KR101115851B1 - 웨이퍼 캐리어용 도어록 장치 - Google Patents

웨이퍼 캐리어용 도어록 장치 Download PDF

Info

Publication number
KR101115851B1
KR101115851B1 KR1020110051864A KR20110051864A KR101115851B1 KR 101115851 B1 KR101115851 B1 KR 101115851B1 KR 1020110051864 A KR1020110051864 A KR 1020110051864A KR 20110051864 A KR20110051864 A KR 20110051864A KR 101115851 B1 KR101115851 B1 KR 101115851B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
latch bars
pair
cam plate
center
latch
Prior art date
Application number
KR1020110051864A
Other languages
English (en)
Inventor
이강성
임이택
우병찬
Original Assignee
(주)상아프론테크
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by (주)상아프론테크 filed Critical (주)상아프론테크
Priority to KR1020110051864A priority Critical patent/KR101115851B1/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR101115851B1 publication Critical patent/KR101115851B1/ko

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/673Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
    • H01L21/6735Closed carriers
    • H01L21/67386Closed carriers characterised by the construction of the closed carrier
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/673Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
    • H01L21/6735Closed carriers
    • H01L21/67373Closed carriers characterised by locking systems

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)

Abstract

웨이퍼 캐리어용 도어록 장치가 개시되어 있다.
개시된 웨이퍼 캐리어용 도어록 장치는, 웨이퍼 박스의 개구부에 설치되는 클로징 도어(1)의 내부 좌측 상하방향으로 대칭되게 설치되며, 각각의 마주하는 선단에 연결핀(111)이 형성된 한 쌍의 제1 래치바(110); 상기 한 쌍의 제1 래치바(110) 사이에 회전 가능하게 배치되며, 복수의 결합공(121a)을 갖는 제1 소켓부(121)가 중앙에 형성되고, 상기 제1 소켓부(121)의 외곽에는 상기 제1 소켓부(121)와 가깝게 위치하는 인접단부(122a)와 상기 제1 소켓부(121)와 상대적으로 멀게 위치하는 원접단부(122b)를 갖는 한 쌍의 장형 리세스(122)가 대칭형으로 형성되어 각 장형 리세스(122)에 상기 각 제1 래치바(110)의 연결핀(111)이 삽입되는 제1 캠판(120); 상기 제1 소켓부(121)의 결합공(121a)에 끼움 결합되는 결합돌기(131)를 가지며, 상면 중앙에 키홈(132)이 형성된 제1 키홈 플러그(130); 상기 클로징 도어(1)의 내부 우측 상하방향으로 대칭되게 설치되며, 각각의 마주하는 선단에 연결핀(141)이 형성된 한 쌍의 제2 래치바(140); 상기 한 쌍의 제2 래치바(140) 사이에 회전 가능하게 배치되며, 복수의 결합공(151a)을 갖는 제2 소켓부(151)가 중앙에 형성되고, 상기 제2 소켓부(151)의 외곽에는 상기 제2 소켓부(151)와 가깝게 위치하는 인접단부(152a)와 상기 제2 소켓부(151)와 상대적으로 멀게 위치하는 원접단부(152b)를 갖는 한 쌍의 장형 리세스(152)가 대칭형으로 형성되어 각 장형 리세스(152)에 상기 각 제2 래치바(140)의 연결핀이 삽입되는 제2 캠판(150); 상기 제2 소켓부(151)의 결합공(151a)에 끼움 결합되는 결합돌기(161)를 가지며, 상면 중앙에 키홈(162)이 형성된 제2 키홈 플러그(160); 및 상기 제1,2 래치바(110,140)을 가이드 하기 위해 상기 클로징 도어(1)의 상기 각 제1,2 래치바의 양 옆에 형성되며, 내면에 다수의 돌기(1b)가 형성된 가이드(1a)를 포함하는 웨이퍼 캐리어용 도어록 장치에 있어서,
상기 제1, 2 래치바(110,140)의 후면 중앙에는 상기 클로징 도어(1) 내면과의 마찰계수를 줄이기 위해 무 구름형 바퀴(114,144)가 형성된 것을 더 포함하며,
상기 제1, 2 래치바(110,140)에는 무게 감량과 재료 절감을 위해 다수의 블랭크부(112,142)가 형성되고, 강도 약화를 방지하기 위해 다수의 보강리브(113,143)가 형성된 것을 더 포함하는 것이다.

Description

웨이퍼 캐리어용 도어록 장치{door-lock apparatus wafer carrier}
본 발명은 웨이퍼 캐리어용 도어록 장치에 관한 것이다.
특히, 캠판과 키홈이 분리 구조로 되어 있어서 다른 크기의 키홈이 요구되는 경우에 교체 가능함으로써 호환성을 향상시킨 웨이퍼 캐리어용 도어록 장치에 관한 것이다.
전형적으로, 반도체 웨이퍼가 최종 전자 부품화 되기 위해서는 많은 처리 단계가 필요하다.
웨이퍼는 고가이며, 극도로 민감하고, 물리적인 충격에 의해 손상되기 쉬우므로 특수한 용기인 웨이퍼 캐리어에 수납된 채 처리, 취급 및 이송되어야 한다. 이러한 웨이퍼 캐리어는 웨이퍼의 수납을 위해 불가결하게 개구부를 가질 수밖에 없으며, 개구부를 그대로 방치하면 웨이퍼 박스의 내부로 오염원이 유입될 수 있으므로 클로징 도어에 의해 밀봉하게 된다.
클로징 도어의 도어록은, 예컨대, 웨이퍼 박스의 개구부 상하측에 형성되는 록킹홈, 클로징 도어에 설치되며 장형의 리세스가 형성되고 키(key)가 꼽히는 키홈을 갖는 캠판, 캠판의 리세스에 결합된 채 캠판의 정방향 또는 역방향 회전에 연동하여 상하로 각각 직선 운동되는 래치바로 구성되어 있다.
이러한 구성에 따라 키에 의한 캠판의 회전방향에 따라 래치바가 연동하여 상기 록킹홈에 진입되면 클로징 도어가 록킹되고, 반대로 래치바가 록킹홈으로부터 이탈되면 클로징 도어의 록킹이 해제되는 것이다.
그러나, 종래의 도어록은, 캠판과 키홈이 일체로 형성되어 있어서 키의 크기가 달라지는 경우 캠판 전체를 교체해야 하는 문제점이 있었다. 특히, 키의 크기가 달라지는 경우 키의 크기에 부합되는 키홈이 형성된 캠판을 새로이 제작해야 하므로 경제적이지 못하였다.
또한, 종래의 도어록은, 래치바를 홀딩하기 위한 구조가 없어서 록킹시 유동이 심하여 이탈의 우려가 있으며, 록킹상태가 불량한 경우도 발생하게 된다.
본 발명의 주요 목적은, 상기한 종래의 문제점을 해결하기 위해, 캠판과 키홈을 분리구조로 하여 다른 크기의 키홈이 요구되는 경우에 키홈 부위만을 교체하여 사용할 수 있도록 함으로써 호환성을 향상시킨 웨이퍼 캐리어용 도어록 장치를 제공함에 있다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 웨이퍼 캐리어용 도어록 장치는,
웨이퍼 박스의 개구부에 설치되는 클로징 도어의 내부 좌측 상하방향으로 대칭되게 설치되며, 각각의 마주하는 선단에 연결핀이 형성된 한 쌍의 제1 래치바; 상기 한 쌍의 제1 래치바 사이에 회전 가능하게 배치되며, 복수의 결합공을 갖는 제1 소켓부가 중앙에 형성되고, 상기 제1 소켓부의 외곽에는 상기 제1 소켓부와 가깝게 위치하는 인접단부와 상기 제1 소켓부와 상대적으로 멀게 위치하는 원접단부를 갖는 한 쌍의 장형 리세스가 대칭형으로 형성되어 각 장형 리세스에 상기 각 제1 래치바의 연결핀이 삽입되는 제1 캠판; 상기 제1 소켓부의 결합공에 끼움 결합되는 결합돌기를 가지며, 상면 중앙에 키홈이 형성된 제1 키홈 플러그; 상기 클로징 도어의 내부 우측 상하방향으로 대칭되게 설치되며, 각각의 마주하는 선단에 연결핀이 형성된 한 쌍의 제2 래치바; 상기 한 쌍의 제2 래치바 사이에 회전 가능하게 배치되며, 복수의 결합공을 갖는 제2 소켓부가 중앙에 형성되고, 상기 제2 소켓부의 외곽에는 상기 제2 소켓부와 가깝게 위치하는 인접단부와 상기 제2 소켓부와 상대적으로 멀게 위치하는 원접단부를 갖는 한 쌍의 장형 리세스가 대칭형으로 형성되어 각 장형 리세스에 상기 각 제2 래치바의 연결핀이 삽입되는 제2 캠판; 상기 제2 소켓부의 결합공에 끼움 결합되는 결합돌기를 가지며, 상면 중앙에 키홈이 형성된 제2 키홈 플러그; 및 상기 제1,2 래치바을 가이드 하기 위해 상기 클로징 도어의 상기 각 제1,2 래치바의 양 옆에 형성되며, 내면에 다수의 돌기가 형성된 가이드를 포함하는 웨이퍼 캐리어용 도어록 장치에 있어서,
상기 제1, 2 래치바의 후면 중앙에는 상기 클로징 도어 내면과의 마찰계수를 줄이기 위해 무 구름형 바퀴가 형성된 것을 더 포함하며,
상기 제1, 2 래치바에는 무게 감량과 재료 절감을 위해 다수의 블랭크부가 형성되고, 강도 약화를 방지하기 위해 다수의 보강리브가 형성된 것을 더 포함하는 것이다.
삭제
삭제
이상의 본 발명은, 캠판과 키홈을 분리구조로 함으로써 다른 크기의 키홈이 요구되는 경우 키홈만 따로 분리하여 교체하면되므로 캠판 전체를 교체해야 했던 기존과 비교하여 경제적이다.
또한, 캠판이 래치바를 누르는 작용을 함에 따라 래치바의 유동을 줄일 수 있어 견고한 록킹력을 발휘할 수 있다.
또한, 측면가이드의 내면에 돌기를 형성함에 따라 래치바와의 마찰계수를 줄일 수 있어 소음 및 조기마모의 문제들을 해소할 수 있다.
도 1은 본 발명에 따른 웨이퍼 캐리어용 도어록 장치의 조립사시도이다.
도 2는 본 발명에 따른 웨이퍼 캐리어용 도어록의 정면도이다.
도 3은 본 발명에 따른 캠판과 키홈 플러그의 분해사시도이다.
도 4는 본 발명에 따른 캠판의 배면 사시도이다.
도 5는 본 발명에 따른 캠판과 래치바와의 관계를 설명하기 위한 사시도이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명한다.
도 1은 본 발명에 따른 웨이퍼 캐리어용 도어록 장치의 조립사시도이고, 도 2는 본 발명에 따른 웨이퍼 캐리어용 도어록의 정면도이다.
도 1, 2를 참조하면, 본 발명의 웨이퍼 캐리어용 도어록 장치(100)는 웨이퍼 박스(미도시)의 개구부에 클로징 도어(1)를 록킹(locking) 하기 위한 것으로서, 클로징 도어(1)의 좌측에 제1 유닛이 배치되고, 우측에 동일한 구성의 제2 유닛이 배치된다. 도 2의 좌우 도면에서 대비되어 있듯이, 제1 유닛과 제2 유닛의 캠판을 동일방향으로 회전시킴에 따라 이에 연동하여 각각의 래치바가 직선운동되면서 록킹 및 록킹해제가 이루어지게 된다.
이러한 도어록 장치(100)의 구성을 구체화하면, 제1 래치바(110), 제1 캠판(120), 제1 키홈 플러그(130), 제2 래치바(140), 제2 캠판(150) 및 제2 키홈 플러그(160)를 포함한다.
제1 래치바(110)는 도 3에서와 같이, 상기 클로징 도어(1)의 내부 좌측 상하방향으로 한 쌍이 설치되며, 각각의 마주하는 선단에는 연결핀(111)이 형성된다.
여기서, 상기 제1 래치바(110)는 두께를 얇게 구성함과 아울러 곳곳에 블랭크부(112)를 두어서 최대한 재료를 절감하였으나, 강도약화를 우려하여 다수의 보강리브(113)를 형성하였다.
또한, 상기 제1 래치바(110)는 도 2에서와 같이, 옳바른 직선운동을 유도하기 위해, 상기 클로징 도어(1)와 일체로 되는 측면 가이드(1a)에 의해 양 측면이 지지되고 있다. 이때, 상기 측면 가이드(1a)의 제1 래치바(110)와의 접촉면에는 다수의 돌기(1b)를 형성하여 측면 가이드(1a)와 제1 래치바(110)와의 마찰계수를 줄일 수 있게 하였다. 이에 따라, 제1 래치바(110)의 동작에 대한 정확도 및 원활성을 확보할 수 있으며, 조기마모의 문제점도 해결할 수 있다.
또한, 다시 도 3을 참조하면, 상기 제1 래치바(110)의 후면 중앙에는 직선운동시 상기 클로징 도어(1)의 내면과 접촉됨을 고려하여, 마찰계수의 감쇠를 위해 반원형의 무구름형 바퀴(114)가 일체로 형성될 수 있다.
한편, 제1 캠판(120)은 상기한 한 쌍의 제1 래치바(110) 사이에 회전 가능하게 배치된다.
제1 캠판(120)은 도 4에서와 같이, 원판형상으로 되며, 그 중앙에는 복수의 결합공(121a)을 갖는 제1 소켓부(121)가 일체로 형성된다.
또한, 제1 캠판(120)에는 상기 제1 소켓부(121)의 외곽에 상기 제1 소켓부(121)와 가깝게 위치하는 인접단부(122a)와, 상기 제1 소켓부(121)와 상대적으로 멀게 위치하는 원접단부(122b)를 갖는 한 쌍의 장형 리세스(122)가 대칭으로 형성된다. 상기 각 장형 리세스(122)에는 상기 각 제1 래치바(110)의 연결핀(111)이 삽입된다.
또한, 제1 캠판(120)의 저면에는 상기 리세스(122) 주변을 따라 경사리브(123)가 형성된다. 상기 경사리브(123)는 상기 리세스(122)의 원접단부(122b)로부터 인접단부(122a)를 향해 점차적으로 그 높이가 낮아지도록 경사지게 형성된다.
여기서, 상기 경사리브(123)는, 제1 캠판(120)을 일방향으로 회전시켜서 상기 제1 래치바(110)의 연결핀(111)이 제1 캠판(120)의 인접단부(122a)와 접촉된 상태로부터 원접단부(122b)에 접촉되도록 하였을 때, 도 5의 좌측도면에서 보듯이, 상기 경사리브(123)의 최고지점(hp)이 제1 래치바(110)의 표면에 올라타면서 누르게 됨으로써 제1 래치바(110)의 비정상적 유동을 방지하는 역할을 한다. 또한, 경사리브(123)는 그 밑면이 경사지게 형성되어 있으므로 경사리브(123)가 제1 래치바(110)의 표면에 올라타거나 또는 내려갈 때 원활성을 확보할 수 있다.
제1 키홈 플러그(130)는 상기 제1 소켓부(121)의 결합공(121a)에 끼움 결합되는 결합돌기(131)를 갖는다. 또한, 제1 키홈 플러그(130)는 그 상면 중앙에 도 1에 도시된 키(2)가 삽입되는 키홈(132)이 형성되어 있다.
이와 같이, 제1 키홈 플러그(130)를 제1 캠판(120)과 결합하는 방식으로 구성함에 따라 제1 키홈 플러그(130)에 형성된 키홈(132)이 원하는 사이즈가 아닌 더 크거나 작은 경우에는 그에 맞는 키홈이 형성된 다른 제1 키홈 플러그로 교체하기가 수월하다.
한편, 후술될 제2 래치바(140), 제2 캠판(150) 및 제2 키홈 플러그(160)은 앞선 제1 래치바(110), 제1 캠판(120) 및 제1 키홈 플러그(130)과 동일한 구성이어서 중복 설명될 수 있으나, 명확성을 더하기 위해 설명하기로 한다.
상기 제2 래치바(140)는 도 3에서와 같이, 상기 클로징 도어(1)의 내부 좌측 상하방향으로 한 쌍이 설치되며, 각각의 마주하는 선단에는 연결핀(141)이 형성된다.
여기서, 상기 제2 래치바(140)는 두께를 얇게 구성함과 아울러 곳곳에 블랭크부(142)를 두어서 최대한 재료를 절감하였으나, 강도약화를 우려하여 다수의 보강리브(143)를 형성하였다.
또한, 상기 제2 래치바(110)는 도 2에서와 같이, 옳바른 직선운동을 유도하기 위해, 상기 클로징 도어(1)와 일체로 되는 측면 가이드(1a)에 의해 양 측면이 지지되고 있다. 이때, 상기 측면 가이드(1a)의 제2 래치바(140)와의 접촉면에는 다수의 돌기(1b)를 형성하여 측면 가이드(1a)와 제2 래치바(140)와의 마찰계수를 줄일 수 있게 하였다. 이에 따라, 제2 래치바(140)의 동작에 대한 정확도 및 원활성을 확보할 수 있으며, 조기마모의 문제점도 해결할 수 있다.
또한, 다시 도 3을 참조하면, 상기 제2 래치바(140)의 후면 중앙에는 직선운동시 상기 클로징 도어(1)의 내면과 접촉됨을 고려하여, 마찰계수의 감쇠를 위해 반원형의 무구름형 바퀴(144)가 일체로 형성될 수 있다.
한편, 제2 캠판(150)은 상기한 한 쌍의 제2 래치바(140) 사이에 회전 가능하게 배치된다.
제2 캠판(150)은 도 4에서와 같이, 원판형상으로 되며, 그 중앙에는 복수의 결합공(151a)을 갖는 제2 소켓부(151)가 일체로 형성된다.
또한, 제2 캠판(150)에는 상기 제2 소켓부(151)의 외곽에 상기 제2 소켓부(151)와 가깝게 위치하는 인접단부(152a)와, 상기 제2 소켓부(151)와 상대적으로 멀게 위치하는 원접단부(152b)를 갖는 한 쌍의 장형 리세스(152)가 대칭으로 형성된다. 상기 각 장형 리세스(152)에는 상기 각 제2 래치바(140)의 연결핀(141)이 삽입된다.
또한, 제2 캠판(150)의 저면에는 상기 리세스(152) 주변을 따라 경사리브(153)가 형성된다. 상기 경사리브(153)는 상기 리세스(152)의 원접단부(152b)로부터 인접단부(152a)를 향해 점차적으로 그 높이가 낮아지도록 경사지게 형성된다.
여기서, 상기 경사리브(153)는, 제2 캠판(150)을 일방향으로 회전시켜서 상기 제2 래치바(140)의 연결핀(141)이 제2 캠판(150)의 인접단부(152a)와 접촉된 상태로부터 원접단부(152b)에 접촉되도록 하였을 때, 도 5의 좌측도면에서 보듯이, 상기 경사리브(153)의 최고지점(hp)이 제2 래치바(140)의 표면에 올라타면서 누르게 됨으로써 제2 래치바(140)의 비정상적 유동을 방지하는 역할을 한다. 또한, 경사리브(153)는 그 밑면이 경사지게 형성되어 있으므로 경사리브(153)가 제2 래치바(140)의 표면에 올라타거나 또는 내려갈 때 원활성을 확보할 수 있다.
제2 키홈 플러그(160)는 상기 제2 소켓부(151)의 결합공(151a)에 끼움 결합되는 결합돌기(161)를 갖는다. 또한, 제2 키홈 플러그(160)는 그 상면 중앙에 도 1에 도시된 키(2)가 삽입되는 키홈(162)이 형성되어 있다.
이와 같이, 제2 키홈 플러그(160)를 제2 캠판(150)과 결합하는 방식으로 구성함에 따라 제2 키홈 플러그(160)에 형성된 키홈(162)이 원하는 사이즈가 아닌 더 크거나 작은 경우에는 그에 맞는 키홈이 형성된 다른 제1 키홈 플러그로 교체하기가 수월하다.
이상의 본 발명은, 상술한 실시예에 한정되는 것이 아니라 첨부된 특허청구범위 내에서 다양한 형태의 실시 예로 구현될 수 있다. 특허청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 변형 가능한 다양한 범위까지 본 발명의 청구범위 기재의 범위 내에 있는 것으로 본다.
1 : 클로징 도어 1a : 측면 가이드
1b : 돌기 100 : 도어록 장치
110 : 제1 래치바 111 : 연결핀
112 : 블랭크부 113 : 보강리브
114 : 바퀴 120 : 제1 캠판
121 : 제1 소켓부 122 : 리세스
123 : 경사리브 130 : 제1 키홈 플러그
131 : 결합돌기 132 : 키홈
140 : 제2 래치바 141 : 연결핀
142 : 블랭크부 143 : 보강리브
144 : 무구름형 바퀴 150 : 제1 캠판
151 : 제1 소켓부 152 : 리세스
153 : 경사리브 160 : 제1 키홈 플러그
161 : 결합돌기 162 : 키홈

Claims (3)

  1. 웨이퍼 박스의 개구부에 설치되는 클로징 도어(1)의 내부 좌측 상하방향으로 대칭되게 설치되며, 각각의 마주하는 선단에 연결핀(111)이 형성된 한 쌍의 제1 래치바(110);
    상기 한 쌍의 제1 래치바(110) 사이에 회전 가능하게 배치되며, 복수의 결합공(121a)을 갖는 제1 소켓부(121)가 중앙에 형성되고, 상기 제1 소켓부(121)의 외곽에는 상기 제1 소켓부(121)와 가깝게 위치하는 인접단부(122a)와 상기 제1 소켓부(121)와 상대적으로 멀게 위치하는 원접단부(122b)를 갖는 한 쌍의 장형 리세스(122)가 대칭형으로 형성되어 각 장형 리세스(122)에 상기 각 제1 래치바(110)의 연결핀(111)이 삽입되는 제1 캠판(120);
    상기 제1 소켓부(121)의 결합공(121a)에 끼움 결합되는 결합돌기(131)를 가지며, 상면 중앙에 키홈(132)이 형성된 제1 키홈 플러그(130);
    상기 클로징 도어(1)의 내부 우측 상하방향으로 대칭되게 설치되며, 각각의 마주하는 선단에 연결핀(141)이 형성된 한 쌍의 제2 래치바(140);
    상기 한 쌍의 제2 래치바(140) 사이에 회전 가능하게 배치되며, 복수의 결합공(151a)을 갖는 제2 소켓부(151)가 중앙에 형성되고, 상기 제2 소켓부(151)의 외곽에는 상기 제2 소켓부(151)와 가깝게 위치하는 인접단부(152a)와 상기 제2 소켓부(151)와 상대적으로 멀게 위치하는 원접단부(152b)를 갖는 한 쌍의 장형 리세스(152)가 대칭형으로 형성되어 각 장형 리세스(152)에 상기 각 제2 래치바(140)의 연결핀이 삽입되는 제2 캠판(150);
    상기 제2 소켓부(151)의 결합공(151a)에 끼움 결합되는 결합돌기(161)를 가지며, 상면 중앙에 키홈(162)이 형성된 제2 키홈 플러그(160); 및
    상기 제1,2 래치바(110,140)을 가이드 하기 위해 상기 클로징 도어(1)의 상기 각 제1,2 래치바의 양 옆에 형성되며, 내면에 다수의 돌기(1b)가 형성된 가이드(1a)를 포함하는 웨이퍼 캐리어용 도어록 장치에 있어서,
    상기 제1, 2 래치바(110,140)의 후면 중앙에는 상기 클로징 도어(1) 내면과의 마찰계수를 줄이기 위해 무 구름형 바퀴(114,144)가 형성된 것을 더 포함하며,
    상기 제1, 2 래치바(110,140)에는 무게 감량과 재료 절감을 위해 다수의 블랭크부(112,142)가 형성되고, 강도 약화를 방지하기 위해 다수의 보강리브(113,143)가 형성된 것을 더 포함하는 웨이퍼 캐리어용 도어록장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 제1, 2 캠판(120,150) 저면의 상기 리세스(122,152) 주변을 따라 경사리브(123,153)가 형성되되, 상기 경사리브(123,153)는 상기 리세스(122,152)의 원접단부(122b,152b)로부터 인접단부(122a,152a)를 향해 점차적으로 높이가 낮아지도록 경사지게 형성된 것을 특징으로 하는 웨이퍼 캐리어용 도어록 장치.
  3. 삭제
KR1020110051864A 2011-05-31 2011-05-31 웨이퍼 캐리어용 도어록 장치 KR101115851B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020110051864A KR101115851B1 (ko) 2011-05-31 2011-05-31 웨이퍼 캐리어용 도어록 장치

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020110051864A KR101115851B1 (ko) 2011-05-31 2011-05-31 웨이퍼 캐리어용 도어록 장치

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR101115851B1 true KR101115851B1 (ko) 2012-02-28

Family

ID=45840469

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020110051864A KR101115851B1 (ko) 2011-05-31 2011-05-31 웨이퍼 캐리어용 도어록 장치

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR101115851B1 (ko)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101350196B1 (ko) 2013-06-24 2014-01-13 (주)상아프론테크 웨이퍼 캐리어
KR20170003851U (ko) * 2016-05-02 2017-11-10 청 킹 엔터프라이즈 컴퍼니 리미티드 래치기구 및 이를 구비한 웨이퍼 카세트
CN116646286A (zh) * 2023-05-04 2023-08-25 北京鑫跃微半导体技术有限公司 晶圆盒闩锁机构及晶圆盒
CN116825689A (zh) * 2023-08-29 2023-09-29 芯岛新材料(浙江)有限公司 一种盒盖及具有其的晶圆盒

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002368074A (ja) * 2001-06-07 2002-12-20 Shin Etsu Polymer Co Ltd 収納容器の蓋体
KR20050062348A (ko) * 2003-12-18 2005-06-23 미라이얼 가부시키가이샤 박판지지용기용 덮개
KR20060047220A (ko) * 2004-04-20 2006-05-18 신에츠 포리마 가부시키가이샤 수납용기

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002368074A (ja) * 2001-06-07 2002-12-20 Shin Etsu Polymer Co Ltd 収納容器の蓋体
KR20050062348A (ko) * 2003-12-18 2005-06-23 미라이얼 가부시키가이샤 박판지지용기용 덮개
KR20060047220A (ko) * 2004-04-20 2006-05-18 신에츠 포리마 가부시키가이샤 수납용기

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101350196B1 (ko) 2013-06-24 2014-01-13 (주)상아프론테크 웨이퍼 캐리어
KR20170003851U (ko) * 2016-05-02 2017-11-10 청 킹 엔터프라이즈 컴퍼니 리미티드 래치기구 및 이를 구비한 웨이퍼 카세트
CN116646286A (zh) * 2023-05-04 2023-08-25 北京鑫跃微半导体技术有限公司 晶圆盒闩锁机构及晶圆盒
CN116646286B (zh) * 2023-05-04 2024-01-30 北京鑫跃微半导体技术有限公司 晶圆盒闩锁机构及晶圆盒
CN116825689A (zh) * 2023-08-29 2023-09-29 芯岛新材料(浙江)有限公司 一种盒盖及具有其的晶圆盒

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101115851B1 (ko) 웨이퍼 캐리어용 도어록 장치
TWI599526B (zh) Substrate storage container
US20100018267A1 (en) Rekeyable lock cylinder, plug assembly of the same and method for rekeying the same
JP5243416B2 (ja) キー及びディスク・タンブラ型シリンダ錠
US20090188286A1 (en) Cylinder Lock With Panel Tumblers and Key for the Lock
US20110226027A1 (en) Rekeyable lock cylinder
TWI579517B (zh) 冰箱
US9228374B2 (en) Lock structure and guidance mechanism thereof
CN102725469B (zh) 盘形制动拴圆筒锁及钥匙组合
KR101437351B1 (ko) 박판수납용기용 도어
TW201719001A (zh) 用於保護動力電動切換設備和使用者的機械門互鎖裝置
JP6389157B2 (ja) シリンダ錠
JP6442936B2 (ja) カバー開閉構造
JP5918936B2 (ja) 基板収納容器
KR20150106890A (ko) 열쇠 블레이드 안에 배치된 가동 요소를 가진 열쇠
JP5180867B2 (ja) 基板収納容器
KR200448493Y1 (ko) 금고용 록킹장치
US20130319057A1 (en) Novel anti-theft lockset
CN211647703U (zh) 锁具和单车
EP2631399A2 (en) Latch assembly and latchbolt
CN105947647A (zh) 一种货物止动装置
CA2990820C (en) Door lock and method of installation and un-installation of the same
US20200131801A1 (en) Latch Guiding And Coupling Device
CN214835681U (zh) 保险柜及柜门应急锁装置
TW201410953A (zh) 圓筒鎖

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
A302 Request for accelerated examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20150205

Year of fee payment: 4

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20160126

Year of fee payment: 5

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20170110

Year of fee payment: 6

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20180118

Year of fee payment: 7

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20190207

Year of fee payment: 8

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20200206

Year of fee payment: 9