KR101115851B1 - 웨이퍼 캐리어용 도어록 장치 - Google Patents
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Abstract
개시된 웨이퍼 캐리어용 도어록 장치는, 웨이퍼 박스의 개구부에 설치되는 클로징 도어(1)의 내부 좌측 상하방향으로 대칭되게 설치되며, 각각의 마주하는 선단에 연결핀(111)이 형성된 한 쌍의 제1 래치바(110); 상기 한 쌍의 제1 래치바(110) 사이에 회전 가능하게 배치되며, 복수의 결합공(121a)을 갖는 제1 소켓부(121)가 중앙에 형성되고, 상기 제1 소켓부(121)의 외곽에는 상기 제1 소켓부(121)와 가깝게 위치하는 인접단부(122a)와 상기 제1 소켓부(121)와 상대적으로 멀게 위치하는 원접단부(122b)를 갖는 한 쌍의 장형 리세스(122)가 대칭형으로 형성되어 각 장형 리세스(122)에 상기 각 제1 래치바(110)의 연결핀(111)이 삽입되는 제1 캠판(120); 상기 제1 소켓부(121)의 결합공(121a)에 끼움 결합되는 결합돌기(131)를 가지며, 상면 중앙에 키홈(132)이 형성된 제1 키홈 플러그(130); 상기 클로징 도어(1)의 내부 우측 상하방향으로 대칭되게 설치되며, 각각의 마주하는 선단에 연결핀(141)이 형성된 한 쌍의 제2 래치바(140); 상기 한 쌍의 제2 래치바(140) 사이에 회전 가능하게 배치되며, 복수의 결합공(151a)을 갖는 제2 소켓부(151)가 중앙에 형성되고, 상기 제2 소켓부(151)의 외곽에는 상기 제2 소켓부(151)와 가깝게 위치하는 인접단부(152a)와 상기 제2 소켓부(151)와 상대적으로 멀게 위치하는 원접단부(152b)를 갖는 한 쌍의 장형 리세스(152)가 대칭형으로 형성되어 각 장형 리세스(152)에 상기 각 제2 래치바(140)의 연결핀이 삽입되는 제2 캠판(150); 상기 제2 소켓부(151)의 결합공(151a)에 끼움 결합되는 결합돌기(161)를 가지며, 상면 중앙에 키홈(162)이 형성된 제2 키홈 플러그(160); 및 상기 제1,2 래치바(110,140)을 가이드 하기 위해 상기 클로징 도어(1)의 상기 각 제1,2 래치바의 양 옆에 형성되며, 내면에 다수의 돌기(1b)가 형성된 가이드(1a)를 포함하는 웨이퍼 캐리어용 도어록 장치에 있어서,
상기 제1, 2 래치바(110,140)의 후면 중앙에는 상기 클로징 도어(1) 내면과의 마찰계수를 줄이기 위해 무 구름형 바퀴(114,144)가 형성된 것을 더 포함하며,
상기 제1, 2 래치바(110,140)에는 무게 감량과 재료 절감을 위해 다수의 블랭크부(112,142)가 형성되고, 강도 약화를 방지하기 위해 다수의 보강리브(113,143)가 형성된 것을 더 포함하는 것이다.
Description
웨이퍼 박스의 개구부에 설치되는 클로징 도어의 내부 좌측 상하방향으로 대칭되게 설치되며, 각각의 마주하는 선단에 연결핀이 형성된 한 쌍의 제1 래치바; 상기 한 쌍의 제1 래치바 사이에 회전 가능하게 배치되며, 복수의 결합공을 갖는 제1 소켓부가 중앙에 형성되고, 상기 제1 소켓부의 외곽에는 상기 제1 소켓부와 가깝게 위치하는 인접단부와 상기 제1 소켓부와 상대적으로 멀게 위치하는 원접단부를 갖는 한 쌍의 장형 리세스가 대칭형으로 형성되어 각 장형 리세스에 상기 각 제1 래치바의 연결핀이 삽입되는 제1 캠판; 상기 제1 소켓부의 결합공에 끼움 결합되는 결합돌기를 가지며, 상면 중앙에 키홈이 형성된 제1 키홈 플러그; 상기 클로징 도어의 내부 우측 상하방향으로 대칭되게 설치되며, 각각의 마주하는 선단에 연결핀이 형성된 한 쌍의 제2 래치바; 상기 한 쌍의 제2 래치바 사이에 회전 가능하게 배치되며, 복수의 결합공을 갖는 제2 소켓부가 중앙에 형성되고, 상기 제2 소켓부의 외곽에는 상기 제2 소켓부와 가깝게 위치하는 인접단부와 상기 제2 소켓부와 상대적으로 멀게 위치하는 원접단부를 갖는 한 쌍의 장형 리세스가 대칭형으로 형성되어 각 장형 리세스에 상기 각 제2 래치바의 연결핀이 삽입되는 제2 캠판; 상기 제2 소켓부의 결합공에 끼움 결합되는 결합돌기를 가지며, 상면 중앙에 키홈이 형성된 제2 키홈 플러그; 및 상기 제1,2 래치바을 가이드 하기 위해 상기 클로징 도어의 상기 각 제1,2 래치바의 양 옆에 형성되며, 내면에 다수의 돌기가 형성된 가이드를 포함하는 웨이퍼 캐리어용 도어록 장치에 있어서,
상기 제1, 2 래치바의 후면 중앙에는 상기 클로징 도어 내면과의 마찰계수를 줄이기 위해 무 구름형 바퀴가 형성된 것을 더 포함하며,
상기 제1, 2 래치바에는 무게 감량과 재료 절감을 위해 다수의 블랭크부가 형성되고, 강도 약화를 방지하기 위해 다수의 보강리브가 형성된 것을 더 포함하는 것이다.
도 2는 본 발명에 따른 웨이퍼 캐리어용 도어록의 정면도이다.
도 3은 본 발명에 따른 캠판과 키홈 플러그의 분해사시도이다.
도 4는 본 발명에 따른 캠판의 배면 사시도이다.
도 5는 본 발명에 따른 캠판과 래치바와의 관계를 설명하기 위한 사시도이다.
1b : 돌기 100 : 도어록 장치
110 : 제1 래치바 111 : 연결핀
112 : 블랭크부 113 : 보강리브
114 : 바퀴 120 : 제1 캠판
121 : 제1 소켓부 122 : 리세스
123 : 경사리브 130 : 제1 키홈 플러그
131 : 결합돌기 132 : 키홈
140 : 제2 래치바 141 : 연결핀
142 : 블랭크부 143 : 보강리브
144 : 무구름형 바퀴 150 : 제1 캠판
151 : 제1 소켓부 152 : 리세스
153 : 경사리브 160 : 제1 키홈 플러그
161 : 결합돌기 162 : 키홈
Claims (3)
- 웨이퍼 박스의 개구부에 설치되는 클로징 도어(1)의 내부 좌측 상하방향으로 대칭되게 설치되며, 각각의 마주하는 선단에 연결핀(111)이 형성된 한 쌍의 제1 래치바(110);
상기 한 쌍의 제1 래치바(110) 사이에 회전 가능하게 배치되며, 복수의 결합공(121a)을 갖는 제1 소켓부(121)가 중앙에 형성되고, 상기 제1 소켓부(121)의 외곽에는 상기 제1 소켓부(121)와 가깝게 위치하는 인접단부(122a)와 상기 제1 소켓부(121)와 상대적으로 멀게 위치하는 원접단부(122b)를 갖는 한 쌍의 장형 리세스(122)가 대칭형으로 형성되어 각 장형 리세스(122)에 상기 각 제1 래치바(110)의 연결핀(111)이 삽입되는 제1 캠판(120);
상기 제1 소켓부(121)의 결합공(121a)에 끼움 결합되는 결합돌기(131)를 가지며, 상면 중앙에 키홈(132)이 형성된 제1 키홈 플러그(130);
상기 클로징 도어(1)의 내부 우측 상하방향으로 대칭되게 설치되며, 각각의 마주하는 선단에 연결핀(141)이 형성된 한 쌍의 제2 래치바(140);
상기 한 쌍의 제2 래치바(140) 사이에 회전 가능하게 배치되며, 복수의 결합공(151a)을 갖는 제2 소켓부(151)가 중앙에 형성되고, 상기 제2 소켓부(151)의 외곽에는 상기 제2 소켓부(151)와 가깝게 위치하는 인접단부(152a)와 상기 제2 소켓부(151)와 상대적으로 멀게 위치하는 원접단부(152b)를 갖는 한 쌍의 장형 리세스(152)가 대칭형으로 형성되어 각 장형 리세스(152)에 상기 각 제2 래치바(140)의 연결핀이 삽입되는 제2 캠판(150);
상기 제2 소켓부(151)의 결합공(151a)에 끼움 결합되는 결합돌기(161)를 가지며, 상면 중앙에 키홈(162)이 형성된 제2 키홈 플러그(160); 및
상기 제1,2 래치바(110,140)을 가이드 하기 위해 상기 클로징 도어(1)의 상기 각 제1,2 래치바의 양 옆에 형성되며, 내면에 다수의 돌기(1b)가 형성된 가이드(1a)를 포함하는 웨이퍼 캐리어용 도어록 장치에 있어서,
상기 제1, 2 래치바(110,140)의 후면 중앙에는 상기 클로징 도어(1) 내면과의 마찰계수를 줄이기 위해 무 구름형 바퀴(114,144)가 형성된 것을 더 포함하며,
상기 제1, 2 래치바(110,140)에는 무게 감량과 재료 절감을 위해 다수의 블랭크부(112,142)가 형성되고, 강도 약화를 방지하기 위해 다수의 보강리브(113,143)가 형성된 것을 더 포함하는 웨이퍼 캐리어용 도어록장치.
- 제1항에 있어서,
상기 제1, 2 캠판(120,150) 저면의 상기 리세스(122,152) 주변을 따라 경사리브(123,153)가 형성되되, 상기 경사리브(123,153)는 상기 리세스(122,152)의 원접단부(122b,152b)로부터 인접단부(122a,152a)를 향해 점차적으로 높이가 낮아지도록 경사지게 형성된 것을 특징으로 하는 웨이퍼 캐리어용 도어록 장치. - 삭제
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KR1020110051864A KR101115851B1 (ko) | 2011-05-31 | 2011-05-31 | 웨이퍼 캐리어용 도어록 장치 |
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KR1020110051864A KR101115851B1 (ko) | 2011-05-31 | 2011-05-31 | 웨이퍼 캐리어용 도어록 장치 |
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Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101350196B1 (ko) | 2013-06-24 | 2014-01-13 | (주)상아프론테크 | 웨이퍼 캐리어 |
KR20170003851U (ko) * | 2016-05-02 | 2017-11-10 | 청 킹 엔터프라이즈 컴퍼니 리미티드 | 래치기구 및 이를 구비한 웨이퍼 카세트 |
CN116646286A (zh) * | 2023-05-04 | 2023-08-25 | 北京鑫跃微半导体技术有限公司 | 晶圆盒闩锁机构及晶圆盒 |
CN116825689A (zh) * | 2023-08-29 | 2023-09-29 | 芯岛新材料(浙江)有限公司 | 一种盒盖及具有其的晶圆盒 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002368074A (ja) * | 2001-06-07 | 2002-12-20 | Shin Etsu Polymer Co Ltd | 収納容器の蓋体 |
KR20050062348A (ko) * | 2003-12-18 | 2005-06-23 | 미라이얼 가부시키가이샤 | 박판지지용기용 덮개 |
KR20060047220A (ko) * | 2004-04-20 | 2006-05-18 | 신에츠 포리마 가부시키가이샤 | 수납용기 |
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Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002368074A (ja) * | 2001-06-07 | 2002-12-20 | Shin Etsu Polymer Co Ltd | 収納容器の蓋体 |
KR20050062348A (ko) * | 2003-12-18 | 2005-06-23 | 미라이얼 가부시키가이샤 | 박판지지용기용 덮개 |
KR20060047220A (ko) * | 2004-04-20 | 2006-05-18 | 신에츠 포리마 가부시키가이샤 | 수납용기 |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101350196B1 (ko) | 2013-06-24 | 2014-01-13 | (주)상아프론테크 | 웨이퍼 캐리어 |
KR20170003851U (ko) * | 2016-05-02 | 2017-11-10 | 청 킹 엔터프라이즈 컴퍼니 리미티드 | 래치기구 및 이를 구비한 웨이퍼 카세트 |
CN116646286A (zh) * | 2023-05-04 | 2023-08-25 | 北京鑫跃微半导体技术有限公司 | 晶圆盒闩锁机构及晶圆盒 |
CN116646286B (zh) * | 2023-05-04 | 2024-01-30 | 北京鑫跃微半导体技术有限公司 | 晶圆盒闩锁机构及晶圆盒 |
CN116825689A (zh) * | 2023-08-29 | 2023-09-29 | 芯岛新材料(浙江)有限公司 | 一种盒盖及具有其的晶圆盒 |
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