KR20030045556A - 반도체 제조라인의 반송장치, 및 반송방법 - Google Patents

Abstract

본 발명은 복수개의 배이들; 상기 각각의 배이 내부에 배치된 반송로; 상기 반송로에 인접하여 배치되며, 상기 반송로로 반송된 피작업물을 받아 작업을 수행하고 다시 반송로로 되돌리는 복수개의 장비들; 및 상기 반송로로 반송된 피작업물을 받아 임시보관하고, 다른 배이 내에 배치된 소정의 장비로 이동하여 상기 피작업물을 반송하는 배이간 운반장치를 포함하는 반도체 제조 라인의 반송장치, 및 이를 이용한 반송방법에 관한 것으로,

상기 배이간 운반장치에 의해 반송을 행함으로써 반송경로를 단축시키고, 반송 대기시간을 단축시켜 제품의 수율을 증대시킬 수 있고, 또한 스토커의 고장등에 의한 피작업물의 대기 노출을 감소시킬 수 있어 제품의 품질 향상을 도모할 수 있다.

Description

반도체 제조라인의 반송장치, 및 반송방법{Conveyor device of semiconductor producing line, and Conveyor method using the same}

본 발명은 반도체 제조라인의 반송장치 및 반송방법에 관한 것으로, 보다 구체적으로 배이간 반송시간을 단축시키는 반송장치 및 반송방법에 관한 것이다.

일반적으로 반도체 제조라인에는 공정, 계측 및 제어 등의 다양한 용도를 갖는 장비들이 소정의 위치에 배치되어 있으며, 피작업물에 대한 작업 수행을 위해서 상기 장비들 사이에서 피작업물의 반송이 이루어지게 된다.

예전에는 한 장비에서 다른 장비로의 반송이 작업자의 수작업에 의해 행해졌으나, 대량생산 체제에 따라 최근에는 자동화된 반송시스템이 도입되게 되었다.

이하, 도면을 참조로 종래의 반송시스템을 설명한다.

도 1은 종래의 반도체 제조라인에서의 반송장치를 보여주는 평면도로서, 여러 종류의 장비(1)들은 동일한 기능을 수행하는 장비들끼리 하나의 군을 이루며 배이(bay)(10)라고 불리는 작은 방에 각각 배치되어 있다. 도 1에는 4개의 배이만이 도시되어 있으나, 반도체 장치의 제조라인에 따라 보다 많은 수의 배이가 배치될 수 있다.

상기 장비(1)들 사이에는 웨이퍼 카세트등과 같은 피작업물의 반송을 위한 반송로로서, 배이간 반송로(3)와 배이내 반송로(5)가 배치되어 있다. 상기 배이간 반송로(3)는 각각의 배이들 사이의 반송을 위한 것으로서 전체 반송장치의 중앙부에 폐쇄된 루프형으로 하나가 배치되어 있으며, 상기 배이내 반송로(5)는 배이내에서의 반송을 위한 것으로서 폐쇄된 루프형으로 배이의 수만큼 배치되어 있다.

또한, 각각의 제조장비에서 작업이 완료되어 반송된 피작업물을 오염등으로부터 보호하고, 또한 다른 배이로 반송하기까지 대기상태로 보관하기 위해 스토커(stocker)(7)가 배치되어 있다.

이와 같이 구성된 반도체 제조라인에서 있어서, 상기 배이(10) 내에 배치된장비(1)는 배이내 반송로(5)를 통해 반송되고 있는 피작업물을 받아서 소정의 작업을 완성한 후, 다시 배이내 반송로(5)로 피작업물을 되돌리고, 되돌려진 피작업물은 배이내의 스토커(7)에 저장된다. 그 후, 다른 배이로 피작업물을 반송하기 위해서는 스토커(7)에 보관되어 있는 피작업물을 배이간 반송로(3)를 경유하여 원하는 배이의 스토커로 이동시킨다.

즉, 제1 배이내에 제1 장비 및 제1 스토커가 배치되고, 제2 배이내에 제2 장비 및 제2 스토커가 배치된 반송장치하에서, 제1 장비에서 제2 장비로 피작업물의 반송은 제1 장비에서 배이내 반송로를 통해 제1 스토커로 피작업물을 반송하는 단계; 제1 스토커에서 배이간 반송로를 통해 제 2스토커로 피작업물을 반송하는 단계; 및 제2 스토커에서 제2 장비로 피작업물을 반송하는 단계로 이루어진다.

그러나, 이와 같이 스토커를 이용하여 배이간 반송을 하는 방법은 반송경로가 길어 반송시간이 지연되는 문제점이 있다.

또한, 반송경로가 길어짐에 따라 반송중 한 지점, 특히 스토커에 부하량이 많아져 피작업물을 수용할 수 없거나, 또는 스토커가 고장이 나는 경우는 반송을 원할히 수행할 수 없어 수율이 저하되는 문제점이 있다.

또한, 반송의 지연으로 피작업물이 대기에 노출되는 시간이 증가되어 제품이 오염될 수 있으며 품질이 저하될 수 있다.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 반송경로를 단축시킬 수 있는 반도체 제조라인의 반송장치 및 반송방법을제공하는 것이다.

본 발명의 다른 목적은 반송 대기시간을 단축시켜 제품의 수율 증대및 품질 향상을 도모할 수 있는 반도체 제조라인의 반송장치 및 반송방법을 제공하는 것이다.

도 1은 종래의 반도체 제조라인의 반송장치를 보여주는 평면도이다.

도 2는 본 발명에 따른 반도체 제조라인의 반송장치를 보여주는 평면도이다.

<도면의 주요부의 부호에 대한 설명>

1, 70 : 장비

3 : 배이간 반송로

5 : 배이내 반송로

7 : 스토커

10, 20, 30, 40, 50 : 배이

60 : 반송로

80 : 배이간 운반장치

본 발명은 상기 목적을 달성하기 위해서, 복수개의 배이들; 상기 각각의 배이 내부에 배치된 반송로; 상기 반송로에 인접하여 배치되며, 상기 반송로로 반송된 피작업물을 받아 작업을 수행하고 다시 반송로로 되돌리는 복수개의 장비들; 및 상기 반송로로 반송된 피작업물을 받아 임시보관하고, 다른 배이 내에 배치된 소정의 장비로 이동하여 상기 피작업물을 반송하는 배이간 운반장치를 포함하는 반도체 제조 라인의 반송장치, 및 이를 이용한 반송방법을 제공한다.

즉, 본 발명에 따른 반송장치는 배이와 배이사이를 이동하여 원하는 장비에 피작업물을 반송하는 배이간 운반장치를 포함하는 것을 그 구성의 특징으로 한다.

이와 같이, 본 발명은 배이간 운반장치를 이용하여 장비→ 배이간 운반장치→장비로의 단순화된 반송경로를 채택함으로써, 종래의 장비→스토커→배이간 반송로→스토커→장비로의 반송경로에 비해 반송시간이 단축되고, 스토커 고장등으로 인한 반송대기 시간도 절감할 수 있다.

이하, 도면을 참조로 본 발명의 바람직한 실시예를 설명한다.

도 2는 본 발명에 따른 반도체 제조라인의 반송장치를 보여주는 평면도로서, 본 발명에 따른 반도체 제조라인의 반송장치는 복수개의 배이(20, 30, 40, 50)들;상기 각각의 배이 내부에 배치된 반송로(60); 상기 반송로(60)에 인접하여 배치되며, 상기 반송로(60)로 반송된 피작업물을 받아 작업을 수행하고 다시 반송로(60)로 되돌리는 복수개의 장비(70)들; 및 상기 반송로(60)로 반송된 피작업물을 받아 임시보관하고, 다른 배이 내에 배치된 소정의 장비(70)로 이동하여 상기 피작업물을 반송하는 배이간 운반장치(80)를 포함하여 이루어진다.

도면에는 4개의 배이를 도시하고 있으나, 반도체 제조 라인에 따라 보다 적거나 또는 보다 많은 수의 배이가 배치될 수 있다.

상기 반송로(60)는 배이내의 반송로의 역할을 하는 것으로, 폐쇄된 루프형으로 형성되어 그 양쪽으로 배치된 장비(70)와 배이간 운반장치(80) 사이에 반송이 이루어진다.

상기 배이간 운반장치(80)는 각각의 배이내에 복수개로 배치되어, 하나의 배이간 운반장치가 고장이 나거나, 또는 풀(full)인 경우 다른 배이간 운반장치를 이용하여 반송이 가능하다. 이때, 후자의 배이간 운반장치는 피작업물을 임시로 보관하는 역할도 하게 됨으로 전자에 비해 그 부피를 크게 형성하는 것이 바람직하다.

또한, 상기 배이간 운반장치(80)에는 구동장치가 구비되어 있어, 배이간을 이동하여 피작업물의 반송을 행하게 되며, 반송을 완료한 후에는 다시 원위치로 이동하여 다음의 반송을 준비하게 된다.

이와 같이, 본 발명은 스토커와 배이간 반송로를 이용한 종래기술과 달리, 배이간 운반장치(80)를 이용하여 배이간의 반송을 행하는 것이다.

본 발명은 또한, 반도체 제조 라인에서 하나의 배이에 배치된 장비로부터 다른 배이에 배치된 장비로 피작업물을 반송하는 방법에 있어서, 작업을 완료한 장비로부터 반송요청을 받아 수용가능한 배이간 운반장치를 선택하는 단계; 상기 장비에서 배이내에 배치된 반송로를 경유하여 상기 선택된 배이간 운반장치로 피작업물을 반송하는 단계; 반송을 원하는 소정의 배이 내에 배치된 장비로 상기 배이간 운반장치가 이동하여 피작업물을 반송하는 단계; 및 반송완료 후 다시 배이간 운반장치가 원래의 위치로 이동하는 단계를 포함하는 반도체 제조 라인의 반송방법을 제공한다.

본 발명에 따른 반도체 제조 라인의 반송방법은 컴퓨터등을 이용한 자동화된 반송방법에 관한 것으로, 상기 각각의 단계는 모두 제어부에 의해 제어된다. 즉, 수용가능한 배이간 운반장치를 선택하거나, 배이간 운반장치를 소정의 장비까지 이동하여 반송하는 등의 모든 공정은 제어부의 제어장치에 의해 조절된다.

상기 반송로는 폐쇄된 루프형이고, 상기 배이간 운반장치는 각각의 배이내에 복수개 배치되어 있는 것이 바람직함은 전술한 바와 같다.

상기 장비에서 상기 배이간 운반장치로 피작업물을 반송하는 단계는 상기 반송로를 따라 움직이는 운반차에 의해 행해질 수 있다.

상기 구성에 의한 본 발명은 배이간 운반장치에 의해 반송을 행함으로써 반송경로를 단축시키고, 반송 대기시간을 단축시켜 제품의 수율을 증대시킬 수 있다.

또한, 스토커의 고장등에 의한 피작업물의 대기 노출을 감소시킬 수 있어 제품의 품질 향상을 도모할 수 있다.

Claims (6)

1. 복수개의 배이들;

   상기 각각의 배이 내부에 배치된 반송로;

   상기 반송로에 인접하여 배치되며, 상기 반송로로 반송된 피작업물을 받아 작업을 수행하고 다시 반송로로 되돌리는 복수개의 장비들; 및

   상기 반송로로 반송된 피작업물을 받아 임시보관하고, 다른 배이 내에 배치된 소정의 장비로 이동하여 상기 피작업물을 반송하는 배이간 운반장치를 포함하는 반도체 제조 라인의 반송장치.
2. 제 1항에 있어서,

   상기 반송로는 폐쇄된 루프형으로 배치된 것을 특징으로 하는 반도체 제조 라인의 반송장치.
3. 제 1항에 있어서,

   상기 배이간 운반장치는 각각의 배이 내에 복수개 배치된 것을 특징으로 하는 반도체 제조 라인의 반송장치.
4. 제 3항에 있어서,

   상기 복수개의 배이간 운반장치는 각각 그 부피가 상이한 것을 특징으로 하는 반도체 제조 라인의 반송장치.
5. 반도체 제조 라인에서 하나의 배이에 배치된 장비로부터 다른 배이에 배치된 장비로 피작업물을 반송하는 방법에 있어서,

   작업을 완료한 장비로부터 반송요청을 받아 수용가능한 배이간 운반장치를 선택하는 단계;

   상기 장비에서 배이내에 배치된 반송로를 경유하여 상기 선택된 배이간 운반장치로 피작업물을 반송하는 단계;

   반송을 원하는 소정의 배이 내에 배치된 장비로 상기 배이간 운반장치가 이동하여 피작업물을 반송하는 단계; 및

   반송완료 후 다시 배이간 운반장치가 원래의 위치로 이동하는 단계를 포함하는 반도체 제조 라인의 반송방법.
6. 제 5항에 있어서,

   상기 장비에서 상기 배이간 운반장치로 피작업물을 반송하는 단계는 상기 반송로를 따라 움직이는 운반차에 의해 행해지는 것을 특징으로 하는 반도체 제조 라인의 반송방법.