできる。
よって、基板汚染の極小化を図ることができる。

なお、本発明は上記実施例に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々の設計変更が可能である。
例えば、基板搬入出手段は、搬送ローラ２４のようなコンベヤ装置に代えて、ガラス基板４の両側縁部を把持するクランプと、そのクランプを基板搬送方向に移動させるスライド機構とを備えた外部駆動装置であってもよい。
また、基板カセット１内の各棚段を脱着可能なカセットとすることにより、それをガラス基板４のカセット詰め替え装置として機能させることも可能である。

〔追加技術事項〕
さらに、上述した基板保管搬送装置を用いた基板搬入／搬出システムについて図１６〜図１８を参照して説明する。なお、以下の説明では、既に説明した構成要素と同一の構成要素については同一符号を付している。

図１６は、本基板搬入／搬出システムのシステム構成図である。本基板搬入／搬出システムは、ＡＧＶ等の基板搬送装置とガラス基板４に所定のプロセス処理を施すプロセス装置との間に配置され、基板搬送装置によって搬送されてきた基板カセット１のプロセス装置への引渡し（基板搬入）とプロセス装置から回収した基板カセット１の基板搬送装置への引渡し（基板搬出）とを行う。本基板搬入／搬出システムは、図１６に示すように、クレーンＫ、先入後出し装置Ｆ1，Ｆ2（基板供給装置）、基板保管搬送装置Ｈ1，Ｈ2及び移送装置Ｐから構成されている。これら各構成要素のうち、先入後出し装置Ｆ1及び基板保管搬送装置Ｈ1は基板搬入経路上に設けられ、一方、先入後出し装置Ｆ2及び基板保管搬送装置Ｈ2基板搬入経路上に設けられている。

クレーンＫは、基板搬送装置から引き取った基板カセット１を先入後出し装置Ｆ1に供給すると共に、先入後出し装置Ｆ2から回収した基板カセット１を基板搬送装置に引き渡す。クレーンＫが先入後出し装置Ｆ1に供給する基板カセット１にはプロセス処理前のガラス基板４が収納され、一方、クレーンＫが先入後出し装置Ｆ2から引き取った基板カセット１にはプロセス処理後のガラス基板４が収納されている。

先入後出し装置Ｆ1は、基板カセット１に収納された複数のガラス基板４のうち、後から収納したものを先に基板保管搬送装置Ｈ1に払い出す。これに対して、基板保管搬送装置Ｈ1は、移送装置Ｐへのガラス基板４の払出に関するランダムアクセスバッファとして機能するものであり、先入後出し装置Ｆ1から供給されたガラス基板４を自らの基板カセット１に順次収納すると共に、当該基板カセット１に収納された複数のガラス基板４のうち、移送装置Ｐの要求に応じた任意のガラス基板４を移送装置Ｐに払い出す。移送装置Ｐは、レール上を移動することによってガラス基板４を移送する移送装置であり、基板保管搬送装置Ｈ1から供給されたガラス基板４をプロセス装置に移送すると共に、プロセス装置からガラス基板４（処理済）を回収して先入後出し装置Ｆ2に引き渡す。

基板保管搬送装置Ｈ2は、先入後出し装置Ｆ2へのガラス基板４の払出に関するランダムアクセスバッファとして機能するものであり、移送装置Ｐから供給されたガラス基板４（処理済）を自らの基板カセット１に順次収納すると共に、当該基板カセット１に収納された複数のガラス基板４のうち、先入後出し装置Ｆ2の要求に応じた任意のガラス基板４を先入後出し装置Ｆ2に払い出す。先入後出し装置Ｆ2は、基板保管搬送装置Ｈ2から供給されたガラス基板４を自らの基板カセット１に順次収納する。

図１７は、このような本基板搬入／搬出システムにおける基板搬入フローを示す説明図である。上段イ）に示されるように、先入後出し装置Ｆ1の基板カセット１内に収納された複数のガラス基板４は、後に収納されたものから先に取り出されて基板保管搬送装置Ｈ1の基板カセット１に一時的にバッファリング（収納）され、移送装置Ｐまたはプロセス装置の要求に応じ、当該基板保管搬送装置Ｈ1の基板カセット１に収納された任意のガラス基板４が移送装置Ｐを介してプロセス装置に供給される。

ここで、先入後出し装置Ｆ1が自らの基板カセット１内の全ガラス基板４を基板保管搬送装置Ｈ1に供給し終わると、中段ロ）に示されるように、先入後出し装置Ｆ1の空状態の基板カセット１はクレーンＫによって除去されてガラス基板４が収納された基板カセット１に交換されるが、この交換の間においては、基板保管搬送装置Ｈ1は、自らの基板カセット１にバッファリングしたガラス基板４をプロセス装置に継続して供給する。そして、下段ハ）に示されるように、クレーンＫによって先入後出し装置Ｆ1に次の基板カセット１が移載されると、先入後出し装置Ｆ1は基板保管搬送装置Ｈ1へのガラス基板４の供給を再開する。すなわち、基板保管搬送装置Ｈ1が存在することにより、先入後出し装置Ｆ1からのガラス基板４の供給が中断しても、プロセス装置へのガラス基板４の供給は途切れることなく連続的に行われる。

図１８は、このような本基板搬入／搬出システムにおける基板搬出フローを示す説明図である。最初に左側の基板搬出フロー（１）について説明すると、基板搬出時においては、上段イ）に示されるように、処理済のガラス基板４がプロセス装置から移送装置Ｐを介して基板保管搬送装置Ｈ2の基板カセット１内に順次収納される。そして、基板保管搬送装置Ｈ2は、自らの基板カセット１内のガラス基板４を先入後出し装置Ｆ2に順次供給する。

ここで、先入後出し装置Ｆ2の基板カセット１がガラス基板４で満杯になると、当該基板カセット１は、クレーンＫによって除去されて空状態の基板カセット１に交換されるが、この交換の間も基板保管搬送装置Ｈ2はプロセス装置から回収されたガラス基板４の引取りを継続して行うので、プロセス装置からのガラス基板４の回収は途切れることなく連続的に行われる。

続いて、右側の基板搬出フロー（２）について説明する。
プロセス装置（例えば検査装置）から回収されて基板保管搬送装置Ｈ2の基板カセット１に収納されるガラス基板４には良品と不良品とがある。不良品はプロセス装置からランダムなタイミングで排出されるので、基板保管搬送装置Ｈ2の基板カセット１には良品と不良品とが無秩序に収納される。ここで、基板保管搬送装置Ｈ2は任意のガラス基板４を払い出すことができるので、上段イ）に示されるように良品のみを選択して先入後出し装置Ｆ2に供給し、不良品については一時的に保持する。そして、中段ロ）に示されるように、良品の払出が完了すると、不良品をまとめて先入後出し装置Ｆ2に供給する。そして、先入後出し装置Ｆ2内の基板カセット１が満杯となり交換されている間、基板保管搬送装置Ｈ2は、良品と不良品との収納を継続する。

このような基板搬入／搬出システムによれば、基板保管搬送装置Ｈ1，Ｈ2がガラス基板４を一時的に収納すると共に収納したガラス基板４を任意に払い出すランダムアクセスバッファとして機能するので、ガラス基板４の連続的な搬入及び搬出を実現できると共に、良品と不良品とを分別して排出することができる。

なお、必要に応じて基板保管搬送装置Ｈ1，Ｈ2の何れか一方のみを設けるようにしても良い。また、上記基板搬入／搬出システムでは基板供給装置として先入後出し装置Ｆ1，Ｆ2を用いたが、基板供給装置は先入後出し装置Ｆ1，Ｆ2に限定されない。基板保管搬送装置Ｈ1，Ｈ2と同等のものを基板供給装置として用いても良い。

この発明の一実施例による基板保管搬送装置の要部を示す平面図である。 図１に示す基板保管搬送装置の正面図である。 図１に示す基板保管搬送装置の側面図である。 図１に示す搬送ローラの一実施例を示す要部拡大断面図である。 図１に示す搬送ローラの他の実施例を示す要部拡大断面図である。 （ａ）は、図１に示す基板カセットにガラス基板を搬入しようとしている状態を示す平面図である。（ｂ）は、同状態の正面図である。 基板搬入動作において、図１に示すカセット昇降装置を下降させている状態を示す正面図である。 （ａ）は、基板搬入動作において、図１に示す搬送ローラ及びハンド部を基板カセット内に差し込んでいる状態を示す正面図である。（ｂ）は、同状態の要部拡大断面図である。 （ａ）は、図１に示す基板カセットにガラス基板を搬入している状態を示す平面図である。（ｂ）は、同状態の要部拡大断面図である。 図１に示す基板カセットにガラス基板を搬入し終えた状態を示す平面図である。 （ａ）は、図１０の状態に続いて基板カセットから搬送ローラ及びハンド部を抜き出した状態を示す平面図である。（ｂ）は、同状態の正面図である。 基板搬出動作において、図１に示す搬送ローラ及びハンド部を基板カセット内に差し込んだ状態を示す要部拡大断面図である。 図１２の状態に続いて基板カセットを下降させた状態を示す要部拡大断面図である。 図１に示す基板カセットからガラス基板を搬出している状態を示す平面面図である。 （ａ）は、図１に示す基板カセットからガラス基板を搬出し終え、搬送ローラ及びハンド部を基板カセットから抜き出した状態を示す平面図である。（ｂ）は、同状態の正面図である。 この発明の一実施例に係る基板搬入／搬出システムのシステム構成図である。 上記基板搬入／搬出システムにおける基板搬入フローを示す説明図である。 上記基板搬入／搬出システムにおける基板搬出フローを示す説明図である。

符号の説明

１ 基板カセット
３ カセット昇降機構（昇降機構）
４ ガラス基板
４ａ、４ｂ 下面両側縁部
２４ 搬送ローラ（基板搬入出手段）
２６ ハンド部
２６Ａ 上面（基板支持面）
２７ａ 吹出孔
Ｆ1，Ｆ2 先入後出し装置
Ｈ1，Ｈ2 基板保管搬送装置
Ｋ クレーン
Ｐ 移送装置

Claims (7)

1. 複数の基板を水平姿勢にて上下方向に多段収納し得る基板カセットに対し、基板搬送方向と直交する方向への往復動により抜き差しされる基板搬入出手段を備え、
   この基板搬入出手段は、前記基板の下面両側縁部をそれぞれ支持し得る複数対の搬送ローラを備えてなることを特徴とする基板搬送装置。
2. 前記基板搬入出手段は、前記基板を非接触に支持し得るハンド部を備え、
   このハンド部は、前記搬送ローラよりも前記基板搬送方向と直交する方向に長尺であることを特徴とする請求項１記載の基板搬送装置。
3. 前記ハンド部の基板支持面には、送気源から送気可能な吹出孔が開口していることを特徴とする請求項２記載の基板搬送装置。
4. 複数の基板を水平姿勢にて上下方向に多段収納し得る基板カセットと、
   請求項１〜請求項３のいずれかに記載の基板搬入出手段と、
   前記基板カセットを前記基板搬入出手段に対し相対的に昇降移動させる昇降機構とを備えてなることを特徴とする基板保管搬送装置。
5. 基板の搬入経路上に設けられた請求項４記載の基板保管搬送装置と、
   搬入経路上において前記基板保管搬送装置の上流に設けられ、当該基板保管搬送装置に外部から供給された基板カセット内の基板を供給する基板供給装置と、
   搬入経路上の前記基板保管搬送装置から払い出された基板をプロセス装置に供給する移送装置と
   を具備することを特徴とする基板搬入システム。
6. 基板の搬出経路上に設けられた請求項４記載の基板保管搬送装置と、
   搬出経路上において前記基板保管搬送装置の下流に設けられ、当該基板保管搬送装置から供給された基板を基板カセット内に収納する基板供給装置と、
   プロセス装置から排出された基板を前記基板保管搬送装置に供給する移送装置と
   を具備することを特徴とする基板搬出システム。
7. 基板の搬入経路上及び搬出経路上に各々設けられた請求項４記載の基板保管搬送装置と、
   搬入経路上において前記基板保管搬送装置の上流に設けられ、当該基板保管搬送装置に外部から供給された基板カセット内の基板を供給する第１の基板供給装置と、
   搬出経路上において前記基板保管搬送装置の下流に設けられ、当該基板保管搬送装置から供給された基板を基板カセット内に収納する第２の基板供給装置と、
   搬入経路上の前記基板保管搬送装置から払い出された基板をプロセス装置に供給すると共に、プロセス装置から排出された基板を搬出経路上の前記基板保管搬送装置に供給する移送装置と
   を具備することを特徴とする基板搬入／搬出システム。
   
   

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