JP6690740B2 - パージストッカ - Google Patents

Description

本発明は、パージストッカに関する。

従来、載置された格納容器の内部をパージガスによってパージ処理する複数のパージ棚と、パージガスの流量調整を行う流量調整部と、格納容器を搬送する搬送装置と、搬送装置による格納容器の搬送を制御する制御部と、を備えたパージストッカが知られている（例えば、特許文献１参照）。このようなパージストッカは、複数のパージ棚を含む棚ゾーンを複数有している。流量調整部は、複数のパージ棚へのパージガスの供給流量を棚ゾーン毎に調整している。

国際公開第２０１５／１９４２５５号

上述したようなパージストッカでは、例えばランニングコストを低減するために、パージガスの使用量を抑えることが望まれる。

そこで、本発明の一側面は、パージガスの使用量を抑えることが可能なパージストッカを提供することを目的とする。

本発明の一側面に係るパージストッカは、載置された格納容器の内部をパージガスによってパージ処理する複数のパージ棚を含む棚ゾーンを複数有するパージストッカであって、複数のパージ棚へのパージガスの供給流量を棚ゾーン毎に調整する流量調整部と、格納容器を搬送する搬送装置と、搬送装置による格納容器の搬送を制御する制御部と、を備え、制御部は、１つの棚ゾーンに含まれるパージ棚の棚数である所定棚数以上の空棚が点在する場合、含まれる複数のパージ棚の全てが空棚である空棚ゾーンが新たに形成されるように、搬送装置により格納容器を移送させる棚入替制御を実行する。

この構成のパージストッカでは、棚入替制御を実行することにより、空棚ゾーンが新たに形成される。この空棚ゾーン内における複数のパージ棚の全てが空棚であるため、当該複数のパージ棚へのパージガスの供給を不要にできる。これにより、流量調整部は、空棚ゾーンに含まれる複数のパージ棚に対するパージガスの供給流量を低下することが可能となる。したがって、パージガスの使用量を抑えることが可能となる。

本発明の一側面に係るパージストッカでは、制御部は、格納容器が既に載置されているパージ棚と空棚とを含む棚ゾーンが２つ以上存在し、且つ、これら２つ以上の棚ゾーンに含まれる空棚の合計が所定棚数以上の場合、所定棚数以上の空棚が点在するとして、棚入替制御を実行してもよい。この構成によれば、所定棚数以上の空棚が点在することを効果的に判断できる。

本発明の一側面に係るパージストッカでは、制御部は、棚入替制御を実行した場合、この棚入替制御によって新たに形成された空棚ゾーンに含まれる複数のパージ棚へのパージガスの供給を停止させてもよい。この構成によれば、パージガスの使用量を一層抑えることが可能となる。

本発明の一側面に係るパージストッカでは、制御部は、オペレータの操作入力に基づいて、棚入替制御における格納容器の移送先の棚ゾーンを選択し、棚入替制御においては、選択された棚ゾーンに含まれるパージ棚へ搬送装置により格納容器を移送させてもよい。この構成によれば、パージストッカ内におけるパージ棚の使用率を操作することが可能となる。

本発明の一側面に係るパージストッカでは、制御部は、棚入替制御における格納容器の移送先の棚ゾーンを所定順序で変更してもよい。この構成によれば、一部のパージ棚の使用頻度が高まるのを抑制でき、メンテナンス作業の頻度を抑えることができる。

本発明の一側面に係るパージストッカでは、制御部は、搬送装置により、新たに入庫する格納容器を、複数の棚ゾーンのうち格納容器が既に載置されているパージ棚を含む棚ゾーンの空棚へ、優先的に入庫させてもよい。この構成によれば、パージストッカ内に空棚が点在し難いように格納容器を新たに入庫でき、棚入替制御の実行を抑制できるため、搬送装置の動作頻度を抑えることができる。

本発明の一側面に係るパージストッカは、隣接する複数の棚ゾーンを含む棚グループを複数有し、制御部は、ある１つの棚グループ内に所定棚数以上の空棚が点在する場合、この１つの棚グループ内に空棚ゾーンが新たに形成されるように、この１つの棚グループ内の複数のパージ棚間で搬送装置により格納容器を移送させてもよい。この構成によれば、複数の棚グループ間で格納容器を移送する場合に比べて、搬送装置の動作量を抑えることができる。

本発明の一側面に係るパージストッカは、隣接する複数の棚ゾーンを含む棚グループを複数有し、制御部は、ある２つの棚グループである第１及び第２棚グループ内に所定棚数以上の空棚が点在する場合、第１及び第２棚グループの何れか一方内に空棚ゾーンが新たに形成されるように、第１及び第２棚グループの何れか一方のパージ棚から何れか他方のパージ棚へ搬送装置により格納容器を移送させてもよい。この構成によれば、１つの棚グループ内における複数のパージ棚間で格納容器を移送する場合に比べて、空棚ゾーンが形成されやすくなる。

本発明の一側面に係るパージストッカでは、制御部は、設定日時、格納容器の出庫時、及び、オペレータによる実施トリガーの入力時の少なくとも何れかの実行開始タイミングにおいて、所定棚数以上の空棚が点在する場合、棚入替制御を実行してもよい。この構成によれば、効果的なタイミングで棚入替制御を実行することが可能となる。

本発明の一側面によれば、パージガスの使用量を抑えることが可能なパージストッカを提供することが可能となる。

図１は、一実施形態に係るパージストッカを示す側面図である。 図２は、図１のパージストッカのパージユニットの構成を示す概略図である。 図３は、図１のパージストッカの制御系の構成を示すブロック図である。 図４（ａ）は、図１のパージストッカにおいて実施されるグループ内棚入替制御を説明する図である。図４（ｂ）は、図１のパージストッカにおいて実施されるグループ内棚入替制御を説明する図である。図４（ｃ）は、図１のパージストッカにおいて実施されるグループ内棚入替制御を説明する図である。 図５（ａ）は、図１のパージストッカにおいて実施されるグループ間棚入替制御を説明する図である。図５（ｂ）は、図１のパージストッカにおいて実施されるグループ間棚入替制御を説明する図である。

以下、図面を参照して一実施形態について説明する。図面の説明において、同一要素には同一符号を付し、重複する説明を省略する。図面の寸法比率は、説明の対象と必ずしも一致していない。

図１に示されるように、パージストッカ１は、格納容器Ｆの内部をパージガスによってパージ処理すると共に、複数の格納容器Ｆを保管する保管庫としての機能を有している。格納容器Ｆは、半導体ウェハ又はガラス基板などの被格納物が格納されたレチクルポッド又はＦＯＵＰ（Front Opening Unified Pod）などである。パージガスとしては、例えば、窒素ガス又は空気が用いられる。パージストッカ１は、例えばクリーンルームに設けられる。パージストッカ１は、パーティション３、ラック７、クレーン（搬送装置）９、ＯＨＴ（Overhead Hoist Transfer）ポート２１、及びマニュアルポート２３を主に備えている。

パーティション３は、パージストッカ１のカバー板である。パーティション３の内側には、格納容器Ｆを保管する保管領域が形成されている。ラック７は、格納容器Ｆを保管する部分である。ラック７は、当該保管領域内に１又は複数列（ここでは、２列）設けられている。各ラック７は、所定方向ｘに延在している。隣り合う２つのラック７，７は、ｙ方向に対向するように平行に配置されている。各ラック７には、所定方向ｘ及び鉛直方向ｚに沿って、格納容器Ｆを載置して保管するパージ棚７Ａが複数形成されている。パージ棚７Ａは、鉛直方向ｚに沿って複数並んで配置され、且つ、所定方向ｘに沿って複数並んで配置されている。

クレーン９は、格納容器Ｆをパージ棚７Ａに対して出し入れをすると共に、格納容器Ｆをパージ棚７Ａ間で移動させる搬送装置である。クレーン９は、対向するラック７，７に挟まれた領域に配置されている。クレーン９は、ラック７が延在する所定方向ｘに沿って、床面に配置された走行レール（図示せず）上を移動する。クレーン９は、鉛直方向ｚに延びるガイドレール９Ａと、ガイドレール９Ａに沿って昇降可能な荷台９Ｂと、を有する。クレーン９による格納容器Ｆの搬送は、後述の制御部１０を構成するクレーンコントローラ６０によって制御される。

パージストッカ１への格納容器Ｆの出し入れは、ＯＨＴポート２１及びマニュアルポート２３から行われる。ＯＨＴポート２１は、天井に敷設された走行レール２５を走行する天井走行車（ＯＨＴ）２７とパージストッカ１との間で格納容器Ｆを受け渡しする部分である。ＯＨＴポート２１は、格納容器Ｆを搬送するコンベヤ２１Ａを有している。マニュアルポート２３は、作業者とパージストッカ１との間で格納容器Ｆを受け渡しする部分である。マニュアルポート２３は、格納容器Ｆを搬送するコンベヤ２３Ａを有している。

図２に示されるように、パージストッカ１は、複数のパージユニット３０を備えている。複数のパージユニット３０のそれぞれは、Ｎ（複数）個のパージ棚７Ａと、Ｎ本の供給管３３と、Ｎ本の供給管３３が接続される主管４１と、主管４１におけるパージガスの流量を調整するＭＦＣ（Mass Flow Controller）（流量調整部）４３と、を含んで構成されている。各パージユニット３０には、パージガス源４７からパージガスが供給される。パージガス源４７は、パージガスを貯蔵するタンクである。

パージ棚７Ａには、格納容器Ｆが載置される。パージ棚７Ａは、載置された格納容器Ｆの内部をパージガスによってパージ処理する。各パージ棚７Ａには、格納容器Ｆが載置されていることを検知する検知部３２が設けられている。検知部３２としては、光センサ又は接触センサなどを用いることができる。検知部３２は、パージ棚７Ａに格納容器Ｆが載置されていることを検知すると、その旨の情報である容器載置情報を後述の制御部１０を構成するパージコントローラ７０に出力する（図３参照）。なお、検知部３２は無くてもよい。

以後の説明では、１つのパージユニット３０に含まれる一群のパージ棚７Ａを「棚ゾーン」と称する。ここでは、図４に例示されるように、鉛直方向に沿って一列に並ぶ一連のパージ棚７Ａを、１つの棚ゾーンＺとしている。隣接する複数の棚ゾーンＺ（換言すると、グループ化して成る一群の棚ゾーンＺ）を「棚グループＧ」と称する。すなわち、パージストッカ１は複数の棚グループＧを備え、複数の棚グループＧのそれぞれは複数の棚ゾーンＺを備え、複数の棚ゾーンＺのそれぞれは複数のパージ棚７Ａを備える。

図２に戻り、供給管３３は、パージ棚７Ａに載置された格納容器Ｆにパージガスを供給する。供給管３３の先端は、ノズルとなっている。供給管３３の先端が格納容器Ｆの供給口に密着されることによって、格納容器Ｆの内部にパージガスが供給される。供給管３３には、パーティクルフィルタ３５と、オリフィス３７と、が設けられている。パーティクルフィルタ３５は、塵埃（パーティクル）を捕集可能なフィルタである。パーティクルフィルタ３５は、必要に応じて設けられていればよい。オリフィス３７は、主管４１から供給されるパージガスの流量が複数の供給管３３同士で等しくなるように調整する。

主管４１は、Ｎ本の供給管３３が接続されると共に、Ｎ本の供給管３３にパージガスを供給する。主管４１には、ＭＦＣ４３が設けられている。ＭＦＣ４３は、主管４１を流れるパージガスの質量流量を計測し、流量制御を行う。つまり、各パージユニット３０のＭＦＣ４３のそれぞれは、複数のパージ棚７Ａへのパージガスの供給流量を棚ゾーンＺ毎に調整する。ＭＦＣ４３における流量制御は、後述の制御部１０を構成するパージコントローラ７０によって制御される。

パージストッカ１は、図３に示されるように、ストッカコントローラ５０と、クレーンコントローラ６０と、パージコントローラ７０と、を含む制御部１０を備えている。パージストッカ１は、入力装置８０を備えている。各コントローラ５０，６０，７０は、例えば、ＣＰＵ（Central Processing Unit）、ＲＯＭ（Read Only Memory）、ＲＡＭ（Random Access Memory）などからなる電子制御ユニットである。各コントローラ５０，６０，７０は、ＲＯＭに記憶されているプログラムをＲＡＭにロードし、ＣＰＵで実行することで、各種の制御を実行する。なお、各コントローラ５０，６０，７０のそれぞれが複数の電子制御ユニットから構成されていてもよい。コントローラ５０，６０，７０の少なくとも２つが一体の電子制御ユニットで構成されていてもよい。

制御部１０を構成するストッカコントローラ５０は、パージストッカ１の全体を制御する。ストッカコントローラ５０は、クレーンコントローラ６０及びパージコントローラ７０に接続されている。ストッカコントローラ５０は、クレーンコントローラ６０及びパージコントローラ７０を統制する。ストッカコントローラ５０は、上位コントローラ９０から入力された入庫予定情報（入庫させる予定の格納容器Ｆに関する情報）、及び、入力装置８０で入力されたオペレータの操作入力に応じた操作入力情報の少なくとも何れかを含む情報に基づいて、クレーンコントローラ６０へ搬送指令を出力する。

ストッカコントローラ５０は、所定棚数（１つの棚ゾーンＺに含まれるパージ棚７Ａの棚数）以上の空棚がパージストッカ１内に点在する場合、棚入替制御を実行する。所定棚数は、予め設定されている値である。ここでの所定棚数は、鉛直方向に一列に並ぶ一連のパージ棚７Ａの数である。空棚とは、格納容器Ｆが載置されていないパージ棚７Ａである。棚入替制御は、含まれる複数のパージ棚７Ａの全てが空棚である空棚ゾーンが新たに形成されるように、クレーン９により格納容器Ｆを移送させる制御である。棚入替制御は、デフラグ（デフラグメンテーション）制御とも称される。ここでのデフラグは、格納容器Ｆの再配置の意味を有する。

ストッカコントローラ５０は、設定日時、格納容器Ｆの出庫時、及び、オペレータによる実施トリガーの入力時の少なくとも何れかの実行開始タイミングにおいて、所定棚数以上の空棚がパージストッカ１内に点在する場合に、棚入替制御を実行する。実行開始タイミングは、入力装置８０を介してオペレータから予め選択される。設定日時は、入力装置８０を介してオペレータから予め入力又は選択されて設定された日付及び時刻である。例えば設定日時としては、毎日あるいは毎週Ａ曜日のＢ時が挙げられる（但し、Ａは任意の曜日、Ｂは任意の時刻）。オペレータによる実施トリガーの入力時とは、棚入替制御を実施させる旨の指示入力である実施トリガーが、入力装置８０を介してオペレータから入力されたときである。設定日時における棚入替制御の実行は、棚入替制御の自動実行を構成する。オペレータによる実施トリガー入力時の棚入替制御の実行は、棚入替制御の手動実行を構成する。

ストッカコントローラ５０は、格納容器Ｆが既に載置されているパージ棚７Ａである在庫棚（以下、単に「在庫棚」という）と空棚とを含む棚ゾーンＺが２つ以上存在し、且つ、これら２つ以上の棚ゾーンＺに含まれる空棚の合計が所定棚数以上の場合に、所定棚数以上の空棚がパージストッカ１内に点在するとして、棚入替制御を実行する。

ストッカコントローラ５０は、棚入替制御における格納容器Ｆの移送元の棚ゾーンＺとして、在庫棚と空棚とを含む複数の棚ゾーンＺのうちの通し番号が最も大きい棚ゾーンＺを選択する。通し番号とは、複数の棚ゾーンＺに一続きに付された番号である。ストッカコントローラ５０は、棚入替制御において、選択した棚ゾーンＺのパージ棚７Ａからクレーン９により格納容器Ｆを移送させる。

ストッカコントローラ５０は、棚入替制御における格納容器Ｆの移送先の棚ゾーンＺとして、在庫棚と空棚とを含む複数の棚ゾーンＺのうちの通し番号が最も小さい棚ゾーンＺを選択する。ストッカコントローラ５０は、棚入替制御において、選択した棚ゾーンＺの空棚としてのパージ棚７Ａへクレーン９により格納容器Ｆを移送させる。

ストッカコントローラ５０は、ある１つの棚グループＧ内に所定棚数以上の空棚が点在する場合、グループ内棚入替制御を実行する。グループ内棚入替制御は、この１つの棚グループ内に空棚ゾーンが新たに形成されるように、この１つの棚グループ内の複数のパージ棚７Ａ間でクレーン９により格納容器Ｆを移送させる制御である（詳しくは、後述）。

ストッカコントローラ５０は、入力装置８０により入力されたオペレータの操作入力に基づいて、グループ内棚入替制御の対象となる１つの棚グループを選択する。ストッカコントローラ５０は、この選択された１つの棚グループに含まれるパージ棚７Ａ間にてクレーン９により格納容器Ｆを移送させるグループ内棚入替制御を実行する。

ストッカコントローラ５０は、例えばパージストッカ１のオペレーションモードがメンテナンス中のときにおいて、ある２つの棚グループＧである第１及び第２棚グループ内に所定棚数以上の空棚が点在する場合、グループ間棚入替制御を実行する。グループ間棚入替制御は、第１及び第２棚グループの何れか一方内に空棚ゾーンが新たに形成されるように、第１及び第２棚グループの何れか一方のパージ棚７Ａから何れか他方のパージ棚７Ａへクレーン９により格納容器Ｆを移送させる制御である（詳しくは、後述）。

ストッカコントローラ５０は、入力装置８０により入力されたオペレータの操作入力に基づいて、グループ間棚入替制御における格納容器Ｆの移送元の棚グループＧと移送先の棚グループＧとの少なくとも何れかを選択する。ストッカコントローラ５０は、移送元の棚グループＧが選択された場合、選択された当該棚グループＧに含まれるパージ棚７Ａからクレーン９により格納容器Ｆを移送させるグループ間棚入替制御を実行する。ストッカコントローラ５０は、移送先の棚グループＧが選択された場合、選択された当該棚グループＧに含まれる空棚としてのパージ棚７Ａへクレーン９により格納容器Ｆを移送させるグループ間棚入替制御を実行する。

ストッカコントローラ５０は、格納容器Ｆの入庫時において、クレーン９により、複数の棚ゾーンＺのうち在庫棚を含む棚ゾーンＺの空棚へ当該格納容器Ｆを優先的に入庫させる。

クレーンコントローラ６０は、ストッカコントローラ５０からの搬送指令に基づいてクレーン９の動作を制御し、クレーン９による格納容器Ｆの搬送を制御する。パージコントローラ７０は、ＭＦＣ４３によるパージガスの流量調整を制御し、複数のパージ棚７Ａへのパージガスの供給流量を棚ゾーンＺ毎に調整する。本実施形態のパージコントローラ７０は、ストッカコントローラ５０で棚入替制御を実行した場合、この棚入替制御によって新たに形成された空棚ゾーンに含まれる複数のパージ棚７Ａへのパージガスの供給を減少ないし停止させる。

入力装置８０は、オペレータが各種の操作入力を行う装置である。入力装置８０としては、例えばタッチパネル、キーボード及びマウスの少なくとも何れかが挙げられる。入力装置８０においては、実行開始タイミングの選択入力、設定日時の入力、棚入替制御を手動実行させる実施トリガーの入力、棚入替制御における格納容器Ｆの移送先の棚ゾーンＺの入力、グループ内棚入替制御の対象となる棚グループＧの入力、及び、グループ間棚入替制御における移送元ないし移送先の棚グループＧの入力のうち、少なくとも何れかが行われる。入力装置８０は、当該入力に関する操作入力情報をストッカコントローラ５０へ送信する。

次に、棚入替制御の一例について、図４及び図５を参照して説明する。図４及び図５では、説明の便宜上、２つの棚グループＧ１，Ｇ２を備えたパージストッカ１を示す。棚グループＧ１は、３つの棚ゾーンＺ１〜Ｚ３を備え、棚グループＧ２は、４つの棚ゾーンＺ４〜Ｚ７を備える。棚ゾーンＺ１〜Ｚ７のそれぞれは、７つのパージ棚７Ａを備える。

［グループ内棚入替制御］
まず、グループ内棚入替制御について例示する。この例では、グループ内棚入替制御の対象となる棚グループＧとして棚グループＧ１，Ｇ２が選択されており、オペレータにより設定された設定日時にグループ内棚入替制御が実行される場合を例示する。

ストッカコントローラ５０は、設定された設定日時になったとき、棚グループＧ１，Ｇ２それぞれにおいて、所定棚数以上の空棚が点在するか否かを判定する。ストッカコントローラ５０は、所定棚数以上の空棚が点在するか否かの判定として、在庫棚と空棚とを含む棚ゾーンＺが２つ以上存在し、且つ、これら２つ以上の棚ゾーンＺに含まれる空棚の合計が所定棚数以上であるか否かを判定する。

図４（ａ）に示されるように、棚グループＧ１では、全ての棚ゾーンＺ１〜Ｚ３が在庫棚と空棚とを含んでいるが、含まれる空棚の合計が所定棚数（図示する例では７つ）未満である。よって、棚グループＧ１では、グループ内棚入替制御は実行されない。一方、棚グループＧ２では、全ての棚ゾーンＺ１〜Ｚ３が在庫棚と空棚とを含んでおり、且つ、含まれる空棚の合計が所定棚数以上である。よって、ストッカコントローラ５０は、棚グループＧ２を対象にグループ内棚入替制御を実行する。

すなわち、ストッカコントローラ５０は、格納容器Ｆの移送元の棚ゾーンＺとして、在庫棚と空棚とを含む棚ゾーンＺ４〜Ｚ７のうちの通し番号が最も大きい棚ゾーンＺ７を選択する。クレーンコントローラ６０は、格納容器Ｆの移送先の棚ゾーンＺとして、当該棚ゾーンＺ４〜Ｚ７のうちの通し番号が最も小さい棚ゾーンＺ４を選択する。ストッカコントローラ５０は、選択した棚ゾーンＺ７のパージ棚７Ａから棚ゾーンＺ４のパージ棚７Ａへ、クレーン９により格納容器Ｆを移送させる（図４（ａ）及び図４（ｂ）参照）。

続いて、このような格納容器Ｆの移送を繰り返し実施する。具体的には、図４（ｂ）に示されるように、ストッカコントローラ５０は、格納容器Ｆの移送元の棚ゾーンＺとして、在庫棚と空棚とを含む棚ゾーンＺ５〜Ｚ７のうちの通し番号が最も大きい棚ゾーンＺ７を選択する。ストッカコントローラ５０は、格納容器Ｆの移送先の棚ゾーンＺとして、当該棚ゾーンＺ５〜Ｚ７のうちの通し番号が最も小さい棚ゾーンＺ５を選択する。ストッカコントローラ５０は、選択した棚ゾーンＺ７のパージ棚７Ａから棚ゾーンＺ５のパージ棚７Ａへ、クレーン９により格納容器Ｆを移送させる（図４（ｂ）及び図４（ｃ）参照）。

その結果、図４（ｃ）に示されるように、棚グループＧ２においては、全てが空棚の空棚ゾーンＺＥである棚ゾーンＺ７が形成される。その後、パージコントローラ７０は、空棚ゾーンＺＥに対応するパージユニット３０の主管４１を流れるパージガスの供給流量が０となるようにＭＦＣ４３を調整し、空棚ゾーンＺＥに含まれる全てのパージ棚７Ａへのパージガスの供給を停止させる。以上の例において、棚グループＧ２が、所定棚数以上の空棚が点在する一の棚グループを構成する。

［グループ間棚入替制御］
次に、グループ間棚入替制御について例示する。ここでの例では、格納容器Ｆの移送元の棚グループＧとして棚グループＧ２が選択され、格納容器Ｆの移送先の棚グループＧとして棚グループＧ１が選択されている場合を例示する。

ストッカコントローラ５０は、パージストッカ１のオペレーションモードがメンテナンス中のときに、グループ間棚入替制御を手動実行させる実施トリガーが入力装置８０を介して入力された場合、棚グループＧ１，Ｇ２全体において、所定棚数以上の空棚が点在するか否かを判定する。ストッカコントローラ５０は、所定棚数以上の空棚が点在するか否かの判定として、在庫棚と空棚とを含む棚ゾーンＺが棚グループＧ１，Ｇ２それぞれにて１つ以上存在し、且つ、１つ以上の当該棚ゾーンＺに含まれる空棚の合計が所定棚数以上であるか否かを判定する。

図５（ａ）に示されるように、棚グループＧ１では、棚ゾーンＺ３が在庫棚と空棚とを含んでいる。棚グループＧ２では、棚ゾーンＺ６が在庫棚と空棚とを含んでいる。棚ゾーンＺ３，Ｚ６に含まれる空棚の合計が所定棚数（図示する例では７つ）以上である。よって、ストッカコントローラ５０は、棚グループＧ１，Ｇ２を対象にグループ間棚入替制御を実行する。

すなわち、ストッカコントローラ５０は、格納容器Ｆの移送元の棚ゾーンＺとして、棚グループＧ２における在庫棚と空棚とを含む棚ゾーンＺのうちの通し番号が最も大きい棚ゾーンＺを選択する。ここでは、棚ゾーンＺ６を移送元として選択する。ストッカコントローラ５０は、格納容器Ｆの移送先の棚ゾーンＺとして、棚グループＧ１における在庫棚と空棚とを含む棚ゾーンＺのうちの通し番号が最も小さい棚ゾーンＺを選択する。ここでは、棚ゾーンＺ３を移送先として選択する。ストッカコントローラ５０は、棚グループＧ２の棚ゾーンＺ６のパージ棚７Ａから、棚グループＧ１の棚ゾーンＺ３のパージ棚７Ａへ、クレーン９により格納容器Ｆを移送させる（図５（ａ）及び図５（ｂ）参照）。

その結果、図５（ｂ）に示されるように、棚グループＧ２においては、全てが空棚の空棚ゾーンＺＥである棚ゾーンＺ６が形成される。その後、パージコントローラ７０は、空棚ゾーンＺＥに対応するパージユニット３０の主管４１を流れるパージガスの供給流量が０となるようにＭＦＣ４３を調整し、空棚ゾーンＺＥに含まれる全てのパージ棚７Ａへのパージガスの供給を停止させる。以上の例において、棚グループＧ１，Ｇ２が第１及び第２棚グループを構成する。

以上、パージストッカ１では、棚入替制御を実行することにより、空棚ゾーンＺＥが新たに形成される。空棚ゾーンＺＥ内における複数のパージ棚７Ａの全てが空棚であるため、当該複数のパージ棚７Ａへのパージガスの供給を不要にできる。よって、ＭＦＣ４３は、空棚ゾーンＺＥに含まれる複数のパージ棚７Ａに対するパージガスの供給流量を低下することが可能となる。したがって、パージストッカ１によれば、パージガスの使用量を抑えることが可能となる。

パージストッカ１では、ストッカコントローラ５０は、在庫棚と空棚とを含む棚ゾーンＺが２つ以上存在し、且つ、これら２つ以上の棚ゾーンＺに含まれる空棚の合計が所定棚数以上の場合、所定棚数以上の空棚がパージストッカ１内に点在するとして、棚入替制御を実行する。この構成によれば、所定棚数以上の空棚がパージストッカ１内に点在することを効果的に判断できる。

パージストッカ１は、ＭＦＣ４３によるパージガスの流量調整を制御するパージコントローラ７０を制御部１０に備える。パージコントローラ７０は、ストッカコントローラ５０で棚入替制御を実行した場合、この棚入替制御によって新たに形成された空棚ゾーンＺＥに含まれる複数のパージ棚７Ａへのパージガスの供給を停止させる。この構成によれば、パージガスの使用量を一層抑えることが可能となる。

パージストッカ１では、ストッカコントローラ５０は、クレーン９により、新たに入庫する格納容器Ｆを、複数の棚ゾーンＺのうち在庫棚を含む棚ゾーンＺの空棚へ優先的に入庫させる。この構成によれば、パージストッカ１内に空棚が点在し難いように格納容器Ｆを新たに入庫できる。棚入替制御の実行を最小限に止めることができる。クレーン９の動作頻度ひいてはメンテナンス頻度を抑えることができる。

パージストッカ１では、ストッカコントローラ５０は、棚グループＧ２内に所定棚数以上の空棚が点在する場合、棚グループＧ２内に空棚ゾーンＺＥが新たに形成されるように、棚グループＧ２の複数のパージ棚７Ａ間で格納容器Ｆをクレーン９により移送させるグループ内棚入替制御を実行する。これにより、複数の棚グループＧ間で格納容器Ｆを移送する場合に比べて、クレーン９の動作量を抑制できる。クレーン９が動きすぎてクレーン９のメンテナンス頻度が増えるのを抑制できる。

パージストッカ１では、ストッカコントローラ５０は、棚グループＧ１，Ｇ２内に所定棚数以上の空棚が点在する場合、棚グループＧ２内に空棚ゾーンＺＥが新たに形成されるように、棚グループＧ２のパージ棚７Ａから棚グループＧ１のパージ棚７Ａへクレーン９により格納容器Ｆを移送させるグループ間棚入替制御を実行する。これにより、１つの棚グループＧ内における複数のパージ棚７Ａ間で格納容器Ｆを移送する場合に比べて、空棚ゾーンＺＥが形成されやすくなる。

パージストッカ１では、ストッカコントローラ５０は、設定日時、格納容器Ｆの出庫時、及び、オペレータによる実施トリガーの入力時の少なくとも何れかの実行開始タイミングにおいて、所定棚数以上の空棚がパージストッカ１内に点在する場合、棚入替制御を実行する。この構成によれば、効果的なタイミングで棚入替制御を実行することが可能となる。

以上、一実施形態について説明したが、本発明の一側面は上記実施形態に限定されない。上記実施形態では、発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。

上記実施形態では、ストッカコントローラ５０は、棚入替制御における格納容器Ｆの移送先の棚ゾーンＺを所定順序で変更してもよい。例えば、ストッカコントローラ５０は、一定時間毎に、棚入替制御における格納容器Ｆの移送先の棚ゾーンＺを、複数の棚ゾーンＺの中から通し番号の小さい順で選ばれるように変更してもよい。また例えば、ストッカコントローラ５０は、一定時間毎に、棚入替制御における格納容器Ｆの移送先の棚ゾーンＺを、複数の棚ゾーンＺの中からＯＨＴポート２１及びマニュアルポート２３に近い順で選ばれるように変更してもよい。この構成によれば、一部のパージ棚７Ａの使用頻度が高まるのを抑制でき、メンテナンス作業の頻度を抑えることができる。つまり、パージ棚７Ａの使用率の偏りを解消（使用率を均等化）し、一部のパージ棚７Ａで保守作業の発生頻度が増加するのを抑制できる。

上記実施形態では、ストッカコントローラ５０は、入力装置８０により入力されたオペレータの操作入力（操作入力情報）に基づいて、棚入替制御における格納容器Ｆの移送先の棚ゾーンＺを選択してもよい。この場合、棚入替制御においては、選択された棚ゾーンＺに含まれる空棚としてのパージ棚７Ａへ、クレーン９により格納容器Ｆを移送させる。この構成によれば、パージストッカ１内におけるパージ棚７Ａの使用率を操作することが可能となる。

上記実施形態では、ストッカコントローラ５０は、格納容器Ｆを新たに入庫する棚ゾーンＺを、複数の棚ゾーンＺの中において自動でローテンションするように変更してもよい。この構成によれば、パージ棚７Ａの使用率の偏りを解消し、一部のパージ棚７Ａで保守作業の発生頻度が増加するのを抑制できる。

上記実施形態では、ストッカコントローラ５０は、棚入替制御における格納容器Ｆの移送先の棚ゾーンＺと移送元の棚ゾーンＺとを、クレーン９の搬送回数及び搬送距離が最も少なくなるように選択してもよい。この構成によれば、クレーン９の動作量を抑制できる。クレーン９が動きすぎてクレーン９のメンテナンス頻度が増えるのを抑制できる。

上記実施形態では、ストッカコントローラ５０は、グループ間棚入替制御において、移送先の棚グループＧよりも優先度の低い棚グループＧを、移送元の棚グループＧとして選択してもよい。同様に、グループ間棚入替制御において、移送元の棚グループＧよりも優先度の高い棚グループＧを、移送先の棚グループＧとして選択してもよい。優先度は、各種の条件により適宜設定することができる。

上記実施形態では、棚グループＧの数は特に限定されず、１又は複数であればよい。同様に、棚ゾーンＺの数は特に限定されず、複数であればよい。棚ゾーンＺが含むパージ棚７Ａの数は特に限定されず、複数であればよい。

１…パージストッカ、７Ａ…パージ棚、９…クレーン（搬送装置）、１０…制御部、４３…ＭＦＣ（流量調整部）、５０…ストッカコントローラ、６０…クレーンコントローラ、７０…パージコントローラ。Ｆ…格納容器、Ｇ…棚グループ、Ｇ１…棚グループ（第１棚グループ）、Ｇ２…棚グループ（第２棚グループ）、Ｚ，Ｚ１〜Ｚ７…棚ゾーン、ＺＥ…空棚ゾーン。

Claims (9)

1. 載置された格納容器の内部をパージガスによってパージ処理する複数のパージ棚を含む棚ゾーンを複数有するパージストッカであって、
   複数の前記パージ棚への前記パージガスの供給流量を前記棚ゾーン毎に調整する流量調整部と、
   前記格納容器を搬送する搬送装置と、
   前記搬送装置による前記格納容器の搬送を制御する制御部と、を備え、
   前記制御部は、
   １つの前記棚ゾーンに含まれる前記パージ棚の棚数である所定棚数以上の空棚が点在する場合、含まれる複数の前記パージ棚の全てが空棚である空棚ゾーンが新たに形成されるように、前記搬送装置により前記格納容器を移送させる棚入替制御を実行する、パージストッカ。
2. 前記制御部は、
   前記格納容器が既に載置されている前記パージ棚と空棚とを含む前記棚ゾーンが２つ以上存在し、且つ、これら２つ以上の棚ゾーンに含まれる空棚の合計が前記所定棚数以上の場合、前記所定棚数以上の空棚が前記パージストッカ内に点在するとして、前記棚入替制御を実行する、請求項１に記載のパージストッカ。
3. 前記制御部は、前記棚入替制御を実行した場合、この棚入替制御によって新たに形成された前記空棚ゾーンに含まれる複数の前記パージ棚への前記パージガスの供給を停止させる、請求項１又は２に記載のパージストッカ。
4. 前記制御部は、
   オペレータの操作入力に基づいて、前記棚入替制御における前記格納容器の移送先の前記棚ゾーンを選択し、
   前記棚入替制御においては、選択された前記棚ゾーンに含まれる前記パージ棚へ前記搬送装置により前記格納容器を移送させる、請求項１〜３の何れか一項に記載のパージストッカ。
5. 前記制御部は、前記棚入替制御における前記格納容器の移送先の前記棚ゾーンを所定順序で変更する、請求項１〜３の何れか一項に記載のパージストッカ。
6. 前記制御部は、前記搬送装置により、新たに入庫する前記格納容器を、複数の前記棚ゾーンのうち前記格納容器が既に載置されている前記パージ棚を含む棚ゾーンの空棚へ、優先的に入庫させる、請求項１〜５の何れか一項に記載のパージストッカ。
7. 隣接する複数の前記棚ゾーンを含む棚グループを複数有し、
   前記制御部は、
   ある１つの前記棚グループ内に前記所定棚数以上の空棚が点在する場合、この１つの棚グループ内に前記空棚ゾーンが新たに形成されるように、この１つの棚グループ内の複数の前記パージ棚間で前記搬送装置により前記格納容器を移送させる、請求項１〜６の何れか一項に記載のパージストッカ。
8. 隣接する複数の前記棚ゾーンを含む棚グループを複数有し、
   前記制御部は、
   ある２つの前記棚グループである第１及び第２棚グループ内に前記所定棚数以上の空棚が点在する場合、前記第１及び第２棚グループの何れか一方内に前記空棚ゾーンが新たに形成されるように、前記第１及び第２棚グループの何れか一方の前記パージ棚から何れか他方の前記パージ棚へ前記搬送装置により前記格納容器を移送させる、請求項１〜６の何れか一項に記載のパージストッカ。
9. 前記制御部は、設定日時、前記格納容器の出庫時、及び、オペレータによる実施トリガーの入力時の少なくとも何れかの実行開始タイミングにおいて、前記所定棚数以上の空棚が前記パージストッカ内に点在する場合、前記棚入替制御を実行する、請求項１〜８の何れか一項に記載のパージストッカ。