TWI643684B - Purification storage and purification method - Google Patents

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Abstract

本發明提供一種可一邊抑制淨化氣體之消耗，一邊為簡易構成之淨化倉儲及淨化方法。淨化倉儲1具備有：第1供給單元20，其具有N台第1淨化裝置21，該第1淨化裝置21具有支撐收納容器F之第1支撐部22、對第1支撐部22所支撐之收納容器F供給淨化氣體之第1供給管23、及調整第1供給管23中淨化氣體之流量之第1流量調整部24；及第2供給單元30，其具有M台第2淨化裝置31，該第2淨化裝置31具有支撐收納容器F之第2支撐部32、及對第2支撐部32所支撐之收納容器F供給淨化氣體之第2供給管34；第2供給單元30係於既定數量之第2支撐部32支撐有收納容器F之情形時，藉由第2供給管34將淨化氣體供給至收納容器F。

Description

淨化倉儲及淨化方法
本發明係關於一種淨化倉儲及淨化方法。
作為習知之淨化倉儲，已知有例如專利文獻1所記載之具備淨化系統之倉儲。專利文獻1所記載之淨化系統，其具備有：具備供給第1氣體流量之淨化氣體之自動淨化機構之一次保管單元、及具備供給低於第1氣體流量之第2氣體流量之淨化氣體之自動淨化機構之二次保管單元，並橫跨一定時間藉由搬送機構將被放置於一次保管單元之容器移動至二次保管單元。藉此，該淨化系統係謀求淨化氣體之消耗量之削減。
[先前技術文獻] [專利文獻]
[專利文獻1]日本專利特開2010-182747號公報
上述二次保管單元所具備之自動淨化機構，具備有於載置有容器時供給淨化氣體之淨化閥。淨化閥係具有致動器，並藉由載置容器使致動器作動，而使供給管與被設置於致動器之氣體通路連通，從而將淨化氣體供給至容器之機構。藉此，二次保管單元 雖然因為可藉由淨化閥防止淨化氣體被白白釋放，而可抑制淨化氣體之消耗，但存在有使構成複雜化之問題。藉由於二次保管單元之供給管設置電磁閥或流量控制部(MFC：Mas Flow Controller)，雖可成為不需上述淨化噴嘴之構成，但不僅裝置變得更昂貴，亦無法解決構成複雜化之問題。
本發明之目的在於提供一種可一邊抑制淨化氣體之 消耗，一邊為簡易構成之淨化倉儲及淨化方法。
本發明之淨化倉儲係藉由淨化氣體對收納有被收納物之收納容器之內部進行淨化處理之淨化倉儲，其具備有：第1供給單元，其具有N台(N為2以上之整數)第1淨化裝置，該第1淨化裝置具有支撐收納容器之第1支撐部、對第1支撐部所支撐之收納容器供給淨化氣體之第1供給管、及調整第1供給管中之淨化氣體之流量之第1流量調整部；第2供給單元，其具有M台(M為N以下之正整數)第2淨化裝置，該第2淨化裝置具有支撐收納容器之第2支撐部、及對第2支撐部所支撐之收納容器供給淨化氣體之第2供給管；及移載裝置，其於第1供給單元與第2供給單元之間移載收納容器；於既定數量之第2支撐部支撐有收納容器之情形時，第2供給單元係藉由第2供給管將淨化氣體供給至收納容器。
於該淨化倉儲中，於由既定數量之第2支撐部支撐有收納容器之情形時，第2供給單元係藉由第2供給管將淨化氣體供給至收納容器。亦即，第2供給單元於第2支撐部所支撐收納容器之個數少於既定數量之情形時，不實施淨化處理。藉此，於未支撐有收納容器之第2支撐部，由於可抑制淨化氣體自第2供給管大量 被釋放，因此可抑制淨化氣體之消耗。又，由於不需具有複雜構成之淨化噴嘴，因此可謀求構成之簡易化。再者，既定數量例如為M之80%以上。又，所謂支撐有收納容器之情形，除了指於支撐部實際支撐有收納容器之狀態之情形，亦包含已對移載裝置下達移載指令之情形等，已確定將由支撐部支撐收納容器之情形。
於一實施形態中，第2供給單元亦可於M台第2淨 化裝置全部之第2支撐部支撐收納容器之情形時，藉由第2供給管將淨化氣體供給至收納容器。藉此，由於淨化氣體不會被白白釋放，因此可抑制淨化氣體之消耗。又，因為由第2淨化裝置全部之第2支撐部支撐收納容器，因此可取得壓力負載之平衡，而可精度良好地對收納容器供給淨化氣體。
於一實施形態中，移載裝置亦可於在第1供給單元以 既定時間被供給既定流量之淨化氣體之收納容器之個數成為M個之情形時，將M個該收納容器自第1供給單元移載至第2供給單元，而第2供給單元亦可於M個收納容器之移載完成之情形時，藉由第2供給管將淨化氣體供給至收納容器。若將以既定時間被供給既定流量之淨化氣體之收納容器自第1供給單元逐一移載至第2供給單元，則會有直至第2淨化裝置全部之第2支撐部均支撐有收納容器為止需要時間之情形。於該情形時，直至其他收納容器被移載前，不對先被移載至第2供給單元之收納容器供給淨化氣體。因此，藉由於在第1供給單元以既定時間被供給既定流量之淨化氣體之收納容器之個數成為M個之情形時移載至第2供給單元，可減少收納容器不被供給淨化氣體之時間。再者，所謂收納容器之移載完成之情形，除了指收納容器之移載實際完成之狀態之情形，亦包 括已對移載裝置下達移載指令之情形等，已確定M個收納容器之移載將結束之情形。
於一實施形態中，第2供給單元亦可具有：主管，其 連接有複數個第2供給管，並且對複數個第2供給管之各者供給淨化氣體；及第2流量調整部，其調整主管中淨化氣體之流量。藉此，可調整供給至第2供給管之淨化氣體之流量。又，由於為在主管僅設置1個第2流量調整部之構成，因此相較於在各第2供給管設置流量調整部之構成，可謀求構成之簡易化，並且可抑制成本之增加。
於一實施形態中，第2流量調整部亦可以使主管之淨 化氣體之流量成為根據第2供給單元中連接於第2供給管之收納容器之個數所設定之設定流量之方式進行調整。藉此，可對收納容器之各者供給一定量之淨化氣體。又，例如，於第2供給單元中對數量少於M台之收納容器進行淨化處理之情形時，使淨化氣體之流量為較M台之收納容器連接有第2供給管之情形大之設定流量。 藉此，即便於浸化氣體自未連接於收納容器之第2供給管被釋放之情形時，亦可對收納容器供給一定量之淨化氣體。
於一實施形態中，第1流量調整部亦可於對收納容器 開始供給淨化氣體時，以成為既定之供給流量之方式使第1供給管中淨化氣體之流量連續地或階段性地增加。藉此，於開始供給淨化氣體時，可抑制於收納容器之內部捲起灰塵。
於一實施形態中，移載裝置亦可於收納容器自第2供 給單元被搬出之情形時，將所搬出之個數之收納容器自第1供給單元移載至第2供給單元。藉此，使第2供給單元中始終存在有M台收納容器。因此，可於全部之第2供給管連接於收納容器之狀態下 對收納容器供給淨化氣體。因此，可謀求淨化氣體消耗量之削減，並且可精度良好地對收納容器供給淨化氣體。
於一實施形態中，亦可具備有一個或複數個未收納有 被收納物之空收納容器，且移載裝置亦可於收納容器自第2供給單元被搬出之情形時，將所搬出之個數之空收納容器移載至第2供給單元。藉此，使第2供給單元中始終存在有M個收納容器。因此，可於全部之第2供給管連接於收納容器之狀態下對收納容器供給淨化氣體。因此，可良好地對收納容器供給一定量之淨化氣體。
本發明之淨化方法係藉由淨化氣體而對收納有被收 納物之收納容器之內部進行淨化處理之淨化倉儲之淨化方法；該淨化倉儲具備有第1供給單元，其具有N台(N為2以上之整數)第1淨化裝置，該第1淨化裝置具有支撐收納容器之第1支撐部、對第1支撐部所支撐之收納容器供給淨化氣體之第1供給管、及調整第1供給管中淨化氣體流量之第1流量調整部；第2供給單元，其具有M台(M為N以下之正整數)第2淨化裝置，該第2淨化裝置具有支撐收納容器之第2支撐部、及對第2支撐部所支撐之收納容器供給淨化氣體之第2供給管；及移載裝置，其於第1供給單元與第2供給單元之間移載收納容器；於既定數量之第2支撐部支撐有收納容器之情形時，於第2供給單元，藉由第2供給管將淨化氣體供給至收納容器。
於該淨化方法中，於既定數量之第2支撐部支撐有收 納容器之情形時，於第2供給單元中，藉由第2供給管將淨化氣體供給至收納容器。亦即，於第2支撐部所支撐收納容器之個數少於既定數量之情形時，於第2供給單元不實施淨化處理。藉此，由於 可抑制於未支撐有收納容器之第2支撐部淨化氣體自第2供給管被大量釋放，因此可抑制淨化氣體之消耗。又，由於不需要具有複雜構成之淨化噴嘴，因此能夠以簡易之構成進行淨化處理。
根據本發明，可謀求淨化處理效率之提昇。
1‧‧‧淨化倉儲
3‧‧‧隔板
5‧‧‧支架
5A‧‧‧保管架
7‧‧‧起重機(移載裝置)
7A‧‧‧載物台
7B‧‧‧導軌
11‧‧‧埠
11A、13A‧‧‧輸送機
13‧‧‧手動埠
14‧‧‧高架移行車
15‧‧‧淨化系統
17‧‧‧控制部
20‧‧‧第1供給單元
21、21A、21B、21C、21D、21E‧‧‧第1淨化裝置
22‧‧‧載置部(第1支撐部)
23‧‧‧供給管(第1供給管)
24‧‧‧MFC(第1流量調整部)
25、33‧‧‧檢測部
26、37‧‧‧主管
27、35‧‧‧微粒過濾器
30‧‧‧第2供給單元
31‧‧‧第2淨化裝置
32‧‧‧載置部(第2支撐部)
34‧‧‧供給管(第2供給管)
36‧‧‧孔口
38‧‧‧MFC(第2流量調整部)
40‧‧‧淨化氣體源
50‧‧‧棚架
F‧‧‧收納容器
FD‧‧‧空之收納容器
R‧‧‧軌道
圖1係表示一實施形態之淨化倉儲之圖。
圖2係表示淨化系統之構成之圖。
圖3係表示淨化倉儲之構成之圖。
圖4係用以說明淨化氣體之供給方法之圖。
圖5係用以說明淨化倉儲之淨化處理之動作之圖。
圖6係表示將收納容器自第1供給系統移載至第2供給系統之時序之圖。
圖7(a)至(e)係用以說明淨化倉儲之淨化處理之動作之圖。
圖8係用以說明淨化倉儲之淨化處理之動作之圖。
圖9係用以說明淨化倉儲之淨化處理之動作之圖。
圖10係用以說明淨化倉儲之淨化處理之動作之圖。
以下，參照隨附圖式，對本發明較佳之實施形態進行詳細說明。再者，於圖式之說明中，對相同或相當之元件標註相同符號，並省略重複之說明。
圖1所示之淨化倉儲1係藉由淨化氣體(例如氮氣)對收納有半導體晶圓及玻璃基板等被收納物之FOUP(Front Opening Unified Pod，前開式晶圓盒)等之收納容器F之內部進行淨化處理，並且具有保管複數個收納容器F之作為保管庫之功能。淨化處理係用以對收納有被收納物之FOUP之內部注入淨化氣體，藉此保持淨化度之處理。淨化倉儲1例如係設置於無塵室(未圖示)。
如圖1~圖3所示，淨化倉儲1具備有隔板3、貨架 5、起重機(移載裝置)7、OHT(Overhead Hoist Transfer，懸吊式搬運車)埠11、手動埠13、淨化系統15、及控制部17。
隔板3係淨化倉儲1之蓋板，於其內側形成有保管收 納容器F之保管區域。支架5係保管收納容器F之部分，於保管區域內通常設置1~2行(此處為2行)。各支架5係於既定方向X上延伸，以使相鄰之2個支架5、5對向之方式大致平行地配置。於各支架5，沿著既定方向X及鉛垂方向Z，形成複數個載置(支撐)並保管收納容器F之保管架5A。
起重機7係對保管架5A存取收納容器F，並且使其 於保管架5A間移動之機構，被配置於由對向之支架5、5所包夾之區域。起重機7係藉由沿著支架5之既定方向X，於被配置於地板面之移行軌道(未圖示)上移行，而可沿著支架5於既定方向X上移動。起重機7之載物台7A係設置成可沿著導軌7B升降，而可對被設置於鉛垂方向之複數個保管架5A存取收納容器F。起重機7之動作係藉由控制部17控制。
對淨化倉儲1之收納容器F之存取係由 OHT(Overhead HoistTransfer)埠11及手動埠13所進行。OHT埠11係於在被舖於天花板之移行軌道R上移行之高架移行車14(OHT)與淨化倉儲1之間交接收納容器F之部分，具有搬送收納容器F之 輸送機11A。手動埠13係於作業者與淨化倉儲1之間交接收納容器F之部分，具有搬送收納容器F之輸送機13A。OHT埠11之輸送機11A、及手動埠13之輸送機13A之動作係藉由控制部17所控制。
淨化系統15具備有第1供給單元20、及第2供給單 元30。於本實施形態之淨化系統15中，第1供給單元20係設置1個，而第2供給單元30係設置複數個。
第1供給單元20具備有N台第1淨化裝置21。N為 2以上之整數。第1淨化裝置21具備有：載置有收納容器F之載置部(第1支撐部)22、對載置部22所載置之收納容器F供給淨化氣體之供給管(第1供給管)23、及調整供給管23中淨化氣體之流量之MFC(Mass Flow Controller(質量流量控制器)，第1流量調整部)24。
載置部22係配置於保管架5A。於載置部22設置有 檢測於載置部22載置有收納容器F之檢測部25(參照圖3)。檢測部25例如係檢測收納容器F之有無之光學感測器等，若檢測到收納容器F，便將載置部22載置有收納容器F之檢測信號輸出至控制部17。於載置有收納容器F時，在載置部22中，於與設置於收納容器F之淨化氣體導入部(未圖示)對應之位置，設置淨化噴嘴(未圖示)。若於載置部22載置有收納容器F，則淨化噴嘴位於淨化氣體導入部，而成為可供給淨化氣體之狀態。
供給管23係連接於主管26。供給管23之一端係連接於淨化噴嘴，供給管23之另一端係連接於主管26。主管26係連接於淨化氣體源40。於主管26，自淨化氣體源40供給有淨化氣體。淨化氣體源40係儲存淨化氣體之儲槽。
於供給管23，設置有微粒過濾器27。微粒過濾器27 係可捕獲灰塵(微粒)之過濾器。
MFC24係測量流通供給管23之淨化氣體之質量流 量，並進行流量控制之機器。MFC24之流量控制係藉由控制部17所控制。具體而言，MFC24若接收到自控制部17所輸出之信號，則根據信號控制供給管23中淨化氣體之流量。
第2供給單元30具備有M台第2淨化裝置31。M為 N以下之正整數。第2淨化裝置31具備有：載置有收納容器F之載置部(第2支撐部)32，及對載置部32所載置之收納容器F供給淨化氣體之供給管(第2供給管)34。
載置部32係配置於保管架5A。於載置部32，設置有 檢測於載置部32載置有收納容器F之檢測部33(參照圖3)。檢測部33例如係檢測收納容器F之有無之光學感測器等，若檢測到收納容器F，便將載置部32載置有收納容器F之檢測信號輸出至控制部17。於載置有收納容器F時，在載置部32中，於與設置於收納容器F之淨化氣體導入部對應之位置，設置淨化噴嘴(未圖示)。若於載置部32載置有收納容器F，則淨化噴嘴位於淨化氣體導入部，而成為可供給淨化氣體之狀態。
於供給管34，設置有微粒過濾器35、及孔口36。孔 口36係以使自供給管34所供給淨化氣體之流量於複數個供給管34彼此間相等之方式進行調整。供給管34係連接於主管37。供給管34之一端係連接於淨化噴嘴，供給管34之另一端係連接於主管37。主管37係連接於淨化氣體源40。於主管37，自淨化氣體源40供給有淨化氣體。
於主管37，設置有調整主管37中淨化氣體之流量之 MFC(第2流量調整部)38。具體而言，MFC38係設置於較主管37中連接有供給管34之部分靠上游側。MFC38係測量流通主管37之淨化氣體之質量流量，並進行流量控制之機器。MFC38之流量控制係藉由控制部17所控制。具體而言，MFC38若接收到自控制部17所輸出之信號，便則根據信號控制主管37中淨化氣體之流量。
控制部17總括地控制淨化倉儲1之動作。控制部17 例如係由CPU(Central Processing Unit，中央處理單元)、ROM(Read Only Memory，唯讀記憶體)、RAM(Random Access Memory，隨機存取記憶體)等所構成之電子控制單元。
控制部17控制起重機7之動作。控制部17係根據自 未圖示之上位控制器所發送而來之收納容器F之出入庫資訊(指示收納容器F之搬入及搬出之資訊)，來控制起重機7。又，控制部17係根據第1供給單元20及第2供給單元30中收納容器F之淨化處理之狀況，而以於第1供給單元20與第2供給單元30之間移載收納容器F之方式控制起重機7。控制部17將指示起重機7之動作之搬送信號輸出至起重機7。
控制部17控制MFC24之動作。控制部17係於以目 標供給流量對載置於載置部22之收納容器F供給淨化氣體時，控制MFC24，並以使供給管23中淨化氣體之流量成為目標供給流量之方式進行調整。此時，控制部17係使供給管23中淨化氣體之流量以逐漸地(連續地)增加至成為目標供給流量為止之方式控制MFC24。更詳細而言，如圖7所示，控制部17係自開始供給淨化氣體之時間t0至成為第1目標供給流量TF1之時間t1為止，使淨 化氣體之流量連續地增加。控制部17係自時間t1至時間t2為止，以維持第1目標供給流量TF1之方式控制MFC24。
控制部17係使淨化時間若過了時間t2就成為第2目 標供給流量TF2，而以使淨化氣體之流量逐漸減少之方式控制MFC24。詳細而言，控制部17係以自時間t2至成為第2目標供給流量TF2之時間t3為止，使淨化氣體之流量連續地減少。第2目標供給流量TF2係少於第1目標供給流量TF1，例如為第1目標供給流量TF1之1/5左右。再者，於以下之說明中，將在第1目標供給流量TF1下所進行之淨化處理稱為初期淨化，並將在第2目標供給流量TF2下所進行之淨化處理稱為維持淨化。第1目標供給流量TF1及第2目標供給流量TF2只要適當地設定即可。時間t1、t2、t3只要根據第1目標供給流量TF1及第2目標供給流量TF2等適當地設定即可。
控制部17係控制MFC38之動作。控制部17係於以 第1目標供給流量TF1或第2目標供給流量TF2將淨化氣體供給至被載置於載置部32之收納容器F時，控制MFC38，而以使主管37(供給管34)中淨化氣體之流量成為第1目標供給流量TF1或第2目標供給流量TF2之方式進行調整。控制部17亦可對MFC38，以使淨化氣體之流量逐漸增加或減少之方式進行控制。
接著，參照圖5~圖9對淨化倉儲1中淨化處理之動 作(淨化方法)進行說明。於以下之說明中，1個第1供給單元20係設為具備有5台第1淨化裝置21A、21B、21C、21D、21E。又，4個第2供給單元30係設為各具備有3台第2淨化裝置31。
當收納容器F經由例如OHT埠11而入庫，至淨化倉 儲1控制部17對起重機7輸出指示將收納容器F搬送至第1供給單元20之搬送信號。起重機7係根據搬送信號而如圖5所示般，將收納容器F搬送至第1供給單元20之第1淨化裝置21A~21E。 此處，控制部17係以第1淨化裝置21A、第1淨化裝置21B、第1淨化裝置21C、第1淨化裝置21D及第1淨化裝置21E之順序，即以自圖示左側之第1淨化裝置21A朝向右側依序搬送收納容器F之方式，控制起重機7。
當收納容器F被載置於第1淨化裝置21A~21E之載 置部22，被設置於載置部22之檢測部25便將表示收納容器F已被載置於載置部22之檢測信號輸出至控制部17。控制部17若接收到檢測信號，便對MFC24輸出指示開始淨化處理之信號。MFC24若接收信號，便開始藉由供給管23對收納容器F供給淨化氣體。此處，係以收納容器F被載置於載置部22之順序、即自第1淨化裝置21A起依序開始進行淨化處理(初期淨化)。
如圖6所示，第1淨化裝置21A~21E，由於收納容 器F被載置於載置部22之時序(搬送之時序)不同，因此開始進行淨化處理之時序不同。控制部17係監視(掌握)各第1淨化裝置21A~21E中收納容器F淨化處理之狀態。詳細而言，控制部17係測量第1淨化裝置21A~21E自開始進行淨化處理起算之經過時間。亦即，控制部17係根據自收納容器F被載置於載置部22起算之經過時間，而監視第1淨化裝置21A~21E中淨化處理之狀態。
如圖7所示，控制部17係於第1供給單元20中完成 初期淨化之收納容器F之個數成為既定數量、即設置於1個第2供給單元30之第2淨化裝置31之台數的M台(此處為3台)之情形時， 使收納容器F移載至一第2供給單元30之第2淨化裝置31。詳細而言，控制部17係如圖6所示般，當第1淨化裝置21C之淨化處理切換為維持淨化(圖6所示時間t經過圖4之時間t3)時，對起重機7輸出搬送信號。又，控制部17係控制MFC24而使藉由搬出收納容器F之第1淨化裝置21A~21C之供給管23所進行淨化氣體之供給停止。
若收納容器F被載置於第2淨化裝置31之載置部 32，被設置於載置部32之檢測部33便將表示收納容器F已被載置於載置部32之檢測信號輸出至控制部17。控制部17若根據檢測信號而確認收納容器F被移載至第2供給單元30，收納容器F已被載置於全部(既定數量)之第2淨化裝置31之載置部32，便對MFC38輸出信號，並開始藉由供給管34對收納容器F供給淨化氣體。亦即，控制部17若自屬於一第2供給單元30全部之第2淨化裝置31之檢測部33接收到檢測信號，便對MFC38輸出信號，並開始藉由供給管34對收納容器F供給淨化氣體。第2供給單元30係實施維持淨化作為淨化處理。
如圖8所示，控制部17若自上位控制器接收到收納 容器F之出庫指示，便控制起重機7，自一第2供給單元30使收納容器F出庫。於圖8所示之例中，將1個收納容器F出庫。藉此，一第2供給單元30係成為全部之第2淨化裝置31之載置部32未載置有收納容器F之狀態。此時，控制部17係如圖8所示，例如於在第1供給單元20之第1淨化裝置21A實施維持淨化之情形時，使收納容器F自第1淨化裝置21A移載至第2供給單元30。藉此，成為一第2供給單元30全部之第2淨化裝置31之載置部32均載 置有收納容器F之狀態。
如圖9所示，於2台收納容器F自一第2供給單元 30出庫之情形時，一個第2供給單元30係成為僅於1台第2淨化裝置31之載置部32載置有收納容器F之狀態。於該情形時，控制部17例如於第1供給單元20之第1淨化裝置21E之載置部22未載置有收納容器F時，使收納容器F自第2淨化裝置31移載至第1供給單元20之第1淨化裝置21E。藉此，成為一第2供給單元30全部之第2淨化裝置31之載置部32均未載置有收納容器F之狀態。控制部17係控制一第2供給單元30之MFC38，使供給管34(主管37)中淨化氣體之供給停止。再者，控制部17亦可於在第1供給單元20之第1淨化裝置21A~21E對2台以上之收納容器F實施維持淨化之情形時，使該收納容器F移載至一第2供給單元30。
如以上所說明，於本實施形態之淨化倉儲1中，第2 供給單元30係於全部之載置部32均載置有收納容器F之情形時，將淨化氣體藉由供給管34供給至收納容器F。亦即，於第2供給單元30中，於載置部32未載置有收納容器F之情形時，不實施淨化處理。藉此，由於可抑制淨化氣體被放出，因此可抑制淨化氣體之消耗。又，由於不需要具有複雜構成之淨化噴嘴，因此可謀求構成之簡易化。
於本實施形態中，藉由控制部17之控制，起重機7 係於在第1供給單元20中已完成初期淨化之收納容器F之個數成為M個之情形時，將該等M個收納容器F自第1供給單元20移載至第2供給單元30。第2供給單元30係於M個收納容器F之移載完成之情形時，藉由供給管34對收納容器F供給淨化氣體。若將 已完成初期淨化之收納容器F自第1供給單元20逐一移載至第2供給單元30，則有直至收納容器F被載置於第2淨化裝置31全部之載置部32需要時間之情形。於該情形時，直至其他收納容器F被移載之期間，不會對先被移載至第2供給單元30之收納容器F供給淨化氣體。於該情形時，存在有無法良好地維持收納容器F內部之環境之可能性。因此，藉由於在第1供給單元20中已完成初期淨化之收納容器F之個數成為M個之情形時移載至第2供給單元30，可減少不對收納容器F供給淨化氣體之時間。
於本實施形態中，第2供給單元30連接有複數個供 給管34，並且具有對複數個供給管34之各者供給淨化氣體之主管37、及調整主管37中淨化氣體之流量之MFC38。藉此，可調整供給至供給管34之淨化氣體之流量。又，由於為主管37僅設置1個MFC38之構成，因此相較於在各供給管34設置MFC之構成，可謀求構成之簡易化，並且可抑制成本之增加。此外，例如在淨化倉儲1發生停電等後而於啟動淨化倉儲1時，存在有於第2供給單元30對收納容器F進行初期淨化之情形。於該情形時，由於在主管37設置有MFC38，因此可使藉由供給管34供給至收納容器F之淨化氣體之流量逐漸增加。因此，可抑制於收納容器F之內部捲起灰塵。
於本實施形態中，MFC24係於對收納容器F開始供 給淨化氣體時，以成為第1目標供給流量TF1之方式使供給管23中淨化氣體之流量連續地或階段性地增加。藉此，可抑制於收納容器F之內部捲起灰塵。
於本實施形態中，藉由控制部17之控制，起重機7 係於收納容器F自第2供給單元30被搬出之情形時，將所搬出之個數之收納容器F自第1供給單元20移載至第2供給單元30。藉此，第2供給單元30係成為始終存在有M個收納容器F之情形。 因此，可於全部之供給管34均連接於收納容器F之狀態下，對收納容器F供給淨化氣體。因此，可謀求淨化氣體之消耗量之削減，並且可精度良好地對收納容器F供給淨化氣體。
本發明並不限定於上述實施形態。例如，於上述實施 形態中，雖然已以於收納容器F自一第2供給單元30被搬出之情形時，將收納容器F自第1供給單元20移載至第2供給單元30，或自第2供給單元30移載至第1供給單元20之形態為一例進行說明。有關於此，亦可如圖10所示，於收納容器F自一第2供給單元30被搬出之情形時，將空之收納容器FD自保管未收納有被收納物之空之收納容器FD之棚架50移載至第2供給單元30。藉此，於第2供給單元30中，可在全部之第2淨化裝置31之載置部32的載置有收納容器F、FD之狀態下供給淨化氣體。
於上述實施形態中，雖然於在第2供給單元30全部 之第2淨化裝置31之載置部32均載置有收納容器F之情形時，藉由供給管34對收納容器F供給淨化氣體，但亦可於即便並未全部之第2淨化裝置31之載置部32均載置有收納容器F之情形時，而於僅既定數量之載置部32載置有收納容器F之情形時，便藉由供給管34對收納容器F供給淨化氣體。既定數量例如為全部之載置部32之80%以上。於該情形時，控制部17係於MFC38使主管37中淨化氣體之流量增大。具體而言，控制部17係根據第2淨化裝置31之供給管34所連接收納容器F之個數，設定淨化氣體之流量。 例如，於在一第2供給單元30設置3台第2淨化裝置31之情形時，設定流量係設為目標供給流量(例如10l/min)乘以供給管34所連接收納容器F之個數(載置部32之台數：3)所得之流量。於並非全部之供給管34均連接有收納容器F之情形時，設定流量係設為大於平常之設定流量之流量。藉此，即便於自未連接有收納容器F之供給管34放出淨化氣體之情形時，亦可對收納容器F供給一定量之淨化氣體。
於上述實施形態中，雖已以藉由檢測部25(檢測部33) 檢測收納容器F已被載置於載置部22(載置部32)之構成為一例進行說明，但掌握(檢測)收納容器F被載置之方法並不限定於此。例如，控制部17亦可根據起重機7之動作(搬送指令之資訊)，來掌握收納容器F已被載置於載置部22(載置部32)。
於上述實施形態中，雖已以收納容器F已被載置(支 撐)於載置部32之情形時，將淨化氣體藉由供給管34供給至收納容器F之形態為一例進行說明，但亦可於對起重機7發出移載指令之情形時等，在確定收納容器F已由載置部32所支撐之情形時供給淨化氣體。
於上述實施形態中，雖已以於第2供給單元30之主管37設置有MFC38之形態為一例進行說明，但亦可不設置MFC38。亦可於主管37設置調節器以取代MFC38。
於上述實施形態中，雖已以於第2淨化裝置31之供給管34設置有孔口36之構成為一例進行說明，但亦可不設置孔口36。

Claims (8)

  1. 一種淨化倉儲，係藉由淨化氣體對收納有被收納物之收納容器之內部進行淨化處理者；其具備有：第1供給單元，其具備有：N台(N為2以上之整數)第1淨化裝置，該第1淨化裝置具有支撐上述收納容器之第1支撐部、對上述第1支撐部所支撐之上述收納容器供給上述淨化氣體之第1供給管、及量測上述第1供給管中上述淨化氣體之質量流量並個別地進行流量控制之第1流量調整部；第2供給單元，其具備有：M台(M為N以下且2以上之整數)第2淨化裝置，該第2淨化裝置具有支撐上述收納容器之第2支撐部、及對上述第2支撐部所支撐之上述收納容器供給上述淨化氣體之第2供給管；連接有上述第2供給管並且對上述第2供給管之各者供給上述淨化氣體之主管；及1台第2流量調整部，其量測上述主管中上述淨化氣體之質量流量並統括地進行流量控制；以及移載裝置，其於上述第1供給單元與上述第2供給單元之間移載上述收納容器；上述第2流量調整部統括地控制自M台上述第2淨化裝置之各者之上述第2供給管供給至上述收納容器之上述淨化氣體之流量，上述第2供給單元係於複數個上述第2支撐部支撐有上述收納容器之情形時，藉由上述第2供給管將上述淨化氣體供給至上述收納容器。
  2. 如申請專利範圍第1項之淨化倉儲，其中，上述第2供給單元係於M台上述第2淨化裝置全部之上述第2支撐部支撐有上述收納容器之情形時，藉由上述第2供給管將上述淨化氣體供給至上述收納容器。
  3. 如申請專利範圍第2項之淨化倉儲，其中，上述移載裝置係於在上述第1供給單元以既定時間被供給既定流量之上述淨化氣體之上述收納容器之個數成為M個之情形時，將M個該收納容器自上述第1供給單元移載至上述第2供給單元，上述第2供給單元係於M個上述收納容器之移載完成之情形時，藉由上述第2供給管將上述淨化氣體供給至上述收納容器。
  4. 如申請專利範圍第1項之淨化倉儲，其中，上述第2流量調整部係以，使上述主管之上述淨化氣體之流量成為根據上述第2供給單元中連接於上述第2供給管之上述收納容器之個數所設定之設定流量之方式進行調整。
  5. 如申請專利範圍第1項之淨化倉儲，其中，上述第1流量調整部係於對上述收納容器開始供給淨化氣體時，以成為既定之供給流量之方式使上述第1供給管中上述淨化氣體之流量連續地或階段性地增加。
  6. 如申請專利範圍第1項之淨化倉儲，其中，上述移載裝置係於上述收納容器自上述第2供給單元被搬出之情形時，將所搬出之個數之上述收納容器自上述第1供給單元移載至上述第2供給單元。
  7. 如申請專利範圍第1項之淨化倉儲，其具備有一個或複數個未收納有上述被收納物之空收納容器，上述移載裝置係於上述收納容器自上述第2供給單元被搬出之情形時，將所搬出之個數之上述空收納容器移載至上述第2供給單元。
  8. 一種淨化方法，係藉由淨化氣體對收納有被收納物之收納容器之內部進行淨化處理之淨化倉儲之淨化方法；上述淨化倉儲具備有：第1供給單元，其具備有：N台(N為2以上之整數)第1淨化裝置，該第1淨化裝置具有支撐上述收納容器之第1支撐部、對上述第1支撐部所支撐之上述收納容器供給上述淨化氣體之第1供給管、及量測上述第1供給管中上述淨化氣體之質量流量並個別地進行流量控制之第1流量調整部；第2供給單元，其具備有：M台(M為N以下且2以上之整數)第2淨化裝置，該第2淨化裝置具有支撐上述收納容器之第2支撐部、及對上述第2支撐部所支撐之上述收納容器供給上述淨化氣體之第2供給管；連接有上述第2供給管並且對上述第2供給管之各者供給上述淨化氣體之主管；及1台第2流量調整部，其量測上述主管中上述淨化氣體之質量流量並統括地進行流量控制；以及移載裝置，其於上述第1供給單元與上述第2供給單元之間移載上述收納容器；藉由上述第2流量調整部，統括地控制自M台上述第2淨化裝置之各者之上述第2供給管供給至上述收納容器之上述淨化氣體之流量，於複數個上述第2支撐部支撐有上述收納容器之情形時，於上述第2供給單元，藉由上述第2供給管將上述淨化氣體供給至上述收納容器。
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