KR101350196B1

KR101350196B1 - 웨이퍼 캐리어

Info

Publication number: KR101350196B1
Application number: KR1020130072036A
Authority: KR
Inventors: 이강성; 임이택
Original assignee: (주)상아프론테크
Priority date: 2013-06-24
Filing date: 2013-06-24
Publication date: 2014-01-13

Abstract

본 발명은 웨이퍼 캐리에 잠금부를 구비하고, 이 잠금부를 구성하는 링크의 이동이 원활하며, 링크의 비틀림 또는 휨 현상을 방지할 수 있는 웨이퍼 캐리어에 관한 것이다.
본 발명의 주요 구성은 전면에 개방부가 마련되고, 내측 상면 및 바닥면 각각에 걸림홈이 형성된 컨테이너; 상기 컨테이너의 양측 벽에 각각에 설치되는 측면 리테이너와 내측 도어에 설치되는 전방 리테이너를 포함하는 웨이퍼 수납부; 판상의 벽체 테두리에 운두부가 돌출되고, 이 운두부를 구성하는 상판과 하판 각각에 구멍이 천공되며, 컨테이너측으로 끼워지는 벽체의 안쪽면에 전방 리테이너가 설치되는 설치 공간이 마련되고, 벽체의 바깥면 양측에는 축수부가 구비되며, 이 축수부의 상부측과 하부측 각각에 가이드 돌기가 구비된 내측 도어; 상기 내측 도어의 운두부에 밀착되어 조립되는 외측 도어; 상기 축수부에 끼워져 회전하는 회전 캠을 구비하고, 이 회전 캠과 연결되어 연동하며 상하 이동하는 링크로 구성되며, 상기 링크의 안쪽면에 이동도움부재가 구비된 잠금부;를 포함하며, 상기 내측 도어는 운두부가 컨테이너의 개방부에 끼워지고, 상기 잠금부의 링크는 내측 도어의 구멍을 관통하여 컨테이너의 걸림홈에 끼워져 잠금이 이루어지는 기술적인 특징을 갖는 것으로 달성된다.

Description

웨이퍼 캐리어{Wafer carrier}

본 발명은 반도체의 웨이퍼를 보관, 운반할 때 사용되는 캐리어에 관한 것이다.

더 상세하게는 웨이퍼가 수납되는 컨테이너의 전면 개방부를 개폐하는 도어에 잠금부를 설치하고, 이 도어의 안쪽 면에 전방 리테이너가 설치되도록 하며, 잠금부를 구성하는 링크의 이동이 원활하고, 아울러 링크의 비틀림 및 휨 현상을 방지할 수 있는 웨이퍼 캐리어에 관한 것이다.

일반적으로 웨이퍼는 반도체를 만들기 위한 토대가 되는 기판으로써, 보관 및 각 공정으로 운반 시에는 캐리어에 넣어져 웨이퍼 상에 이물질이 개입되지 않도록 하고, 진동으로부터 웨이퍼가 보호될 수 있도록 한다.

이러한 캐리어는 운반 및 보관 용도로 사용되는 전면개방 운반용기(Front Opening Shipping Box: 이하 '포스비(FOSB)' 라함)와 운반 및 보관뿐만 아니라 공정진행 용도로 사용되는 전면개방 일체식 포드(Front Open UnifiedPod: 이하 '풉(FOUP)'라함)가 주로 사용되며, 통상적으로 박스 형태의 컨테이너와 도어로 구성된다.

즉, 웨이퍼 캐리어는 전면이 개방된 박스 형태의 컨테이너와, 이 컨테이너의 내부에 설치되어 웨이퍼가 수납되도록 하는 수납부와, 상기 컨테이너의 전면 개방부에 설치되는 개폐 도어 및, 이 개폐 도어에 설치되는 잠금 유닛으로 구성된다.

여기서 상기 잠금 유닛은 피니언 기어와 이 피니언 기어의 양측에 맞물려 피니언 기어가 회전하면 상하 이동하는 랙 기어로 구성된 잠금 유닛과, 회전 캠의 외주연에 캠 홈을 형성하고, 이 캠 홈에 링크를 연결하여 회전 캠의 회동시 링크가 연동하며 상하 이동하여 걸림 및 걸림 해지가 이루어지는 잠금 유닛이 사용되고 있다.

국내 실용신안 등록 제0394281호는 회전 캠 방식의 잠금 유닛이 구비된 웨이퍼 캐리어로 본 출원인에 의해 개발된 것이다.

이 웨이퍼 캐리어는 웨이퍼가 유출입되도록 개방되어 있으며 웨이퍼가 저장되는 하우징과, 상기 하우징의 개방 부분을 개폐하도록 설치되는 도어와, 상기 도어에 구비되어 상기 도어가 상기 하우징에 탈부착되도록 작동하며 회전 작동하는 회전 부재 및 상기 회전 부재에 연결되어 왕복 운동하는 래칭 아암으로 이루어진 로킹 장치; 상기 로킹장치에 구비되어 상기 로킹 장치를 탄성 지지하며, 상기 로킹 장치의 작동에 따라 상기 도어의 일측면에 대해 다른 높이로 가변작동하는 탄성부재; 상기 도어에 형성되며 상기 탄성부재를 가이드 하기 위한 가이드부가 구비된 구성이다.

또한 상기 회전부재는 캠으로 구성되며 상기 캠의 둘레는 플랜지가 형성되고, 상기 도어의 내측면에는 상기 래칭 아암이 받쳐지도록 돌출된 받침돌부가 형성된 것이다.

그런데, 이와 같은 웨이퍼 캐리어의 로킹 장치는 회전 부재와 연동하는 래칭 아암이 작동 중 휘거나 뒤틀리는 문제가 있다.

즉, 회전 캠과 연결되는 래칭 아암의 일단에 회전 부재와 연결되는 연결봉이 구비되고, 대향측 끝 부분이 하우징의 걸림홈에 끼워지는 걸림 부위가 위치하는 구성으로, 동작 시에는 링크의 양쪽 끝 부분에서만 힘을 받음으로써, 중앙 부위가 휘어지거나 뒤틀리는 문제가 있다.

이러한 휨 혹은 비틀림 등의 문제는 잠금 및 잠금 해지를 어렵게 하고, 웨이퍼의 수명을 단축시키며, 그에 따른 경제적인 부담이 가중되는 문제가 있다.

본 발명은 이와 같은 종래의 문제점을 감안하여 이루어진 것으로, 그 목적은 회전 캠에 연결되어 이동하며 잠금 및 잠금이 해지되도록 하는 링크의 이동이 원활하도록 하고, 가이드 돌기와 걸림턱을 구비하여 링크의 휨 혹은 비틀림을 방지할 수 있는 웨이퍼 캐리어를 제공하는 데 있다.

본 발명의 다른 목적은 링크의 이동이 원활하고 이동 부하를 최소화할 수 있도록 하며, 그에 따라 고장 없이 장기간 동안 사용이 가능한 웨이퍼 캐리어를 제공하는 데 있다.

본 발명의 또 다른 목적은 컨테이너의 개방부에 설치되는 내측 도어의 안쪽면에 전방 리테이너의 설치를 가능하게 하되, 끼움 돌기와 고정 돌기를 구비하여 전방 리테이너의 설치가 용이하고, 이 전방 리테이너에 의해 웨이퍼가 안정적으로 수납될 수 있도록 하는 웨이퍼 캐리어를 제공하는 데 있다.

본 발명은 웨이퍼 캐리에 관한 것으로,
전면에 개방부가 마련되고, 내측 상면 및 바닥면 각각에 걸림홈이 형성된 컨테이너; 상기 컨테이너의 양측 벽에 각각에 설치되는 측면 리테이너와 내측 도어에 설치되는 전방 리테이너를 포함하는 웨이퍼 수납부; 판상의 벽체 테두리에 운두부가 구비되며, 이 운두부를 구성하는 상판과 하판 각각에 구멍이 천공되고, 상기 컨테이너의 안쪽에 위치하는 것으로 상기 벽체의 내측면에 전방 리테이너가 설치되는 요(凹) 형태의 설치 공간이 마련되며, 벽체의 바깥면 양측에는 축수부가 구비되고, 이 축수부의 상부측과 하부측 각각에 가이드 돌기가 구비된 내측 도어; 상기 내측 도어의 운두부에 밀착되어 조립되는 외측 도어; 상기 축수부에 끼워져 회전하는 회전 캠을 구비하고, 이 회전 캠과 연결되어 상,하 연동하는 링크로 구성되며, 상기 링크의 안쪽면에 이동도움부재가 구비된 잠금부;를 포함하고, 상기 내측 도어는 운두부가 컨테이너의 개방부에 안쪽으로 끼워지고, 상기 잠금부의 링크는 내측 도어의 구멍을 관통하여 컨테이너의 걸림홈에 끼워져 잠금이 이루어지며, 상기 이동도움부재는 링크의 안쪽면에 바퀴 또는 베어링으로 이루어진 구름부재로 구성된 것을 더 포함하고, 상기 내측 도어에 구비된 가이드 돌기는 좌우 한 쌍으로 구성되어, 이 좌측 및 우측 가이드 돌기 사이에 잠금부의 링크가 끼워지며, 각각의 가이드 돌기는 2개 이상의 분할편으로 구성되어 각 분할편이 탄성력을 갖도록 하며, 분할편 중 어느 하나의 분할편 단부에 링크의 이탈을 방지하는 걸림턱이 더 구비되되, 상기 내측 도어의 벽체 안쪽면에 요(凹) 형상 성형부를 구비하여 전방 리테이너가 설치되는 설치 공간을 마련하고, 이 설치 공간의 벽면에 좌,우로 2개의 끼움 돌기가 간격으로 두고 돌출되어, 이들 끼움 돌기 사이에 전방 리테이너가 끼워져 고정되도록 하며, 끼움 돌기와 인접하여 전방 리테이너의 이탈을 방지하는 고정돌기가 더 구비되며, 상기 잠금부의 회전캠 안쪽면에 걸이봉을 구비하고, 이 걸이봉에 스프링의 일단이 걸어지며, 스프링의 타단은 내측 도어의 벽체에 고정되는 구성으로, 스프링이 걸이봉을 당겨 회전캠을 복원시키는 기술적인 특징을 갖는다.

삭제

본 발명은 첫째, 잠금 및 잠금 해지를 이루는 링크에 이동도움부재를 구비하여 이동을 원활하게 하며, 동작 중 링크의 휨 및 뒤틀림을 방지할 수 있는 효과가 있다.

둘째, 본 발명은 링크의 이동을 안내하는 가이드 돌기와, 걸림턱을 구비하여 링크의 이동이 원활하도록 하고, 링크의 이탈을 방지하며, 또한 잠금부의 고장 없이 장기간 사용할 수 있도록 하는 효과가 있다.

셋째, 본 발명은 컨테이너에 설치되는 내측 도어의 안쪽면에 전방 리테이너의 설치를 가능하게 하는 공간을 마련하되, 설치가 용이하고 이탈을 방지할 수 있는 발명이다.

도 1은 본 발명이 적용된 웨이퍼 캐리어의 사시도,
도 2은 본 발명에 따른 웨이퍼 캐리어의 분해 사시도,
도 3은 본 발명에 적용되는 내측 도어에 잠금부가 장착된 상태의 사시도,
도 4a, b는 본 발명에 적용되는 내측 도어를 정면과 배면에서 바라본 사시도,
도 5는 본 발명에 적용되는 잠금부의 사시도,
도 6a, b는 본 발명에 따른 잠금부의 분해 사시도를 정면과 배면에서 바라 본 사시도,
도 7은 본 발명에 따른 잠금부의 다른 실 시예를 나타낸 사시도,
도 8은 본 발명의 또 다른 실시 예를 나타낸 단면도.

다음은 본 발명의 바람직한 실시 예를 첨부된 도면에 의거하여 상세히 설명하면 다음과 같다.

설명에 앞서, 개시되는 실시 예들은 본 발명의 사상을 당업자가 용이하게 이해할 수 있도록 제공되는 것으로, 이에 의해 본 발명이 한정되지 않는다. 본 발명의 실시예들은 본 발명의 기술적 사상 및 범위 내에서 다른 형태로 변형될 수 있다. 본 명세서에서 '및/또는'은 전후에 나열한 구성요소들 중 적어도 하나를 포함하는 의미로 사용되었다. 본 명세서에서 다른 구성요소 '상에' 위치한다는 것은 일 구성요소 상에 다른 구성요소가 직접 위치한다는 의미는 물론, 상기 일 구성요소 상에 제 3의 구성요소가 더 위치할 수 있다는 의미도 포함한다. 본 명세서 각 구성요소 또는 부분 등을 제1, 제2 등의 표현을 사용하여 지칭하였으나, 이는 명확한 설명을 위해 사용된 표현으로 이에 의해 한정되지 않는다. 도면에 표현된 구성요소들의 두께 및 상대적인 두께는 본 발명의 실시예들을 명확하게 표현하기 위해 과장된 것일 수 있다. 또한, 첨부된 도면에 표현된 사항들은 본 발명의 실시예들을 쉽게 설명하기 위해 도식화된 도면으로 실제로 구현되는 형태와 상이할 수 있다.

먼저 본 발명에 첨부된 도 1은 본 발명이 적용된 웨이퍼 캐리어의 사시도 이고, 도 2은 본 발명에 따른 웨이퍼 캐리어의 분해 사시도 이며, 도 3은 본 발명에 적용되는 내측 도어에 잠금부가 장착된 상태의 사시도 이다.

또한, 첨부된 도 4a, b는 본 발명에 적용되는 내측 도어를 정면과 배면에서 바라본 사시도 이고, 도 5는 본 발명에 적용되는 잠금부의 사시도 이며, 도 6a, b는 본 발명에 따른 잠금부의 분해 사시도를 정면과 배면에서 바라 본 사시도를 도시한 것이다.

도면에서 본 발명의 웨이퍼 캐리어(10)는 전면에 개방부(22)가 형성된 컨테이너(20)와, 이 컨테이너(20)의 양측 벽면에 설치되는 측면 리테이너(42)와 후술하는 도어에 설치되는 전방 리테이너(44)로 구성된 웨이퍼 수납부(40)와, 상기 개방부(22)에 설치되는 내,외측 도어(200)(300)와, 이 내, 외측 도어(200)를 고정 또는 고정을 해지하는 잠금부(100)로 구성된다.

컨테이너(20) 및 수납부(40)

상기 컨테이너(20)는 전면이 개방된 박스 형태로, 전면 개방부(22)에 후술하는 내, 외측 도어(200)(300)가 설치되며, 개방부(22)의 안쪽으로 걸림홈(24)이 형성된 구성이다.

상기 걸림홈(24)은 컨테이너(20)의 상면과 바닥면 각각에 천공되며, 좌우 양측 각각에 형성된다.

상기 수납부(40)는 측면 리테이너(42)와 전방 리테이너(44)로 구성되며, 각 리테이너(42)(44)는 다층으로 받침편이 구비되어 웨이퍼가 수납될 수 있도록 한다.

상기 측면 리테이너(42)는 컨테이너(20)의 내부 양측벽 각각에 설치되며, 전방 리테이너(44)는 내측 도어(200)의 안쪽면에 고정되어, 상기 측면 리테이너와 더불어 견고하고 안정적으로 웨이퍼가 수납될 수 있도록 한다.

도어

컨테이너에 설치되는 상기 도어는 내측 도어(200)와 외측 도어(300)로 구성된다.

먼저, 내측 도어(200)는 판상으로 이루어진 벽체(202)의 테두리에 돌출된 운두부(204)를 갖는 구성으로, 운두부(204)를 구성하는 상판과 하판 각각에 구멍(240)이 형성된 구성이다.

상기 구멍(240)은 내측 도어(200)가 컨테이너(20)에 끼워졌을 때 걸림홈(24)과 동일한 위치에 놓이도록 한다.

상기 벽체(202)에는 중앙 일부가 안쪽면 즉, 컨테이너(20)에 끼워지는 안쪽면에서 바깥쪽으로 돌출되게 성형된 성형부(206)를 구비하고, 이 성형부(206)의 안쪽면에 상기 전방 리테이너(44)가 설치되는 설치 공간(208)이 마련된 구성이다.

도 4b를 참고로 상기 설치 공간(208)의 벽면에는 도면과 같이, 전방 리테이너(44)가 끼워져 조립되는 끼움 돌기(280)와, 조립 후 전방 리테이너의 이탈을 방지하는 고정 돌기(282)가 구비된다.

상기 끼움 돌기(280)는 좌우 2개의 끼움 돌기가 간격을 두고 돌출되고, 이 끼움 돌기(280)의 상부 및 하부측으로 인접하여 이탈 방지를 위한 고정 돌기(282)가 구비된 것이다.

즉, 작업자가 전방 리테이너를 설치공간에 끼워 넣으며, 전방 리테이너(44)는 도면과 같이 후크 형상으로 이루어진 고정 돌기(282)를 타고 넘어, 끼움 돌기(280)들 사이에 끼워져 조립되도록 하되, 이 조립 돌기(280)들 사이에 끼워지는 돌기(미도시)가 전방 리테이너의 전면에 갖추어진 구성으로, 조립도 간편하지만 이탈이 방지되어 전방 리테이너에 의해 웨이퍼가 안정적으로 보관 및 운반될 수 있도록 한다.

상기 성형부(206)의 양측 다시 말해, 벽체(202)의 외측면 양측 각각에는 축수부(220)가 구비되고, 이 축수부(220)를 중심으로 상부 및 하부에 가이드 돌기(260)가 돌출되어 있다.

상기 축수부(220)는 원통형상으로 내측에 하기의 회전 캠(120)이 조립되어 이를 중심으로 회동될 수 있도록 한다.

상기 가이드 돌기(260)는 좌, 우측 각각에 간격을 두고 돌출되어 내측으로 링크(140)가 끼워지도록 하고, 각각의 가이드 돌기(260)는 적어도 2개 이상 바람직하기로는 3개의 분할편(260a)으로 구성된다.

상기 가이드 돌기(260)를 분할하여 분할편(260a)으로 구성하는 것은, 첫째 탄성을 갖도록 하기 위함이며, 둘째는 잠금부의 링크를 보호하기 위한 것이다. 즉, 링크를 조립할 때 이들 가이드 돌기가 탄력적으로 벌어지며 링크가 끼워질 수 있도록 하고, 상하 이동하는 링크에 유동이 발생했을 때 탄력적으로 링크를 지지하여 링크의 파손을 방지하는 것이다.

한편, 상기 가이드 돌기(260)의 분할편(260a) 중 어느 하나의 분할편에 걸림턱(262)이 구비되며, 이 걸림턱(262)에 의해 링크의 이탈이 방지된다.

또한, 상기 가이드 돌기(260)의 주변에는 외측 도어(300)가 고정될 수 있도록 나사결합 돌출부(284)가 구비되어 있다.

상기 외측 도어(300)는 상기 내측 도어(200)의 외측면에 덮어지는 것으로, 내측 도어에 설치되는 하기 잠금부가 외부에서 보이지 않도록 하고, 외관을 미려하하게 할 수 있다.

잠금부 (100)

상기 잠금부(100)는 도 5 및 도 6a, b와 같이 회전 캠(120)과 링크(140)로 구성된다.

상기 회전 캠(120)은 원판 형상으로 중앙에 원통 형상의 중심 축부(126)가 구비되고, 이 중심 축부의 외측으로 캠 홈(122)이 천공된 구성이다.

상기 중심 축부(126)는 회전 캠의 정면 및 후면 각각에 돌출되어, 후면측으로는 상기 축수부(220)에 끼워져 조립되고, 정면으로 손잡이(미도시)가 조립될 수 있도록 한다.

상기 캠 홈(122)은 좌우 대향측에 각각 형성된 제1 홈부(122a)와 제2홈부(122b)로 구성되며, 각 홈부에 링크가 연결되어 연동한다.

또한, 각 홈부(122a)(122b)의 일측 끝 부분에는 밀대 돌출부(124)가 구비되어 각 홈부(122a)(122b)에 끼워지는 링크의 연결핀을 밀어 링크가 상하 이동하도록 한다.

상기 링크(140)는 상부 링크(140a)와 하부 링크(140b)로 구성된다.

상기 상부 링크(140a)와 하부 링크(140b)는 동일한 구성으로, 각 링크의 일단에는 상기 캠홈(122)에 끼워지는 연결봉(142a)(142b)이 각각 구비되어, 도면과 같이 상부 링크(140a)의 연결봉(142a)은 상기 제 1홈부(122a)에 끼워지고, 하부 링크(140b)의 연결봉(122b)은 제 2홈부(122b)에 끼워지는 구성으로, 회전 캠이 회전하면 각 연결봉(142a)(142b)이 각 홈부에 구비된 밀대 돌출부(124)에 의해 밀어지면서 각 링크가 상,하 이동하는 것이다.

각 링크(140a)(140b)의 연결봉이 구비된 단부의 대향측단은 내측 도어(200)에 형성된 구멍(240)을 관통하여 컨테이너의 걸림홈(24)에 끼워져 잠금이 이루어지도록 하는 래칭부(144a),(144b)가 각각 구비된다.

한편, 상부 및 하부 링크(140a)(140b)의 배면 즉, 내측 도어의 벽체(202)와 맞닿는 면에는 이동도움부재(160)가 구비된다.

상기 이동도움부재(160)는 링크의 상하 이동시 중간 부위를 받쳐주어 처짐 혹은 휨 또는 뒤틀림을 방지한다.

상기 이동도움부재(160)의 기본적인 구성은 벽체(202)와 선 접촉이 이루어지도록 반원형으로 구성된다. 이동시 마찰력을 감소시킬 수 있는 장점도 있다.

첨부된 도 7은 상기 이동도움부재의 다른 실시 예로, 바퀴 혹은 베어링 등의 구름부재(180)가 구비된 구성이다.

즉, 반원형 혹은 다른 형태로 돌출된 한쌍의 이동도움부재(160) 사이에 구름 운동으로 상하 이동을 도와줄 있는 바퀴 혹은 베어링 등의 구름 부재(180)를 구비하는 것이다.

도면 중 미설명 부호 128은 걸이봉 이다. 도면에는 도시되지 않았으나 이 걸이봉에 탄성부재 예를 들어 스프링의 일단이 걸어지고, 스프링의 타단은 벽체에 고정된 구성으로, 작업자가 손잡이를 이용하여 회전 캠(120)을 돌려 각 링크(140a)(140b)가 걸림홈(24)으로부터 빠져나오도록 하여 도어를 컨테이너에서 빼내거나 또는 개방부에 끼워 넣은 다음, 잡고 있는 손잡이를 놓으면 스프링이 걸이봉(128)을 당겨 회전 캠을 복원시키는 것이다. 즉 상,하부 링크를 항상 잠금 상태의 위치에 놓이게 하는 것으로 사용의 편의성을 도모할 수 있다.

다음은 이와 같은 구성으로 이루어진 본 발명의 조립 및 동작 과정을 설명한다.

본 발명의 웨이퍼 캐리어(10)는 컨테이너(20)의 개방부(22)에 도어를 설치하여 내부를 밀폐시킴으로써 외부의 환경적인 요인으로부터 웨이퍼가 보호될 수 있도록 하는 것이다.

이를 위해 본 발명은 컨테이너(20)의 내측 양측벽에 측면 리테이너(42)를 구비하고, 내측 도어(200)의 안쪽 설치 공간(208)에 전방 리테이너(44)가 구비된다.

또한, 내측 도어(200)의 벽체(202)에 구비된 축수부(220) 각각에는 잠금부가 설치되는데, 상기 잠금부(100)는 회전 캠(120)의 중심 축부(126)가 축수부에 끼워지고, 각각 홈부(122a)(122b)에 상,하부 링크의 연결봉(142a)(142b)이 끼워져 조립되는 것이다.

다음, 내측 도어(200)에는 외측 도어(300)가 덮어지고, 외측 도어를 관통한 볼트가 볼트결합 돌출부(284)에 체결되는 것으로 조립하고, 상기 중심 축부(126)에 외측 도어(300)로부터 끼워지는 손잡이가 조립된다.

이와 같이 조립된 웨이퍼 캐리어(10)는 웨이퍼를 수납한 상태에서, 도어를 설치한다. 작업자는 회전 캠(120)을 회전시켜 이와 연동하는 상, 하부 링크(140a)(140b)를 내측 도어(200)의 운두부(204) 안쪽으로 이동시킨 상태에서 컨테이너(20)의 개방부(22)에 내측 도어를 끼우고, 회전 캠(120)을 반대 방향으로 회전시켜 상,하부 링크(140a)(140b)가 구멍(240)을 관통하여 걸림홈(24)에 끼워지도록 하여 도어를 고정 설치한다.

물론, 스프링에 의해 자동으로 회전 캠(120)이 회전하여 잠금이 이루어지도록 하는 방식도 있다.

이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명이 속하는 기술 분야의 당업자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예는 모두 예시적인 것이며 한정적인 것이 아닌 것으로서 이해해야만 한다. 본 발명의 범위는 상기 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 등가개념으로부터 도출되는 모두 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.

10 : 웨이퍼 캐리어 20: 컨테이너
100 : 잠금부 120 : 회전 캠
140 : 링크부 200 : 내측도어
202 : 벽체 220 : 축수부
240 : 구멍 260 : 가이드 돌기

Claims

전면에 개방부가 마련되고, 내측 상면 및 바닥면 각각에 걸림홈이 형성된 컨테이너;
상기 컨테이너의 양측 벽에 각각에 설치되는 측면 리테이너와 내측 도어에 설치되는 전방 리테이너를 포함하는 웨이퍼 수납부;
판상의 벽체 테두리에 운두부가 구비되며, 이 운두부를 구성하는 상판과 하판 각각에 구멍이 천공되고, 상기 컨테이너의 안쪽에 위치하는 것으로 상기 벽체의 내측면에 전방 리테이너가 설치되는 요(凹) 형태의 설치 공간이 마련되며, 벽체의 바깥면 양측에는 축수부가 구비되고, 이 축수부의 상부측과 하부측 각각에 가이드 돌기가 구비된 내측 도어;
상기 내측 도어의 운두부에 밀착되어 조립되는 외측 도어;
상기 축수부에 끼워져 회전하는 회전 캠을 구비하고, 이 회전 캠과 연결되어 상,하 연동하는 링크로 구성되며, 상기 링크의 안쪽면에 이동도움부재가 구비된 잠금부;를 포함하고,
상기 내측 도어는 운두부가 컨테이너의 개방부에 안쪽으로 끼워지고, 상기 잠금부의 링크는 내측 도어의 구멍을 관통하여 컨테이너의 걸림홈에 끼워져 잠금이 이루어지며,
상기 이동도움부재는 링크의 안쪽면에 바퀴 또는 베어링으로 이루어진 구름부재로 구성된 것을 더 포함하고,
상기 내측 도어에 구비된 가이드 돌기는 좌우 한 쌍으로 구성되어, 이 좌측 및 우측 가이드 돌기 사이에 잠금부의 링크가 끼워지며, 각각의 가이드 돌기는 2개 이상의 분할편으로 구성되어 각 분할편이 탄성력을 갖도록 하며, 분할편 중 어느 하나의 분할편 단부에 링크의 이탈을 방지하는 걸림턱이 더 구비되되,
상기 내측 도어의 벽체 안쪽면에 요(凹) 형상 성형부를 구비하여 전방 리테이너가 설치되는 설치 공간을 마련하고, 이 설치 공간의 벽면에 좌,우로 2개의 끼움 돌기가 간격으로 두고 돌출되어, 이들 끼움 돌기 사이에 전방 리테이너가 끼워져 고정되도록 하며, 끼움 돌기와 인접하여 전방 리테이너의 이탈을 방지하는 고정돌기가 더 구비되며,
상기 잠금부의 회전캠 안쪽면에 걸이봉을 구비하고, 이 걸이봉에 스프링의 일단이 걸어지며, 스프링의 타단은 내측 도어의 벽체에 고정되는 구성으로, 스프링이 걸이봉을 당겨 회전캠을 복원시키는 것을 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 캐리어.
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