KR102245686B1 - 보관 설비 - Google Patents

Abstract

보관 공간의 외부로 배출되는 기체에서의 불활성 기체의 농도를, 간소한 구성으로 억제할 수 있는 보관 설비를 실현한다. 보관 설비는, 외부와 구획 형성된 보관 공간의 내부에 복수의 수납부를 구비한 보관 장치와, 수납부에 수납되어 있는 용기의 내부에 불활성 기체를 공급하는 불활성 기체 공급부를 구비한다. 보관 장치는, 용기로부터 배출되는 기체를 포함하는 보관 공간의 내부의 기체를, 보관 공간의 외부로 배출하는 기체 배출부를 구비한다. 기체 배출부는, 기체의 유량을 제한하는 조리개부로서 기능하는 조리개 개구부를 구비하고, 조리개 개구부가, 수납부의 배치 영역보다 아래쪽에 형성되어 있다.

Description

보관 설비{STORAGE FACILITY}

본 발명은, 외부와 구획 형성된 보관 공간의 내부에 복수의 수납부를 구비한 보관 장치와, 수납부에 수납되어 있는 용기의 내부에 불활성 기체(氣體)를 공급하는 불활성 기체 공급부를 구비한 보관 설비에 관한 것이다.

일본 공개특허 1999―168135호 공보(특허 문헌 1)에는, 상기와 같은 보관 설비의 일례가 개시되어 있다. 특허 문헌 1의 단락 [0101]∼[0118]에는, 보관 장치의 수납부에 수납되어 있는 용기의 내부에 불활성 기체를 공급하여, 상기 용기 내부의 기체를 불활성 기체로 치환함으로써, 상기 용기의 내부에서의 산소나 수증기의 농도를 낮게 억제하는 기술이 기재되어 있다. 또한, 특허 문헌 1의 단락 [0103]에는, 용기 내부의 기체를 불활성 기체로 치환할 때, 용기의 커버부에 접속된 배관을, 용기 내의 기체를 배출하는 배기구로서 사용하는 것이 기재되어 있다.

일본 공개특허 1999―168135호 공보

그런데, 상기한 바와 같이 용기 내부의 기체를 불활성 기체로 치환할 때는, 불활성 기체 공급부가 공급한 불활성 기체를 포함하는 용기 내부의 기체가, 용기의 외부로 배출된다. 즉, 용기로부터 배출되는 기체에는, 공기에 비해 높은 농도의 불활성 기체가 포함되고, 용기로부터 배출되는 기체의 산소 농도는, 불활성 기체의 농도가 높아짐에 따라 낮아진다. 그러므로, 용기로부터 배출되는 기체를 그대로 보관 공간의 외부로 배출하는 것은 바람직하지 않다. 왜냐하면, 불활성 기체의 농도가 높은 기체가 보관 공간의 외부로 배출되는 경우에는, 보관 장치의 주변에서의 작업자의 이동 범위를 제한하거나, 용기의 내부로의 불활성 기체의 공급을 작업자의 작업 시에 정지시키거나 할 필요가 생기는 경우가 있기 때문이다. 그러나, 특허 문헌 1에서는, 이 점에 대하여 특별한 인식이 행해지지 않았다.

그래서, 보관 공간의 외부로 배출되는 기체에서의 불활성 기체의 농도를, 간소한 구성으로 억제할 수 있는 보관 설비의 실현이 요구된다.

본 발명에 관한 보관 설비는,

외부와 구획 형성된 보관 공간의 내부에 복수의 수납부를 구비한 보관 장치; 및 상기 수납부에 수납되어 있는 용기의 내부에 불활성 기체를 공급하는 불활성 기체 공급부;를 포함하는 보관 설비로서,

여기서, 상기 보관 장치는, 상기 용기로부터 배출되는 기체를 포함하는 상기 보관 공간의 내부의 기체를, 상기 보관 공간의 외부로 배출하는 기체 배출부를 구비하고,

상기 기체 배출부는, 기체의 유량을 제한하는 조리개부로서 기능하는 조리개 개구부를 구비하고,

상기 조리개 개구부가, 상기 수납부의 배치 영역보다 아래쪽에 형성되어 있다.

상기한 구성에 의하면, 기체 배출부가, 용기로부터 배출되는 기체를 포함하는 보관 공간의 내부의 기체를, 보관 공간의 외부로 배출하도록 구성되어 있으므로, 용기로부터 배출되는 기체를, 보관 공간의 내부의 기체와 혼합시키고 나서 보관 공간의 외부로 배출할 수 있다. 이 때, 기체 배출부는, 조리개부로서 기능하는 조리개 개구부를 구비하므로, 조리개 개구부가 구비되지 않는 경우와 비교하여, 보관 공간의 내부에서의 기체의 혼합을 촉진할 수 있다. 즉, 조리개 개구부를 설치한다는 간소한 구성으로, 용기로부터 배출되는 기체와 보관 공간의 내부의 기체를 보관 공간을 이용하여 적절히 혼합시킬 수 있고, 결과, 보관 공간의 외부로 배출되는 기체에서의 불활성 기체의 농도를 억제할 수 있다.

또한, 상기한 구성에 의하면, 조리개 개구부가 수납부의 배치 영역보다 아래쪽에 형성되므로, 기체 배출부에 의한 기체의 배출 개소(箇所)를, 바닥부에 가까운 위치에 형성할 수 있다. 따라서, 예를 들면, 보관 설비가 다운플로우식(downflow type)의 청정실 내에 설치되는 경우에, 기체 배출부가 보관 공간의 외부로 배출한 기체를, 다운플로를 이용하여 바닥부로부터의 부상을 억제하면서, 청정실에서의 공기의 순환 경로에 유동시킬 수 있다. 이 결과, 바닥부보다 위쪽에 형성되는 작업 공간에서의 불활성 기체의 농도를 억제하는 것이 용이해진다.

또한, 최하부에 배치되는 수납부의 높이는, 예를 들면, 보관 공간의 내부에서 용기를 반송(搬送)하는 내부 반송 장치의 구조상의 제약 등에 의해, 일반적으로, 바닥부보다 높은 위치에 설정된다. 상기한 구성에 의하면, 조리개 개구부가 수납부의 배치 영역보다 아래쪽에 형성되므로, 최하부의 수납부와 바닥부와의 사이에 공간이 형성되는 경우에, 상기 공간을 유효하게 이용하여 기체 배출부를 설치할 수 있다.

도 1은 본 발명의 실시형태에 관한 보관 설비의 단면도(斷面圖)이다.
도 2는 본 발명의 실시형태에 관한 보관 장치의 일부의 단면도이다.
도 3은 본 발명의 실시형태에 관한 보관 장치의 단면도이다.
도 4는 도 3에서의 IV―IV 단면도이다.
도 5는 도 3에서의 V―V 단면도이다.

이하, 본 발명의 바람직한 실시형태의 예에 대하여 설명한다.

본 발명에 관한 보관 설비 실시형태에 있어서는, 상기 보관 장치는, 상기 보관 공간의 내부에서의 상기 수납부의 배치 영역보다 아래쪽에, 상기 조리개 개구부를 통하여 상기 배치 영역과 연통되는 연통 공간을 구비하고, 상기 기체 배출부가, 상기 연통 공간과 상기 보관 공간의 외부를 연통시키는 외부 연통부를 구비하고 있는 구성으로 하는 것이 바람직하다.

상기한 구성에 의하면, 연통 공간에 있어서도 기체를 혼합시킬 수 있으므로, 보관 공간의 외부로 배출되는 기체에서의 불활성 기체의 농도를 더욱 억제할 수 있다.

본 발명에 관한 보관 설비 실시형태에 있어서는, 상기 연통 공간에, 상기 보관 장치의 작동을 제어하는 제어 장치가 배치되어 있는 구성으로 하는 것이 바람직하다.

상기한 구성에 의하면, 제어 장치가 배치되는 공간을 이용하여 연통 공간을 형성할 수 있으므로, 설비의 설치 스페이스의 대형화를 억제하면서 기체 배출부를 적절히 설치할 수 있다.

본 발명에 관한 보관 설비 실시형태에 있어서는, 상기 조리개 개구부와 상기 외부 연통부가, 상하 방향 및 상기 조리개 개구부의 개구 방향의 각각에 직교하는 방향에 있어서, 서로 다른 위치에 배치되어 있는 구성으로 하는 것이 바람직하다.

상기한 구성에 의하면, 조리개 개구부와 외부 연통부가, 상하 방향 및 조리개 개구부의 개구 방향의 각각에 직교하는 방향에 있어서 서로 같은 위치에 배치되는 경우와 비교하여, 연통 공간에서의 조리개 개구부로부터 외부 연통부까지의 기체의 유동 경로를 복잡화할 수 있다. 따라서, 연통 공간에서의 기체의 혼합을 촉진할 수 있다.

본 발명에 관한 보관 설비 실시형태에 있어서는, 상기 보관 장치가, 상기 기체 배출부에 의한 기체의 배출을 촉진하는 배출 촉진부를 구비하고 있는 구성으로 하는 것이 바람직하다.

상기한 구성에 의하면, 기체 배출부에 의한 기체의 배출이 촉진되므로, 보관 공간의 내부와 외부가 기체 배출부를 통하지 않고 연통되는 부분이 형성되어 있는 경우라도, 보관 공간의 내부의 기체가 상기 부분을 통하여 보관 공간의 외부로 유출되는 것을 억제할 수 있다. 따라서, 불활성 기체의 농도가 높은 기체가 보관 공간의 외부로 배출되는 것을 억제할 수 있다.

본 발명에 관한 보관 설비 실시형태에 있어서는, 상기한 바와 같이 상기 보관 장치가 상기 배출 촉진부를 구비하는 구성에 있어서, 상기 기체 배출부가, 상기 보관 공간의 외부를 향해 송풍하는 팬을 구비하고, 상기 배출 촉진부가, 상기 팬에 의해 구성되어 있는 구성으로 하는 것이 바람직하다.

상기한 구성에 의하면, 기체 배출부 측으로부터 보관 공간의 내부의 기체를 흡인할 수 있으므로, 보관 공간의 내부의 기체를 기체 배출부에 유도하도록 보관 공간측으로부터 적극적으로 기류를 형성하는 경우와 비교하여, 배출 촉진부에 의한 기체의 배출 촉진 효과를 용이하게 얻을 수 있다.

본 발명에 관한 보관 설비 실시형태에 있어서는, 상기 불활성 기체 공급부는, 복수의 상기 수납부에 포함되는 대상 수납부에 수납되어 있는 상기 용기의 내부에, 불활성 기체를 공급하도록 구성되며, 상기 대상 수납부는, 수평면을 따른 배열 방향을 따라 복수 배치되어 있고, 상기 조리개 개구부 중 적어도 일부가, 상기 배열 방향에 있어서, 상기 대상 수납부와는 상이한 위치에 배치되어 있는 구성으로 하는 것이 바람직하다.

상기한 구성에 의하면, 조리개 개구부가, 배열 방향에 있어서 대상 수납부와는 상이한 위치에 배치되는 부분을 갖지 않는 경우와 비교하여, 대상 수납부와 조리개 개구부와의 사이의 거리를 길게 할 수 있으므로, 그만큼, 보관 공간의 내부에서의 기체의 혼합을 촉진할 수 있다.

본 발명에 관한 보관 설비 실시형태에 있어서는, 상기 보관 장치가, 상기 기체 배출부를 통하지 않는 상기 보관 공간의 외부로의 기체의 배출을, 상기 수납부의 배치 영역보다 아래쪽에 있어서 규제하는 규제부를 구비하고 있는 구성으로 하는 것이 바람직하다.

수납부의 배치 영역보다 아래쪽에는 조리개 개구부가 형성되므로, 수납부의 배치 영역보다 아래쪽의 영역에서는, 조리개 개구부에 의해 기체의 유량이 제한됨으로써, 간극 등을 통한 보관 공간의 외부로의 기체의 유출이 생기기 쉽게 된다. 상기한 구성에 의하면, 이 점을 하기 위해서는, 수납부의 배치 영역보다 아래쪽의 영역에 있어서, 기체 배출부를 통하지 않는 보관 공간의 외부로의 기체의 유출을 규제부에 의해 규제할 수 있다. 따라서, 불활성 기체의 농도가 높은 기체가 보관 공간의 외부로 배출되는 것을 억제할 수 있다.

본 발명에 관한 보관 설비의 실시형태에 대하여, 도면을 참조하여 설명한다. 여기서는, 도 1에 나타낸 바와 같이, 본 발명에 관한 보관 설비를, 청정실 내에 설치되는 보관 설비(1)에 적용한 경우를 예로서 설명한다.

1. 보관 설비의 전체 구성

보관 설비(1)는, 도 1에 나타낸 바와 같이, 보관 장치(10)와 불활성 기체 공급부(50)를 구비하고 있다. 보관 장치(10)는, 용기(4)를 보관하는 장치이며, 용기(4)를 수납하는 수납부(11)를 복수 구비하고 있다. 그리고, 수납부(11)에 수납되어 있는 용기(4)의 내부에, 불활성 기체 공급부(50)에 의해 불활성 기체가 공급된다. 보관 장치(10) 및 불활성 기체 공급부(50)에 대한 자세한 것은 후술한다.

본 실시형태에서는, 용기(4)는, 내부 공간을 기밀(氣密) 상태로 밀폐 가능한 용기이다. 용기(4)의 내부에는, 예를 들면, 반도체 기판이나 레티클(reticle) 기판 등이 수용된다. 본 실시형태에서는, 용기(4)는, 본체부와, 상기 본체부에 대하여 착탈 가능한 커버부를 구비하고, 본체부에 대하여 커버부가 장착된 상태에 있어서, 용기(4)의 내부 공간이 기밀 상태로 밀폐되도록 구성되어 있다. 본 실시형태에서는, 용기(4)로서, SEMI(Semiconductor Equipment and Materials International) 규격에 따른 합성 수지제의 기밀 용기를 사용하고 있고, 구체적으로는, FOUP(Front Opening Unified Pod)를 사용하고 있다.

본 실시형태에서는, 도 1에 나타낸 바와 같이, 보관 설비(1)는, 또한 외부 반송 장치(2)를 구비하고 있다. 본 실시형태에서는, 외부 반송 장치(2)는, 천정부(87)에 설치된 레일을 따라 주행하는 호이스트식(hoist type)의 반송차(搬送車)이다. 외부 반송 장치(2)는, 용기(4)의 상면에 형성된 플랜지부를 파지한 상태로, 상기 용기(4)를 반송한다. 도 1에 나타낸 바와 같이, 보관 설비(1)는, 보관 장치(10)의 내부와 외부와의 사이에서 용기(4)를 이동시키는 이동 장치(84)를 구비하고 있다. 그리고, 보관 장치(10)의 내부란, 후술하는 보관 공간(90)의 내부를 의미하고, 보관 장치(10)의 외부란, 후술하는 보관 공간(90)의 외부를 의미한다. 본 실시형태에서는, 이동 장치(84)는 컨베이어에 의해 구성되어 있다.

이동 장치(84)는, 보관 장치(10)의 벽체(14)를 관통하도록 설치되어 있다. 즉, 벽체(14)에서의 이동 장치(84)의 설치 개소에는, 개구부(70)가 형성되어 있다. 이동 장치(84)는, 보관 장치(10)의 외부에 위치하는 외부 이송탑재(transfer) 개소와, 보관 장치(10)의 내부에 위치하는 내부 이송탑재 개소와의 사이에서 용기(4)를 이동시킨다. 그리고, 상기 외부 이송탑재 개소에 있어서 외부 반송 장치(2)와 이동 장치(84) 사이에서의 용기(4)의 이송탑재가 행해지고, 상기 내부 이송탑재 개소에 있어서 후술하는 내부 반송 장치(3)와 이동 장치(84) 사이에서의 용기(4)의 이송탑재가 행해진다. 즉, 외부 반송 장치(2)는, 보관 장치(10)에 입고하는 용기(4)를 상기 외부 이송탑재 개소에 있어서 이동 장치(84)에 건네는 동시에, 보관 장치(10)로부터 출고하는 용기(4)를 상기 외부 이송탑재 개소에 있어서 이동 장치(84)로부터 수취하도록 구성되어 있다. 외부 반송 장치(2)로부터 이동 장치(84)에 건네진 용기(4)는, 이동 장치(84)에 의해 보관 장치(10)의 내부로 반송된 후, 내부 반송 장치(3)에 의해 수납부(11)로 반송된다. 또한, 내부 반송 장치(3)가 수납부(11)로부터 이동 장치(84)에 반송한 용기(4)는, 이동 장치(84)에 의해 보관 장치(10)의 외부로 반송된 후, 외부 반송 장치(2)에 의해 수취된다.

본 실시형태에서는, 보관 설비(1)는, 청정 공기가 천정측으로부터 바닥측을 향해 하방향으로 통류하는 다운플로우식의 청정실 내에 설치되어 있다. 청정실의 바닥부(88)는, 하부 바닥(82)과 하부 바닥(82)보다 위쪽에 설치된 상부 바닥(81)에 의해 구성되어 있고, 상부 바닥(81)과 천정부(87)와의 사이에 작업 공간(92)이 형성되고, 상부 바닥(81)과 하부 바닥(82)과의 사이에 바닥 아래 공간(93)이 형성되어 있다. 상부 바닥(81)은, 그레이팅 바닥이며, 상하 방향(V)(두께 방향)으로 관통하는 통기공이 복수 형성되어 있다. 하부 바닥(82)은, 통기공을 갖지 않는 바닥이며, 본 실시형태에서는, 구멍이 없는 형상의 콘크리트에 의해 구성되어 있다.

천정부(87)로부터 바닥부(88)로 유동한 공기는, 상부 바닥(81)을 통하여 바닥 아래 공간(93)으로 유동한 후, 작업 공간(92)의 외부에 설치된 접속 유로(도시하지 않음)를 통하여 천정부(87)에 공급된다. 천정부(87)로 공급된 공기는, 천정부(87)에 설치된 토출구(吐出口)(도시하지 않음)로부터 아래쪽을 향해 분출된다. 이와 같이 하여, 청정실 내의 공기가 순환된다. 자세한 것은 생략하지만, 바닥 아래 공간(93)으로부터 접속 유로로 유동한 공기는, 천정부(87)의 토출구까지의 경로 상에 설치된 에어 필터 등에 의해 청정화된다.

청정실 내의 작업자는, 작업 공간(92)의 내부에 있어서, 예를 들면, 상부 바닥(81)에 선 상태로 작업(예를 들면, 유지보수 작업 등)을 행한다. 본 실시형태에서는, 작업자가 작업 공간(92)의 내부에 있어서 행하는 작업에는, 보관 장치(10)에 대한 용기(4)의 입출고 작업이 포함된다. 보관 장치(10)에는, 도 4에 나타낸 바와 같이, 작업자가 보관 장치(10)에 대한 용기(4)의 입출고 작업을 행할 때 이용되는 탑재 장치(86)가 구비되어 있다. 도시는 생략하지만, 벽체(14)에서의 탑재 장치(86)의 설치 개소에는, 작업자가 용기(4)를 통하기 위한 작업자용 개구부와, 이 작업자용 개구부를 개폐하는 개폐 부재(예를 들면, 셔터 등)가 설치되어 있다. 이 개폐 부재는, 기본적으로 폐쇄 상태로 전환할 수 있고, 폐쇄 상태에 있어서는, 작업자용 개구부를 기밀하게 닫도록 구성되어 있다. 작업자는, 용기(4)를 보관 장치(10)에 입고할 때, 즉 용기(4)를 탑재 장치(86)에 건넬 때는, 개폐 부재를 개방 조작한 후, 작업자용 개구부를 통하여 용기(4)를 보관 장치(10)의 외부로부터 내부로 이동시킨다. 또한, 작업자는, 용기(4)를 보관 장치(10)로부터 출고할 때, 즉 용기(4)를 탑재 장치(86)로부터 수취할 때는, 개폐 부재를 개방 조작한 후, 작업자용 개구부를 통하여 용기(4)를 보관 장치(10)의 내부로부터 외부로 이동시킨다.

탑재 장치(86)가, 작업자용 개구부를 관통하도록 설치되는 컨베이어를 구비하고, 작업자와 탑재 장치(86) 사이에서의 용기(4)의 이송탑재가, 상기 컨베이어에서의 보관 장치(10)의 외부에 위치하는 부분에서 행해지는 구성으로 할 수도 있다. 이 경우, 작업자용 개구부를 개폐하는 개폐 부재가 설치되지 않고, 작업자용 개구부가 상시 개방되는 구성으로 할 수도 있다.

본 실시형태에서는, 도 4에 나타낸 바와 같이, 보관 장치(10)는, 복수의 이동 장치(84)와 복수의 탑재 장치(86)를 구비하고 있다. 구체적으로는, 보관 장치(10)는, 2개의 이동 장치(84)와 2개의 탑재 장치(86)를 구비하고 있다. 이와 같이 복수의 이동 장치(84)가 설치되는 경우에는, 일부의 이동 장치(84)를 입고용의 이동 장치로 하고, 다른 일부의 이동 장치(84)를 출고용의 이동 장치로 해도 된다. 마찬가지로, 복수의 탑재 장치(86)가 설치되는 경우에는, 일부의 탑재 장치(86)를 입고용의 탑재 장치로 하고, 다른 일부의 탑재 장치(86)를 출고용의 탑재 장치로 해도 된다.

2. 보관 장치의 구성

보관 장치(10)는, 도 1에 나타낸 바와 같이, 복수의 수납부(11)가 규칙적으로 배열된 수납 선반(6)을 구비하고 있다. 본 실시형태에서는, 보관 장치(10)는, 또한 보관 장치(10)의 내부에서 용기(4)를 반송하는 내부 반송 장치(3)를 구비하고 있다. 수납 선반(6)에 구비되는 복수의 수납부(11)는, 도 2에 나타낸 바와 같이, 배열 방향(A)을 따라 배열되어 있다. 여기서, 배열 방향(a)은, 수평면을 따른 방향이다. 수평면을 따른 방향으로서 배열 방향(A)과 직교하는 방향을 배열 직교 방향(B)으로 하면, 본 실시형태에서는, 후술하는 개구 방향(O)이, 도 2 및 도 3에 나타낸 바와 같이, 배열 직교 방향(B)에 평행한 방향으로 설정되어 있다. 본 실시형태에서는, 도 1에 나타낸 바와 같이, 수납 선반(6)에 구비되는 복수의 수납부(11)는, 배열 방향(A)에 더하여 상하 방향(V)(연직 방향)으로도 따라서 배열되어 있다.

내부 반송 장치(3)의 주행 경로는, 도 2에 나타낸 바와 같이, 배열 방향(A)을 따라 연장되도록 형성되어 있다. 수납 선반(6)에 대하여, 수납부(11)에 대하여 용기(4)를 출입하는 측을 선반 전면측으로 하면, 수납 선반(6)은, 선반 전면측이 내부 반송 장치(3)의 주행 경로 측[바꾸어 말하면, 내부 반송 장치(3)의 이동 공간측)과 일치하도록, 바닥부(88)에 고정되어 있다. 본 실시형태에서는, 도 1에 나타낸 바와 같이, 수납 선반(6)의 바닥부(7)가 지주(支柱)(9)를 통하여 하부 바닥(82)에 의해 지지된 상태로, 수납 선반(6)이 하부 바닥(82)에 대하여 고정되어 있다. 즉, 본 실시형태에서는, 수납 선반(6)의 바닥부(7)는, 하부 바닥(82)으로부터 위쪽으로 이격된 위치에 배치되어 있고, 바닥부(7)와 하부 바닥(82)과의 사이에는 수평면을 따라 연장되는 간극이 형성되어 있다.

본 실시형태에서는, 내부 반송 장치(3)는, 스태커 크레인(stacker crane)이며, 바닥부(88)에 설치된 레일(83)을 따라 주행 이동하는 주행체(3a)와, 주행체(3a)에 세워 설치된 마스트(mast)(3b)와, 마스트(3b)에 안내되는 상태로 승강 이동하는 승강체(3c)를 구비하고 있다. 본 실시형태에서는, 레일(83)은 하부 바닥(82)에 설치되어 있다. 승강체(3c)에는, 승강체(3c)와 수납부(11)와의 사이에서 용기(4)를 이송탑재하기 위한 이송탑재 장치(3d)가 구비되어 있다. 본 실시형태에서는, 이송탑재 장치(3d)는, 승강체(3c)와 이동 장치(84)와의 사이나, 승강체(3c)와 탑재 장치(86)와의 사이에서도, 용기(4)를 이송탑재 가능하게 구성되어 있다. 상세한 설명은 생략하지만, 본 실시형태에 관한 이송탑재 장치(3d)는, 용기(4)를 탑재 지지하는 탑재 지지체를, 수납부(11) 측으로 돌출하는 돌출 위치와, 승강체(3c) 측으로 퇴피하는 퇴피 위치와의 사이에서 출퇴(出退) 이동 가능하게 구비하고 있다. 그리고, 스태커 크레인은, 돌출 위치에 위치하는 탑재 지지체를 상승 이동시킴으로써, 수납부(11)로부터 용기(4)를 들어올려 올려 탑재 지지체에 탑재하는 들어올림 처리를 행하는 동시에, 돌출 위치에 위치하는 탑재 지지체를 하강 이동시킴으로써, 탑재 지지체에 탑재된 용기(4)를 수납부(11)에 내려놓는 내림 처리를 행한다.

도 2에 나타낸 바와 같이, 수납부(11)는, 용기(4)를 탑재 지지하는 탑재 지지부(15)를 구비하고 있다. 탑재 지지부(15)는, 이송탑재 장치(3d)의 상기 탑재 지지체가 상하 방향(V)으로 통과하는 공간을 형성하도록, 상하 방향에서 볼 때의 형상이 U자형으로 되도록 형성되어 있다. 탑재 지지부(15)는, 복수(본 예에서는 3개)의 위치결정용의 돌출부(15p)를 구비하고, 돌출부(15p)는, 탑재 지지부(15)의 상면으로부터 위쪽으로 돌출되도록 형성되어 있다. 도시는 생략하지만, 용기(4)의 바닥면에는, 돌출부(15p)가 걸어맞추어지는 걸어맞춤부(예를 들면, 걸어맞춤홈)가 복수(본 예에서는 3개) 형성되어 있고, 돌출부(15p)와 용기(4)의 걸어맞춤부가 걸어맞추어지는 상태로, 용기(4)가 탑재 지지부(15)에 대하여 위치 결정된다.

본 실시형태에서는, 보관 장치(10)는 복수의 수납 선반(6)을 구비하고 있다. 구체적으로는, 도 1 및 도 2에 나타낸 바와 같이, 보관 장치(10)는, 내부 반송 장치(3)의 주행 경로를 협지(sandwich)하여 배열 직교 방향(B)으로 대향하도록 배치되는 제1 수납 선반(6a)과 제2 수납 선반(6b)을 구비하고 있다. 즉, 제1 수납 선반(6a)과 제2 수납 선반(6b)과의 사이에, 내부 반송 장치(3)의 이동 공간이 형성되어 있다. 본 실시형태에서는, 제1 수납 선반(6a)과 제2 수납 선반(6b)은, 배열 방향(A)의 폭이 서로 같게 설정되어 있는 동시에, 배열 직교 방향(B)의 폭이 서로 같게 설정되어 있다. 그리고, 배열 직교 방향(B)에 대향하는 제1 수납 선반(6a)과 제2 수납 선반(6b)은, 배열 방향(A)이 서로 같은 위치에 배치되어 있다. 본 실시형태에서는, 도 1에 나타낸 바와 같이, 제1 수납 선반(6a)은, 청정실의 내벽을 따르도록 배치되고, 제2 수납 선반(6b)은, 제1 수납 선반(6a)에 대하여 상기 내벽과는 반대측에 배치되어 있다. 그리고, 전술한 외부 반송 장치(2)용의 이동 장치(84)나 작업자용의 탑재 장치(86)는, 도4에 나타낸 바와 같이, 제2 수납 선반(6b)에 있어서 수납부(11) 대신에 설치되어 있다.

본 실시형태에서는, 도 3∼도 5에 나타낸 바와 같이, 2개의 제1 수납 선반(6a)이 배열 방향(A)으로 배열되어 설치되어 있는 동시에, 2개의 제2 수납 선반(6b)이 배열 방향(A)으로 배열되어 설치되어 있다. 본 실시형태에서는, 2개의 제1 수납 선반(6a)은, 배열 방향(A)으로 서로 이격되어 배치되어 있는 동시에, 2개의 제2 수납 선반(6b)은, 배열 방향(A)으로 서로 이격되어 배치되어 있다. 배열 직교 방향(B)에 대향하도록 배치되는 제1 수납 선반(6a)과 제2 수납 선반(6b)을 구비하는 구성 단위를 보관부로 하면, 본 실시형태에서는, 보관 장치(10)는, 도 2∼도 5에 나타낸 바와 같이, 배열 방향(A)으로 배열되어 설치된 제1 보관부(10a)와 제2 보관부(10b)를 구비하고 있다. 제1 보관부(10a) 및 제2 보관부(10b)는 기본적으로 마찬가지로 구성되어 있지만, 도 4에 나타낸 바와 같이, 본 실시형태에서는, 제2 수납 선반(6b)에서의 이동 장치(84)의 설치 위치[배열 방향(A)의 설치 위치]가 상이한 점과, 제1 보관부(10a)의 제2 수납 선반(6b)에만 탑재 장치(86)가 설치되어 있는 점에서, 제1 보관부(10a)와 제2 보관부(10b)와는 상이한 구성을 가진다.

보관 장치(10)의 복수의 수납부(11)는, 외부와 구획 형성된 보관 공간(90)의 내부에 배치되어 있다. 본 실시형태에서는, 보관 공간(90)의 상하 방향(V)에 직교하는 단면(斷面) 형상은, 상하 방향(V)을 따라 일정하게 형성되어 있다. 그리고, 본 실시형태에서는, 도 3에 나타낸 바와 같이, 상기 단면 형상은, 배열 방향(A)으로 평행한 2변과 배열 직교 방향(B)에 평행한 2변을 가지는 직사각형으로 형성되어 있다. 즉, 본 실시형태에서는, 보관 공간(90)은, 직육면체형의 공간으로서 형성되어 있다. 본 실시형태에서는, 복수의 수납부(11)가 수납 선반(6)에 구비되는 동시에, 보관 장치(10)가 복수의 수납 선반(6)[구체적으로는, 2개의 제1 수납 선반(6a) 및 2개의 제2 수납 선반(6b)]을 구비하고 있고, 상기 복수의 수납 선반(6)은, 도 3에 나타낸 바와 같이, 동일한 보관 공간(90)의 내부에 배치되어 있다.

보관 장치(10)는, 보관 공간(90)을 구획 형성하기 위한 벽체(14)를 구비하고 있다. 본 실시형태에서는, 벽체(14)는, 도 3에 나타낸 바와 같이, 상하 방향(V)에서 볼 때 복수의 수납 선반(6)의 주위를 에워싸는 주벽부(周璧部)(14a)를 구비하고 있다. 주벽부(14a)는, 상하 방향(V)을 따라 연장되는 통형(筒形)으로 형성되고, 주벽부(14a)의 상하 방향(V)에 직교하는 단면의 형상은, 배열 방향(A)으로 평행한 2변과 배열 직교 방향(B)에 평행한 2변을 가지는 직사각형으로 형성되어 있다. 도 3에 나타낸 바와 같이, 주벽부(14a)의 배열 방향(A)의 폭은, 배열 방향(A)으로 배열된 2개의 수납 선반(6)이 차지하는 배열 방향(A)의 영역보다 크게 설정되어 있다. 그리고, 수납 선반(6)의 각각은, 주벽부(14a)와의 사이에 배열 방향(A)의 간극이 형성되도록, 주벽부(14a)로부터 배열 방향(A)으로 이격된 위치에 배치되어 있다. 또한, 주벽부(14a)의 배열 직교 방향(B)의 폭은, 내부 반송 장치(3)의 이동 공간을 협지하여 대향하는 제1 수납 선반(6a) 및 제2 수납 선반(6b)이 차지하는 배열 직교 방향(B)의 범위에 맞추어 설정되어 있다. 따라서, 수납 선반(6)의 각각은, 선반 후면측(선반 전면측과는 반대측)이 주벽부(14a)의 내면을 따르도록 배치되어 있다. 그리고, 주벽부(14a)의 배열 직교 방향(B)의 폭이, 내부 반송 장치(3)의 이동 공간을 협지하여 대향하는 제1 수납 선반(6a) 및 제2 수납 선반(6b)이 차지하는 배열 직교 방향(B)의 영역보다 크게 설정되고, 수납 선반(6)이, 주벽부(14a)와의 사이에 배열 직교 방향(B)의 간극이 형성되도록, 주벽부(14a)로부터 배열 직교 방향(B)에 이격된 위치에 배치되는 구성으로 할 수도 있다.

주벽부(14a)에는, 도 1에 나타낸 바와 같이, 이동 장치(84)를 설치하기 위한 개구부(70)가 형성되어 있는 동시에, 탑재 장치(86)(도 4 참조)의 설치 개소에 전술한 작업자용 개구부가 형성되어 있다. 또한, 주벽부(14a)에는, 자세한 것은 후술하지만, 외부 연통부(42)(도 1, 도 3 참조)가 형성되어 있다. 주벽부(14a)는, 이들의 개구부(70), 작업자용 개구부, 및 외부 연통부(42)의 형성 개소를 제외하고, 기체가 수평 방향으로 유동 불가능하게 보관 공간(90)의 내부와 외부를 구획하도록 구성되어 있다. 그리고, 본 실시형태에서는, 전술한 바와 같이, 작업자용 개구부는, 기본적으로, 기밀하게 폐쇄된다. 한편, 본 실시형태에서는, 개구부(70)는, 상시 개방되어 있다. 개구부(70)를 개폐하는 개폐 부재가 설치되고, 이동 장치(84)의 사용 시에만 개구부(70)가 개방되는 구성으로 하는 것도 가능하다.

본 실시형태에서는, 도 1에 나타낸 바와 같이, 보관 장치(10)는, 보관 공간(90)의 상부로부터 아래쪽을 향해 송풍하는 송풍 장치(85)를 구비하고 있다. 송풍 장치(85)는, 보관 공간(90)의 외부의 공기를 흡인하여 보관 공간(90)의 내부에 공급한다. 송풍 장치(85)는, 주벽부(14a)의 상단부에 형성되는 직사각형의 개구부를 막도록 설치되어 있다. 송풍 장치(85)의 통풍 작용에 의해, 보관 공간(90)의 내부에는 하방향의 기체의 흐름이 형성된다. 본 실시형태에서는, 송풍 장치(85)는 팬 필터 유닛에 의해 구성되어 있고, 본 예에서는, 복수의 팬 필터 유닛이, 주벽부(14a)의 위쪽의 개구부를 막도록 정렬되어 있다. 그리고, 팬 필터 유닛은, 송풍팬과 제진 필터를 일체로 조립한 송풍 유닛이다. 송풍 장치(85)에 의해 보관 공간(90)의 내부에 공급되는 공기는, 청정실 내의 공기를 팬 필터 유닛(제진 필터)에 의해 청정화한 공기이다.

도 1에 나타낸 바와 같이, 수납 선반(6)의 바닥부(7)는, 주벽부(14a)의 하단부와 상하 방향(V)의 같은 위치에 배치되어 있다. 그리고, 바닥부(7)는, 도 4 및 도 5에 나타낸 바와 같이, 통기 불가능한 무공판(無孔板)(45)에 의해 구성되어 있다. 구체적으로는, 바닥부(7)는, 판면이 수평면을 따르는 방향의 2개의 무공판(45)을 배열 방향(A)으로 배열하여 구성되어 있다. 따라서, 주벽부(14a)의 하단부에 형성되는 개구부에 있어서는, 바닥부(7)를 통한 상하 방향(V)의 기체의 유동이 규제된다.

또한, 도 2∼도 5에 나타낸 바와 같이, 주벽부(14a)의 아래쪽의 개구부에서의 수납 선반(6)과 주벽부(14a)와의 사이의 배열 방향(A)의 간극 영역에는, 상기 간극 영역에서의 상하 방향(V)의 기체의 유동을 규제하는 판형 부재(63)가 설치되어 있다. 판형 부재(63)는, 판면이 수평면을 따르는 방향으로 배치된 통기 불가능한 무공판이며, 바닥부(7)과 상하 방향(V)의 같은 위치에 배치되어 있다. 그리고, 판형 부재(63)의 상하 방향에서 볼 때의 형상은, 상기 간극 영역에 맞춘 직사각형으로 형성되어 있다. 즉, 판형 부재(63)는, 상기 간극 영역과 배열 방향(A)의 폭이 같게 설정되어 있는 동시에, 바닥부(7)와 배열 직교 방향(B)의 폭이 같게 설정되어 있다.

또한, 도 3∼도 5에 나타낸 바와 같이, 배열 방향(A)에 인접하는 수납 선반(6)끼리의 사이의 선반 간 영역에는, 상하 방향(V)으로 연장되는 통형 부재(61)가 설치되어 있다. 통형 부재(61)는, 통기 불가능한 통형의 벽부를 구비하고, 통형 부재(61)의 상하 방향(V)에 직교하는 단면의 형상은, 도 3에 나타낸 바와 같이, 상기 선반 간 영역에 맞춘 직사각형으로 형성되어 있다. 즉, 통형 부재(61)는, 상기 선반 간 영역과 배열 방향(A)의 폭이 같게 설정되어 있는 동시에, 바닥부(7)와 배열 직교 방향(B)의 폭이 같게 설정되어 있다. 또한, 통형 부재(61)의 상단부는, 주벽부(14a)의 상단부와 상하 방향(V)의 같은 위치에 배치된다. 통형 부재(61)의 하단부는, 주벽부(14a)의 하단부와 상하 방향(V)의 같은 위치, 또는 주벽부(14a)의 하단부보다 아래쪽에 배치된다. 본 실시형태에서는, 도 4 및 도 5에 나타낸 바와 같이, 통형 부재(61)의 하단부는, 주벽부(14a)의 하단부보다 아래쪽에 배치되고, 구체적으로는, 하부 바닥(82) 상에 배치되어 있다.

이상과 같이 구성되어 있으므로, 주벽부(14a)의 아래쪽의 개구부에 있어서는, 배열 직교 방향(B)에서의 중앙부에 형성된 직사각형 영역, 구체적으로는, 배열 직교 방향(B)에서의 제1 수납 선반(6a)의 바닥부(7)와 제2 수납 선반(6b)의 바닥부(7)와의 사이에 형성된 직사각형 영역에 있어서만, 상하 방향(V)의 기체의 유동이 허용된다. 즉, 본 실시형태에서는, 주벽부(14a)의 아래쪽의 개구부는 폐색되어 있지 않고, 상기 직사각형 영역에 의해, 기체가 상하 방향(V)으로 유동 가능한 유동 개구부(71)가 형성되어 있다(도 1, 도 3 참조). 그리고, 유동 개구부(71)를 통하여 아래쪽으로 유동한 기체가 보관 장치(10)의 외부로 유출되는 것을 규제하기 위해, 보관 장치(10)에는 규제부(16)가 설치되어 있다.

규제부(16)는, 도 1, 도 4, 도 5에 나타낸 바와 같이, 유동 개구부(71)와 바닥면과의 사이의 간극[본 예에서는 바닥부(7)와 하부 바닥(82)과의 사이의 간극]과 같은 높이를 가진다. 또한, 규제부(16)는, 상하 방향에서 볼 때, 유동 개구부(71)의 둘레부를 따라 설치되어 있다. 구체적으로는, 본 실시형태에서는, 유동 개구부(71)는 직사각형의 개구부이며, 규제부(16)는, 배열 방향(A)으로 평행하게 연장되는 2개의 제1 연장부(16a)와 배열 직교 방향(B)으로 연장되는 2개의 제2 연장부(16b)를 가진다. 배열 방향(A)의 양측의 각각에 있어서, 2개의 제1 연장부(16a)의 단부(端部)끼리가 1개의 제2 연장부(16b)에 의해 접속되어 있다.

구체적으로는, 도 4 및 도 5에 나타낸 바와 같이, 제1 연장부(16a)의 배열 방향(A)의 길이는, 주벽부(14a)의 배열 방향(A)의 폭과 같게 설정되어 있다. 그리고, 도 1에 나타낸 바와 같이, 한쪽의 제1 연장부(16a)는, 제1 수납 선반(6a)의 바닥부(7)의 선반 전면측의 단부와 배열 직교 방향(B)의 같은 위치에 배치되고, 다른 쪽의 제1 연장부(16a)는, 제2 수납 선반(6b)의 바닥부(7)의 선반 전면측의 단부와 배열 직교 방향(B)의 같은 위치에 배치되어 있다. 도 4 및 도 5에 나타낸 바와 같이, 한쪽의 제2 연장부(16b)는, 주벽부(14a)의 배열 방향(A)에서의 한쪽의 단부와 배열 방향(A)의 같은 위치에 배치되고, 다른 쪽의 제2 연장부(16b)는, 주벽부(14a)의 배열 방향(A)에서의 다른 쪽의 단부와 배열 방향(A)의 같은 위치에 배치되어 있다.

3. 불활성 기체 공급부의 구성

불활성 기체 공급부(50)는, 수납부(11)에 수납되어 있는 용기(4)의 내부에 불활성 기체를 공급한다. 여기서, 불활성 기체란, 용기(4)에 수용되어 있는 수용물에 대한 반응성이 낮은(문제로 되는 화학 반응을 실질적으로 생기게 하지 않는) 기체이며, 본 실시형태에서는, 불활성 기체로서 질소 가스를 사용하고 있다. 그리고, 불활성 기체로서, 아르곤 가스나 크??톤 가스 등의 희가스를 사용해도 된다.

본 실시형태에서는, 불활성 기체 공급부(50)는, 복수의 수납부(11)에 포함되는 대상 수납부(12)에 수납되어 있는 용기(4)의 내부에, 불활성 기체를 공급하도록 구성되어 있다. 즉, 본 실시형태에서는, 보관 장치(10)가 구비하는 복수의 수납부(11)는, 대상 수납부(12)와, 대상 수납부(12) 이외의 비대상 수납부(13)로 분류된다. 본 실시형태에서는, 도 1에 나타낸 바와 같이, 제1 수납 선반(6a)이 구비하는 복수의 수납부(11)를 대상 수납부(12)로 하고, 제2 수납 선반(6b)이 구비하는 복수의 수납부(11)를 비대상 수납부(13)로 하고 있다.

도 2에 나타낸 바와 같이, 대상 수납부(12)가 구비하는 탑재 지지부(15)는, 용기(4)의 내부에 불활성 기체를 공급하기 위한 급기부(給氣部)(53)와, 용기(4)의 내부로부터 기체를 배출하기 위한 배기부(54)를 구비하고 있다. 본 실시형태에서는, 탑재 지지부(15)는, 3개의 급기부(53)와 1개의 배기부(54)를 구비하고 있다. 급기부(53)는 토출(吐出) 노즐을 구비하여 구성되어 있다. 또한, 배기부(54)는, 단부가 보관 공간(90)의 내부로 개방된 배기관을 구비하고, 용기(4)의 내부의 기체를 보관 공간(90)의 내부로 배출하도록 구성되어 있다. 도시는 생략하지만, 용기(4)의 바닥부에는, 급기구 및 배기구가 형성되어 있고, 용기(4)가 탑재 지지부(15)에 탑재 지지된 상태로, 급기부(53)가 용기(4)의 급기구와 연통하는 동시에, 배기부(54)가 용기(4)의 배기구와 연통된다. 이 상태에서, 불활성 기체 공급부(50)는, 배기부(54)를 통하여 용기(4)의 내부의 기체를 용기(4)의 외부로 배출시키면서, 급기부(53)를 통하여 불활성 기체를 용기(4)의 내부에 공급한다. 이로써, 용기(4)의 내부의 기체가 불활성 기체로 치환된다. 그리고, 용기(4)의 급기구 및 배기구의 각각에는, 밸브 폐쇄측으로 가압되어 있는 동시에 불활성 기체 공급부(50)에 의한 불활성 기체의 공급 시에 기체의 압력에 의해 밸브를 개방하는 개폐 밸브가 설치되어 있다.

불활성 기체 공급부(50)는, 불활성 기체의 공급원(예를 들면, 가스 봄베 등)에 접속된 제1 배관(51a)과, 제1 배관(51a)과 급기부(53)를 접속하는 제2 배관(51b)을 구비하고 있다. 도 1, 도 2, 도 5에 나타낸 바와 같이, 제1 배관(51a)은, 상하 방향(V)으로 연장되도록 설치되어 있고, 제2 배관(51b)은, 제1 배관(51a)으로부터 분기되어 수평 방향으로 연장되도록 설치되어 있다. 제2 배관(51b)은, 대상 수납부(12)의 상하 방향(V)에서의 배열수와 같은 수 형성되어 있고, 복수의 제2 배관(51b)은, 상하 방향(V)에서의 복수의 대상 수납부(12)의 각각에 대응하는 위치로 나뉘어 배치되어 있다.

도 2 및 도 5에 나타낸 바와 같이, 제1 배관(51a)은, 제1 수납 선반(6a)에 형성된 배관 스페이스(17)의 내부를 상하 방향(V)으로 연장되도록 설치되어 있다. 본 실시형태에서는, 제1 수납 선반(6a)에서의 배열 방향(A)의 일부의 영역(본 예에서는 단부 영역)을, 상하 방향(V)의 모든 위치에 있어서 대상 수납부(12)로서 이용하지 않는 것에 의해, 배관 스페이스(17)를 형성하고 있다. 즉, 본 실시형태에서는, 배관 스페이스(17)는, 제1 수납 선반(6a)에서의 배열 방향(A)의 단부의 영역[대상 수납부(12)와 배열 방향(A)의 폭이 같은 영역]에, 상하 방향(V)으로 연속하는 공간으로서 형성되어 있다. 따라서, 도 2에 나타낸 바와 같이, 제1 수납 선반(6a)에서의 수납부(11)의 배열 방향(A)의 배열수(본 예에서는 3개)는, 제2 수납 선반(6b)보다 1개 적게 되어 있다. 즉, 제1 수납 선반(6a)에 있어서, 대상 수납부(12)는 배열 방향(A)을 따라 복수 배치되어 있고, 본 실시형태에서는, 3개의 대상 수납부(12)가 배열 방향(A)을 따라 배치되어 있다.

도 2 및 도 5에 나타낸 바와 같이, 제2 배관(51b)은, 공급 대상의 대상 수납부(12)[본 예에서는 3개의 대상 수납부(12)]의 급기부(53)에 대하여, 유량 조절 장치(52)를 통하여 접속되어 있다. 유량 조절 장치(52)는, 급기부(53) 측으로의 불활성 기체의 공급 유량을 조절하는 장치이며, 복수의 대상 수납부(12)의 각각에 대하여 개별적으로 설치되어 있다. 유량 조절 장치(52)는, 유량 제어 장치로부터 지령되는 목표 유량으로 공급 유량을 조정한다. 유량 제어 장치는, 목표 유량과 공급 시간을 규정한 공급 패턴에 따라, 유량 조절 장치(52)에 대하여 목표 유량을 지령한다.

대상 수납부(12)에 수납되어 있는 용기(4)의 내부에 불활성 기체를 공급할 때는, 공급 패턴으로서 보관용 공급 패턴이 사용된다. 보관용 공급 패턴은, 예를 들면, 용기(4)의 대상 수납부(12)에 대한 수납이 완료된 시점으로부터 설정 시간 동안, 목표 유량을 제1 유량으로 설정하고, 설정 시간의 경과 후, 목표 유량을 제1 유량보다 적은 제2 유량으로 설정하는 패턴으로 된다. 그리고, 설정 시간의 경과 후에는, 불활성 기체가 간헐적으로 공급되는 패턴으로 할 수도 있다. 이와 같이 보관용 공급 패턴에 따라 용기(4)의 내부에 불활성 기체가 공급될 때는, 불활성 기체 공급부(50)가 공급한 불활성 기체를 포함하는 용기(4)의 내부의 기체가, 탑재 지지부(15)의 배기부(54)를 통하여 보관 공간(90)의 내부로 배출된다. 또한, 본 실시형태에서는, 용기(4)는 내부 공간을 기밀 상태로 밀폐 가능한 용기이지만, 불활성 기체의 공급 시에는, 용기(4)의 내부 압력이 높아지는 것에 의해, 불활성 기체 공급부(50)가 공급한 불활성 기체를 포함하는 용기(4)의 내부의 기체가, 본체부와 커버부와의 사이의 간극을 통하여 보관 공간(90)의 내부로 배출된다.

본 실시형태에서는, 공급 패턴으로서, 상기한 보관용 공급 패턴 이외에, 노즐 정화용 공급 패턴과 라인 정화용 공급 패턴이 준비되어 있다. 노즐 정화용 공급 패턴은, 용기(4)가 소정 시간 내에 수납되는 대상 수납부(12)에 대하여, 급기부(53)의 토출 노즐을 청정화할 때 사용된다. 라인 정화용 공급 패턴은, 보관 장치(10)의 설치 시 등에 있어서, 급기부(53)의 토출 노즐에 더하여 유량 조절 장치(52)와 급기부(53)와의 사이의 배관도 청정화할 때 사용된다. 이들 노즐 정화용 공급 패턴이나 라인 정화용 공급 패턴이 사용될 때는, 용기(4)가 탑재 지지부(15)에 지지되어 있지 않으므로, 불활성 기체 공급부(50)가 탑재 지지부(15)의 급기부(53)에 공급한 불활성 기체가, 그대로 보관 공간(90)의 내부로 배출된다.

4. 기체 배출부의 구성

상기한 바와 같이, 불활성 기체 공급부(50)가 대상 수납부(12)에 수납되어 있는 용기(4)의 내부에 불활성 기체를 공급할 때는, 불활성 기체 공급부(50)가 공급한 불활성 기체를 포함하는 용기(4)의 내부의 기체가 보관 공간(90)의 내부로 배출된다. 그리고, 이와 같이 용기(4)로부터 배출되는 기체를 포함하는 보관 공간(90)의 내부의 기체는, 보관 장치(10)가 구비하는 기체 배출부(40)에 의해, 보관 공간(90)의 외부로 배출된다.

기체 배출부(40)는, 도 1 및 도 4에 나타낸 바와 같이, 수납부(11)의 배치 영역보다 아래쪽에 형성된 조리개 개구부(41)를 구비하고 있다. 조리개 개구부(41)는, 기체의 유량을 제한하는 조리개부로서 기능한다. 본 실시형태에서는, 도 1에 나타낸 바와 같이, 상하 방향(V)으로 복수 배열된 수납부(11) 중의 가장 아래쪽에 배치된 수납부(11)와 바닥부(7)와의 사이에, 구역부(8)가 형성되어 있고, 조리개 개구부(41)는, 상하 방향(V)에서의 구역부(8)와 바닥부(7)와의 사이에 형성되어 있다. 보관 공간(90)에서의 구역부(8)보다 위쪽에, 수납부(11)의 배치 영역이 형성되고, 보관 공간(90)에서의 구역부(8)보다 아래쪽에, 수납부(11)가 배치되지 않는 하부 공간이 형성되어 있다.

도 1, 도 4, 도 5에 나타낸 바와 같이, 본 실시형태에서는, 구역부(8)는, 바닥부(7)와 배열 방향(A)의 폭이 같게 설정되어 있는 동시에, 바닥부(7)와 배열 직교 방향(B)의 폭이 같게 설정되어 있다. 그리고, 도 3∼도 5에 나타낸 바와 같이, 같은 수납 선반(6)에 구비된 바닥부(7)와 구역부(8)와의 사이에 형성되는 공간의 배열 방향(A)에서의 한쪽은, 통형 부재(61)에 의해 배열 방향(A)의 기체의 유동이 불가능하게 구획되고, 상기 공간의 배열 방향(A)에서의 다른 쪽은, 무공판(45)에 의해 배열 방향(A)의 기체의 유동이 불가능하게 구획되어 있다. 이 무공판(45)은, 바닥부(7)와 구역부(8)와의 각각의 배열 방향(A)의 같은 쪽의 단부끼리를 접속하도록 설치되어 있다. 또한, 이 무공판(45)은, 판면이 배열 방향(A)에 직교하는 면을 따르는 방향으로 배치되고, 바닥부(7) 및 구역부(8)의 각각과 배열 직교 방향(B)의 폭이 같게 설정되어 있다.

도 3 및 도 5에 나타낸 바와 같이, 본 실시형태에서는, 제1 수납 선반(6a)의 구역부(8)는, 다공판(44)에 의해 구성되어 있다. 여기서, 다공판(44)이란, 두께 방향으로 관통하는 통기공이 복수 형성되어 있는 판형체이며, 예를 들면, 메쉬판(망판)이나 펀칭판 등이 사용된다. 구체적으로는, 제1 수납 선반(6a)의 구역부(8)는, 판면이 수평면을 따르는 방향의 2개의 다공판(44)을 배열 방향(A)으로 배열하여 구성되어 있다. 이로써, 제1 수납 선반(6a)에서의 바닥부(7)와 구역부(8)와의 사이에 형성되는 공간의 위쪽은, 상하 방향(V)의 기체의 유동이 가능하게 구획되어 있다. 또한, 제1 수납 선반(6a)에서의 바닥부(7)와 구역부(8)와의 사이에 형성되는 공간의 아래쪽은, 바닥부(7)에 의해, 상하 방향(V)의 기체의 유동이 불가능하게 구획되어 있다.

도 5에 나타낸 바와 같이, 제1 수납 선반(6a)의 구역부(8)와 바닥부(7)와의 각각의 선반 전면측의 단부끼리를 접속하도록, 판면이 배열 직교 방향(B)과 직교하는 면을 따르는 방향의 2개의 다공판(44)이, 배열 방향(A)으로 배열되어 설치되어 있다. 이로써, 제1 수납 선반(6a)에서의 바닥부(7)와 구역부(8)와의 사이에 형성되는 공간의 선반 전면측은, 배열 직교 방향(B)의 기체의 유동이 가능하게 구획되어 있다. 또한, 제1 수납 선반(6a)에서의 바닥부(7)와 구역부(8)와의 사이에 형성되는 공간의 선반 후면측은, 주벽부(14a)에 의해, 배열 직교 방향(B)의 기체의 유동이 불가능하게 구획되어 있다.

한편, 도 3 및 도 4에 나타낸 바와 같이, 본 실시형태에서는, 제2 수납 선반(6b)의 구역부(8)는, 무공판(45)에 의해 구성되어 있다. 구체적으로는, 제2 수납 선반(6b)의 구역부(8)는, 판면이 수평면을 따르는 방향의 2개의 무공판(45)을 배열 방향(A)으로 배열하여 구성되어 있다. 이로써, 제2 수납 선반(6b)에서의 바닥부(7)와 구역부(8)와의 사이에 형성되는 공간의 위쪽은, 상하 방향(V)의 기체의 유동이 불가능하게 구획되어 있다. 또한, 제2 수납 선반(6b)에서의 바닥부(7)와 구역부(8)와의 사이에 형성되는 공간의 아래쪽은, 바닥부(7)에 의해, 상하 방향(V)의 기체의 유동이 불가능하게 구획되어 있다.

제2 수납 선반(6b)의 구역부(8)와 바닥부(7)와의 각각의 선반 전면측의 단부끼리를 접속하도록, 판면이 배열 직교 방향(B)와 직교하는 면을 따르는 방향의 무공판(45)이 설치되어 있다. 이 무공판(45)은, 구역부(8)와 바닥부(7)와의 각각의 선반 전면측의 단부끼리를, 배열 방향(A)에서의 일부의 영역에서만 접속하도록 설치되어 있고, 무공판(45)이 설치되어 있지 않은 부분에, 조리개 개구부(41)로서 기능하는 개구부가 형성되어 있다. 본 실시형태에서는, 조리개 개구부(41)에는, 판면이 배열 직교 방향(B)과 직교하는 면을 따르는 방향의 다공판(44)이 설치되어 있다. 따라서, 제2 수납 선반(6b)에서의 바닥부(7)와 구역부(8)와의 사이에 형성되는 공간의 선반 전면측은, 무공판(45)의 배치 영역에서는 배열 직교 방향(B)의 기체의 유동이 불가능하게 구획되고, 조리개 개구부(41)의 배치 영역에서는 배열 직교 방향(B)의 기체의 유동이 가능하게 구획되어 있다. 또한, 제2 수납 선반(6b)에서의 바닥부(7)와 구역부(8)와의 사이에 형성되는 공간의 선반 후면측은, 후술하는 외부 연통부(42)의 형성 개소를 제외하고, 주벽부(14a)에 의해, 배열 직교 방향(B)의 기체의 유동이 불가능하게 구획되어 있다.

본 실시형태에서는, 조리개 개구부(41)의 개구 방향(O)은, 배열 직교 방향(B)에 평행한 방향으로 설정되어 있다. 본 실시형태에서는, 조리개 개구부(41)의 상하 방향(V)의 폭은, 바닥부(7)와 구역부(8)와의 상하 방향(V)의 간격과 같게 설정되어 있다. 또한, 본 실시형태에서는, 조리개 개구부(41)의 배열 방향(A)의 폭은, 구역부(8)와 바닥부(7)와의 각각의 선반 전면측의 단부끼리를 접속하는 무공판(45)의 배열 방향(A)의 폭의 분만큼, 제2 수납 선반(6b)의 배열 방향(A)의 폭보다 좁게 설정되고, 이로써, 조리개 개구부(41)가, 기체의 유량을 제한하는 조리개부로서 기능한다. 본 실시형태에서는, 이 무공판(45)은, 배열 방향(A)의 한쪽(도 3에서의 아래쪽, 도 4에서의 우측)의 단부를 포함하는 배열 방향(A)의 영역에 배치되어 있고, 조리개 개구부(41)는, 배열 방향(A)의 다른 쪽(도 3에서의 위쪽, 도 4에서의 좌측)의 단부를 포함하는 배열 방향(A)의 영역에 형성되어 있다. 또한, 본 실시형태에서는, 이 무공판(45)의 배열 방향(A)의 폭은, 제2 수납 선반(6b)의 배열 방향(A)의 폭의 절반으로 설정되어 있고, 조리개 개구부(41)의 배열 방향(A)의 폭은, 제2 수납 선반(6b)의 배열 방향(A)의 폭의 반으로 되어 있다.

본 실시형태에서는, 조리개 개구부(41) 중 적어도 일부가, 배열 방향(A)에 있어서, 대상 수납부(12)와는 상이한 위치에 배치된다. 그리고, 본원 명세서에 있어서, 2개의 부위에 대하여 「어느 방향의 위치가 상이한」이란, 2개의 부위의 각각의 상기 방향의 배치 영역이, 서로 중복되는 부분을 갖지 않는 것을 의미한다. 본 실시형태에서는, 도 2에 나타낸 바와 같이, 조리개 개구부(41)의 배열 방향(A)에서의 한쪽(도 2에서의 위쪽)의 부분이, 대상 수납부(12)와는 배열 방향(A)이 상이한 위치에 배치되고, 조리개 개구부(41)의 배열 방향(A)에서의 다른 쪽(도 2에서의 아래쪽)의 부분이, 대상 수납부(12)와 배열 방향(A)이 같은 위치에 배치되어 있다. 즉, 본 실시형태에서는, 조리개 개구부(41)와 대상 수납부(12)는, 배열 방향(A)의 배치 영역이 서로 중복되도록 배치되어 있다.

구체적으로는, 도 2에 나타낸 바와 같이, 본 실시형태에서는, 배열 방향(A)의 한쪽의 단부에 배관 스페이스(17)를 형성하도록, 3개의 대상 수납부(12)가 배관 스페이스(17)보다 배열 방향(A)이 다른 쪽에 배치되어 있다. 조리개 개구부(41)는, 배관 스페이스(17) 및 배관 스페이스(17)에 인접하는 1개의 대상 수납부(12)가 차지하는 배열 방향(A)의 범위[본 실시형태에서는, 제2 수납 선반(6b)의 배열 방향(A)의 폭의 절반의 범위]로 형성되어 있다. 따라서, 조리개 개구부(41)에서의 배열 방향(A)의 중앙부보다 한쪽의 부분은, 배관 스페이스(17)와 배열 방향(A)이 같은 위치에 배치되고, 조리개 개구부(41)에서의 배열 방향(A)의 다른 쪽의 부분은, 대상 수납부(12)와 배열 방향(A)이 같은 위치에 배치되어 있다. 이와 같이, 본 실시형태에서는, 조리개 개구부(41)의 배열 방향(A)의 배치 영역과, 배열 방향(A)으로 배열된 복수(본 예에서는 3개)의 대상 수납부(12)의 배열 방향(A)의 배치 영역은, 각각의 일부끼리가 서로 중복되도록, 배열 방향(A)으로 서로 어긋나 형성되어 있다.

본 실시형태에서는, 전술한 바와 같이, 주벽부(14a)의 아래쪽의 개구부에는 유동 개구부(71)가 형성되어 있지만, 유동 개구부(71)를 통하여 아래쪽으로 유동한 기체의 보관 공간(90)의 외부로의 기체의 유출은, 규제부(16)에 의해 규제된다. 즉, 이 규제부(16)는, 기체 배출부(40)를 통하지 않는 보관 공간(90)의 외부로의 기체의 배출을, 수납부(11)의 배치 영역보다 아래쪽에 있어서 규제한다. 따라서, 본 실시형태에서는, 보관 공간(90)에서의 구역부(8)보다 아래쪽에 형성되는 하부 공간은, 위쪽[즉, 수납부(11)의 배치 영역측]으로부터 유입된 기체를, 기체 배출부(40)(을) 통하여만 보관 공간(90)의 외부로 배출 가능하게 형성되어 있다. 즉, 위쪽으로부터 하부 공간에 유입된 기체는, 조리개 개구부(41)를 통하지 않으면 보관 공간(90)의 외부로 배출되지 않도록 구성되어 있다. 여기서, 조리개 개구부(41)는 기체의 유량을 제한하는 조리개부로서 기능하므로, 보관 공간(90)의 내부에서는, 조리개 개구부(41)에 의해 유량이 제한되는 분만큼, 보관 공간(90)의 내부에서의 기체의 혼합이 촉진된다. 이로써, 불활성 기체 공급부(50)가 공급한 불활성 기체를, 보관 공간(90)의 외부로 배출될 때까지의 사이에 보관 공간(90)의 내부의 기체와 적절히 혼합시킬 수 있어, 기체 배출부(40)에 의해 배출되는 기체에서의 불활성 기체의 농도를 억제하는 것이 가능하게 되어 있다.

본 실시형태에서는, 기체 배출부(40)에 의해 배출되는 기체에 포함되는 불활성 기체의 농도를 더욱 억제하기 위해, 기체 배출부(40)가, 조리개 개구부(41)를 통과한 기체를, 연통 공간(91) 및 외부 연통부(42)를 통하여 보관 공간(90)의 외부로 배출하도록 구성되어 있다. 여기서, 연통 공간(91)이란, 보관 공간(90)의 내부에서의 수납부(11)의 배치 영역보다 아래쪽에 형성되는 공간이며, 조리개 개구부(41)를 통하여 수납부(11)의 배치 영역과 연통되는 공간이다. 본 실시형태에서는, 제2 수납 선반(6b)에서의 바닥부(7)와 구역부(8)와의 사이에 형성되는 공간에 의해, 연통 공간(91)이 형성되어 있다. 본 실시형태에서는, 연통 공간(91)은, 조리개 개구부(41) 및 상기 연통 공간(91)의 선반 전면측의 보관 공간(90)의 부분을 통하여, 수납부(11)의 배치 영역과 연통되어 있다.

기체 배출부(40)는, 도 1, 도 3, 도4에 나타낸 바와 같이, 연통 공간(91)과 보관 공간(90)의 외부를 연통시키는 외부 연통부(42)를 구비하고 있다. 연통 공간(91)은, 조리개 개구부(41) 및 외부 연통부(42) 이외의 부분이, 기체의 유동이 불가능하게 구획되어 있다. 그리고, 기체 배출부(40)는, 조리개 개구부(41)를 통하여 연통 공간(91)에 도입한 기체를, 외부 연통부(42)를 통하여 보관 공간(90)의 외부로 배출한다. 외부 연통부(42)는, 조리개 개구부(41)와 마찬가지로, 배열 방향(A)의 폭이 제2 수납 선반(6b)의 배열 방향(A)의 폭보다 좁게 설정되어 있고, 기체의 유량을 제한하는 조리개부로서 기능한다. 본 실시형태에서는, 외부 연통부(42)의 배열 방향(A)의 폭은, 제2 수납 선반(6b)의 배열 방향(A)의 폭의 절반보다 좁게 설정되어 있다. 따라서, 연통 공간(91)에 있어서도 기체의 혼합을 촉진할 수 있고, 그 결과, 외부 연통부(42)로부터 배출되는 기체에서의 불활성 기체의 농도를 억제할 수 있다. 그리고, 도 4에서는, 발명의 이해를 용이하게 하기 위해, 지면(紙面) 바로 앞쪽에 배치되는 외부 연통부(42)를 일점 쇄선으로 나타내고 있다.

도 1 및 도 3에 나타낸 바와 같이, 본 실시형태에서는, 외부 연통부(42)는, 벽체(14)의 주벽부(14a)를 배열 직교 방향(B)에 관통하도록 형성된 개구부에 의해 구성되어 있다. 따라서, 외부 연통부(42)의 개구 방향은, 조리개 개구부(41)의 개구 방향(O)과 마찬가지로, 배열 직교 방향(B)에 평행한 방향이다. 그리고, 도 3 및 도 4에 나타낸 바와 같이, 본 실시형태에서는, 조리개 개구부(41)와 외부 연통부(42)는, 상하 방향(V) 및 개구 방향(O)의 각각에 직교하는 방향[본 실시형태에서는, 배열 방향(A)과 일치]에 있어서, 서로 다른 위치에 배치되어 있다. 즉, 조리개 개구부(41)와 외부 연통부(42)는, 배열 방향(A)의 배치 영역이 서로 중복되지 않도록 배치되어 있다. 구체적으로는, 조리개 개구부(41)는, 연통 공간(91)의 배열 방향(A)에서의 중앙부보다 배열 방향(A)의 한쪽의 영역에 배치되고, 외부 연통부(42)는, 상기 중앙부보다 배열 방향(A)의 다른 쪽의 영역에 배치되어 있다. 또한, 본 실시형태에서는, 도 1 및 도 4에 나타낸 바와 같이, 외부 연통부(42)는, 조리개 개구부(41)와 상하 방향(V)에서의 같은 위치에 배치되어 있다.

도 3 및 도 4에 나타낸 바와 같이, 본 실시형태에서는, 외부 연통부(42)는, 배열 방향(A)에 나란히 배치된 제1 외부 연통부(42a)와 제2 외부 연통부(42b)를 구비하고 있다. 제1 외부 연통부(42a)와 제2 외부 연통부(42b)는, 배열 방향(A)으로 서로 이격되어 형성되어 있다. 제2 외부 연통부(42b)는, 배열 방향(A)에서의 제1 외부 연통부(42a)와 조리개 개구부(41)와의 사이에서, 배열 방향(A)의 배치 영역이 조리개 개구부(41)의 배열 방향(A)의 배치 영역과 중복되지 않도록 배치되어 있다. 이와 같이, 본 실시형태에서는, 외부 연통부(42)는, 배열 방향(A)으로 서로 이격되어 형성된 복수의 연통부의 집합에 의해 구성되어 있다.

그런데, 보관 공간(90)에서의 구역부(8)보다 위쪽에 형성되는 공간은, 개구부(70)에 있어서 보관 공간(90)의 외부와 연통되어 있다. 또한, 보관 공간(90)에서의 구역부(8)보다 위쪽에 형성되는 공간은, 탑재 장치(86)(도 4 참조)의 설치 개소에 형성된 작업자용 개구부가 개방되어 있는 상태에서는,상기 작업자용 개구부를 통하여 보관 공간(90)의 외부와 연통된다. 본 실시형태에서는, 보관 공간(90)의 내부의 기체가, 이들의 개구부(70)나 작업자용 개구부를 통하여 보관 공간(90)의 외부로 배출되는 것을 억제하기 위해, 보관 장치(10)에는, 기체 배출부(40)에 의한 기체의 배출을 촉진하는 배출 촉진부(18)가 구비되어 있다.

본 실시형태에서는, 기체 배출부(40)가 보관 공간(90)의 외부를 향해 송풍하는 팬(43)을 구비하고, 배출 촉진부(18)가 팬(43)에 의해 구성되어 있다. 팬(43)은, 도 3에 나타낸 바와 같이, 외부 연통부(42)에 장착되어 있고, 외부 연통부(42)를 통하여 흡인한 연통 공간(91)의 기체를, 보관 공간(90)의 외부로 분출하도록 구성되어 있다. 상기한 바와 같이, 본 실시형태에서는, 외부 연통부(42)는, 제1 외부 연통부(42a)와 제2 외부 연통부(42b)를 구비하고 있고, 제1 외부 연통부(42a) 및 제2 외부 연통부(42b)의 각각에, 팬(43)이 장착되어 있다. 본 실시형태에서는, 팬(43)은, 주벽부(14a)로부터 보관 공간(90)의 외부에 수평 방향으로 돌출되도록 설치되어 있다. 본 실시형태에서는, 팬(43)의 풍량은, 상기한 개구부(70)나 작업자용 개구부에 있어서 보관 공간(90)의 내부로 향하는 방향의 기류가 형성되는 크기로 설정된다.

그런데, 본 실시형태에서는, 도 1에 나타낸 바와 같이, 연통 공간(91)에, 보관 장치(10)의 작동을 제어하는 제어 장치(5)가 배치되어 있다. 본 실시형태에서는, 또한 제1 수납 선반(6a)에서의 바닥부(7)와 구역부(8)와의 사이에 형성되는 공간에도, 제어 장치(5)가 배치되어 있다. 본 실시형태에서는, 보관 장치(10)에는, 전술한 유량 조절 장치(52)를 제어하는 유량 제어 장치에 더하여, 내부 반송 장치(3)의 작동을 제어하는 반송 제어 장치나, 보관 장치(10)에서의 용기(4)의 재고 상태 등을 관리하는 관리 장치가 구비된다. 그리고, 이들 유량 제어 장치, 반송 제어 장치, 및 관리 장치 중 적어도 어느 하나의 장치의 적어도 일부가, 연통 공간(91)에 제어 장치(5)로서 배치되는 동시에, 제1 수납 선반(6a)에서의 바닥부(7)와 구역부(8)와의 사이에 형성되는 공간에 제어 장치(5)로서 배치되어 있다. 그리고, 연통 공간(91)에 제어 장치(5)가 배치되지 않는 구성으로 하는 것도 가능하다.

5. 그 외의 실시형태

마지막으로, 본 발명에 관한 그 외의 실시형태에 대하여 설명한다. 그리고, 이하의 각각의 실시형태에서 개시되는 구성은, 모순이 생기지 않는 한, 다른 실시형태에서 개시되는 구성과 조합시켜 적용할 수 있다.

(1) 상기한 실시형태에서는, 조리개 개구부(41)와 외부 연통부(42)가, 배열 방향(A)에서의 서로 다른 위치에 배치된 구성을 예로서 설명하였다. 그러나, 본 발명의 실시형태는 이에 한정되지 않는다. 예를 들면, 외부 연통부(42)의 일부가, 조리개 개구부(41)와 배열 방향(A)이 상이한 위치에 배치되고, 외부 연통부(42)의 나머지의 일부가, 조리개 개구부(41)와 배열 방향(A)이 같은 위치에 배치된 구성으로 할 수도 있다. 예를 들면, 도 3에 있어서 제2 외부 연통부(42b)를 도면 중 위쪽으로 어긋나 배치하고, 제2 외부 연통부(42b)의 배열 방향(A)에서의 배치 영역의 일부 또는 전부가, 조리개 개구부(41)의 배열 방향(A)에서의 배치 영역에 포함되는 구성으로 할 수 있다. 또한, 외부 연통부(42)가, 제2 외부 연통부(42b)보다 배열 방향(A)에서의 제1 외부 연통부(42a)와는 반대측에, 제3 외부 연통부를 구비하고, 상기 제3 외부 연통부의 배열 방향(A)에서의 배치 영역의 일부 또는 전부가, 조리개 개구부(41)의 배열 방향(A)에서의 배치 영역에 포함되는 구성으로 할 수도 있다. 이와 같이, 상기한 실시형태와는 달리, 조리개 개구부(41)와 외부 연통부(42)가, 배열 방향(A)의 배치 영역이 서로 중복되도록 배치된 구성으로 할 수 있다. 그리고, 외부 연통부(42)가, 조리개 개구부(41)와 배열 방향(A)이 상이한 위치에 배치되는 부분을 가지지 않고, 외부 연통부(42)의 배열 방향(A)에서의 배치 영역이, 조리개 개구부(41)의 배열 방향(A)에서의 배치 영역에 포함되는 구성으로 하는 것도 가능하다.

(2) 상기한 실시형태에서는, 조리개 개구부(41)의 일부가, 배열 방향(A)에 있어서 대상 수납부(12)와는 상이한 위치에 배치된 구성을 예로서 설명하였다. 그러나, 본 발명의 실시형태는 이에 한정되지 않는다. 예를 들면, 조리개 개구부(41)의 전부가, 대상 수납부(12)와 배열 방향(A)이 상이한 위치에 배치된 구성으로 하는 것도 가능하다. 예를 들면, 도 2에 나타내는 구성에 있어서, 배관 스페이스(17)에 대하여 배열 방향(A)으로 인접하는 대상 수납부(12)가 설치되지 않는 구성으로 하거나, 또는 조리개 개구부(41)의 배열 방향(A)에서의 배치 영역이, 배관 스페이스(17)의 배열 방향(A)에서의 배치 영역에 포함되는 구성으로 할 수 있다. 또한, 조리개 개구부(41)의 전부가, 대상 수납부(12)와 배열 방향(A)이 같은 위치에 배치되는 구성으로 할 수도 있다. 즉, 조리개 개구부(41)의 배열 방향(A)에서의 배치 영역이, 1개의 대상 수납부(12)의 배열 방향(A)에서의 배치 영역에 포함되는 구성이나, 배열 방향(A)으로 배열된 복수의 대상 수납부(12)의 배열 방향(A)에서의 배치 영역에 포함되는 구성으로 할 수 있다. 예를 들면, 도 2에 나타내는 구성에 있어서, 제2 수납 선반(6b)의 구역부(8)와 바닥부(7)와의 각각의 선반 전면측의 단부끼리를 접속하는 무공판(45)과 다공판(44)[조리개 개구부(41)에 설치되는 다공판(44)]을 교체 구성으로 할 수 있다.

(3) 상기한 실시형태에서는, 조리개 개구부(41)가, 1개의 개구부에 의해 구성된 경우를 예로서 설명하였다. 그러나, 본 발명의 실시형태는 이에 한정되지 않는다. 즉, 조리개 개구부(41)가, 배열 방향(A)으로 서로 이격되어 형성된 복수(예를 들면, 2개 또는 3개)의 개구부의 집합에 의해 구성되어도 된다.

(4) 상기한 실시형태에서는, 수납부(11)의 배치 영역보다 아래쪽의 구성[구역부(8)와 바닥부(7)와의 사이에 형성되는 공간의 구성)이, 제1 보관부(10a)와 제2 보관부(10b)와 공통된 구성을 예로서 설명하였다. 그러나, 본 발명의 실시형태는 이에 한정되지 않는다. 예를 들면, 제1 보관부(10a)와 제2 보관부(10b)와, 조리개 개구부(41)의 배열 방향(A)의 폭이 서로 다른 크기로 설정된 구성으로 할 수 있다. 또한, 제1 보관부(10a)와 제2 보관부(10b)와, 제2 수납 선반(6b)의 구역부(8)와 바닥부(7)와의 각각의 선반 전면측의 단부끼리를 접속하는 무공판(45)과 다공판(44)[조리개 개구부(41)에 설치되는 다공판(44)]과의 배열 방향(A)의 배열 순서가 역으로 되는 구성으로 하는 것도 가능하다. 예를 들면, 도 3에 나타내는 구성에 있어서, 제2 보관부(10b)에 대하여만, 제2 수납 선반(6b)의 구역부(8)와 바닥부(7)와의 각각의 선반 전면측의 단부끼리를 접속하는 무공판(45)과 다공판(44)을 교체 구성으로 할 수 있다. 그리고, 보관 장치(10)가, 1개의 보관부만을 구비하는 구성이나, 배열 방향(A)으로 배열된 3개 이상의 보관부를 구비하는 구성으로 할 수도 있다.

(5) 상기한 실시형태에서는, 배출 촉진부(18)가, 외부 연통부(42)에 장착된 팬(43)에 의해 구성되는 경우를 예로서 설명하였다. 그러나, 본 발명의 실시형태는 이에 한정되지 않는다. 예를 들면, 기체 배출부(40)가, 조리개 개구부(41)에 장착되어 연통 공간(91)의 내부를 향해 송풍하는 팬을 구비하고, 상기 팬을 사용하여 배출 촉진부(18)가 구성되어도 된다. 또한, 보관 공간(90)의 상부에 설치된 송풍 장치(85)를 사용하여 배출 촉진부(18)가 구성되어도 된다. 이 경우, 송풍 장치(85)의 풍량이, 기체 배출부(40)에 의한 기체의 배출을 촉진할 수 있는 크기로 설정된다. 이와 같이, 외부 연통부(42)에 장착되는 팬(43) 이외의 부재를 사용하여 배출 촉진부(18)가 구성되는 경우에는, 기체 배출부(40)가 상기 팬(43)을 구비하지 않는 구성으로 해도 된다.

(6) 상기한 실시형태에서는 제1 수납 선반(6a)에서의 바닥부(7)와 구역부(8)와의 사이에 형성되는 공간의 선반 후면측이, 주벽부(14a)에 의해 배열 직교 방향(B)의 기체의 유동이 불가능하게 구획된 구성을 예로서 설명하였다. 그러나, 본 발명의 실시형태는 이에 한정되지 않는다. 예를 들면, 주벽부(14a)에 개구부를 형성하고, 제1 수납 선반(6a)에서의 바닥부(7)와 구역부(8)와의 사이에 형성되는 공간이, 선반 후방측에 있어서, 상기 개구부를 통하여 보관 공간(90)의 외부와 연통되는 구성으로 하는 것도 가능하다. 또한, 이 개구부가 제2 수납 선반(6b)의 외부 연통부(42)와 같이 기능하는 구성, 즉 제1 수납 선반(6a)에서의 바닥부(7)와 구역부(8)와의 사이에 형성되는 공간이, 제2 수납 선반(6b)의 연통 공간(91)과 같이 형성된 구성으로 하는 것도 가능하다. 이 경우, 이 개구부에, 팬(43)에 상당하는 팬이 배치되는 구성으로 하는 것도 배치되지 않는 구성으로 할 수도 있다.

(7) 상기한 실시형태에서는, 제1 수납 선반(6a)이 구비하는 수납부(11)가 대상 수납부(12)이며, 제2 수납 선반(6b)이 구비하는 수납부(11)가 비대상 수납부(13)인 구성을 예로서 설명하였다. 그러나, 본 발명의 실시형태는 이에 한정되지 않는다. 즉, 제1 수납 선반(6a)이 구비하는 수납부(11)가 비대상 수납부(13)인 동시에 제2 수납 선반(6b)이 구비하는 수납부(11)가 대상 수납부(12)인 구성으로 하거나, 또는 제1 수납 선반(6a)이 구비하는 수납부(11) 및 제2 수납 선반(6b)이 구비하는 수납부(11)의 양쪽이 대상 수납부(12)인 구성으로 할 수도 있다. 그리고, 제2 수납 선반(6b)이 구비하는 수납부(11)를 대상 수납부(12)로 하는 경우에는, 보관 장치(10)가, 수납 선반(6)으로서 제2 수납 선반(6b)만을 구비하는 구성으로 해도 된다.

(8) 상기한 실시형태에서는, 보관 장치(10)가 규제부(16)를 구비한 구성을 예로서 설명하였다. 그러나, 본 발명의 실시형태는 이에 한정되지 않는다. 예를 들면, 바닥부(7)와 하부 바닥(82)과의 사이에 간극이 형성되지 않은 경우나, 바닥부(7)와 하부 바닥(82)과의 사이에 간극이 형성되는 경우라도 상기 간극을 통한 기체의 유동을 실질적으로 무시할 수 있는 경우 등에 있어서는, 보관 장치(10)가 규제부(16)를 구비하지 않는 구성으로 할 수도 있다.

(9) 상기한 실시형태에서는, 주벽부(14a)의 아래쪽의 개구부에 유동 개구부(71)가 형성된 구성을 예로서 설명하였다. 그러나, 본 발명의 실시형태는 이에 한정되지 않는다. 예를 들면, 주벽부(14a)의 아래쪽의 개구부를 폐색하는 판형 부재가 설치되고, 레일(83)이 상기 판형 부재의 상면에 설치된 구성으로 할 수도 있다.

(10) 상기한 실시형태에서는, 송풍 장치(85)가 팬 필터 유닛에 의해 구성된 경우를 예로서 설명하였다. 그러나, 본 발명의 실시형태는 이에 한정되지 않는다. 예를 들면, 송풍 장치(85)가, 클린 드라이 에어(CDA)를 보관 공간(90)의 내부에 공급하는 장치인 구성으로 할 수도 있다. 또한, 보관 장치(10)가 송풍 장치(85)를 구비하지 않고, 벽체(14)에 형성된 개구부나 간극 등으로부터, 청정실 내의 공기가 보관 공간(90)의 내부로 유입되는 구성으로 할 수도 있다.

(11) 상기한 실시형태에서는, 기체 배출부(40)가, 조리개 개구부(41)와는 별도로 외부 연통부(42)를 구비한 구성을 예로서 설명하였다. 그러나, 본 발명의 실시형태는 이에 한정되지 않는다. 즉, 기체 배출부(40)가 외부 연통부(42)를 구비하지 않고, 조리개 개구부(41)를 통과한 기체가 그대로 보관 공간(90)의 외부로 배출되는 구성으로 하는 것도 가능하다. 예를 들면, 주벽부(14a)의 아래쪽의 개구부에 형성된 유동 개구부(71)가, 조리개 개구부(41)로서 기능하는 구성으로 할 수있다. 이 때, 조리개 개구부(41)의 크기는, 예를 들면, 바닥부(7)의 배열 직교 방향(B)의 폭에 의해 조절할 수 있다. 또한, 바닥부(7)와 하부 바닥(82)과의 사이에 형성되는 간극을 이용하여, 조리개 개구부(41)로서 기능하는 개구부가 형성된 구성으로 할 수도 있다.

(12) 상기한 실시형태에서는, 내부 반송 장치(3)가 스태커 크레인인 구성을 예로서 설명하였다. 그러나, 본 발명의 실시형태는 이에 한정되지 않는다. 예를 들면, 내부 반송 장치(3)가, 승강 이동하는 승강체와, 상기 승강체에 대하여 배열 방향(A)으로 이동 가능하게 지지된 이송탑재 장치를 구비한 구성으로 할 수도 있다.

(13) 그 외의 구성에 관해서도, 본 명세서에 있어서 개시된 실시형태는 모든 점에서 예시로서, 본 발명의 실시형태는 이에 한정되지 않는다. 즉, 본원의 특허 청구의 범위에 기재되어 있지 않은 구성에 관하여, 본 발명의 목적을 벗어나지 않는 범위 내에서 적절히 개변(改變)할 수 있다.

1: 보관 설비
4: 용기
5: 제어 장치
10: 보관 장치
11: 수납부
12: 대상 수납부
16: 규제부
18: 배출 촉진부
40: 기체 배출부
41: 조리개 개구부
42: 외부 연통부
43: 팬
50: 불활성 기체 공급부
90: 보관 공간
91: 연통 공간
A: 배열 방향
O: 개구 방향
V: 상하 방향

Claims (8)

1. 외부와 구획 형성된 보관 공간의 내부에 복수의 수납부를 구비한 보관 장치; 및 상기 수납부에 수납되어 있는 용기의 내부에 불활성 기체(氣體)를 공급하는 불활성 기체 공급부;를 포함하는 보관 설비로서,
   상기 보관 장치는, 상기 용기로부터 배출되는 불활성 기체가 혼합된 상기 보관 공간의 내부의 기체를, 상기 보관 공간의 외부에서의 작업자가 작업을 행하는 작업 공간에 연통하는 공간으로 배출하는 기체 배출부를 구비하고,
   상기 기체 배출부는, 기체의 유량을 제한하는 조리개부로서 기능하는 조리개 개구부를 구비하고,
   상기 조리개 개구부는, 상기 수납부의 배치 영역보다 아래쪽에 형성되어 있는,
   보관 설비.
2. 제1항에 있어서,
   상기 보관 장치는, 상기 보관 공간의 내부에서의 상기 수납부의 배치 영역보다 아래쪽에, 상기 조리개 개구부를 통하여 상기 배치 영역과 연통되는 연통 공간을 구비하고,
   상기 기체 배출부가, 상기 연통 공간과 상기 보관 공간의 외부를 연통시키는 외부 연통부를 구비하고 있는, 보관 설비.
3. 제2항에 있어서,
   상기 연통 공간에, 상기 보관 장치의 작동을 제어하는 제어 장치가 배치되어 있는, 보관 설비.
4. 제2항 또는 제3항에 있어서,
   상기 조리개 개구부와 상기 외부 연통부가, 상하 방향 및 상기 조리개 개구부의 개구 방향의 각각에 직교하는 방향에 있어서, 서로 다른 위치에 배치되어 있는, 보관 설비.
5. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
   상기 보관 장치가, 상기 기체 배출부에 의한 기체의 배출을 촉진하는 배출 촉진부를 구비하고 있는, 보관 설비.
6. 제5항에 있어서,
   상기 기체 배출부가, 상기 보관 공간의 외부를 향해 송풍하는 팬을 구비하고,
   상기 배출 촉진부가, 상기 팬에 의해 구성되어 있는, 보관 설비.
7. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
   상기 불활성 기체 공급부는, 복수의 상기 수납부에 포함되는 대상 수납부에 수납되어 있는 상기 용기의 내부에, 불활성 기체를 공급하도록 구성되며,
   상기 대상 수납부는, 수평면을 따른 배열 방향을 따라 복수 배치되어 있고,
   상기 조리개 개구부 중 적어도 일부가, 상기 배열 방향에 있어서, 상기 대상 수납부와는 상이한 위치에 배치되어 있는, 보관 설비.
8. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
   상기 보관 장치가, 상기 기체 배출부를 통하지 않는 상기 보관 공간의 외부로의 기체의 배출을, 상기 수납부의 배치 영역보다 아래쪽에 있어서 규제하는 규제부를 구비하고 있는, 보관 설비.
   

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