JP2016021429A - パージストッカ - Google Patents
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Abstract
【課題】流量制御装置から発生する熱が被格納物に影響を及ぼすことを抑制することができるパージストッカを提供する。【解決手段】パージストッカ1は、パーティション3により画成された内部空間Aを有し、内部空間に配置された被格納物が格納された格納容器Fの内部をパージガスによってパージ処理するパージ装置30を備えたパージストッカであって、格納容器が載置される載置部31と、載置部に載置された格納容器にパージガスを供給する供給管41と、供給管におけるパージガスの流量を調整するMFC43と、を備え、内部空間Aは、載置部が配置される保管空間A1と、流量制御装置が配置される隔離空間A2と、を有し、第1空間と前記第2空間との間には、仕切部材51が配置されている。【選択図】図1
Description
本発明は、被格納物が格納される格納容器の内部を不活性気体や清浄乾燥空気などのパージガスによってパージ処理するパージ装置を備えたパージストッカに関する。
半導体ウェハ及びガラス基板などの被格納物が格納される格納容器の内部にパージガスを注入することによって清浄度を保つ(いわゆるパージ処理を行う)パージ装置を備えたパージストッカが知られている。このようなパージストッカとして、棚に載置された格納容器ごとに、パージガスの注入の有無を切り替える電磁弁が設けられているパージストッカや、注入するパージガスの流量及び/注入パターンを自由に調整できるマスフローコントローラ(MFC:Mass Flow Controller)が設けられているパージストッカが、例えば、特許文献1に開示されている。
上述したような、棚に載置された格納容器へのパージガスの流量を制御する電磁弁及びMFCなどの流量制御装置は、稼働時に熱を発生する。上記従来の構成では、流量制御装置から発生する熱が被格納物に局所的に影響を及ぼしたり、流量制御装置から発生する熱が格納容器の保管されている保管空間の温度を上昇させることにより被格納物に影響を及ぼしたりすることがある。
そこで、本発明は、流量制御装置から発生する熱が被格納物に影響を及ぼすことを抑制することができるパージストッカを提供することを目的とする。
本発明のパージストッカは、筐体により画成される内部空間を有し、内部空間に配置される被格納物が格納される格納容器の内部をパージガスによってパージ処理するパージ装置を備えたパージストッカであって、格納容器が載置される載置部と、載置部に載置される格納容器にパージガスを供給する供給管と、供給管におけるパージガスの流量を調整する流量制御装置と、を備え、内部空間は、載置部が配置される第1空間と、流量制御装置が配置される第2空間と、を有し、第1空間と第2空間との間には、仕切部材が配置されている。
この構成のパージストッカによれば、格納容器が配置される第1空間と、流量制御装置が配置される第2空間との間には仕切部材が配置されるので、流量制御装置において発生した熱が第1空間に伝わりにくくなっている。これにより、流量制御装置から発生する熱が被格納物に影響を及ぼすことを抑制することができる。
本発明のパージストッカは、内部空間外から吸気した気体を内部空間内に清浄気体として送り出す吸入部を更に備え、吸入部から送り出される清浄気体は、第2空間を通って内部空間から排出されてもよい。
この構成のパージストッカによれば、流量制御装置において発生した熱を効率的に上記内部空間外に排出することが可能になる。
本発明のパージストッカでは、仕切部材が、断熱性部材であってもよい。
この構成のパージストッカによれば、流量制御装置において発生した熱が第1空間により一層伝わりにくくなる。
本発明のパージストッカでは、第2空間が、平面視において第1空間の周囲に配置されていてもよい。
この構成のパージストッカによれば、流量制御装置が配置される第2空間を、格納容器が配置される第1空間とは完全に独立した空間として形成することが容易となる。これにより、流量制御装置において発生した熱を、そのまま内部空間外に排出することできる。この結果、流量制御装置から発生する熱が被格納物に影響を及ぼすことをより一層抑制することができる。
本発明によれば、流量制御装置から発生する熱が被格納物に影響を及ぼすことを抑制することができる。
以下、図面を参照して一実施形態について説明する。図面の説明において、同一要素には同一符号を付し、重複する説明を省略する。図面の寸法比率は、説明のものと必ずしも一致していない。
(第1実施形態)
第1実施形態に係るパージストッカ1について図1及び図2を用いて説明する。図1は、第1実施形態に係るパージストッカ1を水平面に沿って切断したときに上面側方から見た断面図ある。図2は、図1のパージストッカ1のII−II線から見た断面図である。なお、図2では、ラック7の詳細は省略して示している。
第1実施形態に係るパージストッカ1について図1及び図2を用いて説明する。図1は、第1実施形態に係るパージストッカ1を水平面に沿って切断したときに上面側方から見た断面図ある。図2は、図1のパージストッカ1のII−II線から見た断面図である。なお、図2では、ラック7の詳細は省略して示している。
パージストッカ1は、半導体ウェハ及びガラス基板などの被格納物が格納されたFOUP(FrontOpening Unified Pod)などの格納容器Fの内部をパージガス(例えば、窒素ガス)によってパージ処理すると共に、複数の格納容器Fを保管する保管庫としての機能を有している。パージストッカ1は、例えば、クリーンルーム90に設けられる。
クリーンルーム90は、第1床面93と第2床面95とを有している。第1床面93は、作業者が移動するための床面であると共にクリーンルーム90を2つの領域に隔てる部分でもある。第1床面93と第2床面95とによって挟まれる領域は、パージストッカ1の内部空間Aから清浄空気が排出されたり、各種装置、配管、配線が配置されたりする領域(以下、「作業空間A5」とも称す)。である。第1床面93は、グレーチング板又はバンチング板などで構成することができる。
図1に示すように、パージストッカ1は、パーティション(筐体)3、FFU(吸入部)(FanFilter Unit)5、ラック7、クレーン9、OHTポート21、及びパージ装置30を主に備えている。
パーティション3は、パージストッカ1のカバー板であって、その内側には内部空間Aが形成される。ラック7は、格納容器Fを保管する部分であり、保管空間A1内に、通常1〜2列(ここでは、2列)設けられている。各ラック7は、所定方向Xに延在しており、隣り合う2つのラック7,7が対向するように略平行に配置されている。各ラック7には、所定方向X及び鉛直方向Zに沿って、格納容器Fを載置して保管する保管棚7Aが複数形成されている。
FFU5は、内部空間Aの外側から吸気した気体を内部空間Aの内側に清浄気体として送り出す。FFU5は、クリーンルーム90の天井91に配置されている。なお、FFU5は、パージストッカ1にパージストッカ1の上方を覆う上面部がある場合には、当該上面部に設けられてもよい。また、FFUに代えて、フィルタのみを配置するようにしてもよい。
クレーン9は、格納容器Fを保管棚7Aに対して出し入れすると共に、保管棚7A間を移動させる機構であり、対向するラック7,7に挟まれた空間に配置されている。クレーン9は、ラック7の延在方向Xに沿って、床面に配置された走行レール(図示せず)を走行することにより、ラック7に沿って所定方向Xに移動することができる。クレーン9の荷台9Aは、ガイドレール9Bに沿って昇降可能に設けられると共に、鉛直方向に設けられた複数の保管棚7Aに対して、格納容器Fを出し入れ可能に設けられている。
パージストッカ1への格納容器Fの出し入れは、OHT(Overhead HoistTransfer)ポート21から行われる。OHTポート21は、天井に敷設された走行レール25を走行する天井走行車27とパージストッカ1との間で格納容器Fを受け渡しする部分であり、格納容器Fを搬送するコンベヤ21Aを有している。
パージ装置30は、格納容器Fの内部をパージガスによってパージ処理する。図1に示すように、パージ装置30は、載置部31と、載置部31にそれぞれ設けられる供給管41と、供給管41におけるパージガスの流量を調整するMFC(Mass Flow Controller)(流量制御装置)43と、を備えている。各パージ装置30には、一のパージガス源(図示せず)からパージガスが供給される。最終的なパージガス源は、パージガスを貯蔵するタンクであるが、タンクからのパージガスを一旦ストッカ側で受け、ON/OFF制御弁を介してパージガスの圧力を略一定にするレギュレータを通し、各パージ装置にパージガスが供給される。
載置部31は、格納容器Fが載置される部分であり、一の保管棚7Aに一の載置部31が配置される。供給管41は、載置部31に載置された格納容器Fにパージガスを供給する。供給管41の一方の端部はノズルとなっており、格納容器Fの供給口に密着されることによって格納容器Fの内部にパージガスが供給される。
供給管41の他方の端部は、パージガス源に接続されている。供給管41のそれぞれには、供給管41におけるパージガスの流量を調整するMFC43が設けられる。MFC43は、供給管41を流れるパージガスの質量流量を計測し、流量制御を行う機器である。MFC43における流量制御は、図示しない制御部によって制御される。
第1実施形態では、図1及び図2に示すように、全てのMFC43は、ラック7の保管棚7Aごとに載置部31に隣接して配置されているのではなく、ラック7の最下段よりも下方に設けられた隔離空間(第2空間)A2に集約して配置されている。すなわち、隔離空間A2に集約して配置されたMFC43から各載置部31にまで供給管41が導かれている。第1実施形態のパージストッカ1では、高さ方向に配列された8段の載置部31に対応するMFC43が同じ位置に集約されている。
隔離空間A2と載置部31(ラック7の保管棚7A)が配置される空間である保管空間(第1空間)A1との間には、仕切部材51が配置されている。仕切部材51は、本実施形態においては、断熱性と耐火性を持たせるため、金属板、耐熱性の樹脂板、金属板の一方の面(又は両方の面)を耐熱性樹脂などで被膜したパネル(サンドイッチパネル)などが用いられる。断熱及び耐火を考慮すると、仕切部材51は、金属板の両方の面を耐熱性樹脂などで被膜したパネルサンドイッチパネルを用いられることが好ましいが、本実施形態においては耐火性は特に考慮しなくてもよい。
第1実施形態のパージストッカ1によれば、格納容器Fが配置される保管空間A1と、MFC43が配置される隔離空間A2との間には仕切部材51が配置されるので、MFC43において発生した熱が保管空間A1に伝わりにくくなっている。これにより、MFC43から発生する熱が被格納物に局所的に影響を及ぼすことを抑制することができると共に、保管空間A1内の温度が上昇することを抑制することができる。
第1実施形態のパージストッカ1では、図1に示されるように、FFU5から送り出される清浄気体は、保管空間A1及びクレーン9の可動空間A3を通って、隔離空間A2に流れ込み、内部空間Aの外側に排出される。この構成のパージストッカ1によれば、清浄空気の流れにより、MFC43において発生した熱が保管空間A1に流れ込むことが抑制される。また、この構成のパージストッカ1によれば、MFC43において発生した熱を効率的に内部空間Aの外側に排出することが可能になる。
(第2実施形態)
次に、第2実施形態に係るパージストッカ101について主に図3及び図4を用いて説明する。図3は、第2実施形態に係るパージストッカ101を水平面に沿って切断したときに上面から見た断面図である。図4は、図3のパージストッカ101のIV−IV線から見た断面図である。なお、図4では、ラック7の詳細は省略して示している。
次に、第2実施形態に係るパージストッカ101について主に図3及び図4を用いて説明する。図3は、第2実施形態に係るパージストッカ101を水平面に沿って切断したときに上面から見た断面図である。図4は、図3のパージストッカ101のIV−IV線から見た断面図である。なお、図4では、ラック7の詳細は省略して示している。
第2実施形態に係るパージストッカ1は、隔離空間(第2空間)A2が、平面視において保管空間A1の周囲に配置されている点で、隔離空間A2が、平面視において保管空間A1と重なる位置に配置されている第1実施形態のパージストッカ1とは異なる。ここでは、第1実施形態と異なる点について詳細に説明し、第1実施形態の同様の構成については説明を省略する。
図3及び図4に示すように、全てのMFC43は、ラック7の保管棚7Aごとに載置部31に隣接して配置されているのではなく、ラック7の最左列よりも左方に設けられた隔離空間A2に集約して配置されている。すなわち、隔離空間A2に集約して配置されたMFC43から各載置部31にまで供給管41が導かれている。パージストッカ101では、水平方向に配列された7列の載置部31に対応するMFC43が同じ位置に集約されている。
隔離空間A2と載置部31(ラック7の保管棚7A)が配置される空間である保管空間(第1空間)A1との間には、第1仕切部材151Aが配置されている。第1仕切部材151Aは、本実施形態においては、断熱性と耐火性を持たせるため、金属板、断熱性の樹脂板、金属板の一方の面(又は両方の面)を断熱性樹脂などで被膜したパネル(サンドイッチパネル)などが用いられる。断熱及び耐火を考慮すると、第1仕切部材151Aは、金属板の両方の面を耐熱性樹脂などで被膜したサンドイッチパネルを用いることが好ましいが、本実施形態においては耐火性は特に考慮しなくてもよい。
パージストッカ101には、図3及び図4に示すように、更に、第2仕切部材151Bが設けられている。第2仕切部材151Bは、パージストッカ101における各種コントローラなどを格納する収容空間A4を画成する隔離壁53に接するように配置されている。この第2仕切部材151Bが設けられることにより、MFC43が集約して配置される隔離空間A2が、パーティション3、第1仕切部材151A、第2仕切部材151B及び隔離壁53によって四方が囲まれている。これにより、隔離空間A2が、格納容器が配置される保管空間A1とは完全に独立した空間として形成される。
第2実施形態のパージストッカ101によれば、格納容器Fが配置される保管空間A1と、MFC43が配置される隔離空間A2との間には第1仕切部材151Aが配置されるので、MFC43において発生した熱が保管空間A1に伝わりにくくなっている。これにより、MFC43から発生する熱が被格納物に局所的に影響を及ぼすことを抑制することができると共に、保管空間A1内の温度が上昇することを抑制することができる。
第2実施形態のパージストッカ101では、図3に示されるように、FFU5から送り出される清浄気体は、直接、隔離空間A2に流れ込み、保管空間A1及び可動空間A3に流れ込むことなく、内部空間Aの外側に排出される。この構成のパージストッカ1によれば、清浄空気の流れにより、MFC43において発生した熱が保管空間A1に流れ込むことが防止される。また、この構成のパージストッカ1によれば、MFC43において発生した熱を効率的に内部空間Aの外側に排出することが可能になる。
第2実施形態のパージストッカ101では、MFC43が配置される隔離空間A2が、平面視において保管空間A1の周囲に配置されている。このため、隔離空間A2を保管空間A1とは完全に独立した空間として形成することが容易となっている。これにより、MFC43において発生した熱を、隔離空間A2及び/又は可動空間A3に漏らすことなく、そのまま内部空間Aの外側に排出することできる。この結果、MFC43から発生する熱が被格納物に影響を及ぼすことをより一層抑制することができる。
以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されない。発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。
上記第1及び第2実施形態のパージストッカ1,101では、それぞれの供給管41にMFC43が設けられている例を挙げて説明したが、本発明はこれに限定されない。例えば、MFC43の代わりに、パージガスの注入の有無の切り替える電磁弁(流量制御装置)が設けられていてもよい。この場合も、上記実施形態と同様に、電磁弁にて発生する熱が被格納物に影響を及ぼすことを抑制することができる。
上記第1及び第2実施形態のパージストッカ1,101では、保管棚7Aに設けられた載置部31にパージガスを供給する供給管41ごとにMFC43を設ける例を挙げて説明したが、本発明はこれに限定されない。例えば、複数(例えば、2〜3本)の供給管41ごとにMFC43を設ける構成としてもよい。
上記第1及び第2実施形態のパージストッカ1,101では、内部空間Aの内側の清浄空気を第1床面93であるグレーチング板を介して、内部空間Aの外側である作業空間A5に排出する例を挙げて説明したが、本発明はこれに限定されない。例えば、別途ダクトを設けることにより内部空間Aの外側に排出してもよいし、パーティション3に設けられた排出口から内部空間Aの外側に排出してもよい。
また、図4に示されるように、第2実施形態のパージストッカ101における隔離空間A2にファン47を設け、内部空間Aの清浄空気を内部空間Aの外側に排出してもよい。この構成のパージストッカ101によれば、MFC43において発生した熱を効率的に内部空間Aの外側に排出することが可能になる。
また、第2実施形態のパージストッカ101のように、隔離空間A2が、格納容器が配置される保管空間A1とは完全に独立した空間として形成される構成とするならば、隔離空間A2は、内部空間Aの上部の一部に設けてもよい。この場合、専用のダクトによりMFC43において発生した熱を内部空間Aの外側に排出すればよい。
また、図1に示されるような第1実施形態のパージストッカ1において、可動空間A3から隔離空間A2への清浄空気の流れを良好にするための整流板などを設けてもよい。
1,101…パージストッカ、3…パーティション(筐体)、7…ラック、7A…保管棚、9…クレーン、30…パージ装置、31…載置部、41…供給管、43…MFC(流量制御装置)、51…仕切部材、53…隔離壁、151A…第1仕切部材(仕切部材)、151B…第2仕切部材、A…内部空間、A1…保管空間、A2…隔離空間、A3…可動空間、A4…収容空間、A5…作業空間。
Claims (4)
- 筐体により画成される内部空間を有し、前記内部空間に配置される被格納物が格納される格納容器の内部をパージガスによってパージ処理するパージ装置を備えたパージストッカであって、
前記格納容器が載置される載置部と、
前記載置部に載置される前記格納容器に前記パージガスを供給する供給管と、
前記供給管における前記パージガスの流量を調整する流量制御装置と、
を備え、
前記内部空間は、前記載置部が配置される第1空間と、前記流量制御装置が配置される第2空間と、を有し、前記第1空間と前記第2空間との間には、仕切部材が配置されている、パージストッカ。 - 前記内部空間外から吸気した気体を前記内部空間内に清浄気体として送り出す吸入部を更に備え、
前記吸入部から送り出される前記清浄気体は、前記第2空間を通って前記内部空間から排出される、請求項1に記載のパージストッカ。 - 前記仕切部材は、断熱性部材である、請求項1又は2に記載のパージストッカ。
- 前記第2空間は、平面視において前記第1空間の周囲に配置されている、請求項1〜3の何れか一項に記載のパージストッカ。
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Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2017186161A (ja) * | 2016-03-31 | 2017-10-12 | 株式会社ダイフク | 容器収納設備 |
KR20180028974A (ko) * | 2016-09-09 | 2018-03-19 | 가부시키가이샤 다이후쿠 | 물품 수납 설비 |
WO2018146986A1 (ja) | 2017-02-07 | 2018-08-16 | 村田機械株式会社 | ストッカ |
KR20180109725A (ko) | 2017-03-28 | 2018-10-08 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | 기판 처리 장치, 기판 처리 방법 및 기억 매체 |
CN109983568A (zh) * | 2017-02-20 | 2019-07-05 | 村田机械株式会社 | 吹扫储料器 |
US10583983B2 (en) | 2016-03-31 | 2020-03-10 | Daifuku Co., Ltd. | Container storage facility |
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Cited By (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2017186161A (ja) * | 2016-03-31 | 2017-10-12 | 株式会社ダイフク | 容器収納設備 |
KR20170113389A (ko) * | 2016-03-31 | 2017-10-12 | 가부시키가이샤 다이후쿠 | 용기 수납 설비 |
CN107265032A (zh) * | 2016-03-31 | 2017-10-20 | 株式会社大福 | 容器收纳设备 |
KR102337178B1 (ko) * | 2016-03-31 | 2021-12-07 | 가부시키가이샤 다이후쿠 | 용기 수납 설비 |
TWI718270B (zh) * | 2016-03-31 | 2021-02-11 | 日商大福股份有限公司 | 容器收納設備 |
US10583983B2 (en) | 2016-03-31 | 2020-03-10 | Daifuku Co., Ltd. | Container storage facility |
KR20180028974A (ko) * | 2016-09-09 | 2018-03-19 | 가부시키가이샤 다이후쿠 | 물품 수납 설비 |
KR102428865B1 (ko) | 2016-09-09 | 2022-08-02 | 가부시키가이샤 다이후쿠 | 물품 수납 설비 |
KR20190102049A (ko) | 2017-02-07 | 2019-09-02 | 무라다기카이가부시끼가이샤 | 스토커 |
CN110225868A (zh) * | 2017-02-07 | 2019-09-10 | 村田机械株式会社 | 储存库 |
KR102227859B1 (ko) | 2017-02-07 | 2021-03-15 | 무라다기카이가부시끼가이샤 | 스토커 |
TWI729266B (zh) * | 2017-02-07 | 2021-06-01 | 日商村田機械股份有限公司 | 貯藏庫 |
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WO2018146986A1 (ja) | 2017-02-07 | 2018-08-16 | 村田機械株式会社 | ストッカ |
CN109983568A (zh) * | 2017-02-20 | 2019-07-05 | 村田机械株式会社 | 吹扫储料器 |
CN109983568B (zh) * | 2017-02-20 | 2023-02-28 | 村田机械株式会社 | 吹扫储料器 |
JP2018166170A (ja) * | 2017-03-28 | 2018-10-25 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理装置、基板処理方法及び記憶媒体 |
KR20180109725A (ko) | 2017-03-28 | 2018-10-08 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | 기판 처리 장치, 기판 처리 방법 및 기억 매체 |
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