CN108431307B - 再装填管储料器 - Google Patents

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Abstract

本发明提供用于保管及管理单晶提拉装置中使用的再装填管的再装填管储料器，其特征在于，具有：进行再装填管向再装填管储料器内入库及再装填管从再装填管储料器内出库的入出库部；对再装填管进行保管的保管手段；将原料填充于再装填管内的原料填充手段；对已填充于再装填管内的原料的重量进行秤量的秤量手段；可将从入出库部入库的再装填管在入出库部、原料填充手段及保管手段之间搬送的搬送手段；以及，对利用保管手段进行保管的再装填管的保管信息一并进行管理的管理手段。由此，可提供一种再装填管储料器，其能够以节省空间的方式对再装填管进行保管及管理，能够防止所需的再装填管的搜索需要时间、或者发生再装填管的错取。

Description

再装填管储料器
技术领域
本发明涉及一种用于对硅等的单晶提拉装置中使用的再装填管进行保管及管理的再装填管储料器。
背景技术
例如，为了利用切克劳斯基法连续提拉硅等的单晶，每当坩埚内的原料融液达到规定量以下时，需要将作为原料的多晶硅块依次填充至坩埚内。
为了将原料填充至该坩埚内，以往使用了再装填管。该再装填管为圆柱状，可在其中填充原料(例如多晶硅)。
在将多晶原料填充于再装填管内时，将再装填管逐个搭载于专用的台车(例如，参照专利文献1)，并在该台车上对多晶原料进行计量，同时填充规定的量(例如，参照专利文献2)。
而且，已结束原料填充的再装填管以搭载于台车的状态直接进行保管及管理。此外，使用原料的种类、填充量等信息管理是手动实施的。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：专利公开平成5-278617号公报
专利文献2：专利公开平成9-227271号公报
发明内容
(一)要解决的技术问题
因此，为了再装填管的保管及管理，需要与再装填管的个数相当的台车，并且需要停放台车的空间。此外，对于所需的再装填管的取出而言需要搜索该件的时间，并存在发生错取的可能性。
本发明是鉴于上述的问题而完成的，其目的在于，提供一种再装填管储料器，其能够以节省空间的方式对再装填管进行保管及管理，能够防止所需的再装填管的搜索需要时间、或者发生再装填管错取的问题。
(二)技术方案
为了实现上述目的，根据本发明，是一种用于保管及管理单晶提拉装置中使用的再装填管的再装填管储料器，其特征在于，具有：
进行再装填管向再装填管储料器内入库及所述再装填管从所述再装填管储料器内出库的入出库部；对所述再装填管进行保管的保管手段；将原料填充于所述再装填管内的原料填充手段；对已填充于所述再装填管内的所述原料的重量进行秤量的秤量手段；可将从所述入出库部入库的所述再装填管在所述入出库部、所述原料填充手段及所述保管手段之间搬送的搬送手段；以及，对利用所述保管手段进行保管的所述再装填管的保管信息一并进行管理的管理手段。
若为这样的再装填管储料器，则能够以节省空间的方式对再装填管进行保管及管理。此外，由于对再装填管的保管信息一并进行管理，因此能够防止所需的再装填管的搜索需要时间、或者发生再装填管的错取。
此时，优选地，所述入出库部可将空的所述再装填管以悬挂的状态从所述再装填管的搬运用的台车传递至所述搬送手段，而且可将填充有所述原料的所述再装填管以悬挂的状态从所述搬送手段传递至所述台车。
若为这样的再装填管储料器，则能够顺利地进行搬送手段与台车之间的再装填管的传递。
另外，此时，优选地，所述搬送手段具有搬送机，所述搬送机可将所述再装填管以悬挂的状态在所述入出库部、所述原料填充手段及所述保管手段之间搬送。
若为这样的再装填管储料器，则能够以更节省空间的方式进行入出库部、原料填充手段及保管手段之间的再装填管的搬送。
另外，此时，优选地，所述原料填充手段具有倾斜手段，所述倾斜手段可将所述再装填管倾斜至规定的角度，使得在将所述原料填充于所述再装填管内时，所述原料的填充易于进行。
若为这样的再装填管储料器，则能够更有效地将原料填充至再装填管内。
另外，此时，优选地，所述原料填充手段具有使所述再装填管旋转和/或摆动的功能，使得在将所述原料填充于所述再装填管内时，所述原料被均匀填充于所述再装填管内。
若为这样的再装填管储料器，则能够更切实地将原料均匀地填充于再装填管内。
另外，此时，优选地，所述秤量手段具有称重传感器，所述称重传感器用于对已填充于所述再装填管内的所述原料的重量进行秤量。
这样，利用称重传感器，能够对已填充于再装填管内的原料的重量进行秤量。
另外，此时，优选地，所述保管手段具有：可将空的所述再装填管、或填充有所述原料的所述再装填管以悬挂的状态收纳的保管架、以及可将该保管架内的气氛的清洁度维持为级别100以下的清洁单元，其中，
所述清洁单元具有空气过滤器和/或化学过滤器。
若为这样的再装填管储料器，则能够以更节省空间的方式保管再装填管。此外，由于能够在清洁度高的气氛中保管再装填管，因此能够更切实地防止已填充于再装填管内的原料被气氛污染。进一步地，通过设置化学过滤器，能够更切实地防止已填充于再装填管内的原料被气氛中的化学物质污染。
另外，此时，优选地，利用所述管理手段一并进行管理的所述保管信息至少具有：利用所述保管手段进行保管的所述再装填管的位置、以及已填充于所述再装填管内的所述原料的重量。
若为这样的再装填管储料器，则能够防止对于所需的再装填管的取出而言需要搜索该件的时间、或者发生错取的情况。
(三)有益效果
若为本发明的再装填管储料器，则能够以节省空间的方式对再装填管进行保管及管理。此外，由于对再装填管的保管信息一并进行管理，因此能够防止所需的再装填管的搜索需要时间、或者发生再装填管的错取。此外，由于能够将再装填管保管于再装填管储料器内，因此能够使保有的台车数为所需的最低限。
附图说明
图1为表示本发明的再装填管储料器一例的示意图。
图2为表示本发明的再装填管储料器中，入出库部的再装填管的入库操作的说明图。
图3为表示本发明的再装填管储料器中，利用原料填充手段向再装填管填充原料的操作的说明图。
图4为表示将原料填充于再装填管内时，可使再装填管旋转和/或摆动的摆动手段的示意图。
具体实施方式
以下，对本发明的实施方式进行说明，但本发明并不限定于此。
如上所述，在已结束原料填充的再装填管以搭载于台车的状态直接进行保管及管理的情况下，需要与再装填管个数相当的台车、并且需要停放台车的空间。此外，对于所需的再装填管的取出而言需要搜索该件的时间，并存在产生错取的可能性。
因此，本申请的发明人为了解决这样的问题进行了深入研究。其结果，想到了若为利用再装填管储料器内的保管手段进行再装填管的保管，并利用管理手段对进行保管的再装填管的保管信息一并进行管理的技术方案，则能够以节省空间的方式对再装填管进行保管及管理，能够防止所需的再装填管的搜索需要时间、或者发生再装填管错取。而且，对用于实施该等技术方案的优选方式进行了仔细研究，完成了本发明。
如图1所示，本发明的再装填管储料器1具有：进行再装填管2向再装填管储料器1内入库及再装填管2从再装填管储料器1内出库的入出库部3；对再装填管2进行保管的保管手段4；将原料5填充于再装填管2内的原料填充手段6；对已填充于再装填管2内的原料5的重量进行秤量的秤量手段7；可将从入出库部3入库的再装填管2在入出库部3、原料填充手段6及保管手段4之间搬送的搬送手段8；以及，对利用保管手段4进行保管的再装填管2的保管信息一并进行管理的管理手段9。
作为管理手段9，例如能够使用利用了个人电脑等的库存管理系统。若为这样的再装填管储料器，则适于对再装填管2内的填充物的信息等一并进行管理。
优选地，利用管理手段9一并进行管理的保管信息至少具有利用保管手段4进行保管的再装填管2的位置、以及已填充于再装填管2内的原料5的重量。此外，更具体而言，能够利用管理手段9对原料5的品种、生产批号、再装填管2的尺寸等保管信息一并进行管理。
若为这样的再装填管储料器，则能够更切实地防止对于所需的再装填管2的取出而言需要搜索该件的时间、或者发生错取的情况。
如图2所示，优选地，入出库部3可将空的再装填管2以悬挂的状态从再装填管2的搬运用的台车10传递至搬送手段8，而且可将填充有原料5的再装填管2以悬挂的状态从搬送手段8传递至台车10。
若为这样的再装填管储料器，则能够顺利地进行搬送手段8与台车10之间的再装填管2的传递。
优选地，搬送手段8具有搬送机11，该搬送机11可将再装填管2以悬挂的状态在入出库部3、原料填充手段6(参照图3)及保管手段4之间搬送。例如，如图1所示，能够使搬送机11可在再装填管储料器1内的搬送路22上行走。此外，如图2所示，搬送机11能够使再装填管2以悬挂的状态可回旋。
若为这样的再装填管储料器，则能够以节省空间的方式进行入出库部3、原料填充手段6及保管手段4之间的再装填管2的搬送。此外，由于能够利用搬送机11将原料填充作业后的再装填管2向保管手段4搬送，因此与利用现有的台车使其移动至保管场所的情况相比，能够缩短时间。
如图3所示，优选地，原料填充手段6具有倾斜手段12，该倾斜手段12可将再装填管2倾斜至规定的角度，使得在将原料填充于再装填管2内时，原料的填充易于进行。
若为这样的再装填管储料器，则能够更有效地将原料填充至再装填管2内。原料向再装填管2内的填充例如可以手动进行。或者，也可以使用填充装置等自动进行，没有特别限定。
优选地，原料填充手段6具有使再装填管2旋转和/或摆动的功能，使得在将原料5填充于再装填管2内时，原料5被均匀填充于再装填管2内。
若为这样的再装填管储料器，则能够更切实地将原料5均匀地填充于再装填管2内。例如，利用图4所示的具有辊19、以及使该辊19旋转的电机20的摆动手段21，能够使再装填管2旋转和/或摆动。
如图3所示，优选地，秤量手段7具有用于对已填充于再装填管2内的原料5的重量进行秤量的称重传感器13。称重传感器13可以具有显示所测定的重量的功能。这样，利用称重传感器13，能够对已填充于再装填管2内的原料5的重量进行秤量。
优选地，保管手段4具有：可将空的再装填管2、或填充有原料5的再装填管2以悬挂的状态收纳的保管架14、以及可将保管架14内的气氛的清洁度维持为级别100以下的清洁单元15，清洁单元15具有空气过滤器16和/或化学过滤器17。优选化学过滤器17可除去气氛中的化学物质。
若为这样的再装填管储料器，则能够以更节省空间的方式保管再装填管2。此外，能够以不受室内环境影响的方式在清洁度高的气氛中保管再装填管2。因此，能够更切实地防止已填充于再装填管2内的原料5被气氛污染。另外，通过设置化学过滤器17，能够更切实地防止已填充于再装填管2内的原料5被气氛中的化学物质污染。
清洁单元15能够例如利用循环风扇18吸引保管架14内的气氛，使其通过空气过滤器16和/或化学过滤器17，然后再供给至保管架14内。
若为这样的本发明的再装填管储料器，则能够以节省空间的方式对再装填管进行保管及管理。此外，由于对再装填管的保管信息一并进行管理，能够防止所需的再装填管的搜索需要时间、或者发生再装填管的错取。此外，由于能够将再装填管保管于再装填管储料器内，能够使保有的台车数为所需的最低限。
以下，对如上所述使用了本发明的再装填管储料器的再装填管的保管及管理方法的一例简单地进行说明，但本发明并不限定于此。
最初，参照图2对入出库部3中的再装填管2的入库操作进行说明。首先，将搭载有空的再装填管2的台车10设置于入出库部3(工序1)。将再装填管2以悬挂的状态传递至搬送机11(工序2、3)。再装填管2以悬挂的状态被搬送机11移载至任意的保管架14(工序4)，并以悬挂的状态被保管(工序5)。
接着，参照图3，对原料填充手段6中的向再装填管2填充原料5的操作进行说明。首先，通过搬送机11将利用保管架14以悬挂的状态所保管的空的再装填管2搬送至原料填充手段6(工序6～8)。
再装填管2被原料填充手段6接受后，利用倾斜手段12使再装填管2倾斜至规定的角度，以使原料向再装填管2的填充易于进行(工序9)。然后，使再装填管2旋转和/或摆动，从而使原料5以变得均匀的方式填充于再装填管2内(工序10)。此时，已填充于再装填管2内的原料5的重量可利用称重传感器13秤量。
然后，通过与图3中的原料的填充操作的工序相反的流程，使填充了原料5后的再装填管2收纳、保管于保管架14。此时的进行保管的再装填管2的位置与已填充于再装填管2内的原料5的重量的信息一同被管理手段一并管理。
然后，通过与图2中的入库操作的工序相反的流程，使填充有原料5、并利用保管架14所保管的再装填管2出库。此时，使用由管理手段一并管理的再装填管的保管信息，可准确地指定要出库的再装填管2。
实施例
以下，示出本发明的实施例及比较例，对本发明进行更具体的说明，但本发明并不限定于此。
(实施例)
使用图1所示的本发明的再装填管储料器进行了100根再装填管的保管及管理。
对于再装填管的保管而言，使用保管架将再装填管以悬挂的状态保管。此外，保管架内中的气氛的清洁度利用清洁单元维持为级别100以下。而且，利用管理手段对所保管的再装填管的位置及已填充于再装填管内的原料的重量的保管信息一并进行管理。
此时，对每根进行保管及管理的再装填管所需的空间、以及再装填管储料器整体的面积进行了测定。
其结果为，每根进行保管及管理的再装填管所需的空间为0.4m×0.5m＝0.2m2/根。此外，再装填管储料器整体的面积为50m2。
(比较例)
将100根再装填管以分别载置于台车的状态进行了保管及管理。此时，对每根进行保管及管理的再装填管所需的空间进行了测定。
其结果为，每根进行保管及管理的再装填管所需的空间为1.5m×0.6m＝0.9m2/根。此外，100根再装填管的整体的面积为90m2的空间。
如上所述，与比较例相比，实施例能够以节省空间的方式对再装填管进行保管及管理。此外，比较例中，对于进行保管及管理的再装填管而言，各自需要台车，与之相对，实施例中，由于能够将再装填管保管于再装填管储料器内，因此能够使保有的台车数为20～30台，能够使其为所需的最低限。
此外，在实施例中，通过对再装填管的保管信息一并进行管理，能够防止所需的再装填管的搜索需要时间、或者发生再装填管的错取。
在比较例中，对再装填管进行保管的室内的清洁度为级别1000～10000。与之相对，实施例中，通过设置清洁单元，能够以维持为级别100以下的方式进行再装填管的保管。
另外，本发明并不限定于上述实施方式。上述实施方式为例示，具有与本发明的权利要求书所记载的技术思想实质相同的结构，发挥同样的作用效果的技术方案均包含在本发明的技术范围内。

Claims (19)

1.一种再装填管储料器，其是用于保管及管理单晶提拉装置中使用的再装填管的再装填管储料器，其特征在于，具有：
进行再装填管向再装填管储料器内入库及所述再装填管从所述再装填管储料器内出库的入出库部；对所述再装填管进行保管的保管手段；将原料填充于所述再装填管内的原料填充手段；对已填充于所述再装填管内的所述原料的重量进行秤量的秤量手段；可将从所述入出库部入库的所述再装填管在所述入出库部、所述原料填充手段及所述保管手段之间搬送的搬送手段；以及，对利用所述保管手段进行保管的所述再装填管的保管信息一并进行管理的管理手段。
2.根据权利要求1所述的再装填管储料器，其特征在于，所述入出库部可将空的所述再装填管以悬挂的状态从所述再装填管的搬运用的台车传递至所述搬送手段，而且可将填充有所述原料的所述再装填管以悬挂的状态从所述搬送手段传递至所述台车。
3.根据权利要求1所述的再装填管储料器，其特征在于，所述搬送手段具有搬送机，所述搬送机可将所述再装填管以悬挂的状态在所述入出库部、所述原料填充手段及所述保管手段之间搬送。
4.根据权利要求2所述的再装填管储料器，其特征在于，所述搬送手段具有搬送机，所述搬送机可将所述再装填管以悬挂的状态在所述入出库部、所述原料填充手段及所述保管手段之间搬送。
5.根据权利要求1所述的再装填管储料器，其特征在于，所述原料填充手段具有倾斜手段，所述倾斜手段可将所述再装填管倾斜至规定的角度，使得在将所述原料填充于所述再装填管内时，所述原料的填充易于进行。
6.根据权利要求2所述的再装填管储料器，其特征在于，所述原料填充手段具有倾斜手段，所述倾斜手段可将所述再装填管倾斜至规定的角度，使得在将所述原料填充于所述再装填管内时，所述原料的填充易于进行。
7.根据权利要求3所述的再装填管储料器，其特征在于，所述原料填充手段具有倾斜手段，所述倾斜手段可将所述再装填管倾斜至规定的角度，使得在将所述原料填充于所述再装填管内时，所述原料的填充易于进行。
8.根据权利要求4所述的再装填管储料器，其特征在于，所述原料填充手段具有倾斜手段，所述倾斜手段可将所述再装填管倾斜至规定的角度，使得在将所述原料填充于所述再装填管内时，所述原料的填充易于进行。
9.根据权利要求1所述的再装填管储料器，其特征在于，所述原料填充手段具有使所述再装填管旋转和/或摆动的功能，使得在将所述原料填充于所述再装填管内时，所述原料被均匀填充于所述再装填管内。
10.根据权利要求2所述的再装填管储料器，其特征在于，所述原料填充手段具有使所述再装填管旋转和/或摆动的功能，使得在将所述原料填充于所述再装填管内时，所述原料被均匀填充于所述再装填管内。
11.根据权利要求3所述的再装填管储料器，其特征在于，所述原料填充手段具有使所述再装填管旋转和/或摆动的功能，使得在将所述原料填充于所述再装填管内时，所述原料被均匀填充于所述再装填管内。
12.根据权利要求4所述的再装填管储料器，其特征在于，所述原料填充手段具有使所述再装填管旋转和/或摆动的功能，使得在将所述原料填充于所述再装填管内时，所述原料被均匀填充于所述再装填管内。
13.根据权利要求5所述的再装填管储料器，其特征在于，所述原料填充手段具有使所述再装填管旋转和/或摆动的功能，使得在将所述原料填充于所述再装填管内时，所述原料被均匀填充于所述再装填管内。
14.根据权利要求6所述的再装填管储料器，其特征在于，所述原料填充手段具有使所述再装填管旋转和/或摆动的功能，使得在将所述原料填充于所述再装填管内时，所述原料被均匀填充于所述再装填管内。
15.根据权利要求7所述的再装填管储料器，其特征在于，所述原料填充手段具有使所述再装填管旋转和/或摆动的功能，使得在将所述原料填充于所述再装填管内时，所述原料被均匀填充于所述再装填管内。
16.根据权利要求8所述的再装填管储料器，其特征在于，所述原料填充手段具有使所述再装填管旋转和/或摆动的功能，使得在将所述原料填充于所述再装填管内时，所述原料被均匀填充于所述再装填管内。
17.根据权利要求1至16中任一项所述的再装填管储料器，其特征在于，所述秤量手段具有称重传感器，所述称重传感器用于对已填充于所述再装填管内的所述原料的重量进行秤量。
18.根据权利要求1至16中任一项所述的再装填管储料器，其特征在于，
所述保管手段具有：可将空的所述再装填管、或填充有所述原料的所述再装填管以悬挂的状态收纳的保管架、以及可将该保管架内的气氛的清洁度维持为级别100以下的清洁单元，
所述清洁单元具有空气过滤器和/或化学过滤器。
19.根据权利要求1至16中任一项所述的再装填管储料器，其特征在于，利用所述管理手段一并进行管理的所述保管信息至少具有：利用所述保管手段进行保管的所述再装填管的位置、以及已填充于所述再装填管内的所述原料的重量。
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