JP6747527B2 - ストッカ - Google Patents

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Description

本発明は、ストッカに関する。
ストッカは、レチクルまたは半導体ウエハ等を収容する容器を複数保管するために半導体工場などに設置される。ストッカは、内外を区画する壁部と、壁部の内側に配置され容器が保管される保管領域と、を有する。このようなストッカでは、保管する容器（または容器の収容物）によって、保管領域の清浄度をＩＳＯ規格でクラス４以上とすることが求められる。このため、保管領域に外部の清浄な空気を導入して保管領域の清浄化を図っており、例えば、建屋の天井部に備える天井ファンから下方に流れる清浄な空気を用いて保管領域に水平方向のエアフローを形成する構成が知られている（例えば、特許文献１参照）。
特許文献１に記載のストッカは、保管領域の背面側に設けられたダクトの上側が開放されており、天井ファンによって下方に流れる空気をダクト内に導入し、ダクトから保管領域に空気を水平方向に噴き出すように設けられている。また、ダクトの下側には、ブロアモータが設けられており、ストッカ内の気体をダクト内へ送り込んで循環させるようにしている。この特許文献１に記載のストッカは、天井から下方に流れる空気がダクトの上方から下方にかけて弱まるため、保管領域の下方側においては上方側よりも水平方向に噴き出す量が少なくなる。そのため、ブロアモータによりダクト内に気体を送り込み、ダクトから水平方向に噴き出す量のバラつきを上下方向で抑えるようにしている。
また、天井ファンから下方に流れる空気を用いずに、例えば、ダクトの背面側にファンを配置したストッカが知られている（例えば、特許文献２参照）。特許文献２に記載のストッカでは、ファンによってストッカ外部の空気をダクト内に引き込んで保管領域内に空気を水平方向に噴出させることで、保管領域にエアフローを形成している。
特開２０００−１６５２１号公報 特許第５２５１９８０号公報
上記した特許文献１に記載のストッカでは、ダクトの下方から保管領域に噴き出す空気の量を確保できるが、ストッカ内の気体をブロアモータからダクト内に送り込んで再度保管領域に噴出させているので、保管領域の清浄度を確保できない場合が生じる。また、上記した特許文献２に記載のストッカでは、保管領域の全体にわたって一定量のエアフローを形成しようとする場合、ダクトの上下方向に複数のファンを配置する必要があり、ファンの数が多くなって設備コストを増加させるだけでなく、ストッカの稼働においてファンを駆動するための消費電力が大きくなるといった問題を有している。また、ファンの数が多くなると、ファンの駆動に伴う発熱量も多くなるため、ストッカ内の温度上昇を招く場合がある。
本発明は、保管領域に効率的にエアフローを形成して保管領域の清浄度を確保し、さらに、ストッカ内の温度の上昇を抑制することが可能なストッカを提供することを目的とする。
本発明に係るストッカは、ストッカ内外を区画する壁部と、壁部の内側に配置され、物品が保管される保管領域と、保管領域の壁部側に配置され、上下方向に延在するダクトと、ダクトの上端に設けられ、下方に向けて流れる空気をダクトに導入する導入口と、ダクトの上側と下側との間の空気の流通を規制する流通規制部と、ダクト保管領域側に設けられ、保管領域に空気を噴き出す噴出口と、ダクトのうち流通規制部の下側に設けられ、外部の空気を吸引してダクト内に導入するファンと、を備える。
また、噴出口は、ダクトの上側部分において、上部から下部にわたって開口率が大きくなってもよい。また、導入口は、ストッカが設置される建屋の天井部に備える天井ファンによって下方に流れる空気をダクトに導入してもよい。また、壁部の上部から天井部に延びて設けられる接続壁部と、保管領域の上端を閉塞する蓋部と、を備えてもよい。また、ファンは、ダクトに導入した外部の空気を噴出口から保管領域に向けて噴出させてもよい。
本発明によれば、ダクトの上側部分では導入口から下方に導入されて流通規制部で流れが規制される空気を噴出口から保管領域に噴き出してエアフローを形成することができ、ダクトの下側部分ではファンから吸引される外部の空気を保管領域に噴き出してエアフローを形成することができる。この構成により、ダクトの上下にわたって保管領域に適切な流量の空気を噴出させることができ、保管領域に効率的にエアフローを形成して保管領域の清浄度を容易に保持することができる。また、ダクトの上側部分は天井ファンからの空気を取り込むので、ダクトの上下にわたって多くのファンを配置する必要がなく、設備コストを低減でき、さらにファンを駆動するための消費電力を低減できる。また、多くのファンが不要となるので、ストッカ内（保管領域）の温度の上昇を抑制することができる。
また、噴出口が、ダクトの上側部分において、上部から下部にかけて開口率が大きくなる構成では、下方に流れる空気の流量の低下に応じて開口率が大きくなるため、保管領域に形成されるエアフローの強さを上下にわたって均一化またはほぼ均一化することができる。また、導入口が、ストッカを設置している建屋の天井部に備える天井ファンによって下方に流れる空気をダクトに導入する構成では、天井ファンからのダウンフローを用いて導入口からダクト内に効率よく空気を取り込むことができる。
また、壁部の上部から天井部に延びて設けられる接続壁部と、保管領域の上端を閉塞する蓋部と、を備える構成では、天井ファンから下方に流れる空気を効率的にダクトに取り込むことができる。また、ファンが、ダクトに導入した外部の空気を噴出口から保管領域に向けて噴出させる構成では、ダクトの下側部分において、ファンを駆動することにより保管領域に対して水平方向のエアフローを効率的に形成することができる。
実施形態に係るストッカの一例を示す断面図である。 図１におけるＡ−Ａ線に沿った断面図である。 図１におけるＢ−Ｂ線に沿った断面図である。 （Ａ）及び（Ｂ）は、それぞれ噴出口の一例を示す図である。 ファンの配置についての他の例を示す図である。 ファンの配置についての他の例を示す図である。
以下、本発明の実施形態について図面を参照しながら説明する。ただし、本発明はこの形態に限定されない。また、図面においては実施形態を説明するため、一部分を大きくまたは強調して記載するなど適宜縮尺を変更して表現している。
図１から図３は、実施形態に係るストッカ１００の一例を示す図である。図１は、ストッカ１００を側方（搬送機構４０の走行方向）から見た場合の断面を示している。図２は、図１におけるＡ−Ａ線に沿った断面の構成を示している。図３は、図１におけるＢ−Ｂ線に沿った断面の構成を示している。ストッカ１００は、図１から図３に示すように、本体部１０と、棚部２０と、移載装置３０と、搬送機構４０と、を有する。ストッカ１００は、内部に物品Ｍを保管する。本実施形態において、物品Ｍは、例えば、レチクルを収容するレチクルポッドである。物品Ｍは、収容するレチクルが１枚または数枚である。物品Ｍは、複数枚のレチクルを収容する場合、レチクルを上下方向に並べた状態で収容する。
本体部１０は、半導体工場などの建屋Ｆの床部ＦＬに設置されており、例えば、内部の温度あるいは湿度などが管理されている。本体部１０は、壁部１１と、保管領域１２と、ダクト１３と、ファン１４と、を有する。壁部１１は、保管領域１２を含む空間を囲むように配置され、ストッカ１００の内外を区画する。壁部１１は、例えば上方から見た場合に矩形状に形成される。保管領域１２は、物品Ｍが保管される空間であり、壁部１１の内側に設けられる。保管領域１２は、搬送機構４０（移載装置３０）が走行する領域の両側に形成されている。
ダクト１３は、２つの保管領域１２の壁部１１側にそれぞれ配置される。ダクト１３は、例えば、矩形の箱状であり、上下方向に延在するように設けられる。ダクト１３は、保管領域１２の最下部から最上部にわたって延在するように上下方向に設けられている。また、ダクト１３は、図２に示すように、壁部１１の水平方向に沿って複数並んで配置されている。図２では、棚部２０に載置された２つの物品Ｍに対応するようにダクト１３が設けられているが、この構成に限定されず、１つの物品Ｍに対応してダクト１３が設けられてもよいし、３つ以上の物品Ｍに対応してダクト１３が設けられてもよい。また、水平方向に配置される複数のダクト１３は、同一の大きさであってもよいし、異なる大きさであってもよい。
ダクト１３は、内側のダクト壁部１３ｅと、外側のダクト壁部１３ｆとが所定間隔を空けて配置されることで形成され、導入口１３ａと、流通規制部１３ｂと、噴出口１３ｃ、１３ｄとを有する。なお、外側のダクト壁部１３ｆは、ストッカ１００の壁部１１を形成する。導入口１３ａは、ダクト１３の上端に配置される。導入口１３ａは、下方に向けて流れる空気をダクト１３に導入する。
導入口１３ａは、例えば、建屋Ｆの天井部ＣＬに備える天井ファンＣＦによって下方に流れる空気を導入する。なお、建屋Ｆの天井部ＣＬには複数の天井ファンＣＦが配置され、建屋Ｆ内にダウンフローを形成している。天井ファンＣＦは、例えば、ファンフィルタユニットが用いられる。導入口１３ａは、この天井ファンＣＦによるダウンフロー（下方に流れる空気）の一部をダクト１３内に取り込むように上方に向けて開口した状態で配置されている。
流通規制部１３ｂは、ダクト１３内に配置される。流通規制部１３ｂは、例えば、ダクト１３の上側と下側とを仕切る仕切り板である。流通規制部１３ｂは、ダクト１３の上側と下側との間の空気の流通を規制する。流通規制部１３ｂが設けられることにより、導入口１３ａから導入された空気がダクト１３の下側に流れることが規制される。なお、流通規制部１３ｂは、ダクト１３の上側と下側とを隙間なく仕切る構成に限定されない。流通規制部１３ｂは、例えば、ダクト１３の壁部との間に隙間が空いた状態で配置されてもよいし、通気度が小さなフィルタが用いられてもよい。
また、流通規制部１３ｂが設けられている高さは任意に設定可能である。流通規制部１３ｂは、例えば、ダクト１３の上下方向の中間位置または中間位置近傍の高さに設けられてもよい。また、例えば、天井ファンＣＦによるダウンフローが強い場合は、ダクト１３の下方まで十分に空気が送られるので流通規制部１３ｂの高さをダクト１３の上下方向の中間位置より下方に設定してもよいし、天井ファンＣＦによるダウンフローが弱い場合は、ダクト１３の下方まで十分な空気が送られないので流通規制部１３ｂの高さをダクト１３の上下方向の中間位置より上方に設定してもよい。また、流通規制部１３ｂの高さを上下方向に変更可能としてもよい。
噴出口１３ｃ、１３ｄは、ダクト１３のうち保管領域１２側のダクト壁部１３ｅに設けられる。噴出口１３ｃ、１３ｄは、ダクト１３に導入された空気を保管領域１２に噴き出すように形成される。噴出口１３ｃは、ダクト１３のうち流通規制部１３ｂの上側部分１３Ｐのダクト壁部１３ｅに形成される。噴出口１３ｄは、ダクト１３のうち流通規制部１３ｂの下側部分１３Ｑのダクト壁部１３ｅに形成される。
図４（Ａ）及び（Ｂ）は、それぞれ噴出口１３ｃ、１３ｄの一例を示しており、ストッカ１００の内側からダクト１３を見たダクト壁部１３ｅを示している。図４（Ａ）は下側部分１３Ｑのダクト壁部１３ｅの一例を示し、図４（Ｂ）は上側部分１３Ｐのダクト壁部１３ｅの一例を示している。図４（Ａ）及び（Ｂ）に示すように、ダクト壁部１３ｅは、例えばパンチングメタルが用いられる。噴出口１３ｃ、１３ｄは、図４（Ａ）及び（Ｂ）に示すように、下側部分１３Ｑ及び上側部分１３Ｐにおいて、上下方向及び水平方向にそれぞれ等しいピッチで並んで配置されている。
図４（Ａ）に示すように、下側部分１３Ｑでは、ダクト壁部１３ｅにおいて同一の開口径を持つ複数の噴出口１３ｄが配置されている。この構成により、ダクト１３の下側部分１３Ｑの上部から下部にわたって開口率がほぼ均一となっている。このため、ダクト１３の下側部分１３Ｑから保管領域１２に向けて噴出される空気は、ダクト１３の下側部分１３Ｑ内の圧力が上下にわたって一定である場合、下側部分１３Ｑの上部と下部とで噴出する空気の流量がほぼ均一となる。
図４（Ｂ）に示すように、上側部分１３Ｐでは、ダクト壁部１３ｅにおいて開口径が上部から下方にわたって大きくなる複数の噴出口１３ｃが配置されている。この構成により、ダクト１３の上側部分１３Ｐの上部から下部にかけて開口率が大きくなっている。ダクト１３の上部の導入口１３ａから導入された空気は、上側部分１３Ｐの上部から下部にかけて圧力が減少していく。したがって、高い圧力の上部では開口率が小さな（小さな開口径の）複数の噴出口１３ｃから保管領域１２に向けて空気が噴出され、低い圧力の下部では開口率が大きな（大きい開口径の）複数の噴出口１３ｃから保管領域１２に向けて空気が噴出される。この構成により、上側部分１３Ｐの上部から下部にわたって、保管領域１２に噴出する空気の流量がほぼ均一となる。
なお、噴出口１３ｃ、１３ｄの配置については、上記に限定されず、複数の噴出口１３ｃ、１３ｄが不等間隔で配置されてもよい。また、噴出口１３ｃ、１３ｄの形状についても円形状に限定されず、例えば、楕円形状、長円形状または多角形状など任意の形状が適用可能である。また、ダクト１３の上側部分１３Ｐにおいて、開口率の変化は上部から下部にわたって線形に変化させてもよいし、非線形に変化させてもよい。また、ダクト１３の上側部分１３Ｐの一部または全部において、開口率を変化させなくてもよい。
ファン１４は、ダクト１３の下側部分１３Ｑに配置される。ファン１４は、ダクト１３のうち保管領域１２と反対側の外側のダクト壁部１３ｆに配置される。ダクト壁部１３ｆは、ストッカ１００の外部に面して配置されている。ファン１４は、空気の取込口がストッカ１００の壁部１１に面しており、壁部１１（本体部１０）の外側の空気を吸引してダクト１３の下側部分１３Ｑの内部に導入する。壁部１１の外側の空気は、建屋Ｆ内の空気であり、天井ファンＣＦによるダウンフローの一部である。また、ファン１４は、例えば、ファンフィルタユニットである。
ファン１４は、吸引した外部の空気をダクト１３に導入し、ダクト１３の下側部分１３Ｑを介して空気を保管領域１２に向けて水平方向（搬送機構４０の走行方向と直交する方向）に噴出させる。すなわち、ファン１４によってダクト１３の下側部分１３Ｑ内に吸引された空気は、複数の噴出口１３ｄから保管領域１２に向けて噴出される。なお、噴出口１３ｄから噴出する空気の向きは任意であり、水平方向ではなく上下に傾いた方向であってもよく、また、搬送機構４０の走行方向と直交する方向から傾いた方向であってもよい。
ファン１４は、図１に示すように、ダクト１３の下側部分１３Ｑの上下方向に隙間なく並んで配置されているが、隙間があってもよい。また、ファン１４は、図３に示すように、ダクト１３の下側部分１３Ｑの水平方向に隙間なく並んで配置されているが、隙間があってもよい。この構成により、ダクト１３の下側部分１３Ｑにおいて、上下方向及び水平方向に内部圧力の不均一が解消され、下側部分１３Ｑに吸引した外部の空気を保管領域１２に向けて噴出する際、空気の流量を上下方向及び水平方向において均一化又はほぼ均一化することができる。
なお、複数配置されるファン１４は、同一のファン１４が用いられるが、この構成に限定されない、例えば、上下方向において異なるファン１４が配置されてもよいし、水平方向において異なるファン１４が配置されてもよい。また、複数のファン１４は、全部を同時に駆動することに限定されず、交互または順番に駆動させてもよい。また、複数のファン１４の一部または全部は、連続駆動することに限定されず、間欠駆動させてもよい。
本体部１０は、図１に示すように、接続壁部１１ａと、蓋部１１ｂとを有する。接続壁部１１ａは、壁部１１の上部から天井部ＣＬに延びて設けられる。接続壁部１１ａは、上方から見て、ストッカ１００の壁部１１を囲むように配置される。この構成により、接続壁部１１ａは、天井部ＣＬの天井ファンＣＦによって下方に流れる空気を、ストッカ１００の上方（壁部１１に囲まれた空間の上方）に案内する。この接続壁部１１ａによって、天井部ＣＬの天井ファンＣＦによって下方に流れる空気を、ダクト１３の導入口１３ａに取り込みやすくすることができる。
蓋部１１ｂは、保管領域１２を含むストッカ１００の内部空間の上端を閉塞する。蓋部１１ｂにより、天井部ＣＬの天井ファンＣＦによって下方に流れる空気が直接ストッカ１００の内部に入り込むことを規制する。したがって、保管領域１２に対してはダクト１３から空気が噴出することになる。また、蓋部１１ｂがあることにより、ストッカ１００内部から空気が上側に抜けることが防止される。
なお、上記した接続壁部１１ａ及び蓋部１１ｂを設置するか否かは任意であり、接続壁部１１ａ及び蓋部１１ｂの一方または双方はなくてもよい。また、接続壁部１１ａ及び蓋部１１ｂは、隙間なく設けられることに限定されず、一部に隙間を設けた状態で設置されてもよい。また、接続壁部１１ａは、ストッカ１００の壁部１１から上方に延びることに限定されず、例えば、壁部１１から外側に拡がるように、または内側に狭めるように設置されてもよい。
棚部２０は、保管領域１２内に配置され、物品Ｍを載置可能に形成される。棚部２０は、不図示の支柱部などに支持され、保管領域１２内の上下方向に複数段設けられる。本実施形態では、このような複数段の棚部２０が、搬送機構４０の走行方向に沿った両側にそれぞれ配置される。各棚部２０には、それぞれ不図示の切り欠き部が形成されている。また、各棚部２０は、例えば、上面に不図示の３本のピンを備えてもよい。ピンは、棚部２０の上面から上方に突出して設けられ、物品Ｍの底面に備える溝部に入り込むことにより、物品Ｍを棚部２０に位置決め可能となる。
また、各棚部２０は、パージ装置の供給ノズル２１が設けられる。供給ノズル２１は、棚部２０に物品Ｍを載置した際に、物品Ｍの底面に備える不図示のパージガス導入口と接続するように配置される。物品Ｍのパージガス導入口は、棚部２０に物品Ｍを載置した際に、供給ノズル２１から配管２２を介してパージガス源２３に接続され、物品Ｍ内にパージガスを供給する。なお、棚部２０の一部または全部において、供給ノズル２１が設けられなくてもよい。また、物品Ｍへのパージガスの供給は、棚部２０以外で行ってもよく、例えば、ストッカ１００に物品Ｍを搬入するための不図示のロードポートなどで物品Ｍにパージガスを供給してもよい。
移載装置３０は、移載場所である棚部２０に対して物品Ｍを移載する。移載装置３０は、基部３１と、伸縮部３２と、物品保持部３３と、を有する。基部３１は、後述する昇降台４３に固定される。伸縮部３２は、基部３１に対して伸縮可能に設けられる。物品保持部３３は、伸縮部３２の先端に取り付けられ、物品Ｍを保持可能である。物品保持部３３は、例えば、伸縮部３２の伸縮方向に移動可能である。なお、物品保持部３３は、物品Ｍを載置して保持する構成が適用され、上記した棚部２０の切り欠きを上下方向に通過可能である。なお、移載装置３０は、物品Ｍを載置する構成に限定されず、例えば、物品Ｍの上部に設けられたフランジ部を挟んで保持する構成、または物品Ｍの側面を把持して保持する構成などが適用されてもよい。
搬送機構４０は、レールＲと、このレールＲに沿って走行する不図示の走行部と、この走行部に設けられたマスト４２と、マスト４２に沿って昇降する昇降台４３と、を有する。レールＲは、ストッカ１００内の床部および天井部（蓋部１１ｂ）に平行に配置される。また、レールＲは、ファン１４が設けられた壁部１１に対して平行して保管領域１２に沿って配置されている。なお、図１では、２本のレールＲを示しているが、本数は任意であり、１本のレールＲであってもよい。レールＲを走行する走行部は、電動モータ等の駆動源によりレールＲに沿って走行する。マスト４２は、上下方向に沿って配置され、走行部の駆動によって走行部とともに移動する。昇降台４３は、電動モータ等の駆動源によりマスト４２に沿って上下方向に昇降し、任意の高さに保持される。
上記したストッカ１００では、不図示の制御装置によってストッカ１００への物品Ｍの搬入動作及び搬出動作、及び棚部２０への物品Ｍの移載動作などが制御される。物品Ｍをストッカ１００に搬入する場合、不図示のロードポートに載置された物品Ｍを移載装置３０により受け取った後、搬送機構４０により移載装置３０を搬入先の棚部２０に移動させる。その後、移載装置３０の伸縮部３２を基部３１から伸ばして物品保持部３３を棚部２０の上方に移動させ、この状態で昇降台４３を下降させることにより物品Ｍを棚部２０に載置する。この動作により、物品Ｍが搬送先の棚部２０に載置される。
また、物品Ｍの搬出を行う場合、搬送機構４０により搬出対象となる物品Ｍが載置された棚部２０まで移載装置３０を移動させる。続いて、伸縮部３２を伸ばして物品保持部３３を棚部２０の下方に移動させ、この状態で昇降台４３を上昇させることにより物品Ｍは棚部２０から物品保持部３３に移載される。その後、伸縮部３２を縮めて、物品Ｍを載置した物品保持部３３を基部３１上に保持する。その後、搬送機構４０により移載装置３０をロードポートに移動させ、移載装置３０により物品Ｍをロードポートに載置させる。この動作により、物品Ｍの搬出が完了する。
上記のようなストッカ１００では、保管する物品Ｍ又は物品Ｍの収容物によって、例えば、保管領域１２の清浄度をＩＳＯ規格でクラス４以上とすることが求められる。このため、保管領域１２にストッカ１００の外部の清浄な空気を導入して保管領域１２の清浄化を図っている。本実施形態において、ストッカ１００は、天井部ＣＬの天井ファンＣＦにより下方に流れる空気をダクト１３の導入口１３ａから導入し、噴出口１３ｃを介して保管領域１２に噴出することで、保管領域１２に水平方向のエアフローを形成する。また、ストッカ１００は、ファン１４によりストッカ外部の空気をダクト１３に吸引し、噴出口１３ｄを介して保管領域１２に噴出することで、保管領域１２に水平方向のエアフローを形成する。
このように、本実施形態に係るストッカ１００は、ダクト１３の上側部分１３Ｐでは導入口１３ａから下方に導入されて流通規制部１３ｂで流れが規制される空気を噴出口１３ｃから保管領域１２に噴き出してエアフローを形成することができる。また、ダクト１３の下側部分１３Ｑではファン１４により吸引される空気を保管領域１２に噴き出してエアフローを形成することができる。この構成により、保管領域１２の上下にわたって容易かつ確実にエアフローを形成することができ、保管領域１２の清浄度を確保することができる。さらに、ファン１４は、ダクト１３の下側部分１３Ｑだけに配置されるので、多くのファン１４の設置が不要であり、ストッカ１００内（保管領域１２）の温度の上昇を抑制することができる。また、ダクト１３の上側部分１３Ｐ及び下側部分１３Ｑのいずれもストッカ１００内で空気を循環させず、外部から取り込んだ空気をストッカ１００の床面から下方に放出している（図１参照）。この構成により、ストッカ１００内（保管領域１２）の温度上昇を防止し、保管領域１２の棚部２０に載置された物品Ｍへの熱の影響を低減することができる。
上述した説明では、ダクト１３の下側部分１３Ｑにおいて、ファン１４が上下方向に隙間なく並んで配置された構成を例に挙げて説明したが、この構成に限定されず、ダクト１３の下側部分Ｑの上下方向の寸法に応じて、あるいはファン１４の能力に応じてファン１４の配置を適宜変更することができる。
図５は、ファン１４の配置について、他の例を示す図である。なお、図５に示すストッカ１００Ａは、ファン１４の配置以外の構成について、上記した図１に示すストッカ１００と同様の構成が適用される。図５に示すように、ダクト１３の下側部分１３Ｑの上下方向の寸法が上記した実施形態に比べて短い場合、あるいは高性能な（単位時間あたりの空気の吸引量または噴出量が大きい）ファン１４を用いる場合、ファン１４を上下方向に隙間なく配置せずにファン１４の設置数を少なくすることができる。なお図５では１つのファン１４を記載しているが、複数のファン１４が間隔を空けて配置されてもよい。
このように、下側部分１３Ｑの上下方向の寸法が短い場合、あるいは高性能なファン１４を用いる場合ではファン１４の設置数を減らしても噴出口１３ｄから保管領域１２に十分なエアフローを供給することができる。この構成により、設備コスト及びファン１４の駆動によるコストを低減することができる。
また、上述した説明では、ファン１４を上下方向に隙間なく配置することに代えて、ファン１４が間隔を空けて設置可能であることについて説明したが、水平方向についても同様である。図６は、ファン１４の配置についての他の例を示す図である。なお、図６に示すストッカ１００Ｂは、ファン１４の配置以外の構成について、上記した図１に示すストッカ１００と同様の構成が適用される。図６に示すように、ダクト１３の下側部分１３Ｑの左右方向の寸法が上記した実施形態に比べて短い場合、あるいは高性能なファン１４を用いる場合、ファン１４を左右方向に隙間なく配置せずにファン１４の設置数を少なくすることができる。
このように、下側部分１３Ｑの左右方向の寸法が短い場合、あるいは高性能なファン１４を用いる場合ではファン１４の設置数を減らしても噴出口１３ｄから保管領域１２に十分なエアフローを供給することができる。この構成により、設備コスト及びファン１４の駆動によるコストを低減することができる。
以上、実施形態について説明したが、本発明は、上述した説明に限定されず、本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々の変更が可能である。例えば、上記した実施形態では、噴出口１３ｃが、ダクト１３の上側部分１３Ｐにおいて、上部から下部にかけて開口率が大きくなる構成を例に挙げて説明したが、この構成に限定されない。例えば、噴出口１３ｃは、ダクト１３の上部から下部にかけて開口率が均一な構成であってもよい。
また、上記した実施形態において、ダクト１３の導入口１３ａが、建屋Ｆの天井部ＣＬに備える天井ファンＣＦによって下方に流れる空気を導入する構成を例に挙げて説明したが、この構成に限定されない。例えば、ダクト１３の導入口１３ａが、天井ファンＣＦとは異なる手段によって下方に流れる空気を導入してもよい。また、法令で許容される限りにおいて、日本特許出願である特願２０１７−０２０２２６、及び本明細書で引用した全ての文献、の内容を援用して本文の記載の一部とする。
Ｆ・・・建屋
Ｍ・・・物品
ＣＬ・・・天井部
ＣＦ・・・天井ファン
１０・・・本体部
１１・・・壁部
１１ａ・・・接続壁部
１１ｂ・・・蓋部
１２・・・保管領域
１３・・・ダクト
１３Ｐ・・・上側部分
１３Ｑ・・・下側部分
１３ａ・・・導入口
１３ｂ・・・流通規制部
１３ｃ、１３ｄ・・・噴出口
１４・・・ファン
２０・・・棚部
３０・・・移載装置
４０・・・搬送機構
１００、１００Ａ、１００Ｂ・・・ストッカ

Claims (5)

  1. ストッカ内外を区画する壁部と、
    前記壁部の内側に配置され、物品が保管される保管領域と、
    前記保管領域の前記壁部側に配置され、上下方向に延在するダクトと、
    前記ダクトの上端に設けられ、下方に向けて流れる空気を前記ダクトに導入する導入口と、
    前記ダクトの上側と下側との間の空気の流通を規制する流通規制部と、
    前記ダクトの前記保管領域側に設けられ、前記保管領域に空気を噴き出す噴出口と、
    前記ダクトのうち前記流通規制部の下側に設けられ、外部の空気を吸引して前記ダクト内に導入するファンと、を備える、ストッカ。
  2. 前記噴出口は、前記ダクトの上側部分において、上部から下部にわたって開口率が大きくなる、請求項１に記載のストッカ。
  3. 前記導入口は、前記ストッカが設置される建屋の天井部に備える天井ファンによって下方に流れる空気を前記ダクト内に導入する、請求項１又は請求項２に記載のストッカ。
  4. 前記壁部の上部から前記天井部に延びて設けられる接続壁部と、前記保管領域の上端を閉塞する蓋部と、を備える、請求項３に記載のストッカ。
  5. 前記ファンは、前記ダクトに導入した外部の空気を前記噴出口から前記保管領域に向けて噴出させる、請求項１から請求項４のいずれか一項に記載のストッカ。
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