TWI445653B - Processing equipment and transport control method - Google Patents

Description

處理設備及搬送控制方法

本發明關於，在多數處理裝置間存在多數個基板等被搬送物之搬送路徑時，具備於彼等搬送路徑上搬送被搬送物之搬送手段的處理設備，及控制該處理設備之搬送手段的搬送控制裝置，及控制該處理設備之搬送手段的搬送控制方法。

習知技術，在多數處理裝置間存在多數個基板等被搬送物之分歧或合流之搬送路徑時，具備於彼等搬送路徑上搬送被搬送物之搬送手段，對該1個搬送手段可對應於多數被搬送物之處理設備存在。

作為具有此種分歧或合流之搬送路徑的處理設備通常為，具有在各樓層被設置有處理設備之建物內使各樓層間升降的升降機，在各處理裝置間依據每一收納匣進行被搬送物之搬送的處理設備。

另外，作為葉片式搬送之處理設備而對基板等被搬送物進行一片片搬送時，係如專利文獻1所揭示：具有在各樓層被設置有處理裝置之建物內使各樓層間升降的升降機，在各處理裝置間進行被搬送物之搬送的處理設備。

另外，如專利文獻2所揭示之多段構成之處理設備，其具備：具有升降功能的葉片式搬送車；及進行該葉片式搬送車與處理裝置間之被搬送物之受取的裝載口。於該處 理設備，可使處理裝置垂直並列而實現省空間之佈局。

另外，如專利文獻3所揭示之處理設備，其具備：可連續搬送的葉片式搬送帶；及設於該葉片式搬送帶與處理裝置間，可保管搬送物的保管架。

於此種處理設備，為實現效率良好之處理，關於哪一被搬送物需要被搬送至哪一處理裝置，需要適當進行搬送手段之控制。

習知搬送控制方法，係依據到達該搬送手段之順序，或依到達時刻、搬送時間、及等待時間等而被預約之順序，或依負荷狀況等而被事先排程之順序，使搬送手段進行被搬送物之搬送。

例如，專利文獻4所揭示之搬送裝置，係在經由多數搬送路徑可將被搬送物搬入加工處理裝置之設備中，藉由選擇短時間最佳稼動排程，使搬送鋼板之各設備之滯留成為最小限，而提升各處理設備之稼動效率的技術。該搬送裝置，係具有稼動排程裝置，可在設於各搬送路徑之搬送裝置之稼動排程之作成時，修正作成之排程之不適合之點之同時，作成多數排程，由多數排程之中選擇最適合之排程。

另外，專利文獻5揭示，在對被搬送物進行特定處理之多階段工程中，依據來自各工程之服務要求，進行特定服務之服務手段之排程技術。該技術構成為可以系統全體之處理效率為優先的排程。亦即，依據各個被搬送物，於累計等待時間算出部算出各工程中等待時間之累計，之 後，針對處於等待狀態之各服務要求，於容許等待時間算出部算出提出服務要求之工程中之處理時間與各個工程之處理時間之最大值之間之偏差。另外，例如對應於緊急度之補正值被輸入優先度補正值輸入部，於優先度算出部計算優先度，依據該優先度來選擇1個服務要求。

另外，專利文獻6揭示，依據被搬送物到達順序進行處理之先進先出方式為基本，解決工期不穩定所導致產出下降等問題的半導體工廠等之物流控制裝置。於該物流控制裝置，係以前段物流控制單位之處理終了時刻(現時刻)與基準時刻之差作為延遲時間予以算出，該基準時刻，係依據由理論工期與實際處理時間之比所算出之處理計畫時間被算出。之後，該該物流控制裝置，係以延遲時間最大之被製造物為優先處理，而使被製造物之工期或單位時間之產出達穩定。

另外，專利文獻7揭示，進行路徑選擇之同時，半製品、製品等之被搬送物流晶幾個工程之具有多數工程的物流控制方法。於該物流控制方法，係使用現在之各工程之處理中及等待之被搬送物數目之資訊與特定時間內可搬送至次一工程之被搬送物之資訊，依據對次一工程之搬送指令設定次一時刻之各工程中之材料數之預測用的狀態方程式。依據各工程之被搬送物數及控制指令相關評估函數設為最小之解，算出搬送指令值。針對該搬送指令值為正值、大於特定之值，而且被搬送物可以被搬送之物發出搬送指令，特別是，於路徑之分歧點或交流點，對搬送指令 值最大之物發出搬送指令。

專利文獻1：特開平07-022488號公報

專利文獻2：特許第4209572號公報

專利文獻3：特開2005-167083號公報

專利文獻4：特開平06-328112號公報

專利文獻5：特開2000-033542號公報

專利文獻6：特開平9-123041號公報

專利文獻7：特許第3400851號公報

但是，上述依據每一收納匣進行搬送的習知處理設備，在收納匣內被搬送物未被插入特定數之前無法進行搬送，存在待處理量增加、前置時間變長之問題。

另外，專利文獻1所揭示之使處理裝置垂直並列時，為進行葉片式搬送，升降機之搬送次數變多，升降動作次數或升降動作距離變長之問題存在。

專利文獻2所揭示之具備葉片式搬送車的多段構成之處理設備中，搬送能力受限於葉片式搬送車之能力，此為問題。另外，裝載口(load port)之空間成為必要，處理設備變為大型化之問題存在。

專利文獻3所揭示之具備葉片式搬送帶的處理設備中，於全部處理裝置之前需要保管架之空間，處理設備變為大型化之問題存在。

專利文獻4或專利文獻5所揭示之搬送控制方法，各被搬送物之搬送對象(處理順序)係事先依據排程被決定，即使被搬送物之搬送對象之負荷高的情況下，亦依據事先決定之般送順序被處理。因此，有可能發生被搬送物滯留之情況，難以縮短搬送控制全體之間歇時間。

專利文獻6或專利文獻7所揭示之搬送控制裝置或控制方法，特別是，在對被搬送物進行1個個搬送的葉片式搬送線上，運算處理所要之資料量成為龐大。無法縮短運算處理所要時間，因此，難以縮短處理裝置之間歇時間。另外，需要大型之運算處理裝置。

本發明目的在於提供，不會變為大型化，不會增大待處理量，前置時間不會變長，可以確保充分之搬送能力的處理設備。另外，本發明目的在於提供，被搬送物之搬送對象之負荷變高的情況下，亦可以縮短處理裝置全體之間歇時間，即使是所謂葉片式搬送線亦不會增大運算處理所要資料量，不需要大型運算處理裝置，運算處理所要時間亦不會變長的搬送控制裝置及搬送控制方法。

為解決上述問題，達成上述目的，本發明具有以下構成。

(構成1)

本發明之處理設備，係在多數處理裝置間存在多數個 被搬送物之搬送路徑，具有沿著上述搬送路徑進行被搬送物之搬送的多數搬送手段，多數被搬送物被對應於1個上述搬送手段者；其特徵為：具備：升降手段，其具有在上述多數搬送手段間升降被搬送物之功能；及控制手段，用於控制上述多數搬送手段；上述搬送手段，係以多段被配置，於上述處理裝置間進行上述被搬送物之搬送；上述升降手段，係具有緩衝部受取功能，可利用作為對上述處理裝置之投入前後之緩衝部；上述控制手段，係針對各時點之上述各被搬送物之待機時間、上述各被搬送物之搬送對象處理裝置之負荷狀態、及上述各被搬送物之搬送區域內全體之負荷狀態，各別進行特定之權值附加，使用上述權值附加來算出上述各被搬送物之搬送處理之優先度，依據該算出結果，來決定上述各被搬送物之其中任一被搬送物應被搬送至哪一處理裝置，依據該決定來控制上述搬送手段。

(構成2)

本發明之處理設備，係在具有構成1之處理設備中，進行連續處理之上述處理裝置係對應於同一段之上述搬送手段被並列配置，上述被搬送物係藉由同一段之上述搬送手段被搬送。

(構成3)

本發明之處理設備，係在具有構成1之處理設備中， 推斷為搬送量多的處理裝置係對應於同一段之搬送手段被並列配置，上述被搬送物係藉由同一段之上述搬送手段被搬送。

(構成4)

本發明之處理設備，係在具有構成1之處理設備中，針對上述各被搬送物之搬送源處理裝置之負荷狀態、及各搬送手段之負荷狀態，亦各別進行特定之權值附加。

(構成5)

本發明之處理設備，係在具有構成1或4之處理設備中，被登錄1個權值附加圖案，對應於搬送區域內之狀況來變動上述權值附加圖案內部之值，變動權值附加。

(構成6)

本發明之處理設備，係在具有構成1或4之處理設備中，被登錄多數個權值附加圖案，對應於搬送區域內之狀況來選擇1個權值附加圖案，依此而變動權值附加。

(構成7)

本發明之搬送控制方法，係在多數處理裝置間存在多數個被搬送物之搬送路徑，具有沿著上述搬送路徑進行被搬送物之搬送的多數搬送手段，多數被搬送物被對應於1個上述搬送手段的處理設備中，控制上述搬送手段者；其 特徵為：針對各時點之上述各被搬送物之待機時間、上述各被搬送物之搬送對象處理裝置之負荷狀態、及上述各被搬送物之搬送區域內全體之負荷狀態，各別進行特定之權值附加，使用上述權值附加來算出上述各被搬送物之搬送處理之優先度；依據該算出結果，來決定上述各被搬送物之其中任一被搬送物應被搬送至哪一處理裝置，依據該決定來控制上述搬送手段。

(構成8)

本發明之搬送控制方法，係在具有構成7之搬送控制方法中，針對上述各被搬送物之搬送源處理裝置之負荷狀態、及各搬送手段之負荷狀態，亦各別進行特定之權值附加。

(構成9)

本發明之搬送控制方法，係在具有構成7或8之搬送控制方法中，被登錄1個權值附加圖案，對應於搬送區域內之狀況來變動上述權值附加圖案內部之值，變動權值附加。

(構成10)

本發明之搬送控制方法，係在具有構成7或8之搬送控制方法中，被登錄多數個權值附加圖案，對應於搬送區域內之狀況來選擇1個權值附加圖案，而變動權值附加。

以下參照圖面說明本發明之實施形態。

(處理設備之第1實施形態)

圖1為本發明第1實施形態之處理設備之構成之側面圖。

本實施形態之處理設備，係如圖1所示，在多數處理裝置(製程裝置)101、102、103、104間存在多數個被搬送物之搬送路徑。另外，沿著該搬送路徑，設置進行基板(被搬送物)111之搬送的多數附加分岔功能的輸送帶(以下稱分岔輸送帶，FCV：搬送手段)107a、107b、107c、107d。於各分岔輸送帶107a、107b、107c、107d，被對應多數基板111。

於該處理設備，各處理裝置101、102、103、104及各分岔輸送帶107a、107b、107c、107d，係以多段設置。第1處理裝置101及第3處理裝置103係設置於上段，第2處理裝置102及第4處理裝置104係設置於下段。第1~第3分岔輸送帶107a、107b、107c係設置於上段，第4~第5分岔輸送帶107d、107e係設置於下段。

於該處理設備，基板111，係由工程外，經由搬入輸送帶106a，被搬送至第1分岔輸送帶107a。第1分岔輸送帶107a，可在和第1處理裝置101之間進行基板111之受取。於第1分岔輸送帶107a與第2、第4分岔輸送帶 107b、107d之間，設置附加第1縱搬送功能的輸送帶(以下稱縱搬送輸送帶，縱CV．升降機：搬送手段)108。

第4分岔輸送帶107d，可在和第2處理裝置102之間進行基板111之受取。於第2、第4分岔輸送帶107b、107d與第3、第5分岔輸送帶107c、107e之間，設置第2縱搬送輸送帶109。

第3分岔輸送帶107c，可在和第3處理裝置103之間進行基板111之受取。第5分岔輸送帶107e，可在和第4處理裝置104之間進行基板111之受取。於第3、第5分岔輸送帶107c、107e與將基板111搬出工程外的搬出輸送帶106b之間，設置第3縱搬送輸送帶110。

於該處理設備，第1、第2縱搬送輸送帶108、109，係具有緩衝部受取功能，可作為對各處理裝置101、102、103、104之投入前後之緩衝部使用。亦即，由任一處理裝置被搬送至次一處理裝置之前的基板111，係暫時滯留在第1、第2縱搬送輸送帶108、109。

於該處理設備，較好是進行連續處理之處理裝置係對應於同一段之分岔輸送帶被並列配置，基板111藉由同一段之分岔輸送帶被搬送。藉由將處理裝置如此配置，可減少待處理量，可減少間歇時間。

另外，於該處理設備，較好是推斷為搬送量多的處理裝置，係對應於同一段之分岔輸送帶被並列配置，基板111係藉由同一段之分岔輸送帶被搬送。藉由將處理裝置如此配置，可減少待處理量，可減少間歇時間。

於該處理設備，由搬入輸送帶106a被搬入之基板111，係藉由各分岔輸送帶107a、107b、107c、107d及各縱搬送輸送帶108、109被搬送至任意之處理裝置101、102、103、104。另外，基板111，係由各處理裝置101、102、103、104被搬出。於各處理裝置101、102、103、104，於基板111被施予特定處理(檢測)，各縱搬送輸送帶108、109，必要時可進行升降動作(搬送路徑之分歧)，將基板111搬送至同一段或他段之分岔輸送帶。

(處理設備之第2實施形態)

圖2為本發明第2實施形態之處理設備之構成之側面圖。

本實施形態之處理設備，係如圖2所示，基板111之搬入口與搬出口被配置於同一側。亦即，於該處理設備，第1~第3處理裝置101、102、103係設置於上段，第4~第6處理裝置104、115、116係設置於下段。第1~第3分岔輸送帶107a、107b、107c係設置於上段，第4~第6分岔輸送帶107d、107e、107f係設置於下段。

於該處理設備，基板111，係由工程外，被搬入第1分岔輸送帶107a。另外，基板111，係由第6分岔輸送帶107f被搬出工程外。

第1分岔輸送帶107a，可在和第1處理裝置101之間進行基板111之受取。第2分岔輸送帶107b，可在和第2處理裝置102之間進行基板111之受取。第3分岔輸送帶 107c，可在和第3處理裝置103之間進行基板111之受取。第4分岔輸送帶107d，可在和第4處理裝置104之間進行基板111之受取。第5分岔輸送帶107e，可在和第5處理裝置115之間進行基板111之受取。第6分岔輸送帶107f，可在和第6處理裝置116之間進行基板111之受取。

於第1、第6分岔輸送帶107a、107f與第2、第5分岔輸送帶107b、107e之間，設置第1縱搬送輸送帶108。

於第2、第5分岔輸送帶107b、107e與第3、第4分岔輸送帶107c、107d之間，設置第2縱搬送輸送帶109。另外，於第3、第4分岔輸送帶107c、107d之端部，設置第3縱搬送輸送帶110。

於該處理設備，第1~第3縱搬送輸送帶108、109、110，係具有緩衝部受取功能，可作為對各處理裝置101、102、103、104、115、116之投入前後之緩衝部使用。

於該處理設備，較好是進行連續處理之處理裝置係對應於同一段之分岔輸送帶被並列配置，基板111藉由同一段之分岔輸送帶被搬送。藉由將處理裝置如此配置，可減少待處理量，可減少間歇時間。

另外，於該處理設備，較好是推斷為搬送量多的處理裝置，係對應於同一段之分岔輸送帶被並列配置，基板111係藉由同一段之分岔輸送帶被搬送。藉由將處理裝置如此配置，可減少待處理量，可減少間歇時間。

於該處理設備，被搬入至第1分岔輸送帶107a之基 板111，係藉由各分岔輸送帶107a、107b、107c、107d、107e、107f及各縱搬送輸送帶108、109、110被搬送至任意之處理裝置101、102、103、104、115、116。另外，基板111，係由各處理裝置101、102、103、104、115、116被搬出。於各處理裝置101、102、103、104、115、116，於基板111被施予特定處理(檢測)，各縱搬送輸送帶108、109、110，必要時可進行升降動作(搬送路徑之分歧)，將基板111搬送至同一段或他段之分岔輸送帶。

(處理設備之第3實施形態)

圖3為本發明第3實施形態之處理設備之構成之側面圖。

本實施形態之處理設備，係如圖3所示，處理裝置及分岔輸送帶被以3段配置。亦即，於該處理設備，第1~第2處理裝置101、102係設置於上段，第3~第4處理裝置103、104係設置於中段，第5~第6處理裝置115、116係設置於下段。第1~第3分岔輸送帶107a、107b、107c係設置於上段，第4~第6分岔輸送帶107d、107e、107f係設置於中段，第7~第9分岔輸送帶107g、107h、107i係設置於下段。

於該處理設備，基板111，係由工程外，被搬入第1分岔輸送帶107a。另外，基板111，係由第4或第7分岔輸送帶107d、107g被搬出工程外。

第1分岔輸送帶107a，可在和第1處理裝置101之間 進行基板111之受取。第2分岔輸送帶107b，可在和第2處理裝置102之間進行基板111之受取。第4分岔輸送帶107d，可在和第4處理裝置104之間進行基板111之受取。第6分岔輸送帶107f，可在和第3處理裝置103之間進行基板111之受取。第8分岔輸送帶107h，可在和第5處理裝置115之間進行基板111之受取。第9分岔輸送帶107i，可在和第6處理裝置116之間進行基板111之受取。

於第1、第4、第7分岔輸送帶107a、107d、107g與第2、第5、第8分岔輸送帶107b、107e、107h之間，設置第1縱搬送輸送帶108。

於第2、第5、第8分岔輸送帶107b、107e、107h與第3、第6、第9分岔輸送帶107c、107f、107i之間，設置第2縱搬送輸送帶109。另外，於第3、第6、第9分岔輸送帶107c、107f、107i之端部，設置第3縱搬送輸送帶110。另外，於第1、第4、第7分岔輸送帶107a、107d、107g之端部(搬入口及搬出口)，設置搬出入縱搬送輸送帶112。

於該處理設備，第1~第3縱搬送輸送帶108、109、110，係具有緩衝部受取功能，可作為對各處理裝置101、102、103、104、115、116之投入前後之緩衝部使用。

於該處理設備，較好是進行連續處理之處理裝置係對應於同一段之分岔輸送帶被並列配置，基板111藉由同一段之分岔輸送帶被搬送。藉由將處理裝置如此配置，可減 少待處理量，可減少間歇時間。

另外，於該處理設備，較好是推斷為搬送量多的處理裝置，係對應於同一段之分岔輸送帶被並列配置，基板111係藉由同一段之分岔輸送帶被搬送。藉由將處理裝置如此配置，可減少待處理量，可減少間歇時間。

於該處理設備，被搬入至第1分岔輸送帶107a之基板111，係藉由各分岔輸送帶107a、107b、107c、107d、107e、107f、107g、107h、107i及各縱搬送輸送帶108、109、110被搬送至任意之處理裝置101、102、103、104、115、116。另外，基板111，係由各處理裝置101、102、103、104、115、116被搬出。於各處理裝置101、102、103、104、115、116，於基板111被施予特定處理(檢測)。各縱搬送輸送帶108、109、110，可依搬送路徑之分歧等之必要時進行升降動作，將基板111搬送至同一段或他段之分岔輸送帶。

(搬送控制方法之實施形態)

圖4為實施本發明之搬送控制方法的處理設備之構成之方塊圖。

本實施形態之搬送控制方法，係如圖4所示，在多數處理裝置101、102、103、104間存在多數個被搬送物之搬送路徑，具有沿著該搬送路徑進行被搬送物之搬送的多數搬送手段，1個搬送手段被對應於多數被搬送物的處理設備(例如上述第1~第3實施形態之處理設備)中，控 制搬送手段的搬送控制方法。

於該處理設備，係依據由上位系統取得之處理裝置101、102、103、104(製程A、製程B、製程C、製程D)間之搬送資訊，使線內之被搬送物(例如FPD或半導體使用之玻璃基板等)於處理裝置101、102、103、104依序被搬送。本實施形態之搬送控制方法，可改善該處理設備中之搬送效率。

於該處理設備，被投入出入口105的被搬送物，係於各處理裝置101、102、103、104依序被搬送，被施予特定處理，再度回至出入口105。但是，於該處理設備，被搬送物，係對應於各處理裝置中之處理結果(例如檢測結果)，可以變更次一被搬送之處理裝置(工程)。另外，於該處理設備，被搬送物亦有可能於同一處理裝置(例如檢測裝置)被多數次搬送，因此，於各處理裝置間之搬送路徑存在多數分歧或合流。

本實施形態之搬送控制方法，特別是適用於將被搬送物一片片搬送的葉片式搬送線。於葉片式搬送線，同時被搬送控制之被搬送物之數量龐大，因此，依據習知搬送控制方法極為難以控制。

(搬送控制裝置之構成)

圖5為本發明之搬送控制裝置適用的處理設備之構成，(a)為平面圖，(b)為側面圖。

本實施形態之搬送控制裝置適用的處理設備，係如圖 5(a)所示，被搬送物係由成為出入口105的裝載口A~E被投入，被搬送物係藉由輸送帶(搬送手段)106、107被搬送於多數處理裝置101、102、103、104間。

輸送帶107，係如圖5(b)所示，由分岔輸送帶(FCV)107，縱搬送輸送帶(縱CV)108、109、110構成。分岔輸送帶107係將被搬送物搬送於水平之同時，在和處理裝置101、102、103、104之間進行被搬送物之受取。縱搬送輸送帶(縱CV)108、109、110，係具有緩衝部受取功能。

於該處理設備，製程A之處理裝置101與製程D之處理裝置104係以上下疊載方式被配置，製程B之處理裝置102與製程C之處理裝置103係以上下疊載方式被配置。於線之始端、而且為終端，與處理裝置101及處理裝置104與處理裝置102及處理裝置103之各個之間，設置縱搬送輸送帶108、109、110。由任一處理裝置被搬送至次一處理裝置之間的被搬送物會暫時滯留於彼等縱搬送輸送帶108、109、110。

於該處理設備，係藉由本實施形態之搬送控制裝置進行輸送帶106、107之控制，使各被搬送物被搬送至各處理裝置101、102、103、104及各縱搬送輸送帶108、109、110之任意場所，於各處理裝置101、102、103、104對各被搬送物進行特定處理(檢測)。

圖6為本發明之搬送控制裝置之構成之方塊圖。

本實施形態之搬送控制裝置，係如圖6所示，具有控 制手段1，用於控制搬送手段106、107。控制手段1，係具有工程管理部2用於由上位系統201接收製程間之搬送資訊。該工程管理部2，係作成被搬送物之搬送區域內之處理裝置間之搬送指示資訊，儲存於搬送指示部3。儲存於搬送指示部3之搬送指示資訊，係由指示管理部4被讀出傳送至設備管理部5。

另外，由各搬送手段106、107被傳送出動作結果資訊及機器狀態資訊(追蹤資料)，經由設備管理部5被儲存於設備狀態部(追蹤資料DB)6。儲存於設備狀態部6的動作結果資訊及機器狀態資訊，係由指示管理部4被讀出作為搬送指示資訊之產生之用。

設備管理部5，係依據接收之搬送指示資訊，產生控制各搬送手段106、107的動作指示資訊，傳送至各搬送手段106、107。各搬送手段106、107則依據動作指示資訊被控制進行動作。

於該搬送控制裝置，指示管理部4，在搬送指示資訊之產生時係算出被搬送物之處理優先度，進行多數被搬送物之其中任一被搬送物應被搬送至其中任一處理裝置之最適化處理。

於該最適化處理，算出被搬送物之處理優先度時，係由各搬送手段106、107之動作結果資訊及機器狀態資訊抽出優先度決定用的多數項目，對彼等每一項目設定權值附加。關於權值附加之設定，可以登錄1圖案，使該1圖案對應於搬送區域內之狀況而被變動，亦可以登錄多數圖 案，對應於搬送區域內之狀況而選擇1個圖案。

亦即，指示管理部4，係針對各時點之各被搬送物之待機時間、各被搬送物之搬送對象處理裝置101、102、103、104之負荷狀態、各被搬送物之搬送來源處理裝置101、102、103、104之負荷狀態、各被搬送物之搬送區域內全體之負荷狀態、及各搬送手段之負荷狀態，各別進行特定之權值附加(對應於搬送區域內之狀況而變動權值附加)，算出各被搬送物之搬送處理之優先度。指示管理部4，係依據該算出結果，來決定各被搬送物之其中哪一被搬送物應被搬送至其中哪一處理裝置101、102、103、104，依據該決定來控制搬送手段106、107。

(搬送控制裝置之動作(搬送控制方法))

圖7為搬送控制裝置之指示管理部4之動作流程圖。

於步驟st1，確認儲存於設備狀態部6之動作結果資訊與機器狀態資訊。於步驟st2，判斷處理完了之被搬送物之有無。處理完了之被搬送物有時進入步驟st9，處理完了之被搬送物無時進入步驟st3。於步驟st9，將搬送指示完了之被搬送物之狀態資訊變更為「完了」。

於步驟st3，判斷待機狀態之被搬送物之有無。待機狀態之被搬送物有時進入步驟st4，待機狀態之被搬送物無時進入步驟st13，結束處理。

於步驟st4，確認搬送手段106、107之狀態。於步驟st5，判斷搬送手段106、107之最適化處理是否必要。最 適化處理必要時進入步驟st10，最適化處理不必時進入步驟st6。

於步驟st10被進行最適化處理，該最適化處理，係如後述說明，由各搬送手段106、107之動作結果資訊及機器狀態資訊抽出優先度決定用的多數項目，對彼等每一項目設定權值附加。於步驟st11變更搬送指示資訊中之搬送對象。

於步驟st6決定對於搬送手段106、107中之作業指令之搬送對象。於步驟st7作成對於搬送手段106、107之作業指令。

於步驟st8判斷搬送指示資訊是否為待機狀態。若為待機狀態則進入步驟st12，若非為待機狀態則進入步驟st13結束處理。

於步驟st12，將搬送指示已開始之被搬送物之狀態資訊變更為「搬送中」，進入步驟st13結束處理。

圖8為搬送控制裝置之最適化處理(圖7之步驟st10)之流程圖。

上述最適化處理，係如圖8所示，於步驟st21受理最適化要求，於步驟st22進行各種資訊資料之讀取。之後，於步驟st23抽出對於成為對象之搬送手段106、107之各搬送指示。之後，於步驟st24確認搬送指示可否執行。

確認搬送指示可執行時，於步驟st25暫時決定搬送指示中之搬送對象。之後，於步驟st26算出搬送指示之優先度。之後，於步驟st27選擇執行之搬送指示。於步驟 st28將執行之搬送指示予以輸出，結束最適化處理。

優先度，係如以下表1所示，依各項目被進行權值附加，對應於該權值附加被算出。

亦即，針對每一批次，越是先開始處理之批次其優先度被設為越高，權值附加被設為「大」。如此則，依每一 批次執行優先處理。同一批次內成為同一優先度。亦適用緊急批次等。另外，關於搬送對象，並非緩衝部而是處理裝置之優先度被設為較高，權值附加被設為「大」。如此則可設為盡量不使用緩衝部之選擇。

關於被搬送物之待機時間，待機時間越長其優先度被設為越高，權值附加被設為「大」。被搬送物退避於緩衝部時，無法越級因而未被考慮。

關於搬送對象裝置及搬送對象CV之收納可能狀態，其數目越多優先度被設為越高，權值附加被設為「中」。如此則，可以確認線上下流之裝置之負荷狀態。收納可能之裝置存在多數時，使用各裝置之負荷狀態之合計。搬送對象相同時，優先度成為相同。

關於搬送源裝置及搬送源CV之收納可能狀態，其數目越少優先度被設為越高，權值附加被設為「中」。如此則，可以確認線上上流之裝置之負荷狀態。收納可能之裝置存在多數時，使用各裝置之負荷狀態之合計。搬送源相同時，優先度成為相同。

關於對緩衝部之退避個數，被搬送物存在於緩衝部時，其個數越多優先度被設為越高，可以越級，因而影響較小，權值附加被設為「小」。另外，被搬送物存在於CV時，其個數越多優先度被設為越低，可以越級，因而影響少，權值附加被設為「小」。

關於對搬送手段之搬送所要時間，所要時間越短優先度被設為越高，權值附加被設為「小」。如此則，可管理 搬送處理所花費時間。另外，不論由CV或由緩衝部，可考慮為所要時間之變化不大。

針對從收納匣之搬出順序，未對收納匣之搬出順序有任何拘束，因此先開始處理之被搬送物優先度被設為越高。可以越級，影響少，因而權值附加被設為「小」。

線上全體之優先度條件，係如以下(表2)所示。關於工程內之被搬送物之個數，個數越多搬出方向之優先度被設為越高，權值附加被設為「大」。如此則，可考慮線上全體之流程，可預防滯留或停頓(dead lock)。

關於其他搬送手段之搬送指令狀況，越是朝分配少者其優先度被設為越高，權值附加被設為「中」。如此則，可考慮線上全體之流程，可預防滯留或停頓。另外，於上流或下流之兩側無其他搬送手段時，無須予以考慮。

另外，變動該權值附加時，係如以下(表4)所示，對應於優先度算出時之線上狀況而使權值附加變化。

另外，權值附加由多數圖案被選擇時，如以下(表5)所示，對應於優先度算出時之線上之狀況，而選擇適當之權值附加圖案。

優先度係如以下被算出。權值附加被固定設定(表3)或使權值附加變動(表4)時，係由上述表格(表3或表4)取得權值附加，優先度係藉由下式被算出。

(搬送指示之優先度)

=(優先度算出用項目1)×(權值1)

+(優先度算出用項目2)×(權值2)

+．．．．．

+(優先度算出用項目N)×(權值N)

另外，權值附加由多數圖案被選擇(表5)時，由上述權值附加表格對應於工程內之狀態來選擇權值圖案，優先度藉由下式被算出。

(搬送指示之優先度)

=(優先度算出用項目1)×(權值圖案N-1)

+(優先度算出用項目2)×(權值圖案N-2)

+．．．．．

+(優先度算出用項目N)×(權值圖案N-N)

另外，如上述說明，優先度算出用項目，係搬送對象製程裝置之負荷、或被搬送物之待機時間、或工程內之被搬送物之個數等。

(產業上可利用性)

本發明適用於搬送控制裝置及搬送控制方法，其在多數處理裝置間存在多數被搬送物之搬送路徑時，控制在該搬送路徑上搬送被搬送物之搬送手段。

(發明效果)

依據具有構成1之處理設備，進行搬送(例如葉片式搬送)之同時，減少待處理量，減少前置時間，可達成省空間化。另外，可縮短升降手段之移動距離，可達成省空間化。另外，升降手段具有緩衝部受取功能，即使在維修保養等之停止時亦可吸收搬送處理之脈動。另外，可降低滯留之產生頻度，實現全體之良好效率之搬送，可縮短搬送區域內之總合間歇時間。

依據具有構成2之本發明之處理設備，可減少待處理量，減少前置時間。

依據具有構成3之本發明之處理設備，可減少待處理量，減少前置時間。

依據具有構成4之本發明之處理設備，可降低滯留之產生頻度，實現全體之良好效率之搬送，可縮短搬送區域內之總合間歇時間。

依據具有構成5之本發明之處理設備，可對應於搬送區域內之狀態選擇最適合之搬送指令，可降低滯留之產生頻度。因此，可實現全體之良好效率之搬送，可縮短搬送區域內之總合間歇時間。

依據具有構成6之本發明之處理設備，可對應於搬送區域內之狀態選擇最適合之搬送指令，可降低滯留之產生頻度。因此，可實現全體之良好效率之搬送，可縮短搬送區域內之總合間歇時間。

依據具有構成7之本發明之搬送控制方法，可降低滯留之產生頻度，實現全體之良好效率之搬送，可縮短搬送區域內之總合間歇時間。

依據具有構成8之本發明之搬送控制方法，可降低滯留之產生頻度，實現全體之良好效率之搬送，可縮短搬送區域內之總合間歇時間。

依據具有構成9之本發明之搬送控制方法，可對應於搬送區域內之狀態選擇最適合之搬送指令，可降低滯留之產生頻度。因此，可實現全體之良好效率之搬送，可縮短搬送區域內之總合間歇時間。

依據具有構成10之本發明之搬送控制方法，可對應於搬送區域內之狀態選擇最適合之搬送指令，可降低滯留之產生頻度。因此，可實現全體之良好效率之搬送，可縮短搬送區域內之總合間歇時間。

亦即，本發明係提供，不會構成大型化，不會增大待處理量，前置時間不會變長，可以確保充分之搬送能力的 處理設備。另外，依據本發明，即使被搬送物之搬送對象之負荷變高的情況下，亦可以縮短處理裝置全體之間歇時間。另外，本發明提供，即使在所謂葉片式搬送線，亦不會增大運算處理所要資料量，不需要大型運算處理裝置，運算處理所要時間亦不會變長的搬送控制裝置及搬送控制方法。

1‧‧‧控制手段

2‧‧‧工程管理部

3‧‧‧搬送指示部

4‧‧‧指示管理部

5‧‧‧設備管理部

6‧‧‧設備狀態部

101‧‧‧處理裝置(製程A)

102‧‧‧處理裝置(製程B)

103‧‧‧處理裝置(製程C)

104‧‧‧處理裝置(製程D)

105‧‧‧出入口

106、107‧‧‧搬送手段

106a‧‧‧搬入輸送帶

106b‧‧‧搬出輸送帶

107a~107h‧‧‧分岔輸送帶

108‧‧‧第1縱搬送輸送帶

109‧‧‧第2縱搬送輸送帶

110‧‧‧第3縱搬送輸送帶

111‧‧‧基板

112‧‧‧搬出入縱搬送輸送帶

115：116‧‧‧處理裝置

201‧‧‧上位系統

圖1為本發明第1實施形態之處理設備之構成之側面圖。

圖2為本發明第2實施形態之處理設備之構成之側面圖。

圖3為本發明第3實施形態之處理設備之構成之側面圖。

圖4為實施本發明之搬送控制方法的處理設備之構成之方塊圖。

圖5為本發明之搬送控制裝置適用的處理設備之構成，(a)為平面圖，(b)為側面圖。

圖6為本發明之搬送控制裝置之構成之方塊圖。

圖7為本發明之搬送控制裝置之指示管理部之動作流程圖。

圖8為本發明之搬送控制裝置之最適化處理之流程圖。

101‧‧‧處理裝置(製程A)

102‧‧‧處理裝置(製程B)

103‧‧‧處理裝置(製程C)

104‧‧‧處理裝置(製程D)

105‧‧‧投入出入口

106‧‧‧搬送手段

107‧‧‧輸送帶

108‧‧‧第1縱搬送輸送帶

109‧‧‧第2縱搬送輸送帶

110‧‧‧第3縱搬送輸送帶

Claims (10)

1. 一種處理設備，係在多數處理裝置間存在多數個被搬送物之搬送路徑，具有沿著上述搬送路徑進行被搬送物之搬送的多數搬送手段，多數被搬送物被對應於1個上述搬送手段者；其特徵為：具備：升降手段，其具有在上述多數搬送手段間升降被搬送物之功能；及控制手段，用於控制上述多數搬送手段；上述搬送手段，係以多段被配置，於上述處理裝置間進行上述被搬送物之搬送；上述升降手段，係具有緩衝部受取功能，可利用作為對上述處理裝置之投入前後之緩衝部；上述控制手段，係針對各時點之上述各被搬送物之待機時間、上述各被搬送物之搬送對象處理裝置之負荷狀態、及上述各被搬送物之搬送區域內全體之負荷狀態，各別進行特定之權值附加，使用上述權值附加來算出上述各被搬送物之搬送處理之優先度，依據該算出結果，來決定上述各被搬送物之其中任一被搬送物應被搬送至哪一處理裝置，依據該決定來控制上述搬送手段。
2. 如申請專利範圍第1項之處理設備，其中進行連續處理之上述處理裝置係對應於同一段之上述搬送手段被並列配置，上述被搬送物係藉由同一段之上述搬送手段被搬送。
3. 如申請專利範圍第1項之處理設備，其中 推斷為搬送量多的處理裝置係對應於同一段之搬送手段被並列配置，上述被搬送物係藉由同一段之上述搬送手段被搬送。
4. 如申請專利範圍第1項之處理設備，其中上述控制手段，係針對上述各被搬送物之搬送源處理裝置之負荷狀態、及各搬送手段之負荷狀態，亦各別進行特定之權值附加。
5. 如申請專利範圍第1或4項之處理設備，其中上述控制手段，係被登錄1個權值附加圖案，對應於搬送區域內之狀況來變動上述權值附加圖案內部之值，變動權值附加。
6. 如申請專利範圍第1或4項之處理設備，其中上述控制手段，係被登錄多數個權值附加圖案，對應於搬送區域內之狀況來選擇1個權值附加圖案，依此而變動權值附加。
7. 一種搬送控制方法，係在多數處理裝置間存在多數個被搬送物之搬送路徑，具有沿著上述搬送路徑進行被搬送物之搬送的多數搬送手段，多數被搬送物被對應於1個上述搬送手段的處理設備中，控制上述搬送手段者；其特徵為：針對各時點之上述各被搬送物之待機時間、上述各被搬送物之搬送對象處理裝置之負荷狀態、及上述各被搬送物之搬送區域內全體之負荷狀態，各別進行特定之權值附加，使用上述權值附加來算出上述各被搬送物之搬送處理 之優先度；依據該算出結果，來決定上述各被搬送物之其中任一被搬送物應被搬送至哪一處理裝置，依據該決定來控制上述搬送手段。
8. 如申請專利範圍第7項之搬送控制方法，其中針對上述各被搬送物之搬送源處理裝置之負荷狀態、及各搬送手段之負荷狀態，亦各別進行特定之權值附加。
9. 如申請專利範圍第7或8項之搬送控制方法，其中被登錄1個權值附加圖案，對應於搬送區域內之狀況來變動上述權值附加圖案內部之值，變動權值附加。
10. 如申請專利範圍第7或8項之搬送控制方法，其中被登錄多數個權值附加圖案，對應於搬送區域內之狀況來選擇1個權值附加圖案，而變動權值附加。