JP2013139318A - 物品保管設備 - Google Patents

Abstract

【課題】不活性気体の使用量を抑制しつつ搬送容器内の基板の汚損を防止することができる物品保管設備を提供する。
【解決手段】基板を収容する搬送容器を収納する収納部に対して搬送容器を搬送する搬送手段と、複数の収納部の夫々について、吐出口から吐出する不活性気体の流量を調節自在な流量調節装置を備えて搬送容器の内部に不活性気体を供給自在な不活性気体供給部と、制御手段Ｈ１が、収納部に搬送容器が収納されている場合は収納部を保管用供給状態とし、収納部に搬送容器が収納されていない場合は収納部を供給停止状態とし、収納部に搬送容器を収納する際に、収納先の収納部を供給停止状態から収納前供給状態に切り換えた後に、搬送容器を収納部に収納する。
【選択図】図８

Description

本発明は、基板を密閉状態で収容する搬送容器を収納自在な複数の収納部と、前記複数の収納部に対して前記搬送容器を搬送自在な搬送装置とが設けられ、前記複数の収納部の夫々について、不活性気体を吐出する吐出口と、前記吐出口から吐出する前記不活性気体の流量を調節自在な流量調節装置とを備えて前記収納部に収納された前記搬送容器の内部に前記不活性気体を供給自在な不活性気体供給部が設けられ、前記搬送装置と前記流量調節装置との作動を制御する制御手段が設けられた物品保管設備に関する。

かかる物品保管設備では、搬送容器内の基板の汚損を防止するために、収納部に収納されている搬送容器内に不活性気体を供給するパージ機能を備えている。具体例としては、例えば、半導体ウェハーを収容するＦＯＵＰ等の搬送容器を収納自在な複数の収納部を備えた保管棚が設けられ、収納部の夫々に、例えば窒素ガスやアルゴンガス等の不活性気体を搬送容器の内部に供給自在な不活性気体供給部としての供給ノズルが備えられたパージ機能付きの物品保管棚を備えたものがある。

このような物品保管棚において、従来、設備のランニングコストの抑制のために、不活性気体の消費量を極力抑制する次のような技術が提案されている。すなわち、搬送容器が収納部に収納されている場合と収納されていない場合とで、供給ノズルから吐出する不活性気体の流量を変更自在に構成され、搬送容器が収納部に収納されていない場合の不活性気体の流量を搬送容器が収納部に収納されている場合の流量よりも小さくするように構成されたものがある（例えば、特許文献１参照）。

上記特許文献１では、搬送容器が収納部に収納されている場合における不活性気体の流量が、搬送容器内に十分な不活性気体を供給するために必要な流量（第１流量と称する）として設定され、搬送容器が収納部に収納されていない場合における吐出流量が、上記不活性気体供給部にパーティクルや水蒸気などの不純物粒子が蓄積することを防止すべく、上記第１流量よりも小さい値に設定された流量（第２流量と称する）に設定されている。これにより、収納部に搬送容器が収納されていない間に不活性気体供給部に基板の汚損の原因となる不純物粒子が滞留することを防止して、収納部に搬送容器が収納された後に、当該搬送容器に対して極力純粋な不活性気体を供給できるようにしながら、設備のランニングコストの低減を図っている。

特開２０１０−１６１９９号公報

しかしながら、上記特許文献１においては、収納部に搬送容器が収納されていない場合には、常時、第２流量の不活性気体が不活性気体供給部に供給され、供給ノズルから空間に放出されている。そのため、本来は搬送容器に供給されるべき不活性気体が、搬送容器に供給されることなく空間に放出されるため、不活性気体を大量に浪費するという問題があった。

本発明は、上記実情に鑑みてなされたものであり、その目的は、不活性気体の使用量を抑制しつつ搬送容器内の基板の汚損を防止することができる物品保管設備を提供することにある。

この目的を達成するために、本発明に係る物品保管設備の第１特徴構成は、
基板を密閉状態で収容する搬送容器を収納自在な複数の収納部と、前記複数の収納部に対して前記搬送容器を搬送自在な搬送手段とが設けられ、
前記複数の収納部の夫々について、不活性気体を吐出する吐出口と、前記吐出口から吐出する前記不活性気体の流量を調節自在な流量調節装置とを備えて前記収納部に収納された前記搬送容器の内部に前記不活性気体を供給自在な不活性気体供給部が設けられ、
前記搬送手段と前記流量調節装置との作動を制御する制御手段が設けられたものにおいて、
前記制御手段が、
前記複数の収納部の夫々について前記搬送容器が収納されているか否かを管理するように構成され、
前記収納部に前記搬送容器が収納されている場合は当該収納部についての前記不活性気体供給部を前記吐出口から前記不活性気体を吐出する保管用供給状態とし、前記収納部に前記搬送容器が収納されていない場合は当該収納部についての前記不活性気体供給部を前記吐出口から前記不活性気体を吐出しない供給停止状態とするべく、前記流量調節装置の作動を制御するように構成され、かつ、
前記搬送手段にて前記収納部に前記搬送容器を収納する際に、収納先の前記収納部における前記不活性気体供給部を前記供給停止状態から、前記吐出口から前記不活性気体を吐出する収納前供給状態に切り換えた後に、前記搬送容器を前記収納部に収納するべく、前記搬送手段の作動及び前記流量調節装置の作動を制御するように構成されている点にある。

本特徴構成によれば、搬送容器が収納されている収納部における不活性気体供給部は保管用供給状態となって、不活性気体供給部から不活性気体が供給されるため、収納部に収納されている搬送容器には不活性気体が供給される。また、搬送容器が収納されていない収納部における不活性気体供給部は供給停止状態となり、不活性気体を供給すべき対象の搬送容器を収納していない収納部では、不活性気体供給部からは不活性気体が供給されないため、不要な不活性気体の使用を抑制できる。
しかも、収納部に搬送容器を収納する際には、収納先の収納部における不活性気体供給部を供給停止状態から収納前供給状態に切り換えて、吐出口から不活性気体を吐出させた後に、搬送容器を収納部に収納するので、供給停止状態としている間に不活性気体供給部に不純物粒子が滞留していても、搬送容器を収納部に収納するまでに、収納前供給状態で供給される不活性気体により不活性気体供給部を浄化することができる。そのため、不活性気体供給部を供給停止状態としている間にその不活性気体供給部に不純物粒子が滞留しても、その不純物粒子が不活性気体供給部から搬送容器内に進入することを防止できる。したがって、搬送容器が収納されていない収納部において不活性気体を常時吐出させておかなくても、搬送容器に不純物粒子が進入することを防止して、搬送容器内の基板の汚損を防止することができる。
このように、本特徴構成によると、不活性気体の使用量を抑制しつつ搬送容器内の基板の汚損を防止することができる。

本発明に係る物品保管設備の第２特徴構成は、前記制御手段は、前記搬送手段の作動状態が、前記搬送容器を前記収納部に搬送するまでの作動状態として予め定められた不活性気体供給開始状態になると、当該搬送対象の搬送容器を収納する前記収納部についての前記不活性気体供給部を前記供給停止状態から前記収納前供給状態に切り換え、その後、設定時間が経過するまで前記収納前供給状態を維持するべく前記流量調節装置の作動を制御するように構成されている点にある。

本特徴構成によれば、搬送手段の作動状態が不活性気体供給開始状態になると、搬送容器の収納先の収納部についての不活性気体供給部が、供給停止状態から収納前供給状態に切り換えられ、その後、設定時間が経過するまで収納前供給状態にて不活性気体が吐出口から吐出される。したがって、搬送装置にて搬送容器を収納部に収納する適切な時期に、設定時間に亘って不活性気体が吐出口から吐出されるため、供給停止状態であった不活性気体供給部を搬送容器が収納されるタイミングに合わせて適切に浄化することができる。
なお、不活性気体供給開始状態は、搬送手段が搬送対象の搬送容器を受け取るために作動しているときの作動状態でもよいし、搬送容器を受け取ったときの作動状態や受け取った後に実際に搬送容器を移動させているときの作動状態でもよい。また、不活性気体供給開始状態は、時間的又は空間的に一定の幅を持つように設定してもよい。

本発明に係る物品保管設備の第３特徴構成は、前記制御手段は、収納先の前記収納部についての前記不活性気体供給部を前記収納前供給状態に切り換えてから前記設定時間が経過した時点で、前記搬送容器が当該収納部に搬送されていない場合は、当該収納部についての前記不活性気体供給部を前記収納前供給状態から前記供給停止状態に切り換え、その後、前記搬送容器が当該収納部に搬送されると当該収納部についての前記不活性気体供給部を前記供給停止状態から前記保管用供給状態に切り換えるべく、前記流量調節装置の作動を制御するように構成されている
点にある。

本特徴構成によれば、収納先の収納部に搬送容器が収納される前に、収納前供給状態での不活性気体の供給が開始されてから設定時間が経過した場合は、不活性気体を収納前供給状態で設定時間吐出することで当該収納部についての不活性気体供給部を十分浄化できたとして、設定時間経過後は収納部に搬送容器が収納されるまでの間は不活性気体を供給しないことで、不活性気体の使用量を極力抑制することができる。

また、搬送手段の作動状態が不活性気体供給開始状態になってから収納先の収納部まで搬送容器が搬送されるまでの搬送時間が収納部ことに異なる場合でも、複数の収納部についての収納前供給状態での搬送不活性気体の供給時間を揃えて、不活性気体供給部の浄化度のバラつきを防止することもできる。

本発明に係る物品保管設備の第４特徴構成は、前記制御手段は、収納先の前記収納部についての前記不活性気体供給部を前記供給停止状態から前記収納前供給状態に切り換えてから前記設定時間が経過するまでは、前記搬送手段による当該収納部への前記搬送容器の搬送を完了させない搬送牽制制御を実行するように構成されている点にある。

本特徴構成によれば、制御手段が搬送牽制制御を実行することで、不活性気体供給部を供給停止状態から収納前供給状態に切り換えてから設定時間が経過するまでは、収納先の収納部に搬送容器は収納されないので、収納先の収納部に容器が収納されていない状態で、設定時間に亘って収納前供給状態にて不活性気体を吐出することができるため、不活性気体供給部の浄化を設定時間に亘って適確に行うことができる。

本発明に係る物品保管設備の第５特徴構成は、前記制御手段は、前記搬送手段の搬送作動が前記不活性気体供給開始状態となるときの前記搬送容器の位置よりも前記搬送手段の搬送経路において収納先の前記収納部に近接する位置に設定された供給状態判別用位置まで前記搬送容器が前記搬送手段にて搬送されたときに、当該収納部についての前記不活性気体供給部が前記収納前供給状態である場合は、前記搬送手段の搬送作動を停止させ、当該収納部についての前記不活性気体供給部の前記収納前供給状態での前記不活性気体の供給が完了した後に、前記搬送手段の搬送作動を再開するべく、前記流量調節装置及び前記搬送手段の作動を制御するように構成されている点にある。

本特徴構成によれば、供給状態判別用位置まで搬送容器が搬送手段にて搬送されたときに、収納先の収納部についての不活性気体供給部が収納前供給状態である場合は、搬送手段の搬送作動が停止するので、不活性気体供給部を供給停止状態から収納前供給状態に切り換えてから設定時間が経過するまで収納先の収納部に搬送容器を収納しないようにすることを、搬送装置の作動を停止させるという簡単な制御で確実に行うことができる。
しかも、供給状態判別用位置は、搬送手段の搬送経路において収納先の収納部に近接する位置であるため、収納先の収納部における不活性気体供給部の収納前供給状態での不活性気体の供給が完了したら直ちに搬送対象の搬送容器を収納先の収納部に収納することができるので、極力迅速に収納先の収納部に搬送容器を収納することができる。

本発明に係る物品保管設備の第６特徴構成は、前記制御手段は、収納先の前記収納部についての前記不活性気体供給部を前記供給停止状態から前記収納前供給状態に切り換えてから前記設定時間が経過した後も、当該収納部に前記搬送容器が搬送されない場合は、当該収納部に前記搬送容器が搬送されるまで、当該不活性気体供給部による前記不活性気体供給開始状態での前記不活性気体の供給を継続させるべく、前記流量調節装置及び前記搬送手段の作動を制御するように構成されている点にある。

本特徴構成によれば、収納前供給状態が設定時間経過した後、当該収納部に搬送容器が搬送されるまでに、不活性気体供給部に塵埃や周囲の水蒸気や酸素が進入することを防止できる。これにより、搬送容器が収納されて保管用供給状態での不活性気体の供給が開始された場合に、搬送容器内に塵埃や水蒸気や酸素が入り込むことを防止できる。

物品保管設備の縦断側面図 同設備の一部を示す縦断正面図 収納部の斜視図 収納部と搬送容器との関係を示す概略構成図 制御手段の接続構成図 不活性気体の供給量の制御形態を示す説明図 スタッカークレーンの搬送制御と窒素ガスの供給制御のフローチャート スタッカークレーンの搬送制御と窒素ガスの供給制御のフローチャート スタッカークレーンの搬送制御と窒素ガスの供給制御のフローチャート

本発明をパージ機能付きの物品保管設備に適用した場合の実施形態を図面に基づいて説明する。
（全体構成）
物品保管設備は、図１及び図２に示すように、基板を密閉状態で収容する搬送容器５０（以下、容器５０と略称する）を保管する保管棚１０、搬送手段としてのスタッカークレーン２０、及び、容器５０の入出庫部としての入出庫コンベヤＣＶを備えている。
保管棚１０及びスタッカークレーン２０が、壁体Ｋにて外周部が覆われた設置空間内に配設され、入出庫コンベヤＣＶが、壁体Ｋを貫通する状態で配設されている。

保管棚１０は、容器５０を支持する支持部としての収納部１０Ｓを、上下方向及び左右方向に並べる状態で複数備えて、複数の収納部１０Ｓの夫々に、容器５０を収納するように構成されており、その詳細は後述する。

そして、本実施形態においては、図１に示すように、物品保管設備が設置されたクリーンルームの天井部に敷設のガイドレールＧに沿って走行するホイスト式の搬送車Ｄが装備されて、このホイスト式の搬送車Ｄによって、入出庫コンベヤＣＶに対して容器５０が搬入及び搬出されるように構成されている。

入出庫コンベヤＣＶの両端部のうち、設置空間外に位置する側の端部を搬出入口とし、設置空間内に位置する側の端部を入出庫口として、搬出入口にてホイスト式の搬送車Ｄとの間で容器５０の授受が行われ、入出庫口にてスタッカークレーン２０との間で容器５０の授受が行われる。

（容器５０の構成）
容器５０は、ＳＥＭＩ（Semiconductor Equipment and Materials Institute）規格に準拠した合成樹脂製の気密容器であり、基板としての半導体ウェハーＷ（図４参照）を収納するために用いられ、ＦＯＵＰ（Front Opening Unified Pod）と呼称されている。そして、詳細な説明は省略するが、容器５０の前面には、着脱自在な蓋体にて開閉される基板出入用の開口が形成され、容器５０の上面には、ホイスト式の搬送車Ｄにより把持されるトップフランジ５２が形成され、そして、容器５０の底面には、位置決めピン１０ｂ（図３参照）が係合する３つの係合溝（図示せず）が形成されている。

すなわち、容器５０は、図４に示すように、内部に上下方向に複数の半導体ウェハーＷを載置自在な基板支持体５３を備えたケーシング５１と、図示しない蓋体とから構成されて、ケーシング５１に蓋体を装着した状態においては、内部空間が気密状態に密閉されるように構成され、そして、収納部１０Ｓに収納された状態においては、位置決めピン１０ｂによって位置決めされるように構成されている。

また、図４に示すように、容器５０の底部には、後述の如く、不活性ガスとしての窒素ガスを注入するために、給気口５０ｉ、及び、排気口５０ｏが設けられ、そして、図示は省略するが、給気口５０ｉには、注入側開閉弁が設けられ、また、排気口５０ｏには、排出側開閉弁が設けられている。

注入側開閉弁は、スプリング等の付勢手段によって閉方向に付勢されて、給気口５０ｉに供給される窒素ガスの吐出圧力が大気圧よりも設定値高い設定開弁圧力以上となると、その圧力によって開き操作されるように構成されている。
また、排出側開閉弁は、スプリング等の付勢手段によって閉方向に付勢されて、容器５０内部の圧力が大気圧よりも設定値高い設定開弁圧力以上となったときに開き操作されるように構成されている。

（スタッカークレーン２０の構成）
スタッカークレーン２０は、保管棚１０の前面側の床部に設けられた走行レールＥに沿って走行移動自在な走行台車２１と、その走行台車２１に立設されたマスト２２と、マスト２２に案内される状態で昇降移動自在な昇降台２４とを備えている。
なお、図示はしないが、マスト２２の上端に設けられた上部枠２３が、壁体Ｋにて外周部が覆われた設置空間の天井側に設けた上部ガイドレールに係合して移動するように構成されている。

昇降台２４には、収納部１０Ｓに対して容器５０を移載する移載装置２５が装備されている。
移載装置２５は、容器５０を載置支持する板状の載置支持体２５Ａを、収納部１０Ｓの内部に突出する突出位置と昇降台２４側に引退した引退位置とに出退自在に備えて、載置支持体２５Ａの出退作動及び昇降台２４の昇降作動により、載置支持体２５Ａに載置した容器５０を収納部１０Ｓに降ろす降し処理、及び、収納部１０Ｓに収納されている容器５０を取出す掬い処理を行うように構成されている。

つまり、容器５０は、搬送車Ｄによって入出庫コンベヤＣＶの出庫口に載置され、当該入出庫コンベヤＣＶによって壁体Ｋの外部の出庫口から内部の入出庫口に搬送された後、スタッカークレーン２０によって複数の収納部１０Ｓのうち空き状態の収納部１０Ｓに搬送される。

このように、本実施形態では、複数の収納部１０Ｓに対して容器５０を搬送自在な搬送手段としてスタッカークレーン２０が設けられており、このスタッカークレーン２０は、収納部１０Ｓとの間で容器５０を移載自在な移載装置２５と、この移載装置２５を収納部１０Ｓについて設定された移載用位置に移動させる移動手段としての走行台車２１及び昇降台２４を備えて構成されている。そして、クレーンコントローラＨ３は、収納部１０Ｓに容器５０を搬送する場合は、移動手段としての走行台車２１及び昇降台２４にて移載装置２５を移載対象の収納部１０Ｓについての移載用位置まで移動させた後、移載装置２５にて容器５０を移載させるべく、スタッカークレーン２０の作動を制御するように構成されている。

スタッカークレーン２０には、図示はしないが、走行経路上の走行位置を検出する走行位置検出手段、及び、昇降台２４の昇降位置を検出する昇降位置検出手段が装備されており、スタッカークレーン２０の作動を制御するクレーンコントローラＨ３が、走行位置検出手段及び昇降位置検出手段の検出情報に基づいて、スタッカークレーン２０の作動を制御するように構成されている。また、移載装置２５には、載置支持体２５Ａの出退位置を検出する出退位置検出手段としてのロータリエンコーダや、載置支持体２５Ａ上に容器５０が載置支持されているか否かを検出する容器検出センサが設けられており、クレーンコントローラＨ３が、これらのセンサ類の検出情報に基づいて、移載装置２５の作動を制御するように構成されている。このように、クレーンコントローラＨ３は、走行台車２１、昇降台２４、移載装置２５の作動状態を制御するように構成されている。

そして、クレーンコントローラＨ３が、入出庫コンベヤＣＶの入出庫口に搬入された容器５０を受け取って収納部１０Ｓに収納する入庫作業、及び、収納部１０Ｓに収納されている容器５０を収納部１０Ｓから取り出して入出庫コンベヤＣＶの入出庫口に受け渡す出庫作業を行うように、走行台車２１の走行作動及び昇降台２４の昇降作動、並びに、移載装置２５における載置支持体２５Ａの出退作動を制御して、容器５０を搬送するように構成されている。

上記入庫作業及び出庫作業は、ストッカコントローラＨ２からクレーンコントローラＨ３に指令される。また、クレーンコントローラＨ３は、走行台車２１の走行作動の完了情報や、昇降台２４の昇降完了情報や、移載装置２５の容器５０の受け取り（掬い）作動完了情報及び受け渡し（卸し）作動完了情報を、ストッカコントローラＨ２に送信するように構成されている。

（収納部１０Ｓの構成）
図３及び図４に示すように、複数の収納部１０Ｓの夫々は、容器５０を載置支持する板状の載置支持部１０ａを備えている。
この載置支持部１０ａは、移載装置２５の載置支持体２５Ａが上下に通過する空間を形成すべく、平面視形状がＵ字状となるように形成され、そして、その上面には、上述の位置決めピン１０ｂが起立状態で装備されている。
また、載置支持部１０ａには、容器５０が適正に載置されているか否かを検出する２個の在荷センサ１０ｚが設けられ、それらの検出情報は、後述する流量調節装置としてのマスフローコントローラ４０の運転を管理するパージコントローラＨ１に入力されている（図５参照）。

載置支持部１０ａには、不活性気体としての窒素ガスを容器５０の内部に供給する吐出口としての吐出ノズル１０ｉと、容器５０の内部から排出される気体を通流する排出用通気体１０ｏが設けられ、また、各収納部１０Ｓの奥側、つまり、容器５０が出し入れされる開口に対向する端部側で、かつ、左右方向に並ぶ収納部１０Ｓの間に位置して、窒素ガスの供給を制御するマスフローコントローラ４０が装備されている（図１〜図３参照）。

マスフローコントローラ４０は、保管棚１０の平面視において収納部１０Ｓ及びそれを支持する柱材等の存在しない箇所であり、かつ、容器５０の収納時においても、容器５０の存在しない箇所に配設されている。つまり、マスフローコントローラ４０が配設される箇所は、保管棚１０の上下方向に連通する空間が形成されている。したがって、マスフローコントローラ４０が発生する熱によって生じる気流は、保管棚１０の下端から上端に至るまで障害物に阻害されることなく流動することになり、マスフローコントローラ４０から放散される熱が滞留することを抑制して、マスフローコントローラ４０が熱暴走する等の障害を抑制することができる。
そして、吐出ノズル１０ｉには、マスフローコントローラ４０からの窒素ガスを流動させる供給配管Ｌｉが接続され、排出用通気体１０ｏには、端部が開口された排出管Ｌｏが接続されている。

つまり、容器５０が載置支持部１０ａに載置支持されると、吐出ノズル１０ｉが容器５０の給気口５０ｉに嵌合状態に接続され、かつ、排出用通気体１０ｏが容器５０の排気口５０ｏに嵌合状態に接続されるように構成されている。
そして、容器５０が載置支持部１０ａに載置支持された状態において、吐出ノズル１０ｉから大気圧よりも設定値以上高い圧力の窒素ガスを吐出させることにより、容器５０の排気口５０ｏより容器内の気体を外部に排出させる状態で、容器５０の給気口５０ｉより窒素ガスを容器５０の内部に注入できるように構成されている。

本実施形態においては、主にマスフローコントローラ４０、供給配管Ｌｉ、及び吐出ノズル１０ｉより不活性気体供給部Ｆが構成される。
すなわち、複数の収納部１０Ｓの夫々について、不活性気体を吐出する吐出ノズル１０ｉと、その吐出ノズル１０ｉから供給する不活性気体の流量を調節自在なマスフローコントローラ４０とを備えて、収納部１０Ｓに収納された容器５０の内部に不活性気体を供給自在な不活性気体供給部Ｆが設けられている。

なお、図３に示すように、供給配管Ｌｉには、手動操作式の開閉弁Ｖｉが装備されており、マスフローコントローラ４０が故障する緊急時等においては、窒素ガスの供給を停止する状態に切り替えることができるように構成されている。

（マスフローコントローラ４０の構成）
図３及び図４に示すように、マスフローコントローラ４０は、流入側ポート４０ｉと吐出側ポート４０ｏとを備えており、吐出側ポート４０ｏには、上述した供給配管Ｌｉが接続され、流入側ポート４０ｉには、窒素ガス供給源からの窒素ガスを導く供給配管Ｌｓが接続されている。
なお、窒素ガス供給源には、窒素ガスの供給圧力を大気圧よりも設定値以上高い設定圧力に調整するガバナや、窒素ガスの供給を断続する手動操作式の開閉弁等が装備される。

マスフローコントローラ４０には、流入側ポート４０ｉから吐出側ポート４０ｏに向かう内部流路を流動する窒素ガスの流量を変更調節する流量調節弁、内部流路を流動する窒素ガスの流量を計測する流量センサ、及び、流量調節弁の作動を制御する内部制御部が装備されている。

そして、内部制御部が、流量センサの検出情報に基づいて、容器５０への供給流量を上述したパージコントローラＨ１から指令される目標流量に調整すべく、流量調節弁を制御するように構成されている。すなわち、パージコントローラＨ１が、マスフローコントローラ４０の作動を制御するように構成されている。

（制御手段Ｈの構成）
図５に示すように、制御手段Ｈは、マスフローコントローラ４０を制御するパージコントローラＨ１、保管棚１０における容器５０の在庫状態等を管理するストッカコントローラＨ２、及び、スタッカークレーン２０の作動を制御するクレーンコントローラＨ３等を備えて構成されている。パージコントローラＨ１、ストッカコントローラＨ２、及びクレーンコントローラＨ３は、例えば蓄積プログラム方式で情報を処理自在なコンピュータで構成され、相互にＬＡＮ等のネットワークＣ１で接続され、また、プログラマブルロジックコントローラＰ及びＩＯ拡張モジュールＡが、上記制御手段Ｈと通信自在にネットワークＣ１に接続されている。

プログラマブルロジックコントローラＰには、制御バスＣ２経由で１２台のマスフローコントローラ４０が接続されている。また、ＩＯ拡張モジュールＡには、上記１２台のマスフローコントローラ４０が備えられている収納部１０Ｓの夫々に対応する一対の在荷センサ１０ｚが、信号線Ｃ３で接続されている。

図外の上位管理コンピュータから入庫要求に基づき搬送車Ｄが容器５０を入出庫コンベヤＣＶの出庫口に載置すると、ストッカコントローラＨ２から図外のコンベヤコントローラに入庫用の搬送指令が指令され、コンベヤコントローラが入庫用の搬送指令に基づいて、入出庫コンベヤＣＶの作動を制御して容器５０を入出庫コンベヤＣＶの入出庫口まで搬送する。ストッカコントローラＨ２がクレーンコントローラＨ３に入庫指令を指令することで、クレーンコントローラＨ３がスタッカークレーン２０の搬送作動を制御して、入出庫口に位置する容器５０を掬って収納先の収納部１０Ｓについての移載用位置に移載装置２５を移動させ、当該収納部に収納対象の容器５０を収納する。

ストッカコントローラＨ２は、スタッカークレーン２０による入出庫作業履歴に基づき、複数の収納部１０Ｓの夫々について容器５０が収納されているか否かを管理するように構成されており、容器５０を収納する収納部１０Ｓは、ストッカコントローラＨ２が実行する引き当て処理により選択される。

すなわち、ストッカコントローラＨ２は、全ての収納部１０Ｓについて、入出庫コンベヤＣＶの入出庫口からスタッカークレーン２０で容器５０を入庫するのに要する入庫搬送時間を記録した入庫搬送時間テーブルを記憶しており、引き当て処理では、この入庫搬送時間テーブルを参照して、空き状態の収納部１０Ｓのうち入庫搬送時間が最も短いものが収納先の収納部１０Ｓとして選択される。

容器５０が収納部１０Ｓに収納されるとその容器５０に対して窒素ガスが供給される。容器５０に対する窒素ガスの供給はパージコントローラＨ１により制御される。パージコントローラＨ１は、プログラマブルロジックコントローラＰを経由して、複数の収納部１０Ｓの夫々に対応して設置されたマスフローコントローラ４０に対して目標流量を指令することになる。なお、パージコントローラＨ１には、各種の情報を入力するための操作卓ＨＳが装備されている。

パージコントローラＨ１が指令する目標流量としては、容器５０が収納部１０Ｓに収納されている状態において、容器５０の内部に窒素ガスを注入すべく、マスフローコントローラ４０に対して指令される保管用の目標流量、容器５０が収納部１０Ｓに収納される直前において、吐出ノズル１０ｉを清浄化するために指令されるノズル浄化用の目標流量、及び、保管棚１０の設置時等において、吐出ノズル１０ｉや供給配管Ｌｉ等を清浄化するために指令されるクリーニング用の目標流量がある。

すなわち、パージコントローラＨ１が、図６に示すように、目標流量と供給時間とを定めた複数のパージパターンとして、ノズルパージパターンＰ１、クリーニングパターンＰ２、及び、保管用パージパターンＰ３を記憶している。

ちなみに、ノズルパージパターンＰ１、クリーニングパターンＰ２及び保管用パージパターンＰ３における目標流量と供給時間とは、予め基準値に設定されており、設定入力手段としての操作卓ＨＳから変更設定自在となっている。

ノズルパージパターンＰ１は、収納部１０Ｓに容器５０を収納する直前に設定時間ｔ１の間、収納先の収納部１０Ｓにおける吐出ノズル１０ｉから窒素ガスを吐出させる場合の供給パターンである。すなわち、パージコントローラＨ１がストッカコントローラＨ２から、入庫対象の容器５０を入出庫口にてスタッカークレーン２０が受け取ったことを示す掬い完了情報を受信すると、パージコントローラＨ１がノズルパージパターンＰ１にて与えられるノズル浄化用の目標流量をマスフローコントローラ４０に対して指令する。

図７に示すように、ノズルパージパターンＰ１は、掬い完了情報を受信した時点から収納前供給時間として設定された供給時間ｔ１の間、ノズル浄化用の目標流量として設定された目標流量Ｌ１にて窒素ガスを供給するパターンとして定められている。
設定時間ｔ１は、例えば、５秒に設定され、そして、目標流量Ｌ１は、例えば、３０リットル／分に設定されている。

クリーニングパターンＰ２は、保管棚１０の設置時や特定の収納部１０Ｓの不活性気体供給部Ｆの全部又は一部を交換等した場合に、指定した収納部１０Ｓにおける吐出ノズル１０ｉから窒素ガスを突出させるときの供給パターンである。すなわち、操作卓ＨＳにてある収納部１０Ｓに対するクリーニング開始指令が指令されると、パージコントローラＨ１が、クリーニングパターンＰ２に従って、クリーニング用の清掃用流量としての目標流量を清掃用時間だけ供給するべく、マスフローコントローラ４０に対して目標流量を指令する。

クリーニングパターンＰ２は、操作卓ＨＳにてクリーニング開始指令が指令されてから設置初期供給時間として設定された供給時間ｔ２の間、クリーニング用の目標流量として設定された目標流量Ｌ２にて窒素ガスを供給するパターンとして定められている。
供給時間ｔ２は、例えば、１８００秒に設定され、そして、目標流量Ｌ２は、例えば、２０リットル／分に設定されている。

保管用パージパターンＰ３は、収納部１０Ｓに容器５０を収納した後にその収納部１０Ｓにおける吐出ノズル１０ｉから窒素ガスを吐出させる場合の供給パターンである。すなわち、パージコントローラＨ１が、容器５０の収納先の収納部１０Ｓにおける一対の在荷センサ１０ｚにて容器５０が適正に収納されていることが検出されると、パージコントローラＨ１が保管用パージパターンＰ３にて与えられる保管用の目標流量をマスフローコントローラ４０に対して指令する。

保管用パージパターンＰ３は、保管用の目標流量として、初期目標流量値Ｌαと、その初期目標流量よりも少ない定常目標流量値Ｌβとが設定されている。
初期目標流量値Ｌαは、例えば、５０リットル／分に設定され、そして、定常目標流量値Ｌβは、例えば、５リットル／分に設定されることになるが、上述の如く、使用者によって変更設定されることになる。保管用パージパターンＰ３は、容器５０を収納部１０Ｓに収納することが完了した容器収納完了時点を始点とし、容器収納完了時点から設定供給時間ｔ３（例えば、５分）の間、初期目標流量値Ｌαとしての供給流量Ｌ３１にて窒素ガスを供給し、その後、定常目標流量値Ｌβとしての供給流量Ｌ３２にて窒素ガスを供給することを、一対の在荷センサ１０ｚが容器５０の存在を検出している間は継続するパターンとして定められている。

パージコントローラＨ１は、収納部１０Ｓに容器５０が収納されている場合は当該収納部１０Ｓについての不活性気体供給部Ｆを吐出ノズル１０ｉから窒素ガスを保管用パージパターンＰ３にしたがって吐出する保管用供給状態とし、収納部１０Ｓに容器５０が収納されていない場合は当該収納部１０Ｓについての不活性気体供給部Ｆを吐出ノズル１０ｉから窒素ガスを吐出しない供給停止状態とするべく、マスフローコントローラ４０の作動を制御する。

そして、パージコントローラＨ１は、スタッカークレーン２０にて収納部１０Ｓに容器５０を収納する際に、収納先の収納部１０Ｓにおける不活性気体供給部Ｆを供給停止状態から、吐出ノズル１０ｉから不活性気体をノズルパージパターンＰ１にしたがって吐出する収納前供給状態に切り換えた後に、容器５０を収納部１０Ｓに収納するべく、搬送手段の作動及び流量調節装置の作動を制御する。

パージコントローラＨ１は、収納前供給状態では、ノズルパージパターンＰ１にしたがってノズル浄化用の目標流量をマスフローコントローラ４０に対して指令するので、スタッカークレーン２０が容器５０を入出庫口にて受け取ると、パージコントローラＨ１は、当該搬送対象の容器５０を収納する収納部１０Ｓについての不活性気体供給部Ｆを供給停止状態からノズルパージパターンＰ１にて与えられるノズル浄化用の目標流量で窒素ガスを供給する収納前供給状態に切り換え、その後、設定時間ｔ１が経過するまで収納前供給状態を維持するべくマスフローコントローラ４０の作動を制御する。

本実施形態では、スタッカークレーン２０が容器５０を収納部１０Ｓに搬送するまでの作動状態として予め定められた不活性気体供給開始状態を、入出庫口にて容器５０の受け取りが完了した状態としている。

以下、パージコントローラＨ１による容器５０に対する窒素ガスの供給制御とストッカコントローラＨ２及びクレーンコントローラＨ３による容器５０の搬送制御について、図７〜図９に示すフローチャートに基づいて説明する。

まず、ストッカコントローラＨ２が、ステップ＃Ｓ１及び＃Ｓ２（以下、「ステップ」の語を省略する。）で、上位管理コンピュータから容器５０の入庫要求を受信すると、収納部引当処理を実行して、その容器５０を収納する収納部１０Ｓを決定し、＃Ｓ３でクレーンコントローラＨ３に対して、入庫指令を指令する。

クレーンコントローラＨ３は、入庫指令を受信すると、＃Ｒ１〜＃Ｒ３で、走行台車２１及び昇降台２４の作動を制御して、移載装置２５を入出庫コンベヤＣＶの入出庫口についての移載用位置まで移動させ、入出庫口への移動が完了すると移動完了情報をストッカコントローラＨ２に送信する。

そして、引き続き、＃Ｒ４〜＃Ｒ６で、入出庫口に位置する入庫対象の容器５０を移載装置２５により受け取る掬い移載動作を行う。具体的には、移載装置２５が備える載置支持体２５Ａを昇降台２４側の引退位置から収納部１０Ｓ側の突出位置まで突出させ、移載用の設定量だけ上昇させてから、昇降台２４側の引退位置に引退させる、といった一連の作動がシーケンシャルに行われる。掬い処理が完了すると、クレーンコントローラＨ３は掬い完了情報をストッカコントローラＨ２に送信する。

ストッカコントローラＨ２は、クレーンコントローラＨ３から掬い完了情報を受信すると、収納先の収納部１０Ｓについてのノズルパージ要求をパージコントローラＨ１に送信する（＃Ｓ４）。このノズルパージ要求は、収納先の収納部１０Ｓの位置情報と当該収納部１０Ｓに対する掬い処理が完了したことを示す情報含んでいる。

パージコントローラＨ１は、ストッカコントローラＨ２からのノズルパージ要求を受信すると、＃Ｎ１〜＃Ｎ３で、収納先の収納部１０Ｓにおける不活性気体供給部Ｆが備えるマスフローコントローラ４０に、ノズルパージパターンＰ１にて与えられるノズル浄化用の目標流量を指令する。すなわち、図６の（Ｐ１）に示すように、設定時間ｔ１の間、目標流量Ｌ１を指令し、設定時間ｔ１が経過後は目標流量をゼロにする。このように、スタッカークレーン２０による入庫対象の容器５０の掬い処理が完了するまで供給停止状態であった不活性気体供給部Ｆが、入庫対象の容器５０の掬い処理が完了した時点で収納前供給状態に切り換えられる。

クレーンコントローラＨ３は、＃Ｒ６で掬い完了情報を送信した後、走行台車２１の走行作動及び昇降台２４の昇降作動を制御して、搬送対象の容器５０についての搬送作動を進行させる。すなわち、＃Ｒ７〜＃Ｒ９で、走行作動及び昇降作動を開始させ（入出庫口と収納先の収納部１０Ｓとの位置関係によっては、何れか一方の作動で済む場合もある。）、移載装置２５を収納先の収納部１０Ｓについての移載用位置に位置させ、移動完了情報をストッカコントローラＨ２に送信する。

スタッカークレーン２０が移載装置２５を移動させるのと並行して、パージコントローラＨ１は、上述の如く、目標流量Ｌ１による窒素ガスの供給を設定時間ｔ１だけ行い、設定時間ｔ１が経過すると、＃Ｎ４でノズルパージ終了情報をストッカコントローラＨ２に送信する。

ストッカコントローラＨ２は、＃Ｓ４でノズルパージ要求を送信した後は、＃Ｓ５で、クレーンコントローラＨ３から送信される移動完了情報の有無に基づいて、スタッカークレーン２０の移動作動が完了しているかを確認する。スタッカークレーン２０の移動作動が完了すると、＃Ｓ６で、パージコントローラＨ１からのノズルパージ終了情報を受信済みか確認し、未受信であれば受信するまで待機し、受信済み又は待機後に受信すると、＃Ｓ７で、クレーンコントローラＨ３に移載指令を送信する。

このように、スタッカークレーン２０が収納先の収納部１０Ｓについての移載用位置に移載装置２５を移動させ、かつ、当該収納先の収納部１０Ｓにおけるノズルパージが完了した場合に、ストッカコントローラＨ２が、移載指令をクレーンコントローラＨ３に指令する。これにより、収納先の収納部１０Ｓに対して、設定時間ｔ１のノズルパージを確保するようにしている。

そして、収納先の収納部１０Ｓまでの移動距離によっては、当該収納部１０Ｓについてのノズルパージが完了するまでに移動作動か完了して当該収納部１０Ｓについての移載用位置に移載装置２５が位置する（到着する）場合があるが、その場合は、ノズルパージが開始されてから設定時間ｔ１が経過するまで、移載装置２５の移載作動が保留されることになる。

このように、制御手段Ｈは、収納先の収納部１０Ｓについての不活性気体供給部Ｆを供給停止状態から収納前供給状態に切り換えてから設定時間ｔ１が経過するまでは、スタッカークレーン２０による当該収納部１０Ｓへの容器５０の搬送を完了させない搬送牽制制御を実行するように構成されている。

そして、＃Ｓ７で、クレーンコントローラＨ３が指令した移載指令をクレーンコントローラＨ３が受信すると、＃Ｒ１０で移載装置２５の移載作動が開始される。

このように、制御手段Ｈは、収納先の収納部１０Ｓについての移載用位置まで容器５０がスタッカークレーン２０にて搬送されたときに、当該収納部１０Ｓについての不活性気体供給部Ｆが収納前供給状態である、つまり、ノズルパージ中である場合は、スタッカークレーン２０の搬送作動を停止させ、当該収納部１０Ｓについての不活性気体供給部Ｆの収納前供給状態での窒素ガスの供給が完了した後に、スタッカークレーン２０の搬送作動を再開するべく、マスフローコントローラ４０及びスタッカークレーン２０の作動を制御するように構成されている。

本実施形態では、供給状態判別用位置が、収納先の収納部１０Ｓについての移載用位置に移載装置２５が位置するときの容器５０の位置となっている。すなわち、供給状態判別用位置は、複数の収納部１０Ｓの夫々について異なる位置に設定されている。また、複数の収納部１０Ｓの夫々についての供給状態判別用位置のいずれもが、スタッカークレーン２０が不活性気体供給開始状態（入出庫口にて容器５０の受け取りを完了した状態）となる容器５０の位置よりもスタッカークレーン２０の搬送経路において対応する収納部１０Ｓに近接する位置に設定されている。

また、収納先の収納部１０Ｓまでの移動距離によっては、当該収納部１０Ｓについてのノズルパージが完了した後に当該収納部１０Ｓについての移載用位置に移載装置２５が位置する（到着する）場合があるが、その場合は、ノズルパージが終了してから移載装置２５の移載作動が完了するまで、パージコントローラＨ１はマスフローコントローラ４０に目標流量を指令せず、当該収納部１０Ｓについての不活性気体供給部Ｆは供給停止状態に維持される。その後、移載装置２５の移載作動が完了して、収納部１０Ｓにおける一対の在荷センサ１０ｚが収納状態の容器５０を検出すると、パージコントローラＨ１は、不活性気体供給部Ｆを供給停止状態から保管用供給状態に切り換える。

このように、制御手段Ｈは、収納先の収納部１０Ｓについての不活性気体供給部ＦをノズルパージパターンＰ１にしたがって窒素ガスを吐出する収納前供給状態に切り換えてから設定時間ｔ１が経過した時点で、容器５０が当該収納部１０Ｓに搬送されていない場合は、当該収納部１０Ｓについての不活性気体供給部Ｆを収納前供給状態から供給停止状態に切り換え、その後、容器５０が当該収納部１０Ｓに搬送されると当該収納部１０Ｓについての不活性気体供給部Ｆを供給停止状態から保管用供給状態に切り換えるべく、スタッカークレーン２０及びマスフローコントローラ４０の作動を制御するように構成されている。

＃Ｒ１１で移載装置２５の移載作動が完了すると、クレーンコントローラＨ３は、＃Ｒ１２に移行して移載完了情報をストッカコントローラＨ２に送信する。ストッカコントローラＨ２は、クレーンコントローラＨ３から移載完了情報を受信すると、＃Ｓ８で収納部情報における容器存在データを更新する。すなわち、引当処理で収納対象の収納部１０Ｓとして引き当てられた収納部１０Ｓについての容器存在データが「容器あり」に更新される。ストッカコントローラＨ２は、＃Ｓ９で、更新した収納部情報をパージコントローラＨ１に送信する。

パージコントローラＨ１は、ストッカコントローラＨ２と通信可能な状態であるか否かを常時監視している。通信可能な状態である場合（例えば、物品保管設備が自動モードで運転されている場合）と、通信可能でない状態である場合（例えば、物品保管設備が手動モードで運転されている場合）とで、保管用供給状態への切り換え条件が異なっている（＃Ｎ５）。

具体的には、ストッカコントローラＨ２と通信可能な状態である場合は、ストッカコントローラＨ２から収納部情報に基づいて、新たに容器５０が収納された収納部１０Ｓ、つまり、新たに「容器あり」に更新された収納部１０Ｓがあるか判別し（＃Ｎ６）、新たに容器５０が収納された収納部１０Ｓが発生している場合は、当該収納部１０Ｓに備えられた一対の在荷センサ１０ｚの検出情報を確認する（＃Ｎ７）。一対の在荷センサ１０ｚの双方が容器５０を検出していれば、容器５０は収納部１０Ｓに正常に収納されているとして、＃Ｎ１０に移行して保管用供給状態への切り換えが行われる。一対の在荷センサ１０ｚの一方でも容器５０を検出していなければ、容器５０は収納部１０Ｓに正常に収納されていないとして、＃Ｎ８に移行して、通報処理などの異常発生処理を実行する。

ストッカコントローラＨ２と通信可能な状態でない場合は、一対の在荷センサ１０ｚの検出情報を確認する（＃Ｎ７）。一対の在荷センサ１０ｚの双方が容器５０を検出していれば、容器５０が収納部１０Ｓに収納されているとして、＃Ｎ１０に移行して保管用供給状態への切り換えが行われる。ちなみに、ストッカコントローラＨ２と通信可能な状態でない場合では、作業者が容器５０を収納部１０Ｓに収納することになる。

在荷センサ１０ｚの検出情報に基づいて＃Ｎ１０に移行すると、収納先の収納部１０Ｓにおける不活性気体供給部Ｆが備えるマスフローコントローラ４０に、保管用パージパターンＰ３にて与えられるノズル浄化用の目標流量を指令する。すなわち、図６の（Ｐ３）に示すように、設定供給時間ｔ３（例えば、５分）の間、初期目標流量値Ｌαとしての供給流量Ｌ３１にて窒素ガスを供給し（第１供給状態）、その後、定常目標流量値Ｌβとしての供給流量Ｌ３２にて窒素ガスを供給する（第２供給状態）ことが、一対の在荷センサ１０ｚが容器５０の存在を検出している間は繰り返し継続される（＃Ｎ１３）。

パージコントローラＨ１は、保管用供給状態へ切り換わってから最初の第１供給状態が完了したと＃Ｎ１１で判別されると、＃Ｎ１２へ移行して、出庫許可情報をストッカコントローラＨ２に送信する。出荷許可情報を受信したストッカコントローラＨ２は、＃Ｓ１０で収納部情報における当該収納部１０Ｓについての出庫許可フラグ情報を更新し、上位管理コンピュータに報告する。

ストッカコントローラＨ２は上位管理コンピュータから出庫要求があると、＃Ｓ１１から＃Ｓ１２へ移行して、収納部情報を参照して、出庫対象の容器５０が収納された収納部１０Ｓについての出荷許可フラグ情報が許可状態となっているか確認する。許可状態となっていない収納部１０Ｓに対する出庫要求であった場合は、＃Ｓ１３で、当該出庫対象の容器５０についての窒素ガスの供給が十分でないことを示すパージ未完了情報を上位管理コンピュータに送信した上で、＃Ｓ１４で出庫指令をクレーンコントローラＨ３に送信する。許可状態となっている収納部１０Ｓに対する出庫要求であった場合は、＃Ｓ１２から＃Ｓ１４に移行して、そのまま出庫指令をクレーンコントローラＨ３に送信する。

クレーンコントローラＨ３は、ストッカコントローラＨ２から出庫指令を受信すると、＃Ｒ１３で出庫制御を実行する。これにより、出庫対象の容器５０が、スタッカークレーン２０により、出庫元の収納部１０Ｓから入出庫コンベヤＣＶの入出庫口に搬送される。なお、入出庫口に受け渡された容器５０は、入出庫コンベヤＣＶにて搬出入口まで搬送され、搬送車Ｄにより搬出される。

スタッカークレーン２０の出庫作業により出庫元の収納部１０Ｓから容器５０が取り出されると、当該収納部１０Ｓにおける一対の在荷センサ１０ｚが容器５０を検出していた状態から検出しない状態に遷移する。これによりパージコントローラＨ１は、＃Ｎ１３及び＃Ｎ１４にて、マスフローコントローラ４０への目標流量の指令を停止する。

クレーンコントローラＨ３は、＃Ｒ１４及び＃Ｒ１５で、スタッカークレーン２０が出庫対象の容器５０を入出庫コンベヤＣＶの入出庫口に搬送して、出庫作業が完了すると、出庫完了情報をストッカコントローラＨ２に送信する。これを受信したストッカコントローラＨ２は、＃Ｓ１５で収納部情報における出庫元の収納部１０Ｓについての容器存在データを「容器なし」に更新し、＃Ｓ１６で更新後の収納部情報をパージコントローラＨ１に送信する。これを受信したパージコントローラＨ１は、＃Ｎ１５で、自身が記憶している収納部１０Ｓごとの管理情報と照合して、不一致がなければ、更新後の収納部情報の内容を管理情報に反映させる。

パージコントローラＨ１の容器存在データとストッカコントローラＨ２の管理情報とが一致しない収納部１０Ｓがある場合は、パージコントローラＨ１は当該収納部１０Ｓの使用を禁止するフラグをセットし、ストッカコントローラＨ２にその旨を送信する。これにより、その後の入庫要求があった場合に実行される収納部引当処理（＃Ｓ２）において、当該収納部１０Ｓが収納先の収納部１０Ｓとして選択されることを回避できる。

〔別実施形態〕
（１）上記実施形態においては、搬送容器を収納する収納部として、保管棚１０の収納部１０Ｓを例示したが、収納部としては、例えば、ホイスト式の搬送車ＤのガイドレールＧの横側脇に設けた吊り下げ式の収納部等、種々の収納部が考えられる。

（２）上記実施形態では、不活性気体として、窒素ガスを用いる場合を例示したが、不活性気体としては、窒素ガス以外にもアルゴンガス等、収容される基板に対して反応性の低い各種の気体を使用することができる。ちなみに、本発明における不活性ガスとは、酸素含有量が低く、絶対湿度が低いガスである必要がある。

（３）上記実施形態では、吐出ノズル１０ｉ及び内部制御部を備えるマスフローコントローラ４０を主要部として、不活性気体供給部Ｆを構成する場合を例示したが、例えば、容器５０への供給流量を変更調節する流量調節弁、及び、容器５０への供給流量を計測する流量センサを、窒素ガスの供給路中に設けて、制御手段Ｈが、流量センサの検出情報に基づいて、流量調節弁の作動を制御する形態で実施してもよい。
この場合、吐出ノズル１０ｉ及び流量調節弁を主要部として、不活性気体供給部Ｆが構成されることになる。

（４）上記実施形態では、制御手段Ｈが、収納先の収納部１０Ｓについての不活性気体供給部Ｆを吐出ノズル１０ｉから窒素ガスを吐出しない供給停止状態から、吐出ノズル１０ｉから窒素ガスをノズルパージパターンＰ１にしたがって吐出する収納前供給状態に切り換えてから設定時間ｔ１が経過した後は、当該収納部１０Ｓに容器５０が搬送されるまで、当該不活性気体供給部Ｆによる窒素ガスの供給を停止するべく、マスフローコントローラ４０の作動を制御するものを例示した。
これに代えて、制御手段Ｈが、収納先の収納部１０Ｓについての不活性気体供給部Ｆを吐出ノズル１０ｉから窒素ガスを吐出しない供給停止状態から、吐出ノズル１０ｉから窒素ガスをノズルパージパターンＰ１にしたがって吐出する収納前供給状態に切り換えてから設定時間ｔ１が経過した後も、当該収納部１０Ｓに容器５０が搬送されない場合は、当該収納部１０Ｓに容器５０が搬送されるまで、吐出ノズル１０ｉから窒素ガスをノズルパージパターンＰ１にしたがって吐出する状態での窒素ガスの供給を継続させるべく、マスフローコントローラ４０の作動を制御するように構成してもよい。

この場合は、ノズルパージパターンＰ１にしたがって吐出する収納前供給状態が設定時間ｔ１が経過した後、当該収納部１０Ｓに容器５０が搬送されるまでに、吐出ノズル１０ｉ内に塵埃や周囲の水蒸気や酸素が進入することを防止できる。これにより、容器５０が収納されて保管用パージパターンＰ３に従って窒素ガスの供給が開始された場合に、容器５０内に塵埃や水蒸気や酸素が入り込むことを防止できる。

なお、設定時間ｔ１が経過した後は、ノズルパージパターンＰ１におけるノズル浄化用の目標流量よりも小さい容器待機用の目標流量（例えば、１５リットル／分）にて窒素ガスを吐出するべく、マスフローコントローラ４０に対して目標流量を指令してもよい。

（５）上記実施形態では、搬送容器がＦＯＵＰであり、それに収容される基板が半導体ウェハーであり、不活性気体として窒素ガスをＦＯＵＰ内に供給する構成を例示したが、このような構成に限定されるものではなく、例えば、搬送容器に収容される基板はレチクルとし、搬送容器がレチクル容器であってもよい。

（６）上記実施形態においては、収納前供給状態における設定時間が変更設定自在であるものを例示したが、設定時間が固定であってもよい。

（７）上記実施形態では、保管用供給状態において容器５０に対して供給する窒素ガスの目標流量を第１目標流量値と当該第１目標流量値より小さな第２目標流量値との２段階とするように構成したが、このような構成に限定されるものではなく、例えば窒素ガスの目標流量を３段階又はそれ以上設定し、第１目標流量値の後に第２目標流量値、第３目標流量値（或いはそれ以上の目標流量値）を切換える状態でマスフローコントローラ４０を作動させるように構成してもよい。また、各目標流量での供給を断続的に行う供給形態であってもよい。

（８）上記実施形態では、収納前供給状態と保管用供給状態とで異なる形態で不活性気体を供給するものを例示したが、収納前供給状態と保管用供給状態とで同じ形態で不活性気体を供給するようにしてもよい。

（９）上記実施形態では、搬送牽制制御として、収納先の収納部に対する搬送容器の移載作動を中断するものを例示したが、これに代えて、搬送手段の搬送作動速度を減速するものであってもよい。例えば、上記実施形態のように搬送手段がスタッカークレーンにて構成される場合、走行台車の走行速度、昇降台の昇降速度、移載装置の出退速度の何れか１つ又は複数の作動速度を減速させればよい。

（１０）上記実施形態では、搬送牽制制御を実行するものを例示したが、これに代えて、収納先の収納部についての不活性気体供給部を供給停止状態から収納前供給状態に切り換えてから設定時間が経過するまでに、搬送手段による当該収納部への搬送容器の搬送を完了させてもよい。この場合、収納前供給状態に切り換えてから設定時間が経過する前に保管用供給状態に切り換えてもよい。

（１１）上記実施形態では、搬送手段がスタッカークレーンにて構成され、不活性気体供給開始状態が、スタッカークレーンの掬い動作が完了した状態であるものを例示したが、これに代えて、搬送手段を複数の搬送装置にて構成し、複数の搬送装置の何れかについての特定の作動状態を不活性気体供給開始状態としてもよい。例えば、上記実施形態において、搬送手段を入出庫コンベヤＣＶとスタッカークレーン２０とで構成し、不活性気体供給開始状態が、入出庫コンベヤＣＶが入出庫口への容器５０の搬送を完了した状態としてもよい。

また、不活性気体供給開始状態としては、スタッカークレーン２０が搬送対象の容器５０を受け取るために作動しているときの特定の作動状態（例えば、走行台車２１の走行位置や昇降台２４の昇降位置により特定される作動状態）でもよいし、容器５０を受け取った後に実際に容器５０を移動させているときの作動状態（例えば、走行台車２１の走行位置や昇降台２４の昇降位置により特定される作動状態）でもよい。

（１２）上記実施形態では、搬送手段の作動状態が不活性気体供給開始状態になると、収納先の収納部についての不活性気体供給部を供給停止状態から収納前供給状態に切り換えるものを例示したが、収納先の収納部についての不活性気体供給部を供給停止状態から収納前供給状態に切り換えるタイミングについては、適宜変更可能である。例えば、上記実施形態において、ストッカコントローラＨ２がクレーンコントローラＨ３に入庫指令を指令したときに、収納先の収納部についての不活性気体供給部を供給停止状態から収納前供給状態に切り換えてもよい。

Ｆ 不活性気体供給部
Ｈ 制御手段
Ｗ 基板
ｔ１ 設定時間
１０Ｓ 収納部
２０ 搬送手段
１０ｉ 吐出口
４０ 流量調節装置
５０ 搬送容器

Claims (6)

1. 基板を密閉状態で収容する搬送容器を収納自在な複数の収納部と、前記複数の収納部に対して前記搬送容器を搬送自在な搬送手段とが設けられ、
   前記複数の収納部の夫々について、不活性気体を吐出する吐出口と、前記吐出口から吐出する前記不活性気体の流量を調節自在な流量調節装置とを備えて前記収納部に収納された前記搬送容器の内部に前記不活性気体を供給自在な不活性気体供給部が設けられ、
   前記搬送手段と前記流量調節装置との作動を制御する制御手段が設けられた物品保管設備であって、
   前記制御手段が、
   前記複数の収納部の夫々について前記搬送容器が収納されているか否かを管理するように構成され、
   前記収納部に前記搬送容器が収納されている場合は当該収納部についての前記不活性気体供給部を前記吐出口から前記不活性気体を吐出する保管用供給状態とし、前記収納部に前記搬送容器が収納されていない場合は当該収納部についての前記不活性気体供給部を前記吐出口から前記不活性気体を吐出しない供給停止状態とするべく、前記流量調節装置の作動を制御するように構成され、かつ、
   前記搬送手段にて前記収納部に前記搬送容器を収納する際に、収納先の前記収納部における前記不活性気体供給部を前記供給停止状態から、前記吐出口から前記不活性気体を吐出する収納前供給状態に切り換えた後に、前記搬送容器を前記収納部に収納するべく、前記搬送手段の作動及び前記流量調節装置の作動を制御するように構成されている物品保管設備。
2. 前記制御手段は、前記搬送手段の作動状態が、前記搬送容器を前記収納部に搬送するまでの作動状態として予め定められた不活性気体供給開始状態になると、当該搬送対象の搬送容器を収納する前記収納部についての前記不活性気体供給部を前記供給停止状態から前記収納前供給状態に切り換え、その後、設定時間が経過するまで前記収納前供給状態を維持するべく前記流量調節装置の作動を制御するように構成されている請求項１記載の物品保管設備。
3. 前記制御手段は、収納先の前記収納部についての前記不活性気体供給部を前記収納前供給状態に切り換えてから前記設定時間が経過した時点で、前記搬送容器が当該収納部に搬送されていない場合は、当該収納部についての前記不活性気体供給部を前記収納前供給状態から前記供給停止状態に切り換え、その後、前記搬送容器が当該収納部に搬送されると当該収納部についての前記不活性気体供給部を前記供給停止状態から前記保管用供給状態に切り換えるべく、前記流量調節装置の作動を制御するように構成されている請求項２記載の物品保管設備。
4. 前記制御手段は、収納先の前記収納部についての前記不活性気体供給部を前記供給停止状態から前記収納前供給状態に切り換えてから前記設定時間が経過するまでは、前記搬送手段による当該収納部への前記搬送容器の搬送を完了させない搬送牽制制御を実行するように構成されている請求項２記載の物品保管設備。
5. 前記制御手段は、前記搬送手段の搬送作動が前記不活性気体供給開始状態となるときの前記搬送容器の位置よりも前記搬送手段の搬送経路において収納先の前記収納部に近接する位置に設定された供給状態判別用位置まで前記搬送容器が前記搬送手段にて搬送されたときに、当該収納部についての前記不活性気体供給部が前記収納前供給状態である場合は、前記搬送手段の搬送作動を停止させ、当該収納部についての前記不活性気体供給部の前記収納前供給状態での前記不活性気体の供給が完了した後に、前記搬送手段の搬送作動を再開するべく、前記流量調節装置及び前記搬送手段の作動を制御するように構成されている請求項４記載の物品保管設備。
6. 前記制御手段は、収納先の前記収納部についての前記不活性気体供給部を前記供給停止状態から前記収納前供給状態に切り換えてから前記設定時間が経過した後も、当該収納部に前記搬送容器が搬送されない場合は、当該収納部に前記搬送容器が搬送されるまで、当該不活性気体供給部による前記収納前供給状態での前記不活性気体の供給を継続させるべく、前記流量調節装置及び前記搬送手段の作動を制御するように構成されている請求項２記載の物品保管設備。

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