KR101101075B1 - 박판지지용기용 덮개 - Google Patents

박판지지용기용 덮개 Download PDF

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치아키 마츠토리
타다히로 오바야시
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미라이얼 가부시키가이샤
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Abstract

본 발명은 기존의 착탈장치를 이용하여 덮개의 착탈작업의 자동화를 꾀한다. 내부에 반도체 웨이퍼(49)를 수납하는 박판지지용기(11)의 용기본체(12)를 덮는 덮개(15)이다. 덮개(15)의 본체부(30) 내에, 용기본체(12)에 대해서 용이하게 고정 및 고정 해제하여 착탈할 수 있는 간이착탈기구(32)를 구비했다. 간이착탈기구(32)는, 본체부(30)로부터 연장하여 용기본체(12)의 제2피감합부(24)에 잠그는 잠금(係止)부재(42)와, 잠금부재(42)의 선단부에 설치되어 본체부(30)가 용기본체(12)측에 가볍게 감합(嵌合)한 상태로 제2피감합부(24)에 장착되어 잠금부재(42)를 제2피감합부(24) 내로 안내하는 안내부재(43)를 구비했다. 안내부재(43)는, 제2피감합부(24)에 최초로 장착되는 장착부(43A)와, 잠금부재(42)를 제2피감합부(24)로 안내하는 안내부(43B)를 구비했다.
박판지지용기용 덮개, 착탈장치, 반도체 웨이퍼, 박판지지용기, 간이착탈기구

Description

박판지지용기용 덮개{Lid unit for thin-plate supporting container}
도 1은 본 발명의 실시형태에 따른 박판지지용기용 덮개의 간이착탈기구를 나타내는 주요부 사시도이다.
도 2는 종래의 박판지지용기용 덮개를 나타내는 측면 단면도이다.
도 3은 본 발명의 실시형태에 따른 박판지지용기를 나타내는 사시도이다.
도 4는 본 발명의 실시형태에 따른 박판지지용기를 덮개를 제외한 상태에서 나타내는 사시도이다.
도 5는 본 발명의 실시형태에 따른 박판지지용기의 덮개 수용부를 나타내는 부분 사시도이다.
도 6은 본 발명의 실시 형태에 따른 박판지지용기의 덮개 수용부의 부분 단면도이다.
도 7은 본 발명의 실시형태에 따른 박판지지부를 나타내는 정면도이다.
도 8은 본 발명의 실시형태에 따른 박판지지부를 나타내는 측면도이다.
도 9는 본 발명의 실시형태에 따른 제2덮개를 나타내는 상면 사시도이다.
도 10은 본 발명의 실시형태에 따른 제2덮개를 나타내는 하면 사시도이다.
도 11은 본 발명의 실시형태에 따른 잠금부재를 나타내는 상면 사시도이다.
도 12는 본 발명의 실시형태에 따른 잠금부재를 나타내는 하면 사시도이다.
도 13은 본 발명의 실시형태에 따른 잠금부재를 나타내는 측면 단면도이다.
도 14는 본 발명의 실시형태에 따른 투입부재를 나타내는 상면 사시도이다.
도 15는 본 발명의 실시형태에 따른 투입부재를 나타내는 하면 사시도이다.
도 16은 본 발명의 실시형태에 따른 투입부재를 나타내는 평면도이다.
도 17은 본 발명의 실시형태에 따른 투입부재를 나타내는 저면도이다.
도 18은 본 발명의 실시형태에 따른 보지(保持)커버를 나타내는 상면 사시도이다.
도 19는 본 발명의 실시형태에 따른 보지커버를 나타내는 하면 사시도이다.
도 20은 본 발명의 실시형태에 따른 커버누름부를 나타내는 상면 사시도이다.
도 21은 본 발명의 실시형태에 따른 커버누름부를 나타내는 상면 사시도이다.
도 22는 본 발명의 실시형태에 따른 웨이퍼누름부를 나타내는 측면 단면도이다.
도 23은 본 발명의 실시형태에 따른 웨이퍼누름부를 나타내는 사시도이다.
도 24는 본 발명의 실시형태에 따른 웨이퍼누름부를 나타내는 단면 사시도이다.
도 25는 본 발명의 실시형태에 따른 웨이퍼누름부를 나타내는 주요부 사시도이다.
도 26은 본 발명의 실시형태에 따른 박판지지부와 웨이퍼누름부를 나타내는 주요부 확대도이다.
도 27은 본 발명의 실시형태에 따른 간이착탈기구의 동작을 나타내는 모식도이다.
도 28은 본 발명의 변형예를 나타내는 측면도이다.
본 발명은 반도체 웨이퍼, 기억디스크, 액정유리기판 등의 박판을 수납하여 보관, 수송, 제조 공정 등에서 사용할 수 있도록 한 박판지지용기용 덮개에 관한 것이다.
반도체 웨이퍼 등의 박판을 수납하여 보관, 수송하기 위한 박판지지용기는 일반적으로 알려져 있다.
이 박판지지용기는 주로, 용기본체와, 이 용기본체의 상부 개구를 덮는 덮개로 구성된다. 용기본체의 내부에는 반도체 웨이퍼 등의 박판을 지지하기 위한 부재가 설치된다. 이러한 박판지지용기에서는 내부에 수납한 반도체 웨이퍼 등의 박판의 표면의 오염 등을 방지하기 위해서, 용기 내부를 청정하게 유지해 수송할 필요가 있다. 따라서, 용기 내는 밀봉된다. 즉, 덮개를 용기본체에 고정하고, 용기본체 내를 밀봉한다. 이 덮개를 용기본체에 고정하는 구조로서는 다양한 것이 존재한다.
반도체 제조공장 등으로 수송된 박판지지용기는 제조라인에 실려 덮개가 전용장치에 의해 자동적으로 착탈된다.
이 전용장치에 대응하는 덮개로서는 일본특허공개공보 제2001－512288호에 기재된 것이 있다. 이 덮개(1)는 도 2에 나타난 바와 같이, 본체(2), 캠부재(3), 랫치용 가로대(4) 및 지점(5)으로 구성된다.
캠부재(3)는 본체(2)에 회전가능하게 장착된다. 캠부재(3)에는 캠부분(6)이 설치된다. 이 캠부분(6)에는 장공(長孔) 형상의 연결개구부(7)가 설치된다.
래칫용 가로대(4)는, 그 기단부에 S자형 캠폴로(cam follower) 부분(8)이 설치되고, 이 S자형 캠폴로 부분(8)이 연결개구부(7)에 감합하여 포착된다.
지점(5)은 본체(2)에 설치된 돌기부재에 의해 구성되며, 랫치용 가로대(4)를 지지한다.
이 구성에 의해, 캠부재(3)가 회전하는 것으로, 연결개구부(7)에 포착된 S자형 캠폴로 부분(8)이, 도 중의 우측 방향으로 이동되면서, 상방향으로 밀어올려진다. 이에 의해, 랫치용 가로대(4)가 본체(2)로부터 연장되면서, 지점(5)을 중심으로 회전 이동하고, 랫치용 가로대(4)의 선단이 하방향으로 내리눌러진다.
이때, 랫치용 가로대(4)의 선단은 용기본체측의 공부(孔部)에 감합하며, 하방향으로 내리눌러지는 것에 의해, 덮개를 용기본체측으로 눌러 고정한다.
그런데, 상술한 바와 같은 덮개(1)에서는, 랫치용 가로대(4)가 본체(2)로부터 연장하여 그 선단이 용기본체측의 공부에 감합하는데, 이 랫치용 가로대(4)를 본체(2)로부터 연장할 때는, 덮개를 용기본체측으로 내리눌러 둘 필요가 있다. 이것은 덮개와 용기본체의 사이에 용기본체 내부를 밀봉하기 위한 씰(seal)부재가 있기 때문이다. 이 씰부재는 합성수지 등의 탄성체로 이루어지며, 용기본체에 감합한 덮개를 되밀어 내기 때문에, 덮개를 용기본체측으로 내리누르고, 랫치용 가로대(4)를 본체(2)로부터 연장시킬 필요가 있다.
그런데, 이 경우, 용기본체를 횡으로 한 상태(반도체 웨이퍼 등을 수평이 되도록 배치한 상태)에서, 덮개를 용기본체에 장착하려고 하면, 용기본체가 어긋나 버린다. 덮개를 용기본체에 장착하는 경우는 상술한 바와 같이, 덮개를 용기본체 측으로 내리눌러 둘 필요가 있지만, 용기본체를 횡으로 한 상태에서는 용기본체를 지지하는 것이 전혀 없기 때문에, 용기본체가 어긋나 버린다. 따라서, 덮개의 착탈을 자동화하는 것이 어려워지는 문제점이 있다.
본 발명은, 상술한 점을 거울삼아 개선한 것으로, 덮개를 용기본체 측으로 내리누르지 않고도 용이하게 장착할 수 있는 박판지지용기용 덮개를 제공하는 것을 목적으로 한다.
제1의 발명에 따른 박판지지용기용 덮개는 내부에 박판을 수납하여 반송되는 박판지지용기의 용기본체를 덮는 박판지지용기용 덮개로서, 상기 박판지지용기용 덮개의 외곽을 구성하는 본체부 내에, 상기 용기본체에 대해서 용이하게 고정 및 고정 해제하여 착탈할 수 있는 간이착탈기구를 구비하고, 상기 간이착탈기구는 상기 본체부로부터 연장해 상기 용기본체의 피감합부에 잠그는 잠금부재와, 상기 잠금부재의 선단부에 설치되어 상기 본체부가 상기 용기본체 측으로 가볍게 감합한 상태에서 상기 피감합부에 장착되어 상기 잠금부재를 상기 피감합부 내로 안내하는 안내부재를 구비하여 구성된 것을 특징으로 한다.
상기 구성에 의해, 본체부를 용기본체측으로 가볍게 감합시켜 용기본체를 누르지 않는 상태에서 간이착탈기구의 잠금부재를 본체부로부터 연장시키면, 최초로 잠금부재의 선단부의 안내부재는 피감합부에 장착된다. 이 상태에서 더욱 잠금부재를 본체부로부터 연장시키면, 안내부재가 잠금부재를 피감합부로 안내해, 잠금부재가 피감합부 내에 감합한다.
제2의 발명에 따른 박판지지용기용 덮개는 제1의 발명에 따른 박판지지용기용 덮개에 있어서, 상기 안내부재는, 상기 본체부가 상기 용기본체측으로 가볍게 감합한 상태에서 상기 잠금부재가 상기 피감합부에 대향하여 연장될 때에, 상기 피감합부에 최초로 장착되는 장착부와, 상기 장착부에서 상기 피감합부에 장착된 후 상기 잠금부재의 연장에 따라 상기 잠금부재를 상기 피감합부로 안내하는 안내부를 구비하여 구성된 것을 특징으로 한다.
상기 구성에 의해, 본체부를 용기본체측에 가볍게 감합시켜 용기본체를 누르지 않는 상태로 간이착탈기구의 잠금부재를 본체부로부터 연장시키면, 최초로 안내부재의 장착부가 피감합부에 장착된다. 이 상태에서 더욱 잠금부재를 본체부로부터 연장시키면, 장착부에 이어 안내부가 피감합부 내에 삽입되어 잠금부재를 피감합부로 안내한다. 그리고 잠금부재가 피감합부 내에 감합한다.
제3의 발명에 따른 박판지지용기용 덮개는, 제2의 발명에 따른 박판지지용기용 덮개에 있어서, 청구항2에 기재된 박판지지용기용 덮개에 있어서, 상기 장착부가 상기 잠금부재의 선단부 중 상기 용기본체의 내측으로 치우친 위치에 설치된 돌 기를 구비하여 구성되고, 상기 안내부가 상기 장착부와 상기 잠금부재를 연결하는 경사면을 구비하여 구성된 것을 특징으로 한다.
상기 구성에 의해, 본체부를 용기본체측으로 가볍게 감합시켜 용기본체를 누르지 않는 상태에서 간이착탈기구의 잠금부재를 본체부로부터 연장시키면, 최초로 장착부의 돌기가 피감합부에 걸린다. 이 상태에서 더욱 잠금부재를 본체부로부터 연장시키면, 상기 돌기에 이어 경사면이 피감합부의 테두리를 따라 내부에 삽입되어 잠금부재를 피감합부로 안내한다. 그리고, 잠금부재가 피감합부 내에 감합한다.
제4의 발명에 따른 박판지지용기용 덮개는 제3의 발명에 따른 박판지지용기용 덮개에 있어서, 상기 안내부의 경사면의 표면을 연마한 것을 특징으로 한다.
상기 구성에 의해, 장착부의 돌기가 피감합부에 걸린 상태로 더욱 잠금부재를 본체부로부터 연장시키면, 상기 돌기에 이어 경사면이 피감합부의 테두리를 따라 내부로 삽입되는데, 상기 경사면은 그 표면을 연마하고 있기 때문에, 피감합부의 테두리와의 마찰저항이 작아져, 부드럽게 잠금부재를 피감합부로 안내할 수 있다.
제5의 발명에 따른 박판지지용기용 덮개는 제1 내지 제4의 발명의 어느 한 발명에 따른 박판지지용기용 덮개에 있어서, 상기 간이착탈기구의 각 접동(摺動)부분의 접접(摺接)면을 연마한 것을 특징으로 한다.
상기 구성에 의해, 장착부의 돌기가 피감합부에 걸린 상태로 더욱 잠금부재를 본체부로부터 연장시키면, 간이착탈기구의 각 접동부분의 접접면이 서로 접하지만, 이들 접접면은 그 표면을 연마하고 있기 때문에, 마찰저항이 작아져, 부드럽게 잠금부재를 피감합부로 안내할 수 있다.
제6의 발명에 따른 박판지지용기용 덮개는 제1 내지 제5의 발명의 어느 한 발명에 따른 박판지지용기용 덮개에 있어서, 상기 용기본체 내에 수납된 박판에 V자형 홈이 감합하여 압압, 지지하는 박판누름부를 구비하고, 상기 박판누름부의 V자형 홈의 경사면의 표면을 연마한 것을 특징으로 한다.
상기 구성에 의해, 본체부를 용기본체 측으로 가볍게 감합시키면, 용기본체 내에 수납된 박판은, 그 주연부가 V자형 홈의 표면을 연마한 경사면을 따라 부드럽게 미끄러져, 홈저부에 감합한다.
제7의 발명에 따른 박판지지용기용 덮개는 제3의 발명에 따른 박판지지용기용 덮개에 있어서, 적어도 상기 안내부의 경사면의 표면이 접동제를 첨가한 합성수지로 성형된 것을 특징으로 한다.
상기 구성에 의해, 접동제를 첨가한 합성수지로 상기 경사면을 성형하고 있기 때문에, 피감합부의 테두리와의 마찰저항이 작아져, 부드럽게 잠금부재를 피감합부로 안내할 수 있다.
제8의 발명에 따른 박판지지용기용 덮개는 제1, 2, 3, 7의 발명의 어느 한 발명에 따른 박판지지용기용 덮개에 있어서, 적어도 상기 간이착탈기구의 각 접동부분의 접접면이 접동제를 첨가한 합성수지로 성형된 것을 특징으로 한다.
상기 구성에 의해, 접동제를 첨가한 합성수지로 상기 접접면을 성형하고 있기 때문에, 마찰저항이 작아져, 부드럽게 잠금부재를 피감합부로 안내할 수 있다.
제9의 발명에 따른 박판지지용기용 덮개는 제1, 2, 3, 7, 8의 발명의 어느 한 발명에 따른 박판지지용기용 덮개에 있어서, 상기 용기본체 내에 수납된 박판에 V자형 홈이 감합해 압압, 지지하는 박판누름부를 구비하고, 적어도 상기 박판누름부의 V자형 홈의 경사면의 표면이 접동제를 첨가한 합성수지로 성형된 것을 특징으로 한다.
상기 구성에 의해, 접동제를 첨가한 합성수지로 상기 경사면을 성형하고 있기 때문에, 마찰저항이 작아진 경사면을 따라 부드럽게 미끄러져, 홈저부에 감합한다.
제10의 발명에 따른 박판지지용기용 덮개는 제7 내지 제9의 발명의 어느 한 발명에 따른 박판지지용기용 덮개에 있어서, 상기 접동제가 PTFE, PFA, 실리콘, 유리섬유, 카본섬유, 흑연 또는 2황화 몰리브덴 중 1개 또는 복수로 이루어진 것을 특징으로 한다.
상기 구성에 의해, 합성수지로 상기 접접면 등이 성형되었을 때에, 첨가된 상기 접동제가 합성수지의 표면에서 윤활제의 기능을 완수하고, 마찰저항이 작아진 경사면 등을 따라 부드럽게 미끄러지게 한다.
실시형태
이하, 본 발명의 실시형태를 첨부 도면에 기초하여 설명한다. 본 발명의 박판지지용기는 반도체 웨이퍼, 기억디스크, 액정유리기판 등의 박판을 수납하여, 보관, 수송, 제조 라인 등에서의 사용에 제공하기 위한 용기이다. 또한, 여기에서는, 반도체 웨이퍼를 수납하는 박판지지용기를 예로 설명한다. 박판지지용기를 덮는 덮개는 다양한 것이 존재하지만, 여기에서는 2종류의 덮개를 나타낸다.
본 실시형태에 따른 박판지지용기(11)는 도3 내지 도10에 나타난 바와 같이, 내부에 반도체 웨이퍼(49)(도 26 참조)를 복수개 수납하는 용기본체(12)와, 이 용기본체(12) 내의 대향하는 측벽에 각각 설치되어 내부에 수납된 반도체 웨이퍼(49)를 양측으로부터 지지하는 2개의 박판지지부(13)와, 용기본체(12)를 덮는 제1덮개(14) 및 제2덮개(15)와, 공장 내의 반송장치(도시되지 않음)의 완부로 파지되는 톱플랜지(16)와 작업자가 손으로 박판지지용기(11)를 운반할 때 잡는 운반용 핸들(17)로 구성된다.
용기본체(12)는 도 3, 4에 나타난 바와 같이, 전체가 거의 입방체 형상으로 형성된다. 이 용기본체(12)는 종으로 둔 상태(도 3, 4의 상태)에서, 주위의 벽이 되는 4개의 측벽부(12A, 12B, 12C, 12D)와 저판부(12E)로 구성되고, 그 상부에 개구(12F)가 설치된다. 이 용기본체(12)는 반도체 웨이퍼(49)의 제조라인 등에 있어서, 웨이퍼 반송용 로보트(도시되지 않음)에 대향해 고정될 때는 횡으로 두게 된다. 이 횡으로 둔 상태에서 저부에 해당하는 측벽부(12B)의 외측에는 박판지지용기(11)의 위치결정수단(도시되지 않음)이 설치된다. 횡으로 둔 상태에서 천정부에 해당하는 측벽부(12B의 외측에는 톱플랜지(16)가 착탈가능하게 장착된다. 횡으로 둔 상태에서 횡벽부에 해당하는 측벽부(12C, 12D)의 외측에는 운반용 핸들(17)이 착탈가능하게 장착된다.
용기본체(12)의 각 측벽부(12A, 12B, 12C, 12D)의 상단부에는 도 5 및 도 6에 나타난 바와 같이, 덮개(14)가 감합하기 위한 덮개 수용부(21)가 설치된다. 이 덮개 수용부(21)는 용기본체(12)의 상단부를 덮개(14)의 크기까지 넓혀 형성한다. 이것에 의해, 덮개(14)는 덮개 수용부(21)의 수직판부(21A)의 내측에 감합하고, 수평판부(21B)에 접하는 것으로, 덮개 수용부(21)에 장착되게 된다. 더욱이, 수평판부(21B)에는 그 사방에 씰홈(12C)이 설치되고, 제1덮개(14)의 하측면에 장착된 개스킷(22)이 감합해 박판지지용기(11)의 내부를 밀봉하게 된다. 덮개 수용부(21)의 네 모서리의 수직판부(21A)의 내측면에는 후술할 간이착탈기구(26)의 덮개 잠금돌기(係止爪)(도시되지 않음)가 감합해 제1덮개(14)를 용기본체(12) 측에 고정하기 위한 제1피감합부(23)가 설치된다. 이 제1피감합부(23)는, 수직판부(21A)를 4각형 형상으로 움푹 파내어 형성되고, 그 내측 상면에 덮개 잠금돌기가 감합하게 된다.
더욱이, 각 제1피감합부(23)의 근방에는 제2피감합부(24)가 설치된다. 이 제2피감합부(24)는 제2덮개(15)의 간이착탈기구(32)의 잠금부재(42)가 감합되고, 제2덮개(15)를 용기본체(12)측에 고정하게 된다.
박판지지부(13)는 용기본체(12)에 착탈가능하게 장착된다. 이 박판지지부(13)는 도 7 및 도 8에 나타난 바와 같이 구성된다. 박판지지부(13)는, 주로, 병렬로 일정간격을 두고 다수개 배설되어 각 반도체 웨이퍼(49)가 1개씩 탑재(載置)해 지지되는 탑재판편(25A)과, 각 탑재판편(25A)이 병렬로 일정 간격을 두고 배설된 상태로 이들을 3개소의 위치에서 일체적으로 지지하는 연결판편(25B)과, 최내부측의 연결판편(25B)의 내측면(반도체 웨이퍼(49)로의 당접면)에 형성된 반도체 웨이퍼(49) 지지용의 V자형 홈(25C)으로 구성된다. V자형 홈(25C)의 표면은, 연마하여 마무리된다. 용기본체(12)를 횡으로 한 상태(반도체 웨이퍼(49)가 수평이 되도록 배치된 상태)에서 하측에 위치하는 V자형 홈(25C)의 하측면만이, 또는 상하 양측면 이 연마되어 마무리된다. V자형 홈(25C)의 표면을 연마한다는 것은 표면 전면에 10~15㎛ 정도의 요철을 2만~3만개/㎠ 정도의 밀도로 마무리하는 것을 의미한다. 과도하게 높은 정밀도로 V자형 홈(25C)의 표면을 마무리하면, 반도체 웨이퍼(49)와 V자형 홈(25C)의 표면이 지나치게 밀착되어 마찰저항이 커져 미끄러지기 어려워지는데 비해, 표면을 연마하면, 반도체 웨이퍼(49)와 V자형 홈(25C)의 표면이 밀착되지 않게 되어 마찰저항이 작아진다. 이때문에, V자형 홈(25C)의 표면을 10~15㎛ 정도의 요철이 남는 상태로 연마하여 마무리한다. 이 V자형 홈(25C)의 표면을 연마하여 마무리하는 수단으로서는 다양한 것이 존재한다. 예를 들면, V자형 홈(25C)의 표면을 연마나 샌드블레스트(sand blast) 등으로 연마하여 마무리하여도 무방하다. 또한, 금형 중 V자형 홈(25C)에 대응하는 부분의 표면을 연마하여 10~15㎛ 정도의 요철을 형성시켜도 무방하다. V자형 홈(25C)의 표면에 10~15㎛ 정도의 요철이 2만~3만개/㎠ 정도의 밀도로 형성되는 상태로 마무리할 수 있는 수단이라면, 모든 수단을 이용할 수 있다.
박판지지부(13)의 이면에는 용기본체(12) 내에 설치된 하부지지용 돌기(도시되지 않음)와 감합하여 이 박판지지부(13)의 하부를 지지하는 하부지지공부(25D)와, 상부 지지용 돌기(도시되지 않음)와 감합하여 이 박판지지부(13)의 상부를 지지하는 상부지지공부(25E)가 설치된다.
제1덮개(14)는 접시 형상으로 형성되고, 그 중앙부가 내부에 수납되는 반도체 웨이퍼의 상부에 접촉하지 않도록, 원통 형상으로 북돋워져 형성된다. 제1덮개(14)의 네 모서리에는 도 3, 4에 나타난 바와 같이, 제1덮개(14)를 용기본체(12)에 대해서 착탈가능하게 고정하는 간이착탈기구(26)가 설치된다. 이 간이착탈기구(26)는, 주로, 제1덮개(14)의 주연부로부터 도출된 상태로 설치된 덮개 잠금돌기(도시되지 않음)를 구비하여 구성된다. 이 덮개 잠금돌기는 제1피감합부(23)에 감합하게 된다.
제2덮개(15)는 박판지지용기(11)의 수송시에 사용되거나 공장 내의 제조라인에서 사용된다. 이 제2덮개(15)는 도 1, 9, 10에 나타난 바와 같이, 본체부(30), 커버판(도시되지 않음) 및 간이착탈기구(32)로 구성된다.
본체부(30)는 전체가 거의 얇은 4각형 형상으로 형성되고, 용기본체(12)의 덮개 수용부(21)에 장착된 상태로 외부로 빠져나오지 않게 된다. 본체부(30)의 하부의 주위에는 개스킷 수용부(31)가 장착된다. 이 개스킷 수용부(31)에는, 개스킷(도시되지 않음)이 설치되고, 본체부(30)가 덮개 수용부(21)에 장착된 상태로, 씰홈(21C)에 감합하여 용기본체(12) 내부를 씰링하게 된다. 또한, 개스킷은 제1덮개(14)의 개스킷(22)과 동일하게, 씰홈(21C)의 형상에 맞추어 적당하게 형성된다.
제2덮개(15)의 본체부(30) 중 장변방향 양측(도 9 중, 오른쪽 상방향, 왼쪽 하방향 양측)의 단부에는, 간이착탈기구(32)가 장착되는 요부(33)가 각각 설치된다. 이 요부(33)는, 본체부(30)의 단부를 거의 직육면체 형상으로 움푹 파 형성된다. 요부(33)의 장변방향 양단부(도 9 중, 오른쪽 상방향, 왼쪽 하방향 양단부)에는, 후술할 잠금부재(42)의 선단감합부(56)가 출몰하는 개구(34)가 설치된다. 이 개구(34)는, 본체부(30)가 덮개 수용부(21)에 감합된 상태로, 덮개 수용부(21)의 제2피감합부(24)에 정합하는 위치에 설치된다. 요부(33)의 저부에는 회전지지축 (36), 스토퍼(37), 잠금돌기(38), 기단하측캠(39) 및 선단측캠(40)이 각각 설치된다. 요부(33)에는, 커버판이 착탈가능하게 장착된다. 이 커버판은 요부(33) 내에 설치되는 간이착탈기구(32)를 세정할 때에 떼어내진다.
회전지지축(36)은 후술할 투입부재(44)를 회전가능하게 지지하기 위한 부재이다. 회전지지축(36)은, 저부로부터 원주 형상으로 융기시켜 설치된다. 이 회전지지축(36)이 투입부재(44)의 회전통부(63)에 감합되고, 투입부재(44)를 회전가능하게 지지한다. 스토퍼(37)는 투입부재(44)를 소정 각도로 회전 이동한 상태로 지지하기 위한 부재이다. 이 스토퍼(37)는 회전지지축(36)의 주위 2개소에, 저부로부터 세워진 판상부재에 의해 구성된다. 이 판상부재를 만곡시켜 수용부(37A)가 형성된다. 이 수용부(37A)에, 투입부재(44)의 계합편(65)의 돌기부(65A)가 감합하는 것으로, 투입부재(44)를 소정 각도로 지지한다.
잠금돌기(38)는 후술할 커버누름부(47)를 요부(33)의 저부에 고정하기 위한 부재이다. 커버누름부(47)는 요부(33)의 장변방향 양측에 각각 장착되기 때문에, 그것에 맞추어 잠금돌기(38)도 요부(33)의 장변방향 양측에 6개씩 각각 장착된다. 잠금돌기(38)는 L자 형상의 부재로 구성되고, 커버누름부(47)의 하측 지지판편(88)이 감합하게 된다.
기단하측캠(39)과 선단측캠(40)은 후술할 캠기구(45)를 구성하는 부재이다. 또한, 기단하측캠(39)과 후술할 기단상측캠(53)은 잠금부재(42)가 투입될 때, 잠금부재(42)의 기단측을 하방향으로 내리누르는 기단측캠을 구성한다.
기단하측캠(39)은 도 1 및 도 9에 나타난 바와 같이, 잠금부재(42)의 투입에 따라, 그 기단측을 한편(도 1의 하방향)으로 밀어내기(내리누르기)위한 부재이다. 이 기단하측캠(39)은 회전지지축(36)의 양측에 각각 설치된다. 기단하측캠(39)은, 그 측면단면 형상을 거의 삼각형 형상으로 형성하고, 잠금부재(42)의 기단측을 상하로 이동시키는 경사면(39A)을 구비하여 구성된다. 이 경사면(39A)은, 잠금부재(42)의 기단측 접접면(52)과의 마찰저항을 작게 하기 위해서, 상기와 동일하게, 표면을 연마하여 마무리된다.
선단측캠(40)은 잠금부재(42)의 투입과 함께, 그 선단감합부(56)를 한편(도 1의 상방향)으로 밀어내기(들어올리기)위한 부재이다. 이 선단측캠(40)은 요부(33)의 장변방향 양단부에, 개구(34)에 면한 상태로 설치된다. 선단측캠(40)은, 그 측면단면 형상을 삼각형 형상으로 형성하고, 잠금부재(42)의 선단측을 상방향으로 들어올리는 경사면(40A)을 구비하여 구성된다. 이 경사면(40A)은 잠금부재(42)의 지점부(55)의 선단측 접접면(55A)과의 마찰저항을 작게 하기 위해, 상기와 동일하게, 표면을 연마하여 마무리된다. 경사면(40A)의 상단부에는 감합요부(40B)가 설치된다. 이 감합요부(40B)는 잠금부재(42)의 지점부(55)가 감합하는 부분이다.
요부(33) 내에는 간이착탈기구(32)가 설치된다. 이 간이착탈기구(32)는 제2덮개(15)를 용기본체(12)에 대해서 용이하게 착탈할 수 있게 하기 위한 장치이다. 간이착탈기구(32)는 도 1에 나타난 바와 같이, 잠금부재(42), 안내부재(43), 투입부재(44), 캠기구(45), 보지커버(46) 및 커버누름부(47)로 구성된다.
잠금부재(42)는, 제2덮개(15)가 용기본체(12)의 덮개 수용부(21)에 장착된 상태에서, 본체부(30)의 개구(34)로부터 연장되어, 덮개 수용부(21)의 제2피감합부 (24)에 감합하기 위한 부재이다. 이 잠금부재(42)는 도 1, 도 11~13에 나타난 바와 같이, 연결축(51), 기단측 접접면(52), 기단상측캠(53), 상측 홈부(54), 지점부(55), 선단감합부(56), 기단측판부(57) 및 선단측판부(58)로 구성된다.
연결축(51)은 후술할 투입부재(44)의 장공부(64)에 감합하여, 투입부재(44)와 잠금부재(42)를 서로 연결하기 위한 부재이다. 연결축(51)은, 둥근 막대 형상으로 형성되어, 잠금부재(42)의 기단부에 상측으로 향하여 설치된다.
기단측 접접면(52)은 기단하측캠(39)의 경사면(39A)에 접하여, 잠금부재(42)의 기단부를 상하로 이동시키기 위한 부분이다. 이 기단측 접접면(52)은, 잠금부재(42)의 기단부의 하측을 경사지게 깎아 형성된다. 기단측 접접면(52)은, 기단하측캠(39)의 경사면(39A)과의 마찰저항을 작게하기 위해, 상기와 같이 표면을 연마하여 마무리된다. 이 기단측 접접면(52)이 기단하측캠(39)의 경사면(39A)에 접한 상태에서, 잠금부재(42)가 투입되어 지는 것에 의해, 잠금부재(42)의 기단부가 하방향으로 내리눌러지고, 잠금부재(42)가 끌어넣어지는 것에 의해, 잠금부재(42)의 기단부가 상방향으로 밀어올려지게 된다.
기단상측캠(53)은 기단하측캠(39)과 함께, 잠금부재(42)의 기단부를 상하로 움직이기 위한 부분이다. 이 기단상측캠(53)은 지레의 원리에 의해 힘점이 되는 부분이다. 또한, 연결축(51)은 지레의 원리에 의해 힘점이 되지 않으며, 다만 잠금부재(42)를 출몰동 시킬 때의 장변 방향의 힘을 받는 부분이다.
기단상측캠(53)은 잠금부재(42)의 기단부의 근방에 상측을 향하여 설치된다. 기단상측캠(53)은 그 측면단면 형상을 삼각형 형상으로 형성하고, 잠금부재(42)의 기단측을 상하로 이동시키는 경사면(53A)을 구비하여 구성된다. 이 기단상측캠(53)의 경사면(53A)은 기단상측캠(39)의 경사면(39A)과 동일하게, 표면을 연마하여 마무리하고, 후술할 보지커버(46) 측의 캠누름돌기(69)와 접하게 된다. 돌기(69)도 동일하게, 표면을 연마하여 마무리된다. 기단상측캠(53)의 경사면(53A)은 기단하측캠(39)의 경사면(39A)와 거의 평행하게 되도록 설정된다. 이것에 의해, 캠누름돌기(69)와 기단상측캠(53)의 경사면(53A)이 접한 상태로 잠금부재(42)가 투입되어 지면, 캠누름돌기(69)로 기단상측캠(53)이 밀려 잠금부재(42)의 기단부가 하방향으로 내리눌러지게 된다. 또한, 잠금부재(42)가 끌어넣어지면, 기단하측캠(39)의 경사면(39A)으로 기단측 접접면(52)이 밀려 잠금부재(42)의 기단부가 상방향으로 들어올려지게 된다.
지점부(55)는 잠금부재(42)의 선단부를 지지하여 회전 이동중심으로 되는 부분이다. 이 지점부(55)는 지레의 원리에 의해 지점이 되는 부분이다. 지점부(55)는 잠금부재(42)의 선단 근방의 하측에, 거의 직각으로 모나게 형성된다. 이 모난 지점부(55)의 정점 부분에는 선단측 접접면(55A)이 형성된다. 이 선단측 접접면(55A)은 선단측캠(40)의 경사면(40A)에 접해, 잠금부재(42)의 선단감합부(56)를 상하로 움직이기 위한 부분이다. 선단측 접접면(55A)은 지점부(55)의 정점 부분을 비스듬하게 깎아 형성된다. 선단측 접접면(55A)은, 선단측캠(40)의 경사면(40A)과의 마찰저항을 작게하기 위해, 상기와 동일하게, 표면을 연마하여 마무리 된다. 이 선단측 접접면(55A)이 선단측캠(40)의 경사면(40A)에 접한 상태로, 잠금부재(42)가 투입되어지는 것에 의해, 잠금부재(42)의 선단감합부(56)가 상방향으로 내리눌러지고, 잠 금부재(42)가 끌어넣어지는 것에 의해, 잠금부재(42)의 선단부가 하방향으로 밀어올려지게 된다.
더욱이, 지점부(55)는, 선단측캠(40)의 감합요부(40B)에 감합하는 것으로, 이 감합요부(40B)를 중심으로 하여 회전 이동하게 된다.
선단감합부(56)는 요부(33)의 개구(34)로부터 외부로 연장되고, 덮개 수용부(21)의 제2피감합부(24)에 직접 감합하기 위한 부분이다. 이 선단감합부(56)가 지레의 원리의 작용점이 된다. 선단감합부(56)는 덮개 수용부(21)의 제2피감합부(24)에 감합한 상태로 충분한 힘을 발휘할 수 있도록, 지점부(55)로부터 조금 거리를 두고 설치된다.
기단측판부(57) 및 선단측판부(58)는 잠금부재(42)를 지지하여 왕복운동을 허용하기 위한 부재이다. 이 기단측판부(57) 및 선단측판부(58)는, 상기와 동일하게, 표면을 연마하여 마무리된다. 더욱이, 연결축(51), 회전지지축(36), 회전통부(63), 투입부재(44)의 장공부(64) 등의, 잠금부재(42)의 출입 동작에 의해 접동하는 부분의 접접면 전부가, 상기와 동일하게, 표면을 연마하여 마무리된다.
안내부재(43)는 본체부(30)가 용기본체(12) 측에 가볍게 감합한 상태로, 제2피감합부(24)에 장착된 잠금부재(42)를 제2피감합부(24) 내로 안내하기 위한 부재이다. 안내부재(43)는 잠금부재(42)의 선단감합부(56)의 선단부에 설치된다. 이 안내부재(43)는 장착부(43A)와 안내부(43B)로 구성된다.
장착부(43A)는 제2피감합부(24)에 최초로 장착되기 위한 부재이다. 즉, 이 장착부(43A)는 본체부(30)가 용기본체(12)의 덮개 수용부(21)에 가볍게 감합한 상태로, 잠금부재(42)가 제2피감합부(24)를 향하여 연장될 때, 제2피감합부(24)에 최초로 장착되는 부재이다. 장착부(43A)는, 본체부(30)를 용기본체(12)의 덮개 수용부(21)에 가볍게 끼워넣어 개스킷(22)이 씰홈(21C)에 가볍게 접촉하여, 힘을 넣어 밀어넣지 않는 상태에서, 잠금부재(42)를 제2피감합부(24)에 향하여 연장 시켰을 때, 제2피감합부(24)에 장착된다. 장착부(43A)는 잠금부재(42)의 선단부에서 용기본체(12)의 내측으로 치우친 위치(도 1중, 하측으로 치우친 위치)에 설치된 최선단부에 의해 구성된다.
안내부(43B)는 잠금부재(42)를 제2피감합부(24)로 안내하기 위한 부재이다. 이 안내부(43B)는 장착부(43A)와 잠금부재(42)의 선단감합부(56)를 연결하는 경사면에 의해 구성된다. 안내부(43B)는 장착부(43A)에 의해 제2피감합부(24)에 장착된 후, 잠금부재(42)의 연장에 따라 제2피감합부(24)의 테두리에 경사면이 접하면서 내부로 밀어넣어져 잠금부재(42)를 제2피감합부(24)로 안내하게 된다. 안내부(43B)를 구성하는 경사면은 상기와 동일하게, 표면을 연마하여 마무리된다.
투입부재(44)는 잠금부재(42)에 연결되어 잠금부재(42)를 출몰시키기 위한 부재이다. 이 투입부재(44)는 요부(33)의 회전지지축(36)에 회전가능하게 장착된다. 투입부재(44)는 도 1, 9, 14~17에 나타난 바와 같이, 천판부(61), 키홈(62), 회전통부(63), 장공부(64) 및 계합편(65)으로 구성된다.
천판부(61)는 거의 원반 형상으로 형성된다. 이 천판부(61)의 대향하는 2개소에는 계합편(65)을 설치하기 위한 노치(66)가 설치된다.
키홈(62)은 덮개 착탈장치(도시되지 않음)로 제2덮개(15)를 자동적으로 착탈 할 때에, 장치의 래칫키가 감합하기 위한 홈이다. 이 키홈(62)은 천판부(61)의 상측면의 중심에 설치된다.
회전통부(63)는 투입부재(44)를 요부(33)의 회전지지축(36)에 회전가능하게 장착하기 위한 부재이다. 이 회전통부(63)는 천판부(61)의 하측면의 중앙부에 설치된다. 이 회전통부(63)의 중심에 키홈(62)이 위치하게 된다.
장공부(64)는 투입부재(44)의 회전을 잠금부재(42)의 출몰 동작으로 변환하기 위한 부분이다. 장공부(64)는 천판부(61)의 대향하는 2개소에 각각 설치된다. 이 장공부(64)는 그 일단부(64A)가 천판부(61)의 중심에 가깝게, 타단부(64B)가 멀어지도록, 나선의 일부로 구성된다. 잠금부재(42)의 연결축(51)이 장공부(64)의 일단부(64A)로 감합하고 있을 때, 잠금부재(42)가 끌어넣어지고, 타단부(64B)로 감합하고 있을 때, 잠금부재(42)가 투입되게 된다.
이 장공부(64) 중, 천판부(61)의 하측면에는 완만하게 경사진 벽면(64C)이 설치된다. 이 벽면(64C)은 장공부(64)의 일단부(64A)로 천판부(61)의 하측면과 동일한 높이로 설정되고, 타단부에 가까워 짐에 따라서 점차 높아지도록 설정된다. 이것은 잠금부재(42)와 투입부재(44)를 확실하게 연결하기 위해서이다. 즉, 잠금부재(42)의 연결축(51)이 장공부(64)의 타단부(64B)로 감합해 투입되는 상태에서는, 잠금부재(42)의 기단부는 하방향으로 내리눌러지기 때문에, 그 기단부가 내리눌러진 상태에서도 연결축(51)이 장공부(64)에 확실히 감합할 수 있게 하기 위해서이다.
계합편(65)은 투입부재(44)를 소정 각도만큼 회전 이동시킨 상태로 지지하기 위한 부재이다. 계합편(65)은 천판부(61)의 주연의 대향하는 2개소에 각각 설치된다. 계합편(65)은 천판부(61)로부터 주연을 따라 연장된 판상 부재로 구성된다. 계합편(65)의 선단부는 스토퍼(37)의 수용부(37A)에 감합하는 돌기부(65A)가 설치된다. 더욱이, 계합편(65)은 탄성을 갖고, 돌기부(65A)를 탄성적으로 지지한다. 이 돌기부(65A)가 스토퍼(37)의 수용부(37A)에 감합하는 것으로, 투입부재(44)가 소정 각도(잠금부재(42)를 연장시켜 제2덮개(15)를 용기본체(12)에 고정한 각도)로 회전 이동한 곳에서 지지되게 된다.
캠기구(45)는 투입부재(44)에 의해 투입된 잠금부재(42)의 선단감합부(56)가 덮개 수용부(21)의 제2피감합부(24)에 감합된 상태로, 그 제2피감합부(24)의 상면에 접하고, 제2덮개(15)를 용기본체(12) 측으로 내리눌러 고정하기 위한 부재이다. 이 캠기구(45)에 의해, 투입부재(44)에 의해 투입되는 잠금부재(42)의 선단감합부(56)를 밀어올려 제2피감합부(24)의 상면에 접하게 함과 동시에, 기단부를 내리누르는 것으로 지레의 원리에 의해 제2덮개(15)를 용기본체(12)측으로 내리눌러 고정하게 된다. 캠기구(45)는 기단하측캠(39), 기단상측캠(53), 기단측 접접면(52), 캠누름돌기(69), 선단측캠(40) 및 선단측 접접면(55A)으로 구성된다. 또한, 기단하측캠(39), 기단상측캠(53), 기단측 접접면(52), 선단측캠(40) 및 선단측 접접면(55A)은 상술한 바와 같다.
캠누름돌기(69)는 기단상측캠(53)의 경사면(53A)에 접해, 잠금부재(42)의 투입에 따라 잠금부재(42)의 기단부를 내리누르기 위한 부재이다. 이 캠누름돌기(69)는 보지커버(46)의 하측면에 설치된다. 구체적으로는, 기단하측캠(39)의 경사면 (39)에 잠금부재(42)의 기단측 접접면(52)이 접한 상태로, 캠누름돌기(69)와 기단상측캠(53)의 경사면(53A)이 극간 없이 접하는 위치에 설치된다.
보지커버(46)는 잠금부재(42)와 투입부재(44)를 보지하기 위한 부재이다. 보지커버(46)는 도 18, 19에 나타난 바와 같이, 투입부재 보지부(71)와 잠금부재 보지부(72)로 구성된다.
투입부재 보지부(71)는 투입부재(44)를 그 회전을 허용한 상태로 지지하기 위한 부재이다. 이 투입부재 보지부(71)는 주연판(74)과 천판(75)으로 구성된다. 주연판(74)은, 투입부재(44)의 주연을 덮어 형성된다. 천판(75)은, 투입부재(44)의 상측을 덮어 형성된다. 천판(75)의 중앙부에는 투입부재(44)의 키홈(62)과 동일한 크기의 키구멍(76)이 설치된다. 이 키구멍(76)은 천판(75)이 투입부재(44)를 덮은 상태로 투입부재(44)의 키홈(62)과 정합하게 된다. 이것에 의해, 잠금부재(42)가 끌어넣어진 상태로, 키홈(62)과 키구멍(76)이 정합하게 된다.
잠금부재 보지부(72)는 잠금부재(42)를 그 왕복운동을 허용한 상태로 지지하기 위한 부재이다. 이 잠금부재 보지부(72)는 투입부재 보지부(71)의 좌우 양측에 각각 설치된다. 각 잠금부재 보지부(72)는 측판(78)과 천판(79)으로 구성된다.
측판(78)은 잠금부재(42)의 기단 부근을 그 좌우로부터 지지하기 위한 부재이다. 측판(78)은 광폭부(78A)와 협폭부(78B)로 구성된다. 광폭부(78A)는 잠금부재(42)의 기단측판부(57)가 끼어넣어지는 부분이다. 협폭부(78B)는 잠금부재(42)의 기단측판부(57)와 선단측판부(58)의 사이가 끼어넣어지는 부분이다.
천판(79)은 잠금부재(42)를 그 상측으로부터 지지하기 위한 부재이다. 이 천 판의 하측면의 기단부에는, 상술한 캠누름돌기가(69)가 설치된다. 천판(79)의 하측면의 선단부에는 잠금부재(42)의 상측 홈부(54)에 감합하는 지지용 돌기(80)가 설치된다. 천판의 선단측에는, 슬릿(81)이 설치되고, 그 슬릿(81)의 선단에 융기부(82)가 설치된다. 이 융기부(82)는 중앙융기편(82A)과 좌우 잠금편(82B)으로 구성되고, 슬릿(81)에 의해 탄성 지지된다. 이 융기부(82)의 중앙융기편(82A) 및 좌우잠금편(82B)이, 커버누름부(47)의 십자 형상 노치(86A)와 감합하는 것으로, 보지커버(46)와 커버누름부(47)의 사이의 위치가 결정되게 된다.
커버누름부(47)는 도 1, 20, 21에 나타난 바와 같이, 보지커버(46)를 제2덮개(15)의 요부(33)에 고정하기 위한 부재이다. 구체적으로는, 2개의 커버누름부(47)가 각 잠금부재 보지부(72)를 각각 지지하고, 보지커버(46)를 요부(33)에 고정하게 된다. 이 커버누름부(47)는 측판(85), 천판(86), 상측 지지판편(87) 및 하측 지지판편(88)으로 구성된다.
각 측판(85)은 잠금부재(42)의 좌우를 덮고, 잠금부재(42)의 왕복운동을 허용한다. 천판(86)은 각 측판(85)을 일체적으로 지지함과 동시에, 잠금부재(42)의 상측을 덮고, 잠금부재(42)의 왕복운동을 허용한다. 상측 지지판편(87)은 보지커버(46)의 잠금부재 보지부(72)의 천판(79)을 그 하측으로부터 지지하기 위한 부재이다. 잠금부재 보지부(72)의 천판(79)은 커버누름부(47)의 천판(86)과 상측지지판편(87)에 의해 상하로부터 지지된다. 하측 지지판편(88)은 커버누름부(47)를 요부(33)에 고정하기 위한 부분이다. 하측 지지판편(88)은 각 측판(85)의 하단부에 3개씩 설치된다. 각 하측 지지판편(88)이 요부(33)에 설치된 잠금돌기(38)에 감합하는 것으로, 커버누름부(47)를 요부(33)에 고정한다. 각 하측 지지판편(88)에는 잠금돌기(38)에 감합하기 용이하도록, 테이퍼(88A)가 설치된다.
제1덮개(14) 및 제2덮개(15)의 하측면에는 도 22~26에 나타난 바와 같이, 박판누름부로서의 웨이퍼누름부(89)가 설치된다. 이 웨이퍼누름부(89)는 용기본체(12) 내에 수납된 복수개의 반도체 웨이퍼(49)를, 그 상측으로부터 지지하기 위한 부재이다. 웨이퍼누름부(89)는 기단지지부(90), 탄성지지판부(91), 당접편(92), 연접지지판부(93) 및 지지용 리브(94)로 구성된다.
기단지지부(90)는 웨이퍼누름부(89)의 양단에 각각 설치되어 2개의 탄성지지판부(91)를 직접적으로 지지하기 위한 부재이다. 기단지지부(90)는 사각 막대 형상으로 형성됨과 동시에, 웨이퍼누름부(89)의 장변방향 전체길이(도 23의 상하방향)에 걸쳐 형성된다. 덮개(15)의 하측면에는 2개의 갈고리 형상 지지부(96)가 각각 설치된다. 기단지지부(90)는 각 갈고리 형상 지지부(96)에 끼워넣어지고, 덮개 이면측에 고정된다.
탄성지지판부(91)는 당접편(92)의 외측단을 탄성적으로 지지하기 위한 부재이다. 2개의 탄성지지판부(91)는 용기본체(12) 내에 수납되는 반도체 웨이퍼(49)의 개수만큼 늘어놓아 설치된다. 각 탄성지지판부(91)는 횡일렬로 늘어놓아진 상태로 기단지지부(90)에 각각 고정된다. 탄성지지판부(91)는 측면 형상이 S자 모양으로 구부러져 구성된다. 2개의 탄성지지판부(91)는 그 기단부가 2개의 기단지지부(90)에 각각 고정되고, 선단부에 당접편(92)이 각각 장착되고, 각 당접편(92)을 탄성적으로 지지한다.
당접편(92)은 각 반도체 웨이퍼(49)의 주연부에 직접 접해 각 반도체 웨이퍼(49)를 직접적으로 지지하기 위한 부재이다. 각 당접편(92)의 일측면에는 도 26에 나타난 바와 같이, 반도체 웨이퍼(49)가 감합하는 V자형 홈(98)이 설치된다. 이 V자형 홈(98)은 반도체 웨이퍼(49)의 주연부를 홈저부에 감합하는 것으로, 반도체 웨이퍼(49)를 덮개(15)측으로부터 지지하게 된다. 이 V자형 홈(98)에서, 각 반도체 웨이퍼(49)가 수평이 되도록 배치된 상태(용기본체(12)를 횡으로 한 상태)에서, 하측에 위치하는 면인 하측면(98A)을 크게 한다. 구체적으로는, 경사각도를 완만하게 하여 면적을 크게 설정한다. 이것에 의해, 하측면(98A)의 하단부를 하방향으로 연장하여 형성된다. 그 결과, 하측면(98A)의 하단부는 하방향으로 어긋난 상태의 반도체 웨이퍼(49)보다 하측에 위치하게 설정된다. 또한, 반도체 웨이퍼(49)가 하방향으로 어긋난 상태라는 것은, 용기본체(12)를 횡으로 하여 각 반도체 웨이퍼(49)가 박판지지부(13)의 V자형 홈(25C)로부터 빗나가 탑재판편(25A)에 탑재된 상태(도 26의 반도체 웨이퍼(49A)의 상태)를 의미한다. 더욱이, 하측면(98A)은 상기 V자형 홈(25C)의 표면과 동일하게, 그 표면을 연마하여 마무리된다. 또한, 여기에서는 하측면(98A)의 면적을 크게 설정했지만, V자형 홈(98)을 하방향으로 비켜 놓아도 무방하다.
연접지지판부(93)는 2개의 당접편(92)의 사이를 서로 연접하여 지지하기 위한 부재이다. 연접지지판부(93)의 양단부가 각 당접편(92)에 각각 접속되어 각 당접편(92)을 탄성적으로 지지한다. 연접지지판부(93)는, 측면 형상을 거의 U자 모양으로 구부려 형성된다. 구체적으로는, 양측의 종판부(93A, 93B)와 횡판부(93C)로 구성된다. 종판부(93A, 93B)는 덮개(15)의 이면에 수직하는 방향으로 배설되고, 거의 휘어짐 없이, 각 당접편(92)을 지지한다.
횡판부(93C)는 탄성적으로 휘게 된다. 연접지지판부(93)가 각 당접편(92)을 탄성적으로 지지하는 기능은 주로 횡판부(93C)가 담당한다. 횡판부(93C)는 그 양단에 종판부(93A, 93B)가 각각 접속된 상태로, 덮개(15)의 이면을 따른 방향으로 배설된다. 횡판부(93C)는, 그 중앙부가 후술할 지지용 철조(100)에 지지되고, 이 지지용 철조(100)를 중심으로 하여 양단부가 휘게 된다.
지지용 리브(94)는 연접지지판부(93)를 지지하여 덮개 이면을 따른 방향으로 어긋나는 것을 방지하기 위한 지지용 부재이다. 지지용 리브(94)는 덮개(15)의 이면의 중앙부에 설치된다. 지지용 리브(94)는 다수 배설되는 웨이퍼누름부(89)의 연접지지판부(93)의 전부를 덮도록 설치된다. 구체적으로는, 수납되는 반도체 웨이퍼(49)의 개수만큼 늘어놓아 설치되는 연접지지판부(93)를 모두 감합할 수 있는 길이로 설정된다. 지지용 리브(94)는 2개의 지지벽부(101, 102)로 구성된다.
각 지지벽부(101, 102)는 서로 대향하여 평행하게 설치된다. 각 지지벽부(101, 102)는 지지판편(103)과 칸막이편(104)으로 구성된다.
지지판편(103)은 연접지지판부(93)의 종판부(93A, 93B)를 반도체 웨이퍼(49)의 원주방향(도 18의 좌우 방향)에서 어긋나지 않게 지지하기 위한 부재이다. 지지판편(103)은 연접지지판부(93)의 종판부(93A, 93B)를 직접적으로 지지하는 것으로, 간접적으로 각 당접편(92)을 반도체 웨이퍼(49)의 원주 방향에서 어긋나지 않게 지지한다.
칸막이편(104)은 다수 배설되는 연접지지판부(93)를 개별적으로 구분하기 위한 판편이다. 각 칸막이편(104)은 최외측 및 각 연접지지판부(93)의 사이에 각각 위치하여 설치된다. 이것에 의해, 각 칸막이편(104)이 각 연접지지판부(93)를 그 폭방향 양측으로부터 지지한다. 이것에 의해, 각 칸막이편(104)은 연접지지판부(93)를 직접적으로 지지하는 것으로, 간접적으로 각 당접편(92)을 반도체 웨이퍼(49)의 원주방향과 직교하는 방향에 어긋나지 않게 지지한다.
상기 지지판편(103)과 칸막이판편(104)으로, 연접지지판부(93)를 주위(용기본체(12) 내에 수납된 반도체 웨이퍼(49)의 원주방향과 직교하는 방향)로부터 끼워 개별적으로 지지하는 것으로, 연접지지판부(93)의 덮개 이면을 따르는 방향의 엇갈림을 방지하고, 덮개 이면에 수직하는 방향의 변동을 허용하게 된다.
지지판편(103) 및 칸막이편(104)과 연접지지판부(93)의 사이는 약간의 극간이 있도록 설정되어, 미세한 진동일 경우에는 접촉하지 않게 된다. 즉, 반도체 웨이퍼(49)가 미세하게 진동하는 정도일 때에는, 연접지지판부(93)는 지지판편(103) 및 칸막이편(104)과 접촉하지 않은 상태에서 휘어져 진동을 흡수하게 된다. 진동이 격렬해졌을 때에는, 각 당접편(92)을 개입시켜 연접지지판부(93)도 격렬하게 진동하기 때문에, 연접지지판부(93)는 지지판편(103) 및 칸막이편(104)에 접촉해 지지되게 된다.
지지용 리브(94)의 2개의 지지벽부(101, 102)의 사이에는, 지지용 철조(100)가 설치된다. 지지용 철조(100)는 각 연접 지지판부(93)에 직접 접해 지지하기 위한 부재이다. 구체적으로는, 각 연접지지판부(93)의 횡판부(93C)의 중앙부가 지지 용 철조(100)에 접해 지지되고, 횡판부(93C)의 양단부가 자유롭게 휠 수 있게 된다. 지지용 철조(100)는 서로 대향하여 평행하게 설치된 2개의 지지벽부(101, 102)의 사이의 중앙부에 이들 지지벽부(101, 102)와 평행하고, 그리고 거의 같은 길이로 설치된다.
이상과 같이 구성된 박판지지용기(11)는 다음과 같이 사용된다.
제2덮개(15)를 용기본체(12)로부터 떼어내는 경우는, 랫치키를 키홈(62)에 감합하여 회전시킨다. 이것에 의해, 도 27(A)의 상태로부터, 투입부재(44)가 회전하여 잠금부재(42)가 서서히 끌어넣어진다. 이것에 의해, 잠금부재(42)의 지점부(55)의 선단측 접접면(55A)이 선단측캠(40)의 경사면(40A)에 접하고, 도 27(B)(C)(D)와 같이, 선단감합부(56)가 하방향으로 내리눌러진다. 이것과 동시에, 잠금부재(42)의 기단측 접접면(52)이 기단하측캠(39)의 경사면(39A)에 접해, 잠금부재(42)의 기단부가 밀어올려진다. 이것에 의해, 선단감합부(56)는 본체부(30) 내부에 완전하게 수납된다. 그리고, 제2덮개(15)를 용기본체(12)로부터 떼어낸다.
제2덮개(15)를 용기본체(12)에 장착하는 경우는, 래칫키를 키홈(62)에 감합한 제2덮개(15)를 덮개 수용부(21)에 가볍게 감합시켜 용기본체(12)를 누르지 않는 상태에서, 래칫키를 회전시킨다. 이것에 의해, 상기의 경우와 반대로, 잠금부재(42)가 본체부(30)로부터 밀어내어진다.
이 잠금부재(42)가 본체부(30)를 밀어내는 것에 의해, 최초로 잠금부재(42)의 선단부의 안내부재(43)가 제2피감합부(24)에 장착된다. 구체적으로는, 안내부재(43)의 장착부(43A)가 제2피감합부(24) 내로 들어간다. 이 장착부(43A)는 잠금부재 (42)의 선단부에 의해 용기본체(12)의 내측으로 치우쳐 설치되기 때문에, 잠금부재(42)의 선단부가 캠기구(45)에 의해 밀어올려지기 전에, 제2피감합부(24) 내에 들어갈 수 있다. 이때, 웨이퍼누름부(89)의 당접편(92)의 각 V자형 홈(98)에는 용기본체(12) 내의 각 반도체 웨이퍼(49)가 각각 감합한다. 각 반도체 웨이퍼(49)의 주연부는, 크게 설정하여 그 표면을 연마한 V자형 홈(98)의 하측면(98A)을 따라 부드럽게 그리고 확실하게 홈저부로 안내되어 감합한다. 래칫키의 회전 토크(torque)가 작아도 무방하다.
이 상태로 더욱 잠금부재(42)가 본체부(30)로부터 밀어내어지면, 잠금부재(42)의 지점부(55)가 선단측캠(40)의 경사면(40A)에 접해 선단감합부(56)가 상방향으로 밀어올려진다. 더욱이, 기단상측캠(53)의 경사면(53A)에 캠누름돌기(69)가 접해, 잠금부재(42)의 기단부를 내리누른다. 이것에 의해, 잠금부재(42)의 기단측 접접면(52)이 기단하측캠(39)의 경사면(39A)을 따라 하방향으로 내리눌러진다. 이것과 동시에, 안내부재(43)의 안내부(43B)가 제2피감합부(24)의 테두리에 접접(摺接)하면서 제2피감합부(24) 내에 들어가고, 잠금부재(42)를 제2피감합부(24)로 안내한다. 이것에 의해, 잠금부재(42)의 선단부는 캠기구(45)에 의해 밀어올려지면서, 제2피감합부(24) 내에 들어간다.
잠금부재(42)의 지점부(55)에서는, 선단측 접접면(55A)이 감합요부(40B)에 감합하고, 잠금부재(42)가 감합요부(40B)를 중심으로 회전 이동한다.
잠금부재(42)의 기단부에서는, 기단측 접접면(52)이 기단하측캠(39)의 경사면(39A)에 접함과 동시에, 캠누름돌기(69)가 기단상측캠(53)의 경사면(53A)에 접 해, 잠금부재(42)의 기단부를 내리누른다.
이것에 의해, 잠금부재(42)는 감합요부(40B)에 감합한 지점부(55)를 지점으로 한 지레로서 기능하고, 선단감합부(56)가 덮개 수용부(21)의 제2피감합부(24)에 감합한 상태로, 제2덮개(15)를 용기본체(12)측으로 강하게 내리눌러 고정한다.
이때, 웨이퍼누름부(89)에 의해, 반도체 웨이퍼(49)가 용기본체(12)의 박판지지부(13) 측으로 밀어넣어지는데, 박판지지부(13)의 V자형 홈(25C)은 그 표면을 연마하고 있기 때문에, 반도체 웨이퍼(49)의 주연부는 V자형 홈(25C)의 경사면을 따라 부드럽게 홈저부에 감합한다. 다른 접접부도 표면을 연마하여 부드럽게 미끄러지고, 래칫키의 회전 토크가 작아도 무방하다.
이러한 제2덮개(15)를 장착하는 방법은, 용기본체(12)를 종으로 했을 경우에서도 횡으로 했을 경우에서도 유효하다. 반도체 웨이퍼(49)를 출입시키기 위해서 용기본체(12)를 횡으로 했을 경우, 용기본체(12)는 단지 탑재대에 탑재되는 것만으로는 고정되지 않기 때문에, 지금까지 덮개(15)의 착탈의 자동화가 어려웠다. 그러나, 상술한 바와 같이, 횡으로 한 용기본체(12)를 거의 누르지 않은 상태에서 덮개(15)를 장착할 수 있기 때문에, 기존의 착탈장치를 이용하여, 덮개(15)의 착탈작업의 자동화를 꾀하는 것이 가능하게 된다.
즉, 상술한 본 실시형태의 박판지지용기에 의하면, 다음과 같은 효과를 얻을 수 있다.
(1) 본체부(30)를 용기본체(12) 측에 가볍게 감합시켜 용기본체(12)를 누르지 않는 상태로, 안내부재(43)가 잠금부재(42)를 피감합부(24)로 안내하고, 잠금부 재(42)를 피감합부(24) 내에 감합시키기 때문에, 용기본체(12)를 고정하지 않고도 덮개(15)를 용이하게 장착할 수 있게 되며, 기존의 착탈장치를 이용하여 덮개(15)의 착탈작업의 자동화가 가능하게 된다.
(2) 안내부재(43)의 장착부(43A)에 의해 피감합부(24)에 장착되고, 안내부(43B)에 의해 피감합부(24) 내로 잠금부재(42)를 안내하기 때문에, 상기와 동일하게, 기존의 착탈장치를 이용하여 덮개의 착탈작업의 자동화가 가능하게 된다.
(3) 장착부(43A)의 돌기가 피감합부(24)에 걸려, 안내부(43B)의 경사면이 피감합부(24)의 테두리를 따라 잠금부재(42)를 피감합부(24)로 안내하기 때문에, 용기본체(12)를 고정하지 않고도 덮개(14)를 용이하게 장착할 수 있게 되고, 기존의 착탈장치를 이용하여 덮개의 착탈작업의 자동화가 가능하게 된다.
(4) 안내부(43B)의 경사면의 표면을 연마하여, 잠금부재(42)를 피감합부(24)로 부드럽게 안내할 수 있기 때문에, 래칫키의 회전 토크가 작아도 무방하고, 상기와 동일하게, 기존의 착탈장치를 이용하여 덮개의 착탈작업의 자동화가 가능하게 된다.
(5)　간이착탈기구(32)의 각 접동부분의 접접면을 연마하여 잠금부재(42)를 피감합부(24)로 부드럽게 안내할 수 있기 때문에, 래칫키의 회전 토크가 작아도 무방하고, 상기와 동일하게, 기존의 착탈장치를 이용하여 덮개의 착탈작업의 자동화가 가능하게 된다.
(6)　반도체 웨이퍼(49)의 주연부는 표면을 연마한 V자형 홈(25C)의 경사면을 따라 홈저부에 감합하기 때문에, 상기와 동일하게, 기존의 착탈장치를 이용하여 덮개의 착탈작업의 자동화가 가능하게 된다.
(7)　접동제를 첨가한 합성수지로 경사면 등을 성형하여, 각 접부의 마찰저항이 작아지기 때문에, 래칫키의 회전 토크가 작아도 무방하며, 상기와 동일하게, 기존의 착탈장치를 이용하여 덮개의 착탈작업의 자동화가 가능하게 된다.
변형예
(1)　상기 실시형태에서는, 잠금부재(42)를 들어올리는 캠기구(45)로서, 선단측캠(40)과 기단측캠(53)을 설치했지만, 선단측캠(40)만의 기구라도 무방하다. 또한, 다른 구조의 캠기구라도 무방하다. 예를 들면, 도 28에 나타난 바와 같이, 선단측의 하측에 돌기(111)를 설치한 잠금부재(112)와 캠(113)을 구비한 슬라이드판(114)을 구비한 구성의 캠기구라도 무방하다. 이 경우는, 잠금부재(112)와 슬라이드판(114)을 동시에 연장시켜 잠금부재(112)의 선단을 제2피감합부(24) 내에 삽입한 후, 슬라이드판(114)을 한층 더 연장 시키면, 잠금부재(112)의 선단부가 제2피감합부(24) 내에서 들어올려져 덮개(15)를 용기본체(12)에 고정한다. 이외에도, 잠금부재(42)가 연장하여 제2피감합부(24) 내에 잠그는 구조의 캠기구 모두에 본원 발명을 적용시킬 수 있다.
이 구성의 경우도, 상기 실시형태와 같은 작용, 효과를 얻을 수 있다.
(2)　상기 실시형태에서는, 안내부재(43)의 안내부(43B)를 직선적인 평탄면 형상으로 했지만, 만곡시켜도 무방하다. 안내부(43B)는 제2피감합부(24)의 테두리부에 접하면서 내부에 들어갈 수 있는 형상의 면이면 좋고, 평탄면, 만곡면, 철면 및 요면이라도 좋다. 이 경우에서도, 상기 실시예와 같은 작용, 효과를 얻을 수 있 다.
(3)　상기 실시형태에서는, 박판지지부(13), 간이착탈기구(32), 웨이퍼누름부(89) 등의 접접면(V자형 홈(25C)의 표면 등)의 마찰저항을 작게 하기 위해서 표면을 연마하여 성형했지만, 접접면을 성형하는 재료 자체를 조정해도 좋다. 이 마찰저항을 작게 하기 위한 재료로서는, 접동제(플라스틱 첨가용 접동제)를 첨가한 합성수지를 이용한다. 이 플라스틱 첨가용 접동제로서는, PTFE, PFA, 실리콘, 유리섬유, 카본섬유, 흑연 또는 2황화 몰리브덴을 이용한다. 이들의 재료를 단체(單體)로, 또는 복수 조합하여, 모재가 되는 PBT나 POM 등의 엔지니어링 플라스틱에 10~20% 정도 혼합한다. 상기 각 플라스틱 첨가용 접동제의 조합 및 배합 비율은 엔지니어링 플라스틱의 종류에 따라서 상이하기 때문에, 각 엔지니어링 플라스틱에 따라 최적인 값을 실험 등에 의해 설정한다.
이것에 의해, 각 접접면에서의 마찰저항이 작아지고, 덮개(15)의 용기본체(12)로의 장착, 간이착탈기구(32)의 작동 등이 부드럽게 되고, 횡으로 한 용기본체(12)를 거의 누르지 않고, 용이하게 덮개(15)를 장착할 수 있다. 그 결과, 기존의 착탈장치를 이용해, 덮개(15)의 착탈작업의 자동화를 꾀할 수 있게 된다.
상술한 본 실시형태의 박판지지용기에 의하면, 다음과 같은 효과를 얻을 수 있다.
(1) 본체부(30)를 용기본체(12) 측에 가볍게 감합시켜 용기본체(12)를 누르지 않는 상태로, 안내부재(43)가 잠금부재(42)를 피감합부(24)로 안내하고, 잠금부 재(42)를 피감합부(24) 내에 감합시키기 때문에, 용기본체(12)를 고정하지 않고도 덮개(15)를 용이하게 장착할 수 있게 되며, 기존의 착탈장치를 이용하여 덮개(15)의 착탈작업의 자동화가 가능하게 된다.
(2) 안내부재(43)의 장착부(43A)에 의해 피감합부(24)에 장착되고, 안내부(43B)에 의해 피감합부(24) 내로 잠금부재(42)를 안내하기 때문에, 상기와 동일하게, 기존의 착탈장치를 이용하여 덮개의 착탈작업의 자동화가 가능하게 된다.
(3) 장착부(43A)의 돌기가 피감합부(24)에 걸려, 안내부(43B)의 경사면이 피감합부(24)의 테두리를 따라 잠금부재(42)를 피감합부(24)로 안내하기 때문에, 용기본체(12)를 고정하지 않고도 덮개(14)를 용이하게 장착할 수 있게 되고, 기존의 착탈장치를 이용하여 덮개의 착탈작업의 자동화가 가능하게 된다.
(4) 안내부(43B)의 경사면의 표면을 연마하여, 잠금부재(42)를 피감합부(24)로 부드럽게 안내할 수 있기 때문에, 래칫키의 회전 토크가 작아도 무방하고, 상기와 동일하게, 기존의 착탈장치를 이용하여 덮개의 착탈작업의 자동화가 가능하게 된다.
(5)　간이착탈기구(32)의 각 접동부분의 접접면을 연마하여 잠금부재(42)를 피감합부(24)로 부드럽게 안내할 수 있기 때문에, 래칫키의 회전 토크가 작아도 무방하고, 상기와 동일하게, 기존의 착탈장치를 이용하여 덮개의 착탈작업의 자동화가 가능하게 된다.
(6)　반도체 웨이퍼(49)의 주연부는 표면을 연마한 V자형 홈(25C)의 경사면을 따라 홈저부에 감합하기 때문에, 상기와 동일하게, 기존의 착탈장치를 이용하여 덮개의 착탈작업의 자동화가 가능하게 된다.
(7)　접동제를 첨가한 합성수지로 경사면 등을 성형하여, 각 접부의 마찰저항이 작아지기 때문에, 래칫키의 회전 토크가 작아도 무방하며, 상기와 동일하게, 기존의 착탈장치를 이용하여 덮개의 착탈작업의 자동화가 가능하게 된다.

Claims (10)

  1. 내부에 박판을 수납하여 탄성적으로 지지하여 반송되는 박판지지용기의 용기본체를 덮는 박판지지용기용 덮개로서,
    상기 박판지지용기용 덮개의 외곽을 구성하는 본체부 내에, 상기 박판을 지지하는 탄성에 저항하여, 상기 용기본체에 대해서 용이하게 고정 및 고정 해제하여 착탈할 수 있는 간이착탈기구를 구비하고,
    상기 간이착탈기구는, 상기 본체부로부터 연장하여 상기 용기본체의 피감합부에 잠그는 잠금(係止)부재와, 상기 잠금부재의 선단부에 설치되어 상기 본체부가 상기 용기본체 측에, 상기 탄성에 저항하지 않고 가볍게 감합한 상태로 상기 피감합부에 장착되어 상기 잠금부재를 상기 피감합부 내로 안내하는 안내부재를 구비하여 구성되고,
    상기 안내부재는, 상기 본체부가 상기 용기본체측에 가볍게 감합한 상태로 상기 잠금부재가 상기 피감합부에 향하여 연장될 때 상기 피감합부에 최초로 장착되는 최선단부와, 상기 최선단부에서 상기 피감합부에 장착된 후 상기 잠금부재의 연장에 따라 상기 잠금부재를 상기 피감합부에 안내하는 안내부를 구비하여 구성되고,
    상기 최선단부가, 상기 용기본체의 내측에 치우친 위치에 설치되고, 상기 용기본체가 횡으로 되어 상기 본체부가 상기 용기 본체 측에 가볍게 감합하여 상기 용기본체를 누르지 않는 상태에서 상기 피감합부에 최초로 부착되고,
    상기 안내부가, 상기 최선단부와 그의 후방의 상기 잠금부재를 연결하고, 상기 피감합부의 가장자리에 접접하면서 상기 탄성에 저항하여 상기 잠금부재를 상기 피감합부내에 안내하는 경사면을 구비하여 구성된 것을 특징으로 하는 박판지지용기용 덮개.
  2. 제1항에 있어서,　상기 간이착탈기구가, 상기 잠금부재에 연결하여 상기 본체부로부터 출몰이동시키는 투입부재와, 상기 투입부재에 의해 상기 잠금부재가 투입될 때 상기 잠금부재의 선단측을 한쪽으로 가압해, 상기 용기본체의 피감합부에 들어간 상기 잠금부재가 상기 본체부를 상기 용기본체 측에 눌러 고정하는 선단측 캠을 더 구비하여 구성되고,
    상기 잠금부재가 상기 선단측 캠으로 일방으로 눌려지기 전에, 상기 최선단부가 상기 피감합부 내에 들어가는 것을 특징으로 하는 박판지지용기용 덮개.
  3. 제2항에 있어서, 상기 간이착탈기구는, 상기 잠금부재가 투입될 때 상기 잠금부재의 기단측을 다른 쪽으로 누르는 기단측 캠과, 상기 잠금부재의 선단측에 설치된 상기 투입부재로 상기 잠금부재가 출몰 이동될 때에 상기 선단측 캠에 접접하는 동시에 상기 기단측 캠으로 상기 잠금부재의 기단측이 다른 쪽으로 눌려져 상기 잠금부재가 회전 이동할 때에 그 지점이 되는, 잠금부재의 회전 이동의 지지부를 더 구비하여 구성되고,
    상기 선단부가 상기 피감합부 내에 들어간 상기 잠금부재에 의해, 지레의 원리에 의해 상기 본체부가 상기 용기본체 측에 강하게 누를 수 있는 것을 특징으로 하는 박판지지용기용 덮개.
  4. 제1항에 있어서, 상기 안내부의 경사면의 표면에 요철을 설치하여 연마한 것을 특징으로 하는 박판지지용기용 덮개.
  5. 제1항에 있어서, 상기 간이착탈기구의 각각의 접동부분의 접접면의 표면에 요철을 설치하여 연마한 것을 특징으로 하는 박판지지용기용 덮개.
  6. 제1항에 있어서, 상기 용기본체 내에 수납된 박판에 V자형 홈이 감합하여 압압, 지지하는 박판누름부를 구비하고,
    상기 박판누름부의 V자형 홈의 경사면의 표면에 요철을 설치하여 연마한 것을 특징으로 하는 박판지지용기용 덮개.
  7. 제1항에 있어서, 적어도 상기 안내부의 경사면의 표면이, 접동제를 첨가한 합성수지로 성형된 것을 특징으로 하는 박판지지용기용 덮개.
  8. 제1항에 있어서, 적어도 상기 간이착탈기구의 각 접동부분의 접접면이, 접동제를 첨가한 합성수지로 성형된 것을 특징으로 하는 박판지지용기용 덮개.
  9. 제1항에 있어서, 상기 용기본체 내에 수납된 박판에 V자형 홈이 감합하여 압압, 지지하는 박판누름부를 구비하고,
    적어도 상기 박판누름부의 V자형 홈의 경사면의 표면이, 접동제를 첨가한 합성수지로 성형된 것을 특징으로 하는 박판지지용기용 덮개.
  10. 제7항 내지 제9항의 어느 한 항에 있어서,　상기 접동제는 PTFE, PFA, 실리콘, 유리섬유, 카본섬유, 흑연 또는 2황화 몰리브덴 중 1개 또는 복수로 이루어지는 것을 특징으로 하는 박판지지용기용 덮개.
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