KR101848700B1 - 자동 풉 세정장치 - Google Patents

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KR101848700B1
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전영수
임형준
이현욱
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Abstract

본 발명은 반도체에서 사용되는 웨이퍼가 수용되는 풉(Foup)을 자동으로 세정할 수 있고, 종래에 비해 자동화되어 세정 효율을 높일 수 있는 자동 풉 세정장치에 관한 것으로, 안착된 풉(10)의 도어를 개방한 후, 상기 풉(10)을 일측으로 이송시키는 이송부(100), 상기 이송부(100)의 일측으로 이송된 상기 풉(10)을 이송시키되, 이송시키는 상기 풉(10)을 회전 가능하게 형성되는 그립부(200), 상기 그립부(200)로부터 상기 풉(10)을 이송 받아 고정시키고, 왕복운동을 통해 이를 세정하는 세정부(300) 및 상기 그립부(200)로부터 상기 세정부(300)에서 세정이 완료된 상기 풉(10)을 이송 받아 이를 건조시키는 건조부(400)를 포함하는 것을 특징으로 한다.

Description

자동 풉 세정장치{Automated apparatus for foup}
본 발명은 반도체에서 사용되는 웨이퍼가 수용되는 풉(Foup)을 자동으로 세정하기 위한 자동 풉 세정장치에 관한 것으로, 보다 상세히는 종래에 비해 자동화되어 세정 효율을 높일 수 있는 자동 풉 세정장치에 관한 것이다.
반도체 소자를 제조하기 위한 웨이퍼는 고정밀도를 요구하므로 보관 또는 운반 시 외부의 오염물질로부터 오염되지 않도록 해야 하고, 외부의 충격으로부터 손상되지 않도록 해야 할 필요성이 있다. 따라서 웨이퍼를 보관 및 운반할 때에는 별도의 풉(FOUP : Front Opening Unified Pod)에 수납하게 된다.
일반적인 반도체 웨이퍼의 제조공정을 구성하는 다수의 공정은, 웨이퍼가 기판 캐리어로부터 인출 및 수납이 반복되는데, 이러한 과정 중 풉의 내벽에 공정웨이퍼의 아웃가스가 흡착되어 오염물에 노출될 수 있고, 이러한 오염물이 내부에 수용되는 웨이퍼를 오염시킬 수 있기 때문에 풉을 주기적으로 세정할 필요성이 있었다.
한국등록특허 제10-1220094호("반도체 캐리어 세정 시스템", 2013.01.11., 이하 선행기술 1)에는 반도체 캐리어, 즉 풉을 세정하는 시스템에 관하여 개시되어 있다. 선행기술 1의 특징은 반도체 캐리어의 본체 및 커버를 각각 별개로 나누어 세척하는 방식인데, 본체만을 보다 상세히 설명하면 반도체 캐리어의 본체 내부에 삽입된 노즐에서 세정액이 고압으로 분사되며 본체 내벽을 세척하는 방식이다. 이러한 방식은 세척 효율이 좋지 않고, 세정액을 다량 소비하는 문제점이 있어 이를 개선할 필요가 있었다.
한국등록특허 제10-1220094호("반도체 캐리어 세정 시스템", 2013.01.11.)
본 발명에 의한 자동 풉 세정장치는 상기한 바와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로써, 본 발명에 의한 자동 풉 세정장치의 목적은 풉의 세척효율을 증대시키고, 풉을 세척하는 전 과정을 자동화할 수 있는 자동 풉 세정장치를 제공하는데 있다.
상기한 바와 같은 문제점을 해결하기 위한 본 발명에 의한 자동 풉 세정장치는, 안착된 풉(10)의 도어를 개방한 후, 상기 풉(10)을 일측으로 이송시키는 이송부(100), 상기 이송부(100)의 일측으로 이송된 상기 풉(10)을 이송시키되, 이송시키는 상기 풉(10)을 회전 가능하게 형성되는 그립부(200), 상기 그립부(200)로부터 상기 풉(10)을 이송 받아 고정시키고, 왕복운동을 통해 이를 세정하는 세정부(300) 및 상기 그립부(200)로부터 상기 세정부(300)에서 세정이 완료된 상기 풉(10)을 이송 받아 이를 건조시키는 건조부(400)를 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 이송부(100)는 일측으로 연장 형성된 스테이지(110), 상면에 상기 풉(10)이 안착되어 상기 스테이지(110)의 표면을 이동하는 이송판(120) 및 상기 스테이지(110)의 중단에 위치하여, 상기 이송판(120)에 안착된 풉(10)의 도어를 개방하는 흡착부(130)를 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 이송판(120)은 상면에 형성되어 상기 풉(10)의 종류를 판별하는 식별 핀(121)을 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 그립부(200)는 상기 풉(10)을 잡는 그립부재(210) 및 상기 그립부재(210)를 회전시키는 회전부재(220)를 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 그립부(200)는 상기 이송부(100)의 일측으로 이동된 상기 풉(10)의 개방된 부분이 상측에 위치하도록 회전한 후, 이를 상기 세정부(300)로 이송하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 세정부(300)는 상기 그립부(200)로부터 이송 받은 상기 풉(10)을 고정하는 홀더(310), 상기 홀더(310)에 고정된 풉(10) 내부에 세정액을 공급하는 세정액 공급부, 상기 풉(10)의 개방면에 커버(12)를 안착 또는 탈거하는 커버 이송부(320) 및 상기 홀더(310)의 하측에 형성되어, 상기 홀더(310)에 풉(10)이 고정되었을 때 상기 홀더(310)를 왕복 이동시켜 상기 풉(10)을 세정하는 왕복 이동부(330)를 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 왕복 이동부(330)는 일측으로 연장 형성된 레일(331) 및 상기 레일(331)과 홀더(310) 사이에 형성되어 상기 레일(331)상을 왕복 이동하며, 상기 홀더(310)를 회전 시키는 회전판(332)을 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 홀더(310)는 상기 풉(10)의 유무를 판별하는 풉 센서 및 상기 풉(10)의 파손에 의한 누수여부를 감지하는 누수센서를 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 그립부(200)는 상기 세정부(300)에서 세정이 완료된 풉(10)을 상기 건조부(400)로 이송하되, 상기 풉(10)을 회전하여 내부의 세정액을 버리는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 건조부(400)는 상기 그립부(200)로부터 상기 풉(10)을 공급받아 승하강 시키는 승하강부(410) 및 상기 풉(10) 내부에 위치하여 상기 풉(10)의 내면을 향해 회전을 하면서 압축건조공기 또는 질소가스를 분사하는 노즐부를 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 세정부(300)는 세정액을 가열하여 상기 세정액 공급부로 공급하는 히팅 모듈을 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 건조부(400)는 압축건조공기 또는 질소가스를 가열하여 상기 노즐부로 공급할 수 있는 히팅 모듈을 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기한 바와 같은 본 발명에 의한 자동 풉 세정장치에 의하면, 풉을 세정하는데 있어서 풉 내부에 세정액을 주입한 상태에서 풉을 고정한 홀더를 왕복 운동하여 풉 내부를 세정함으로써, 세정효율을 높일 수 있는 효과가 있다.
또한 본 발명에 의하면, 풉의 세정과정을 자동화할 수 있어 공정효율을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.
도 1은 본 발명에서 사용되는 풉의 개략도.
도 2는 본 발명의 전체 개략도.
도 3은 본 발명의 부분 개략도.
도 4는 본 발명의 이송부의 확대도.
도 5는 본 발명의 이송부를 이용해 풉이 이동되는 순서도.
도 6은 본 발명의 그립부의 사시도.
도 7은 본 발명의 이송부에서 풉이 이동된 후 그립부가 풉을 집은 상태도.
도 8은 본 발명의 그립부를 이용해 이송부에서 세정부로 이송되는 순서도.
도 9는 본 발명의 세정부의 분해 및 풉과 캡이 안착되었을 때의 개별 사시도.
도 10 및 11은 본 발명의 건조부의 사시도.
이하 첨부된 도면을 참고하여 본 발명에 의한 자동 풉 세정장치의 바람직한 실시예들에 관하여 상세히 설명한다.
도 1은 본 발명에서 사용될 풉(10)의 개략도를 도시한 것으로, 도 1에 도시된 바와 같이 개방면이 외측에 위치하고, 상기 풉(10)의 개방면이 별도의 도어(미도시)를 통해 개폐되는 구조이다. 상기 풉(10)의 내측면에는 별도의 홈이 형성되어 있어, 다수의 웨이퍼가 상기 풉(10)의 내부에 상하방향으로 수용할 수 있다. 단, 본 발명에서 상기 풉(10)은 웨이퍼가 수용되지 않은 상태에서 풉(10) 내부를 세척하는 장치이다.
도 1에 도시된 바와 같이 상기 풉(10)의 상면에는 돌기(11)가 형성되어 후술할 그립부(200)가 상기 돌기(11) 부분을 잡도록 할 수 있다.
도 2는 본 발명의 구성을 포함하는 세정장치의 전체적인 개략도를 도시한 것이고, 도 3은 도 2의 구성 중, 본 발명의 일부 구성만을 도시한 것이다.
도 2에 도시된 바와 같이, 본 발명에 의한 세정장치는 제1케이스(21) 및 제2케이스(22)를 포함하여 구성된다. 상기 제1케이스(21) 및 제2케이스(22)는 각각의 세정라인을 가지고 있어, 각각의 케이스에 별개의 풉을 세정할 수 있다. 도 2에 도시된 바와 같이 상기 제1케이스(21)와 제2케이스(22)는 상측에 환기필터(30)를 포함한다.
도 3은 설명의 편의를 위하여 도 2에 도시된 상기 제2케이스(22)와 이의 내부에 포함된 구성을 제외하고, 상기 제1케이스(21)와 이의 내부에 포함된 구성 중 일부만을 도시한 것이다.
도 3에 도시된 바와 같이, 본 발명에 의한 자동 풉 세정장치는 이송부(100), 그립부(200), 세정부(300) 및 건조부(400)를 포함하는데, 도 1에 도시된 상기 풉(10)은 상기 이송부(100), 세정부(300) 및 건조부(400)를 순차적으로 거쳐 세정 후 건조된다. 따라서 본 발명의 설명은 상기 풉(10)의 세척과정을 따라 상기 이송부(100), 세정부(300) 및 건조부(400) 순으로 진행되며, 상기 그립부(200)는 상기 풉(10)을 상기 이송부(100)에서 세정부(300)로, 세정이 끝난 풉(10)을 상기 세정부(300)에서 건조부(400)로 이송하는데 사용되므로 해당 과정에서 상기 그립부(200)의 동작에 대해서 상세히 설명한다.
도 4는 상기 이송부(100)를 확대 도시한 것이고, 도 5는 상기 이송부(100)에 풉(10)이 안착되어 이송되는 과정을 도시한 것이다. 도 1, 4 및 5에 도시된 바와 같이 상기 이송부(100)는 상기 제1케이스(21)의 외측에 일부가 노출되어 풉(10)이 안착되고, 풉(10)의 도어(11)를 개방한 후 상기 풉(10)을 일측으로 이송시키며, 스테이지(110), 이송판(120) 및 흡착부(130)를 포함하여 이루어진다. 상기 이송부(100)에 상기 풉(10)이 안착되는 방향은 풉(10)의 도어(미도시)가 상기 이송판(120)을 향하도록 한다.
상기 스테이지(110)는 상기 풉(10)이 이송되는 구성으로, 판 형상을 가지며 일측으로 연장 형성된다. 상기 스테이지(110)의 상측에는 도 4에 도시된 바와 같이 레일이 형성되어 있으며, 후술할 상기 이송판(120)이 상기 레일을 따라 상기 스테이지(110)의 일측으로 이동하게 된다.
상기 이송판(120)은 상기 풉(10)이 안착되어 상기 스테이지(110)의 표면을 슬라이딩 방식으로 이동한다. 상기 이송판(120)의 하부에는 상기한 레일이 위치하여, 상기 이송판(120)이 이송되는 방향 및 위치를 결정한다.
상기 이송판(120)의 상부에는 상기 풉(10)이 고정되도록 하는 별도의 고정 핀이 형성될 수 있으며, 상기 고정 핀은 상기 풉(10)의 하면에 위치한 홀에 삽입되어 상기 이송판(120)의 상측에 안착된다.
도 4에 도시된 바와 같이, 상기 이송판(120)의 상면에는 상기한 고정 핀 외에도 식별 핀(121) 및 Mapping sensor가 추가적으로 형성될 수 있다. 상기 식별 핀(121)은 상기 이송판(120)은 상면에 형성되어, 상기 풉(10)의 종류를 판별하는 구성이다. 이는 상기 풉(10)이 일반적으로 금속 풉(Metal FOUP)과 비금속 풉(Non metal FOUP)에 따라 하면의 특정 위치에 홀의 형성 유무가 다르기 때문이며, 풉의 종류에 따라 서로 다른 종류의 세정액을 사용해야 하기 때문이다. 금속 풉의 경우 홀이 형성되어 있지 않아, 풉이 상기 이송판(120)의 상면에 안착되었을 때, 상기 식별 핀(121)이 눌리게 되고, 비금속 풉의 경우 홀이 형성되어 풉이 상기 이송판(120)의 상면에 안착되었을 때, 상기 식별 핀(121)이 눌리지 않아 상기 이송판(120)에 안착된 풉의 종류를 구분할 수 있다.
상기 Mapping sensor의 경우, 상기 풉(120)의 내부에 웨이퍼의 수용여부를 측정할 수 있다. 이는 상기 풉(120)의 내부에 웨이퍼가 수용되었을 경우, 세정액이 웨이퍼를 손상시킬 수 있어 이를 방지하기 위함이다.
도 4에 도시된 상기 흡착부(130)는 상기 스테이지(110)의 중단에 위치하여, 상기 이송판(120)에 안착된 풉(10)의 도어를 결합한 후 이동하여 상기 도어를 개방한다.
도 5a 내지 5d에는 상기 이송판(120)에 안착된 풉(10)이 이동하는 과정이 도시되어 있다. 먼저 도 5a에 도시된 바와 같이, 풉(10)의 도어(미도시)가 상기 흡착부(130)를 향하는 방향으로 상기 이송판(120)에 안착시킨다. 이후 상기 이송판(120)이 상기 흡착부(130) 방향으로 이동하여, 상기 풉(10)의 도어가 상기 흡착부(130)에 맞닿으면, 상기 흡착부(130)가 진공 방식을 이용하여 도어를 잡은 후 도 5b에 도시된 바와 같이 상측으로 이동하여 상기 이송판(120) 및 풉(10)이 이동할 공간을 개방하면서 동시에 풉(10)의 도어를 풉(10)과 분리시킨다. 이후 도 5c에 도시된 바와 같이 상기 이송판(120)은 상기 스테이지(110)의 일측으로 이동한 뒤, 도 5d에 도시된 바와 같이 상기 흡착부(130)가 하강하게 되며, 상기 이송부(100)의 일측으로 이동한 풉(10)은 상기 그립부(200)에 의해 이송된다.
상기 그립부(200)는 상기 이송부(100)의 일측으로 이송된 상기 풉(10)과 결합하여 상기 풉(10)을 이송시키되, 결합된 상기 풉(10)을 회전 가능하도록 구성된다.
도 6은 상기 그립부(200)만을 도시한 것으로, 도 6에 도시된 바와 같이 상기 그립부(200)는 그립부재(210), 회전부재(220) 및 레일(230)을 포함하여 형성될 수 있다.
상기 그립부재(210)는 상기 풉(10)의 상면에 형성된 돌기(11)를 잡아 상기 풉(10)을 잡는 구성이다. 상기 그립부재(210)에는 상기 풉(10)의 유무를 감지할 수 있는 sensor가 포함되어 풉의 위치를 확인할 수 있다.
상기 회전부재(220)는 상기 그립부재(210)를 회전시키는 구성으로, 이를 통해 상기 그립부재(210)와 결합된 풉(10)을 회전시키도록 한다.
상기 그립부재(210)와 회전부재(220)는 상기 레일(230)에 결합되어 상기 레일을 따라 이동 가능하도록 구성된다.
도 7은 상기 그립부재(210)가 상기 풉(10)의 상면에 형성된 돌기(11)를 잡아 상기 풉(10)과 결합된 상태를 도시한 것이고, 도 8은 상기 그립부(200)가 상기 풉(10)을 상기 이송부(100)의 일측에서 상기 세정부(300)로 이송하는 과정을 도시한 것이다. 이 과정을 상세히 설명하면, 도 8a에 도시된 바와 같이 상기 풉(10)을 잡은 그립부재(210)는 도 8b에 도시된 바와 같이 상기 레일(230)상을 약간 이동하여, 상기 풉(10)이 회전할 수 있는 공간을 확보한다. 이후 도 8c에 도시된 바와 같이 상기 회전부재(220)가 상기 그립부재(210)를 회전시켜 상기 풉(10)의 개방면, 즉 본래 풉(10)의 도어가 설치되어 있던 면이 상측으로 향하도록 한다. 이후 상기 그립부(200)는 상기 레일(230)상을 이동하여, 도 8d에 도시된 바와 같이 상기 풉(10)을 상기 세정부(300)에 이송시킨다.
도 9는 상기 세정부(300)의 각각의 상태를 도시한 것으로, 도 8 및 9에 도시된 바와 같이 상기 세정부(300)는 상기 그립부(200)로부터 상기 풉(10)을 이송 받아 고정시키고, 왕복운동을 통해 이를 세정하며, 홀더(310), 세정액 공급부, 커버 이송부(320) 및 왕복 이동부(330)를 포함한다.
상기 홀더(310)는 상기 그립부(200)로부터 이송 받은 상기 풉(10)을 고정하며, 풉 센서 및 누수센서를 포함한다. 상기 홀더(310)는 내부에 소정의 공간이 형성되어, 상기 풉(10)이 위치하도록 할 수 있으며, 이의 외측에는 별도의 외벽이 형성되어 있다. 상기 홀더(310)가 상기 풉(10)을 고정하는 방식은 상기 풉(10)이 상기 홀더(310)에 형성된 공간에 위치하면, 상기 홀더(310)는 이를 감지하여 외벽을 내측, 즉 상기 풉(10)쪽으로 이동시켜 상기 풉(10)의 측면을 조여 고정시키는 방식이다. 이때, 상기 홀더(310)는 상기 풉(10)의 유무를 감지하는 풉 센서를 포함할 수 있다.
상기 누수센서는 상기 풉(10)의 파손에 의해 세정액이 흘러 상기 홀더(310)로 흘렀을 때, 이를 감지하여 사용자에게 경고를 하는 역할을 한다. 이때 경고의 수단은 디스플레이 또는 경광등과 같이 사용자에게 시각적으로 구분할 수 있도록 하거나, 별도의 경고음을 출력하여 청각적으로 알리도록 할 수 있다.
상기 세정액 공급부(미도시)는 상기 홀더(310)에 고정된 상기 풉(10) 내부에 세정액을 공급한다. 이를 위해 상기 공급부는 상기 홀더(310)의 상측에 위치하여 하측의 상기 풉(10) 내부로 세정액을 공급한다. 세정액으로는 일반적으로 웨이퍼의 세척공정에 사용되는 것과 동일한 초순수(DIW, DeIonized Water)를 사용하며, 일정 온도 이상으로 가열된 초순수를 사용한다. 이를 위해 상기 공급부는 공급하는 초순수를 가열할 수 있는 별도의 수단으로 히팅 모듈을 더 포함할 수 있다. 상기 세정액 공급부 또한 상하 및 수평 방향으로 이동 가능하도록 별도의 레일 또는 승하강 수단에 결합될 수 있다.
도 9에 도시된 바와 같이 상기 커버 이송부(320)는 상기 풉(10)의 개방면에 커버(12)를 안착 또는 탈거하는 역할을 한다. 상기 커버(12)는 상기 풉(10) 내부에 공급된 세정액이 세정과정에서 외부로 배출되는 것을 방지하기 위한 구성이다. 도 8d와 같이 상기 홀더(310)에 상기 풉(10)이 안착되고 세정액이 상기 풉(10) 내부에 공급된 뒤에 상기 커버 이송부(320)는 파지하고 있던 커버(12)를 도 9c에 도시된 바와 같이 상기 풉(10)의 개방면에 안착시켜, 상기 풉(10)을 밀폐한다. 이후 상기 커버 이송부(320)는 상기 커버(12)를 상기 풉(10)의 개방면에 놓은 채로 상승하여, 후속 과정을 수행하도록 한다.
상기 왕복 이동부(330)는 상기 홀더(310)의 하측에 형성되어, 상기 홀더(310)를 왕복 이동시키며, 레일(331) 및 회전판(332)을 포함한다. 상기 왕복 이동부(330)가 왕복 이동하는 시점은 도 9c에 도시된 바와 같이 상기 풉(10)의 내부에 세정액이 공급되고 커버(12)가 안착된 후 상기 커버 이송부(320)가 상기 커버(12)에서 떨어진 후의 시점이다.
도 9a 및 9b에 도시된 바와 같이 상기 레일(331)은 일측으로 연장 형성되어, 상기 홀더(310)가 이동하는 경로를 한정하며, 상기 회전판(332)은 상기 레일(331)과 홀더(310) 사이에 형성되어 상기 레일(331)을 따라 왕복 이동하거나 상기 홀더(310)를 회전시킨다.
상기 홀더(310) 및 풉(10)이 왕복 이동하여 세정하는 과정을 보다 상세히 설명하면, 도 9c에 도시된 바와 같이 상기 커버(12)가 안착된 후 상기 왕복 이동부(330)는 상기 홀더(310)와 풉(10)을 상기 레일(331)을 따라 소정의 시간동안 왕복시킨다. 이때, 상기 풉(10)의 내부에 공급된 세정액은 상기 풉(10)을 꽉 채울 정도로 공급되지 않아서, 왕복 운동에 따라 상기 풉(10)의 내면과 세정액은 마찰을 일으키게 된다.
소정의 시간동안 상기 홀더(310)와 풉(10)의 왕복 운동이 진행된 후에는, 상기 회전판(332)이 상기 홀더(310)를 90도 회전시킨 후, 다시 소정의 시간동안 왕복 운동을 시킨다. 이는 상기 풉(10)이 개략적으로 정육면체 형상이므로, 회전을 통해 세정액과 상기 풉(10)의 내면 중 마찰을 일으키는 면을 변경하여 세정효율을 보다 높이기 위함이다.
상기한 과정을 통해 세정이 완료된 후에는, 상기 커버 이송부(320)가 상기 커버(12)를 파지한 채로 상승하여 탈거시킨다. 이후 세정액이 내부에 수용된 상기 풉(10)은 상기 그립부(200)에 의해서 상기 건조부(400)로 이송되게 된다.
도 10은 상기 풉(10)이 안착되지 않은 상기 건조부(400)를 개략적으로 도시한 것이고, 도 11은 상기 풉(10)이 안차된 상기 건조부(400)를 개략적으로 도시한 것이다. 도 10 및 11에 도시된 바와 같이 상기 건조부(400)는 상기 세정부(300)에서 상기 풉(10)의 세정이 완료된 후, 상기 풉(10)을 건조시키며, 챔버(420), 승하강부(410) 및 노즐부를 포함한다.
상기 챔버(420)는 상기 풉(10)의 건조과정이 수행되는 공간으로, 하측에는 다수의 구멍이 뚫려있다. 상기 챔버(420)의 구멍은 상기 풉(10)에 수용된 세정액을 버리기 위한 구성이다. 상기 풉(10)에 수용된 세정액을 버리는 과정은 상기 그립부(200)가 수행한다. 먼저, 상기 세정부(300)에서 세정이 완료되고, 커버(12)가 개방된 상태의 풉(10)을 상기 그립부(200)가 잡는다. 이때, 상기 풉(10)의 개방면은 상측을 향하고 있으므로 세정액이 외부로 배출되지 않는다. 이 상태에서 상기 그립부(200)가 상기 풉(10)을 상기 건조부(400)의 상부로 이송하게 되고, 이 상태에서 상기 회전부재(220)가 상기 그립부재(210)를 회전시켜, 상기 풉(10)의 개방면이 하측을 향하도록 하여, 상기 풉(10)의 내부에 수용된 세정액을 상기 챔버(420)의 하측으로 버리도록 한다. 상기 챔버(420)의 하측으로 버려진 세정액은 별도의 구성을 통해 드레인되어 처리된다.
상기한 과정을 거친 후, 상기 그립부(200)는 상기 풉(10)을 상기 챔버(420)의 내부에 형성된 승하강부(410)에 안착시킨다. 상기 승하강부(410)는 상기 그립부(200)로부터 상기 풉(10)을 공급받아 승하강 시키며, 상기 풉(10)이 안착되는 프레임부재(411)를 포함할 수 있다. 도 10에 도시된 바와 같이 상기 프레임부재(411)는 상기 풉(10)의 개방면이 안착될 수 있도록 개방면의 형상의 외관을 따라 형성되되, 그 외의 부분은 개방되어 상기 풉(10) 내부에 세정액이 남아있더라도 하측으로 배출 가능하도록 할 수 있다.
도 11에 도시된 바와 같이, 상기 승하강부(410)에 안착된 상기 풉(10)은 상기 챔버(420) 내부로 하강한다. 이후 상기 챔버(420)의 하측에서 챔버의 내부로 노즐부(미도시)가 이동한 후, 상기 풉(10)의 내면을 향해 압축건조공기(CDA, Compressed Dry Air) 또는 질소가스를 분사하여 상기 풉(10)의 내부를 건조한다. 이때, 상기 노즐부는 별도의 모터와 연결되어 상기 모터의 구동에 따라 회전 함께 회전 가능하여, 회전하면서 압축건조공기를 분사할 수 있다.
상기 노즐부에서 분사하는 압축건조공기 또는 질소가스는 고온상태로 분사될 수 있다. 이를 위해 상기 건조부(400)는 압축건조공기 또는 질소가스를 가열하여 상기 노즐공급부로 공급할 수 있는 히팅 모듈을 더 포함할 수 있다.
본 발명에 의한 자동 풉 세정장치는 상기 건조부(400)의 챔버(420)에서 버려지는 세정액을 드레인하기 위한 별도의 구성으로, 기수분리부를 더 포함할 수 있다. 상기 기수분리부는 건조 모듈에서 드레인되는 세정액과 아웃가스의 혼합물을 액체와 기체로 분리하는 역할을 한다.
본 발명은 상기한 실시예에 한정되지 아니하며, 적용범위가 다양함은 물론이고, 청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 다양한 변형 실시가 가능한 것은 물론이다.
10 : 풉
11 : 돌기 12 : 캡
21 : 제1케이스 22 : 제2케이스
30 : 환기필터
100 : 이송부 110 : 스테이지
120 : 이송판 121 : 식별 핀
130 : 흡착부
200 : 그립부 210 : 그립부재
220 : 회전부재 230 : 레일
300 : 세정부 310 : 홀더
320 : 커버 이송부 330 : 왕복 이동부
331 : 레일 332 : 회전판
400 : 건조부 410 : 승하강부
411 : 프레임부재 420 : 챔버

Claims (12)

  1. 안착된 풉(10)의 도어를 개방한 후, 상기 풉(10)을 일측으로 이송시키는 이송부(100);
    상기 이송부(100)의 일측으로 이송된 상기 풉(10)을 이송시키되, 이송시키는 상기 풉(10)을 회전 가능하게 형성되는 그립부(200);
    상기 그립부(200)로부터 상기 풉(10)을 이송 받아 고정시키고, 왕복운동을 통해 이를 세정하는 세정부(300); 및
    상기 그립부(200)로부터 상기 세정부(300)에서 세정이 완료된 상기 풉(10)을 이송 받아 이를 건조시키는 건조부(400);
    를 포함하되,
    상기 세정부(300)는
    상기 그립부(200)로부터 이송 받은 상기 풉(10)을 고정하는 홀더(310)를 포함하고,
    상기 홀더(310)는 상기 풉(10)의 유무를 판별하는 풉 센서 및
    상기 풉(10)의 파손에 의한 누수여부를 감지하는 누수센서를 포함하는 것을 특징으로 하는 자동 풉 세정장치.
  2. 제 1항에 있어서, 상기 이송부(100)는
    일측으로 연장 형성된 스테이지(110),
    상면에 상기 풉(10)이 안착되어 상기 스테이지(110)의 표면을 이동하는 이송판(120) 및
    상기 스테이지(110)의 중단에 위치하여, 상기 이송판(120)에 안착된 풉(10)의 도어를 개방하는 흡착부(130)
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 자동 풉 세정장치.
  3. 제 2항에 있어서, 상기 이송판(120)은
    상면에 형성되어 상기 풉(10)의 종류를 판별하는 식별 핀(121)을 포함하는 것을 특징으로 하는 자동 풉 세정장치.
  4. 제 1항에 있어서, 상기 그립부(200)는
    상기 풉(10)을 잡는 그립부재(210) 및 상기 그립부재(210)를 회전시키는 회전부재(220)를 포함하는 것을 특징으로 하는 자동 풉 세정장치.
  5. 제 1항에 있어서, 상기 그립부(200)는
    상기 이송부(100)의 일측으로 이동된 상기 풉(10)의 개방된 부분이 상측에 위치하도록 회전한 후, 이를 상기 세정부(300)로 이송하는 것을 특징으로 하는 자동 풉 세정장치.
  6. 제 1항에 있어서, 상기 세정부(300)는
    상기 홀더(310)에 고정된 풉(10) 내부에 세정액을 공급하는 세정액 공급부,
    상기 풉(10)의 개방면에 커버(12)를 안착 또는 탈거하는 커버 이송부(320) 및
    상기 홀더(310)의 하측에 형성되어, 상기 홀더(310)에 풉(10)이 고정되었을 때 상기 홀더(310)를 왕복 이동시켜 상기 풉(10)을 세정하는 왕복 이동부(330)
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 자동 풉 세정장치.
  7. 제 6항에 있어서, 상기 왕복 이동부(330)는
    일측으로 연장 형성된 레일(331) 및
    상기 레일(331)과 홀더(310) 사이에 형성되어 상기 레일(331)상을 왕복 이동하며, 상기 홀더(310)를 회전 시키는 회전판(332)
    을 포함하는 것을 특징으로 하는 자동 풉 세정장치.
  8. 삭제
  9. 제 1항에 있어서, 상기 그립부(200)는
    상기 세정부(300)에서 세정이 완료된 풉(10)을 상기 건조부(400)로 이송하되, 상기 풉(10)을 회전하여 내부의 세정액을 버리는 것을 특징으로 하는 자동 풉 세정장치.
  10. 제 1항에 있어서, 상기 건조부(400)는
    상기 그립부(200)로부터 상기 풉(10)을 공급받아 승하강 시키는 승하강부(410) 및
    상기 풉(10) 내부에 위치하여 상기 풉(10)의 내면을 향해 회전을 하면서 압축건조공기 또는 질소가스를 분사하는 노즐부
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 자동 풉 세정장치.
  11. 제 6항에 있어서, 상기 세정부(300)는
    세정액을 가열하여 상기 세정액 공급부로 공급하는 히팅 모듈을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 자동 풉 세정장치.
  12. 제 10항에 있어서, 상기 건조부(400)는
    압축건조공기 또는 질소가스를 가열하여 상기 노즐부로 공급할 수 있는 히팅 모듈을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 자동 풉 세정장치.
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