JPH06252072A - 基板処理装置 - Google Patents
基板処理装置Info
- Publication number
- JPH06252072A JPH06252072A JP5777093A JP5777093A JPH06252072A JP H06252072 A JPH06252072 A JP H06252072A JP 5777093 A JP5777093 A JP 5777093A JP 5777093 A JP5777093 A JP 5777093A JP H06252072 A JPH06252072 A JP H06252072A
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- JP
- Japan
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- cartridge
- substrate
- special
- immersion tank
- tank
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 人手をかけずに１つの装置内で湿式成膜工程
の全てを完了させることのできる基板処理装置を提供す
ること。 【構成】 標準カートリッヂ３と特殊カートリッヂ４を
並べておいてその内部に収納された基板２をお互いに移
し替える基板移替機１と、基板２を収納した特殊カート
リッヂ４ごと浸漬する成膜槽５，水洗槽６と、基板２を
収納した特殊カートリッヂ４を前記基板移替機１と前記
成膜槽５と水洗槽６の間で運搬するカートリッヂ運搬機
７と、これら基板移替機１と成膜槽５と水洗槽６とカー
トリッヂ運搬機７を収納する１つの枠体８とを具備す
る。カートリッヂ運搬機７は、特殊カートリッヂ４を把
持する把持機構１０と、該把持機構１０を上下動させる
上下動機構と、このカートリッヂ運搬機７自体を水平移
動させる水平移動機構１４とを有する。水平移動機構１
４は天井板１７近傍に取り付けられる。
の全てを完了させることのできる基板処理装置を提供す
ること。 【構成】 標準カートリッヂ３と特殊カートリッヂ４を
並べておいてその内部に収納された基板２をお互いに移
し替える基板移替機１と、基板２を収納した特殊カート
リッヂ４ごと浸漬する成膜槽５，水洗槽６と、基板２を
収納した特殊カートリッヂ４を前記基板移替機１と前記
成膜槽５と水洗槽６の間で運搬するカートリッヂ運搬機
７と、これら基板移替機１と成膜槽５と水洗槽６とカー
トリッヂ運搬機７を収納する１つの枠体８とを具備す
る。カートリッヂ運搬機７は、特殊カートリッヂ４を把
持する把持機構１０と、該把持機構１０を上下動させる
上下動機構と、このカートリッヂ運搬機７自体を水平移
動させる水平移動機構１４とを有する。水平移動機構１
４は天井板１７近傍に取り付けられる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体ウエハ等の基板
面上に湿式で成膜せしめる基板処理装置に関するもので
ある。
面上に湿式で成膜せしめる基板処理装置に関するもので
ある。
【０００２】
【従来技術】従来、半導体ウエハ等の基板面上に成膜を
行うには、まず標準カートリッヂ内に収納されている基
板を、人手により或いは外部に設置されている基板移替
機によって特殊カートリッヂ内に移し替える。次にこの
特殊カートリッヂを成膜用の装置にセットし、該装置に
よって成膜を行う。そして成膜完了後、該特殊カートリ
ッヂごと人手によって次の工程（乾燥工程）へ運んでい
た。
行うには、まず標準カートリッヂ内に収納されている基
板を、人手により或いは外部に設置されている基板移替
機によって特殊カートリッヂ内に移し替える。次にこの
特殊カートリッヂを成膜用の装置にセットし、該装置に
よって成膜を行う。そして成膜完了後、該特殊カートリ
ッヂごと人手によって次の工程（乾燥工程）へ運んでい
た。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記従来
の方法では、各工程の途中に人手を必要とするため、生
産効率が低くなってしまうばかりか、大気中の微粒子に
よるいわゆるパーティクル汚染を起こしてしまう等の欠
点があった。
の方法では、各工程の途中に人手を必要とするため、生
産効率が低くなってしまうばかりか、大気中の微粒子に
よるいわゆるパーティクル汚染を起こしてしまう等の欠
点があった。
【０００４】本発明は上述の点に鑑みてなされたもので
あり、その目的は、人手をかけずに１つの装置で湿式成
膜工程の全てを完了させることのできる基板処理装置を
提供することにある。
あり、その目的は、人手をかけずに１つの装置で湿式成
膜工程の全てを完了させることのできる基板処理装置を
提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記問題点を解決するた
め本発明は、カートリッヂに収納された基板をカートリ
ッヂごと液浸槽中に浸漬して、該基板に成膜，洗浄等の
液侵処理を行う基板処理装置において、標準カートリッ
ヂと特殊カートリッヂを並べておいてその内部に収納さ
れた基板をお互いに移し替える基板移替機と、基板を収
納した特殊カートリッヂごと浸漬する液浸槽と、基板を
収納した特殊カートリッヂを前記基板移替機と前記液浸
槽の間で運搬するカートリッヂ運搬機と、これら基板移
替機と液浸槽とカートリッヂ運搬機を収納する１つの枠
体とを具備し、前記カートリッヂ運搬機は、特殊カート
リッヂを把持する把持機構と、該把持機構を上下動させ
る上下動機構と、このカートリッヂ運搬機自体を水平移
動させる水平移動機構とを有し、該水平移動機構を前記
枠体の少なくとも液浸槽の開口部より低い部分或いは天
井板近傍に取り付けて構成した。
め本発明は、カートリッヂに収納された基板をカートリ
ッヂごと液浸槽中に浸漬して、該基板に成膜，洗浄等の
液侵処理を行う基板処理装置において、標準カートリッ
ヂと特殊カートリッヂを並べておいてその内部に収納さ
れた基板をお互いに移し替える基板移替機と、基板を収
納した特殊カートリッヂごと浸漬する液浸槽と、基板を
収納した特殊カートリッヂを前記基板移替機と前記液浸
槽の間で運搬するカートリッヂ運搬機と、これら基板移
替機と液浸槽とカートリッヂ運搬機を収納する１つの枠
体とを具備し、前記カートリッヂ運搬機は、特殊カート
リッヂを把持する把持機構と、該把持機構を上下動させ
る上下動機構と、このカートリッヂ運搬機自体を水平移
動させる水平移動機構とを有し、該水平移動機構を前記
枠体の少なくとも液浸槽の開口部より低い部分或いは天
井板近傍に取り付けて構成した。
【０００６】
【作用】１つの枠体の中に基板移替機，各処理槽，カー
トリッヂ運搬機を組み込むことにより、標準カートリッ
ヂと特殊カートリッヂの間の基板の移動は基板移替機が
行い、特殊カートリッヂの各処理槽への運搬はカートリ
ッヂ運搬機が行う。従って人手に触れずに全自動で基板
成膜の全工程が行える。
トリッヂ運搬機を組み込むことにより、標準カートリッ
ヂと特殊カートリッヂの間の基板の移動は基板移替機が
行い、特殊カートリッヂの各処理槽への運搬はカートリ
ッヂ運搬機が行う。従って人手に触れずに全自動で基板
成膜の全工程が行える。
【０００７】
【実施例】以下、本発明の１実施例を図面に基づいて詳
細に説明する。図１，図２は本発明の第１実施例にかか
る基板処理装置を示す図であり、図１は概略側断面図、
図２は図１のＡ−Ａ断面矢視図である。
細に説明する。図１，図２は本発明の第１実施例にかか
る基板処理装置を示す図であり、図１は概略側断面図、
図２は図１のＡ−Ａ断面矢視図である。
【０００８】両図に示すようにこの基板処理装置１００
は、枠体８内に、基板移替機１と、成膜槽５と、水洗槽
６と、カートリッヂ運搬機７を組み込んで構成されてい
る。またカートリッヂ運搬機７は、把持機構１０と上下
動機構１２（図２参照）と水平移動機構１４によって構
成されている。以下各構成部分について説明する。
は、枠体８内に、基板移替機１と、成膜槽５と、水洗槽
６と、カートリッヂ運搬機７を組み込んで構成されてい
る。またカートリッヂ運搬機７は、把持機構１０と上下
動機構１２（図２参照）と水平移動機構１４によって構
成されている。以下各構成部分について説明する。
【０００９】基板移替機１は、並列に並べられた標準カ
ートリッヂ３と特殊カートリッヂ４の内のいずれか一方
のカートリッヂに収納された基板２を、他方のカートリ
ッヂに移し替えるものである。
ートリッヂ３と特殊カートリッヂ４の内のいずれか一方
のカートリッヂに収納された基板２を、他方のカートリ
ッヂに移し替えるものである。
【００１０】ここで図５は基板移替機１の概略構造を示
す図である。同図に示すようにこの基板移替機１は、そ
の上部に左右に移動可能な支持体２１を設けるととも
に、該支持体２１に爪２２，２２を取り付け、また標準
カートリッヂ３と特殊カートリッヂ４の真下にそれぞれ
シリンダー２４，２４を配設して構成されている。爪２
２，２２は基板２を保持するものであり、シリンダー２
４，２４は、ロッド２５が上昇することによりその先端
の押出し治具２３がカートリッヂ３，４内の基板２を押
し上げるものである。
す図である。同図に示すようにこの基板移替機１は、そ
の上部に左右に移動可能な支持体２１を設けるととも
に、該支持体２１に爪２２，２２を取り付け、また標準
カートリッヂ３と特殊カートリッヂ４の真下にそれぞれ
シリンダー２４，２４を配設して構成されている。爪２
２，２２は基板２を保持するものであり、シリンダー２
４，２４は、ロッド２５が上昇することによりその先端
の押出し治具２３がカートリッヂ３，４内の基板２を押
し上げるものである。
【００１１】次に図１，図２に示すようにカートリッヂ
運搬機７の把持機構１０は、前記特殊カートリッヂ４を
把持する２組のアーム１０１，１０３と該アーム１０
１，１０３の一端に取り付けられる回転ロッド１０５，
１０７と、該回転ロッド１０５，１０７を回動自在に支
持する支持体１１によって構成されている。なお支持体
１１は下記する上下動機構１２のネジ１２３に螺合され
ている。
運搬機７の把持機構１０は、前記特殊カートリッヂ４を
把持する２組のアーム１０１，１０３と該アーム１０
１，１０３の一端に取り付けられる回転ロッド１０５，
１０７と、該回転ロッド１０５，１０７を回動自在に支
持する支持体１１によって構成されている。なお支持体
１１は下記する上下動機構１２のネジ１２３に螺合され
ている。
【００１２】次にカートリッヂ運搬機７の上下動機構１
２は、モータ１２１と該モータ１２１によって回転され
るネジ１２３によって構成されており、これらは下記す
る移動体１４１の内部に収納されている。
２は、モータ１２１と該モータ１２１によって回転され
るネジ１２３によって構成されており、これらは下記す
る移動体１４１の内部に収納されている。
【００１３】次にカートリッヂ運搬機７の水平移動機構
１４は、天井板１７上に車輪１８によって支えられる移
動体１４１と、該移動体１４１の背面に取り付けられる
ベルト１４３と、ベルト１４３の両端に取り付けられ該
ベルト１４３を張設して駆動するプーリー１５，１６に
よって構成されている。
１４は、天井板１７上に車輪１８によって支えられる移
動体１４１と、該移動体１４１の背面に取り付けられる
ベルト１４３と、ベルト１４３の両端に取り付けられ該
ベルト１４３を張設して駆動するプーリー１５，１６に
よって構成されている。
【００１４】なおこのカートリッヂ運搬機７は、天井板
１７で支えられ、吊り下げられるように構成されている
が、下記する図３，４に示す実施例のように枠体８の底
部で支えて水平方向に動かすように構成してもよい。
１７で支えられ、吊り下げられるように構成されている
が、下記する図３，４に示す実施例のように枠体８の底
部で支えて水平方向に動かすように構成してもよい。
【００１５】次にこの基板処理装置１００の動作を説明
する。まず図１に示すように、基板２を収納した標準カ
ートリッヂ３を人手によって基板移替機１の図示の位置
に置く。そして図示しない起動釦を押すと、該基板移替
機１によって標準カートリッヂ３内の基板２は石英など
で作られた特殊カートリッヂ４内に移し替えられる（そ
の詳細な動作は後述する）。
する。まず図１に示すように、基板２を収納した標準カ
ートリッヂ３を人手によって基板移替機１の図示の位置
に置く。そして図示しない起動釦を押すと、該基板移替
機１によって標準カートリッヂ３内の基板２は石英など
で作られた特殊カートリッヂ４内に移し替えられる（そ
の詳細な動作は後述する）。
【００１６】次にカートリッヂ運搬機７全体が図１に示
すイの位置まで左方向に水平移動し、次にその把持機構
１０が下降し、そのアーム１０１，１０３の先端が特殊
カートリッヂ４の外周を挾み、これを上方向に持ち上げ
る。
すイの位置まで左方向に水平移動し、次にその把持機構
１０が下降し、そのアーム１０１，１０３の先端が特殊
カートリッヂ４の外周を挾み、これを上方向に持ち上げ
る。
【００１７】そしてこんどはカートリッヂ運搬機７全体
が成膜槽５の真上の位置まで右方向に移動し、把持機構
１０を下降させて特殊カートリッヂ４を成膜槽５内に浸
漬し、基板２に成膜を行う。
が成膜槽５の真上の位置まで右方向に移動し、把持機構
１０を下降させて特殊カートリッヂ４を成膜槽５内に浸
漬し、基板２に成膜を行う。
【００１８】成膜後、この特殊カートリッヂ４を持ち上
げ、同様にこれを水洗槽６に入れ、基板２を水洗する。
その後、この特殊カートリッヂ４を持ち上げて、元の基
板移替機１の所定位置（図１に示す位置）に置く。
げ、同様にこれを水洗槽６に入れ、基板２を水洗する。
その後、この特殊カートリッヂ４を持ち上げて、元の基
板移替機１の所定位置（図１に示す位置）に置く。
【００１９】次に基板移替機１によって、基板２は特殊
カートリッヂ４から標準カートリッヂ３に移し替えら
れ、これを人手により取り出すことで、一通りの作業が
終了する。
カートリッヂ４から標準カートリッヂ３に移し替えら
れ、これを人手により取り出すことで、一通りの作業が
終了する。
【００２０】次に図３，図４は本発明の第２実施例にか
かる基板処理装置を示す図であり、図３は概略側断面
図、図４は図３のＢ−Ｂ断面矢視図である。なおこの実
施例において前記図１，図２に示す実施例と同一部分は
同一符号を付し、その詳細な説明は省略する。
かる基板処理装置を示す図であり、図３は概略側断面
図、図４は図３のＢ−Ｂ断面矢視図である。なおこの実
施例において前記図１，図２に示す実施例と同一部分は
同一符号を付し、その詳細な説明は省略する。
【００２１】両図に示すようにこの基板処理装置２００
は、枠体８内に、基板移替機１と、成膜槽５と、水洗槽
６と、乾燥槽１９と、カートリッヂ運搬機７′を組み込
んで構成されている。この実施例において前記第１実施
例と相違する点は、乾燥槽１９を設けた点と、カートリ
ッヂ運搬機７′の構造が若干相違することの２点なの
で、これらについて説明する。
は、枠体８内に、基板移替機１と、成膜槽５と、水洗槽
６と、乾燥槽１９と、カートリッヂ運搬機７′を組み込
んで構成されている。この実施例において前記第１実施
例と相違する点は、乾燥槽１９を設けた点と、カートリ
ッヂ運搬機７′の構造が若干相違することの２点なの
で、これらについて説明する。
【００２２】乾燥槽１９は蓋２０付きであり、該乾燥槽
１９内に収納した特殊カートリッヂ４をスピン乾燥か温
風乾燥或いはこれらを組み合わせること等によって乾燥
させるものである。
１９内に収納した特殊カートリッヂ４をスピン乾燥か温
風乾燥或いはこれらを組み合わせること等によって乾燥
させるものである。
【００２３】一方カートリッヂ運搬機７′の前記第１実
施例と相違する点は、その水平移動機構１４′が、枠体
８の底部近傍に取り付けられている点である。つまりカ
ートリッヂ運搬機７′を枠体８の底部前部で車輪１８′
によって支え、枠体８の底部近傍に設けられたベルト１
４３′とプーリー１５′，１６′によって、水平方向に
移動できるようにした点である。
施例と相違する点は、その水平移動機構１４′が、枠体
８の底部近傍に取り付けられている点である。つまりカ
ートリッヂ運搬機７′を枠体８の底部前部で車輪１８′
によって支え、枠体８の底部近傍に設けられたベルト１
４３′とプーリー１５′，１６′によって、水平方向に
移動できるようにした点である。
【００２４】なおこのカートリッヂ運搬機７′を図１，
図２に示すような吊り下げ構造としてもよいことは言う
までもない。
図２に示すような吊り下げ構造としてもよいことは言う
までもない。
【００２５】そしてこの基板処理装置２００において
は、水洗工程の後に乾燥工程が入っているので、前記第
１実施例と同様に、基板２を収納した特殊カートリッヂ
４を成膜槽５と水洗槽６に漬けて成膜・水洗処理をした
後に、これを乾燥槽１９に入れて乾燥する。その後これ
を基板移替機１に戻し、該基板移替機１によって基板２
を標準カートリッヂ３に戻してこれを取り出せば、一通
りの作業が終了する。
は、水洗工程の後に乾燥工程が入っているので、前記第
１実施例と同様に、基板２を収納した特殊カートリッヂ
４を成膜槽５と水洗槽６に漬けて成膜・水洗処理をした
後に、これを乾燥槽１９に入れて乾燥する。その後これ
を基板移替機１に戻し、該基板移替機１によって基板２
を標準カートリッヂ３に戻してこれを取り出せば、一通
りの作業が終了する。
【００２６】以上のように本発明においては、基板２を
収納した標準カートリッヂ３を基板移替機１の所定位置
に置いて起動釦を押すだけで、基板２の成膜・洗浄処理
（場合によってはさらに乾燥処理）が一切人手に触れず
に全自動で行えることとなる。
収納した標準カートリッヂ３を基板移替機１の所定位置
に置いて起動釦を押すだけで、基板２の成膜・洗浄処理
（場合によってはさらに乾燥処理）が一切人手に触れず
に全自動で行えることとなる。
【００２７】次に基板移替機１の動作を図５，図６を用
いて説明する。まず図５に示すように、標準カートリッ
ヂ３に収納された基板２は、その真下に取り付けられた
シリンダー２４のロッド２５先端の押出し治具２３によ
り、上方に突き上げられ、そこで爪２２により挾まれ保
持される。
いて説明する。まず図５に示すように、標準カートリッ
ヂ３に収納された基板２は、その真下に取り付けられた
シリンダー２４のロッド２５先端の押出し治具２３によ
り、上方に突き上げられ、そこで爪２２により挾まれ保
持される。
【００２８】次に爪２２の支持体２１が右方向に移動し
て、図６に示す状態になる。
て、図６に示す状態になる。
【００２９】次に特殊カートリッヂ４の真下に取り付け
られたシリンダー２４のロッド２５先端の押出し治具２
３が上方向に伸びて、爪２２に挾まれた基板２を受け取
り、爪２２は左右に開く。
られたシリンダー２４のロッド２５先端の押出し治具２
３が上方向に伸びて、爪２２に挾まれた基板２を受け取
り、爪２２は左右に開く。
【００３０】そしてシリンダー２４のロッド２５が下が
って押出し治具２３に乗せられた基板２を特殊カートリ
ッヂ４に収納する。
って押出し治具２３に乗せられた基板２を特殊カートリ
ッヂ４に収納する。
【００３１】特殊カートリッヂ４から標準カートリッヂ
３に基板２を移し替えるには、この動作の逆を行えば良
い。
３に基板２を移し替えるには、この動作の逆を行えば良
い。
【００３２】ところで本発明において、１つの枠体の中
に組み込む基板移替機，成膜槽，水洗槽，乾燥槽の数
は、それぞれ単数でも複数でも良く、処理する基板の量
により決定される。
に組み込む基板移替機，成膜槽，水洗槽，乾燥槽の数
は、それぞれ単数でも複数でも良く、処理する基板の量
により決定される。
【００３３】基板移替機にセットするカートリッヂの数
量は、基板の処理量，処理時間等を考慮して適当量に設
定すれば良い。
量は、基板の処理量，処理時間等を考慮して適当量に設
定すれば良い。
【００３４】なお上記基板処理装置で扱う基板として
は、半導体ウエハ等、湿式で成膜せしめられる基板に広
く利用できる。
は、半導体ウエハ等、湿式で成膜せしめられる基板に広
く利用できる。
【００３５】
【発明の効果】以上詳細に説明したように本発明にかか
る基板処理装置は、１つの枠体の中に基板移替機，各処
理槽，カートリッヂ運搬機を組み込むことにより、人手
に触れずに全自動でウエハ成膜の全工程を終了させられ
るので、生産効率が上がり、パーティクル汚染も少なく
なり、品質向上が図れるという優れた効果を有する。
る基板処理装置は、１つの枠体の中に基板移替機，各処
理槽，カートリッヂ運搬機を組み込むことにより、人手
に触れずに全自動でウエハ成膜の全工程を終了させられ
るので、生産効率が上がり、パーティクル汚染も少なく
なり、品質向上が図れるという優れた効果を有する。
【図１】本発明の第１実施例にかかる基板処理装置を示
す概略側断面図である。
す概略側断面図である。
【図２】図１のＡ−Ａ断面矢視図である。
【図３】本発明の第２実施例にかかる基板処理装置を示
す概略側断面図である。
す概略側断面図である。
【図４】図３のＢ−Ｂ断面矢視図である。
【図５】基板移替機１の概略構造を示す図である。
【図６】基板移替機１の動作を説明するための図であ
る。
る。
１００，２００ 基板処理装置 １ 基板移替機 ２ 基板 ３ 標準カートリッヂ ４ 特殊カートリッヂ ５ 成膜槽 ６ 水洗槽 ７，７′ カートリッヂ運搬機 ８ 枠体 １０ 把持機構 １２ 上下動機構 １４，１４′ 水平移動機構 １７ 天井板 １９ 乾燥槽
Claims (2)
- 【請求項１】 カートリッヂに収納された基板をカート
リッヂごと液浸槽中に浸漬して、該基板に成膜，洗浄等
の液侵処理を行う基板処理装置において、 標準カートリッヂと特殊カートリッヂを並べておいてそ
の内部に収納された基板をお互いに移し替える基板移替
機と、 基板を収納した特殊カートリッヂごと浸漬する液浸槽
と、 基板を収納した特殊カートリッヂを前記基板移替機と前
記液浸槽の間で運搬するカートリッヂ運搬機と、 これら基板移替機と液浸槽とカートリッヂ運搬機を収納
する１つの枠体とを具備し、 前記カートリッヂ運搬機は、特殊カートリッヂを把持す
る把持機構と、該把持機構を上下動させる上下動機構
と、このカートリッヂ運搬機自体を水平移動させる水平
移動機構とを有し、該水平移動機構を前記枠体の少なく
とも液浸槽の開口部より低い部分或いは天井板近傍に取
り付けたことを特徴とする基板処理装置。 - 【請求項２】 カートリッヂに収納された基板をカート
リッヂごと液浸槽中に浸漬して、該基板に成膜，洗浄等
の液侵処理を行う基板処理装置において、 標準カートリッヂと特殊カートリッヂを並べておいてそ
の内部に収納された基板をお互いに移し替える基板移替
機と、 基板を収納した特殊カートリッヂごと浸漬する液浸槽
と、 前記液浸槽から取り出した基板入りの特殊カートリッヂ
を回転させるか或いは温風を吹き付けて乾燥する乾燥槽
と、 基板を収納した特殊カートリッヂを前記基板移替機と前
記液浸槽と乾燥槽の間で運搬するカートリッヂ運搬機
と、 これら基板移替機と液浸槽と乾燥槽とカートリッヂ運搬
機を収納する１つの枠体とを具備し、 前記カートリッヂ運搬機は、特殊カートリッヂを把持す
る把持機構と、該把持機構を上下動させる上下動機構
と、このカートリッヂ運搬機自体を水平移動させる水平
移動機構とを有し、該水平移動機構を前記枠体の少なく
とも液浸槽の開口部より低い部分或いは天井板近傍に取
り付けたことを特徴とする基板処理装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5777093A JPH06252072A (ja) | 1993-02-23 | 1993-02-23 | 基板処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5777093A JPH06252072A (ja) | 1993-02-23 | 1993-02-23 | 基板処理装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06252072A true JPH06252072A (ja) | 1994-09-09 |
Family
ID=13065117
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5777093A Pending JPH06252072A (ja) | 1993-02-23 | 1993-02-23 | 基板処理装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06252072A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2003017346A1 (en) * | 2001-08-09 | 2003-02-27 | Sharp Kabushiki Kaisha | Sheet manufacturing device, sheet manufacturing method, and solar battery |
| US7186578B2 (en) | 2002-06-28 | 2007-03-06 | Sharp Kabushiki Kaisha | Thin sheet production method and thin sheet production device |
| WO2023127051A1 (ja) * | 2021-12-27 | 2023-07-06 | 東邦化成株式会社 | 基板処理モジュールおよびそれを備える基板処理装置 |
-
1993
- 1993-02-23 JP JP5777093A patent/JPH06252072A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2003017346A1 (en) * | 2001-08-09 | 2003-02-27 | Sharp Kabushiki Kaisha | Sheet manufacturing device, sheet manufacturing method, and solar battery |
| US7186578B2 (en) | 2002-06-28 | 2007-03-06 | Sharp Kabushiki Kaisha | Thin sheet production method and thin sheet production device |
| US7485477B2 (en) | 2002-06-28 | 2009-02-03 | Sharp Kabushiki Kaisha | Thin plate manufacturing method and thin plate manufacturing apparatus |
| WO2023127051A1 (ja) * | 2021-12-27 | 2023-07-06 | 東邦化成株式会社 | 基板処理モジュールおよびそれを備える基板処理装置 |
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