JPS60130740A - 前処理及びマスキングの全自動処理方法及びその全自動処理装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 く技術分野〉 本発明は、ケミカルブランキング（化学的打抜き）のた
めの前処理及びマスキングまでの工程を産業用ロボット
（以下、単にロボットという。）によって行う前処理及
びマスキングの全自動処理方法及びその全自動処理装置
に関する。

〈従来技術〉 従来のケミカルブランキングの工程は、−例とし５て以
下のように行われている。

脱脂→水洗→アシッドジップ（酸洗浄）→水洗→アルコ
ール洗浄→水洗→フロン乾燥→感光膜コーティング→ヒ
ーター乾燥→冷却→袋状フィルムへ収容→プリンターに
よる両面焼き→現像→水洗→エツチング→水洗→レジス
ト剥離−水洗れＬ辺が開放された袋状構造をしている。

そこで、ケミカルブランキングの工程をロボットを゛導
入して省力化を図りたいとする要望があった。

しかるに、タンク群を並設して基板のタンク間の移送を
ロボット−で行わせることは特に困難な問題ではないが
、従来のプリンターはロボットを適用できる構造ではな
い。

従来のプリンターは、上下配置の一対の光源の間に水平
なフィルム蔵置板がありその上にフィルム密着板が被さ
る構造であって袋状フィルムを開く機能を有していない
ので、基板は人手により袋状フィルムに入れ水平に持っ
てフィルム載置板の上に載せねばならない。これをロボ
ットで行わせるには困難がある。すなわち、ロボットで
基板や袋状フィルムの一端を挟持し水平に保とうとして
も垂下ってしまい、基板や袋状フィルムに歪ができて七
まうので、基板や袋状フィルムは、水平に持つのでなく
沿直に持たなければならない。しかるに、ロボットで袋
状フィルムに対し基板を出入なお、アルコール洗浄は省
略される場合がある。

そして、Ｌ記工程のほとんどが人手により行われていた
。具体的に指摘すると、基板の各工程間の移送は全て人
手により行われていた。また、プリンターでの両面焼き
も人手により行われていた。

ここで、理解のために、従来のプリンターでの両面焼き
の方法を説明しておＣ１ことにする。

先ず、プリンター外において袋状フィルムに両面コーテ
ィングした基板を入れることを人手により行ない、また
基板を入れた袋状フィルムを上下配置の−・対の光源の
間にある水平なフィルム載置板の上に載せることを人手
により行ない、さらに、フィルム密着板を被せ真空密着
してから両面焼きした後の袋状フィルムを取出すことや
袋状フィルムから基板を取出すことも人手により行なう
という方法であった。なお、両面焼きに使用される袋状
フィルムとは、同一の画像やパターンや文字等が写ネれ
た２枚のフィルムを画像等がずれないよう精密に重ねら
れ左右側辺及び下辺が密着されするには、袋状フィルム
を立て上端を開いた状きる。

このようなことから、本発明者は、従来のプリンターに
変えて、先に袋状フィルムを上方からフィルム固定板と
フィルム密着板に間に下降収容し、フィルム密着板を一
度閉じフィルム固定板とフィルム密着板にそれぞれ設け
られた吸着パッドで袋状フィルムの両面上部を吸着して
からフィルム密着板を再び開くことにより袋状フィルム
の上端を開いた状態にし、続いて、基板をこの袋状フィ
ルムに入れフィルム密着板を再び閉じ真空密着して両面
焼きするロボットの適用が可能な両面焼きプリンター（
出願中Φ特願昭５８−２１３８２７）を創出し、これに
よって、前処理及びマスキングまでの］工程をロボット
によって行う第一歩とした。

〈発明の目的〉 本発明は、−卜述したロボットの適用が可能な両面焼き
プリンターの開発とともに、ロボットのハンドをいくつ
かの異なる基板吊りげ機能を持った複合ハンドの開発し
、さらに、プリンターでの両面焼きには、基板を１枚ず
つ処理する必要があるが、システム全体として効率的な
処理ができるようタンク群にも必要な機能を持たせるこ
とによって、ケミカルブランキング（化学的打抜き）の
ための前処理及びマスキングまでの工程をロボットによ
って行うことができる前処理及びマスキングの全自動処
理方法及びその全自動処理装置を提供するものである。

〈発明の構成〉 本発明の実施例にかかる前処理及びマスキングの全自動
処理装置の全体構成が第１図に示され、各構成要素の詳
細な構成が第２Ｉ）！Ｊないし第１３図に示されている
。

先ず第１図に示すように、この全自動処理装置は、ロボ
ット１の作業範囲に収まるように、基板立掛手段２．タ
ンク群３〜１８．基板冷却ストック手段１９９袋状フィ
ルムストンク手段２０．及びプリンター２１がそれぞれ
適当な大きさに構成され適宜配置とされている。

タンク群３〜１８について説明すると、基板立川手段２
とロボットエの間に、ロポッｈｌから遠い位置に順に、
脱脂タンク３．水洗タンク４．アシッドジップのための
酸タンク５．フロン液補給タンク６があり、これらに隣
接して、現像タンク１１、水洗タンク１０．フルコール
タンク９．フロン乾燥タンク８．フロンガス発生タンク
７があり、ざらにＰ＃接してヒーター乾燥タンク１４゜
コーティングタンク１３．コーティング液補飴タンク１
２があり、また、２ＱｉＷスペースの関係で基板立掛「
段２よりもロボット１がら離れて脱脂液補給ター・り１
６．酸液補給タンク１５．アルコール補給タンク１７．
現像液補給タンク１８がある。水洗タンク４は、脱脂の
後及びアシッドジップの後に使用され、水洗タンクエ０
は現像後に使用される。

第１図のような配列は、ロボット１が基板を短い距離で
効率的に移送できるようにした配列である。ロボット１
と直接関係のない補助タンクがロボット１の作業範囲外
に置かれていることは、液の補給・管理をする際に作業
者がロボット１の危険が伴わないように考慮したもので
あり、また、基板立掛手段２と袋状フィルムスドック手
段２゜がロボット１から遠い所に置かれていることも同
様のためである。本発明は、このような配列に限定され
るものではない。

第２図は、ロボ−／　卜１によって基板立掛手段２に立
て掛けられた基板Ｐを脱脂タンク３へ移送するところを
示している。

ロボット１は、複合ハンド２２を備えた構成であり、こ
の複合ハンド２２は、アームに固定されるプレー）２２
ａに、吸着手段２２ｂ、第１挟持手段２２ｃ、及び第２
挟持手段２２ｄが付設され、これらはアーム軸の回りに
旋回されることにより作業目的に応じて切換え選択でき
る構成である。

プレー）２２ａは、中央部が軸回転可能なアームの先端
に固定され、この中央道よりアームの元方向に伸びる後
方辺と、アームの延長方向に伸びる前方辺があり、前方
辺の先端は、アーム軸延長線から垂直に離れる先端辺が
ある構成であり、吸着手段２２ｂは、先端辺に一対の吸
着パッドがアーム延長方向に伸びて付設されてなり、第
１挟持手段２２ｃは、前方辺に一列２個のとする一対の
爪がアーム軸延長線と背中合せに付設されてなり、第２
挟持手段２２ｄは、後方辺にアームと背中合わせに一列
２個の爪を一対として二列二対の爪が旧設されてなる。

ロポ、ト１は、所定の動作ができる適宜の形式のものを
採用可能であるが、環状エリアや扇状エリアの作業＠囲
を持つ円筒座標型ロボットよりも、矩形エリアの作業範
囲を持つ直交座標型ロボットまたは間接型ロボットが好
ましい。図では、直線テーブル２３上を移動する移動台
２４に第１アーム２５が浬仰自在に設けられさらに第１
アーム２５に第２アーム２６が俯仰自在に設けられ第２
アーム２６の先端には該アーム軸に関して回転自在な軸
２７を備えこの軸２７に上記の複合ハンド２２を取射け
られるようになっている。いわゆる垂直タイプのスカラ
ーロボットが採用されている。

そうして、ロボット１は、吸着手段２２ｂが基板立掛手
段２に立て掛けられている基板Ｐを１枚宛その上端を掴
んで脱脂タンク３へ移送するのに使用され、また、脱脂
タンク３．水洗タンク４゜酸タンク５．アルコールタン
ク９．フロン乾燥タンク８．コーティングタンク１３．
ヒーター乾燥タンク１４．基板冷却ストック手段１９の
間において、第２挟持手段２２ｄが２枚の基板Ｐを同時
に各上端を掴んで移送するのに使用され、また、袋状フ
ィルムスドック手段２０．、ｌ板冷却ストック手段１９
．及びプリンター２１．現像タンク１１、及び水洗タン
ク１０の間において、第１挟持手段２２ｃが１枚の基板
Ｐまたは袋状フィルムをその上端を掴んで移送するのに
使用される。このことは、第２図以下にそれぞれ示され
ている。

基板立掛手段２は、基板Ｐが最初に置かれるところであ
り、多数枚の基板Ｐをほぼ沿直に立て掛けてストックで
きるようになっていれば良い、この手段２は、第２図で
は、載せ板２ａと立板２ｂと−゛対の挾み板２ｃ　、２
ｃからなり、立板２ｂが沿直面より５度ないし１０度傾
斜しているので、多数枚の基板Ｐを倒れないように立て
掛けられるようになっている。

なお、第２ＩＩ！Ｊには、ロボット１の吸着手段２２ｂ
が基板立掛手段２に立て掛けられている基板Ｐを１枚宛
その上端を掴んで脱脂夕〉′り３へ移送する状態が示さ
れている。

第３図は、脱脂タンク３の構造及び液の循環を説明する
ための図である。

脱脂タンク３は、ロボット１によりタンク内に下げられ
る基板Ｐを立て掛は支持する適当な掛止手段として籠３
ａが設けられ、脱脂液補給タンク１６の脱脂液がポンプ
２８によりタンク内底部に供給されオーバーフロ一槽部
３ｂにオーバーフローして液面を管理され再び脱脂液補
給タンク１６に戻る構造とされ、１１３ａは基板Ｐを４
枚立て掛は支持できかつ下端に備える一対の傾斜板で基
板Ｐを定位置に調整できる構成であり、タンク１６はフ
ィルター１６ａがあってオーバーフローして戻る脱脂液
を濾過するようになっており、液の補給管理はタンク１
６の液面をみて定期的に行えば良い。

第４図は、第３図におけるＩＶ−Ｗ断面図であり、ロボ
ット１の第２挟持手段２２ｄが脱脂タンク３の籠３ａ内
に立て掛は支持された基板Ｐの北端を掴んで移送する状
態が示されている。

第５図は、酸タンク５の構造及び液の循環を説明するた
めの図である。

酸タンク５は、基板Ｐを立て掛は支持する適当な掛止手
段はなく、酸液補給タンク１５の酸液がポンプ２９にタ
ンク内底部に供給されオーバーフロ一槽部５ａにオーバ
ーフローして液面を管理され再び酸液補給タンク１５に
戻る構造と之れ、タンク１５はフィルター１５ａがあっ
てオーバーフローして戻る液を濾過するようになってお
り、掖の補給管理はタンク１６の液面をみて定期的に行
えば良く、基板Ｐはロボットの第２挟持手段２２ｄによ
りタンク内に下げられ、再び持上げられる間に酸による
アシッドジップが行われる。

水洗タンク４は、第１図にしか示されていない。この水
洗タンク４は、酸タンク５と同様、基板Ｐを立て掛は支
持する適当な掛止手段はなく、水道水がタンク内底部に
供給されオーバーフロ一槽部４ａにオーバーフローして
液面を管理され放流されるようになっている 第６図は、フロン乾燥タンク８の構造及びフロンガス・
フロン液の循環を説明するための図である。

フロン液補給タンク６とフロンガス発生タンク７は、フ
ロン乾燥タンク８よりも低い位置にあり、フロンガス発
生タンク７は密閉されたタンクであり底部にヒータ７ａ
を備えていてフロン液を摂氏６０度位に温めてガス化さ
せ、このフロンガスをパイプ７ｂを通してフロン乾燥タ
ンク８の底部に供給するようになっている。

フロン乾燥タンク８は、タンク内上部に壁に沿って水道
水などの冷却水が通される冷却コイル８ａが備えられフ
ロンガスを凝縮できるようになっており、フロンガスが
空気中に排出しないようにするための駆動手段８ｂによ
り開閉自在な蓋８ｃと掛止手段としてのｊｌ１８ｄが付
設されている。駆動手段８ｃは図ではエアシリンタ装置
とされているが、モーターなどでも良い、Ｍ８ｃは、ロ
ボットが基板Ｐをタンク上方へ搬送して来るのに先立っ
て駆動手段８ｃにより開かれ、基板Ｐをタンク内に収容
しロボットがタンク上方から移動したら閉じ、さらに再
び基板Ｐをタンク内から取出すためロボットがタンク上
方へ移動して来るのに先立って開くように設定されてい
る。籠８ｄは、基板Ｐを２枚立て掛は支持できかつ下端
に備える一対の傾斜板で基板Ｐを定位置に調整できる構
成である。

フロン液補給タンク６は、一方の上端が他方の下端より
高くなっている２枚の仕切壁６ａ、６ｂが、上方から視
てタンク内を３つに仕切るように配設され、さらに上端
が他方の下端より高くなっている仕切壁６ａで端に仕切
られた部分にフロン乾燥タンク８のドレン管８ｅが接続
された回収槽部６Ｃが画成され、この回収槽部６Ｃにオ
ーバーフロー管６ｄが該仕切壁６ａ上端よりも高く設け
られ、一方、仕切壁６ｂで端に仕切られた部分に？１ｉ
給槽部６ｅか画成されていて、フロン乾燥タンク８の冷
却コイル８ａで凝縮されるフロン液を回収槽部６Ｃに回
収するとともに補給槽部６ｅのフロン液を仕切１ｓｂの
下端よリート回らないように補給管理することにより、
仕切壁６ａの上端と仕切１６ｂの下端とオーバーフロー
管６ｄの王者の喰い違いの作用で、フロン液中に混在し
ている上層部に溜るアルコール及び水をオーバーフロー
管６ｄより排出除去でき、フロン液のみを仕切壁６ｂの
ド端を潜らせて補給槽部６ｅに導けるようになっていて
、−１−６記フロンガス発生タンク７の底部と補給槽部
６ｅの底部とが連通管６ｆで連通されていることにより
両名の液面が同一・レベルとなるように設定されている
。

第７図は、コーティングタンク１３の構造及び液の循環
を説明するための図である。

コーティングタンク１３は、基板Ｐを立て掛は支持する
適当な掛止手段はなく、その代り挟持手段として、ロッ
ド駆動手段１３ａにより１−下動自在な２木のロッド１
３ｂ、１３ｂかタンク本体１３ｃの両側に設けられ、ロ
ット１３ｂ、１３ｂの上端に２個ずつ取付けられ両側が
互いに対向する：二対の挟持爪１３ｃｌ、１３ｄ・・が
ＬＲ位置において基板Ｐの両側端をロボットｉから受取
り挟持し下降して感光液に浸漬し再びゆるやかな所定速
度で」ニ昇しコーティングを行うようになっており、ま
た、防塵及び感光液の稀釈液の揮発防止のためエアシリ
ンダ装置などの差駆動手段１３ｆにより開閉自在な蓋１
３ｇが設けられている。挟持爪１３ｄは、感光液に浸漬
することなく基板Ｐの］下端両側を挟持できるようにな
っている。ロット駆動手段１３ａは適宜構成で良いが、
図では、モーターにより減速機を介して親ねじを回転し
て親ねじに螺合するロッド１３ｂを上下動するようにな
っている。

コーテイング液補給タンク１２のコーテイング液は、ポ
ンプ３０により消泡へツタ−３１の中程なっており、蓋
１４　ｃがエアシリンダ装置などの差駆動手段１４ｄに
より開閉自在に設けられている。

基板冷却ストンク手段１９は、第１図にしか示されてい
ない。このス）・ツタ手段１９を第８図に示すヒーター
乾燥タンク１４と構成を比較した場合、タンクケースと
ヒーターがないところが相違する。すなわち、テーブル
上の一対のポストの上端に２個ずつ数句けられ各個が他
側のものと互いに対向する二対の挟持爪１９　ａ、　ａ
　争ｍがあり、これらの爪がロボットから２枚の基板Ｐ
の両側端を受取り挟持するようになっている。

第９図は、現像タンク１１の構造及び液の循環を説明す
るための図である。

この現像タンク１１は、ロボットの第１挟持手段２２ｃ
によりタンク内に下げられる１枚の基板Ｐを立て掛は支
持する適当な掛止手段として籠１１ａが設けられ、籠１
１ａに支持される基板Ｐの両面に現像液を噴射して現像
するための噴射手段ｉｔｂがあり、さらに、蓋ｌｉｅが
エアシリンダ装置などの差駆動手段ｌｉｄにより開閉自
在に設けられている。そうして、現像液補給タンク１８
の現像液がポンプ３１により噴射手段１１ｂに供給され
基板Ｐの両面に現像液を噴射して現像を行いタンク底部
から出て再び現像液補給タンク１８に戻るようになって
おり、現像液補給タンク１８は、フィルター１８ａがあ
って現像タンク１１から戻る液を濾過するようになって
おり、液の補給管理はタンク１８の液面をみて定期的に
行えば良い。

第１０図は、水洗タンク１０の構造及び液の循環を説明
するための図である。

この水洗タンク１０は、噴射手Ｌ＆ｌ　Ｏａがあり、電
磁弁によって水道水の供給が制御されるようになってい
て、基板Ｐがロボットの第１挟持手段２２ｃによりタン
ク内に下げられ再び持上げられる間に、基板Ｐの両面に
水を噴射して洗浄を行うようになっている。

第１１図は、プリンター２１の構造を説明するための図
であり、第１２図は、第１１図におけるに導かれて下部
から出ることにより消泡されてから、タンク本体１３ｃ
の底部に供給されオーバーフロ一槽部１３ｅにオーバー
フローして液面を管理され再びコーテイング液補給タン
ク１２に戻る構造とされ、タンク１２はフィルター１２
ａがあってオーバーフローして戻る液を濾過するように
なっているとともに、攪拌羽根をタンク内に備えて感光
液を絶えず攪拌する攪拌装置１２ｂが付設されており、
液の補給・管理は、タンク１２の液面が下っているか、
粘度計で感光液の粘度計測を行い低い場合に、感光液及
び／または稀釈液を入れて撹拌し粘度調整すれば良い。

第８図ノよ、ヒーター乾燥タンク１４の構造を説明する
ための図である。

このタンクエ４は、互いに対向するタンク側面の」下部
に２個ずつ取付けられ各個が他側のものと１ｆいに対向
する二対の挟持爪１４ｂ、１４ｂ・・があり、これらの
爪がロボットから両側端を受取り挟持する２枚の基板Ｐ
をタンク底部に備えられた遠赤外線ヒーター１４ａで加
熱乾燥するように刈−断面図である。

このプリンター２１は、水平方向に互いに対向する一対
の光源２１ａ、２１ｂかあり、その間にガラスからなる
フィルム固定板２１ｃが立面状態にあって、枠体にポリ
エステルフィルムなどの透明フィルムを張ってなるフィ
ルム密着板２１ｄがエアーシリンダ装置２１ｅにより上
端をフィルム固定板２１ｃに対して開閉されるようにな
っている。そして、第１図の袋状フィルムスドック手段
２０に人手により立掛けられている袋状フィルムＦをロ
ボットの第１挟持手段２２ｃがプリンター２１」二に掴
んで来ると、フィルム密着板２１ｄが開くようになって
おり、フィルム密着板２１ｄとフィルム固定板２’ｌｃ
との間に袋状フィルムＦを収容すると、フィルム密着板
２１ｄが一端閉して再び開くようになっている。その際
、真空発生装置２１ｈが駆動して所要切換え状態にある
切換え弁機構２１ｉを介して吸着パッド２１ｆ、２１ｇ
が吸引されるようになっており、袋状フィルムＦの両面
上端を吸着パッド２１ｆが、またフィルム固定板側片面
の下端を吸着パッド２１ｇが吸着するようになっている
。したがって、このプリンター２１は、袋状フィルムＦ
を開くことができるようになっている。また、しがる後
にロボットによりこのプリンター２１内に収容される基
板Ｐも袋状フィルムに収めることができるようになって
いる。そして、基板Ｐが袋状フィルムＦに収められると
、フィルム密着板２１ｄが閉じフィルム固定板２１ｃの
四隅に設けられた吸着パ・ンド２１ｊ・・・が吸着して
真空密着が行われ、しかる後、一対の光源２１ａ、２１
ｂが発光して両面焼きが行われるようになっている。

第１３図は、本発明において使用する袋状フィルムＦの
好ましい実施例である。

この袋状フィルムＦは、内部の開口に近い上部両面に両
端が接着され２つ折れとなる一対のテープＴが貼られて
おり、下辺の二箇所に端縁に向って広がっている三角の
スリットＳがある。テープＴは、点線で囲まれたエリア
Ｇの所望の画像、パターン、文字等にかがちかいＰＩ署
１社魚鉛で訟Ｌ１プリンター２１で両面焼きして後１袋
状フィルムＦを残したまま基板Ｐをロボットで取出す際
、基板Ｐが袋状フィルムに密着しないように引離す役目
を果す。また、三角のスリットＳは、プリンター２１の
フィルム固定板２１ｃに設けられたロッド２１ｋに跨が
り、袋状フィルムを常に定位置に収める役目を果す。

なお、上述した水洗タンク４，１０．酸タンク５、アル
コールタンク９は、籠が設けられていないが、処理時間
を多く取る必要があれば、基板Ｐをロボットから受取る
ように籠を設けても良く、また５アルコールタンク９は
、アルコール発散防止のため、及び水洗タンク１０は、
飛散防止のためそれぞれ蓋を設けても良い。

次に、上記構成の前処理及びマスキングの全自動処理装
置を作用を第１図を参照して簡単に説明する。

先ず、ロボット１の吸引バッド２２ｂが基板立掛手段２
に置かれた基板Ｐを把持して脱脂タンク３に移送する。

脱脂タンク３は、ロボットｌが基板Ｐを移送してきてタ
ンク内に下げて離すと、１１３ａが基板Ｐを収容するこ
とになる６以上のことが２回行われ、籠３ａに２枚の基
板Ｐが立掛は支持される。

脱脂に約２分かかる。

次に、水洗タンク４で水洗が行われる。水洗タンク４は
、ロボット１の第２挟持手段２２ｄが脱脂タンク３の１
ｌａａ内にある２枚の基板Ｐを掴んで移送してきて、２
枚の基板Ｐをタンク内に下げてから上げるまでの間、基
板Ｐを浸漬するだけの水洗を行うことになる。

次に、酸タンク５でアシッドジップが行われる。酸タン
ク５は、ロボット１の第２挟持手段２２ｄが水洗タンク
４から移送してくる２枚の基板Ｐをタンク内に下げてか
ら上げるまでの間、基板Ｐを浸漬するだけのアシッドジ
ップを行うことになる。

その後、再び水洗タンク４で水洗が行われる。

以上の・・脱脂→水洗→アシッ下ジップ→水洗・・の工
程は必要により２回以上繰替えされる。

次に、アルコールタンク９でアルコール洗浄が行われる
。アルコールタンク９は、ロポッ）ｌの第２挟持手段２
２ｄが酸タンク５から移送してくる２枚の基板Ｐをタン
ク内に下げてから上げるまでの間、基板Ｐを浸漬するだ
けのアルコール洗浄を行うことになる。なお、このアル
コール洗浄は、省いても良い。

次に、フロン乾燥タンク８でフロン乾燥が行われる。フ
ロン乾燥タンク８は、ロボット１の第２挟持手段２２ｄ
が２枚の基板Ｐをアルコールタンク９から移送してくる
のに先行してＭＢＣが開き、ロボットｌが基板Ｐをタン
ク内にドげて離すと、籠８ｄが基板Ｐを収容し、ロボッ
ト１が他所へ移動すると蓋８Ｃが閉じ、フロン乾燥が約
６０度Ｃで１分〜２分行われることになる。

次に、コーティングタンク１３で感光ｌｌタコ−ティン
グが行われる。コーティングタンク１３は、ロボット１
の第２挟持手段２２ｄがフロン乾燥タンク８から移送し
てくるのに先行して蓋１３ｇが開き、二対の挟持爪１３
ｄが上昇し上昇位置でロボットｌで移送されてきた２枚
の基板Ｐの上端両側を受取り挟持すると下降して基板Ｐ
をタンク内に収容し感光液に浸漬することになり、ｌｏ
数秒間経ってから約５００　＋ａｍ／　ｗｉｎのゆるや
かな速度で上昇し、基板Ｐにコーテイング液が垂れない
均一なコーティングが行われる。この間、７１３ｇは閉
じられるのが好ましく、また、ロポッ）ｌはそのままの
位置で待機するか、他所で他の基板Ｐの移送を行っても
良い、基板Ｐが上昇すると、ロボットｌの第２挟持手段
２２ｄが基板Ｐを挟持爪１３ｄから受け取り、ロボット
１が移動すると蓋１３ｇが閉じる。

次に、ヒーター乾燥タンク１４でヒーター乾燥か行われ
る。ヒーター乾燥タンク１４は、遠赤外線ヒーター１４
ａがタン〈内を約６０〜６５度Ｃに温めており、ロポ−
ｙ）ｌがコーティングタンク１３から移送してくるのに
先立ってｆｉ　ｌ　４　ｃが開き、ロボット１の第２挟
持手段２２ｄが基板Ｐをタンク内に下げて来たら、挟持
爪１４ｂが基板Ｐを受け取り、ロボットｌが他所へ退く
と蓋１４ｃが閉じ、遠赤外線ヒーター１４ａによるコー
テイング膜の乾燥が４〜５分行われる。

次に、基板冷却ストック手段１９で放冷が行われる。基
板冷却ストック手段１９は、ロポッ）１の第２挟持手段
２２ｄがヒーター乾燥タンク１４から移送してくると、
挟持爪１９ａが２枚の基板Ｐを受取り１〜２分間支持し
て、基板Ｐの放冷が行われる。

ここまでは基板Ｐが２枚ずつ移送され処理されるが、こ
こから先はロボットｌの第１挟持手段２２ｃにより１枚
ずつ移送され処理される。

次に、プリンター２１で両面焼きが行われる。

プリンター２１は、先ず、蓋が開くとともにフィルム密
着板２１ｄが開く。すると、ロボットｌが袋状フィルム
スｌ”ｙり手段２０から袋状フィルムＦを掴んで来てプ
リンター内に収容すると、フィルム密着板２１ｄが閉じ
、再び開くと、その際袋状フィルムＦの両面が吸引され
ることにより、袋状フィルムＦが開かれる。続いて、ロ
ボットｌが上記の基板冷却ストック手段１９にある２枚
の基板Ｐの巾、１枚をプリンター内に収容すると、基板
Ｐが袋状フィルムＦ内に収まり、フィルム密着板２１ｄ
が閉じ真空密着が行われ、両面焼きが行われる。

次に、現像タンク１１で現像が行われる。現像タンク１
１は、ロボットｌがプリンター内の基板Ｐを掴み出し移
送して来るのに先立って蓋１１ｃが開き、ロポッ）ｌが
基板Ｐをタンク内に下げてから離すと、籠１１　ａが基
板Ｐを立掛は状態に支持し、ロボットｌが他所へ行くと
、蓋１１ｃが閉じ、噴射手段１１ｂが現像液を基板Ｐの
両面に噴射し、現像を３０秒から１分間行うことになる
。

次に、水洗タンク１０で水洗が行われる。水洗タンクｌ
Ｏは、噴射手段１０ａが常時水噴射しており、ロボッ）
ｌが現像タンク１１内の基板Ｐを掴み出し移送してきて
タンク内に下げて上げるまでの間、噴射手段１０ａが基
板Ｐの両面に噴射して水洗を行うことになる。

なお、蓋にあるタンクにおいては、ロポッ）１が他所へ
行くと、蓋が閉じるようになっているが、蓋の開閉とロ
ボット１が干渉しなければ、ロボット１がタンク上方に
待機していても良い。

以上説明した作用から分かるように、本発明の前処理及
びマスキングの全自動処理方法は、以下に点が特徴であ
る。

■脱脂タンク３と、フロン乾燥タンク８と、ヒーター乾
燥タンク１４と、現像タンク１１の各タンクにおいて、
タンク内に備えられる掛止手段に基板Ｐを置いて所定の
処理を行うようにしたこと。

また、コーティングタンク１３と、ヒーター乾燥タンク
１４と、基板冷却ストック手段１９においては、タンク
内に備えられる挟持手段により基板Ｐの両側端を受取り
挟持して所定の処理またはストックを行い、そして、コ
ーティングタンク１３においては、挟持手段が感光液に
浸漬することなく基板Ｐの上端両側を挟持して該基板Ｐ
を感光液に浸漬しゆるやかに上昇させ取出すようにした
こと。

■プリンター２１での両面焼きにおいては、フィルム固
定板２１ｃとフィルム密着板２１ｄを立面とし、その間
に先に袋状フィルムＦを上方から下降し、フィルム密着
板２１ｄを一度閉じ再び開くときフィルム固定板２１ｃ
とフィルム密着板２１ｄにそれぞれ設けられる吸着パッ
ド２１ｆ。

２１ｆで袋状フィルムＦの両面上部を吸着することによ
り、袋状フィルムＦの上端を開き、しかる後、基板Ｐを
この袋状フィルムＦに入れフィルム密着板２１ｄを再び
閉じ真空密着して両面焼きするもの方法を採用したこと
。

（ル基板Ｐの移送手段として、基板Ｐを１枚掴める第１
挟持手段２２ｃと基板Ｐを２枚以上掴める第２挟持手段
２２ｄと基板Ｐを１枚吸着できる吸着パッド２２ｂの３
つの基板把持手段を切換え選択自在に有する複合ハンド
２２を有するロボットを採用したこと。そして、最初の
移送は、ロボットｌの吸着パッド２２ｂにより、所定位
置に多数枚をほぼ沿直に立て掛けられストックされた一
番端の基板Ｐの片面を吸着して脱脂タンク３の掛止手段
３ａへ基板Ｐを移送することを２回または３回以上行う
ようにしたこと、続く、コーティング１、加温して感光
膜を乾燥させるまでの移送は、第２挟持手段２２ｄによ
り２枚または３枚以上の基板Ｐを同時に掴んで移送し各
タンクにおいて複数枚同時処理するようにしたこと。続
く、基板Ｐ及び袋状フィルムのプリンターへの出入れか
ら現像・水洗の間の移送は、ロボット１の第１挟持手段
２２ｃにより基板Ｐ及び／または袋状フィルムＦを１枚
ずつ掴んで移送し基板Ｐを１枚ずつ処理するようにした
ことである。なお、ヒーター乾燥タンク１４から基板冷
却ストック手段１９への基板の移送は、挟持爪１９ａを
第１図のような二対でなく一対として、ロポッ）ｌの第
２挟持手段２２ｃにより１枚ずつ行っても良い。

く本発明の効果〉 以上説明してきたように、本願発明の前処理及びマスキ
ングの全自動処理方法及びその全自動処理装置は、プリ
ンターを横型にかつ袋状フィルムを開けるように改良し
、また基板を立掛は挟持するようにしたので、前処理及
びマスキングの全自動処理をロボットによって行うこと
ができる外、以下の効果を有する。

処理に時間を要するタンクとして、少くとも、脱脂タン
ク、フロン乾燥タンク、現像タンクには、基板をタンク
内に支持する掛止手段を備えて、これらのタンクには基
板をタンク内に置いてくるよう１こしたので、ライン全
体における基板の移送が１台のロボットで十分に行える
。

コーティングタンク、ヒーター乾燥タンク、及び基板冷
却ストック手段について、基板挟持手段を備えて、コー
ティングから焼着けまではコーテイング膜が装置側に触
れないようにしたので。

良好なコーティングが形成される。

特に、ヒーター乾燥までは複数枚の基板を処理できるよ
うな掛止手段や基板挟持手段を設けたので、量産性が高
い。また、タンクに掛止手段や基板挟持手段を設けたの
で、ロボットがラインに一箇所に留っている必要がなく
、ライン全体をいずれのタンクにも空時間が殆どないよ
うに基板移送のためフルに稼動させられ、ライン全体と
しての生産性が大きい。

各処理タンクについて、液の更新を行うようにしたので
、高品質な基板生産が実現され、液の更新・管理がやり
やすい。

現像後の水洗はシャワーによるので現像において伺着し
ている未露光部分のカスが良好に取れる。

ロボットは、基板の移送を計１３台もあるタンクやプリ
ンター間に行わねばならないが、必要な時に移動すれば
良いから、１基で十分な基板の移送ができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明の実施例にかかる前処理及びマスキン
グの全自動処理装置の全体構成を示す平面図である。 第２図ないし第１３図は、構成要素の説明のための図で
ある。 第２図は、ロボットによって基板立掛手段に立て掛けら
れた基板を脱脂タンクへ移送するところを示す図である
。 第３図は、脱脂タンクの構造及び液の循環を説明するた
めの図であり、第４図は、第３図における■−１７断面
図である。 第５図は、酸タンクの構造及び液の循環を説明するため
の図である。第６図は、フロン乾燥タンクの構造及びフ
ロンガス・フロン液の循環を説明するための図である。 第７図は、コーティングタンクの構造及び液の循環を説
明するための図である。第８図は、ヒーター乾燥タンク
の構造を説明するための図である。第９図は、現像タン
クの構造及び液の循環を説明するための図である。第１
Ｏ図は、水洗タンクの構造及び液の循環を説明するため
の図である。第１１図は、プリンターの構造を説明する
ための図であり、第１２図は、第１１図における■−断
面図である。第１３図は、本発明において使用する袋状
フィルムの好ましい実施例である。 ■−・産業用ロボット、 ２・・基板立掛手段、 ３ψ中脱脂タンク、 ４ｅ拳水洗タンク、 ５拳轡酸タンク、 ６働争フロ／液補給タンク。 ８−・フロン乾燥タンク、 ９ＩＩ・アルコールタンク、 ｉｏ−・水洗タンク、 １１・・現像タンク、 １４魯・ヒーター乾燥タンク、 １３・・コーティングタンク、 １９・一基板冷却ストック手段、 ２０φ・袋状フィルムスト−／り手段、２工書・プリン
ター、 特許出願人　株式会社シンク・ラボラトリ−代理人Ｊ「
理十　大　沼　浩　司　）・′す″′ 第５図 第８図

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 ｌ）被加工材である基板を脱脂し水洗してからアシッド
   ジップし再び水洗する処理を１回または２回以上反復し
   、その後、基板をフロンガス雰囲気に晒して乾燥し、次
   に、基板に感光膜をコーティングしヒーター乾燥させて
   から冷却し、続いて、冷却された基板を袋状フィルム内
   に入れてプリンターにて両面焼きを行い、最後に、両面
   焼きされた基板を現像してから水洗して完了とするケミ
   カルブランキングのための前処理及びマスキングの処理
   工程において、 少くとも処理工程で使用される脱脂タンク、フロン乾燥
   タンク、現像タンクの各タンクにおいては、タンク内に
   備えられる掛止手段に基板を置いて所定の処理を行うよ
   うにし、 コーティングタンクと、ヒーター乾燥タンクと、ヒータ
   ー乾燥後の冷却のためのストック手段においては、タン
   ク内に備えられる挟持手段によ　゛り基板を略沿直にし
   てその両側端を両側より受取り挟持して所定の処理また
   はストックを行い、かつ、コーティングタンクにおいて
   は、挟持手段が感光液に浸漬することなく基板の上端を
   両側より挟持して該基板を感光液に浸漬しゆるやかに上
   昇させ取出すようにし、 また、プリンターでの両面焼きにおいては、フィルム固
   定板とフィルム密着板を立面とし、その間に先に袋状フ
   ィルムを略沿直にしてその上端を＃ｊ！Ａ持して上方か
   ら下降し、フィルム密着板を一度閉じ再び開くときフィ
   ルム固定板とフィルム密着板にそれぞれ設けられる吸着
   パッドで袋状フィルムの両面Ｅ部を吸引することにより
   、袋状フィルムの上端を開き、しかる後、基板をこの袋
   状フィルムに入れフィルム密着板を再び閉じ真空密着し
   て両面焼きするものとし。 基板の移送手段として、１枚の基板を略沿直にしてその
   上端を把持できる第１挟持手段と、２枚以上の基板をそ
   れぞれ略沿直かつ平行にしてそれらの１一端を把持でき
   る第２挟持手段と、１枚の基板の片面を吸着できる吸着
   パッドの３つの基板把持丁一段を切換え選択自在に有す
   る複合ハンドの産業用ロボットを採用し、 最初の移送は、吸着パッドにより、所定位置に多数枚を
   ほぼ沿直に立て掛けられストックされた一番端の基板の
   片面を吸着して脱脂タンクの籠へ裁板を移送することを
   ２回または３回置−ヒ行い、 次から、コーティングし加温して感光膜を乾燥させるま
   では、第２挟持手段により２枚または３枚以」二の基板
   を同時に掴んで移送して複数枚同時処理し 続いて、基板及び袋状フィルムのプリンターへの出入れ
   から先は、第１挟持手段により基板及び／または袋状フ
   ィルムを１枚ずつ掴んで移送し基板を１枚ずつ処理する
   ことを持金とする前処理及びマスキングの全自動処理方
   法。 ２）！業用ロボットと、この産業用ロボットの作業範囲
   に収まるようにそれぞれ適当な大きさとされ適宜配置と
   された基板立掛手段、タンク群、プリンター、冷却用の
   ストック手段からなるものであり、 産業用ロボットは、立て掛けられている１枚の基板の上
   端を把持できる第ｌ挟持爪部分と、所定間隔を置いて平
   行に立て掛けられている２枚の基板の上端を同時に把持
   できる第２挟持爪部分と、立掛けられている１枚の基板
   の片面を吸着できる吸着パッドとを作業目的に応じてし
   Ｊ換え選択できる複合ハンドを備えた構成であり、 タンク群は、脱脂タンクと、アシッドジップ用の酸タン
   クと、脱脂の後及びアシッドジンブの後に行う水洗タン
   クと、アシッドシンプの後の水洗後に行うフロン乾燥タ
   ンクと、フロン乾燥の後に行う感光膜コーティングのた
   めのコーティングタンクと、両面焼き後に行う現像タン
   クと、現像の後に行う水洗タンクとを備えており、 しかも、これらのタンクには、それぞれ液再生のだめの
   循環処理手段または補給手段が付設されており。 さらに、タンク内に基板を上方より出入れできかつ立て
   掛は収容できる籠などの掛止手段を、少くとも脱脂タン
   クと、フロン乾燥タンクと、現像タンクの各タンクにつ
   いて掛止手段を備えているとともに、タンク内に収容さ
   れまたはストックされる基板の両側端を受取り挟持する
   挟持爪などの挟持手段をコーティングタンクと、ヒータ
   ー乾燥タンクと、その後の冷却のためのストック手段に
   ついて備え、かつ、感光膜コーティングタンクの挟持手
   段については、感光液に浸漬することなく基板の」ニ端
   両側を挟持できるようにして基板を感光液に浸漬した状
   態からゆるやかに上昇させ取出せる構成であり、 両面焼（＝ｊけプリンターは、水平方向に対向する一ｔ
   、ｔの光源の間にフィルム固定板とフィルム密着板があ
   って、フィルム密着板が所要手段によりフィルム固定板
   に対して開かれるようになっており、フィルム固定板に
   真空密着用吸着パッドが設けられているとともに、フィ
   ルム固定板とフィルム密着板に、その間に袋状フィルム
   が収容され）・イルム電着板を閉じられた状態から再び
   開かれる際、袋状フィルムの両面を吸着して開く吸着パ
   ントが設けられている構成であることを特徴とする前処
   理及びマスキングの全自動処理装置。