KR102227859B1 - 스토커 - Google Patents

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유우 쿠사마
토오루 스즈키
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무라다기카이가부시끼가이샤
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Abstract

보관 영역에 대하여 제어반으로부터의 열의 전달을 효과적으로 차단 혹은 억제함으로써, 보관 영역의 물품에의 열의 영향을 저감한다. 스토커(100)는 스토커 내외를 구획하는 벽부(11)와, 벽부(11)의 내측에 배치되어, 물품(M)이 보관되는 보관 영역(12)과, 벽부(11)에 배치되어, 외부의 공기를 흡인하여 내부에 도입하는 팬(14)과, 벽부(11)의 내측으로서 보관 영역(12)의 측방에 배치되어, 제어반을 저장하는 제어반 저장부(15)와, 제어반 저장부(15)의 벽부(11)측에 배치된 제 1 단열층(16)과, 제어반 저장부(15)의 보관 영역(12)측에 배치된 제 2 단열층(17)을 구비한다.

Description

스토커
본 발명은 스토커에 관한 것이다.
스토커는 레티클 또는 반도체 웨이퍼 등을 수용하는 용기(물품)를 복수 보관하기 위하여 반도체 공장 등에 설치된다. 스토커는 내외를 구획하는 벽부와, 벽부의 내측에 배치되어 용기가 재치(載置)되는 보관 영역과, 벽부의 외측에 배치되어 각 부의 동작을 제어하는 제어반을 저장하는 제어반 저장부를 가진다. 이러한 스토커에서는, 제어반의 발열에 의해, 보관 영역에 보관되는 용기 혹은 이 용기의 수용물에 영향을 미칠 가능성이 있다. 이 때문에, 제어반 저장부의 열이 보관 영역에 전달되지 않도록, 제어반 저장부의 보관 영역측에 단열층이 배치된 구성이 알려져 있다(예를 들면, 특허 문헌 1 참조).
일본특허공개공보 2016-21429호
특허 문헌 1에 기재된 스토커는, 제어반 저장부의 보관 영역측에 단열층이 배치되고, 이 단열층에 의해 제어반 저장부와 보관 영역과의 경계 부분을 개재한 열의 전달을 차단 혹은 억제하고 있다. 그러나 제어반의 열은, 제어반 저장부와 보관 영역과의 경계 부분 이외로부터도 보관 영역에 전달될 가능성이 있으며, 이 열이 보관 영역에 전달되면, 보관 영역에 재치된 용기 혹은 용기의 수용물에 영향을 주는 경우가 있다. 이 때문에, 상기와 같은 스토커에서는, 제어반으로부터의 발열이 보관 영역에 전달되는 것을 효과적으로 차단 또는 억제하여, 보관 영역에 대하여 제어반의 열의 영향을 저감하는 것이 요구되고 있다.
이상과 같은 사정을 감안하여, 본 발명은 보관 영역에 대하여 제어반으로부터의 열의 전달을 효과적으로 차단 혹은 억제함으로써, 보관 영역의 물품(용기 혹은 용기의 수용물)에의 열의 영향을 저감하는 것이 가능한 스토커를 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명에 따른 스토커는, 스토커 내외를 구획하는 벽부와, 벽부의 내측에 배치되어, 물품이 보관되는 보관 영역과, 벽부에 배치되어, 외부의 공기를 흡인하여 내부에 도입하는 팬과, 벽부의 내측으로서 보관 영역의 측방에 배치되어, 제어반을 저장하는 제어반 저장부와, 제어반 저장부의 벽부측에 배치된 제 1 단열층과, 제어반 저장부의 보관 영역측에 배치된 제 2 단열층을 구비한다.
또한, 제 1 단열층은 공기를 유통 가능한 통기층이어도 된다. 또한, 통기층은 상하 방향으로 연장되는 덕트이며, 덕트는 상부 및 하부의 일방에 배치되어, 벽부의 외부와 덕트의 내부를 연통하는 제 1 통기구와, 상부 및 하부의 타방에 배치되어, 덕트의 내부와 제어반 저장부의 내부를 연통하는 제 2 통기구를 가져도 된다. 또한, 상기 스토커는, 제어반 저장부의 보관 영역과는 반대측의 측방에 배치되어, 제어반 저장부의 내부의 공기를 흡인하여 스토커 외부로 분출하는 제 2 팬을 가져도 된다. 또한, 제 2 팬은 팬보다 상방에 배치되어도 된다. 또한, 제어반 저장부는 상하로 복수 계층 마련되며, 제 2 팬은 계층마다 배치되어도 된다. 또한, 제 2 단열층은 공기를 유통 가능한 통기층이어도 된다.
본 발명에 따르면, 제어반 저장부의 벽부측에 배치된 제 1 단열층과, 제어반 저장부의 보관 영역측에 배치된 제 2 단열층을 구비하기 때문에, 제어반 저장부의 벽부측 및 보관 영역측의 각각에 있어서 온도 상승을 억제할 수 있다. 벽부에 배치된 팬이, 외부의 공기를 흡인하여 보관 영역 내부에 도입하는 구성에서는, 제어반 저장부의 벽부측으로부터 외부로 전해지는 열에 의해 온도 상승한 공기가, 마찬가지로 벽부측에 마련된 팬에 의해 흡인될 우려가 있지만, 제 1 단열층을 구비함으로써, 제어반 저장부로부터 벽부측으로의 열의 전달을 차단 혹은 억제할 수 있어, 팬에 의해 보관 영역 내부로 도입되는 공기의 온도 상승을 억제할 수 있다. 이 구성에 의해, 보관 영역에 대하여 제어반으로부터의 열의 전달을 차단 혹은 억제하여, 보관 영역의 물품에의 열의 영향을 저감할 수 있다.
또한 제 1 단열층이, 공기를 유통 가능한 통기층인 경우, 제 1 단열층에 있어서 열의 전달을 효율적으로 차단 혹은 억제함으로써, 제어반의 발열의 영향을 확실하게 저감할 수 있다. 또한 통기층이, 상하 방향으로 연장되는 덕트이며, 덕트가 상부 및 하부의 일방에 배치되어 벽부의 외부와 덕트의 내부를 연통하는 제 1 통기구와, 상부 및 하부의 일방에 배치되어 덕트의 내부와 제어반 저장부의 내부를 연통하는 제 2 통기구를 가지고, 상기 스토커가 제어반 저장부의 보관 영역과는 반대측의 측방에 배치되어 제어반 저장부의 내부의 공기를 흡인하여 스토커 외부로 분출하는 제 2 팬을 가지는 경우, 제 2 팬에 의해 덕트 내에 공기의 흐름을 발생시켜, 제어반 저장부의 내부의 열을 외부로 방출하므로, 제어반으로부터의 발열의 영향을 확실하게 저감할 수 있다.
또한 제 2 팬이 팬보다 상방에 배치되는 경우, 제 2 팬으로부터 스토커 외부로 방출된 공기가 팬에 의해 다시 스토커 내의 보관 영역으로 도입되는 것을 억제할 수 있다. 또한 제어반 저장부가 상하에 복수 계층 마련되고 제 2 팬이 계층마다 배치되는 경우, 계층마다 형성된 제어반 저장부에 대하여 개별로 내부의 공기를 외부로 방출하여, 각 제어반 저장부로부터 보관 영역에의 열의 전달을 효율적으로 차단 혹은 억제할 수 있다. 또한 제 2 단열층이 공기를 유통 가능한 통기층 또는 단열재인 경우, 제어반 저장부와 보관 영역과의 경계에 통기층이 배치되므로, 보관 영역에의 열의 전달을 적절히 차단 혹은 억제할 수 있다.
도 1은 실시 형태에 따른 스토커의 일례를 나타내는 단면도이다.
도 2는 실시 형태에 따른 스토커의 측방에서 본 단면도이다.
도 3은 실시 형태에 따른 스토커의 측면도이다.
도 4는 실시 형태에 따른 스토커의 정면도이다.
도 5는 도 4의 A-A선을 따른 단면도이다.
도 6은 도 3의 B-B선을 따른 단면도이다.
도 7은 실시 형태에 따른 스토커의 다른 예를 나타내는 도이다.
이하, 본 발명의 실시 형태에 대하여 도면을 참조하여 설명한다. 단, 본 발명은 이 형태에 한정되지 않는다. 또한, 도면에 있어서는 실시 형태를 설명하기 위하여, 일부분을 크게 또는 강조하여 기재하는 등 적절히 축척을 변경하여 표현하고 있다. 또한 각 도면에 있어서는, 수평 방향(바닥부(FL)에 평행한 방향)으로서 후술하는 보관 영역(12)의 길이 방향(또는 후술하는 반송 기구(40)의 주행 방향)을 제 1 방향(D1)으로 하고, 수평 방향으로서 제 1 방향(D1)과 직교하는 방향을 제 2 방향(D2)으로 하고, 바닥부(FL)에 수직인 상하 방향을 제 3 방향(D3)으로서 표기하고 있다.
도 1 및 도 2는 실시 형태에 따른 스토커(100)의 일례를 나타내는 도이다. 도 1은 스토커(100)를 상방에서 본 단면도이며, 도 2는 스토커(100)를 측방(제 1 방향(D1))에서 본 단면도이다. 스토커(100)는 도 1 및 도 2에 나타내는 바와 같이, 본체부(10)와, 선반부(20)와, 이동 재치 장치(30)와, 반송 기구(40)를 가진다. 스토커(100)는 내부에 물품(M)을 보관한다. 본 실시 형태에 있어서, 물품(M)은 예를 들면 레티클을 수용하는 레티클 포드이다. 물품(M)은 수용하는 레티클이 1 매 또는 수 매이다. 물품(M)은 복수 매의 레티클을 수용할 경우, 상하 방향으로 배열된 상태로 수용한다.
본체부(10)는 반도체 공장 등의 건물(F)의 바닥부(FL)에 설치되어 있으며, 예를 들면 내부의 온도 혹은 습도 등이 관리되고 있다. 본체부(10)는 벽부(11)와, 보관 영역(12)과, 덕트(13)와, 팬(14)과, 제어반 저장부(15)와, 제 1 단열층(16)과, 제 2 단열층(17)을 가진다. 벽부(11)는 보관 영역(12)을 포함하는 공간을 둘러싸도록 배치되어, 스토커(100)의 내외를 구획한다. 벽부(11)는, 예를 들면 상방에서 본 경우에 직사각형 형상으로 형성된다. 보관 영역(12)은 물품(M)이 보관되는 공간이며, 벽부(11)의 내측에 마련된다. 보관 영역(12)은 반송 기구(40)(이동 재치 장치(30))가 주행하는 영역의 양측에 형성되어 있다.
덕트(13)는 2 개의 보관 영역(12)의 벽부(11)측에 각각 배치된다. 덕트(13)는 예를 들면 직사각형의 상자 형상이며, 상하 방향으로 연장되도록 마련된다. 덕트(13)는 보관 영역(12)의 최하부에서 최상부에 걸쳐 연장되도록 상하 방향으로 마련되어 있다. 또한, 덕트(13)는 벽부(11)의 수평 방향(제 1 방향(D1))을 따라 복수 배열되어 배치되어 있다. 도 1에서는, 선반부(20)에 재치된 2 개의 물품(M)에 대응하도록 덕트(13)가 마련되어 있지만, 이 구성에 한정되지 않고, 1 개의 물품(M)에 대응하여 덕트(13)가 마련되어도 되며, 3 개 이상의 물품(M)에 대응하여 덕트(13)가 마련되어도 된다. 또한, 수평 방향으로 배치되는 복수의 덕트(13)는 동일한 크기여도 되며, 상이한 크기여도 된다.
덕트(13)는 내측의 덕트 벽부(13e)와, 외측의 덕트 벽부(13f)가 정해진 간격을 두고 배치됨으로써 형성되며, 도입구(13a)와, 유통 규제부(13b)와, 분출구(13c, 13d)를 가진다. 또한, 외측의 덕트 벽부(13f)는 스토커(100)의 벽부(11)를 형성한다. 도입구(13a)는 덕트(13)의 상단에 배치된다. 도입구(13a)는 하방을 향해 흐르는 공기를 덕트(13)로 도입한다.
도입구(13a)는, 예를 들면 건물(F)의 천장부(CL)에 구비하는 천장 팬(CF)에 의해 하방으로 흐르는 공기를 도입한다. 또한, 건물(F)의 천장부(CL)에는 복수의 천장 팬(CF)이 배치되어, 건물(F) 내에 다운 플로우를 형성하고 있다. 천장 팬(CF)은, 예를 들면 팬 필터 유닛이 이용된다. 도입구(13a)는 이 천장 팬(CF)에 의한 다운 플로우(하방으로 흐르는 공기)의 일부를 덕트(13) 내에 취입하도록 상방을 향해 개구된 상태로 배치되어 있다.
유통 규제부(13b)는 덕트(13) 내에 배치된다. 유통 규제부(13b)는, 예를 들면 덕트(13)의 상측과 하측을 구획하는 구획판이다. 유통 규제부(13b)는 덕트(13)의 상측과 하측 사이의 공기의 유통을 규제한다. 유통 규제부(13b)가 마련됨으로써, 도입구(13a)로부터 도입된 공기가 덕트(13)의 하측으로 흐르는 것이 규제된다. 또한 유통 규제부(13b)는, 덕트(13)의 상측과 하측을 간극없이 구획하는 구성에 한정되지 않는다. 유통 규제부(13b)는, 예를 들면 덕트(13)의 벽부와의 사이에 간극을 둔 상태로 배치되어도 되며, 통기도가 작은 필터가 이용되어도 된다.
또한, 유통 규제부(13b)가 마련되어 있는 높이는 임의로 설정 가능하다. 유통 규제부(13b)는, 예를 들면 덕트(13)의 상하 방향의 중간 위치 또는 중간 위치 근방의 높이에 마련되어도 된다. 또한, 예를 들면 천장 팬(CF)에 의한 다운 플로우가 강한 경우는, 덕트(13)의 하방까지 충분히 공기가 보내지므로 유통 규제부(13b)의 높이를 덕트(13)의 상하 방향의 중간 위치보다 하방에 설정해도 되며, 천장 팬(CF)에 의한 다운 플로우가 약한 경우는, 덕트(13)의 하방까지 충분한 공기가 보내지지 않으므로 유통 규제부(13b)의 높이를 덕트(13)의 상하 방향의 중간 위치보다 상방에 설정해도 된다. 또한, 유통 규제부(13b)의 높이를 상하 방향으로 변경 가능하게 해도 된다. 또한, 유통 규제부(13b)를 마련할지 여부는 임의이며, 유통 규제부(13b)가 없어도 된다.
분출구(13c, 13d)는 덕트(13) 중 보관 영역(12)측의 덕트 벽부(13e)에 마련된다. 분출구(13c, 13d)는 덕트(13)로 도입된 공기를 보관 영역(12)에 분출하도록 복수 개소에 형성된다. 분출구(13c)는 덕트(13) 중 유통 규제부(13b)의 상측 부분(13P)의 덕트 벽부(13e)에 형성된다. 분출구(13d)는 덕트(13) 중 유통 규제부(13b)의 하측 부분(13Q)의 덕트 벽부(13e)에 형성된다. 덕트 벽부(13e)는 예를 들면 펀칭 메탈이 이용된다. 또한 도시하지 않지만, 복수의 분출구(13c, 13d)는 하측 부분(13Q) 및 상측 부분(13P)에 있어서, 예를 들면 상하 방향 및 수평 방향으로 각각 동일한 피치로 배열되어 배치되어도 되며, 소기의 기능을 충족하면, 동일하지 않은 피치로 배치되어도 된다. 또한, 하측 부분(13Q) 및 상측 부분(13P)의 개구율은 각각 상하 방향으로 일정해도 되며, 또한 상하 방향으로 변화시켜도 된다.
팬(14)은 덕트(13)의 하측 부분(13Q)에 배치된다. 또한, 팬(14)은 덕트(13)의 상측 부분(13P)에 배치되어도 된다. 팬(14)은 덕트(13) 중 보관 영역(12)에 대향하는 덕트 벽부(13f)에 배치된다. 덕트 벽부(13f)는 스토커(100)의 외부에 면하여 배치되어 있다. 팬(14)은 공기의 취입구가 스토커(100)의 벽부(11)에 면하고 있으며, 벽부(11)(본체부(10))의 외부의 공기를 흡인하여 덕트(13)의 하측 부분(13Q)의 내부로 도입한다. 본체부(10)의 외부의 공기는 건물(F) 내의 공기이며, 천장 팬(CF)에 의한 다운 플로우의 일부이다. 또한, 팬(14)은 예를 들면 팬 필터 유닛이다.
팬(14)은 흡인한 외부의 공기를, 덕트(13)의 하측 부분(13Q)을 개재하여 보관 영역(12)을 향해 수평 방향으로 분출시킨다. 즉, 팬(14)에 의해 덕트(13)의 하측 부분(13Q) 내로 흡인된 공기는, 복수의 분출구(13d)로부터 보관 영역(12)을 향해 제 2 방향(D2)으로 분출된다.
팬(14)은, 도 1에 나타내는 바와 같이 덕트(13)의 하측 부분(13Q)의 수평 방향으로 간극없이 배열되어 배치되어 있지만, 간극이 있어도 된다. 또한 팬(14)은, 도 2에 나타내는 바와 같이 덕트(13)의 하측 부분(13Q)의 상하 방향으로 간극없이 배열되어 배치되어 있지만, 간극이 있어도 된다. 복수 배치되는 팬(14)은 동일한 팬(14)이 이용되지만, 이 구성에 한정되지 않는다. 예를 들면, 상하 방향 및 좌우 방향에 있어서 상이한 팬(14)이 배치되어도 된다. 또한, 복수의 팬(14)은 전부를 동시에 구동하는 것에 한정되지 않으며, 교호 또는 순서대로 구동시켜도 된다. 또한, 복수의 팬(14)의 일부 또는 전부는 연속 구동하는 것에 한정되지 않고, 간헐 구동시켜도 된다.
제어반 저장부(15)는 스토커(100)의 각 부를 제어하는 1 매 또는 복수 매의 제어반(CR)을 저장한다. 도 3은 스토커(100)의 측면도이며, 제어반 저장부(15)를 측방(제 1 방향(D1))에서 본 상태를 나타내고 있다. 도 4는 스토커(100)의 정면도이며, 제어반 저장부(15)를 정면에서 본 상태를 나타내고 있다. 도 5는 도 4의 A-A선을 따른 단면도이다. 도 6은 도 3의 B-B선을 따른 단면도이다. 제어반 저장부(15)는, 도 3에 나타내는 바와 같이 벽부(11)의 내측으로서 제 2 방향(D2)으로 간격을 둔 2 개소에 배치되어 있다. 또한 제어반 저장부(15)는, 도 4에 나타내는 바와 같이 보관 영역(12)에 대하여 제 1 방향(D1)의 일방의 단부측(즉 보관 영역(12)의 측방)에 배치된다.
제어반 저장부(15)의 상부로서 제 1 방향(D1)측의 면에 제 2 팬(63)이 마련된다. 제 2 팬(63)은 제어반 저장부(15) 중, 외부에 면하는 벽부(15a)에 배치된다. 즉, 제 2 팬(63)은 제어반 저장부(15)의 보관 영역(12)과는 반대측의 측방에 배치되어 있다. 이 벽부(15a)는 스토커(100)의 벽부(11)의 일부를 형성한다. 제 2 팬(63)은 제어반 저장부(15) 내의 공기를 흡인하여 스토커(100)의 외부로 방출한다. 제 2 팬(63)은 상기한 팬(14)의 높이(도 2 참조)보다 상방에 배치된다. 또한, 도시에서는 제어반 저장부(15)마다 1 개의 제 2 팬(63)을 이용하고 있지만, 이 구성에 한정되지 않고, 제어반 저장부(15)마다 복수의 제 2 팬(63)을 이용해도 된다.
제 1 단열층(16)은 제어반 저장부(15)의 벽부(11)측에 배치된다. 즉, 제 1 단열층(16)은, 제 2 방향(D2)에 있어서의 제어반 저장부(15)와 벽부(11)의 사이에 배치된다. 제 1 단열층(16)은, 도 3부터 도 5에 나타내는 바와 같이, 공기를 유통 가능한 통기층인 덕트(60)를 가진다. 덕트(60)는 제어반 저장부(15)를 따라 상하 방향으로 연장되어 마련되며, 제 1 통기구(61)와 제 2 통기구(62)를 가진다.
제 1 통기구(61)는 덕트(60)의 상부에 배치된다. 제 1 통기구(61)는 덕트(60) 중 벽부(11)측의 벽부(60a)에 마련된다. 벽부(60a)는 스토커(100)의 벽부(11)의 일부를 형성한다. 또한, 제 1 통기구(61)는 제 2 방향(D2)에 면하여 개구되도록 형성되어 있다. 제 1 통기구(61)는 벽부(11)의 외부와 덕트(60)의 내부를 연통하고 있다. 제 1 통기구(61)는 개구 형상이 직사각형 형상으로 형성되어 있지만, 이 구성에 한정되지 않고, 예를 들면 원형 형상, 타원 형상, 긴원 형상 또는 다각형상 등 다른 형상으로 형성되어도 된다. 또한, 덕트(60) 내에 먼지의 진입을 방지하기 위하여, 제 1 통기구(61)에 필터가 장착되어도 된다.
제 2 통기구(62)는 덕트(60)의 하부에 배치된다. 제 2 통기구(62)는 덕트(60) 중 제어반 저장부(15)측의 벽부(60b)에 마련된다. 벽부(60b)는 상단이 스토커(100)의 덮개부(11b)에 접하여 폐색되어 있으며, 덕트(60)의 내부와 제어반 저장부(15)의 내부의 사이가 제 2 통기구(62)에 의해 연통된 상태로 되어 있다. 덕트(60)에 있어서, 벽부(60a)와 벽부(60b)와의 제 2 방향(D2)의 간격은, 덕트(60)에 공기를 유통했을 시 벽부(60b)로부터 벽부(60a)로의 제 2 방향(D2)으로의 열의 전달을 차단 혹은 억제하는 것이 가능한 간격으로 설정된다. 예를 들면, 벽부(60a)와 벽부(60b)와의 제 2 방향(D2)의 간격은, 제 2 팬(63)에 의해 덕트(60)에 유통시키는 공기의 유량에 의해 설정되어도 된다. 제 2 통기구(62)는 개구 형상이 직사각형 형상으로 형성되어 있지만, 이 구성에 한정되지 않고, 예를 들면 원형 형상, 타원 형상, 긴원 형상 또는 다각형상 등 다른 형상으로 형성되어도 된다. 또한, 제 1 통기구(61) 및 제 2 통기구(62)의 개구 면적은 동일해도 되며, 또한 상이해도 된다.
도 3 및 도 5에 나타내는 바와 같이, 제 2 팬(63)을 구동함으로써 제어반 저장부(15) 내의 공기가 스토커(100)의 외부로 방출됨으로써, 제어반 저장부(15) 내의 압력이 저하되어, 제 2 통기구(62)로부터 덕트(60) 내의 공기가 제어반 저장부(15)로 도입된다. 제어반 저장부(15)로의 공기의 도입에 수반하여, 덕트(60) 내의 압력이 저하되어, 덕트(60) 내에는 제 1 통기구(61)로부터 외부의 공기가 도입된다.
따라서 제 2 팬(63)을 구동하면, 제 1 통기구(61)로부터 제 2 팬(63)에 걸쳐 공기의 흐름이 형성된다. 즉, 스토커(100)의 외부의 공기가 제 1 통기구(61)로부터 덕트(60) 내로 도입되어, 덕트(60) 내를 하방을 향해 흐른다. 이 공기가 제 2 통기구(62)로부터 제어반 저장부(15)로 도입되어, 제어반 저장부(15)를 상부를 향해 흘러, 제 2 팬(63)으로부터 스토커 외부로 방출된다.
이 공기의 흐름에 의해, 제어반(CR)(도 1 참조)에서 발생한 열은, 제어반 저장부(15) 내를 흐르는 공기에 의해 옮겨져, 제 2 팬(63)으로부터 스토커(100)의 외부로 방출된다. 이와 같이, 제어반(CR)에서 발생한 열은, 공기와 함께 스토커(100)의 외부로 방출된다. 또한, 덕트(60) 내에 있어서도 하방을 향해 공기가 흐르고 있어, 제어반(CR)의 열이 덕트(60)의 내측의 벽부(60b)로부터 제 2 방향(D2)으로 전달되어 외측의 벽부(60a) 및 벽부(11)에 이르는 것을 방지 또는 억제하고 있다. 또한 벽부(11)에 배치된 팬(14)이, 외부의 공기를 흡인하여 보관 영역(12)에 도입하는 구성에서는, 제어반 저장부(15)의 벽부(11) 등으로부터 외부로 전해지는 열에 의해 온도 상승한 공기를, 마찬가지로 벽부(11)에 마련된 팬(14)에 의해 흡인해 버리는 경우가 있다. 본 실시 형태에서는, 상기한 제 1 단열층(16)을 구비함으로써, 제어반 저장부(15)로부터 벽부(11) 및 벽부(60a)로의 열의 전달을 차단 혹은 억제하여, 팬(14)에 의해 보관 영역(12)으로 도입되는 공기의 온도가 상승하는 것을 억제할 수 있다. 따라서, 팬(14)을 덕트(60)의 근방(즉, 제어반 저장부(15)의 근방)의 벽부(11)에 배치하는 것이 가능해진다. 또한, 제 2 팬(63)은 팬(14)(도 1 및 도 2 참조)이 설치되는 면과 상이한 면에 장착되고, 또한 팬(14)보다 상방에 배치되기 때문에, 제 2 팬(63)으로부터 방출된 공기가 팬(14)으로부터 다시 스토커(100)의 내부(보관 영역(12))로 도입되는 것을 억제한다.
제 2 단열층(17)은 제어반 저장부(15)의 보관 영역(12)측에 배치된다. 즉, 제 2 단열층(17)은, 제 1 방향(D1)에 있어서의 제어반 저장부(15)와 보관 영역(12)의 사이에 배치된다. 제 2 단열층(17)은, 도 4 및 도 6에 나타내는 바와 같이 공기를 유통 가능한 통기층인 덕트(70)를 가진다. 덕트(70)는 제어반 저장부(15)를 따라 상하 방향으로 연장되어 마련되고, 도입구(71)와 방출구(72)를 가진다.
도입구(71)는 덕트(70)의 상단에 있어서 덮개부(11b)의 일부를 개구하도록 형성된다. 도입구(71)는, 예를 들면 천장부(CL)를 향해 개구되어 있으며, 건물(F) 내의 공기를 덕트(70)의 내부로 도입한다. 상기와 같이 건물(F)의 천장부(CL)에는 천장 팬(CF)으로부터 하방으로 흐르는 공기가 형성되어 있으며, 이 천장 팬(CF)으로부터의 공기를 도입구(71)로부터 덕트(70) 내로 취입하고 있다. 단, 도입구(71)의 위치는 덕트(70)의 상단에 한정되지 않는다. 예를 들면, 도입구(71)는 덕트(70) 중 보관 영역(12)측의 벽부(70a)의 상부에 마련되어도 된다. 이 경우, 팬에 의해 보관 영역(12) 내의 공기를 덕트(70)에 도입하도록 구성해도 된다.
방출구(72)는 덕트(70)의 하단에 배치된다. 방출구(72)는 하방을 향해 개구되도록 형성되어, 덕트(70) 내의 공기를 스토커(100)의 하방을 향해 방출 가능하다. 덕트(70)는 도입구(71)로부터 도입된 공기가 하방으로 이동하여 그대로 스토커(100)의 하방으로부터 방출되도록 마련된다. 또한 방출구(72)는, 덕트(70)의 하방에 면하여 개구 되는 것에 한정되지 않는다. 방출구(72)는, 예를 들면 덕트(70) 중 보관 영역(12)측의 벽부(70a)의 하부에 마련되어도 되며, 제어반 저장부(15)측의 벽부(70b)의 하부에 마련되어도 된다. 방출구(72)가 벽부(70b)의 하부에 마련되는 경우, 덕트(70) 내의 공기는 상기한 제 2 팬(63)에 의해 흡인되게 된다.
스토커(100)의 외부의 공기는 도입구(71)로부터 덕트(70) 내로 도입되어, 덕트(70) 내를 하방을 향해 흘러, 방출구(72)로부터 스토커(100)의 외부로 방출된다. 이 공기의 흐름에 의해, 제어반(CR)(도 1 참조)에서 발생한 열이 제 1 방향(D1)으로 전달되어 보관 영역(12)에 이르는 것을 방지 또는 억제하고 있다. 덕트(70)에 있어서, 벽부(70a)와 벽부(70b)와의 제 1 방향(D1)의 간격은, 덕트(70)에 공기를 유통했을 시 벽부(70b)로부터 벽부(70a)로의 제 1 방향(D1)으로의 열의 전달을 차단 혹은 억제하는 것이 가능한 간격으로 설정된다. 예를 들면, 벽부(70a)와 벽부(70b)와의 제 1 방향(D1)의 간격은, 천장 팬(CF)으로부터 도입구(71)를 개재하여 도입하는 공기의 유량에 따라 설정되어도 된다.
또한 본체부(10)는, 도 2에 나타내는 바와 같이 접속부(11a)와, 덮개부(11b)를 가진다. 접속부(11a)는 벽부(11)의 상부로부터 천장부(CL)로 연장되어 마련된다. 접속부(11a)는 상방에서 봤을 때, 스토커(100)의 벽부(11)를 둘러싸도록 배치된다. 이 구성에 의해, 접속부(11a)는 천장부(CL)의 천장 팬(CF)에 의해 하방으로 흐르는 공기를, 스토커(100)의 상방(벽부(11)로 둘러싸인 공간의 상방)으로 안내한다. 이 접속부(11a)에 의해, 천장부(CL)의 천장 팬(CF)에 의해 하방으로 흐르는 공기를 덕트(70)의 도입구(71)에 취입하기 쉽게 할 수 있다.
덮개부(11b)는 보관 영역(12)을 포함하는 스토커(100)의 내부 공간의 상단을 폐색한다. 덮개부(11b)에 의해, 천장부(CL)의 천장 팬(CF)에 의해 하방으로 흐르는 공기가 직접 스토커(100)의 내부로 유입되는 것을 규제한다. 보관 영역(12)에 대해서는 덕트(13)로부터 분출구(13c, 13d)를 개재하여 공기를 공급하게 된다. 또한, 덮개부(11b)가 있음으로써, 스토커(100) 내부로부터 공기가 상측으로 빠지는 것이 방지된다.
또한, 상기한 접속부(11a) 및 덮개부(11b)를 설치할지 여부는 임의이며, 접속부(11a) 및 덮개부(11b)의 일방 또는 쌍방은 없어도 된다. 또한, 접속부(11a) 및 덮개부(11b)는 간극없이 마련되는 것에 한정되지 않고, 일부에 간극을 마련한 상태로 설치되어도 된다. 또한, 접속부(11a)는 스토커(100)의 벽부(11)로부터 상방으로 연장되는 것에 한정되지 않고, 예를 들면 벽부(11)로부터 외측으로 확장되도록, 또는 내측으로 단축하도록 설치되어도 된다.
선반부(20)는 보관 영역(12) 내에 배치되어, 물품(M)을 재치 가능하게 형성된다. 선반부(20)는 미도시의 지주부(支柱部) 등에 지지되어, 보관 영역(12) 내의 상하 방향으로 복수 단 마련된다. 본 실시 형태에서는, 이러한 복수 단의 선반부(20)가, 반송 기구(40)의 주행 방향을 따른 양측에 각각 배치된다. 각 선반부(20)에는 각각 미도시의 노치부가 형성되어 있다. 또한 각 선반부(20)는, 예를 들면 상면에 미도시의 3 개의 핀을 구비해도 된다. 핀은 선반부(20)의 상면으로부터 상방으로 돌출되어 마련되며, 물품(M)의 저면에 구비하는 홈부에 들어감으로써, 물품(M)을 선반부(20)에 위치 결정 가능하게 된다.
또한, 각 선반부(20)는 퍼지 장치의 공급 노즐(21)이 마련된다. 공급 노즐(21)은 선반부(20)에 물품(M)을 재치했을 시, 물품(M)의 저면에 구비하는 미도시의 퍼지 가스 도입구와 접속하도록 배치된다. 물품(M)의 퍼지 가스 도입구는 선반부(20)에 물품(M)을 재치했을 시, 공급 노즐(21)로부터 배관(22)을 개재하여 퍼지 가스원(23)에 접속되고, 퍼지 가스 도입구를 개재하여 물품(M) 내에 퍼지 가스가 공급된다. 또한 선반부(20)의 일부 또는 전부에 있어서, 공급 노즐(21)이 마련되지 않아도 된다. 또한, 물품(M)에의 퍼지 가스의 공급은 선반부(20) 이외에서 행해도 되고, 예를 들면 스토커(100)에 물품(M)을 반입하기 위한 미도시의 로드 포트 등에서 물품(M)에 퍼지 가스를 공급해도 된다.
이동 재치 장치(30)는 이동 재치 장소인 선반부(20)에 대하여 물품(M)을 이동 재치한다. 이동 재치 장치(30)는 기부(基部)(31)와, 신축부(32)와, 물품 보지부(保持部)(33)를 가진다. 기부(31)는 후술하는 승강대(43)에 고정된다. 신축부(32)는 기부(31)에 대하여 신축 가능하게 마련된다. 물품 보지부(33)는 신축부(32)의 선단에 장착되어, 물품(M)을 보지 가능하다. 물품 보지부(33)는, 예를 들면 신축부(32)의 신축 방향으로 이동 가능하다. 또한 물품 보지부(33)는, 물품(M)을 재치하여 보지하는 구성이 적용되며, 상기한 선반부(20)의 노치를 상하 방향으로 통과 가능하다. 또한 이동 재치 장치(30)는, 물품(M)을 재치하는 구성에 한정되지 않고, 예를 들면 물품(M)의 상부에 마련된 플랜지부를 사이에 두고 보지하는 구성, 또는 물품(M)의 측면을 파지하여 보지하는 구성 등이 적용되어도 된다.
반송 기구(40)는, 레일(R)과, 이 레일(R)을 따라 주행하는 미도시의 주행부와, 이 주행부에 마련된 마스트(42)와, 마스트(42)를 따라 승강하는 승강대(43)를 가진다. 레일(R)은, 스토커(100) 내의 바닥부 및 천장부(덮개부(11b))에 평행하게 배치된다. 또한 레일(R)은, 팬(14)이 마련된 벽부(11)에 대하여 평행하게 제 1 방향(D1)을 따라(보관 영역(12)을 따라) 배치되어 있다. 또한 도 1에서는, 2 개의 레일(R)을 나타내고 있지만 개수는 임의이며, 1 개의 레일(R)이어도 된다. 레일(R)을 주행하는 주행부는, 전동 모터 등의 구동원에 의해 레일(R)을 따라 주행한다. 마스트(42)는 상하 방향을 따라 배치되어, 주행부의 구동에 의해 주행부와 함께 이동한다. 승강대(43)는 전동 모터 등의 구동원에 의해 마스트(42)를 따라 상하 방향으로 승강하고, 임의의 높이로 보지된다.
상기한 스토커(100)에서는, 제어반 저장부(15)에 저장되는 제어반(CR)(제어부)에 의해 스토커(100)로의 물품(M)의 반입 동작 및 반출 동작, 및 선반부(20)로의 물품(M)의 이동 재치 동작 등이 제어된다. 물품(M)을 스토커(100)로 반입하는 경우, 미도시의 로드 포트에 재치된 물품(M)을 이동 재치 장치(30)에 의해 수취한 후, 반송 기구(40)에 의해 이동 재치 장치(30)를 반입처의 선반부(20)로 이동시킨다. 이 후, 이동 재치 장치(30)의 신축부(32)를 기부(31)로부터 연장하여 물품 보지부(33)를 선반부(20)의 상방으로 이동시키고, 이 상태에서 승강대(43)를 하강시킴으로써 물품(M)을 선반부(20)에 재치한다. 이 동작에 의해, 물품(M)이 반송처의 선반부(20)에 재치된다.
또한, 물품(M)의 반출을 행하는 경우, 반송 기구(40)에 의해 반출 대상이 되는 물품(M)이 재치된 선반부(20)까지 이동 재치 장치(30)를 이동시킨다. 이어서, 신축부(32)를 연장하여 물품 보지부(33)를 선반부(20)의 하방으로 이동시키고, 이 상태에서 승강대(43)를 상승시킴으로써 물품(M)은 선반부(20)로부터 물품 보지부(33)로 이동 재치된다. 이 후, 신축부(32)를 단축하여, 물품(M)을 재치한 물품 보지부(33)를 기부(31)상에 보지한다. 이 후, 반송 기구(40)에 의해 이동 재치 장치(30)를 로드 포트로 이동시켜, 이동 재치 장치(30)에 의해 물품(M)을 로드 포트에 재치시킨다. 이 동작에 의해, 물품(M)의 반출이 완료된다.
제어부에 의해 스토커(100)의 상기한 동작을 행하게 하는 경우, 제어반(CR)이 발열한다. 본 실시 형태의 스토커(100)에서는, 제 1 단열층(16) 및 제 2 단열층(17)에 의해, 제어반(CR)에서 발생한 열을 스토커(100) 외부로 방출하고, 또한 제어반(CR)의 열이 보관 영역(12)에 전달되지 않도록, 또한 팬(14)으로 취입되는 공기의 온도를 상승시키지 않도록 하고 있다.
구체적으로, 제 1 단열층(16)에서는, 제 2 팬(63)의 구동에 의해, 스토커(100)의 외부로부터 제 1 통기구(61)를 개재하여 덕트(60)에 공기가 도입되고, 이 공기가 제 2 통기구(62)를 개재하여 제어반 저장부(15) 내를 흘러 제어반(CR)의 열을 옮겨, 제 2 팬(63)으로부터 스토커(100)의 외부로 방출됨으로써, 팬(14)으로 취입되는 공기의 온도가 상승하는 것을 억제한다. 또한 제 2 단열층(17)에서는, 천장부(CL)의 천장 팬(CF)으로부터 하방으로 흐르는 공기가 도입구(71)를 개재하여 덕트(70)를 하방으로 흐르고, 방출구(72)를 개재하여 스토커(100)의 하방으로 방출하여, 제어반(CR)의 열이 보관 영역(12)에 전달되는 것을 억제한다. 이 때문에, 스토커(100)의 보관 영역(12)에서는, 제어반(CR)의 열에 의한 온도 상승이 억제된다. 제 1 단열층(16) 및 제 2 단열층(17) 모두 스토커(100) 내에서 공기를 순환시키지 않고, 취입한 공기를 외부로 방출하고 있다. 이 공기의 방출에 의해, 스토커(100) 내(보관 영역(12))의 온도 상승을 방지하고 있다.
이와 같이, 본 실시 형태에 따른 스토커(100)는, 제어반 저장부(15)의 벽부(11)측에 배치된 제 1 단열층(16)과, 제어반 저장부(15)의 보관 영역(12)측에 배치된 제 2 단열층(17)을 구비하기 때문에, 제어반 저장부(15)의 벽부(11)측 및 보관 영역(12)측의 각각에 있어서 제어반(CR)의 열이 보관 영역(12)에 전달되는 것을 차단 혹은 억제하고, 또한 팬(14)으로 취입되는 공기의 온도가 상승하는 것을 차단 혹은 억제한다. 이 구성에 의해, 보관 영역(12)에 재치된 물품(M)에의 열의 영향을 저감할 수 있다.
도 7은 스토커의 다른 예를 나타내는 도이다. 도 7에 나타내는 스토커(100A)는 제어반 저장부(15)가 상하로 2 계층 마련되어 있다. 또한 도 7에 나타내는 스토커(100A)는, 제어반 저장부(15)가 상하로 2 계층 마련되는 점을 제외하고, 그 외의 구성에 대하여, 상기한 도 1에 나타내는 스토커(100)와 동일한 구성이 적용된다. 제 1 단열층(16)에 대해서는, 계층마다 구성되며, 제 2 팬(63)은 제어반 저장부(15)에 계층마다 배치되어 있다. 또한 제 2 단열층(17)에 대해서는, 예를 들면 상측의 덕트(70)가 하측의 덕트(70)에 접속되어도 된다.
이 스토커(100A)에 의하면, 계층마다 배치된 제어반 저장부(15)에 배치된 제어반(CR)으로부터의 열이, 보관 영역(12)에 전달되는 것을 효율적으로 차단 혹은 억제할 수 있다. 또한 도 7에서는, 제어반 저장부(15)가 2 계층인 예를 나타내고 있지만, 제어반 저장부(15)가 3 계층 이상인 경우도 마찬가지이다.
이상, 실시 형태에 대하여 설명했지만, 본 발명은 상술한 설명에 한정되지 않으며, 본 발명의 요지를 일탈하지 않는 범위에 있어서 각종 변경이 가능하다. 예를 들면 상기한 실시 형태에서는, 제 2 단열층(17)이, 공기를 유통 가능한 통기층으로서 덕트(70)를 가지는 구성을 예로 들어 설명했지만, 이 구성에 한정되지 않는다. 예를 들면, 제 2 단열층(17)은 덕트(70) 대신에 단열재가 이용되어도 된다. 단열재로서는, 예를 들면 발포 스티롤 등의 수지 재료, 또는 목재, 지류 등이 이용되어도 된다. 또한 제 2 단열층(17)은, 상기한 덕트(70) 대신에, 제 1 단열층(16)에서 적용된 것과 같은 덕트(60)가 이용되어도 된다. 이 경우, 제 2 단열층(17)은 제 2 팬(63)을 작동시킴으로써, 외부 혹은 스토커(100) 내로부터 공기를 취입하여, 제어반 저장부(15)를 개재하여 외부로 방출하는 구성이 적용되어도 된다.
또한, 상기한 실시 형태에서는 제 1 단열층(16)으로서 덕트(60)를 이용하고 있지만, 이 구성 대신에, 제 2 단열층(17)과 마찬가지로 발포 스티롤 등의 단열재가 이용되어도 된다. 이 경우, 예를 들면 제어반 저장부(15)의 하부에 통기구를 마련하여, 제 2 팬(63)을 작동시킨 경우에, 통기구를 개재하여 스토커(100)의 외부로부터 제어반 저장부(15)로 공기를 도입하고, 제어반 저장부(15) 내를 상방으로 흘러 제 2 팬(63)으로부터 스토커 외부로 방출하는 것과 같은 구성이 적용되어도 된다. 또한 제 1 단열층(16)은, 상기한 덕트(60) 대신에, 제 2 단열층(17)에서 적용된 것과 같은 덕트(70)가 이용되어도 된다. 이 경우, 제 1 단열층(16)은, 천장부(CL)의 천장 팬(CF)으로부터 하방으로 흐르는 공기를 도입구(71)로부터 취입하여, 방출구(72)로부터 스토커(100)의 하방으로 방출하는 구성이 적용되어도 된다.
또한 상술한 설명에서는, 제 2 팬(63)이 팬(14)보다 상방에 배치되는 구성을 예로 들어 설명했지만, 이 구성에 한정되지 않는다. 예를 들면, 제 2 팬(63)은 팬(14)과 동일한 높이 위치에 배치되어도 된다. 또한, 제 2 팬(63)은 팬(14)보다 하방에 배치되어도 된다. 제 2 팬(63)이 제어반 저장부(15)의 하부에 배치되는 경우, 제 2 통기구(62)는 덕트(60)의 상부에 배치되고, 제 1 통기구(61)는 덕트(60)의 하부에 배치된다. 이러한 배치에 의해, 제 2 팬(63)을 구동했을 시, 제 1 통기구(61)로부터 도입된 공기가 덕트(60)를 상방을 향해 흐르고, 또한 제 2 통기구(62)로부터 제어반 저장부(15)로 도입된 공기가 제어반 저장부(15)를 하방을 향해 흘러 제 2 팬(63)으로부터 스토커(100)의 외부로 방출된다. 또한, 법령에서 허용되는 한에 있어서, 일본특허출원인 특원 2017-020225 및 상술한 실시 형태 등에서 인용한 모든 문헌의 내용을 원용하여 본문의 기재의 일부로 한다.
M : 물품
CR : 제어반
11 : 벽부
15a, 60a, 60b, 70a : 벽부
12 : 보관 영역
13, 60, 70 : 덕트
13c, 13d : 분출구
14 : 팬
15 : 제어반 저장부
16 : 제 1 단열층
17 : 제 2 단열층
20 : 선반부
61 : 제 1 통기구
62 : 제 2 통기구
63 : 제 2 팬
100, 100 A : 스토커

Claims (6)

  1. 스토커 내외를 구획하는 벽부와,
    상기 벽부의 내측에 배치되어, 물품이 보관되는 보관 영역과,
    상기 벽부에 배치되어, 외부의 공기를 흡인하여 내부에 도입하는 팬과,
    상기 벽부의 내측으로서 상기 보관 영역의 측방에 배치되어, 제어반을 저장하는 제어반 저장부와,
    상기 제어반 저장부의 상기 벽부측에 배치된 제 1 단열층과,
    상기 제어반 저장부의 상기 보관 영역측에 배치된 제 2 단열층을 구비하고,
    상기 벽부는 상방에서 본 경우에 직사각형 형상으로 형성되고,
    상기 팬은 제 1 방향을 따라 연장되는 상기 벽부에 배치되고,
    상기 제어반 저장부는 상기 보관 영역에 대하여 상기 제 1 방향의 일방의 단부측에 배치되고,
    상기 제 1 단열층은, 상기 제 1 방향과 직교하는 제 2 방향에 있어서, 상기 제어반 저장부와 상기 팬이 배치된 상기 벽부와의 사이에 배치되고,
    상기 제 2 단열층은 상기 제어반 저장부와 상기 보관 영역과의 사이에 배치되는, 스토커.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 1 단열층은 공기를 유통 가능한 통기층인, 스토커.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 통기층은 상하 방향으로 연장되는 덕트이며,
    상기 덕트는,
    상부 및 하부의 일방에 배치되어, 벽부의 외부와 상기 덕트의 내부를 연통하는 제 1 통기구와,
    상부 및 하부의 타방에 배치되어, 상기 덕트의 내부와 상기 제어반 저장부의 내부를 연통하는 제 2 통기구를 가지고,
    상기 스토커는, 상기 제어반 저장부의 상기 보관 영역과는 반대측의 측방에 배치되어, 상기 제어반 저장부의 내부의 공기를 흡인하여 스토커 외부로 분출하는 제 2 팬을 가지는, 스토커.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 제 2 팬은 상기 팬보다 상방에 배치되는, 스토커.
  5. 제 3 항 또는 제 4 항에 있어서,
    상기 제어반 저장부는 상하에 복수 계층 마련되고,
    상기 제 2 팬은 계층마다 배치되는, 스토커.
  6. 제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제 2 단열층은 공기를 유통 가능한 통기층인, 스토커.
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