KR102227379B1 - 퍼지 스토커 - Google Patents

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Abstract

본 발명의 퍼지 스토커는, 재치(載置)된 저장 용기의 내부를 퍼지 가스에 의해 퍼지 처리하는 복수의 퍼지 선반을 포함하는 선반 존을 복수로 갖는다. 퍼지 스토커는, 복수의 퍼지 선반으로의 퍼지 가스의 공급 유량을 선반 존마다 조정하는 유량 조정부와, 저장 용기를 반송하는 반송 장치와, 반송 장치에 의한 저장 용기의 반송을 제어하는 제어부를 구비한다. 제어부는, 하나의 선반 존에 포함되는 퍼지 선반의 선반 수인 소정 선반 수 이상의 빈 선반이 점재하는 경우, 포함되는 복수의 퍼지 선반의 전체가 빈 선반인 빈 선반 존이 새롭게 형성되도록, 반송 장치에 의해 저장 용기를 이송시키는 선반 교체 제어를 실행한다.

Description

퍼지 스토커
[0001] 본 발명은, 퍼지 스토커(purge stocker)에 관한 것이다.
[0002] 종래, 재치(載置)된 저장 용기의 내부를 퍼지 가스에 의해 퍼지 처리하는 복수의 퍼지 선반과, 퍼지 가스의 유량 조정을 행하는 유량 조정부와, 저장 용기를 반송(搬送)하는 반송 장치와, 반송 장치에 의한 저장 용기의 반송을 제어하는 제어부를 구비한 퍼지 스토커가 알려져 있다(예컨대, 특허문헌 1 참조). 이러한 퍼지 스토커는, 복수의 퍼지 선반을 포함하는 선반 존(zone)을 복수로 가지고 있다. 유량 조정부는, 복수의 퍼지 선반으로의 퍼지 가스의 공급 유량을 선반 존마다 조정하고 있다.
[0003] 국제 공개 제2015/194255호
[0004] 상술한 바와 같은 퍼지 스토커에서는, 예컨대 러닝 코스트(running cost)를 저감하기 위하여, 퍼지 가스의 사용량을 억제할 것이 요망된다.
[0005] 따라서, 본 발명의 일 측면은, 퍼지 가스의 사용량을 억제할 수 있는 퍼지 스토커를 제공하는 것을 목적으로 한다.
[0006] 본 발명의 일 측면과 관련되는 퍼지 스토커는, 재치된 저장 용기의 내부를 퍼지 가스에 의해 퍼지 처리하는 복수의 퍼지 선반을 포함하는 선반 존을 복수로 갖는 퍼지 스토커로서, 복수의 퍼지 선반으로의 퍼지 가스의 공급 유량을 선반 존마다 조정하는 유량 조정부와, 저장 용기를 반송하는 반송 장치와, 반송 장치에 의한 저장 용기의 반송을 제어하는 제어부를 구비하며, 제어부는, 하나의 선반 존에 포함되는 퍼지 선반의 선반 수인 소정 선반 수 이상의 빈 선반(空棚)이 점재(點在)할 경우, 포함되는 복수의 퍼지 선반의 전체가 빈 선반인 빈 선반 존이 새롭게 형성되도록, 반송 장치에 의해 저장 용기를 이송시키는 선반 교체 제어를 실행한다.
[0007] 이 구성의 퍼지 스토커에서는, 선반 교체 제어를 실행함으로써, 빈 선반 존이 새롭게 형성된다. 상기 빈 선반 존 내에 있어서의 복수의 퍼지 선반의 전체가 빈 선반이기 때문에, 그 복수의 퍼지 선반으로의 퍼지 가스의 공급을 필요없게 할 수가 있다. 이로써, 유량 조정부는, 빈 선반 존에 포함되는 복수의 퍼지 선반으로의 퍼지 가스의 공급 유량을 저하시킬 수 있게 된다. 따라서, 퍼지 가스의 사용량을 억제할 수 있게 된다.
[0008] 본 발명의 일 측면과 관련되는 퍼지 스토커에서는, 제어부는, 저장 용기가 이미 재치되어 있는 퍼지 선반과 빈 선반을 포함하는 선반 존이 2개 이상 존재하고, 또한, 이들 2개 이상의 선반 존에 포함되는 빈 선반의 합계가 소정 선반 수 이상인 경우, 소정 선반 수 이상의 빈 선반이 점재하는 것으로 하고, 선반 교체 제어를 실행해도 된다. 이 구성에 의하면, 소정 선반 수 이상의 빈 선반이 점재하는 것을 효과적으로 판단할 수가 있다.
[0009] 본 발명의 일 측면과 관련되는 퍼지 스토커에서는, 제어부는, 선반 교체 제어를 실행한 경우, 이 선반 교체 제어에 의해 새롭게 형성된 빈 선반 존에 포함되는 복수의 퍼지 선반으로의 퍼지 가스의 공급을 정지시켜도 된다. 이 구성에 의하면, 퍼지 가스의 사용량을 한층 억제할 수 있게 된다.
[0010] 본 발명의 일 측면과 관련되는 퍼지 스토커에서는, 제어부는, 오퍼레이터(operator)의 조작 입력에 기초하여, 선반 교체 제어에 있어서의 저장 용기의 이송처(移送先)인 선반 존을 선택하고, 선반 교체 제어에 있어서는, 선택된 선반 존에 포함되는 퍼지 선반으로 반송 장치에 의해 저장 용기를 이송시켜도 된다. 이 구성에 의하면, 퍼지 스토커 내에 있어서의 퍼지 선반의 사용률을 조작할 수 있게 된다.
[0011] 본 발명의 일 측면과 관련되는 퍼지 스토커에서는, 제어부는, 선반 교체 제어에 있어서의 저장 용기의 이송처인 선반 존을 소정 순서로 변경해도 된다. 이 구성에 의하면, 일부 퍼지 선반의 사용 빈도가 높아지는 것을 억제할 수 있어, 메인터넌스(maintenance) 작업의 빈도를 억제할 수가 있다.
[0012] 본 발명의 일 측면과 관련되는 퍼지 스토커에서는, 제어부는, 반송 장치에 의해, 새롭게 입고하는 저장 용기를, 복수의 선반 존 중 저장 용기가 이미 재치되어 있는 퍼지 선반을 포함하는 선반 존의 빈 선반으로, 우선적으로 입고시켜도 된다. 이 구성에 의하면, 퍼지 스토커 내에 빈 선반이 점재하기 어렵도록 저장 용기를 새롭게 입고할 수 있어, 선반 교체 제어의 실행을 억제할 수 있기 때문에, 반송 장치의 동작 빈도를 억제할 수가 있다.
[0013] 본 발명의 일 측면과 관련되는 퍼지 스토커는, 인접하는 복수의 선반 존을 포함하는 선반 그룹을 복수로 가지고, 제어부는, 어느 하나의 선반 그룹 내에 소정 선반 수 이상의 빈 선반이 점재하는 경우, 그 하나의 선반 그룹 내에 빈 선반 존이 새롭게 형성되도록, 그 하나의 선반 그룹 내의 복수의 퍼지 선반 사이에서 반송 장치에 의해 저장 용기를 이송시켜도 된다. 이 구성에 의하면, 복수의 선반 그룹 사이에서 저장 용기를 이송하는 경우에 비해, 반송 장치의 동작량을 억제할 수가 있다.
[0014] 본 발명의 일 측면과 관련되는 퍼지 스토커는, 인접하는 복수의 선반 존을 포함하는 선반 그룹을 복수로 가지고, 제어부는, 어느 2개의 선반 그룹인 제1 및 제2 선반 그룹 내에 소정 선반 수 이상의 빈 선반이 점재하는 경우, 제1 및 제2 선반 그룹 중의 어느 일방(一方) 내에 빈 선반 존이 새롭게 형성되도록, 제1 및 제2 선반 그룹 중의 어느 일방의 퍼지 선반으로부터 어느 타방(他方)의 퍼지 선반으로 반송 장치에 의해 저장 용기를 이송시켜도 된다. 이 구성에 의하면, 하나의 선반 그룹 내에 있어서의 복수의 퍼지 선반 사이에서 저장 용기를 이송하는 경우에 비해, 빈 선반 존이 형성되기 쉬워진다.
[0015] 본 발명의 일 측면과 관련되는 퍼지 스토커에서는, 제어부는, 설정 일시, 저장 용기의 출고 시, 및 오퍼레이터에 의한 실시 트리거(trigger)의 입력 시 중의 적어도 어느 것의 실행 개시 타이밍에 있어서, 소정 선반 수 이상의 빈 선반이 점재하는 경우, 선반 교체 제어를 실행해도 된다. 이 구성에 의하면, 효과적인 타이밍에 선반 교체 제어를 실행할 수 있게 된다.
[0016] 본 발명의 일 측면에 의하면, 퍼지 가스의 사용량을 억제할 수 있는 퍼지 스토커를 제공할 수 있게 된다.
[0017] 도 1은, 일 실시형태와 관련되는 퍼지 스토커를 나타내는 측면도이다.
도 2는, 도 1의 퍼지 스토커의 퍼지 유닛의 구성을 나타낸 개략도이다.
도 3은, 도 1의 퍼지 스토커의 제어계의 구성을 나타낸 블록도이다.
도 4의 (a)는, 도 1의 퍼지 스토커에 있어서 실시되는 그룹 내 선반 교체 제어를 설명하는 도면, 도 4의 (b)는, 도 1의 퍼지 스토커에 있어서 실시되는 그룹 내 선반 교체 제어를 설명하는 도면, 도 4의 (c)는, 도 1의 퍼지 스토커에 있어서 실시되는 그룹 내 선반 교체 제어를 설명하는 도면이다.
도 5의 (a)는, 도 1의 퍼지 스토커에 있어서 실시되는 그룹 간 선반 교체 제어를 설명하는 도면, 도 5의 (b)는, 도 1의 퍼지 스토커에 있어서 실시되는 그룹 간 선반 교체 제어를 설명하는 도면이다.
[0018] 이하, 도면을 참조하여 일 실시형태에 대해 설명한다. 도면의 설명에 있어서, 동일 요소에는 동일 부호를 사용하고, 중복되는 설명을 생략한다. 도면의 사이즈 비율은, 설명의 대상과 반드시 일치하고 있는 것은 아니다.
[0019] 도 1에 나타내어진 바와 같이, 퍼지 스토커(1)는, 저장 용기(F)의 내부를 퍼지 가스에 의해 퍼지 처리하는 동시에, 복수의 저장 용기(F)를 보관하는 보관고로서의 기능을 가지고 있다. 저장 용기(F)는, 반도체 웨이퍼 또는 유리 기판 등의 피(被)저장물이 저장된 레티클 포드(reticle pod) 또는 FOUP(Front Opening Unified Pod) 등이다. 퍼지 가스로서는, 예컨대, 질소 가스 또는 공기가 이용된다. 퍼지 스토커(1)는, 예컨대 클린 룸(clean room)에 설치된다. 퍼지 스토커(1)는, 파티션(3), 랙(7), 크레인(반송 장치; 9), OHT(Overhead Hoist Transfer) 포트(21), 및 메뉴얼 포트(23)를 주로 구비하고 있다.
[0020] 파티션(3)은, 퍼지 스토커(1)의 커버 판이다. 파티션(3)의 내측에는, 저장 용기(F)를 보관하는 보관 영역이 형성되어 있다. 랙(7)은, 저장 용기(F)를 보관하는 부분이다. 랙(7)은, 해당 보관 영역 내에 하나 또는 복수의 열(여기에서는, 2열)로 설치되어 있다. 각 랙(7)은, 소정 방향(x)으로 연장(延在, extend)되어 있다. 서로 이웃하는 2개의 랙(7, 7)은, y방향으로 대향하도록 평행하게 배치되어 있다. 각 랙(7)에는, 소정 방향(x) 및 연직 방향(z)을 따라, 저장 용기(F)를 재치하여 보관하는 퍼지 선반(7A)이 복수로 형성되어 있다. 퍼지 선반(7A)은, 연직 방향(z)을 따라 복수로 줄지어 배치되며, 또한, 소정 방향(x)을 따라 복수로 줄지어 배치되어 있다.
[0021] 크레인(9)은, 저장 용기(F)를 퍼지 선반(7A)에 대해서 출입시키는 동시에, 저장 용기(F)를 퍼지 선반(7A) 사이에서 이동시키는 반송 장치이다. 크레인(9)은, 대향하는 랙(7, 7)에 끼인 영역에 배치되어 있다. 크레인(9)은, 랙(7)이 연장(延在)되는 소정 방향(x)을 따라, 바닥 면에 배치된 주행 레일(도시 생략) 위를 이동한다. 크레인(9)은, 연직 방향(z)으로 연장되는 가이드 레일(9A)과, 가이드 레일(9A)을 따라 승강 가능한 짐받이(荷台, 9B)를 갖는다. 크레인(9)에 의한 저장 용기(F)의 반송은, 후술하는 제어부(10)를 구성하는 크레인 컨트롤러(60)에 의해 제어된다.
[0022] 퍼지 스토커(1)에 대한 저장 용기(F)의 출입은, OHT 포트(21) 및 메뉴얼 포트(23)로부터 행해진다. OHT 포트(21)는, 천정에 부설(敷設)된 주행 레일(25)을 주행하는 천정 주행차(OHT; 27)와 퍼지 스토커(1)의 사이에서 저장 용기(F)를 주고 받는 부분이다. OHT 포트(21)는, 저장 용기(F)를 반송하는 컨베이어(21A)를 가지고 있다. 메뉴얼 포트(23)는, 작업자와 퍼지 스토커(1)의 사이에서 저장 용기(F)를 주고 받는 부분이다. 메뉴얼 포트(23)는, 저장 용기(F)를 반송하는 컨베이어(23A)를 가지고 있다.
[0023] 도 2에 나타내어진 바와 같이, 퍼지 스토커(1)는, 복수의 퍼지 유닛(30)을 구비하고 있다. 복수의 퍼지 유닛(30)의 각각은, N(복수) 개의 퍼지 선반(7A)과, N개의 공급관(33)과, N개의 공급관(33)이 접속되는 주관(主管, 41)과, 주관(41)에 있어서의 퍼지 가스의 유량을 조정하는 MFC(Mass Flow Controller, 유량 조정부; 43)를 포함하여 구성되어 있다. 각 퍼지 유닛(30)에는, 퍼지 가스원(源)(47)으로부터 퍼지 가스가 공급된다. 퍼지 가스원(47)은, 퍼지 가스를 저장하는 탱크이다.
[0024] 퍼지 선반(7A)에는, 저장 용기(F)가 재치(載置)된다. 퍼지 선반(7A)은, 재치된 저장 용기(F)의 내부를 퍼지 가스에 의해 퍼지 처리한다. 각 퍼지 선반(7A)에는, 저장 용기(F)가 재치되어 있음을 검지(檢知)하는 검지부(32)가 설치되어 있다. 검지부(32)로서는, 광 센서 또는 접촉 센서 등을 이용할 수 있다. 검지부(32)는, 퍼지 선반(7A)에 저장 용기(F)가 재치되어 있음을 검지하면, 그 취지의 정보인 용기 재치 정보를 후술하는 제어부(10)를 구성하는 퍼지 컨트롤러(70)에 출력한다(도 3 참조). 또한, 검지부(32)는 없어도 된다.
[0025] 이후의 설명에서는, 하나의 퍼지 유닛(30)에 포함되는 한 무리(群)의 퍼지 선반(7A)을 「선반 존」이라 칭한다. 여기에서는, 도 4에 예시되는 바와 같이, 연직 방향을 따라 일렬로 나란한 일련의 퍼지 선반(7A)을, 하나의 선반 존(Z; zone)으로 하고 있다. 인접하는 복수의 선반 존(Z)(환언하면, 그룹화되어 이루어지는 한 무리의 선반 존(Z))을 「선반 그룹(G)」이라 칭한다. 즉, 퍼지 스토커(1)는 복수의 선반 그룹(G)을 구비하고, 복수의 선반 그룹(G)의 각각은 복수의 선반 존(Z)을 구비하며, 복수의 선반 존(Z)의 각각은 복수의 퍼지 선반(7A)을 구비한다.
[0026] 도 2로 돌아와서, 공급관(33)은, 퍼지 선반(7A)에 재치된 저장 용기(F)에 퍼지 가스를 공급한다. 공급관(33)의 선단은, 노즐로 되어 있다. 공급관(33)의 선단이 저장 용기(F)의 공급구(供給口)에 밀착됨에 따라, 저장 용기(F)의 내부에 퍼지 가스가 공급된다. 공급관(33)에는, 파티클 필터(35)와, 오리피스(orifice, 37)가 설치되어 있다. 파티클 필터(35)는, 진애(塵埃)(파티클(particle))를 포집(捕集)할 수 있는 필터이다. 파티클 필터(35)는, 필요에 따라 설치되어 있으면 된다. 오리피스(37)는, 주관(41)으로부터 공급되는 퍼지 가스의 유량이 복수의 공급관(33)끼리 동일해지도록 조정한다.
[0027] 주관(41)은, N개의 공급관(33)이 접속되는 동시에, N개의 공급관(33)에 퍼지 가스를 공급한다. 주관(41)에는, MFC(43)가 설치되어 있다. MFC(43)는, 주관(41)을 흐르는 퍼지 가스의 질량 유량을 계측하여, 유량 제어를 행한다. 즉, 각 퍼지 유닛(30)의 MFC(43)의 각각은, 복수의 퍼지 선반(7A)으로의 퍼지 가스의 공급 유량을 선반 존(Z)마다 조정한다. MFC(43)에 있어서의 유량 제어는, 후술하는 제어부(10)를 구성하는 퍼지 컨트롤러(70)에 의해 제어된다.
[0028] 퍼지 스토커(1)는, 도 3에 나타내어진 바와 같이, 스토커 컨트롤러(50)와, 크레인 컨트롤러(60)와, 퍼지 컨트롤러(70)를 포함하는 제어부(10)를 구비하고 있다. 퍼지 스토커(1)는, 입력장치(80)를 구비하고 있다. 각 컨트롤러(50, 60, 70)는, 예컨대, CPU(Central Processing Unit), ROM(Read Only Memory), RAM(Random Access Memory) 등으로 이루어지는 전자 제어 유닛이다. 각 컨트롤러(50, 60, 70)는, ROM에 기억되어 있는 프로그램을 RAM에 로드하고, CPU로 실행함으로써, 각종 제어를 실행한다. 또한, 각 컨트롤러(50, 60, 70)의 각각이 복수의 전자 제어 유닛으로 구성되어 있어도 된다. 컨트롤러(50, 60, 70) 중의 적어도 2개가 일체의 전자 제어 유닛으로 구성되어 있어도 된다.
[0029] 제어부(10)를 구성하는 스토커 컨트롤러(50)는, 퍼지 스토커(1)의 전체를 제어한다. 스토커 컨트롤러(50)는, 크레인 컨트롤러(60) 및 퍼지 컨트롤러(70)에 접속되어 있다. 스토커 컨트롤러(50)는, 크레인 컨트롤러(60) 및 퍼지 컨트롤러(70)를 통제한다. 스토커 컨트롤러(50)는, 상위 컨트롤러(90)로부터 입력된 입고 예정 정보(입고시킬 예정인 저장 용기(F)에 관한 정보), 및, 입력장치(80)로 입력된 오퍼레이터의 조작 입력에 따른 조작 입력 정보 중의 적어도 어느 것을 포함하는 정보에 기초하여, 크레인 컨트롤러(60)에 반송 명령을 출력한다.
[0030] 스토커 컨트롤러(50)는, 소정 선반 수(하나의 선반 존(Z)에 포함되는 퍼지 선반(7A)의 선반 수) 이상의 빈 선반이 퍼지 스토커(1) 내에 점재할 경우, 선반 교체 제어를 실행한다. 소정 선반 수는, 미리 설정되어 있는 값이다. 여기서의 소정 선반 수는, 연직(鉛直) 방향으로 일렬로 나란한 일련의 퍼지 선반(7A)의 수이다. 빈 선반이란, 저장 용기(F)가 재치되어 있지 않은 퍼지 선반(7A)이다. 선반 교체 제어는, 포함되는 복수의 퍼지 선반(7A)의 전체가 빈 선반인 빈 선반 존이 새롭게 형성되도록, 크레인(9)에 의해 저장 용기(F)를 이송시키는 제어이다. 선반 교체 제어는, 디프래그(defrag; defragmentation) 제어라고도 칭해진다. 여기서의 디프래그는, 저장 용기(F)의 재배치의 의미를 갖는다.
[0031] 스토커 컨트롤러(50)는, 설정 일시, 저장 용기(F)의 출고 시, 및 오퍼레이터에 의한 실시 트리거의 입력 시 중의 적어도 어느 것의 실행 개시 타이밍에 있어서, 소정 선반 수 이상의 빈 선반이 퍼지 스토커(1) 내에 점재할 경우에, 선반 교체 제어를 실행한다. 실행 개시 타이밍은, 입력장치(80)를 통해 오퍼레이터에 의해 미리 선택된다. 설정 일시는, 입력장치(80)를 통해 오퍼레이터에 의해 미리 입력 또는 선택되어 설정된 날짜 및 시각이다. 예컨대 설정 일시로서는, 매일 혹은 매주 A요일의 B시를 들 수 있다(단, A는 임의의 요일, B는 임의의 시각). 오퍼레이터에 의한 실시 트리거의 입력 시란, 선반 교체 제어를 실시시키는 취지의 지시 입력인 실시 트리거가, 입력장치(80)를 통해 오퍼레이터에 의해 입력되었을 때이다. 설정 일시에 있어서의 선반 교체 제어의 실행은, 선반 교체 제어의 자동 실행을 구성한다. 오퍼레이터에 의한 실시 트리거 입력 시의 선반 교체 제어의 실행은, 선반 교체 제어의 수동 실행을 구성한다.
[0032] 스토커 컨트롤러(50)는, 저장 용기(F)가 이미 재치되어 있는 퍼지 선반(7A)인 재고 선반(이하, 단순히 「재고 선반」이라 한다)과 빈 선반을 포함하는 선반 존(Z)이 2개 이상 존재하며, 또한, 이들 2개 이상의 선반 존(Z)에 포함되는 빈 선반의 합계가 소정 선반 수 이상인 경우에, 소정 선반 수 이상의 빈 선반이 퍼지 스토커(1) 내에 점재하는 것으로 하고, 선반 교체 제어를 실행한다.
[0033] 스토커 컨트롤러(50)는, 선반 교체 제어에 있어서의 저장 용기(F)의 이송원(移送元)인 선반 존(Z)으로서, 재고 선반과 빈 선반을 포함하는 복수의 선반 존(Z) 중의 일련 번호가 가장 큰 선반 존(Z)을 선택한다. 일련 번호란, 복수의 선반 존(Z)에 일련하여 붙여진 번호이다. 스토커 컨트롤러(50)는, 선반 교체 제어에 있어서, 선택한 선반 존(Z)의 퍼지 선반(7A)으로부터 크레인(9)에 의해 저장 용기(F)를 이송시킨다.
[0034] 스토커 컨트롤러(50)는, 선반 교체 제어에 있어서의 저장 용기(F)의 이송처(移送先)인 선반 존(Z)으로서, 재고 선반과 빈 선반을 포함하는 복수의 선반 존(Z) 중의 일련 번호가 가장 작은 선반 존(Z)을 선택한다. 스토커 컨트롤러(50)는, 선반 교체 제어에 있어서, 선택한 선반 존(Z)의 빈 선반으로서의 퍼지 선반(7A)으로 크레인(9)에 의해 저장 용기(F)를 이송시킨다.
[0035] 스토커 컨트롤러(50)는, 어느 하나의 선반 그룹(G) 내에 소정 선반 수 이상의 빈 선반이 점재하는 경우, 그룹 내 선반 교체 제어를 실행한다. 그룹 내 선반 교체 제어는, 그 하나의 선반 그룹 내에 빈 선반 존이 새롭게 형성되도록, 그 하나의 선반 그룹 내의 복수의 퍼지 선반(7A) 사이에서 크레인(9)에 의해 저장 용기(F)를 이송시키는 제어이다(자세하게는, 후술하도록 함).
[0036] 스토커 컨트롤러(50)는, 입력장치(80)에 의해 입력된 오퍼레이터의 조작 입력에 기초하여, 그룹 내 선반 교체 제어의 대상이 되는 하나의 선반 그룹을 선택한다. 스토커 컨트롤러(50)는, 그 선택된 하나의 선반 그룹에 포함되는 퍼지 선반(7A) 사이에서 크레인(9)에 의해 저장 용기(F)를 이송시키는 그룹 내 선반 교체 제어를 실행한다.
[0037] 스토커 컨트롤러(50)는, 예컨대 퍼지 스토커(1)의 작업 모드(operation mode)가 메인터넌스 중일 때에 있어서, 어느 2개의 선반 그룹(G)인 제1 및 제2 선반 그룹 내에 소정 선반 수 이상의 빈 선반이 점재할 경우, 그룹 간 선반 교체 제어를 실행한다. 그룹 간 선반 교체 제어는, 제1 및 제2 선반 그룹 중의 어느 일방 내에 빈 선반 존이 새롭게 형성되도록, 제1 및 제2 선반 그룹 중의 어느 일방의 퍼지 선반(7A)으로부터 어느 타방의 퍼지 선반(7A)으로 크레인(9)에 의해 저장 용기(F)를 이송시키는 제어이다(자세하게는, 후술하도록 함).
[0038] 스토커 컨트롤러(50)는, 입력장치(80)에 의해 입력된 오퍼레이터의 조작 입력에 기초하여, 그룹 간 선반 교체 제어에 있어서의 저장 용기(F)의 이송원인 선반 그룹(G)과 이송처인 선반 그룹(G) 중의 적어도 어느 것을 선택한다. 스토커 컨트롤러(50)는, 이송원인 선반 그룹(G)이 선택되었을 경우, 선택된 해당 선반 그룹(G)에 포함되는 퍼지 선반(7A)으로부터 크레인(9)에 의해 저장 용기(F)를 이송시키는 그룹 간 선반 교체 제어를 실행한다. 스토커 컨트롤러(50)는, 이송처인 선반 그룹(G)이 선택되었을 경우, 선택된 해당 선반 그룹(G)에 포함되는 빈 선반으로서의 퍼지 선반(7A)으로 크레인(9)에 의해 저장 용기(F)를 이송시키는 그룹 간 선반 교체 제어를 실행한다.
[0039] 스토커 컨트롤러(50)는, 저장 용기(F)의 입고 시에 있어서, 크레인(9)에 의해, 복수의 선반 존(Z) 중 재고 선반을 포함하는 선반 존(Z)의 빈 선반으로 해당 저장 용기(F)를 우선적으로 입고시킨다.
[0040] 크레인 컨트롤러(60)는, 스토커 컨트롤러(50)로부터의 반송 명령에 기초하여 크레인(9)의 동작을 제어하고, 크레인(9)에 의한 저장 용기(F)의 반송을 제어한다. 퍼지 컨트롤러(70)는, MFC(43)에 의한 퍼지 가스의 유량 조정을 제어하며, 복수의 퍼지 선반(7A)으로의 퍼지 가스의 공급 유량을 선반 존(Z)마다 조정한다. 본 실시형태의 퍼지 컨트롤러(70)는, 스토커 컨트롤러(50)로 선반 교체 제어를 실행했을 경우, 이 선반 교체 제어에 의해 새롭게 형성된 빈 선반 존에 포함되는 복수의 퍼지 선반(7A)으로의 퍼지 가스의 공급을 감소 내지 정지시킨다.
[0041] 입력장치(80)는, 오퍼레이터가 각종 조작 입력을 행하는 장치이다. 입력장치(80)로서는, 예컨대 터치 패널, 키보드 및 마우스 중의 적어도 어느 것을 들 수 있다. 입력장치(80)에 있어서는, 실행 개시 타이밍의 선택 입력, 설정 일시의 입력, 선반 교체 제어를 수동(手動) 실행시키는 실시 트리거의 입력, 선반 교체 제어에 있어서의 저장 용기(F)의 이송처인 선반 존(Z)의 입력, 그룹 내 선반 교체 제어의 대상이 되는 선반 그룹(G)의 입력, 및, 그룹 간 선반 교체 제어에 있어서의 이송원 내지 이송처인 선반 그룹(G)의 입력 중, 적어도 어느 것이 행해진다. 입력장치(80)는, 해당 입력에 관한 조작 입력 정보를 스토커 컨트롤러(50)에 송신한다.
[0042] 다음으로, 선반 교체 제어의 일례에 대해, 도 4 및 도 5를 참조하여 설명한다. 도 4 및 도 5에서는, 설명의 편의상, 2개의 선반 그룹(G1, G2)을 구비한 퍼지 스토커(1)를 나타낸다. 선반 그룹(G1)은, 3개의 선반 존(Z1~Z3)을 구비하며, 선반 그룹(G2)은, 4개의 선반 존(Z4~Z7)을 구비한다. 선반 존(Z1~Z7)의 각각은, 7개의 퍼지 선반(7A)을 구비한다.
[0043] ［그룹 내 선반 교체 제어］
우선, 그룹 내 선반 교체 제어에 대해 예시한다. 본 예에서는, 그룹 내 선반 교체 제어의 대상이 되는 선반 그룹(G)으로서 선반 그룹(G1, G2)이 선택되어 있으며, 오퍼레이터에 의해 설정된 설정 일시에 그룹 내 선반 교체 제어가 실행되는 경우를 예시한다.
[0044] 스토커 컨트롤러(50)는, 설정된 설정 일시가 되었을 때, 선반 그룹(G1, G2) 각각에 있어서, 소정 선반 수 이상의 빈 선반이 점재하는지 여부를 판정한다. 스토커 컨트롤러(50)는, 소정 선반 수 이상의 빈 선반이 점재하는지 여부의 판정으로서, 재고 선반과 빈 선반을 포함하는 선반 존(Z)이 2개 이상 존재하며, 또한, 이들 2개 이상의 선반 존(Z)에 포함되는 빈 선반의 합계가 소정 선반 수 이상인지 여부를 판정한다.
[0045] 도 4의 (a)에 나타내어진 바와 같이, 선반 그룹(G1)에서는, 모든 선반 존(Z1~Z3)이 재고 선반과 빈 선반을 포함하고 있지만, 포함되는 빈 선반의 합계가 소정 선반 수(도시하는 예에서는 7개) 미만이다. 따라서, 선반 그룹(G1)에서는, 그룹 내 선반 교체 제어는 실행되지 않는다. 한편, 선반 그룹(G2)에서는, 모든 선반 존(Z4~Z7)이 재고 선반과 빈 선반을 포함하고 있으며, 또한, 포함되는 빈 선반의 합계가 소정 선반 수 이상이다. 따라서, 스토커 컨트롤러(50)는, 선반 그룹(G2)을 대상으로 그룹 내 선반 교체 제어를 실행한다.
[0046] 즉, 스토커 컨트롤러(50)는, 저장 용기(F)의 이송원인 선반 존(Z)으로서, 재고 선반과 빈 선반을 포함하는 선반 존(Z4~Z7) 중 일련 번호가 가장 큰 선반 존(Z7)을 선택한다. 크레인 컨트롤러(60)는, 저장 용기(F)의 이송처인 선반 존(Z)으로서, 해당 선반 존(Z4~Z7) 중 일련 번호가 가장 작은 선반 존(Z4)을 선택한다. 스토커 컨트롤러(50)는, 선택한 선반 존(Z7)의 퍼지 선반(7A)으로부터 선반 존(Z4)의 퍼지 선반(7A)으로, 크레인(9)에 의해 저장 용기(F)를 이송시킨다(도 4의 (a) 및 (b) 참조).
[0047] 계속해서, 이러한 저장 용기(F)의 이송을 반복하여 실시한다. 구체적으로는, 도 4의 (b)에 나타내어진 바와 같이, 스토커 컨트롤러(50)는, 저장 용기(F)의 이송원인 선반 존(Z)으로서, 재고 선반과 빈 선반을 포함하는 선반 존(Z5~Z7) 중 일련 번호가 가장 큰 선반 존(Z7)을 선택한다. 스토커 컨트롤러(50)는, 저장 용기(F)의 이송처인 선반 존(Z)으로서, 해당 선반 존(Z5~Z7) 중 일련 번호가 가장 작은 선반 존(Z5)을 선택한다. 스토커 컨트롤러(50)는, 선택한 선반 존(Z7)의 퍼지 선반(7A)으로부터 선반 존(Z5)의 퍼지 선반(7A)으로, 크레인(9)에 의해 저장 용기(F)를 이송시킨다(도 4의 (b) 및 도 4의 (c) 참조).
[0048] 그 결과, 도 4의 (c)에 나타내어진 바와 같이, 선반 그룹(G2)에 있어서는, 전체가 빈 선반이 되는 빈 선반 존(ZE)인 선반 존(Z7)이 형성된다. 그 후, 퍼지 컨트롤러(70)는, 빈 선반 존(ZE)에 대응하는 퍼지 유닛(30)의 주관(41)을 흐르는 퍼지 가스의 공급 유량이 0이 되도록 MFC(43)를 조정하여, 빈 선반 존(ZE)에 포함되는 모든 퍼지 선반(7A)으로의 퍼지 가스의 공급을 정지시킨다. 이상의 예에 있어서, 선반 그룹(G2)이, 소정 선반 수 이상의 빈 선반이 점재하는 하나의 선반 그룹을 구성한다.
[0049] ［그룹 간 선반 교체 제어］
다음으로, 그룹 간 선반 교체 제어에 대해 예시한다. 여기서의 예에서는, 저장 용기(F)의 이송원인 선반 그룹(G)으로서 선반 그룹(G2)이 선택되며, 저장 용기(F)의 이송처인 선반 그룹(G)으로서 선반 그룹(G1)이 선택되어 있는 경우를 예시한다.
[0050] 스토커 컨트롤러(50)는, 퍼지 스토커(1)의 오퍼레이션 모드가 메인터넌스 중일 때에, 그룹 간 선반 교체 제어를 수동 실행시키는 실시 트리거가 입력장치(80)를 통해 입력되었을 경우, 선반 그룹(G1, G2) 전체에 있어서, 소정 선반 수 이상의 빈 선반이 점재하는지 여부를 판정한다. 스토커 컨트롤러(50)는, 소정 선반 수 이상의 빈 선반이 점재하는지 여부의 판정으로서, 재고 선반과 빈 선반을 포함하는 선반 존(Z)이 선반 그룹(G1, G2) 각각에서 1개 이상 존재하며, 또한, 1개 이상의 해당 선반 존(Z)에 포함되는 빈 선반의 합계가 소정 선반 수 이상인지 여부를 판정한다.
[0051] 도 5의 (a)에 나타내어진 바와 같이, 선반 그룹(G1)에서는, 선반 존(Z3)이 재고 선반과 빈 선반을 포함하고 있다. 선반 그룹(G2)에서는, 선반 존(Z6)이 재고 선반과 빈 선반을 포함하고 있다. 선반 존(Z3, Z6)에 포함되는 빈 선반의 합계가 소정 선반 수(도시하는 예에서는 7개) 이상이다. 따라서, 스토커 컨트롤러(50)는, 선반 그룹(G1, G2)을 대상으로 그룹 간 선반 교체 제어를 실행한다.
[0052] 즉, 스토커 컨트롤러(50)는, 저장 용기(F)의 이송원인 선반 존(Z)으로서, 선반 그룹(G2)에 있어서의 재고 선반과 빈 선반을 포함하는 선반 존(Z) 중 일련 번호가 가장 큰 선반 존(Z)을 선택한다. 여기에서는, 선반 존(Z6)을 이송원으로서 선택한다. 스토커 컨트롤러(50)는, 저장 용기(F)의 이송처인 선반 존(Z)으로서, 선반 그룹(G1)에 있어서의 재고 선반과 빈 선반을 포함하는 선반 존(Z) 중 일련 번호가 가장 작은 선반 존(Z)을 선택한다. 여기에서는, 선반 존(Z3)을 이송처로서 선택한다. 스토커 컨트롤러(50)는, 선반 그룹(G2)의 선반 존(Z6)의 퍼지 선반(7A)으로부터, 선반 그룹(G1)의 선반 존(Z3)의 퍼지 선반(7A)으로, 크레인(9)에 의해 저장 용기(F)를 이송시킨다(도 5의 (a) 및 도 5의 (b) 참조).
[0053] 그 결과, 도 5의 (b)에 나타내어진 바와 같이, 선반 그룹(G2)에 있어서는, 전체가 빈 선반이 되는 빈 선반 존(ZE)인 선반 존(Z6)이 형성된다. 그 후, 퍼지 컨트롤러(70)는, 빈 선반 존(ZE)에 대응하는 퍼지 유닛(30)의 주관(41)을 흐르는 퍼지 가스의 공급 유량이 0이 되도록 MFC(43)를 조정하여, 빈 선반 존(ZE)에 포함되는 모든 퍼지 선반(7A)으로의 퍼지 가스의 공급을 정지시킨다. 이상의 예에 있어서, 선반 그룹(G1, G2)이 제1 및 제2 선반 그룹을 구성한다.
[0054] 이상, 퍼지 스토커(1)에서는, 선반 교체 제어를 실행함으로써, 빈 선반 존(ZE)이 새롭게 형성된다. 빈 선반 존(ZE) 내에 있어서의 복수의 퍼지 선반(7A)의 전체가 빈 선반이기 때문에, 해당 복수의 퍼지 선반(7A)으로의 퍼지 가스의 공급을 필요없게 할 수가 있다. 따라서, MFC(43)는, 빈 선반 존(ZE)에 포함되는 복수의 퍼지 선반(7A)으로의 퍼지 가스의 공급 유량을 저하시킬 수 있게 된다. 따라서, 퍼지 스토커(1)에 의하면, 퍼지 가스의 사용량을 억제할 수 있게 된다.
[0055] 퍼지 스토커(1)에서는, 스토커 컨트롤러(50)는, 재고 선반과 빈 선반을 포함하는 선반 존(Z)이 2개 이상 존재하고, 또한, 이들 2개 이상의 선반 존(Z)에 포함되는 빈 선반의 합계가 소정 선반 수 이상인 경우, 소정 선반 수 이상의 빈 선반이 퍼지 스토커(1) 내에 점재하는 것으로 하고, 선반 교체 제어를 실행한다. 이러한 구성에 의하면, 소정 선반 수 이상의 빈 선반이 퍼지 스토커(1) 내에 점재하는 것을 효과적으로 판단할 수가 있다.
[0056] 퍼지 스토커(1)는, MFC(43)에 의한 퍼지 가스의 유량 조정을 제어하는 퍼지 컨트롤러(70)를 제어부(10)에 구비한다. 퍼지 컨트롤러(70)는, 스토커 컨트롤러(50)로 선반 교체 제어를 실행한 경우, 이 선반 교체 제어에 의해 새롭게 형성된 빈 선반 존(ZE)에 포함되는 복수의 퍼지 선반(7A)으로의 퍼지 가스의 공급을 정지시킨다. 이러한 구성에 의하면, 퍼지 가스의 사용량을 한층 억제할 수 있게 된다.
[0057] 퍼지 스토커(1)에서는, 스토커 컨트롤러(50)는, 크레인(9)에 의해, 새롭게 입고하는 저장 용기(F)를, 복수의 선반 존(Z) 중 재고 선반을 포함하는 선반 존(Z)의 빈 선반으로 우선적으로 입고시킨다. 이 구성에 의하면, 퍼지 스토커(1) 내에 빈 선반이 점재하기 어렵도록 저장 용기(F)를 새롭게 입고할 수 있다. 선반 교체 제어의 실행을 최소한으로 할 수가 있다. 크레인(9)의 동작 빈도, 나아가서는 메인터넌스 빈도를 억제할 수가 있다.
[0058] 퍼지 스토커(1)에서는, 스토커 컨트롤러(50)는, 선반 그룹(G2) 내에 소정 선반 수 이상의 빈 선반이 점재하는 경우, 선반 그룹(G2) 내에 빈 선반 존(ZE)이 새롭게 형성되도록, 선반 그룹(G2)의 복수의 퍼지 선반(7A) 사이에서 저장 용기(F)를 크레인(9)에 의해 이송시키는 그룹 내 선반 교체 제어를 실행한다. 이로써, 복수의 선반 그룹(G) 사이에서 저장 용기(F)를 이송하는 경우에 비해, 크레인(9)의 동작량을 억제할 수가 있다. 크레인(9)이 과도하게 움직여 크레인(9)의 메인터넌스 빈도가 증가하는 것을 억제할 수가 있다.
[0059] 퍼지 스토커(1)에서는, 스토커 컨트롤러(50)는, 선반 그룹(G1, G2) 내에 소정 선반 수 이상의 빈 선반이 점재할 경우, 선반 그룹(G2) 내에 빈 선반 존(ZE)이 새롭게 형성되도록, 선반 그룹(G2)의 퍼지 선반(7A)으로부터 선반 그룹(G1)의 퍼지 선반(7A)으로 크레인(9)에 의해 저장 용기(F)를 이송시키는 그룹 간 선반 교체 제어를 실행한다. 이로써, 하나의 선반 그룹(G) 내에 있어서의 복수의 퍼지 선반(7A) 사이에서 저장 용기(F)를 이송하는 경우에 비해, 빈 선반 존(ZE)이 형성되기 쉬워진다.
[0060] 퍼지 스토커(1)에서는, 스토커 컨트롤러(50)는, 설정 일시, 저장 용기(F)의 출고 시, 및, 오퍼레이터에 의한 실시 트리거의 입력 시 중 적어도 어느 것의 실행 개시 타이밍에 있어서, 소정 선반 수 이상의 빈 선반이 퍼지 스토커(1) 내에 점재할 경우, 선반 교체 제어를 실행한다. 이 구성에 의하면, 효과적인 타이밍에 선반 교체 제어를 실행할 수 있게 된다.
[0061] 이상, 일 실시형태에 대해 설명하였으나, 본 발명의 일 측면은 상기 실시형태로 한정되지 않는다. 상기 실시형태에서는, 발명의 취지를 벗어나지 않는 범위에서 다양한 변경이 가능하다.
[0062] 상기 실시형태에서는, 스토커 컨트롤러(50)는, 선반 교체 제어에 있어서의 저장 용기(F)의 이송처인 선반 존(Z)을 소정 순서로 변경해도 된다. 예컨대, 스토커 컨트롤러(50)는, 일정 시간마다, 선반 교체 제어에 있어서의 저장 용기(F)의 이송처인 선반 존(Z)을, 복수의 선반 존(Z) 중에서 일련 번호가 작은 순으로 선택되도록 변경해도 된다. 또 예컨대, 스토커 컨트롤러(50)는, 일정 시간마다, 선반 교체 제어에 있어서의 저장 용기(F)의 이송처인 선반 존(Z)을, 복수의 선반 존(Z) 중에서 OHT 포트(21) 및 메뉴얼 포트(23)에 가까운 순으로 선택되도록 변경해도 된다. 이 구성에 의하면, 일부 퍼지 선반(7A)의 사용 빈도가 높아지는 것을 억제할 수 있어, 메인터넌스 작업의 빈도를 억제할 수가 있다. 즉, 퍼지 선반(7A)의 사용률의 편향을 해소(사용률의 균등화)하여, 일부 퍼지 선반(7A)에서 보수 작업의 발생 빈도가 증가하는 것을 억제할 수가 있다.
[0063] 상기 실시형태에서는, 스토커 컨트롤러(50)는, 입력장치(80)에 의해 입력된 오퍼레이터의 조작 입력(조작 입력 정보)에 기초하여, 선반 교체 제어에 있어서의 저장 용기(F)의 이송처인 선반 존(Z)을 선택해도 된다. 이 경우, 선반 교체 제어에 있어서는, 선택된 선반 존(Z)에 포함되는 빈 선반으로서의 퍼지 선반(7A)으로, 크레인(9)에 의해 저장 용기(F)를 이송시킨다. 이 구성에 의하면, 퍼지 스토커(1) 내에 있어서의 퍼지 선반(7A)의 사용률을 조작할 수 있게 된다.
[0064] 상기 실시형태에서는, 스토커 컨트롤러(50)는, 저장 용기(F)를 새롭게 입고하는 선반 존(Z)을, 복수의 선반 존(Z) 내에 있어서 자동으로 로테이션하도록 변경해도 된다. 이 구성에 의하면, 퍼지 선반(7A)의 사용률의 편향을 해소하여, 일부 퍼지 선반(7A)에서 보수 작업의 발생 빈도가 증가하는 것을 억제할 수가 있다.
[0065] 상기 실시형태에서는, 스토커 컨트롤러(50)는, 선반 교체 제어에 있어서의 저장 용기(F)의 이송처인 선반 존(Z)과 이송원인 선반 존(Z)을, 크레인(9)의 반송 횟수 및 반송 거리가 가장 적어지도록 선택해도 된다. 이 구성에 의하면, 크레인(9)의 동작량을 억제할 수가 있다. 크레인(9)이 과도하게 움직여 크레인(9)의 메인터넌스 빈도가 증가하는 것을 억제할 수가 있다.
[0066] 상기 실시형태에서는, 스토커 컨트롤러(50)는, 그룹 간 선반 교체 제어에 있어서, 이송처인 선반 그룹(G)보다 우선도가 낮은 선반 그룹(G)을, 이송원인 선반 그룹(G)으로서 선택해도 된다. 마찬가지로, 그룹 간 선반 교체 제어에 있어서, 이송원인 선반 그룹(G)보다 우선도가 높은 선반 그룹(G)을, 이송처인 선반 그룹(G)으로서 선택해도 된다. 우선도는, 각종 조건에 따라 적절히 설정할 수 있다.
[0067] 상기 실시형태에서는, 선반 그룹(G)의 수는 특별히 한정되지 않으며, 1개 또는 복수이면 된다. 마찬가지로, 선반 존(Z)의 수는 특별히 한정되지 않고, 복수이면 된다. 선반 존(Z)이 포함하는 퍼지 선반(7A)의 수는 특별히 한정되지 않으며, 복수이면 된다.
[0068] 1: 퍼지 스토커
7A: 퍼지 선반
9: 크레인(반송 장치)
10: 제어부
43: MFC(유량 조정부)
50: 스토커 컨트롤러
60: 크레인 컨트롤러
70: 퍼지 컨트롤러
F: 저장 용기
G: 선반 그룹
G1: 선반 그룹(제1 선반 그룹)
G2: 선반 그룹(제2 선반 그룹)
Z, Z1~Z7: 선반 존(zone)
ZE: 빈 선반 존

Claims (9)

  1. 재치(載置)된 저장 용기의 내부를 퍼지 가스(purge gas)에 의해 퍼지 처리하는 복수의 퍼지 선반을 포함하는 선반 존(zone)을 복수로 갖는 퍼지 스토커(purge stocker)로서,
    복수의 상기 퍼지 선반으로의 상기 퍼지 가스의 공급 유량을 상기 선반 존 마다 조정하는 유량 조정부와,
    상기 저장 용기를 반송(搬送)하는 반송 장치와,
    상기 반송 장치에 의한 상기 저장 용기의 반송을 제어하는 제어부를 구비하며,
    상기 제어부는,
    하나의 상기 선반 존에 포함되는 상기 퍼지 선반의 선반 수인 소정 선반 수 이상의 빈 선반(空棚)이 상기 퍼지 스토커 내에 점재(點在)하는 경우, 포함되는 복수의 상기 퍼지 선반의 전체가 빈 선반인 빈 선반 존이 새롭게 형성되도록, 상기 반송 장치에 의해 상기 저장 용기를 이송시키는 선반 교체 제어를 실행하는,
    퍼지 스토커.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 제어부는,
    상기 저장 용기가 이미 재치되어 있는 상기 퍼지 선반과 빈 선반을 포함하는 상기 선반 존이 2개 이상 존재하고, 또한, 이들 2개 이상의 선반 존에 포함되는 빈 선반의 합계가 상기 소정 선반 수 이상인 경우, 상기 소정 선반 수 이상의 빈 선반이 상기 퍼지 스토커 내에 점재하는 것으로 하여, 상기 선반 교체 제어를 실행하는,
    퍼지 스토커.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 제어부는, 상기 선반 교체 제어를 실행한 경우, 이 선반 교체 제어에 의해 새롭게 형성된 상기 빈 선반 존에 포함되는 복수의 상기 퍼지 선반으로의 상기 퍼지 가스의 공급을 정지시키는,
    퍼지 스토커.
  4. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 제어부는,
    오퍼레이터(operator)의 조작 입력에 기초하여, 상기 선반 교체 제어에 있어서의 상기 저장 용기의 이송처(移送先)인 상기 선반 존을 선택하고,
    상기 선반 교체 제어에 있어서는, 선택된 상기 선반 존에 포함되는 상기 퍼지 선반으로 상기 반송 장치에 의해 상기 저장 용기를 이송시키는,
    퍼지 스토커.
  5. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 제어부는, 상기 선반 교체 제어에 있어서의 상기 저장 용기의 이송처인 상기 선반 존을 소정 순서로 변경하는,
    퍼지 스토커.
  6. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 제어부는, 상기 반송 장치에 의해, 새롭게 입고하는 상기 저장 용기를, 복수의 상기 선반 존 중 상기 저장 용기가 이미 재치되어 있는 상기 퍼지 선반을 포함하는 선반 존의 빈 선반으로, 우선적으로 입고시키는,
    퍼지 스토커.
  7. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    인접하는 복수의 상기 선반 존을 포함하는 선반 그룹을 복수로 가지고,
    상기 제어부는,
    어느 하나의 상기 선반 그룹 내에 상기 소정 선반 수 이상의 빈 선반이 점재하는 경우, 그 하나의 선반 그룹 내에 상기 빈 선반 존이 새롭게 형성되도록, 그 하나의 선반 그룹 내의 복수의 상기 퍼지 선반 사이에서 상기 반송 장치에 의해 상기 저장 용기를 이송시키는,
    퍼지 스토커.
  8. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    인접하는 복수의 상기 선반 존을 포함하는 선반 그룹을 복수로 가지고,
    상기 제어부는,
    어느 2개의 상기 선반 그룹인 제1 및 제2 선반 그룹 내에 상기 소정 선반 수 이상의 빈 선반이 점재하는 경우, 상기 제1 및 제2 선반 그룹 중의 어느 일방(一方) 내에 상기 빈 선반 존이 새롭게 형성되도록, 상기 제1 및 제2 선반 그룹 중의 어느 일방의 상기 퍼지 선반으로부터 어느 타방(他方)의 상기 퍼지 선반으로 상기 반송 장치에 의해 상기 저장 용기를 이송시키는,
    퍼지 스토커.
  9. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 제어부는, 설정 일시, 상기 저장 용기의 출고 시, 및 오퍼레이터에 의한 실시 트리거(trigger)의 입력 시 중 적어도 어느 것의 실행 개시 타이밍에 있어서, 상기 소정 선반 수 이상의 빈 선반이 상기 퍼지 스토커 내에 점재하는 경우, 상기 선반 교체 제어를 실행하는,
    퍼지 스토커.
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