KR100782448B1 - 기판 카세트, 기판 반송 장치, 기판 보관 반송 장치, 기판반입 시스템, 기판 반출 시스템 및 기판 반입/반출 시스템 - Google Patents

기판 카세트, 기판 반송 장치, 기판 보관 반송 장치, 기판반입 시스템, 기판 반출 시스템 및 기판 반입/반출 시스템 Download PDF

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Abstract

본 발명의 기판 반송 장치는, 복수의 유리 기판(4)이 수평자세로 상하 방향으로 다단 수납되는 기판 카세트(1)와, 상기 기판 카세트(1) 내에 기판이 반송되는 방향과 직교하는 방향으로의 왕복이동에 의해 출입되는 기판 반출입 수단과, 기판카세트(1)를 승강 이동시키는 카세트 승강 기구를 구비한다. 기판 반출입 수단은, 유리 기판(4)의 하면 양측 가장자리부(4a, 4b)를 각각 지지할 수 있는 복수 쌍의 반송 롤러(24)와, 이 반송 롤러(24)보다도 기판이 반송되는 방향과 직교하는 방향으로 긴 핸드부(26)를 구비한다. 이 핸드부(26)의 상면(26A)에는 송풍기로부터 송기 가능한 분출공(27a)이 개구되어 있어, 유리 기판(4)을 비접촉으로 지지할 수 있다.

Description

기판 카세트, 기판 반송 장치, 기판 보관 반송 장치, 기판 반입 시스템, 기판 반출 시스템 및 기판 반입/반출 시스템{Substrate cassette, substrate transporting apparatus, substrate storage and transporting apparatus, and substrate transporting and insertion/transporting and removal system}
도 1은 본 발명의 일실시예에 의한 기판 보관 반송 장치의 주요 부위를 도시한 평면도이다.
도 2는 도 1에 도시한 기판 보관 반송 장치의 정면도이다.
도 3은 도 1에 도시한 기판 보관 반송 장치의 측면도이다.
도 4는 도 1에 도시한 반송 롤러의 일실시예를 도시한 주요 부위 확대 단면도이다.
도 5는 도 1에 도시한 반송 롤러의 다른 실시예를 도시한 주요 부위 확대 단면도이다.
도 6a는 도 1에 도시한 기판 카세트에 유리 기판을 반입하고자 하는 상태를 도시한 평면도이며 도 6b는 같은 상태의 정면도이다.
도 7은 기판 반입 동작에 있어서, 도 1에 도시한 카세트 승강 장치를 하강시킨 상태를 도시한 정면도이다.
도 8a는 기판 반입 동작에 있어서, 도 1에 도시한 반송 롤러 및 핸드부를 기 판 카세트내에 삽입한 상태를 도시한 정면도이며 도 8b는 같은 상태의 주요 부위 확대 단면도이다.
도 9a는 도 1에 도시한 기판 카세트에 유리 기판을 반입하고 있는 상태를 도시한 평면도이고 도 9b는 같은 상태의 주요 부위 확대 단면도이다.
도 10은 도 1에 도시한 기판 카세트에 유리 기판의 반입을 끝마친 상태를 도시한 평면도이다.
도 11a는 도 10의 상태에 이어 기판 카세트부터 반송 롤러 및 핸드부를 빼낸 상태를 도시한 평면도이고 도 11b는 같은 상태의 정면도이다.
도 12는 기판 반출 동작에 있어서 도 1에 도시한 반송 롤러 및 핸드부를 기판 카세트내에 삽입한 상태를 도시한 주요 부위 확대 단면도이다.
도 l3은 도 12의 상태에 이어 기판 카세트를 하강시킨 상태를 도시한 주요 부위 확대 단면도이다.
도 l4는 도 1에 도시한 기판 카세트부터 유리 기판을 반출하고 있는 상태를 도시한 평면도이다.
도 15a는 도 1에 도시한 기판 카세트로부터 유리 기판의 반출을 끝마치고 반송 롤러 및 핸드부를 기판 카세트로부터 빼낸 상태를 도시한 평면도이고 도 15b는 같은 상태의 정면도이다.
도 l6은 본 발명의 일실시예에 관한 기판 반입/반출 시스템의 시스템 구성도이다.
도 17은 상기 기판 반입/반출 시스템에서의 기판 반입 플로우를 도시한 설명 도이다.
도 18은 상기 기판 반입/반출 시스템에서의 기판 반출 플로우를 도시한 설명도이다.
도 19는 본 발명의 다른 실시예에 의한 기판 보관 반송 장치의 주요 부위를 도시한 평면도이다.
도 20은 도 19에 도시한 기판 보관 반송 장치의 정면도이다.
도 21은 본 발명의 다른 실시예에 의한 기판 보관 반송 장치의 주요 부위 확대 모식도이다.
도 22는 본 발명의 일실시예에 관한 기판 반입/반출 시스템의 시스템 구성도이다.
도 23은 상기 기판 반입/반출 시스템에서의 기판 반입 플로우를 도시한 설명도이다.
도 24는 상기 기판 반입/반출 시스템에서의 기판 반출 플로우를 도시한 설명도이다.
본 발명은, 예를 들면 액정용 유리 등의 박판 기판의 반송 라인에 설치되는 기판 카세트, 기판 반송 장치, 기판 카세트 또는 기판 반송 장치를 구비한 기판 보관 반송 장치, 그리고 기판 보관 반송 장치를 구비한 기판 반입 시스템, 기판 반출 시스템 및 기판 반입/반출 시스템에 관한 것이다.
본원은 2003년 11월 21일에 출원된 일본 특허출원 2003-392708호, 2003년 11월 21일에 출원된 일본 특허출원 2003-392709호, 2004년 8월 26일에 출원된 일본 특허출원 2004-247394호, 2004년 8월 26일에 출원된 일본 특허출원 2004-247395호에 대해 우선권을 주장하고, 그 내용을 여기에 원용한다.
이런 종류의 기판 보관 반송 장치로는, 기판을 핸들링하는 다관절 로봇 또는 수평 왕복이동 핸드와 기판을 다단으로 수납 가능한 카세트형상의 선반을 조합하여 기판을 임의로 반출입 가능한 기능을 부여한 장치가 알려져 있다.
또한, 승강 가능한 카세트형상의 선반과 고정된 콘베이어를 조합하여, 선반 상단으로부터 차례로 기판을 반입해 수납하는 한편, 수납된 기판을 하단으로부터 차례로 반출하는 기능을 갖는 장치도 알려져 있다(예를 들면, 일본 공개특허공보 제2002-289678호, 일본 공개특허공보 제2001-253541호 참조).
그러나, 상기 다관절 로봇을 이용한 기술에서는, 임의의 선반에 기판을 반출입할 수 있는 반면, 로봇 핸드와의 간섭을 피하기 위해서 선반의 기판 수납 피치를 넓게 할 필요가 있어 기판의 수납 매수를 늘리는 것이 곤란하다. 또, 로봇과 선반을 조합하기 위하여 설치공간이 넓어야 한다는 문제도 있다. 이 설치공간 문제는, 특히 크린룸에서 사용되는 경우 현저해진다.
한편, 상기 카세트형상의 선반을 승강 가능하게 한 기술은, 상기한 바와 같은 설치 스페이스의 문제는 없지만 임의의 선반에 기판을 반출입할 수 없는 제약이 있다.
본 발명은 상기 사정을 감안하여 이루어진 것으로, 그 목적은 고밀도로 다단 수납된 기판을 임의로 반출입 가능하게 하는 것에 있다.
상기 과제를 해결하기 위해 본 발명은, 복수의 기판이 수평자세로 반출입되어 상하 방향으로 다단 수납되는 기판 카세트에 대해, 상기 기판이 반송되는 진퇴 방향과 직교하는 방향으로의 왕복이동에 의해 출입되는 반송 롤러 유니트를 구비하고, 상기 반송 롤러 유니트는, 상기 기판의 하면 양측 가장자리부에 직접 접촉하여 그 기판의 하면 양측 가장자리부를 각각 지지할 수 있는 복수 쌍의 반송 롤러와, 상기 기판을 비접촉으로 지지할 수 있는 핸드부를 구비하는 기판 반송 장치를 제공한다.
상기 기판 반송 장치에 있어서, 상기 핸드부는 상기 반송 롤러보다도 상기 기판이 반송되는 진퇴 방향과 직교하는 방향으로 길어도 좋다.
상기 기판 반송 장치에 있어서, 상기 핸드부의 기판 지지면에는, 송기원(送氣源)으로부터 송기(送氣) 가능한 분출공이 개구되어 있어도 된다.
상기 과제를 해결하기 위해 본 발명은, 복수의 기판이 수평자세로 반출입되어 상하 방향으로 다단 수납된 기판 카세트와, 상기 구성의 반송 롤러 유니트와, 상기 기판 카세트를 상기 반송 롤러 유니트에 대해 상대적으로 승강 이동시키는 승강 기구를 구비하는 기판 보관 반송 장치를 제공한다.
상기 과제를 해결하기 위해 본 발명은, 기판의 반입 경로상에 설치된 상기 기판 보관 반송 장치와, 반입 경로상에서 기판 보관 반송 장치의 상류에 설치되고 상기 기판 보관 반송 장치에 외부로부터 공급된 기판 카세트 내의 기판을 공급하는 기판 공급 장치와, 반입 경로상의 기판 보관 반송 장치부터 배출된 기판을 프로세스 장치에 공급하는 이송 장치를 구비하는 기판 반입 시스템을 제공한다.
상기 과제를 해결하기 위해 본 발명은, 기판의 반출 경로상에 설치된 상기 기판 보관 반송 장치와, 반출 경로상에서 기판 보관 반송 장치의 하류에 설치되고 상기 기판 보관 반송 장치로부터 공급된 기판을 기판 카세트 내로 수납하는 기판 공급 장치와, 프로세스 장치로부터 배출된 기판을 기판 보관 반송 장치에 공급하는 이송 장치를 구비하는 기판 반출 시스템을 제공한다.
상기 과제를 해결하기 위해 본 발명은, 기판의 반입 경로상 및 반출 경로상에 각각 설치된 상기 기판 보관 반송 장치와, 반입 경로상에서 기판 보관 반송 장치의 상류에 설치되고 상기 기판 보관 반송 장치에 외부로부터 공급된 기판 카세트 내의 기판을 공급하는 제1 기판 공급 장치와, 반출 경로상에서 기판 보관 반송 장치의 하류에 설치되고 상기 기판 보관 반송 장치로부터 공급된 기판을 기판 카세트 내에 수납하는 제2 기판 공급 장치와, 반입 경로상의 기판 보관 반송 장치로부터 배출된 기판을 프로세스 장치에 공급함과 아울러 프로세스 장치로부터 배출된 기판을 반출 경로상의 기판 보관 반송 장치에 공급하는 이송 장치를 구비하는 기판 반입/반출 시스템을 제공한다.
또한, 상기 과제를 해결하기 위해 본 발명은, 복수의 기판을 수평자세로 상하 방향으로 다단 수납할 수 있는 기판 카세트에 있어서, 상기 기판의 반출입시에 상기 기판의 하면 중앙부를 비접촉으로 지지하는 기판 지지부를 구비하는 기판 카 세트를 제공한다.
상기 기판 카세트에 있어서 상기 기판 지지부의 기판 지지면에는 송기원으로부터 송기 가능한 분출공이 개구되어 있어도 된다.
상기 발명을 해결하기 위해 본 발명은, 상기 기판 카세트와, 기판 반송 방향과 직교하는 방향으로 왕복 이동하여 상기 기판 카세트에 출입되는 기판 반출입 수단과, 상기 기판 카세트를 상기 기판 반출입 수단에 대해 상대적으로 승강 이동시키는 승강 기구를 구비하는 기판 보관 반송 장치를 제공한다.
상기 기판 보관 반송 장치에 있어서 각 기판 지지부는, 상기 기판 반출입 수단의 출입에 따라 탈착되어 상기 송기원으로부터 상기 취출구로의 송기를 단속(斷續)하는 커플러를 구비해도 된다.
상기 과제를 해결하기 위해 본 발명은, 기판의 반입 경로상에 설치된 상기 기판 보관 반송 장치와, 반입 경로상에서 기판 보관 반송 장치의 상류에 설치되고 상기 기판 보관 반송 장치에 외부로부터 공급된 기판 카세트내의 기판을 공급하는 기판 공급 장치와, 반입 경로상의 기판 보관 반송 장치로부터 배출된 기판을 프로세스 장치에 공급하는 이송 장치를 구비하는 기판 반입 시스템을 제공한다.
상기 과제를 해결하기 위해 본 발명은, 기판의 반출 경로상에 설치된 상기 기판 보관 반송 장치와, 반출 경로상에서 기판 보관 반송 장치의 하류에 설치되고 상기 기판 보관 반송 장치로부터 공급된 기판을 기판 카세트 내에 수납하는 기판 공급 장치와, 프로세스 장치부터 배출된 기판을 기판 보관 반송 장치로 공급하는 이송 장치를 구비하는 기판 반출 시스템을 제공한다.
상기 과제를 해결하기 위해 본 발명은, 기판의 반입 경로상 및 반출 경로상에 각각 마련된 상기 기판 보관 반송 장치와, 반입 경로상에서 기판 보관 반송 장치의 상류에 설치되고 상기 기판 보관 반송 장치에 외부로부터 공급된 기판 카세트 내의 기판을 공급하는 제1 기판 공급 장치와, 반출 경로상에서 기판 보관 반송 장치의 하류에 설치되고 상기 기판 보관 반송 장치로부터 공급된 기판을 기판 카세트내에 수납하는 제2 기판 공급 장치와, 반입 경로상의 기판 보관 반송 장치로부터 배출된 기판을 프로세스 장치에 공급함과 아울러 프로세스 장치로부터 배출된 기판을 반출 경로상의 기판 보관 반송 장치에 공급하는 이송 장치를 구비하는 기판 반입/반출 시스템을 제공한다.
본 발명에 의하면, 기판을 반출입하고자 하는 선반에 기판 반출입 수단을 출입시킬 수 있도록 승강 기구를 사용하여 기판 카세트와 기판 반출입 수단의 높이 위치를 맞춘 후, 기판 반출입 수단을 기판 카세트 내외로 수평 방향으로 출입시킴으로써 다관절 로봇을 사용하지 않고도, 기판 수납 피치가 좁은 기판 카세트에 대해 기판을 임의로 반출입할 수 있다.
또한, 반출입시 기판에의 접촉은 반송 롤러에 의해 직접 지지되는 하면 양측 가장자리부뿐이기 때문에, 기판 오염을 저감할 수 있다. 특히, 기판이 반송 롤러 뿐만 아니라 그것보다도 긴 핸드부에 의해서도 비접촉으로 지지되기 때문에, 기판에 직접 접촉하는 반송 롤러의 길이를 최대한 짧게 할 수 있어 기판 오염의 극소화를 도모할 수 있다.
게다가, 이 반출입 중에는 계속하여 기판의 하면 중앙부를, 예를 들면, 기판 지지부로부터 공기 부상시키거나 하여 비접촉으로 지지할 수도 있기 때문에, 기판에의 접촉은 기판 반출입 수단이 삽입되는 하면 양측 가장자리부만이 되어 기판 오염의 극소화를 도모할 수 있다.
또한, 기판 반출입 수단이 기판 카세트에 삽입되는 동작에 따라, 기판을 반출입하고자 하는 선반에 대응하는 기판 지지부에 대해 확실하게 압축 공기를 송기하여 기판의 비접촉 지지를 실현할 수 있으며, 반출입하고자 하는 단에 대응하는 기판 지지부로만 압축 공기를 송기할 수 있기 때문에, 장치 전체의 소형화도 실현할 수 있다.
이하, 본 발명의 바람직한 형태의 하나인 실시예를 도 1 내지 도 15의 도면을 참조하여 설명한다.
이 실시예에 의한 기판 보관 반송 장치는, 예를 들면 액정 표시 패널(LCD)이나 플라즈마 디스플레이 패널(PDP) 등에 사용되는 유리 기판과 같이 대형이며 박판 형태이고, 게다가, 오염 방지 등을 위해서 반송물의 양측 가장자리부를 지지하면서 반송하는 것이 요구되는 것의 반송에 이용하기 적합하며, 도 1 및 도 2에 나타낸 바와 같이, 기판 카세트(1)와 반송 롤러(기판 반출입 수단)(24) 및 핸드부(26)를 구비한 반송 롤러 유니트(2)와 카세트 승강 기구(승강 기구)(3)를 구비하여 구성되어 있다.
기판 카세트(1)는 기판 반송 방향(도 1의 흰 화살표방향)의 앞쪽 및 뒤쪽이 유리 기판(4)의 반입구(1la) 및 반출구(11b)가 되는 상자 형상을 이루고 있고, 그 내부공간부에는, 유리 기판(4)을 수평자세로 반출입 및 수납하기 위한 선반이 상하 방향으로 다수 형성되어 있다.
각 선반을 구성하는 기판 지지부(12)는 기판 반송 방향과 직교하는 방향(즉, 기판폭 방향)으로 수평으로 연장되는, 예를 들면 와이어 등으로 구성되어 있고, 하나의 선반에 대해서 복수개(이 실시예에서는 5개)가 기판 반송 방향으로 소정의 간격을 두고 설치되어 있다.
이상의 구성에 의해, 기판 카세트(1)는 유리 기판(4)을 기판 지지부(12)에서 수평자세로 유지하면서 상하 방향으로 다단 수납할 수 있게 되어 있다.
기판 카세트(1)는 유리 기판(4)을 기판 카세트(1) 내의 임의의 선반에 반입하거나, 기판 카세트(1) 내의 임의의 선반으로부터 유리 기판(4)을 반출할 수 있도록, 상하 방향으로 정위치에 지지된 반송 롤러(24) 및 핸드부(26)에 대해, 상대적으로 승강 이동할 수 있게 되어 있다. 그것을 위한 카세트 승강 기구(3)는 기판 카세트(1)의 바닥부(11c)를 지지하는 브래킷(31)과, 서보 구동에 의해 브래킷(31)을 상하 이동시키는 볼 나사(32)(도 3)와, 브래킷(31)의 상하 이동을 안내하는 가이드(33)와, 기판 카세트(1)의 상하 방향의 위치 검색에 사용되는 센서를 구비하여 구성되어 있다.
한편, 도 3에서 반송 롤러 유니트(2)의 도시는 생략하였다.
반송 롤러 유니트(2)는 반송물인 유리 기판(4)의 폭 방향, 바꿔 말하면 유리 기판의 반송 방향과 직교하는 방향으로 간격을 두고 대향 배치된 한 쌍의 베이스(21)를 구비하고, 각 베이스(21)에는 기판 반송 방향으로 간격을 두고 복수(이 실시예에서는 4개)의 콘베이어 프레임(22)이 고정되어 있다.
콘베이어 프레임(22)에는, 베어링 등의 축 서포트(23)를 통해 반송 롤러(24)가 회전 가능하게 지지되어 있음과 아울러, 이들 반송 롤러(24)보다도 기판 반송 방향과 직교하는 방향(기판폭 방향)으로 긴, 위쪽에서 볼 때 긴 판 형태의 핸드부(26)가 지지되어 있다.
반송 롤러(24)는 하나의 콘베이어 프레임(22)에 대해서, 복수개(이 실시예에서는 6개)가 기판 반송 방향으로 간격을 두고 나란히 설치되어 있다. 핸드부(26)는 이들 반송 롤러(24)보다도 약간 낮은 위치에 오도록, 콘베이어 프레임(22)에 일측단지지 상태로 지지되어 있다.
그리고, 반송 롤러(24) 및 핸드부(26)의 기판 카세트(1) 내의 출입은, 각 콘베이어 프레임(22)을 일체로 고정하고 있는 베이스(21)를 수평 방향이며, 기판 반송 방향과 직교하는 방향으로 전진 및 후퇴시키는 롤러 왕복이동기구(미도시)에 의해 실현된다.
반송 롤러(24)는 도 4에 도시한 바와 같이, 원기둥축 모양의 롤러 본체(24a)와 그 선단부 및 기단부(基端部) 외측에 각각 삽입된 기판 반송부(24b) 및 롤러 구동 기어(25)를 구비하여 이루어지고, 구동 모터(미도시)로부터의 회전 구동력은 이 롤러 구동 기어(25)를 통해서 반송 롤러(24)에 전달된다. 기판 반송력은 이 반송 롤러(24)의 회전시에 생기는 기판 반송부(24b)와 유리 기판(4)의 마찰력에 의해 생기는 것이기 때문에, 기판 반송부(24b)의 재질은 유리 기판(4)에 대해 소정의 마찰력을 얻는 것이 선정된다.
기판 반송부(24b)는 도 4에 도시한 바와 같은 원통 모양뿐만 아니라, 예를 들면 도 5에 도시한 바와 같이 축 방향으로 간격을 두고 설치된 오링(O-Ring) 등의 탄성체(24c)라도 된다.
도 1 및 도 4에 도시한 바와 같이, 핸드부(26)의 내부에는 그 상면(기판 지지면)(26A)에 개구된 복수의 분출공(27a)과, 이들 분출공(27a)에 연통되는 공기 통로(27b)가 형성되어 있다. 분출공(27a)은 상면(26A)의 길이 방향(기판 반송 방향과 직교하는 방향)의 거의 전체 길이에 걸쳐 같은 간격으로 다수 형성되어 있음과 아울러, 그 길이 방향을 따라 1열의 분출공군이 상면(26A)의 폭 방향(기판 반송 방향)에 복수열(이 실시예에서는, 5열) 늘어서 있다.
핸드부(26)의 기단에는 송풍기나 압축기(송기원)와 접속된 관로가 커플러 등의 연결 수단을 통하여 접속되어 있다.
그리고 송풍기를 운전하면, 관로 및 커플러를 거쳐 각 핸드부(26)에 공급된 압축공기가 분출공(27a)을 통해 위쪽을 향해 분사되고, 기판 카세트(1) 내에 반출입된 유리 기판(4)의 하면 양측 가장자리부(4a, 4b), 즉 반송 롤러(24)에 지지되는 부분보다도 기판 중앙측의 부분(4c)이 비접촉으로 지지된다.
한편, 복수의 핸드부(26) 중 어느 하나에 커플러 등의 연결 수단을 마련하고, 다른 핸드부(26)에는 이 커플러로부터 연장되는 분배관을 통해서 송풍기로부터의 압축 공기를 분배하도록 해도 된다.
다음으로, 이상과 같이 구성된 기판 보관 반송 장치에 있어서, 유리 기판(4)을 기판 카세트(1)의 임의의 선반에 반입할 때의 순서의 일례에 대해서 설명한다.
도 6a 및 도 6b는, 기판 카세트(1)에 유리 기판(4)이 반입되기 전의 상태를 도시한 것이다. 기판 카세트(1)는 가장 상승된 위치에 있고, 또 반송 롤러(24) 및 핸드부(26)는 기판 카세트(1)의 밖으로 빼내어진 위치에 있다.
이 상태에서, 먼저, 카세트 승강 기구(3)를 구동하고 반송 롤러(24) 및 핸드부(26)의 전진 이동지에, 유리 기판(4)을 반입하려고 하는 선반(이하, 반입 예정단)이 위치하도록 기판 카세트(1)를 승강시킨다(도 7). 이 때, 반입 예정단에 대응하는 기판 지지부(12)는 반송 롤러(24)보다도 약간 낮게 위치결정된다.
다음으로, 도 8a 및 도 8b에 도시한 바와 같이, 롤러 왕복이동기구를 구동하고 반송 롤러(24) 및 핸드부(26)를 전진시켜 기판 카세트(1) 내에 삽입한다.
그리고, 송풍기로부터 관로 및 커플러를 거쳐 핸드부(26)로 압축공기를 송기하면, 이 압축공기는 핸드부(26)의 상면(26A)에 개구된 분출공(27a)으로부터 위쪽을 향해 분사된다. 이것에 의해, 반입된 유리 기판(4)과 핸드부(26) 상면(26A)과의 사이에 공기 부상층을 형성할 수 있게 되고, 반입된 유리 기판(4)은 반송 롤러(24)에 지지되는 하면 양측 가장자리부(4a, 4b)보다도 기판 중앙측의 부분(4c)이 공기 부상층을 통해서 비접촉으로 지지된다.
계속하여, 구동 모터를 구동하고, 그 회전 구동력을 롤러 구동 기어(25)를 통해 반송 롤러(24)에 전달하여 반송 롤러(24)를 그 축 둘레로 회전시킨다.
그러면, 도 9a 및 도 9b에 도시한 바와 같이, 기판 카세트(1)의 상류측으로 이송된 유리 기판(4)은 그 하면 양측 가장자리부(4a, 4b)에 대한 반송 롤러(24)와의 접촉에 의해 생기는 마찰력에 의해, 반송 방향 전방(도 9a의 흰 화살표방향)을 향하는 반송력을 부여받아 기판 카세트(1) 내에 반입된다.
이 때, 유리 기판(4)의 하면 양측 가장자리부(4a, 4b)는 그에 구름접촉하고 있는 반송 롤러(24)에 의해 아래쪽에서 직접 지지되어 있다.
반면, 반송 롤러(24)와 하면 양측 가장자리부(4a, 4b)와의 접촉 부분보다도 기판 중앙측의 부분(4c)은 핸드부(26)에 공급된 압축공기가 분출공(27a)으로부터 분사됨으로써, 반송 롤러(24)의 정점부와 그것보다도 약간 낮은 위치에 마련된 핸드부(26)의 상면(26A)과의 단차에 생기는 틈에 형성된 공기 부상층을 통해서 비접촉으로 지지되어 있다.
유리 기판(4)이 기판 카세트(1) 내에 완전히 반입되면(도 10) 카세트 승강 기구(3)를 구동해 기판 카세트(1)를 상승시키고, 반입된 유리 기판(4)을 기판 카세트(1)의 기판 지지부(12)에 보관함과 아울러 송풍기로부터 핸드부(26)로의 송기를 차단한다.
그리고, 유리 기판(4)이 반송 롤러(24)로부터 이간되었을 때, 즉, 유리 기판(4)을 기판 지지부(12)에 완전히 놓였을 때에, 도 11a 및 도 11b에 도시한 바와 같이, 롤러 왕복이동기구를 구동하여 반송 롤러(24) 및 핸드부(26)를 후퇴시켜서 기판 카세트(1)로부터 반출한다. 이상이 반입 동작의 일례이다.
다음으로, 기판 카세트(1) 내에 수납되어 있는 임의의 선반의 유리 기판(4)을 반출하는 경우의 순서의 일례에 대해서 설명한다.
우선, 카세트 승강 기구(3)를 구동하여 반송 롤러(24) 및 핸드부(26)의 전진 이동지에, 반출 예정의 유리 기판(4)을 수납하고 있는 선반(이하, 반출 예정단)이 위치하도록 기판 카세트(1)를 승강시킨다. 이 때, 반출 예정단에 대응되는 기판 지 지부(12)는 반송 롤러(24)보다도 약간 높게 위치한다.
다음으로, 롤러 왕복이동기구를 구동하여 반송 롤러(24) 및 핸드부(26)를 전진시켜 기판 카세트(1) 내에 삽입한 다음(도 12), 송기를 개시하고 카세트 승강 기구(3)를 구동하여 기판 카세트(1)를 하강시키고, 반출 예정의 유리 기판(4)의 하면 양측 가장자리부(4a, 4b)를 반송 롤러(24)에 놓는다(도 13).
송풍기에서부터 관로 및 커플러를 거쳐 핸드부(26)로 압축공기를 송기하면, 이 압축공기는 핸드부(26)의 상면(26A)에 개구된 분출공(27a)으로부터 위쪽을 향해 분사된다. 이에 의해, 반출 예정의 유리 기판(4)과 핸드부(26)의 상면(26A) 사이의 공기 부상층이 형성되기 때문에, 반송 롤러(24)에 지지된 하면 양측 가장자리부(4a, 4b)보다도 기판 중앙측의 부분(4c)은, 이 공기 부상층을 통해서 핸드부(26)에 비접촉으로 지지된다.
계속해서, 구동 모터를 구동해 반송 롤러(24)를 그 축 둘레로 회전시키면, 기판 카세트(1) 내에 수납되어 있던 반출 예정의 유리 기판(4)은, 도 14에 도시한 바와 같이, 그 하면 양측 가장자리부(4a, 4b)에 대한 반송 롤러(24)와의 접촉에 의해 생기는 마찰력에 의해, 반송 방향 전방(도 14의 흰 화살표방향)을 향하는 반송력을 부여받아 기판 카세트(1) 밖으로 반출된다. 이 때, 유리 기판(4)의 하면 양측 가장자리부(4a, 4b)는, 그에 구름접촉하고 있는 반송 롤러(24)에 의해 아래쪽으로부터 직접 지지되고 있는데, 반송 롤러(24)와 하면 양측 가장자리부(4a, 4b)와의 접촉 부분보다도 기판 중앙측의 부분(4c)은 핸드부(26)에 공급된 압축공기가 분출공(27a)으로부터 분사됨으로써 공기 부상층을 통해서 비접촉으로 지지되어 있다.
유리 기판(4)이 기판 카세트(1) 밖으로 완전히 반출되면, 송풍기로부터 핸드부(26)로의 송기를 차단함과 아울러, 도 15a 및 도 15b에 도시한 바와 같이, 롤러 왕복이동기구를 구동하여 반송 롤러(24) 및 핸드부(26)를 후퇴시켜 기판 카세트(1)로부터 빼낸다. 이상이 반출 동작 일례이다.
이상에서 설명한 바와 같이, 이 실시예에 의한 기판 보관 반송 장치에 의하면, 유리 기판(4)을 반출입하고자 하는 선반에 반송 롤러(24) 및 핸드부(26)를 출입시킬 수 있도록, 카세트 승강 기구(3)를 사용하여 기판 카세트(1)와 반송 롤러(24)의 높이 위치를 맞춘 후 반송 롤러(24)를 기판 카세트(1)의 안팍으로 수평 방향으로 출입시킴으로써, 다관절 로봇를 사용하지 않고도 기판 수납 피치가 좁은 기판 카세트(l)에 대해, 유리 기판(4)을 임의로 반출입할 수 있다.
게다가, 이 반출입 중에는, 계속하여 유리 기판(4)의 기판 중앙측의 부분(4c)을 핸들부(26)에서 공기 부상시켜 비접촉으로 지지하고 있기 때문에, 유리 기판(4)에의 접촉은 반송 롤러(24)가 삽입되는 하면 양측 가장자리부(4a, 4b)만이 된다. 또한, 유리 기판(4)이 반송 롤러(24)뿐만 아니라, 그것보다도 긴 핸드부(26)에 의해서도 비접촉으로 지지되기 때문에, 유리 기판(4)에 직접 접촉하는 반송 롤러(24)의 길이를 최대한 짧게 할 수도 있다.
따라서, 기판 오염의 극소화를 도모할 수 있다.
한편, 본 발명은 상기 실시예로 한정되는 것이 아니라, 그 요지를 일탈하지 않는 범위에서 여러 가지의 설계 변경이 가능하다.
예를 들면, 기판 반출입 수단은 반송 롤러(24)와 같은 콘베이어 장치를 대신 하여, 유리 기판(4)의 양측 가장자리부를 파지하는 클램프와 그 클램프를 기판 반송 방향으로 이동시키는 슬라이드 기구를 구비한 외부 구동 장치이어도 된다.
또한, 기판 카세트(1) 내의 각 선반을 탈착 가능한 카세트로 함으로써, 그것을 유리 기판(4)의 카세트 교환 장치로서 기능시키는 것도 가능하다.
〔추가 기술 사항〕
또한, 상술한 기판 보관 반송 장치를 사용한 기판 반입/반출 시스템에 대해서 도 16 내지 도 18을 참조하여 설명한다. 한편, 이하의 설명에서는 이미 설명한 구성 요소와 동일한 구성 요소에 관해서는 동일 부호를 부여하고 있다.
도 16은 본 기판 반입/반출 시스템의 시스템 구성도이다. 본 기판 반입/반출 시스템은 AGV 등의 기판 반송 장치와 유리 기판(4)에 소정의 프로세스 처리를 실시하는 프로세스 장치와의 사이에 배치되고, 기판 반송 장치에 의해 반송되어 온 기판 카세트(1)의 프로세스 장치로의 인도(기판 반입)와 프로세스 장치로부터 회수한 기판 카세트(1)의 기판 반송 장치로의 인도(기판 반출)를 행한다. 본 기판 반입/반출 시스템은 도 16에 도시한 바와 같이, 크레인(K), 선입 후출 장치(F1, F2)(기판 공급 장치), 기판 보관 반송 장치(H1, H2) 및 이송 장치(P)로 구성되어 있다. 이들 각 구성 요소 중, 선입 후출 장치(F1) 및 기판 보관 반송 장치(H1)는 기판 반입 경로상에 설치되고, 한편, 선입 후출 장치(F2) 및 기판 보관 반송 장치(H2)는 기판 반출 경로상에 설치되어 있다.
크레인(K)은 기판 반송 장치로부터 인수한 기판 카세트(1)를 선입 후출 장치(F1)에 공급함과 아울러, 선입 후출 장치(F2)로부터 회수한 기판 카세트(1)를 기판 반송 장치에 인도한다. 크레인(K)이 선입 후출 장치(F1)에 공급하는 기판 카세트(1)에는 프로세스 처리 전의 유리 기판(4)이 수납되고, 한편, 크레인(K)이 선입 후출 장치(F2)로부터 인수한 기판 카세트(1)에는 프로세스 처리 후의 유리 기판(4)이 수납되어 있다.
선입 후출 장치(F1)는 기판 카세트(1)에 수납된 복수의 유리 기판(4) 중, 나중에 수납한 것을 먼저 기판 보관 반송 장치(H1)로 배출한다. 이에 대해, 기판 보관 반송 장치(H1)는 이송 장치(P)로의 유리 기판(4)의 배출에 관한 랜덤 액세스 버퍼로서 기능하는 것으로서, 선입 후출 장치(F1)로부터 공급된 유리 기판(4)을 자신의 기판 카세트(1)에 순차적으로 수납함과 아울러, 상기 기판 카세트(1)에 수납된 복수의 유리 기판(4) 중, 이송 장치(P)의 요구에 따라 임의의 유리 기판(4)을 이송 장치(P)로 배출한다. 이송 장치(P)는 레일 위를 이동함으로써 유리 기판(4)을 이송하는 이송 장치로서, 기판 보관 반송 장치(H1)로부터 공급된 유리 기판(4)(처리 전)을 프로세스 장치에 이송함과 아울러, 프로세스 장치로부터 유리 기판(4)(처리 후)을 회수해 선입 후출 장치(F2)에 인도한다.
기판 보관 반송 장치(H2)는 선입 후출 장치(F2)로의 유리 기판(4)의 배출에 관한 랜덤 액세스 버퍼로서 기능하는 것이고, 이송 장치(P)로부터 공급된 유리 기판(4)(처리 후)을 자신의 기판 카세트(1)에 순차적으로 수납함과 아울러, 상기 기판 카세트(1)에 수납된 복수의 유리 기판(4) 중, 선입 후출 장치(F2)의 요구에 따른 임의의 유리 기판(4)을 선입 후출 장치(F2)로 배출한다. 선입 후출 장치(F2)는 기판 보관 반송 장치(H2)로부터 공급된 유리 기판(4)을 자신의 기판 카세트(1)에 순차적으로 수납한다.
도 17은 이와 같은 본 기판 반입/반출 시스템에서의 기판 반입 플로우를 도시한 설명도이다. 상단의 (i)부분에 도시한 바와 같이, 선입 후출 장치(F1)의 기판 카세트(1) 내에 수납된 복수의 유리 기판(4)은 나중에 수납된 것부터 먼저 취출되어 기판 보관 반송 장치(H1)의 기판 카세트(1)에 일시적으로 버퍼링(수납)된다. 그리고, 이송 장치(P) 또는 프로세스 장치의 요구에 따라 상기 기판 보관 반송 장치(H1)의 기판 카세트(1)에 수납된 임의의 유리 기판(4)이 이송 장치(P)를 통해서 프로세스 장치에 공급된다.
여기에서, 선입 후출 장치(F1)가 자신의 기판 카세트(1) 내의 전 유리 기판(4)을 기판 보관 반송 장치(H1)에 공급하는 것이 끝나면, 중간의 (ii)부분에 도시한 바와 같이, 선입 후출 장치(F1)의 빈 상태의 기판 카세트(1)는 크레인(K)에 의해 제거되어 유리 기판(4)이 수납된 기판 카세트(1)로 교환된다. 이 동안에, 기판 보관 반송 장치(H1)는 자신의 기판 카세트(1)에 버퍼링한 유리 기판(4)을 프로세스 장치로 계속하여 공급한다. 그리고, 하단 (iii)부분에 도시한 바와 같이, 크레인(K)에 의해 선입 후출 장치(F1)에 다음 기판 카세트(1)가 옮겨놓여지되면, 선입 후출 장치(F1)는 기판 보관 반송 장치(H1)로의 유리 기판(4)의 공급을 재개한다. 즉, 기판 보관 반송 장치(H1)가 존재함으로써, 선입 후출 장치(F1)로부터의 유리 기판(4)의 공급이 중단되더라도 프로세스 장치로의 유리 기판(4)의 공급은 끊김 없이 연속적으로 행해진다.
도 18은, 이와 같은 본 기판 반입/반출 시스템에서의 기판 반출 플로우를 도 시한 설명도이다. 먼저, 좌측의 기판 반출 플로우(1)에 대해서 설명한다. 기판 반출시에는 상단 (i)부분에 도시한 바와 같이, 처리 후의 유리 기판(4)이 프로세스 장치로부터 이송 장치(P)를 통해서 기판 보관 반송 장치(H2)의 기판 카세트(1) 내에 순차적으로 수납된다. 그리고, 기판 보관 반송 장치(H2)는 자신의 기판 카세트(1) 내의 유리 기판(4)을 선입 후출 장치(F2)에 순차적으로 공급한다.
여기에서, 선입 후출 장치(F2)의 기판 카세트(1)가 유리 기판(4)으로 가득 차게 되면, 하단 (ii)부분에 도시한 바와 같이, 상기 기판 카세트(1)는 크레인(K)에 의해 제거되고 빈 상태의 기판 카세트(1)로 교환되나, 이 교환 중에도 기판 보관 반송 장치(H2)는 프로세스 장치로부터 회수된 유리 기판(4)의 인수를 계속하여 행하기 때문에, 프로세스 장치로부터의 유리 기판(4)의 회수는 끊김 없이 연속적으로 행해진다.
계속해서, 우측의 기판 반출 플로우(2)에 대해서 설명한다.
프로세스 장치(예를 들면, 검사 장치)로부터 회수되어 기판 보관 반송 장치(H2)의 기판 카세트(1)에 수납되는 유리 기판(4)에는 양품과 불량품이 있다. 불량품은 프로세스 장치로부터 랜덤 타이밍으로 배출되기 때문에, 기판 보관 반송 장치(H2)의 기판 카세트(1)에는 양품과 불량품이 무질서하게 수납된다. 여기에서, 기판 보관 반송 장치(H2)는 임의의 유리 기판(4)을 배출할 수 있기 때문에, 상단 (i)부분에 도시한 바와 같이, 양품만을 선택하여 선입 후출 장치(F2)로 공급하고, 불량품에 대해서는 일시적으로 기판 보관 반송 장치(H2)에 보존한다. 그리고, (ii)부분에 도시한 바와 같이 양품의 배출이 완료되면, 불량품을 모아 선입 후출 장치(F2) 에 공급한다. 그리고, 하단 (iii)부분에 도시한 바와 같이, 선입 후출 장치(F2) 내의 기판 카세트(1)가 가득 차게 되어 크레인(K)에 의해 제거되고 빈 상태의 기판 카세트(1)로 교환되고 있는 사이, 기판 보관 반송 장치(H2)는 양품과 불량품의 수납을 계속한다.
이와 같은 기판 반입/반출 시스템에 의하면, 기판 보관 반송 장치(H1, H2)가 유리 기판(4)을 일시적으로 수납함과 아울러 수납한 유리 기판(4)을 임의로 배출하는 랜덤 액세스 버퍼로서 기능하기 때문에, 유리 기판(4)의 연속적인 반입 및 반출을 실현할 수 있는 동시에, 양품과 불량품을 분별해 배출할 수 있다.
한편, 필요에 따라 기판 보관 반송 장치(H1, H2)의 어느 한쪽만을 마련하여도 된다. 또한, 상기 기판 반입/반출 시스템에서는 기판 공급 장치로서 선입 후출 장치(F1, F2)를 사용했지만, 기판 공급 장치는 선입 후출 장치(F1, F2)로 한정되지 않는다. 기판 보관 반송 장치(H1, H2)와 동등한 것을 기판 공급 장치로 이용해도 된다.
다음으로, 본 발명의 다른 형태인 실시예를 도 19 내지 도 21의 도면을 참조하여 설명한다.
이 실시예에 의한 기판 보관 반송 장치는, 예를 들면 액정 표시 패널(LCD)이나 플라즈마 디스플레이 패널(PDP) 등에 사용되는 유리 기판과 같이 대형이며 박판 형태이고, 게다가, 오염 방지 등을 위해서 반송물의 양측 가장자리부를 지지하면서 반송하는 것이 요구되는 것의 반송에 이용하기 적합하고, 도 19 및 도 20에 도시한 바와 같이, 기판 카세트(101), 반송 롤러(기판 반출입 수단)(124)를 구비한 반송 롤러 유니트(102) 및 카세트 승강 기구(승강 기구)(103)를 구비하여 구성되어 있다.
기판 카세트(101)는 기판 반송 방향(도 19의 흰 화살표방향)의 앞쪽 및 뒤쪽이 유리 기판(104)의 반입구(111a) 및 반출구(111b)가 되는 상자 형상을 이루고 있고, 그 내부 공간에는, 유리 기판(104)을 수평자세로 반출입 및 수납하기 위한 선반이 상하 방향으로 다수 형성되어 있다.
각 선반을 구성하는 기판 지지부(112)는, 기판 반송 방향과 직교하는 방향(즉, 기판폭 방향)으로 수평으로 연장되는 평면에서 볼 때, 긴 판 형태로 형성되어 있고, 하나의 선반에 대해서 복수개(이 실시예에서는 5개)가 기판 반송 방향으로 소정의 간격을 두고 설치되어 있다.
이상의 구성에 의해, 기판 카세트(101)는 유리 기판(104)을 기판 지지부(112)에 수평자세로 유지하면서 상하 방향으로 다단 수납할 수 있게 되어 있다.
기판 지지부(112)의 내부에는, 그 상면(기판 지지면)(112A)에 개구된 분출공(114)이 형성되어 있다. 분출공(114)은 상면(112A)의 길이 방향(기판 반송 방향과 직교하는 방향)의 거의 전체 길이에 걸쳐 같은 간격으로 다수 형성되어 있음과 아울러, 이 길이 방향을 따라 1열의 분출공군이 기판 반송 방향 앞쪽 및 뒤쪽에 나란히 설치되어 있다.
기판 지지부(112) 중, 기판 반송 방향 중앙에 위치하는 기판 지지부(112a)의 양단에는 커플러(115)가 접속되어 있다. 이 커플러(115)는 기판 지지부(112)에 형성된 분출공(114)과 이들 분출공(114)에 관로를 통해서 압축 공기를 공급하는 송풍 기 또는 컴프레서(송기원)와의 연통을 가능하게 하는 것이다.
즉, 다수의 반송 롤러(124)를 구비한 반송 롤러 유니트(102)에는 상기 관로의 선단에 장착된 노즐(미도시)이 고정되어 있다. 그리고, 반송 롤러(124)를 기판 카세트(101) 안에 삽입하면, 그 삽입 동작에 따라 노즐이 커플러(115)의 일단측에 연결되어 송풍기로부터 각 기판 지지부(112)에 압축공기를 공급할 수 있게 된다.
또 반송 롤러(124)를 기판 카세트(101)의 밖으로 빼내면, 그 빼내는 동작에 따라 노즐이 커플러(115)로부터 이탈하여 송풍기로부터 각 기판 지지부(112)로의 송기가 차단된다.
각 커플러(115)에는 기판 반송 방향 앞쪽 및 뒤쪽을 향해 연장된 분배관(116)이 접속되어 있다. 이 분배관(116)은 커플러(115)가 접속된 기판 지지부(l12a) 이외의 기판 지지부(112)의 단부에 각각 연결되어 있고, 이들 기판 지지부(112)에도 송풍기로부터 공급된 압축공기를 분배할 수 있도록 되어 있다.
그리고, 송풍기를 구동하면, 관로, 노즐, 커플러(115) 및 분배관(1l6)을 거쳐 각 기판 지지부(112)에 공급된 압축공기가 분출공(1l4)을 통해 윗쪽을 향해 분사되기 때문에, 기판 카세트(101) 내에 반출입되는 유리 기판(104)의 하면 중앙부(104c)는 비접촉으로 지지된다.
기판 카세트(101)는 유리 기판(104)을 기판 카세트(101) 내의 임의의 선반에 반입하거나 기판 카세트(101) 내의 임의의 선반으로부터 유리 기판(104)를 반출할 수 있도록, 상하 방향으로 정위치에 지지된 반송 롤러(124)에 대해, 상대적으로 승강 이동할 수 있게 되어 있다.
그러기 위해서 카세트 승강 기구(103)는 기판 카세트(101)의 바닥부(111c)를 지지하는 브래킷(131)과, 서보 구동에 의해 브래킷(131)을 상하 이동시키는 볼 나사와, 브래킷(131)의 상하 이동을 안내하는 가이드(l32)와, 기판 카세트(101)의 상하 방향의 위치 검색에 사용되는 센서를 구비하여 구성되어 있다.
반송 롤러 유니트(102)는 반송물인 유리 기판(104)의 폭 방향, 다시 말해 유리 기판의 반송 방향과 직교하는 방향으로 간격을 두고 대향 배치된 한 쌍의 베이스(121)를 구비하고, 각 베이스(121)에는 기판 반송 방향으로 간격을 두고 복수(이 실시예에서는 4개)의 콘베이어 프레임(122)이 고정되어 있다.
콘베이어 프레임(122)에는 베어링 등의 축 서포트(123)를 통해 반송 롤러(124)가 회전 가능하게 지지되어 있다.
이 반송 롤러(24)는 하나의 콘베이어 프레임(122)에 대해 복수개(이 실시예에서는 6개)가 기판 반송 방향으로 간격을 두고 나란히 설치되어 있다.
반송 롤러(124)의 기단에는 롤러 구동 기어(125)가 마련되어 있고, 구동 모터(미도시)로부터의 회전 구동력은 롤러 구동 기어(125)를 통해 반송 롤러(124)에 전달된다.
또한, 반송 롤러(124)의 기판 카세트(101) 내로의 출입은 각 콘베이어 프레임(122)을 일체로 고정하고 있는 베이스(121)를 수평 방향, 또한 기판 반송 방향과 직교하는 방향으로 전진 및 후퇴시키는 롤러 왕복이동기구(미도시)에 의해 실현된다.
다음으로, 이상과 같이 구성된 기판 보관 반송 장치에 있어서, 유리 기판 (104)을 기판 카세트(101)의 임의의 선반에 반입할 때의 순서의 일례에 대해서 설명한다.
우선, 카세트 승강 기구(l03)를 구동하여, 반송 롤러(124)의 전진 이동지에 유리 기판(104)을 반입하고자 하는 선반(이하, 반입 예정단)이 위치하도록, 기판 카세트(101)를 승강시킨다. 이 때, 반입 예정단에 대응하는 기판 지지부(112)의 상면(112A)은 반송 롤러(124)보다 약간 낮게 위치하고 있다.
다음으로, 롤러 왕복이동기구를 구동하고 반송 롤러(124)를 전진시켜 기판 카세트(101) 내에 삽입한다. 이 때, 콘베이어 프레임(122)에 고정된 노즐은 반입 예정단에 대응하는 기판 지지부(112a)의 커플러(115)에 연결된다.
그리고, 송풍기로부터 관로, 노즐을 거쳐 커플러(115)로 압축공기를 공급하면, 이 압축공기는 기판 지지부(112a)와 분배관(116)을 지나 다른 기판 지지부(112)로 분배되고, 반입 예정단에 대응하는 각 기판 지지부(112)의 분출공(114)으로부터 위쪽을 향해 분사된다.
이에 의해, 반입된 유리 기판(104)과 기판 지지부(112)의 상면(112A)의 사이에 공기 부상층을 형성할 수 있게 되고, 반입된 유리 기판(104)의 하면 중앙부(104c), 즉, 반송 롤러(124)에 지지되는 하면 양측 가장자리부(104a, 104b)를 제외한 부분이 이 공기 부상층을 통해서 비접촉으로 지지된다.
계속해서, 구동 모터를 구동하고, 그 회전 구동력을 롤러 구동 기어(125)를 통하여 반송 롤러(124)에 전달하여 반송 롤러(124)를 그 축 둘레로 회전시킨다.
그러면, 기판 카세트(101)의 상류측으로 이송되어 온 유리 기판(104)은 그 하면 양측 가장자리부(104a, 104b)에 대한 반송 롤러(124)와의 접촉에 의해 생기는 마찰력에 의해, 반송 방향 전방을 향하는 반송력이 부여되어 기판 카세트(101) 내에 반입된다. 이 때, 유리 기판(104)의 하면 양측 가장자리부(104a, 104b)는 그에 구름접촉하고 있는 반송 롤러(124)에 의해 아래쪽으로부터 직접 지지되고 있다.
이에 대해, 반송 롤러(124)와 하면 양측 가장자리부(104a, 104b)와의 접촉 부분을 제외한 유리 기판(104)의 하면 중앙부(104c)는, 커플러(115)를 통해 기판 지지부(112)에 공급된 압축공기가 분출공(114)으로부터 분사됨으로써 반송 롤러(124)의 정점부와, 그것보다 약간 낮게 위치한 기판 지지부(112)의 상면(112A)의 단차에 생기는 틈에 형성된 공기 부상층을 통하여 비접촉으로 지지되어 있다.
이와 같이, 기판 카세트(101)로의 기판 반입 중에는 계속하여 유리 기판(104)의 하면 중앙부(104c)를 기판 지지부(112)로부터 부상시키고 있기 때문에, 유리 기판(104)으로의 접촉은 하면 양측 가장자리부(104a, 104b)에 대한 반송 롤러(124)만이 되어, 기판 오염의 극소화를 도모할 수 있다.
유리 기판(104)이 기판 카세트(101) 내에 반입되면 송풍기로부터 기판 지지부(112)로의 송기을 차단함과 아울러, 카세트 승강 기구(103)를 구동하고 기판 카세트(101)를 상승시켜 반입된 유리 기판(104)의 하면 중앙부(104c)를 기판 지지부(112)에 놓는다.
그리고, 유리 기판(104)이 반송 롤러(124)로부터 부상했을 때, 즉, 유리 기판(104)을 기판 지지부(112)에 완전히 놓았을 때, 롤러 왕복이동기구를 구동하여 반송 롤러(124)를 후퇴시키고 반송 롤러(124)를 기판 카세트(1O1)로부터 빼낸다. 이상으로, 반입은 종료한다.
다음으로, 기판 카세트(101) 내에 수납되어 있는 임의의 선반의 유리 기판(104)을 반출할 때의 순서의 일례에 대해서 설명한다.
우선, 카세트 승강 기구(103)를 구동하여 반송 롤러(124)의 전진 이동지에 반출하고자 하는 유리 기판(104)을 수납하고 있는 선반(이하, 반출 예정단)이 위치 하도록, 기판 카세트(101)를 승강시킨다. 이 때, 반출 예정단에 대응하는 기판 지지부(112)의 상면(112A)은 반송 롤러(124)보다 약간 높게 위치한다.
다음으로, 롤러 왕복이동기구를 구동하고 반송 롤러(124)를 전진시켜 기판 카세트(101) 내에 삽입한 후, 카세트 승강 기구(103)를 구동하고 기판 카세트(101)를 하강시켜 반출 예정의 유리 기판(104)의 하면 양측 가장자리부(104a, 104b)를 반송 롤러(124)에 놓는다.
이 때, 콘베이어 프레임(122)에 고정된 노즐은 반출 예정단에 대응하는 기판 지지부(112a)의 커플러(115)에 연결되어 있다. 따라서 송풍기로부터 관로, 노즐을 거쳐 커플러(115)로 압축공기를 공급하면, 이 압축공기는 기판 지지부(112a)와 분배관(116)을 통해 다른 기판 지지부(112)에 분배되어, 반출 예정단에 대응하는 각 기판 지지부(112)의 분출공(114)으로부터 위쪽을 향해 분사된다.
이에 의해, 반출 예정의 유리 기판(104)의 하면 중앙부(104c)는 기판 지지부(112)의 상면(112A)에서 부상하여 기판 지지부(112)에 비접촉으로 지지되게 된다.
계속해서, 구동 모터를 구동해 반송 롤러(124)를 그 축 둘레로 회전시키면, 기판 카세트(101) 내에 수납되어 있던 반출 예정의 유리 기판(104)은 그 하면 양측 가장자리부(104a, 104b)에 대한 반송 롤러(124)와의 접촉에 의해 생기는 마찰력에 의해, 반송 방향 전방을 향하는 반송력을 부여받아 기판 카세트(1O1) 밖으로 반출된다.
이 때, 유리 기판(104)의 하면 양측 가장자리부(104a, 104b)는 그에 구름접촉하고 있는 반송 롤러(124)에 의해 아래쪽에서 직접 지지되고 있지만, 그 접촉 부분을 제외한 유리 기판(104)의 하면 중앙부(104c)는 공기 부상층을 통하여 비접촉으로 지지되어 있다.
이와 같이, 기판 카세트(101)에서의 기판 반출 중에는 계속하여 유리 기판(104)의 하면 중앙부(104c)를 기판 지지부(112)로부터 부상시키고 있기 때문에, 유리 기판(104)에의 접촉은 하면 양측 가장자리부(104a, 104b)에 대한 반송 롤러(124)만이 되어 기판 오염의 극소화를 도모할 수 있다.
이상 설명한 바와 같이, 본 실시예에 의한 기판 보관 반송 장치에 의하면 유리 기판(104)을 반출입하고자 하는 선반에 반송 롤러(124)를 출입시킬 수 있도록, 카세트 승강 기구(103)를 사용해 기판 카세트(101)와 반송 롤러(124)의 높이 위치를 맞춘 후 반송 롤러(124)를 기판 카세트(10l) 내외로 수평 방향으로 출입시킴으로써, 다관절 로봇를 사용하지 않고도 기판 수납 피치가 좁은 기판 카세트(101)에 대해 유리 기판(104)을 임의로 반출입 할 수 있다.
게다가, 이 반출입 중에는 계속하여 유리 기판(104)의 하면 중앙부(104c)를 기판 지지부(112)로부터 공기 부상시켜 비접촉으로 지지하고 있기 때문에, 유리 기판(104)과의 접촉은 반송 롤러(124)가 삽입되는 하면 양측 가장자리부(104a, 104b) 만이 되어 기판 오염의 극소화를 도모할 수 있다.
또한, 반송 롤러(124)의 기판 카세트(101)로의 삽입 동작에 따라, 반출입하고자 하는 선반에 대응하는 기판 지지부(112)에 대해 확실하게 압축공기를 송기하여 유리 기판(104)의 비접촉 지지를 실현할 수 있음과 아울러, 이 반출입하고자 하는 단에 대응하는 기판 지지부(112)에만 압축공기를 송기할 수 있기 때문에, 장치 전체의 소형화도 실현할 수 있다.
한편, 본 발명은 상기 실시예에 한정되는 것이 아니라, 그 요지를 일탈하지 않는 범위에서 각종 설계 변경이 가능하다.
예를 들면, 기판 반출입 수단은 반송 롤러(124)와 같은 콘베이어 장치를 대신하여 유리 기판(104)의 양측 가장자리부를 파지하는 클램프와, 그 클램프를 기판 반송 방향으로 이동시키는 슬라이드 기구를 구비한 외부 구동 장치라도 된다.
또한, 커플러(115)는 하나의 단에 늘어서는 2이상의 기판 지지부(112)에 마련해도 된다. 이 경우에는, 커플러(115)의 사이즈와 각 기판 지지부(112)사이의 수평 방향 및 상하 방향의 피치에 따라, 커플러(115)를 적당한 간격을 두고 배치할 수 있다.
예를 들면, 도 21은 기판 지지부(112)에 대한 커플러(115)의 배치의 일례를 도시한 모식도이고, 이 도면에 도시한 바와 같이, 수평 방향 및 상하 방향으로 연장설치된 기판 지지부(112)에 대해 하나씩 걸러 커플러(115)를 배치해도 된다.
〔추가 기술 사항〕
또한, 상술한 기판 보관 반송 장치를 사용한 기판 반입/반출 시스템에 대해 서 도 22 내지 도 24를 참조하여 설명한다. 한편, 이하의 설명에서는 이미 설명한 구성 요소와 동일한 구성 요소에 대해서는 동일 부호를 부여하고 있다.
도 22는 본 기판 반입/반출 시스템의 시스템 구성도이다. 본 기판 반입/반출 시스템은 AGV 등의 기판 반송 장치와 유리 기판(104)에 소정의 프로세스 처리를 실시하는 프로세스 장치와의 사이에 배치되고, 기판 반송 장치에 의해 반송되어 온 기판 카세트(101)의 프로세스 장치로의 인도(기판 반입)와 프로세스 장치로부터 회수한 기판 카세트(101)의 기판 반송 장치로의 인도(기판 반출)를 행한다.
본 기판 반입/반출 시스템은 도 22에 도시한 바와 같이, 크레인(K2), 선입 후출 장치(F11, F12)(기판 공급 장치), 기판 보관 반송 장치(H11, H12) 및 이송 장치(P2)로 구성되어 있다. 이들 각 구성 요소 중, 선입 후출 장치(F11) 및 기판 보관 반송 장치(H11)는 기판 반입 경로상에 설치되는 한편, 선입 후출 장치(F12) 및 기판 보관 반송 장치(H12)는 기판 반출 경로상에 설치되어 있다.
크레인(K2)은 기판 반송 장치로부터 인수한 기판 카세트(101)를 선입 후출 장치(F11)에 공급함과 아울러, 선입 후출 장치(F12)부터 회수한 기판 카세트(101)를 기판 반송 장치에 인도한다. 크레인(K2)이 선입 후출 장치(F11)에 공급하는 기판 카세트(101)에는 프로세스 처리 전의 유리 기판(104)이 수납되고, 한편, 크레인(K2)이 선입 후출 장치(F12)로부터 인수한 기판 카세트(101)에는 프로세스 처리 후의 유리 기판(104)이 수납되어 있다.
선입 후출 장치(F11)는 기판 카세트(101)에 수납된 복수의 유리 기판(l04) 중, 나중에 수납된 것을 먼저 기판 보관 반송 장치(H11)로 내보낸다. 이에 대해, 기판 보관 반송 장치(H11)는 이송 장치(P2)로의 유리 기판(104)의 배출에 관한 랜덤 액세스 버퍼로서 기능하는 것으로, 선입 후출 장치(F11)로부터 공급된 유리 기판(104)을 자신의 기판 카세트(101)로 순차적으로 수납함과 아울러, 상기 기판 카세트(10l)에 수납된 복수의 유리 기판(104) 중, 이송 장치(P2)의 요구에 따른 임의의 유리 기판(104)을 이송 장치(P2)로 배출한다. 이송 장치(P2)는, 레일 위를 이동함으로써 유리 기판(104)을 이송하는 이송 장치로서, 기판 보관 반송 장치(H11)로부터 공급된 유리 기판(104)을 프로세스 장치에 이송함과 아울러, 프로세스 장치로부터 유리 기판(104)(처리 후)을 회수하여 선입 후출 장치(F12)로 인도한다.
기판 보관 반송 장치(H12)는 선입 후출 장치(F12)로의 유리 기판(104)의 배출에 관한 랜덤 액세스 버퍼로서 기능하는 것이며, 이송 장치(P2)로부터 공급된 유리 기판(104)(처리 후)을 자신의 기판 카세트(101)에 순차적으로 수납함과 아울러, 상기 기판 카세트(101)에 수납된 복수의 유리 기판(104) 중, 선입 후출 장치(F12)의 요구에 따른 임의의 유리 기판(104)를 선입 후출 장치(F12)로 배출한다. 선입 후출 장치(F12)는 기판 보관 반송 장치(H12)로부터 공급된 유리 기판(104)을 자신의 기판 카세트(101)에 순차적으로 수납한다.
도 23은 이와 같은 본 기판 반입/반출 시스템에서의 기판 반입 플로우를 도시한 설명도이다. 상단 (i)부분에 도시한 바와 같이, 선입 후출 장치(F11)의 기판 카세트(101) 내에 수납된 복수의 유리 기판(104)은, 나중에 수납된 것부터 먼저 취출되어 기판 보관 반송 장치(H11)의 기판 카세트(101)에 일시적으로 버퍼링(수납)된다. 그리고, 이송 장치(P2) 또는 프로세스 장치의 요구에 따라 상기 기판 보관 반송 장치(H11)의 기판 카세트(l01)에 수납된 임의의 유리 기판(104)이 이송 장치(P2)를 통하여 프로세스 장치에 공급된다.
여기에서, 선입 후출 장치(F11)가 자신의 기판 카세트(10l) 내의 전체 유리 기판(104)을 기판 보관 반송 장치(H11)에 공급하는 것이 끝나면, (ii)부분에 도시한 바와 같이, 선입 후출 장치(F11)의 빈 상태의 기판 카세트(101)는 크레인(K2)에 의해 제거되어 유리 기판(104)이 수납된 기판 카세트(101)로 교환되나, 교환 중에도, 기판 보관 반송 장치(H11)는 자신의 기판 카세트(101)에 버퍼링한 유리 기판(104)을 프로세스 장치에 계속해서 공급한다. 그리고, 하단 (iii)부분에 도시한 바와 같이, 크레인(K2)에 의해 선입 후출 장치(F11)에 다음 기판 카세트(101)가 옮겨놓여지면 선입 후출 장치(F11)는 기판 보관 반송 장치(H11)로의 유리 기판(104)의 공급을 재개한다. 즉, 기판 보관 반송 장치(H11)가 존재함으로써, 선입 후출 장치(F11)로부터의 유리 기판(104)의 공급이 중단되어도 프로세스 장치로의 유리 기판(104)의 공급은 끊김 없이 연속적으로 행해진다.
도 24는 이와 같은 본 기판 반입/반출 시스템에서의 기판 반출 플로우를 도시한 설명도이다. 먼저 좌측의 기판 반출 플로우(1)에 대해서 설명하면, 기판 반출시에 있어서는, 상단 (i)부분에 도시한 바와 같이, 처리 후의 유리 기판(104)이 프로세스 장치로부터 이송 장치(P2)를 통하여 기판 보관 반송 장치(H12)의 기판 카세트(101) 내에 순차적으로 수납된다. 그리고 기판 보관 반송 장치(H12)는 자신의 기판 카세트(101) 내의 유리 기판(104)을 선입 후출 장치(F12)에 순차적으로 공급한다.
여기에서, 선입 후출 장치(F12)의 기판 카세트(101)가 유리 기판(104)으로 가득 차면, 하단 (ii)부분에 도시한 바와 같이, 상기 기판 카세트(101)는 크레인(K2)에 의해 제거되어 빈 상태의 기판 카세트(101)로 교환되나, 교환 중에도 기판 보관 반송 장치(H12)는 프로세스 장치로부터 회수된 유리 기판(104)의 인수를 계속하여 행하기 때문에, 프로세스 장치로부터의 유리 기판(104)의 회수는 끊김 없이 연속적으로 행해진다.
계속해서, 우측의 기판 반출 플로우(2)에 대해서 설명한다.
프로세스 장치(예를 들면 검사 장치)로부터 회수되어 기판 보관 반송 장치(H12)의 기판 카세트(101)에 수납되는 유리 기판(104)에는 양품과 불량품이 있다. 불량품은 프로세스 장치로부터 랜덤 타이밍으로 배출되기 때문에, 기판 보관 반송 장치(H12)의 기판 카세트(101)에는 양품과 불량품이 무질서하게 수납된다. 여기서, 기판 보관 반송 장치(H12)는 임의의 유리 기판(104)을 내보낼 수 있기 때문에, 상단 (i)부분에 도시한 바와 같이 양품만을 선택해 선입 후출 장치(F12)에 공급하고, 불량품에 관해서는 일시적으로 보존한다. 그리고, (ii)부분에 도시한 바와 같이, 양품의 배출이 완료되면 불량품을 모아 선입 후출 장치(F12)에 공급한다. 그리고, 선입 후출 장치(F12) 내의 기판 카세트(101)가 가득 차서 교환되고 있는 사이, 하단 (iii)부분에 도시한 바와 같이, 기판 보관 반송 장치(H12)는 양품과 불량품의 수납을 계속한다.
이와 같은 기판 반입/반출 시스템에 의하면, 기판 보관 반송 장치(H11, H12)가 유리 기판(104)을 일시적으로 수납함과 아울러 수납한 유리 기판(104)을 임의로 배출하는 랜덤 액세스 버퍼로서 기능하기 때문에, 유리 기판(104)의 연속적인 반입 및 반출을 실현할 수 있음과 아울러, 양품과 불량품을 분별해 배출할 수 있다.
한편, 필요에 따라 기판 보관 반송 장치(H11, H12) 중 어느 하나만을 마련하여도 된다. 또한, 상기 기판 반입/반출 시스템에서는 기판 공급 장치로서 선입 후출 장치(F11, F12)를 사용했지만, 기판 공급 장치는 선입 후출 장치(F11, F12)에 한정되지 않는다. 기판 보관 반송 장치(H11, H12)와 동등한 것을 기판 공급 장치로서 사용해도 된다.
이상, 본 발명의 바람직한 실시예를 설명했으나, 본 발명은 이들 실시예로 한정되는 것은 아니다. 본 발명의 취지를 일탈하지 않는 범위에서, 구성의 부가, 생략, 치환 및 그 밖의 변경이 가능하다. 본 발명은 상기 설명에 의해 한정되는 일없이, 청구범위의 범위에 의해서만 한정된다.
본 발명에 의하면, 기판을 반출입하고자 하는 선반에 기판 반출입 수단을 출입시킬 수 있도록 승강 기구를 사용하여 기판 카세트와 기판 반출입 수단의 높이 위치를 맞춘 후, 기판 반출입 수단을 기판 카세트 내외로 수평 방향으로 출입시킴으로써 다관절 로봇를 사용하지 않고도, 기판 수납 피치가 좁은 기판 카세트에 대해 기판을 임의로 반출입할 수 있다.
또한, 반출입시 기판에의 접촉은 반송 롤러에 의해 직접 지지되는 하면 양측 가장자리부뿐이기 때문에, 기판 오염을 저감할 수 있다. 특히, 기판이 반송 롤러 뿐만 아니라 그것보다도 긴 핸드부에 의해서도 비접촉으로 지지되기 때문에, 기판 에 직접 접촉하는 반송 롤러의 길이를 최대한 짧게 할 수 있어 기판 오염의 극소화를 도모할 수 있다.
게다가, 이 반출입 중에는 계속하여 기판의 하면 중앙부를, 예를 들면, 기판 지지부로부터 공기 부상시키거나 하여 비접촉으로 지지할 수도 있기 때문에, 기판에의 접촉은 기판 반출입 수단이 삽입되는 하면 양측 가장자리부만이 되어 기판 오염의 극소화를 도모할 수 있다.
또한, 기판 반출입 수단이 기판 카세트에 삽입되는 동작에 따라, 기판을 반출입하고자 하는 선반에 대응하는 기판 지지부에 대해 확실하게 압축 공기를 송기하여 기판의 비접촉 지지를 실현할 수 있으며, 반출입하고자 하는 단에 대응하는 기판 지지부로만 압축 공기를 송기할 수 있기 때문에, 장치 전체의 소형화도 실현할 수 있다.

Claims (14)

  1. 복수의 기판(4)이 수평자세로 반출입되어 상하 방향으로 다단 수납되는 기판 카세트(1)에 대해, 상기 기판(4)이 반송되는 진퇴 방향과 직교하는 방향으로의 왕복이동에 의해 출입되는 반송 롤러 유니트(2)를 구비하고,
    상기 반송 롤러 유니트(2)는,
    상기 기판(4)의 하면 양측 가장자리부(4a, 4b)에 직접 접촉하여 그 기판(4)의 하면 양측 가장자리부(4a, 4b)를 각각 지지할 수 있는 복수 쌍의 반송 롤러(24)와,
    상기 기판(4)을 비접촉으로 지지할 수 있는 핸드부(26)를 구비하는 기판 반송 장치.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 핸드부(26)는 상기 반송 롤러(24)보다도 상기 기판(4)이 반송되는 진퇴 방향과 직교하는 방향으로 긴 기판 반송 장치.
  3. 제 2항에 있어서,
    상기 핸드부(26)의 기판 지지면(26A)에는 송기원으로부터 송기 가능한 분출공(27a)이 개구되어 있는 기판 반송 장치.
  4. 복수의 기판(4)이 수평자세로 반출입되어 상하 방향으로 다단 수납된 기판 카세트(1)와,
    제 1항에 기재된 반송 롤러 유니트(2)와,
    상기 기판 카세트(1)를 상기 반송 롤러 유니트(2)에 대해 상대적으로 승강 이동시키는 승강 기구(3)를 구비하는 기판 보관 반송 장치(H1, H2).
  5. 기판(4)의 반입 경로상에 설치된 제 4항에 기재된 기판 보관 반송 장치(H1)와,
    상기 기판(4)의 반입 경로상에서 상기 기판 보관 반송 장치(H1)의 상류에 설치되고, 상기 기판 보관 반송 장치(H1)에 외부로부터 공급된 기판 카세트(1) 내의 기판(4)을 공급하는 기판 공급 장치(F1)와,
    상기 기판(4)의 반입 경로상의 상기 기판 보관 반송 장치(H1)로부터 배출된 기판(4)을 프로세스 장치에 공급하는 이송 장치(P)를 구비하는 기판 반입 시스템.
  6. 기판(4)의 반출 경로상에 설치된 제 4항에 기재된 기판 보관 반송 장치(H2)와,
    상기 기판(4)의 반출 경로상에서 상기 기판 보관 반송 장치(H2)의 하류에 설치되고, 상기 기판 보관 반송 장치(H2)로부터 공급된 기판(4)을 기판 카세트(1) 내에 수납하는 기판 공급 장치(F2)와,
    프로세스 장치부터 배출된 기판(4)을 상기 기판 보관 반송 장치(H2)에 공급하는 이송 장치를 구비하는 기판 반출 시스템.
  7. 기판(4)의 반입 경로상 및 반출 경로상에 각각 설치된 제 4항에 기재된 기판 보관 반송 장치(H1, H2)와,
    상기 기판(4)의 반입 경로상에서 상기 기판 보관 반송 장치(H1)의 상류에 설치되고, 상기 기판 보관 반송 장치(H1)에 외부로부터 공급된 기판 카세트(1) 내의 기판(4)을 공급하는 제1 기판 공급 장치(F1)와,
    상기 기판(4)의 반출 경로상에서 상기 기판 보관 반송 장치(H2)의 하류에 설치되고, 상기 기판 보관 반송 장치(H2)로부터 공급된 기판(4)을 기판 카세트(1) 내에 수납하는 제2 기판 공급 장치(F2)와,
    상기 기판(4)의 반입 경로상의 상기 기판 보관 반송 장치(H1)로부터 배출된 기판(4)을 프로세스 장치에 공급함과 아울러, 프로세스 장치부터 배출된 기판(4)을, 상기 기판(4)의 반출 경로상의 상기 기판 보관 반송 장치(H2)에 공급하는 이송 장치(P)를 구비하는 기판 반입/반출 시스템.
  8. 복수의 기판(104)이 수평자세로 반출입되어 상하 방향으로 다단 수납되는 기판 카세트(101)에 있어서,
    상기 기판(104)의 반출입시에 상기 기판(104)의 하면 중앙부(104a)를 비접촉으로 지지하며, 상기 기판(104)의 반출입시 이외에는 상기 기판(104)의 하면 전체에 접촉하여 그 기판(104)을 지지하는 기판 지지부(112)를 구비하는 기판 카세트(101).
  9. 제 8항에 있어서,
    상기 기판 지지부(112)의 기판 지지면(112a)에는, 송기원으로부터 송기 가능 한 분출공(114)이 개구되어 있는 기판 카세트(101).
  10. 제 8항에 기재된 기판 카세트(101)와,
    상기 기판(104)이 반송되는 진퇴 방향과 직교하는 방향으로 왕복이동하여 상기 기판 카세트(101)에 출입되는 기판 반출입 수단(124)과,
    상기 기판 카세트(101)를 상기 기판 반출입 수단(124)에 대해 상대적으로 승강 이동시키는 승강 기구(103)를 구비하는 기판 보관 반송 장치(H11, H12).
  11. 제 10항에 있어서,
    상기 각 기판 지지부(112)는 상기 기판 반출입 수단(124)의 출입에 따라 탈착되어 상기 송기원으로부터 상기 분출공(114)으로의 송기를 단속(斷續)하는 커플러를 구비하는 기판 보관 반송 장치(H11, H12).
  12. 기판의 반입 경로상에 설치된 제 10항에 기재된 기판 보관 반송 장치(H11)와,
    상기 기판의 반입 경로상에서 상기 기판 보관 반송 장치(H11)의 상류에 설치되고 상기 기판 보관 반송 장치(H11)에 외부로부터 공급된 기판 카세트(101) 내의 기판(104)을 공급하는 기판 공급 장치(F11)와,
    상기 기판의 반입 경로상의 상기 기판 보관 반송 장치(H11)로부터 배출된 기판(104)을 프로세스 장치에 공급하는 이송 장치(P2)를 구비하는 기판 반입 시스템.
  13. 기판의 반출 경로상에 설치된 제 10항에 기재된 기판 보관 반송 장치(H12)와,
    상기 기판의 반출 경로상에서 상기 기판 보관 반송 장치(H12)의 하류에 설치되고 상기 기판 보관 반송 장치(H12)로부터 공급된 기판(104)을 기판 카세트(101) 내에 수납하는 기판 공급 장치(F12)와,
    프로세스 장치로부터 배출된 기판(104)을 상기 기판 보관 반송 장치(H12)에 공급하는 이송 장치(P2)를 구비하는 기판 반출 시스템.
  14. 기판의 반입 경로상 및 반출 경로상에 각각 설치된 제 10항에 기재된 기판 보관 반송 장치(H11, H12)와,
    상기 기판의 반입 경로상에서 상기 기판 보관 반송 장치(H11)의 상류에 설치되고 상기 기판 보관 반송 장치(H11)에 외부로부터 공급된 기판 카세트(101) 내의 기판(104)을 공급하는 제1 기판 공급 장치(F11)와,
    상기 기판의 반출 경로상에서 상기 기판 보관 반송 장치(H12)의 하류에 설치되고 상기 기판 보관 반송 장치(H12)로부터 공급된 기판(104)을 기판 카세트 내(101)에 수납하는 제2 기판 공급 장치(F12)와,
    상기 기판의 반입 경로상의 상기 기판 보관 반송 장치(H11)로부터 배출된 기판(104)을 프로세스 장치에 공급함과 아울러 프로세스 장치로부터 배출된 기판(104)을, 상기 기판의 반출 경로상의 상기 기판 보관 반송 장치(H12)에 공급하는 이송 장치(P2)를 구비하는 기판 반입/반출 시스템.
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