JP7231106B2 - 保管棚 - Google Patents

Description

本発明の一側面は、保管棚に関する。

半導体ウエハ又はガラス基板等の被格納物が格納されたレチクルポッド又はＦＯＵＰ（Front Opening Unified Pod）等の容器を保管する保管棚が知られている。このような保管棚には、被格納物の清浄度を維持するため、不活性気体又は清浄乾燥空気等のパージガスを容器に供給するパージ設備を備えた保管棚が設けられる場合がある。例えば、特許文献１には、パージガスを供給する供給ノズルがそれぞれ配置された三つの棚を有する棚モジュールが開示されている。そして、複数の棚モジュールのそれぞれは、メイン配管から分岐されたサブ配管によってパージガスが供給されるように構成されている。

特表２０１５－５３３０２６号公報

このような保管棚では、棚モジュールに設けられた部品（例えば、流量制御装置、及び供給ノズル等）の交換を行ったり、棚モジュールそのものを交換したりする場合がある。以下、本願明細書では、これらの交換をまとめて、単に「棚モジュールの交換」と称する。この場合、作業者は、パージガス供給源に繋がるバルブを閉じてメイン配管に流れるパージガスの流通を遮断した後、分岐部からサブ配管を取り外す。また、作業者は、サブ配管を取り外した後は、当該取り外し部分からメイン配管に不純物が混入しないように、取り外し部分を封止する。

更に、部品の交換作業終了後には、交換時に取り外し部分から混入したおそれがある不純物を排出するために、しばらくの時間パージガスを流通させて不純物を排出させる必要がある（エージング）。この場合、不純物は、交換した棚モジュールだけでなく他の棚モジュールの供給ノズルからも排出されるおそれがあるため、作業者は、他の棚モジュールに載置されている容器を取り除く作業を実施しなければならない。このように、上記従来の装置では、棚モジュールに設けられた部品を交換する際の作業者の作業負担が大きかった。

そこで、本発明の一側面の目的は、棚モジュールに設けられた部品を交換する際の作業者の作業負担を軽減することができる保管棚を提供することにある。

本発明の一側面に係る保管棚は、本体フレームと、本体フレームに着脱可能に設けられるベースプレートと、ベースプレートに設けられた供給ノズルと、を有する、複数の棚モジュールと、供給源から供給されるパージガスが流通するメイン配管と、メイン配管に設けられると共にメイン配管から流路を分岐させる第一分岐部と、を備え、棚モジュールには、供給ノズルに供給するパージガスの流量を調整する流量制御装置が設けられており、第一分岐部には、流路を開閉する開閉バルブを介してモジュール配管が接続され、流量制御装置は、モジュール配管に接続されている。

この構成の保管棚では、棚モジュールを交換する際には、作業者は、メイン配管に流通するパージガスを遮断したり、取り外し部分を封止したりする必要はなく、開閉バルブを閉じるという簡易な作業をした後に、開閉バルブからモジュール配管を取り外せばよい。また、この構成の保管棚では、モジュール配管を取り外す前に開閉バルブを閉じれば、メイン配管に異物が混入することもない。したがって、作業者は、上記従来の保管棚において実施していたメイン配管に対するエージングを実施する必要はなく、モジュール配管に対するエージングのみを実施すればよい。これにより、作業者は、エージング時に他の棚モジュールに配置された容器を取り除く必要はなく、モジュール配管を接続した後は、開閉バルブを開き、しばらくの間、放置するだけでよい。このように、この構成の保管棚では、棚モジュールに設けられた部品を交換する際の作業者の作業負担を軽減することができる。

本発明の一側面に係る保管棚では、棚モジュールには、複数の供給ノズルと、複数の供給ノズルのそれぞれに対応する複数の流量制御装置とが設けられており、保管棚は、モジュール配管に設けられると共にモジュール配管から流路を分岐させる第二分岐部を更に備え、複数の流量制御装置のそれぞれは、第二分岐部を介してモジュール配管に接続されていてもよい。

この構成では、棚モジュールのそれぞれに複数の供給ノズル及び流量制御装置が設けられている場合であっても、作業者は、開閉バルブを閉じるという簡易な作業をした後に、開閉バルブからモジュール配管を取り外せばよく、また、モジュール配管を接続した後は、開閉バルブを開き、しばらくの間、放置するだけでよい。このように、この構成の保管棚では、棚モジュールに設けられた部品を交換する際の作業者の作業負担を軽減することができる。

本発明の一側面に係る保管棚では、モジュール配管及び／又は開閉バルブは、本体フレームに支持されていてもよい。この構成では、作業者は、モジュール配管と開閉バルブとの接続を取り外した後も、モジュール配管及び／又は開閉バルブは本体フレームに残るので、棚モジュールのみを容易に取り外すことが可能となる。

本発明の一側面に係る保管棚では、前記本体フレームは、天井又は天井に固定された部材から吊り下げられ、一方向に配列される吊り下げ部材であり、ベースプレートは、一方向に配列された本体フレームに架け渡されており、モジュール配管及び／又は開閉バルブは、ベースプレートとは異なる部材であって、一方向に配列された本体フレームに架け渡される跨ぎ部材に支持されていてもよい。この構成では、作業者は、モジュール配管と開閉バルブとの接続を取り外した後も、モジュール配管及び／又は開閉バルブは本体フレームに残るので、棚モジュールのみを容易に取り外すことが可能となる。

本発明の一側面に係る保管棚では、メインコントローラ又は電源に接続されているメイン配線と、棚モジュールに設けられた流量制御装置又は供給ノズルに接続されたモジュール配線であって、容器を検出する検出センサに接続されるモジュール配線と、メイン配線に設けられており、メイン配線から電気的に分岐させると共に、モジュール配線を着脱可能に接続する第三分岐部と、を更に備えてもよい。この構成では、作業者は、第三分岐部からモジュール配線を取り外すだけの簡易な作業で、棚モジュールを容易に取り外すことが可能となる。

本発明の一側面によれば、棚モジュールに設けられた部品を交換する際の作業者の作業負担を軽減することができる。

図１は、一実施形態に係る保管棚を示す斜視図である。 図２は、図１の保管棚に含まれる棚モジュールの構成を示す構成概要図である。 図３は、本体ユニットに架け渡された棚モジュールを示す斜視図である。 図４は、本体ユニットに架け渡された棚モジュールを取り除いた状態を示す斜視図である。

以下、図面を参照して、本発明の一側面の好適な一実施形態について詳細に説明する。なお、図面の説明において、同一要素には同一符号を付し、重複する説明を省略する。「Ｘ方向」、「Ｙ方向」及び「Ｚ方向」の語は、図示する方向に基づいた便宜的なものである。なお、図１では、パージガス供給設備６０及び配線設備７０の図示を省略する。

図１に示す保管棚１は、例えば、半導体製造工場の半導体搬送システムを構成する天井走行車３の軌道５に沿って配置される。保管棚１は、半導体ウエハ又はガラス基板等の被格納物が格納されたＦＯＵＰ又はレチクルポッド等の容器Ｆを一時的に保管する。保管棚１は、本体フレーム１０と、第一棚モジュール３０と、第二棚モジュール（棚モジュール）４０と、パージガス供給設備６０（図２参照）と、配線設備７０（図４参照）と、を備えている。

図１及び図３に示されるように、本体フレーム１０は、第一棚モジュール３０及び第二棚モジュール４０を、天井から吊り下げる部材である。本体フレーム１０は、軌道５の延在方向（Ｘ方向）に沿って、等間隔で配列されている。

本体フレーム１０は、一対の第一吊部１１，１１と、第一棚支持部１３と、第一接続部１５と、一対の第二吊部１２，１２と、第二棚支持部１４と、第二接続部１６と、落下防止柵１８と、を有する。

一対の第一吊部１１，１１は、天井等の被固定部から延びる吊下部材である。第一棚支持部１３は、一対の第一吊部１１，１１の下端同士を接続している。第一棚支持部１３は、第一棚モジュール３０の短手方向（Ｙ方向）に沿って延在し、下方から第一棚モジュール３０を支持する。第一接続部１５は、その両端が一対の第一吊部１１，１１に接続され、第一棚支持部１３に平行（Ｙ方向）に延在する。

一対の第二吊部１２，１２は、天井等の被固定部から延びる吊下部材である。一対の第二吊部１２，１２は、一対の第一吊部１１，１１の対向方向において、一対の第一吊部１１，１１を挟むように配置されている。第二棚支持部１４は、一対の第一吊部１１，１１の一方と一対の第二吊部１２，１２の一方の下端とを接続している。第二棚支持部１４は、第二棚モジュール４０の短手方向（Ｙ方向）に沿って延在し、下方から第二棚モジュール４０を支持する。第二接続部１６は、一端が第一吊部１１に接続され、他端が第二吊部１２に接続されており、第二棚支持部１４に平行（Ｙ方向）に延在する。

落下防止柵１８は、隣り合う第一吊部１１，１１同士、又は隣り合う第二吊部１２，１２同士に掛け渡される平板状の跨ぎ部材である。落下防止柵１８は、第一棚モジュール３０又は第二棚モジュール４０に載置された容器Ｆを側方（Ｙ方向）から挟み込むように配置されている。すなわち、第一棚モジュール３０又は第二棚モジュール４０に載置された容器Ｆが、第一棚モジュール３０又は第二棚モジュール４０から落下するのを防止することを目的として配置されている。

第一棚モジュール３０は、容器Ｆが載置される部材である。第一棚モジュール３０は、パージ機能を有さないユニット、すなわち、載置される容器Ｆにガスを供給する機能を有さないユニットである。第一棚モジュール３０は、隣り合う第一棚支持部１３，１３同士又は隣り合う第二棚支持部１４，１４同士に掛け渡されている。

第一棚モジュール３０は、第一棚フレーム３１と、第一棚板３３と、を有している。第一棚フレーム３１は、Ｘ方向において隣り合う第一棚支持部１３，１３同士又は第二棚支持部１４，１４同士に掛け渡される。第一棚フレーム３１は、Ｚ方向から見た平面視において、略矩形の板状部材である。第一棚フレーム３１は、第一棚支持部１３又は第二棚支持部１４に設けられた挿通孔に下方から挿通されたネジによって第一棚支持部１３又は第二棚支持部１４に固定されている。なお、ネジの代わりにボルト及びナットを用いてもよい。

第一棚板３３は、第一棚フレーム３１の上面に、弾性体３７を介して支持されている。第一棚板３３は、Ｚ方向から見た平面視において、略矩形形状の板状の部材である。弾性体３７の材料の例には、ゴム材、シリコーンゲル材、ウレタンゲル及び金属バネが含まれる。第一棚板３３は、容器Ｆが載置される載置面を有し、載置面には、ピン３５が設けられている。ピン３５は、第一棚板３３の載置面から上方に突出している。ピン３５は、容器Ｆの底部に設けられた位置決め溝（図示せず）に対応する位置に配置されている。

図１～図３に示されるように、第二棚モジュール４０は、容器Ｆが載置される部材である。第二棚モジュール４０は、パージ機能を有するユニット、すなわち、載置される容器Ｆにガスを供給する機能を有するユニットである。当該ガスの例には、窒素ガス、乾燥空気等が含まれる。第二棚モジュール４０は、隣り合う第二棚支持部１４，１４同士に掛け渡されている。

第二棚モジュール４０は、第二棚フレーム（ベースプレート）４１と、第二棚板４３と、パージ設備５０と、を有している。第二棚フレーム４１は、Ｘ方向において隣り合う第二棚支持部１４，１４同士に掛け渡される。第二棚フレーム４１は、Ｚ方向から見た平面視において、略矩形形状の板状部材である。

第二棚板４３は、第二棚フレーム４１の上面に、弾性体４７を介して支持されている。弾性体４７の材料の例には、ゴム材、シリコーンゲル材、ウレタンゲル及び金属バネが含まれる。第二棚板４３は、Ｚ方向から見た平面視において、略矩形形状の板状部材である。第二棚板４３は、第二棚フレーム４１にＸ方向に沿って二つ配列されている。すなわち、第二棚モジュール４０は、複数の供給ノズル５１及び複数のＭＦＣ（Mass Flow Controller：流量制御装置）５５を有している。

第二棚板４３は、容器Ｆが載置される載置面を有し、一つの載置面に対して、三つのピン４５が設けられている。ピン４５は、第二棚板４３の載置面から上方に突出している。ピン４５は、容器Ｆの底部に設けられた位置決め溝（図示せず）に対応する位置に配置されている。

パージ設備５０は、供給ノズル５１と、第一配管５２と、フィルタ部５３と、第二配管５４と、ＭＦＣ５５と、第三配管５６と、検出センサ５９と、を有している。

供給ノズル５１は、容器Ｆの内部にガスを供給するノズルである。供給ノズル５１は、第二棚板４３の載置面から上方に突出しており、容器Ｆが供給ノズル５１に載置されることによって容器Ｆの底面に設けられた導入孔に接続される。第一配管５２は、供給ノズル５１とフィルタ部５３とを接続する管部材である。フィルタ部５３は、フィルタ部５３を通過するガスに含まれる異物を取り除くフィルタが収容された部材であって、ガスの供給源からメイン配管６１を介して供給されるガスに含まれる異物を取り除く。フィルタ部５３は、第二棚フレーム４１に適宜の部材によって固定されている。第二配管５４は、フィルタ部５３とＭＦＣ５５との間を接続する管部材である。

ＭＦＣ５５は、メイン配管６１から供給されるガスの流量を計測すると共に流量の制御を行う機器である。ＭＦＣ５５は、図示しないメインコントローラによって制御される。ＭＦＣ５５は、複数の第二棚板４３のそれぞれに設けられている。ＭＦＣ５５は、モジュール配線７３を介してメインコントローラに接続されるメイン配線７１に接続されている。

メインコントローラは、検出センサ５９によって容器Ｆが検知されるときに、容器Ｆに所定の流量のガスを供給するようにＭＦＣ５５を制御し、検出センサ５９によって容器Ｆが検知されないときに、容器Ｆにガスを供給しないようにＭＦＣ５５を制御する。ＭＦＣ５５は、第二棚フレーム４１の下面に適宜の方法にて固定されている。

第三配管５６は、ＭＦＣ５５と第二分岐部６５との間を接続する管部材である。第三配管５６において第二分岐部６５に接続される端部には、後段にて詳述する第二分岐部６５との接続を可能にする配管コネクタ６５Ａが設けられている。

検出センサ５９は、第二棚板４３に容器Ｆが載置されたか否かを検出する。検出センサ５９は、第二棚板４３の載置面に設けられている。検出センサ５９は、図示しないメインコントローラによって制御される。検出センサ５９は、モジュール配線７３を介してメインコントローラに接続されるメイン配線７１に接続されている。

図２及び図３に示されるように、パージガス供給設備６０は、メイン配管６１と、第一分岐部６２と、中継配管６２Ａと、モジュール配管６３と、開閉バルブ６４と、第二分岐部６５と、を有している。

メイン配管６１は、パージ設備５０に供給するガスの供給源に接続されている。メイン配管６１は、ステンレス鋼等の金属、又はフッ素樹脂等の樹脂から形成される管部材である。メイン配管６１は、隣り合う第二吊部１２，１２同士に掛け渡される落下防止柵１８に取付部材１８Ａを介して取り付けられている。

第一分岐部６２は、メイン配管６１に設けられており、メイン配管６１から流路を分岐させる。本実施形態では、第一分岐部６２は、パージ設備５０を有する第二棚モジュール４０の数に対応する数だけ設けられている。中継配管６２Ａの一端は、第一分岐部６２に接続されている。中継配管６２Ａの他端は、開閉バルブ６４を介してモジュール配管６３に接続されている。中継配管６２Ａは、メイン配管６１に流れるパージガスをモジュール配管６３に中継する。

開閉バルブ６４は、中継配管６２Ａからモジュール配管６３への流路を開閉する。すなわち、第一分岐部６２には、流路を開閉する開閉バルブ６４を介してモジュール配管６３が接続されている。モジュール配管６３及び開閉バルブ６４は、隣り合う第二吊部１２，１２同士に掛け渡される落下防止柵１８に、ブラケット１８Ｂを介して支持されている。

第二分岐部６５は、モジュール配管６３に設けられており、モジュール配管６３から流路を分岐させる。上述したように、第二棚モジュール４０には、複数のＭＦＣ５５が設けられている。複数のＭＦＣ５５のそれぞれは、第二分岐部６５を介してモジュール配管６３に接続されている。なお、モジュール配管６３において最下流部に配置される第二分岐部６５の端部は封止されており、ＭＦＣ５５のみにパージガスが流れるようになっている。本実施形態では、モジュール配管６３には、ＭＦＣ５５の数に対応した数の第二分岐部６５が設けられている。ＭＦＣ５５のそれぞれは、第三配管５６を介して第二分岐部６５に接続されている。

なお、上記実施形態では、ＭＦＣ５５の数に対応した数の第二分岐部６５が設けられる例を挙げて説明したが、第二分岐部６５は、ＭＦＣ５５の数よりも一つ少ない数が配置されていてもよい。この場合、モジュール配管６３において最下流部に配置される第二分岐部６５は、二つの第三配管５６を介して二つのＭＦＣ５５に接続される。

図４に示されるように、配線設備７０は、メイン配線７１と、第三分岐部７２と、モジュール配線７３と、を有している。

メイン配線７１は、パージ設備５０を集中的に制御するメインコントローラに接続されている。メイン配線７１は、隣り合う第二吊部１２，１２同士に掛け渡される落下防止柵１８にブラケット１８Ｂを介して支持されている。メインコントローラは、例えば、保管棚１の一部に固定されていてもよいし、中継装置等を介して保管棚１から離れた場所に設けられてもよい。

第三分岐部７２は、メイン配線７１に設けられており、メイン配線７１から電気的に分岐させると共に、モジュール配線７３を着脱可能に接続する。本実施形態では、第三分岐部７２は、第二棚モジュール４０に設けられた複数のＭＦＣ５５（又は検出センサ５９）の数だけ設けられている。複数のＭＦＣ５５（又は複数の検出センサ５９）のそれぞれは、第三分岐部７２を介してモジュール配線７３に接続されている。

モジュール配線７３は、第三分岐部７２とＭＦＣ５５とを接続すると共に、第三分岐部７２と検出センサ５９とを接続する。モジュール配線７３は、メイン配線７１の第三分岐部７２に接続されている。モジュール配線７３において第三分岐部７２に接続される端部には、第三分岐部７２との接続を可能にする配線コネクタ７３Ａが設けられている。なお、メイン配線７１及びモジュール配線７３は、情報をやりとりする通信線としての機能だけでなく、電力をやりとりする電力線としての機能も有している。

次に、本実施形態の第二棚モジュール４０を本体フレーム１０から取り外す際の手順について説明する。作業者は、最初に、図２及び図３に示される開閉バルブ６４を閉じる。次に、作業者は、第二棚支持部１４に架け渡されている第二棚フレーム４１と第二棚支持部１４とを締結するボルトを解除する。次に、作業者は、開閉バルブ６４からモジュール配管６３を取り外すか、又は第二分岐部６５から第三配管５６を取り外す。これにより、第二棚モジュール４０を本体フレーム１０から取り外す作業が完了する。

次に、本実施形態の第二棚モジュール４０を本体フレーム１０に取り付ける際の手順について説明する。作業者は、第二棚支持部１４に第二棚モジュール４０を架け渡し、開閉バルブ６４にモジュール配管６３を接続するか、又は第二分岐部６５に第三配管56を接続する。次に、作業者は、第二棚フレーム４１と第二棚支持部１４とをボルトによって締結する。次に、作業者は、開閉バルブ６４を開いてしばらくの間、放置する。これにより、交換作業を行った第二棚モジュール４０のエージングが完了する。すなわち、第二棚モジュール４０の本体フレーム１０への取付作業が完了する。

次に、上記実施形態の保管棚１の作用効果について説明する。上記実施形態の保管棚１では、第二棚モジュール４０を交換する際には、作業者は、メイン配管６１に流通するパージガスを遮断したり、取り外し部分（本実施形態では、モジュール配管６３が取り外される開閉バルブ６４又は第三配管５６が取り外される第二分岐部６５）を封止したりする必要はなく、開閉バルブ６４を閉じるという簡易な作業をした後に、開閉バルブ６４からモジュール配管６３又は第二分岐部６５から第三配管５６を取り外せばよい。また、この構成の保管棚１では、開閉バルブ６４が閉じられることで、メイン配管６１に異物が混入することがなくなるので、作業者は、上記従来の保管棚において実施していたメイン配管６１に対するエージングを実施する必要はなく、モジュール配管６３に対するエージングのみを実施すればよい。これにより、作業者は、エージング時に他の第二棚モジュール４０に配置された容器Ｆを取り除く必要はなく、モジュール配管６３を接続した後は、開閉バルブ６４を開き、しばらくの間、放置するだけでよい。このように、この構成の保管棚１では、第二棚モジュール４０又は第二棚モジュール４０に設けられた部品（例えば、供給ノズル５１又はＭＦＣ５５等）を交換する際の作業者の作業負担を軽減することができる。

上記実施形態の保管棚１の構成では、図２に示されるように、第二棚モジュール４０のそれぞれに複数の供給ノズル５１及びＭＦＣ５５が設けられている場合であっても、作業者は、開閉バルブ６４を閉じるという簡易な作業をした後に、開閉バルブ６４からモジュール配管６３又は第二分岐部６５から第三配管５６を取り外せばよく、また、モジュール配管６３を接続した後は、開閉バルブ６４を開き、しばらくの間、放置するだけでよい。このように、この構成の保管棚１では、第二棚モジュール４０又は第二棚モジュール４０に設けられた部品を交換する際の作業者の作業負担を軽減することができる。

上記実施形態の保管棚１の構成では、図３に示されるように、モジュール配管６３及び開閉バルブ６４は、本体フレーム１０の隣り合う第二吊部１２，１２同士に掛け渡される落下防止柵１８に、ブラケット１８Ｂを介して支持されている。この構成では、モジュール配管６３と開閉バルブ６４との接続を取り外した後も、開閉バルブ６４は本体フレーム１０の落下防止柵１８に設けられたブラケット１８Ｂに残るので、作業者は、第二棚モジュール４０のみを容易に取り外すことが可能となる。また、この構成では、第二分岐部６５と第三配管５６との接続を取り外した後も、開閉バルブ６４及びモジュール配管６３は本体フレーム１０の落下防止柵１８に設けられたブラケット１８Ｂに残るので、作業者は、第二棚モジュール４０のみを容易に取り外すことが可能となる。

上記実施形態の保管棚１の構成では、作業者は、第三分岐部７２からモジュール配線７３を取り外すだけの簡易な作業で、第二棚モジュール４０を容易に取り外すことができる。

以上、一実施形態について説明したが、本発明の一側面は、上記実施形態に限られるものではなく、発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。

上記実施形態では、本体フレーム１０に第二棚フレーム４１を介して二つの第二棚板４３（すなわち、供給ノズル５１及びＭＦＣ５５が設けられる容器Ｆの載置場所）が設けられる例を挙げて説明したが、本体フレーム１０に第二棚フレーム４１を介して一つの第二棚板４３のみが設けられる構成であってもよい。この変形例に係る構成では、モジュール配管６３に第二分岐部６５を必ずしも設ける必要はなく、モジュール配管６３をＭＦＣ５５に直接接続してもよい。また、上記実施形態のように、モジュール配管６３に一つの第二分岐部６５を設け、分岐される一方をＭＦＣ５５と接続すると共に、分岐される他方を封止してもよい。

上記実施形態及び変形例では、二つの第二棚板４３のそれぞれに供給ノズル５１及びＭＦＣ５５が設けられる例を挙げて説明したが、第二棚フレーム４１に供給ノズル５１及びＭＦＣ５５等のパージ設備５０が直接設けられてもよい。

上記実施形態及び変形例では、本体フレーム１０に架け渡される第二棚フレーム４１を取り外す例を挙げて説明したが、第二棚フレーム４１から第二棚板４３を取り外してもよい。この場合であっても、上記実施形態及び変形例と同様の効果を得ることができる。ここ場合の第二棚板４３は、本体フレーム１０に第二棚フレーム４１を介して取り付けられたベースプレートとして機能する。

上記実施形態及び変形例では、第一吊部１１と第二吊部１２の下端とを繋ぐ第二棚支持部１４に第二棚モジュール４０を着脱可能に設けた例を挙げて説明したが、第二棚モジュール４０は、第一棚支持部１３に着脱可能に設けられてもよい。

上記実施形態及び変形例では、第一吊部１１及び第二吊部１２の上端が天井等の被固定部に固定されている例を挙げて説明したが、これに限定されない。例えば、第一吊部１１及び第二吊部１２の上端は、固定を解除することによりそれぞれの上端を摺動可能にするレースウェイ等に固定されていてもよい。

上記実施形態及び変形例では、モジュール配管６３及び開閉バルブ６４は、本体フレーム１０の落下防止柵１８に支持されている例を挙げて説明したが、第一吊部１１又は第二吊部１２を跨いだ状態で支持されてもよい。

１…保管棚、１０…本体フレーム、１８…落下防止柵（跨ぎ部材）、３０…第一棚モジュール、３１…第一棚フレーム、３３…第一棚板、４０…第二棚モジュール、４１…第二棚フレーム（ベースプレート）、４３…第二棚板、５０…パージ設備、５１…供給ノズル、５５…ＭＦＣ（流量制御装置）、５９…検出センサ、６０…パージガス供給設備、６１…メイン配管、６２…第一分岐部、６２Ａ…中継配管、６３…モジュール配管、６４…開閉バルブ、６５…第二分岐部、７０…配線設備、７１…メイン配線、７２…第三分岐部、７３…モジュール配線、Ｆ…容器。

Claims (5)

1. 本体フレームと、
   前記本体フレームに着脱可能に設けられるベースプレートと、前記ベースプレートに設けられた供給ノズルと、を有する、複数の棚モジュールと、
   供給源から供給されるパージガスが流通するメイン配管と、
   前記メイン配管に設けられると共に前記メイン配管から流路を分岐させる第一分岐部と、を備え、
   前記棚モジュールには、前記供給ノズルに供給する前記パージガスの流量を調整する流量制御装置が設けられており、
   前記第一分岐部には、流路を開閉する開閉バルブを介してモジュール配管が接続され、
   前記モジュール配管には、前記流量制御装置を介して前記供給ノズルが接続され、
   前記供給ノズルは、前記開閉バルブ及び前記流量制御装置を介して前記メイン配管に接続されており、
   前記モジュール配管は、前記開閉バルブに対して着脱自在に設けられている、保管棚。
2. 前記棚モジュールには、複数の前記供給ノズルと、複数の前記供給ノズルのそれぞれに対応する複数の前記流量制御装置とが設けられており、
   前記保管棚は、前記モジュール配管に設けられると共に前記モジュール配管から流路を分岐させる第二分岐部を更に備え、
   複数の前記流量制御装置のそれぞれは、前記第二分岐部を介して前記モジュール配管に接続されている、請求項１記載の保管棚。
3. 前記モジュール配管及び／又は前記開閉バルブは、前記本体フレームに支持されている、請求項１又は２記載の保管棚。
4. 前記本体フレームは、天井又は天井に固定された部材から吊り下げられ、一方向に配列される吊り下げ部材であり、
   前記ベースプレートは、前記一方向に配列された前記本体フレームに架け渡されており、
   前記モジュール配管及び／又は前記開閉バルブは、前記ベースプレートとは異なる部材であって、前記一方向に配列された前記本体フレームに架け渡される跨ぎ部材に支持されている、請求項１～３の何れか一項記載の保管棚。
5. メインコントローラ又は電源に接続されているメイン配線と、
   前記棚モジュールに設けられた前記流量制御装置又は前記供給ノズルに接続されたモジュール配線であって、容器を検出する検出センサに接続される前記モジュール配線と、
   前記メイン配線に設けられており、前記メイン配線から電気的に分岐させると共に、前記モジュール配線を着脱可能に接続する第三分岐部と、を更に備える、請求項１～４の何れか一項記載の保管棚。

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