JP2522864B2 - キャリヤ洗浄機 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、ウエハを収納して運搬
するためのキャリヤを洗浄するキャリヤ洗浄機に関し、
特に、洗浄前のキャリヤを収納するストッカーからキャ
リヤを搬出して、ブラシ洗浄槽、薬液槽、純水槽、乾燥
槽と順次通過させて洗浄したあと、洗浄後のキャリヤを
別のストッカーへ格納することにしたキャリヤ洗浄機に
関する。

【０００２】

【従来の技術】半導体製品の製造に際して使用されるキ
ャリヤの洗浄について、薬液（例えば塩酸希釈液）を使
用する場合、従来は薬液槽にカバー等をするか、装置全
体をダクトから排気することで、薬液蒸気の拡散を防止
していた。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかし、該カバーを手
動或いは自動で開閉するにしても、キャリヤを薬液槽に
出し入れする度に該カバーの開閉を行うので薬液蒸気の
拡散防止を十分には図れないという問題が存在する。ま
た、薬液自体が希釈されているとは言え、洗浄のための
純水槽からも薬液蒸気が拡散するという問題がある。

【０００４】さらに薬液蒸気が拡散することにより、洗
浄装置内部の金属部品の発錆が防止できないという問題
が存在する。

【０００５】本発明は上記した従来技術の問題点に鑑み
て提案されたもので、薬液蒸気の拡散及びそれに伴う洗
浄装置内部の金属部品の発錆を防止することか出来るキ
ャリヤ洗浄機の提供を目的としている。

【０００６】

【課題を解決するための手段】本発明のキャリヤ洗浄機
は、洗浄前のキャリヤを収納する第１のストッカーと、
キャリヤを洗浄するためのブラシ洗浄槽、薬液槽、純水
槽及び乾燥槽と、洗浄後のキャリヤを格納する第２のス
トッカーと、キャリヤを搬送する搬送機構とを含むキャ
リヤ洗浄機において、前記薬液槽の上面開口部には機械
的に開閉する扉を取付け、該扉の下側で前記開口部全体
を横断して流れる気体の層を作るため前記開口部の一端
部に気体の吹き出し口を設け且つ他端部には気体の吸込
口を設け、更に前記薬液層及び純水層を覆って他の部分
とは隔離するための囲いと、該囲い中のキャリヤ及び搬
送機構が出入りする箇所に取り付けた遮蔽物と、該囲い
の内部気体を吸引して外部に排出するためのダクトとを
含んでいる。

【０００７】本発明の実施に際して、前記開口部全体を
横断して流れる気体の層は、Ｎ₂ ガス或いは空気から構
成されるのが好ましい。

【０００８】また、前記純水槽は１つだけ設けても良
く、或いは複数個設けても良い。

【０００９】さらに、前記遮蔽物としては、例えばシャ
ッター、扉、カーテン等が好ましい。

【００１０】これに加えて、前記囲いは例えば仕切板等
で構成されるのが好ましい。

【００１１】

【作用】上述した様な構成を有する本発明のキャリヤ洗
浄機によれば、薬液槽と純水槽とを囲いにより他の部分
から隔離し、該囲いからダクトによって薬液蒸気等を吸
引して洗浄装置外へ放出するようにしてあるので、薬液
蒸気が洗浄装置内部へ拡散して錆を発生することが防止
される。

【００１２】そして、キャリヤの搬送を妨害しない様に
するため、該囲いには開口部が設けられている。ここ
で、該開口部を介して薬液蒸気が拡散しないようにする
ため、開口部には遮蔽物を設けてある。これに加えて、
キャリヤ搬送に際して遮蔽物が開放されたとしても該囲
い内ではダクトを介して内部の空気が吸引されているた
め、薬液蒸気が囲いの外部へ漏れることは無い。

【００１３】更に、囲い内部にある薬液槽の上面開口部
にはシャッター（扉）を設け、その下方にＮ₂ ガス或い
は空気の様な気体の流れがエアーカーテンのように開口
部を横断するように構成した為、薬液蒸気の拡散をより
効果的に防止することができた。

【００１４】すなわち薬液槽の開口部からの蒸気拡散を
エアーカーテン及び扉により防止し、これに加えて薬液
槽、水洗槽全体を囲いによりその他の部分から隔離し、
この囲いの内部雰囲気或いは内部空気をダクトにより吸
引し外部へ放出したことにより、洗浄装置内部へ薬液蒸
気が拡散すること及び金属部品に錆が発生することを防
止したのである。

【００１５】

【００１６】

【実施例】以下、図面を参照して本発明の実施例につい
て説明する。

【００１７】第１図は本発明によるキャリヤ洗浄機の第
１実施例の全体を示している。

【００１８】全体を符号１でしめすキャリヤ洗浄機は、
その内部に、洗浄すべきキャリヤ９を収納する（第１
の）ストッカー２と、このキャリヤ９を搬送するための
搬送機構４０と、汚れているキャリヤを最初に洗浄する
ブラシ洗浄槽３と、該ブラシ洗浄槽３の次にキャリヤを
侵漬して化学的に洗浄するための薬液槽４、順次キャリ
ヤを侵漬していくための純水槽５、６を含んでいる。こ
こで搬送機構４０は、把手部１８、伸縮部１１、横行レ
ール１０とから概略構成されている。

【００１９】更にキャリヤ洗浄機１の内部には、洗浄を
終了したキャリヤを乾燥するための乾燥槽７、乾燥工程
を終了し洗浄作業の全工程を終了したキャリヤを収納す
る（第２の）ストッカー８がある。

【００２０】薬液槽４、純水槽５、６は囲い即ちカバー
１２によって囲まれており、このカバー１２にはキャリ
ヤ９及び搬送機構４０が出入りする開口部１３ａ、１４
ａ、１５ａが形成されている。そして、これ等の開口部
１３ａ、１４ａ、１５ａにはそれぞれ扉１３、１４、１
５が設けられている。なお扉１３、１４、１５の開閉は
手動或いは自動のいずれても良い。

【００２１】第１図の実施例ではキャリヤ９及び搬送機
構４０はカバー１２の上部から入るように構成されてい
るが、カバー１２の真横（第１図の紙面に垂直な方向）
から出し入れする様に構成しても良い。その様な実施例
（第２実施例）が第２図及び第３図に示されている。

【００２２】第２図において、キャリヤ９をブラシ洗浄
槽３から薬液槽４に移送するための部材２７、２８があ
り、これによってキャリヤ９はカバー１２の真横にある
開口部２９からカバー１２の中に入り、薬液槽４の中へ
侵漬される。

【００２３】第３図で示す様に、キャリヤ９を保持して
横行したり上下動させるための機構３４はカバー１２の
外側にあり、前記移送部材２７、２８を横行或いは上下
動させる。

【００２４】再び第２図において、カバー１２を貫通す
る移送部２８が横行上下動できるようにするため、カバ
ー１２にはスリット３０が形成されている。そして、こ
のスリット３０に沿って移送部２８が動き、キャリヤ９
を保持しつつ、薬液槽４、純水槽５、６へ順次キャリヤ
９を侵漬していく。そして純水槽６での侵漬を終える
と、キャリヤ９はカバー１２の開口部３１から乾燥槽７
の中へ移される。なお、カバー１２の開口部２９、３１
にはそれぞれ扉３２、３３が設けられている。

【００２５】第１図及び第２図において、カバー１２の
内部はダクト１６によって外部に連通しており、カバー
１２の内部雰囲気或いは内部空気は吸気ファン１７によ
って常に外部に排出されている。従って、カバー１２の
各扉１３、１４、１５或いは３２、３３が開放状態であ
っても、そしてスリット部３０（第２図）が形成されて
いても、カバー１２の内部雰囲気がカバー１２の外部に
排出され、洗浄機１の内部に拡散してしまうことはな
い。

【００２６】ここで、薬液槽４は第４図にその詳細を示
すように、その中には薬液（例えば塩酸希釈液）が満た
され、キャリヤ９（第４図では図示せず）がこの中に浸
されると該キャリヤに付着した金属イオン等が除去され
る。

【００２７】この薬液槽４の上部開口部４２には、Ｎ₂
ガス或いは空気の流れ２２が該開口部４２全面に渡って
横断して流れるように、ファン１９、吐出ダクト２０
（吐出口）及び吸引ダクト２１（吸込口）、及び外部吸
引部につながる配管２６を設置してある。これにより開
口部を横切る気体流れ２２がエアカーテンとして作用
し、薬液蒸気は容易に外部へ流出することが出来ない。

【００２８】更にキャリヤ９が薬液槽４に出入りする時
以外は扉２３により開口部４２は閉鎖されており、気体
流れ２２（エアカーテン）の作用と相俟って、薬液蒸気
が薬液槽４外部へ流出するのを防いでいる。ここで、扉
２３は気体流れ２２の上側に設置されており、シリンダ
２４、ロッド２５によって開閉されるようになってい
る。

【００２９】次に、主として第１図を参照して、本発明
のキャリヤ洗浄機１の作動について説明する。

【００３０】洗浄されるべきキャリヤ９はストッカー２
の中に収納されている。このストッカー２は、キャリヤ
９を収納したまま外部よりキャリヤ洗浄機１の中に持ち
込まれるよう構成されている。そしてストッカー２は取
外し可能になっており、運搬に便利なように底部にキャ
スター（図示せず）をつけている。

【００３１】このストッカー２がキャリヤ洗浄機１内部
に設置されると、搬送機構４０によりキャリヤ９はスト
ッカー２より持ち出され、ブラシ洗浄槽３の中に運び込
まれる。ブラシ洗浄槽３の中では、図示されていないブ
ラシによりキャリヤ９が洗浄される。

【００３２】次にキャリヤ９は搬送機構４０によりカバ
ー１２の中にある薬液槽４の中に運び込まれ、この中の
薬液により更に洗浄される。そして搬送機構４０により
隣の純水槽５の中に運び込まれ、キャリヤ９についた薬
液が洗い落とされ、更に次の純水槽６の中に運び込ま
れ、ここで純水による最終洗浄が行われる。

【００３３】そのあと搬送機構４０によりカバー１２よ
り出されて、隣にある乾燥槽７の中に運び込まれ、ここ
でＮ₂ ガス等により水分を完全に除去されて乾燥し、ス
トッカー８の中に収納される。

【００３４】ストッカー８に洗浄を終了したキャリヤが
或程度の数量だけ収納されると、ストッカー２と同じ
く、外部へ運び出される。ここで、外部への搬出を容易
にするため、ストッカー８の底部にもストッカー２と同
じくキャスター（図示せず）がついている。

【００３５】ここで、薬液槽４及び純水槽５、６は前述
のようにカバー１２で囲まれており、この内部はダクト
１６を通して外部へ接続されており、吸引フアン１７に
より内部雰囲気（内部空気）は外部へ吸出されるので、
薬液槽４の上部開口部４２を介して、エアーカーテン２
２及び扉２３をかいくぐって薬液蒸気が漏れてきたとし
ても、ダクト１６を通してカバー１２の中から洗浄機１
の外部へ排出されてしまう。純水槽５、６の中からも洗
い落とされた薬液の蒸気が出てくることもあるが、これ
も同様にダクト１６を通して外部へ排出され、カバー１
２外部であってキャリヤ洗浄機本体１の内部における他
の箇所へ洩れ出すことはなく、金属部品の発錆を防いで
いる。

【００３６】

【発明の効果】以上説明した様に、本発明は発錆の元凶
である薬液を貯蔵する薬液槽の開口部にエアカーテンと
扉とから成る二重シールを施し、更にこの薬液槽及び薬
液を洗い落とす単数或いは複数の純水槽を囲うカバーを
設け、このカバー内部（局所排気エリア）の雰囲気をダ
クトを通して外部へ放出するようにしたことにより、カ
バー内は常に外より負の圧力となり、薬液蒸気が洗浄機
内部へ拡散することを防止している。

【００３７】そしてこれに伴い、キャリヤ洗浄機内部及
び外部の金属部品の発錆を防止し、運転の安定性を確保
し、各部品の長寿命化にも役立つのである。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１実施例を示す断面側面図。

【図２】本発明の第２実施例を示す断面側面図。

【図３】図２のＡ−Ａ矢視図。

【図４】本発明で用いられる薬液槽の詳細を示す部分拡
大図。

【符号の説明】 １…キャリヤ洗浄機 ２…第１のストッカー ３…ブラシ洗浄槽 ４…薬液槽 ５、６…純水槽 ７…乾燥槽 ８…第２のストッカー ９…キャリヤ １２…カバー（囲い） １３ａ、１４ａ、１５ａ、…カバーの開口部 １６…ダクト ２０…気体の吹き出し口 ２１…気体の吸込口 ２２…気流（気体の層） ２３…薬液槽の扉 ３４、４０…搬送機構 ４２…薬液槽の開口部

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 本郷 明久 東京都大田区羽田旭町11番１号 株式会 社荏原製作所内 (72)発明者 藤江 信夫 神奈川県川崎市中原区上小田中1015番地 富士通株式会社内 (72)発明者 佐藤 和明 神奈川県川崎市中原区上小田中1015番地 富士通株式会社内 (72)発明者 渡辺 謙二 愛知県春日井市高蔵寺町二丁目1844番２ 富士通ヴィエルエスアイ株式会社内 (56)参考文献 特開 平４−142058（ＪＰ，Ａ) 特開 昭61−43430（ＪＰ，Ａ) 特開 昭62−30334（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−4491（ＪＰ，Ａ) 特開 昭62−18037（ＪＰ，Ａ)

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 洗浄前のキャリヤを収納する第１のスト
   ッカーと、キャリヤを洗浄するためのブラシ洗浄槽、薬
   液槽、純水槽及び乾燥槽と、洗浄後のキャリヤを格納す
   る第２のストッカーと、キャリヤを搬送する搬送機構と
   を含むキャリヤ洗浄機において、前記薬液槽の上面開口
   部には機械的に開閉する扉を取付け、該扉の下側で前記
   開口部全体を横断して流れる気体の層を作るため前記開
   口部の一端部に気体の吹き出し口を設け且つ他端部には
   気体の吸込口を設け、更に前記薬液層及び純水層を覆っ
   て他の部分とは隔離するための囲いと、該囲い中のキャ
   リヤ及び搬送機構が出入りする箇所に取り付けた遮蔽物
   と、該囲いの内部気体を吸引して外部に排出するための
   ダクトとを含むことを特徴とするキャリヤ洗浄機。