JPWO2015194255A1 - パージ装置、パージシステム、パージ方法及びパージシステムにおける制御方法 - Google Patents

パージ装置、パージシステム、パージ方法及びパージシステムにおける制御方法 Download PDF

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Abstract

パージ装置（３０）は、被格納物が格納される格納容器（Ｆ）の内部をパージガスによってパージ処理するパージ装置であって、格納容器が載置される複数の載置部（３１）と、載置部に載置された格納容器にパージガスを供給する複数の供給管（３３）と、複数の供給管が接続されると共に、複数の供給管にパージガスを供給する主管（４１）と、主管におけるパージガスの流量を調整するＭＦＣ（４３）と、を備えている。

Description

本発明は、被格納物が格納される格納容器の内部を不活性気体又は清浄乾燥空気などのパージガスによってパージ処理するパージ装置、パージシステム、パージ方法及びパージシステムにおける制御方法に関する。
半導体ウェハ又はガラス基板などの被格納物が格納される格納容器の内部にパージガスを注入することによって清浄度を保つ（いわゆるパージ処理を行う）パージ装置が知られている。このようなパージ装置では、例えば、所望の流量及び／又は注入パターンによって格納容器内にパージガスを注入させたいというニーズがある。
このようなニーズを満たす技術として、上下左右に配置された棚ごとに格納容器にパージガスを供給する供給手段が設置され、この供給手段のそれぞれにパージガスの供給流量を調整可能にするマスフローコントローラ（ＭＦＣ：Mass Flow Controller）が設けられたパージ装置がある（特許文献１）。この構成のパージ装置では、棚に載置された格納容器ごとに、注入する流量及び／又は注入パターンを自由に調整することができる。
特開２０１３−１３１７１２号公報
しかしながら、上記のように棚に設置される供給手段ごとに当該マスフローコントローラが設けられる構成は高価であり、構造が複雑になる。
そこで、本発明は、安価かつ簡易な構成で、所望の流量及び／又は注入パターンによってパージガスを注入することができる、パージ装置、パージシステム、パージ方法及びパージシステムにおける制御方法を提供することを目的とする。
本発明の一側面に係るパージ装置は、被格納物が格納される格納容器の内部をパージガスによってパージ処理するパージ装置であって、格納容器が載置される複数の載置部と、載置部に載置された格納容器にパージガスを供給する複数の供給管と、複数の供給管が接続されると共に、複数の供給管にパージガスを供給する主管と、主管におけるパージガスの流量を調整する流量調整部と、を備えている。
本発明の一側面に係るパージ方法は、被格納物が格納される格納容器の内部をパージガスによってパージ処理する際のパージ方法であって、格納容器が載置される複数の載置部のそれぞれにパージガスを供給する供給管を接続すると共に、複数の供給管にパージガスを供給する主管を接続し、主管におけるパージガスの流量を調整する。
この構成のパージ装置又はパージ方法によれば、複数の供給管にパージガスを供給する主管に流量調整部が設けられるので、供給管ごとに流量調整部が設けられる構成と比べて設置すべき流量調整部の数を減らすことができる。したがって、安価かつ簡易な構成で、所望の流量及び／又は注入パターンによってパージガスを注入することができるパージ装置を提供することができる。
一実施形態において、流量調整部は、格納容器に目標の供給流量でパージガスを供給する際には、目標の供給流量となるように主管におけるパージガスの流量を連続的又は段階的に増加させてもよい。
この構成のパージ装置によれば、格納容器内の気体の流れの急変を防止できる。これにより、格納容器内の塵が巻き上げられることを抑制できる。
一実施形態において、供給管には、格納容器に供給するパージガスの流量が複数の供給管同士で等しくなるように調整する調整部が設けられてもよい。このとき、流量調整部は、格納容器に目標の供給流量でパージガスを供給する際には、主管におけるパージガスの流量が、目標の供給流量に載置部の個数を乗じた流量となるように調整してもよい。
この構成のパージ装置によれば、調整部を配置することにより載置部における格納容器の有無や配管による圧力損失など、条件の違いを考慮しなくてもよくなる。このため、主管におけるパージガスの流量を「目標の供給流量に載置部の個数を乗じた流量」とする簡易な調整だけで、格納容器に所望の流量及び／又は注入パターンによってパージガスを注入することができる。
一実施形態において、供給管には、載置部へ格納容器が載置されている場合に供給管におけるパージガスの流路を開状態とし、載置部へ格納容器が載置されていない場合にパージガスの流路を閉状態とする開閉弁が設けられていてもよい。このとき、流量調整部は、格納容器に目標の供給流量でパージガスを供給する際には、主管におけるパージガスの流量が、目標の供給流量に載置部に載置されている格納容器の個数を乗じた流量となるように調整してもよい。
この構成のパージ装置によれば、開閉弁を配置することにより載置部に格納容器が載置されている供給管にのみパージガスが供給されるようになる。載置部に格納容器が載置されているか否かの情報は、例えば、載置部に載置された格納容器の有無を検知する検知部、又は、上位コントローラからの情報などから得ることができる。これにより、主管におけるパージガスの流量を「目標の供給流量に載置部に載置されている格納容器の個数を乗じた流量」とする簡易な調整だけで、格納容器に所望の流量及び／又は注入パターンによってパージガスを注入することができる。
一実施形態において、パージ装置は、載置部における格納容器の載置の有無を検知する検知部を更に備えていてもよい。
この構成のパージ装置によれば、載置部に格納容器が載置されているか否かの情報をより確実に取得できる。
本発明の一側面に係るパージシステムでは、複数のパージ装置と、格納容器を搬送する搬送装置と、搬送装置における格納容器の搬送を制御する制御部と、を備え、パージ装置は、上記記載のパージ装置であり、制御部は、複数のパージ装置のうち、格納容器が載置されている載置部が存在するパージ装置に含まれ、格納容器が載置されていない載置部に、格納容器を優先的に入庫させるように搬送装置を制御する。
本発明の一側面に係る制御方法は、上記パージ方法によりパージ処理される複数のパージ装置と、格納容器を搬送する搬送装置と、搬送装置における格納容器の搬送を制御する制御部と、を備えるパージシステムにおける制御方法であって、複数のパージ装置のうち、格納容器が載置されている載置部が存在するパージ装置に含まれ、格納容器が載置されていない載置部に、格納容器を優先的に入庫させるように搬送装置を制御する。
この構成のパージシステム又は制御方法では、複数の載置部のうち格納容器が配置された載置部が一つもない場合には、主管におけるパージガスの流量が０となるように調整され、複数の載置部のうち格納容器が配置された載置部が一つでもある場合には、主管におけるパージガスの流量が所定の流量となるように調整される。そこで、複数のパージ装置のうち、格納容器が載置されている載置部が存在するパージ装置に含まれ、格納容器が載置されていない載置部に、格納容器を優先的に入庫させるように搬送装置を制御すれば、無駄に排出されるパージガスが抑制されるようになる。
本発明によれば、安価かつ簡易な構成で、所望の流量及び／又は注入パターンによってパージガスを注入することができる。
図１は、第１実施形態に係るパージ装置を備えたパージストッカを示す側面図ある。 図２は、第１実施形態に係るパージ装置の構成を示した概略構成図である。 図３は、第１実施形態に係る流量制御の一例を示したタイミング図である。 図４は、第３実施形態に係るパージ装置の構成を示した概略構成図である。 図５は、第３実施形態に係る流量制御の一例を示したタイミング図である。
以下、図面を参照して一実施形態について説明する。図面の説明において、同一要素には同一符号を付し、重複する説明を省略する。図面の寸法比率は、説明の対象と必ずしも一致していない。
（第１実施形態）
第１実施形態に係るパージ装置３０を備えるパージストッカ（パージシステム）１について説明する。パージストッカ１は、半導体ウェハ又はガラス基板などの被格納物が格納されたＦＯＵＰ（Front Opening Unified Pod）などの格納容器Ｆの内部をパージガス（例えば、窒素ガス）によってパージ処理すると共に、複数の格納容器Ｆを保管する保管庫としての機能を有している。パージストッカ１は、例えば、クリーンルームに設けられる。
図１に示されるように、パージストッカ１は、パーティション３、ラック７、クレーン（搬送装置）９、ＯＨＴ（Overhead Hoist Transfer）ポート２１、マニュアルポート２３、パージ装置３０及び制御部５０（図２参照）を主に備えている。
パーティション３は、パージストッカ１のカバー板であって、その内側には格納容器Ｆを保管する保管領域が形成されている。ラック７は、格納容器Ｆを保管する部分であり、保管領域内に、通常１〜２列（ここでは、２列）設けられている。各ラック７は、所定方向Ｘに延在しており、隣り合う２つのラック７，７が対向するように略平行に配置されている。各ラック７には、所定方向Ｘ及び鉛直方向Ｚに沿って、格納容器Ｆを載置して保管する保管棚７Ａが複数形成されている。
クレーン９は、格納容器Ｆを保管棚７Ａに対して出し入れをすると共に、保管棚７Ａ間を移動させる機構であり、対向するラック７，７に挟まれた領域に配置されている。クレーン９は、ラック７の延在方向Ｘに沿って、床面に配置された走行レール（図示せず）を走行することにより、ラック７に沿って所定方向Ｘに移動することができる。クレーン９の荷台９Ａは、ガイドレール９Ｂに沿って昇降可能に設けられており、鉛直方向に設けられた複数の保管棚７Ａに対して、格納容器Ｆを出し入れすることができる。
パージストッカ１への格納容器Ｆの出し入れは、ＯＨＴポート２１及びマニュアルポート２３から行われる。ＯＨＴポート２１は、天井に敷設された走行レール２５を走行する天井走行車（ＯＨＴ）２７とパージストッカ１との間で格納容器Ｆを受け渡しする部分であり、格納容器Ｆを搬送するコンベヤ２１Ａを有している。マニュアルポート２３は、作業者とパージストッカ１との間で格納容器Ｆを受け渡しする部分であり、格納容器Ｆを搬送するコンベヤ２３Ａを有している。
パージ装置３０は、格納容器Ｆの内部をパージガスによってパージ処理する。図２に示されるように、パージ装置３０は、Ｎ（複数）個の載置部３１と、Ｎ（複数）本の供給管３３と、Ｎ本の供給管３３が接続される主管４１と、主管４１におけるパージガスの流量を調整するＭＦＣ（Mass Flow Controller）（流量調整部）４３と、を備えている。第１実施形態のパージストッカ１では、上述した構成要素を含むパージ装置３０をＭ（複数）セット備えている。以後の説明では、これら一のパージ装置３０を「グループ１に属するパージ装置３０」、「グループ２に属するパージ装置３０」などと称する場合がある。各パージ装置３０には、一のパージガス源４７からパージガスが供給される。パージガス源４７は、パージガスを貯蔵するタンクである。
載置部３１は、格納容器Ｆが載置される部分であり、一の保管棚７Ａに一の載置部３１が配置される。供給管３３は、載置部３１に載置された格納容器Ｆにパージガスを供給する。供給管３３の先端はノズルとなっており、格納容器Ｆの供給口に密着されることによって格納容器Ｆの内部にパージガスが供給される。
供給管３３には、パーティクルフィルタ３５と、オリフィス（調整部）３７と、が設けられている。パーティクルフィルタ３５は、塵埃（パーティクル）を捕集可能なフィルタである。パーティクルフィルタ３５は、必要に応じて設けられればよい。オリフィス３７は、主管４１から供給されるパージガスの流量が複数の供給管３３同士で等しくなるように調整する。
主管４１は、Ｎ本の供給管３３が接続されると共に、Ｎ本の供給管３３にパージガスを供給する。主管４１には、主管４１におけるパージガスの流量を調整するＭＦＣ４３が設けられる。ＭＦＣ４３は、主管４１を流れるパージガスの質量流量を計測し、流量制御を行う機器である。ＭＦＣ４３における流量制御は、制御部５０によって制御される。
制御部５０は、パージストッカ１における各種パージ処理を制御する部分であり、例えば、ＣＰＵ（Central Processing Unit）、ＲＯＭ（Read Only Memory）、ＲＡＭ（Random Access Memory）などからなる電子制御ユニットである。
制御部５０は、図示しない上位コントローラから送信されてくる、格納容器Ｆを入庫させる予定の保管棚７Ａの情報（入庫予定情報）に基づいて、当該入庫予定の保管棚７Ａを有するパージ装置３０が備わっているＭＦＣ４３を制御する。具体的には、制御部５０は、載置部３１に載置された格納容器Ｆに目標供給流量ＴＦでパージガスを供給する際には、ＭＦＣ４３を制御して、主管４１におけるパージガスの流量が、目標供給流量ＴＦに載置部３１（保管棚７Ａ）の個数Ｎを乗じた流量となるように調整する。このとき、制御部５０は、図３に示されるように、目標供給流量ＴＦとなるように主管４１におけるパージガスの流量を徐々（連続的）に増加させるようにＭＦＣ４３を制御する。なお、制御部５０は、目標供給流量ＴＦとなるように主管４１におけるパージガスの流量を段階的に増加させてもよい。
次に、上記パージ装置３０におけるパージ処理の動作について説明する。図３は、グループ１に属する保管棚７Ａの載置部３１に載置された各格納容器Ｆへのパージガスの供給流量と供給のタイミングとを示している。言い換えれば、図３は、グループ１に属する供給管３３から供給されるパージガスの供給流量と供給のタイミングとを示している。
制御部５０は、上位コントローラから送信されてくる入庫予定情報（例えば、グループ１に属する保管棚１に格納容器Ｆを入庫させる予定であるという情報）に基づいて、格納容器Ｆが載置部３１に載置されるタイミングを算出する。制御部５０は、格納容器Ｆが載置部３１に載置されるタイミング（時間ｔ１）で格納容器Ｆへのパージガスの供給（パージ処理）が開始されるように、ＭＦＣ４３を制御する。具体的には、制御部５０は、ＭＦＣ４３を制御して、主管４１におけるパージガスの流量が、目標供給流量ＴＦに載置部３１の個数Ｎを乗じた流量（ＴＦ×Ｎ）となるように調整する。供給管３３には、主管４１に流れる流量（ＴＦ×Ｎ）を供給管３３の本数Ｎで等分した流量のパージガスが流れる。制御部５０は、図３に示されるように、目標供給流量ＴＦとなるように主管４１におけるパージガスの流量を徐々に増加させるようにＭＦＣ４３を制御する。
制御部５０は、格納容器Ｆをパージ処理中に、上位コントローラから入庫予定情報（例えば、グループ１に属する保管棚２に格納容器Ｆを入庫させる予定であるという情報）が送信されてくると（時間ｔ２）、当該格納容器Ｆ（「次の格納容器Ｆ」と称す。）が載置部３１に載置されるタイミング（時間ｔ１１）を算出すると共に、パージ処理中の格納容器Ｆへのパージガスの供給流量を徐々に少なくして０になるようにＭＦＣ４３を制御する（時間ｔ３）。制御部５０は、次の格納容器Ｆが載置部３１（保管棚２）に載置されるタイミング（時間ｔ１１）で、格納容器Ｆへのパージガスの供給（パージ処理）が再び開始されるように、ＭＦＣ４３を制御する。具体的には、制御部５０は、ＭＦＣ４３を制御して、主管４１におけるパージガスの流量が、目標供給流量ＴＦに載置部３１の個数Ｎを乗じた流量（ＴＦ×Ｎ）となるように調整する。供給管３３には、主管４１に流れる流量（ＴＦ×Ｎ）を供給管３３の本数Ｎで等分した流量のパージガスが流れる。制御部５０は、図３に示されるように、目標供給流量ＴＦとなるように主管４１におけるパージガスの流量を徐々に増加させるようにＭＦＣ４３を制御する。
以後、上記コントローラから入庫予定情報が送信されてきた場合には、上述した時間ｔ２、時間ｔ３及び時間ｔ１１で行った制御と同様の制御が、時間ｔ２１（時間ｔ２２）、時間ｔ３１（時間ｔ３２）及び時間ｔ１２（時間ｔ１３）にてそれぞれ行われる。なお、第１実施形態では、図３に示されるように、一のパージ装置３０において、格納容器Ｆへのパージガスの供給流量と供給のタイミングとは、保管棚７Ａに配置される全ての供給管３３で同じである。
上記実施形態のパージ装置３０によれば、複数の供給管３３にパージガスを供給する主管４１にＭＦＣ４３が設けられるので、供給管３３ごとにＭＦＣ４３が設けられる構成と比べて設置すべきＭＦＣ４３の数を減らすことができる。したがって、所望の流量及び／又は注入パターンによってパージガスを注入することができるパージ装置３０を安価かつ簡易な構成で提供することができる。
また、上記実施形態のパージ装置３０によれば、目標供給流量ＴＦとなるように主管４１におけるパージガスの流量を徐々に増加させるので、格納容器Ｆ内の気体の流れの急変を防止できる。これにより、格納容器Ｆ内の塵が巻き上げられることを抑制できる。
また、上記実施形態のパージ装置３０では、供給管３３にオリフィス３７が設けられているので、載置部３１における格納容器Ｆの載置の有無や主管４１及び供給管３３による圧力損失など、条件の違いを考慮しなくてもよくなる。このため、主管４１におけるパージガスの流量を目標供給流量ＴＦに載置部３１（保管棚７Ａ）の個数Ｎを乗じた流量となるように簡易な調整をするだけで、格納容器Ｆに所望の流量及び／又は注入パターンによってパージガスを注入することができる。
（第２実施形態）
次に、第２実施形態に係るパージストッカ（パージシステム）１について説明する。第２実施形態に係るパージストッカ１は、第１実施形態において説明したパージストッカ１に備わる制御部５０が、上述したＭＦＣ４３の制御に加え、クレーン（搬送装置）における格納容器Ｆの搬送を制御する。すなわち、制御部５０は、グループ１からグループＭに属する複数のパージ装置３０のうち、格納容器Ｆが載置されている載置部３１が存在するパージ装置３０に含まれ、格納容器Ｆが載置されていない載置部３１に、格納容器Ｆを優先的に入庫させるようにクレーン９を制御する。
この構成のパージストッカ１では、制御部５０は、複数の載置部３１のうち格納容器Ｆが配置された載置部３１が一つもない場合には、主管４１におけるパージガスの流量が０となるようにＭＦＣ４３を調整し、複数の載置部３１のうち格納容器Ｆが配置された載置部３１が一つでもある場合には、主管４１におけるパージガスの流量が、目標供給流量ＴＦに載置部３１（保管棚７Ａ）の個数Ｎを乗じた流量となるようにＭＦＣ４３調整する。
第２実施形態に係るパージストッカ１では、複数のパージ装置３０のうち、格納容器Ｆが載置されている載置部３１が存在するパージ装置３０に含まれ、格納容器Ｆが載置されていない載置部３１に、格納容器Ｆを優先的に入庫させるようにクレーン９を制御しているので、無駄に排出されるパージガスを抑制することができる。
（第３実施形態）
第３実施形態に係るパージ装置１３０を含むパージストッカ１は、図４に示されるように、オリフィス３７に代えて（又は加えて）制御部１５０により開閉制御がなされる開閉弁３９を備える点、載置部３１に格納容器Ｆが載置されていることを検知する検知部３２を備える点、及び、制御部１５０におけるＭＦＣ４３の制御内容が異なる点で、図２に示されるパージ装置３０とは異なっている。ここでは、第１実施形態に係るパージ装置３０と異なる点について詳細に説明し、共通する点については説明を省略する。
開閉弁３９は、供給管３３に配置されている。開閉弁３９は、載置部３１へ格納容器Ｆが載置されている場合に供給管３３におけるパージガスの流路を開状態とし、載置部３１へ格納容器Ｆが載置されていない場合にパージガスの流路を閉状態とする。本実施形態の開閉弁３９は、後述する制御部１５０によって開弁及び閉弁制御がなされる。開閉弁３９は、例えば、電磁式又はエア式など、リモートコントロールが可能な構成の機器を採用することができる。
検知部３２は、載置部３１に格納容器Ｆが載置されていることを検知する。検知部３２は、各保管棚７Ａに設けられている。検知部３２は、光センサ又は接触センサなどを用いることができる。検知部３２は、載置部３１に格納容器Ｆが載置されていることを検知すると、その旨の情報である検知情報を制御部１５０に送出する。
制御部１５０は、図示しない上位コントローラから送出されてくる、格納容器Ｆを入庫させる予定の保管棚７Ａの情報と、検知部３２から送信されてくる検知情報とに基づいて、当該入庫予定の保管棚７Ａを有するパージ装置３０に備わっているＭＦＣ４３を制御する。具体的には、制御部１５０は、格納容器Ｆに目標供給流量ＴＦでパージガスを供給する際には、ＭＦＣ４３を制御して、主管４１におけるパージガスの流量が、目標供給流量ＴＦに載置部３１に載置されている格納容器Ｆの個数ｎを乗じた流量（ＴＦ×ｎ）となるように調整する。供給管３３には、主管４１に流れる流量（ＴＦ×ｎ）を載置部３１に載置された格納容器Ｆの個数ｎで等分した流量のパージガスが流れる。制御部１５０は、図５に示されるように、目標供給流量ＴＦとなるように主管４１におけるパージガスの流量を徐々（連続的）に増加させるようにＭＦＣ４３を制御する。
次に、上記パージ装置１３０におけるパージ処理の動作について説明する。図５は、グループ１に属する保管棚１〜Ｎの載置部３１に載置された格納容器Ｆへのパージガスの供給流量と供給のタイミングとを示している。言い換えれば、図５は、グループ１に属する供給管３３から供給されるパージガスの供給流量と供給のタイミングとを示している。
制御部１５０は、検知部３２から送信されてくる検知情報に基づいて、当該検知部３２に対応する載置部３１へパージガスを供給する供給管３３の開閉弁３９を開弁させると共に、格納容器Ｆへパージガスの供給（パージ処理）が開始されるように、ＭＦＣ４３を制御する（時間ｔ１）。具体的には、制御部１５０は、ＭＦＣ４３を制御して、主管４１におけるパージガスの流量が、目標供給流量ＴＦに載置部３１に載置された各容器の個数ｎ（ｎ＝１）を乗じた流量（ＴＦ）となるように調整する。制御部１５０は、図５に示されるように、目標供給流量ＴＦとなるように主管４１におけるパージガスの流量を徐々に増加させるようにＭＦＣ４３を制御する。
制御部１５０は、格納容器Ｆをパージ処理中に、上位コントローラから入庫予定情報（例えば、グループ１に属する保管棚２に格納容器Ｆを入庫させる予定であるという情報）が送信されてくると（時間ｔ２）、パージ処理中の格納容器Ｆへのパージガスの供給流量を徐々に少なくして０になるようにＭＦＣ４３を制御する（時間ｔ３）。制御部１５０は、この格納容器Ｆが載置部３１（保管棚２）に載置されるタイミング、すなわち、検知部３２から検知情報（保管棚２）の載置部３１に格納容器Ｆが載置されたという情報）が送信されてきたタイミングで、当該載置部３１へパージガスを供給する供給管３３の開閉弁３９を開弁させると共に、格納容器Ｆへのパージガスの供給（パージ処理）が再び開始されるように、ＭＦＣ４３を制御する（時間ｔ１１）。具体的には、制御部１５０は、ＭＦＣ４３を制御して、目標供給流量ＴＦに載置部３１に載置された格納容器の個数ｎ（ｎ＝２）を乗じた流量となるように、主管４１におけるパージガスの流量を調整する。供給管３３には、主管４１に流れる流量（２ＴＦ）を載置部３１に載置された格納容器Ｆの個数ｎ（ｎ＝２）で等分した流量（ＴＦ）のパージガスが流れる。制御部１５０は、図５に示されるように、目標供給流量ＴＦとなるように主管４１におけるパージガスの流量を徐々に増加させるようにＭＦＣ４３を制御する。
以後、検知部３２から検知情報が送信されてくると、上述した時間ｔ２、時間ｔ３及びｔ１１で行った制御と同様の制御が、時間ｔ２１（時間ｔ２２）、時間ｔ３１（時間ｔ３２）及び時間ｔ１２（時間ｔ１３）にてそれぞれ行われる。なお、第２実施形態では、図５に示されるように、一のパージ装置３０において、格納容器Ｆへのパージガスの供給流量と供給のタイミングは、保管棚７Ａに配置される供給管３３同士で異なる場合がある。すなわち、載置部３１に格納容器Ｆが載置されていない場合には、開閉弁３９が閉弁されるので、その保管棚７Ａに配置される供給管３３にはパージガスが供給されない。このような点で、第１実施形態のパージ装置３０とは異なる。
第３実施形態に係るパージ装置３０を備えるパージストッカ１であっても、上記第１実施形態と同様の作用効果を享受することができる。
以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されない。発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。
上記第１実施形態では、複数のパージ装置３０に共通して制御部５０が設けられる例を挙げて説明したが、本発明はこれに限定されない。ＭＦＣ４３を制御する制御部は、パージ装置ごとに設けられてもよい。同様に、上記第２実施形態においても、クレーン９を制御する制御部とは異なり、ＭＦＣ４３及び開閉弁３９を制御する制御部は、パージ装置ごとに設けられてもよい。
上記第１及び第３実施形態では、図３及び図５に示されるように、制御部５０（１５０）がＭＦＣを制御して、格納容器Ｆへ目標供給流量ＴＦで供給を開始させると、上位コントローラから入庫予定情報が送信されてくるまでの間、目標供給流量ＴＦで格納容器Ｆにパージガスを供給する例を挙げて説明したが、本発明はこれに限定されない。例えば、図３及び図５に示されるように、制御部５０（１５０）がＭＦＣを制御して、格納容器Ｆへ目標供給流量ＴＦで供給を開始させ、所定時間が経過すると（時刻ｔ４，ｔ４１，ｔ４２）、格納容器Ｆの内部環境を維持できる程度の供給流量に下げてパージ処理を継続してもよい。
上記第１及び第３実施形態では、制御部５０（１５０）は、図３及び図５に示されるように、目標供給流量ＴＦとなるように主管４１におけるパージガスの流量を徐々（連続的）に増加させるようにＭＦＣ４３を制御する例を挙げて説明したが、本発明はこれに限定されない。例えば、制御部５０（１５０）は、格納容器Ｆに対して瞬間的に目標供給流量ＴＦが供給できるようにＭＦＣ４３を制御してもよい。
上記実施形態では、パージストッカ１に配置されたパージ装置を例に挙げて説明したが、本発明はこれに限定されない。本発明は、例えば、天井走行車同士の中継ポイント及びコンベヤから天井走行車への受け渡しポイント（ロードポート）、天井バッファなどに搭載されるパージ装置にも適用することが可能である。
１…パージストッカ（パージシステム）、３…パーティション、７…ラック、７Ａ…保管棚（保管棚１〜保管棚Ｎ）、９…クレーン（搬送装置）、３０，１３０…パージ装置、３１…載置部、３２…検知部、３３…供給管、３５…パーティクルフィルタ、３７…オリフィス（調整部）、３９…開閉弁、４１…主管、４３…ＭＦＣ（流量調整部）、４７…パージガス源、５０，１５０…制御部、Ｆ…格納容器、ＴＦ…目標供給流量。

Claims (8)

  1. 被格納物が格納される格納容器の内部をパージガスによってパージ処理するパージ装置であって、
    前記格納容器が載置される複数の載置部と、
    前記載置部に載置された前記格納容器に前記パージガスを供給する複数の供給管と、
    前記複数の供給管が接続されると共に、前記複数の供給管に前記パージガスを供給する主管と、
    前記主管における前記パージガスの流量を調整する流量調整部と、を備えている、パージ装置。
  2. 前記流量調整部は、前記格納容器に目標の供給流量で前記パージガスを供給する際には、前記目標の供給流量となるように前記主管における前記パージガスの流量を連続的又は段階的に増加させる、請求項１に記載のパージ装置。
  3. 前記供給管には、前記格納容器に供給する前記パージガスの流量が前記複数の供給管同士で等しくなるように調整する調整部が設けられており、
    前記流量調整部は、前記格納容器に目標の供給流量で前記パージガスを供給する際には、前記主管における前記パージガスの流量が、前記目標の供給流量に前記載置部の個数を乗じた流量となるように調整する、請求項１又は２に記載のパージ装置。
  4. 前記供給管には、前記載置部へ前記格納容器が載置されている場合に前記供給管における前記パージガスの流路を開状態とし、前記載置部へ前記格納容器が載置されていない場合に前記パージガスの流路を閉状態とする開閉弁が設けられており、
    前記流量調整部は、前記格納容器に目標の供給流量で前記パージガスを供給する際には、前記主管における前記パージガスの流量が、前記目標の供給流量に前記載置部に載置されている前記格納容器の個数を乗じた流量となるように調整する、請求項１又は２に記載のパージ装置。
  5. 前記載置部における前記格納容器の載置の有無を検知する検知部を更に備えている、請求項４に記載のパージ装置。
  6. 複数のパージ装置と、
    前記格納容器を搬送する搬送装置と、
    前記搬送装置における前記格納容器の搬送を制御する制御部と、を備え、
    前記パージ装置は、請求項１〜３の何れか一項に記載のパージ装置であり、
    前記制御部は、前記複数のパージ装置のうち、前記格納容器が載置されている載置部が存在するパージ装置に含まれ、前記格納容器が載置されていない前記載置部に、前記格納容器を優先的に入庫させるように前記搬送装置を制御する、パージシステム。
  7. 被格納物が格納される格納容器の内部をパージガスによってパージ処理する際のパージ方法であって、
    前記格納容器が載置される複数の載置部のそれぞれに前記パージガスを供給する供給管を接続すると共に、複数の前記供給管に前記パージガスを供給する主管を接続し、前記主管における前記パージガスの流量を調整する、パージ方法。
  8. 請求項７記載のパージ方法によりパージ処理される複数のパージ装置と、前記格納容器を搬送する搬送装置と、前記搬送装置における前記格納容器の搬送を制御する制御部と、を備えるパージシステムにおける制御方法であって、
    前記複数のパージ装置のうち、前記格納容器が載置されている載置部が存在するパージ装置に含まれ、前記格納容器が載置されていない前記載置部に、前記格納容器を優先的に入庫させるように前記搬送装置を制御する制御方法。
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