JP3730803B2 - 基板姿勢変換装置および方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は,例えば半導体ウェハやLCDガラス板用等基板を保持部材内に保持した状態でこれら基板の姿勢を変換する基板姿勢変換装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
例えば,半導体デバイスの製造工程では,基板としての半導体ウェハ(以下,「ウェハ」という。)を所定の薬液や純水等の洗浄液によって洗浄し,ウェハの表面に付着したパーティクル,有機汚染物,金属不純物等のコンタミネーションを除去する洗浄装置が使用されている。その中でも,洗浄液が充填された洗浄槽内にウェハを浸漬させて洗浄処理を行うウェット型の洗浄装置は広く普及している。
【0003】
かかる洗浄装置では,洗浄前のウェハを例えば25枚保持したキャリアを,搬入部の上面に設けられた搬入側インタフェースポートを介して搬入する。この場合,搬送中にウェハがパーティクルなどによって汚染されないように,容器と,容器の底板が蓋として構成されているSMIFポッド(Standardized Mechanincal Interface Pod)と呼ばれる密閉容器内にキャリアごとウェハを収納し,この状態で洗浄装置に搬送している。搬入部は,例えばアクチュエータによって昇降自在な昇降ステージを備え,この昇降ステージを,搬入部の内部と搬入側インタフェースポートとの間で昇降移動させている。そして,搬入されたSMIFポッドを,予め搬入側インタフェースポートに上昇した昇降ステージ上の所定位置に載置し,その後,昇降テーブルを下降させ,容器を搬入側インタフェースポート上に残したまま,底板ごとキャリアを搬入部の内部に移動する。
【0004】
そして,ローダに移送したキャリアからウェハ25枚を一括して取り出す。その後,25枚のウェハを,洗浄・乾燥処理部に搬送して,バッチ式に洗浄,乾燥処理するようになっている。洗浄・乾燥処理部にて所定の洗浄工程が施されたウェハをアンローダに移送し,予め待機していた空のキャリア内に保持させる。洗浄後のウェハを保持したキャリアを,搬出部の搬出側インタフェースポートを介してSMIFポッド内に収納して洗浄装置外に搬出する。
【0005】
ここで,洗浄装置におけるバッチ式の洗浄は,ウェハを垂直姿勢で洗浄槽内に収納し各種の洗浄液を用いて行われる。このバッチ式の洗浄は,所定の間隔をもって垂直姿勢に並べられたウェハ同士の間に洗浄液の上昇流を形成させ,ウェハ表面にまんべんなく洗浄液を供給することによって,洗浄効率の向上が図られている。このため,ウェハを垂直姿勢で洗浄する洗浄装置に対応して,ウェハを垂直姿勢で保持したキャリアをSMIFポッド内に収納し,ウェハを垂直姿勢で搬送していた。
【0006】
一方,今日では生産性を向上するために,例えば200ミリウェハから300ミリウェハへの大口径化が図られている。このように大口径化されたウェハを前の通りに垂直姿勢で搬送すると,自重と搬送時の振動などによりウェハとキャリアとが擦れ合い,パーティクルの発生の原因となったり,さらにはウェハの下端部に損傷が生じてしまう。そこで,垂直姿勢に比べ搬送時の影響が抑えられるように,SMIFポッドにおいては,水平姿勢でウェハを保持したキャリアを収納し,ウェハを水平姿勢で搬送するようにしている。しかしながら,前述したように洗浄槽内ではウェハを垂直姿勢で洗浄するため,クリーンルーム内で搬送する時のウェハの姿勢と洗浄する時とのウェハの姿勢とが一致しない。
【0007】
そこで,従来この問題に対する解決手段として,例えば特開平8−78502号が知られている。特開平8−78502号に開示されたウェハ姿勢変換装置は,昇降ステージと,キャリアを90゜回動してウェハの姿勢を水平姿勢と垂直姿勢に変換するキャリア回動手段とを一体化して備えている。即ち,ウェハを水平姿勢で保持したキャリアを,昇降ステージによってSMIFポッドの容器から取り出した後,このキャリアをキャリア回動手段に受け渡す。キャリア回動手段は,キャリアごとウェハを90゜回動してウェハの姿勢を水平姿勢から垂直姿勢に変換する。回動されたキャリアをローダに移送してキャリアから垂直姿勢のウェハを取り出し,以後,洗浄・乾燥処理部において円滑な洗浄,乾燥処理を行う。一方,搬出部では,搬入部とは反対にウェハの姿勢を垂直姿勢から水平姿勢に変換する動作を行うようになっている。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら,特開平8−78502号のウェハ姿勢変換装置は,昇降ステージとキャリア回動手段とを一体化しており,さらに,昇降ステージによるキャリアの取り出しから始まって,回動されたキャリアをローダに移送してキャリア回動手段から離すまでを連続して行わなければならない。従って,昇降ステージの動作が終了するまでは,キャリア回動手段が待機した状態となり,また,キャリア回動手段の動作が終了するまでは,昇降ステージが待機した状態となってしまう。そして,回動されたキャリアを,ローダに移送しない限りキャリア回動手段にそのまま放置された状態となってしまい,次のキャリアに対して全く行動を起こすことができない。その結果,装置全体としてみれば,稼働効率が低くなる。このことは,キャリアを搬出するときにおいても同様である。
【0009】
従って本発明の目的は,稼働効率の高い基板姿勢変換装置を提供することにある。
【0010】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために,本発明は,保持部材内に並列に整列して保持された複数枚の基板の姿勢を変換する装置であって,前記保持部材を搬入または搬出させるインタフェースポートと,前記保持部材を載置させる第1のステージと,前記保持部材を載置させる第2のステージと,前記第1のステージと前記第2のステージとの間で,前記保持部材を搬送し,かつ前記保持部材を90゜回動して基板の姿勢を水平姿勢と垂直姿勢に変換する保持部材回動手段とを備え,前記第1のステージは,インタフェースポートに対して前記保持部材を搬入または搬出させる第1の高さと,前記第1のステージと前記保持部材回動手段との間で前記保持部材を授受させる第2の高さとを昇降自在であり,前記第2のステージに,前記保持部材回動手段に対して前記保持部材を授受する授受位置と前記授受位置とは別の待機位置とを設け,これら授受位置と待機位置との間で前記保持部材を移動させる移動手段を備えていることを特徴とする,基板姿勢変換装置を提供する。
【0011】
この基板姿勢変換装置によれば,例えば保持部材内で水平姿勢に保持された処理前の基板を工場内で搬送し,その後に適当な処理部で基板を垂直姿勢で処理する場合に,この基板姿勢変換装置を使用することにより処理部に基板を円滑に搬入することができる。
以下,具体的な作用を述べるが,まず,処理前の基板を保持した保持部材を例えば第1のステージに載置する。そして,第1のステージに載置された保持部材を保持部材回動手段が把持し,次いで保持部材を90゜回動して基板の姿勢を水平姿勢から垂直姿勢に変換する。保持部材回動手段は保持部材を第2のステージの授受位置に搬送し,授受位置に搬送された保持部材は,移動手段によって待機位置に移動される。このように,第2のステージの授受位置に保持部材がない状態にすることができるので,続けて保持部材を搬入して基板の姿勢を変換することができる。また,第1のステージ,第2のステージ,保持部材回動手段,移動手段を個別に設けているので,先の搬入された保持部材を移動手段によって授受位置から待機位置に移動している間に,保持部材回動手段が次の搬入された保持部材を回動することができる。従って,次々と保持部材を搬入して基板の姿勢を変換することができ,装置の稼働効率を高めることができる。
【0012】
また,例えば適当な処理部で基板を垂直姿勢で処理し,その後に保持部材内で水平姿勢に保持された処理後の基板を工場内で搬送する場合にも,この基板姿勢変換装置を使用することにより,処理部から基板を円滑に搬出することができる。 即ち,例えば,先に説明した基板の姿勢を水平姿勢から垂直姿勢に変換して処理部に搬入するときの工程と逆の工程を行って,第2のステージから第1のステージに保持部材回動手段が保持部材を搬送する。この場合には,保持部材回動手段が先の搬出される保持部材を回動している間に,移動手段によって,次の搬出される保持部材を待機位置から授受位置に移動させ,第2のステージの授受位置に保持部材を存在させることができる。従って,次々と基板の姿勢を変換して保持部材を搬出することができ,装置の稼働効率を高めることができる。
なお,処理部に対して基板を円滑に搬入出する場合や,工場内で基板を垂直姿勢で搬送し,処理部で基板を水平姿勢で処理する場合にも,この基板姿勢変換装置を使用することができる。また,第2のステージに授受位置と待機位置を設けない代わりに,第1のステージに授受位置と待機位置を設けてもよいし,さらには第1のステージ,第2のステージの両方に,授受位置と待機位置を設けてもよい。また,待機位置に2以上の保持部材を待機させるようにしてもよい。
【0013】
前記第1のステージに対して前記保持部材が搬入または搬出される第1の高さと,前記第1のステージに対して前記保持部材回動手段が前記保持部材を授受する第2の高さとを設け,少なくとも該第1の高さと該第2の高さとの間で前記第1のステージを昇降させる昇降手段を備えていることが好ましい。
【0014】
かかる構成によれば,処理部に基板を搬入する際には,昇降手段によって,第1のステージを第1の高さに上昇させる。この第1のステージに対して,例えば搬送ロボットなどが,処理前の基板を保持した保持部材を搬入して載置する。その後,昇降手段によって,第1のステージを第2の高さに下降させ,保持部材回動手段が保持部材を把持する。以後,基板の姿勢の変換が行われる。
また,処理部から基板を搬出する際には,昇降手段によって,第1のステージを第2の高さに下降させる。この第1のステージに対して,保持部材回動手段が,処理後の基板を保持した保持部材を搬送する。その後,昇降手段によって,第1のステージを第1の高さに上昇させ,搬送ロボットが第1のステージから保持部材を搬出する。
【0015】
前記保持部材回動手段は,前記保持部材を把持する把持機構と,前記把持機構を支持し,前記把持機構に把持された保持部材を前記第1のテーブルと前記第2のテーブルで搬送するアームとを備え,前記把持機構は前記アームに対して相対的に回動するように支持されていることが好ましい。
【0016】
かかる構成によれば,第1のステージから第2のステージに保持部材を搬送する場合,把持機構が,第1のステージに載置された保持部材を把持する。その後,保持部材を把持した把持機構を90゜回動することにより保持部材を90゜回動して基板の姿勢を例えば水平姿勢から垂直姿勢に変換する。その後,アームによって,把持機構に把持された保持部材を第2のステージに搬送する。このとき,把持部材は,アームに対して相対的に回動するように支持されているので,アームを回動させると,基板の姿勢を変えないで,保持部材を第2のステージに搬送することができる。
一方,第2のステージから第1のステージに保持部材を搬送する場合,先ず,把持機構を90゜回動し,その後,アームを回動させて把持機構をアームに対して相対的に回動させる。これにより,把持機構が第2のステージに載置された保持部材を把持することができる。以後,先の工程とは逆の工程を行って,保持部材を第1のステージに搬送する。
【0017】
前記保持部材はつば部を備え,前記把持機構は前記つば部を把持するチャックを備えていることが好ましい。かかる構成によれば,把持機構は,チャックによってつば部をしっかりと把持するので,保持部材の回動を安全に行うことができる。
【0018】
前記第2のステージ上に授受位置と前記授受位置とが並列に配置され,前記移動手段が第2のステージの下方から前記保持部材を支持し,授受位置と待機位置との間で前記保持部材を移動させるように構成されているとよい。
【0019】
なお,保持部材内に並列に整列して保持された複数枚の基板の姿勢を変換する方法であって,前記保持部材をインタフェースポートに搬入させる工程と,インタフェースポートから第1のステージに前記保持部材を載置させる工程と,前記保持部材を90゜回動して基板の姿勢を水平姿勢と垂直姿勢に変換し,前記第1のステージから第2のステージの授受位置に前記保持部材を搬送する工程と,前記第2のステージにおいて,前記基板の姿勢を変えないで,前記基板の姿勢を維持したまま,前記授受位置から待機位置に前記保持部材を移動させる工程とを有することを特徴とする,基板姿勢変換方法が提供される。
【0020】
かかる方法によれば,保持部材の回動およびそれに伴う基板の姿勢変換を円滑に行うことができる。また,基板の姿勢の変換の仕方によっては,基板の姿勢を水平姿勢と垂直姿勢とに変換する工程と保持部材を搬送する工程との前後を自由に組み合わせることができる。なお,基板の姿勢を水平姿勢と垂直姿勢に変換するとは,基板の姿勢を水平姿勢から垂直姿勢に変換でき,基板の姿勢を垂直姿勢から水平姿勢に変換できることを意味する。
【0021】
この基板姿勢変換方法において,前記保持部材の搬送の軌跡が,円弧を描くようにして行われることが好ましい。
【0022】
【発明の実施の形態】
以下,本発明の実施の形態について,以下の添付図面を参照して説明する。本実施の形態は,ウェハの搬入,洗浄,乾燥,搬出までをバッチ式に一貫して行うように構成された洗浄装置において,この洗浄装置の構成要素として備えられているウェハ姿勢変換装置に関するものである。図1は,本実施の形態にかかるウェハ姿勢変換装置8,20が備えられている洗浄装置1を側面からみた説明図であり,図2は,洗浄装置1を平面からみた説明図である。
【0023】
この洗浄装置1は,洗浄前のウェハWを水平姿勢で保持するキャリアCを収納しているSMIFポッド3(Standardized Mechanincal Interface Pod)を搬入し,キャリアCから洗浄前のウェハWを取り出すまでの動作を行う搬入部4と,ウェハWに対して所定の洗浄および乾燥工程を行う洗浄・乾燥処理部5と,洗浄後のウェハWをキャリアC内に収納し,キャリアCをSMIFポッド3ごと搬出するまでの動作を行う搬出部6との三箇所に大別することができる。
【0024】
搬入部4は,SMIFポッド3を搬入側インタフェースポート7を介して搬入し,その後,ウェハ姿勢変換装置8によって,SMIFポッド3からキャリアCを取り出して,このキャリアCを90゜回動してウェハWの姿勢を水平姿勢から垂直姿勢に変換し,その後,キャリアCをリフタ9によってローダ10に移送するように構成されている。
【0025】
洗浄・乾燥処理部5には,その前面側に,搬送装置11が配置されており,この搬送装置11は,洗浄装置1の長手方向(図1および図2中のX方向)に沿ってスライド自在である。また,搬送装置11は,昇降自在(図1中のZ方向)に構成された支持部12にウェハチャック13a,13bを支持しており,これらウェハチャック13a,13bによって,キャリアC2個分の(例えば50枚の)ウェハWを一括して保持し,搬入部4側から搬出部6側にウェハWを搬送することができる。
【0026】
洗浄・乾燥処理部5においては,例えば薬液を用いて薬液洗浄した後に純水を用いてリンス洗浄を行う,いわゆるワンバス方式の第1の薬液・リンス洗浄装置14と,第1の薬液・リンス洗浄装置14で使用された薬液と異なる薬液を用いて薬液洗浄し,その後に純水を用いてリンス洗浄を行う第2の薬液・リンス洗浄装置15と,搬送装置11のウェハチャック13a,13bを洗浄,乾燥するためのウェハチャック洗浄・乾燥装置16と,ウェハWを例えばイソプロピルアルコール(IPA)蒸気を用いて最終的に乾燥させる乾燥装置17とが搬入部4側から搬出部6側に順次配置されている。
【0027】
なお以上の配列や薬液・リンス洗浄装置の組合わせは,ウェハWに対する洗浄の種類によって任意に組み合わせることができる。例えば,ある薬液・リンス洗浄装置を減じたり,逆にさらに他の薬液を用いた薬液・リンス洗浄装置を付加してもよい。
【0028】
搬出部6は,アンローダ18にて洗浄後のウェハWを垂直姿勢でキャリアC内に保持させ,その後,このキャリアCをリフタ19によってウェハ姿勢変換装置20に移送し,その後,キャリアCをSMIFポッド3内に収納して搬出側インタフェースポート21を介して搬出するように構成されている。
【0029】
次に,本実施の形態にかかるウェハ姿勢変換装置8,20はいずれも同様の構成を有しているので,図3〜図20を参照しながらウェハ姿勢変換装置8を例にとって説明する。図3は,搬入部2を正面からみた説明図であり,図4,5は,搬入部2を側面からみた説明図であり,図6,搬入部2を平面からみた説明図である。
【0030】
まず,図3,4,5および図7に示すように,キャリアCを収納するSMIFポッド3は,底部が開口している透明な容器30と,この容器30の底部を開閉する底板31とから構成されている。従って,例えば25枚のウェハWを並列に整列させて水平姿勢で保持しているキャリアCを底板31に載せ,その上から容器30を被せることにより,キャリアCを密閉した状態で洗浄装置1に搬送することができる。また,キャリアCをリフタ9で持ち運ぶために,キャリアCの開口部32の一方側につば部33aが,他方側につば部33bが設けられている。
【0031】
ここで,ウェハ姿勢変換装置8は,キャリアCを載置する第1のステージ35と,キャリアCを載置する第2のステージ36と,第1のステージ35と第2のステージ36との間で,キャリアCを搬送し,かつキャリアCを図6中のX方向を軸として90゜回動してウェハWの姿勢を水平姿勢と垂直姿勢に変換するキャリア回動手段37とを備えている。
【0032】
第1のステージ35は,搬入側インタフェースポート7の下方に設けられている。また,第1のステージ35に対してキャリアCを搬入させる搬入側第1の高さイと,第1のステージ35に載置されたキャリアCをキャリア回動手段37が受け取る搬入側第2の高さロとが設けられている。第1のステージ35の下面には,アクチュエータ38の昇降軸39が接続されている。従って,アクチュエータ38の稼働によって,第1のステージ35は,少なくとも搬入側第1の高さイと搬入側第2の高さロとの間で昇降するように構成されている。
【0033】
搬入側インタフェースポート7には開口部40が形成されている。図3および図4で実線で示した第1のステージ35は,アクチュエータ38の稼働によって,搬入側第1の高さイに上昇し,開口部40に進入した状態を示している。SMIFポッド3を搬入側インタフェースポート7に搬入する際には,この状態で,開口部40の周縁部にSMIFポッド3の下面周縁部を載置するとともに,底板31を第1のステージ35上に載置する。その後,図5に示すように,アクチュエータ38の稼働によって,容器30を搬入側インタフェースポート7に残したまま,第1のステージ35を搬入側第2の高さロに下降させ,キャリアCをキャリア回動手段37に受け渡し可能な状態におく。このように,キャリアCを外部雰囲気に接触する機会がないまま搬入部4の内部に搬入するので,ウェハWを清浄な状態に保つことができる。
【0034】
キャリア回動手段37は,キャリアCを把持するアームヘッド45と,アームヘッド45を支持し,アームヘッド45に把持されたキャリCを第1のステージ35と第2のステージ36で搬送するアーム46と,アーム46を回動自在に支持する支持部47とを備えている。また,第2のステージ36は,レール48に沿って昇降自在(図3中のZ方向)な昇降部材49に取り付けられている。
【0035】
キャリア回動手段37の構成について,図8〜図11に基づいて説明する。まず,図8および図9に示すように,支持部47には,アーム46を回動させるモータ50が取り付けられている。モータ50の回転軸51は,支持部47内に突き出ており,その先端にはプーリ52が固着されている。このプーリ52の上方には,プーリ53が設けられており,プーリ52とプーリ53との間には,伝達ベルト54が巻回されている。そして,プーリ53には,連結軸55を介してプーリ56が連結されている。一方,アーム46の基端部に接続された回動軸57は,支持部47内に突き出ており,前述したようにアーム46は支持部47に対して回動自在に支持されている。回動軸57にはプーリ58が固着されており,このプーリ58とプーリ56との間には,伝達ベルト59が巻回されている。こうして,モータ50の回転動力は,プーリ52,伝達ベルト54,プーリ53,56,伝達ベルト59,プーリ58,回動軸57に伝達されて,アーム46を回動させるようになっている。
【0036】
また,支持部47には,アームヘッド45を回動させるモータ60が取り付けられている。モータ60の回転軸(図示せず)は,支持部47内に突き出ており,その先端にはプーリ61が固着されている。このプーリ61の上方には,プーリ62が設けられており,プーリ62とプーリ61との間には,伝達ベルト63が巻回されている。そして,このプーリ62には,連結軸(図示せず)を介してプーリ64が接続されている。さらに,このプーリ64の上方には,プーリ65が設けられており,プーリ64とプーリ65との間には,伝達ベルト66が巻回されている。また,アームヘッド45の基端部内にはプーリ67が設けられており,このプーリ67とプーリ65とは,前記回動軸57及びプーリ58内を回動自在に貫通している連結軸68によって連結されている。一方,アームヘッド45に接続された回動軸69は,アーム46内に突き出ており,アームヘッド45は,アーム46に対して回動自在に支持されている。回動軸69にはプーリ70が固着されており,このプーリ70とプーリ67との間には,伝達ベルト71が巻回されている。こうして,モータ60の回転動力は,プーリ61,伝達ベルト63,プーリ62,64,伝達ベルト66,プーリ65,連結軸68,プーリ67,伝達ベルト71,プーリ70,回動軸69に伝達されて,アームヘッド45を回動させるようになっている。
【0037】
アームヘッド45は,図10〜図12に示すように,ケーシング80内に,左右対称の開閉チャック81a,81b,82a,82bを備え,これら開閉チャック81a,81b,82a,82bは,シリンダ機構83の伸縮稼働によってキャリアCのつば部33a,33bを把持または開放するように構成されている。開閉チャック81a,81b,82a,82bは何れも同様の構成を有しているので,開閉チャック81a,81bを例にとって説明する。
【0038】
開閉チャック81aは,リンク機構84aとリンク機構84aに回動自在に接続され,かつ先端が突起しているクランプ部85aとを有し,開閉チャック81bは,リンク機構84bとリンク機構84bに回動自在に接続され,かつ先端が突起しているクランプ部85bとを有している。クランプ部85a,85bは,ケーシング80内から外部に露出できるようになっている。一方,キャリアCには,クランプ部85aに対応した穴部86aと,クランプ部85bに対応した穴部86bとが設けられている。また,このケーシングの手前側(図11および図12の下側)には,キャリアCの存在を感知すると共に,キャリアCを前後方向(図11および図12中のY方向)に動かさないためのブロック87a,87bが設けられている。なお,開閉チャック82a,82bも,同様につば部33a,33bを把持または開放するように構成されている
【0039】
前述したようにキャリアCを下降させる際には,図3に示すように,邪魔にならないように,アームヘッド45及びアーム46を実線で示す位置に回動させて,斜めに傾いた姿勢で待機させる。その後にキャリアCがキャリア回動手段37に受け渡し可能な状態になると,アームヘッド45及びアーム46を,図3中の二点鎖線45’46’に示す位置に回動させ,図5に示すように,キャリアCをキャリア回動手段37が把持できるようになっている。このとき,図11に示すように,ブロック87aがつば部33aに,ブロック87bがつば部33bにそれぞれ当たり,キャリアCを感知できるようになっている。そして,図12に示すように,シリンダ機構83の伸張稼働によってリンク機構84a,84bを回動させ,穴部86aにクランプ部85aを,穴部86bにクランプ部85bをそれぞれはめ込ませる。こうして,開閉チャック81a,82aはつば部33aに,開閉チャック81b,82bはつば部33bにそれぞれ固着した状態となる。つば部33aはブロック部87aとクランプ部85aとの間で,つば部33bはブロック部87bとクランプ部85bとの間でそれぞれ挟持されるので,キャリア回動手段37は,キャリアCを前後方向に揺らすことなく搬送することができる。また,左右方向の揺れは,クランプ部85a,85b同士でキャリアCを左右から挟持することにより防止している。また,穴部86aにクランプ部85aの先端を,穴部86bにクランプ部85bの先端をそれぞれはめ込んでいるので,搬送中にキャリアCが滑って落下するようなことはなく,さらに上下方向の揺れを防止することができる。
【0040】
キャリア回動手段37が,第1のテーブル35と第2のテーブル36と間でキャリアCを搬送する場合について図13〜図16に基づいて説明する。まず図13は,図12に示したような,キャリア回動手段37がキャリアCを把持した際の様子を側面から示したものである。次いで,図14に示すように,第1のステージ35を搬入側第2の高さロよりも低い位置に下降させ,キャリアCから底板31を離してキャリアCをキャリア回動手段37に受け渡す。これにより,キャリア回動手段37がキャリアCを回動できる状態となる。
【0041】
次いで,図15に示すように,キャリア回動手段37は,アームヘッド45を90゜回動してキャリアCを90゜回動し,ウェハWの姿勢を水平姿勢から垂直姿勢に変換するようになっている。次いで,図16に示すように,アーム46を90゜回動してキャリアCを第2のテーブル36に搬送するようになっている。この場合,キャリア回動手段37は,ウェハWの姿勢を変えないで,ウェハWの姿勢を垂直姿勢に維持したまま,円弧を描くようにしてキャリアCを搬送するようになっている。この状態から,図11に示したように,開閉チャック81a,81b,82a,82bを開放させて第2のステージ36にキャリアCを受け渡すようになっている。なお,第2のステージ36から第1のステージ35にキャリアCを搬送する際には,以上説明した工程とは逆の工程を行うようになっている。
【0042】
図3,図6および図17に示すように,第2のステージ36には,キャリア回動手段37に対してキャリアCを授受する授受位置90とキャリアCを待機させる待機位置91とが設けられている。これら授受位置90と待機位置91とは,第2のステージ36上に並列に配置されている。図6に示すように,授受位置90には開口部92が形成され,待機位置91にも,開口部93が形成されている。これら開口部92,93は,通過部94によって連通されている。各開口部92,93の周縁部に,キャリアCの下面周縁を載置するようになっている。
【0043】
第2のステージ36の下方には,移動テーブル100が設けられている。この移動テーブル100は,第2のステージ36の下方からキャリアCを支持し,授受位置90と待機位置91との間でキャリアCを移動させるように構成されている。即ち,移動テーブル100の下面には,シリンダ101のロッド102が接続されており,このシリンダ101は,レール103に沿ってスライド自在なスライド部材104の上面に支持されている。従って,移動テーブル100は,昇降自在(図3および図17中のZ方向)であると共に,授受位置90と待機位置91の配置方向と平行な方向(図3,図6および図17中のY方向)に移動自在である。
【0044】
移動テーブル100が,授受位置90と待機位置91と間でキャリアCを移動する場合について図18〜図20に基づいて説明する。図18に示すように,移動テーブル100は,上昇して授受位置90に搬送されたキャリアCを受容し,図19に示すように,待機位置91の上方にまで移動する。そして,図20に示すように,下降して第2のテーブル36上にキャリアCを載せ,待機位置91への移動を完了するようになっている。なお,待機位置91から授受位置90にキャリアCを移動する際には,以上説明した工程とは逆の工程を行うようになっている。
【0045】
リフタ9は,一対の把持部110a,110bを備え,図6中のX方向,図3及び図6中のY方向,図3中のZ方向に移動自在に構成されている。授受位置90と待機位置91にキャリアCが載置されて第2のテーブル36にキャリアCが二つ揃うと,第2のテーブル36は,図3に示すように上昇するようになっている。その後,このリフタ9によって,第2のテーブル36からローダ10にキャリアCを移送するようになっている。そして,ローダ10で,ハンド95によって,キャリアCから垂直姿勢でウェハWを取り出すようになっている。
【0046】
なお,図21に示すように,ウェハ姿勢変換装置20も,ウェハ姿勢変換装置8と同様の構成を有しており,洗浄後のウェハWを垂直姿勢で収納したキャリアCを90゜回動してウェハWの姿勢を垂直姿勢から水平姿勢に変換するようになっている。なお,搬出側第2の高さニでは,キャリア回動手段37が第2のステージからキャリアCを受け取り,搬出側第1の高さハでは,第1のステージ35に載置されたキャリアCがSMIFポッド内に収納されて外部に搬出されるようになっている。
【0047】
次に,以上に構成された本実施の形態にかかるウェハ姿勢変換装置8の作用,効果を洗浄装置1におけるウェハWの所定の洗浄工程に基づいて説明する。先ず,キャリアC内で水平姿勢に保持された洗浄前のウェハWをクリーンルーム内で搬送し,その後に洗浄装置1の洗浄・乾燥処理部5でウェハWを垂直姿勢で処理する場合に,このウェハ姿勢変換装置8を使用することにより洗浄・乾燥処理部5にウェハWを円滑に搬入することができる。
【0048】
即ち,未だ洗浄されていないウェハWを例えば25枚ずつ水平姿勢でキャリアCに保持させ,このキャリアCを収納したSMIFポッド3を,例えば搬送ロボット(図示せず)が搬入部4の搬入側インタフェースポート7に搬入する。このとき,第1のステージ35を予め搬入側第1の高さイに上昇させておき,この第1のステージ35上にSMIFポッド3を載置する。そして,図5に示したように,第1のステージ35を搬入側第2の高さロまで下降させ,SMIFポッド3の容器30からキャリアCを取り出す。
【0049】
次いで,キャリア回動手段37が,第1のステージ35から第2のステージ36にキャリアCを搬送する。即ち,図13〜図16に示したように,アームヘッド45が,第1のステージ35に載置されたキャリアCを把持する。その後,アーム46を固定した状態で,アームヘッド45を90゜回動することによりキャリアCを90゜回動してウェハWの姿勢を垂直姿勢から水平姿勢に変換する。こうして,キャリアCの回動およびそれに伴うウェハWの姿勢変換を円滑に行うことができる。しかも,この場合,図11に示したように,アームヘッド45は,開閉チャック81a,81b,82a,82bによってキャリアCのつば部33a,33bをしっかりと把持するので,キャリア回動手段37はキャリアCの回動を安全に行うことができる。
【0050】
その後,アーム46を90゜回動させ,キャリアCを把持したアームヘッド45をアーム46に対して相対的に回動させ,ウェハWの姿勢を変えないで,ウェハWの姿勢を垂直姿勢に維持したまま,授受位置90に搬送する。このキャリアCの搬送の軌跡は,円弧に描くようにして行われる。そして,図18〜図20に示したように,授受位置90に搬送されたキャリアCは,移動テーブル100によって待機位置91に移動され,授受位置90を空かせる。
【0051】
一方,キャリアCを移動している間,第1のステージ35を搬入側第1の高さイに上昇させて底板31をSMIFポッド3に戻す。空になったSMIFポッド3は,搬入側インタフェースポート7から搬出され,代わりに次のSMIFポッド3を搬入側インタフェースポート7に搬入する。そして,第1のステージ35を搬入側第2の高さロに下降させ,キャリア回動手段37が次の搬入されたキャリアCを把持できるようにする。授受位置90が空いているので,先と同様に,キャリア回動手段37は次の搬入されたキャリアCを90゜回動し,第2のステージ36の授受位置90に搬送する。こうして,第2のステージ36上に2個のキャリアCが揃うと,第2のステージ36を上昇させる。そして,リフタ9は,第2のステージ36からローダ10にキャリアCを移送する。ローダ10にてキャリアCから垂直姿勢のウェハWが取り出され,ウェハWは洗浄・乾燥処理部5に搬送される。なお,ウェハWが取り出されて空になったキャリアCは,ローダ10から洗浄装置1に備えられたストック部(図示せず)に運ばれる。
【0052】
このように,ウェハ姿勢変換装置8によれば,第2のステージ36の授受位置90にキャリアCがない状態とすることができるので,続けてキャリアCを搬入してウェハWの姿勢を変換することができる。しかも,第1のステージ35,第2のステージ36,キャリア回動手段37,移動ステージ100を個別に設けているので,回動されたキャリアCを移動ステージ90によって授受位置90から待機位置91に移動している間に,キャリア回動手段37が次の搬入されたキャリアCを回動することができる。従って,次々とキャリアCを搬入してウェハWの姿勢を変換することができ,装置の稼働効率を高めることができる。
【0053】
また,ウェハ姿勢変換装置20を使用することにより,洗浄・乾燥処理部5からウェハWを円滑に搬出することができる。
即ち,先に説明したウェハWの姿勢を水平姿勢から垂直姿勢に変換して洗浄・乾燥処理5に搬入するときの工程と逆の工程を行って,ウェハ姿勢変換装置20において,キャリア回動手段37が,第2のステージ36から第1のステージ35にキャリアCを搬送する。
【0054】
特にキャリアCを90゜回動する際には,図22に示すように,アーム46を固定した状態でアームヘッド45を90゜回動する。その後,図23に示すように,アーム46を回動させてアームヘッド45をアーム46に対して相対的に回動させる。これにより,アームヘッド45が第2のステージ36に載置されたキャリアCを把持することができる。以後,図13〜図16で説明した工程とは逆の工程を行って,キャリアCを第1のステージ35に搬送する。
【0055】
この場合,キャリア回動手段37が先の搬出されるキャリアCを回動している間に,移動テーブル100によって,次の搬出されるキャリアCを待機位置91から授受位置90に移動させ,授受位置90にキャリアCを存在させることができる。従って,次々とウェハWの姿勢を変換してキャリアCを搬出することができ,ウェハ姿勢変換装置20の稼働効率を高めることができる。
【0056】
かくして,本実施の形態のウェハ姿勢変換装置8,20によれば,次々とウェハWの搬入や搬出を行って高い稼働効率を実現することができるので,洗浄・乾燥処理部5のスループットを向上することができる。その結果,洗浄装置1の処理能力を増大させることができる。
【0057】
なお,洗浄・乾燥処理部5に洗浄前のウェハWを搬入する機能と,洗浄・乾燥処理部5から洗浄前のウェハWを搬出する機能とを兼ね備えるように構成された搬入出部や,クリーンルーム内でウェWを垂直姿勢で搬送する一方で,ウェハWを水平姿勢で洗浄処理する場合にも,これらウェハ姿勢変換装置8,20を使用することができる。また,第2のステージ36に授受位置90と待機位置91を設けない代わりに,第1のステージ35に授受位置90と待機位置91を設けてもよいし,さらには第1のステージ35,第2のステージ36の両方に,授受位置90と待機位置91を設けてもよい。また,待機位置91は,2以上のキャリアCを待機できるだけの広さを有していても良い。
【0058】
なお,本発明は,バッチ式にウェハを洗浄する洗浄装置に即して説明したが,これに限らず所定の処理を行うその他の装置,例えば枚様式にウェハを洗浄する装置やウェハ上に所定の処理液を塗布する装置などにも適用することができる。また基板にはウェハを使用した例を挙げて説明したが,本発明はかかる例には限定されず,例えばLCD基板や他の基板にも応用することが可能である。
【0059】
【発明の効果】
本発明によれば,次々と基板の搬入や搬出を行って高い稼働効率を実現することができるので,適当な処理部のスループットを向上することができる。その結果,例えば,この基板姿勢変換装置を構成要素として備えた処理装置の処理能力を増大させることができる。特に,基板の搬入や搬出を円滑に行うことができる。また,保持部材の搬送において,保持部材の回動およびそれに伴う基板の姿勢変換を円滑に行うことができ,さらに,保持部材の回動を安全に行うことができる。また,授受位置と待機位置との間で保持部材を円滑に移動させることができる。
【0060】
本発明によれば,保持部材の回動およびそれに伴う基板の姿勢変換を円滑に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本実施の形態にかかるウェハ姿勢変換装置を備えた洗浄装置の側面説明図である。
【図2】図1の洗浄装置の平面説明図である。
【図3】搬入部の様子を示す正面説明図である。
【図4】第1のステージが搬入側第1の高さに上昇した際の搬入部の様子を示す側面説明図である。
【図5】第1のステージが搬入側第2の高さに下降した際の搬入部の様子を示す側面説明図である。
【図6】搬入部の様子を示す平面説明図である。
【図7】SMIFポッドおよびキャリアの斜視図である。
【図8】搬入部のウェハ姿勢変換装置に設けられたキャリア回動手段の内部構造を示す説明図である。
【図9】搬入部のウェハ姿勢変換装置に設けられたキャリア回動手段の内部構造を示す断面説明図である。
【図10】アームヘッドの内部構造を示す断面説明図である。
【図11】キャリアを開放している開閉チャックの様子を示す平面説明図である。
【図12】キャリアを把持している開閉チャックの様子を示す平面説明図である。
【図13】搬入部のウェハ姿勢変換装置に設けられたキャリア回動手段を側面からみた第1の動作説明図である。
【図14】搬入部のウェハ姿勢変換装置に設けられたキャリア回動手段を側面からみた第2の動作説明図である。
【図15】搬入部のウェハ姿勢変換装置に設けられたキャリア回動手段を側面からみた第3の動作説明図である。
【図16】搬入部のウェハ姿勢変換装置に設けられたキャリア回動手段を側面からみた第4の動作説明図である。
【図17】搬入部のウェハ姿勢変換装置の要部を拡大した側面説明図である,
【図18】移動テーブルによるキャリアの移動を側面からみた第1の動作説明図である。
【図19】移動テーブルによるキャリアの移動を側面からみた第2の動作説明図である。
【図20】移動テーブルによるキャリアの移動を側面からみた第3の動作説明図である。
【図21】搬出部の様子を示す後面説明図である。
【図22】搬出部のウェハ姿勢変換装置に設けられたキャリア回動手段を側面からみた第1の動作説明図である。
【図23】搬出部のウェハ姿勢変換装置に設けられたキャリア回動手段を側面からみた第2の動作説明図である。
【符号の説明】
1 洗浄装置
8,20 ウェハ姿勢変換装置
35 第1のステージ
36 第2のステージ
37 キャリア回動手段
38 アクチュエータ
45 アームヘッド
46 アーム
81a,81b,82a,82b 開閉チャック
90 授受位置
91 待機位置
100 移動テーブル
W ウェハ
C キャリア
イ 搬入側第1の高さ
ロ 搬入側第2の高さ
ハ 搬出側第1の高さ
ニ 搬出側第2の高さ
Claims (4)
- 保持部材内に並列に整列して保持された複数枚の基板の姿勢を変換する装置であって,
前記保持部材を搬入または搬出させるインタフェースポートと,
前記保持部材を載置させる第1のステージと,
前記保持部材を載置させる第2のステージと,
前記第1のステージと前記第2のステージとの間で,前記保持部材を搬送し,かつ前記保持部材を90゜回動して基板の姿勢を水平姿勢と垂直姿勢に変換する保持部材回動手段とを備え,
前記第1のステージは,インタフェースポートに対して前記保持部材を搬入または搬出させる第1の高さと,前記第1のステージと前記保持部材回動手段との間で前記保持部材を授受させる第2の高さとを昇降自在であり,
前記第2のステージに,前記保持部材回動手段に対して前記保持部材を授受する授受位置と前記授受位置とは別の待機位置とを設け,これら授受位置と待機位置との間で前記保持部材を移動させる移動手段を備えていることを特徴とする,基板姿勢変換装置。 - 前記保持部材回動手段は,前記保持部材を把持する把持機構と,前記把持機構を支持し,前記把持機構に把持された保持部材を前記第1のステージと前記第2のステージで搬送するアームとを備え,前記把持機構は前記アームに対して相対的に回動するように支持されていることを特徴とする,請求項1に記載の基板姿勢変換装置。
- 前記保持部材はつば部を備え,前記把持機構は前記つば部を把持するチャックを備えていることを特徴とする,請求項2に記載の基板姿勢変換装置。
- 前記第2のステージ上に前記授受位置と前記待機位置とが並列に配置され,前記移動手段が第2のステージの下方から前記保持部材を支持し,授受位置と待機位置との間で前記保持部材を移動させるように構成されていることを特徴とする,請求項1,2又は3に記載の基板姿勢変換装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11701699A JP3730803B2 (ja) | 1999-04-23 | 1999-04-23 | 基板姿勢変換装置および方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11701699A JP3730803B2 (ja) | 1999-04-23 | 1999-04-23 | 基板姿勢変換装置および方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2000306976A JP2000306976A (ja) | 2000-11-02 |
JP3730803B2 true JP3730803B2 (ja) | 2006-01-05 |
Family
ID=14701369
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP11701699A Expired - Fee Related JP3730803B2 (ja) | 1999-04-23 | 1999-04-23 | 基板姿勢変換装置および方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3730803B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN105428291B (zh) * | 2014-06-18 | 2019-06-28 | 上海华力微电子有限公司 | 一种晶圆横向水平对准的方法 |
-
1999
- 1999-04-23 JP JP11701699A patent/JP3730803B2/ja not_active Expired - Fee Related
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP2000306976A (ja) | 2000-11-02 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20040707 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20041102 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20041228 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20050329 |
|
A521 | Written amendment |
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|
A911 | Transfer of reconsideration by examiner before appeal (zenchi) |
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|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20051004 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20051007 |
|
R150 | Certificate of patent (=grant) or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111014 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
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