KR20170003851U - 래치기구 및 이를 구비한 웨이퍼 카세트 - Google Patents

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KR20170003851U
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plate portion
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KR2020170001124U
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지-마오 쟝
밍-롱 츄
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청 킹 엔터프라이즈 컴퍼니 리미티드
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Abstract

도어 바디 내부에 설치되어 도어 바디를 카세트 바디에 잠금 고정시키는 래치기구에 있어서, 래치기구는 지지부재, 래치부재 및 캠부재를 포함하고, 지지부재는 도어 바디 내부에 설치되고, 래치부재는 판체 및 적어도 하나의 접촉부를 포함하고, 판체는 후측면, 지지판부 및 연결판부를 포함하고, 접촉부는 후측면에 설치되어 지지판부에 인접하고, 접촉부는 지지부재에 접촉하면서 지지부재에 의해 앞으로 지지되고, 지지부재와 접촉부 중 하나는 롤러이고 다른 하나는 볼록체이고, 볼록체는 롤러에 접촉하는 경사면이 구비되고, 캠부재는 도어 바디에 회전 가능하게 피벗 연결되어 연결판부에 연결되고, 캠부재는 접촉부가 지지부재에 의해 앞으로 지지되는 잠금고정 위치로 래치부재를 슬라이딩시켜, 지지판부가 카세트 바디의 전면 에지에 지지되도록 한다.

Description

래치기구 및 이를 구비한 웨이퍼 카세트{LATCH MECHANISM AND WAFER CASSETTE HAVING THE SAME}
본 고안은 웨이퍼 카세트에 관한 것으로, 특히 래치기구 및 이를 구비한 웨이퍼 카세트에 관한 것이다.
종래의 웨이퍼 카세트는 카세트 바디, 카세트 바디에 부착되어 있는 도어 바디 및 도어 바디를 카세트 바디에 잠금 고정시키도록 도어 바디에 설치되는 래치기구를 포함한다. 래치기구의 롤러를 회전시키는 것을 통해 래치부재를 슬라이딩시켜 카세트 바디의 걸림홈 내부에 걸리도록 하여, 도어 바디를 카세트 바디에 잠금 고정시킬 수 있다.
그러나, 종래의 래치기구 중 각 부품들은 작동과정에서 상호간의 마찰에 의해 먼지가 쉽게 생기므로, 카세트 바디 내부에 배치된 웨이퍼를 오염시키기 쉽고, 또한, 각 부품은 설계 또는 제조 시 발생하는 공차 및 사용 시 발생하는 마모 등 요인에 의해 간극이 형성되어, 잠금 고정 동작 시 래치부재가 걸림홈 내부에 완전히 정확하게 걸리지 못하는 상황이 발생할 수 있어, 사용 시 불편함 외에도, 더욱이 조작 신뢰성을 저하시킨다.
따라서, 본 고안의 목적은, 래치부재가 슬라이딩하는 과정에서 발생하는 마찰을 줄여, 마찰에 의해 생기는 먼지를 감소시킴으로써, 웨이퍼 카세트 내의 웨이퍼가 먼지에 의해 오염되는 것을 방지할 수 있는, 래치기구를 제공하는 것이다.
따라서, 본 고안의 래치기구는 도어 바디 내부에 설치되어 상기 도어 바디를 카세트 바디에 잠금 고정시키고, 상기 래치기구는 지지부재, 래치부재 및 캠부재를 포함한다.
지지부재는 상기 도어 바디 내부에 설치되고, 래치부재는 상기 도어 바디에 슬라이딩 가능하게 연결되는 판체 및 적어도 하나의 접촉부를 포함하고, 상기 판체는 상기 지지부재의 전방에 이격되게 위치한 후측면, 지지판부 및 상기 지지판부와 반대되는 연결판부를 포함하고, 상기 접촉부는 상기 후측면에 설치되어 상기 지지판부에 인접하고, 상기 접촉부는 상기 지지부재에 접촉하면서 상기 지지부재에 의해 앞으로 지지되고, 상기 지지부재와 상기 접촉부 중 하나는 롤러이고 다른 하나는 볼록체이고, 상기 볼록체는 상기 롤러에 접촉하는 경사면이 구비되고, 캠부재는 상기 도어 바디에 회전 가능하게 피벗 연결되어 상기 연결판부에 연결되고, 상기 캠부재는 상기 래치부재를 상기 접촉부가 상기 지지부재에 의해 앞으로 지지되는 잠금고정 위치로 슬라이딩시켜 상기 지지판부가 상기 카세트 바디의 전면 에지에 지지되도록 한다.
상기 지지부재는 상기 롤러이고 상기 도어 바디에 피벗 연결되고, 상기 래치부재는 상기 후측면에 설치되어 서로 이격 배치된 복수 개의 접촉부를 포함하고, 각 상기 접촉부는 상기 볼록체이고 상기 후측면에 돌출 설치된다.
상기 래치부재는 상기 판체에 설치된 제1 탄성아암을 더 포함하고, 상기 제1 탄성아암은 접촉부를 상기 지지부재 방향으로 편향 가압하도록 상기 도어 바디에 가압된다.
상기 판체는 전측면을 더 포함하고, 상기 제1 탄성아암은 상기 전측면에 돌출 연장되고, 상기 제1 탄성아암은 상기 도어 바디에 가압되는 제1 가압면을 포함한다.
상기 캠부재는 적어도 하나의 위치결정용 오목홈이 형성되고, 상기 래치부재는 상기 전측면에 돌출 설치되어 상기 연결판부에 위치하는 위치결정용 걸림블록을 더 포함하고, 상기 위치결정용 걸림블록은 상기 위치결정용 오목홈에 걸려 상기 래치부재를 상기 잠금고정 위치에 위치시킨다.
상기 캠부재는 상기 연결판부 전방에 이격되게 위치하는 원판체 및 상기 원판체 후측에 돌출 설치된 푸시블록을 포함하고, 상기 푸시블록은 상기 위치결정용 걸림블록을 푸시하는 나선곡면을 포함하고, 상기 나선곡면은 상기 위치결정용 오목홈이 형성되어 있고, 상기 푸시블록은 상기 나선곡면에 의해 상기 원판체 방향으로 함몰되어 상기 위치결정용 오목홈과 연통되는 적어도 하나의 호형홈이 형성되어 있고, 상기 호형홈의 연장방향은 상기 나선곡면의 연장방향과 동일하다.
상기 래치부재는 상기 후측면에 돌출 설치되어 상기 연결판부에 위치하는 제2 탄성아암을 더 포함하고, 상기 제2 탄성아암은 상기 위치결정용 걸림블록을 상기 캠부재 방향으로 편향 가압하고, 상기 제2 탄성아암은 상기 도어 바디에 가압되는 제2 가압면을 포함한다.
본 고안의 다른 목적은, 래치부재가 슬라이딩하는 과정에서 발생하는 마찰을 감소시켜, 마찰에 의해 생기는 먼지를 감소시킴으로써, 웨이퍼 카세트 내의 웨이퍼가 먼지에 의해 오염되는 것을 방지하는, 래치기구가 구비된 웨이퍼 카세트를 제공하는 것이다.
따라서, 본 고안의 래치기구가 구비된 웨이퍼 카세트는 카세트 바디 및 도어를 포함한다.
카세트 바디는 적어도 하나의 걸림홈이 형성되어 있고, 상기 카세트 바디는 상기 걸림홈 전측에 위치한 전면 에지를 포함하고, 도어는 도어 바디 및 래치기구를 포함하고, 도어 바디는 수용공간 및 상기 수용공간과 연통되는 적어도 하나의 개공이 형성되고, 상기 개공과 상기 걸림홈은 연통되고, 래치기구는 상기 수용공간 내부에 설치되고 또한 지지부재, 래치부재 및 캠부재를 포함하고, 상기 지지부재는 상기 도어 바디에 설치되어 상기 개공에 인접하고, 상기 래치부재는 상기 도어 바디에 슬라이딩 가능하게 연결되는 판체 및 적어도 하나의 접촉부를 포함하고, 상기 판체는 상기 지지부재 전방에 이격되게 위치하는 후측면, 상기 개공 내부에 관통 설치되는 지지판부 및 상기 지지판부와 반대되는 연결판부를 포함하고, 상기 접촉부는 상기 후측면에 설치되어 상기 지지판부에 인접하고, 상기 접촉부는 상기 지지부재와 접촉하면서 상기 지지부재에 의해 앞으로 지지되고, 상기 지지부재와 상기 접촉부 중 하나는 롤러이고 다른 하나는 볼록체이고, 상기 볼록체는 상기 롤러에 접촉하는 경사면이 구비되고, 상기 캠부재는 상기 도어 바디에 회전 가능하게 피벗 연결되어 상기 연결판부에 연결되고, 상기 캠부재는 상기 래치부재를 상기 접촉부가 상기 지지부재에 의해 앞으로 지지되는 잠금고정 위치로 슬라이딩시켜, 상기 지지판부가 상기 걸림홈 내부로 관통 연장되어 상기 전면 에지에 지지되도록 한다.
상기 도어 바디는 전면 덮개판을 포함하고, 상기 전면 덮개판은 긴 형상의 리브를 포함하고, 상기 판체는 전측면을 더 포함하고, 상기 제1 탄성아암은 상기 전측면에 돌출 연장되고, 상기 제1 탄성아암은 상기 긴 형상의 리브에 가압되는 제1 가압면을 포함한다.
상기 도어 바디는 피벗유닛을 포함하고, 상기 피벗유닛은 이격 배치된 피벗피스(pivoting piece)를 포함하고, 각 상기 피벗피스는 상기 지지부재가 피벗 연결되는 피벗홈이 형성된다.
본 고안은 전체 래치기구의 래치부재가 슬라이딩하는 과정에서 발생하는 마찰을 줄여, 마찰에 의해 생성되는 먼지의 양을 감소시킴으로써, 탑재 공간 내의 웨이퍼가 먼지에 의해 오염되는 것을 방지할 수 있고, 또한 캠부재의 회전동작이 완전하지 않은 상황에서도, 래치부재가 잠금고정 위치를 이탈한 후 잠금해제 위치로 자동으로 복귀되거나, 또는 잠금해제 위치를 이탈한 후 잠금고정 위치로 자동으로 복귀될 수 있게 하여, 사용 상의 용이성 및 조작 신뢰성을 향상시키는 효과가 있다.
본 고안의 기타 특징 및 효과는, 도면을 참조한 실시방식에서 명확해질 것이다.
도 1은 본 고안에 따른 래치기구가 구비된 웨이퍼 카세트의 일 실시예의 사시도이고, 도어가 카세트 바디에 조립되어 카세트 바디의 개구가 폐쇄된 것을 나타낸다.
도 2는 본 고안에 따른 래치기구가 구비된 웨이퍼 카세트의 일 실시예의 분해 사시도이고, 도어와 카세트 바디 사이의 조립관계를 나타낸다.
도 3은 본 고안에 따른 래치기구가 구비된 웨이퍼 카세트의 일 실시예의 도어의 분해 사시도이고, 도어 바디와 래치기구 사이의 조립관계를 나타낸다.
도 4는 본 고안에 따른 래치기구가 구비된 웨이퍼 카세트의 일 실시예의 도어의 부분 분해 사시도이다.
도 5는 본 고안에 따른 래치기구가 구비된 웨이퍼 카세트의 일 실시예의 불완전한 부분 정면도이고, 캠부재는 제1 위치에 위치하고, 래치부재는 잠금해제 위치에 위치하는 것을 나타낸다.
도 6은 본 고안에 따른 래치기구가 구비된 웨이퍼 카세트의 일 실시예의 도어의 불완전한 부분 배면도이고, 캠부재는 제1 위치에 위치하고, 래치부재는 잠금해제 위치에 위치하는 것을 나타낸다.
도 7은 본 고안에 따른 래치기구가 구비된 웨이퍼 카세트의 일 실시예의 불완전한 부분 단면도이고, 캠부재는 제1 위치에 위치하고, 래치부재는 잠금해제 위치에 위치하는 것을 나타낸다.
도 8은 본 고안에 따른 래치기구가 구비된 웨이퍼 카세트의 일 실시예의 불완전한 부분 정면도이고, 캠부재는 제2 위치에 위치하고, 래치부재는 잠금고정 위치에 위치하는 것을 나타낸다.
도 9는 본 고안에 따른 래치기구가 구비된 웨이퍼 카세트의 일 실시예의 도어의 불완전한 부분 배면도이고, 캠부재는 제2 위치에 위치하고, 래치부재는 잠금고정 위치에 위치하는 것을 나타낸다.
도 10은 본 고안에 따른 래치기구가 구비된 웨이퍼 카세트의 일 실시예의 불완전한 부분 단면도이고, 캠부재는 제2 위치에 위치하고, 래치부재는 잠금고정 위치에 위치하는 것을 나타낸다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 본 고안에 따른 래치기구가 구비된 웨이퍼 카세트의 일 실시예이고, 웨이퍼 카세트(100)는 카세트 바디(10) 및 도어(20)를 포함한다. 카세트 바디(10)는 탑재공간(11) 및 탑재공간(11) 전단에 연통되는 개구(12)가 형성되어 있고, 탑재공간(11) 내부에는 다수의 웨이퍼가 수용된다. 카세트 바디(10)는 개구(12)를 정의하는 서라운딩 벽(13)을 포함하고, 서라운딩 벽(13)의 내벽면에는 숄더부(131)가 형성되고, 서라운딩 벽(13) 내벽면의 상, 하 양측에는 좌우로 이격된 2개의 걸림홈(132)이 각각 형성되어 있고, 서라운딩 벽(13)은 상기 걸림홈(132)들의 전측에 각각 위치한 4개의 전면 에지(133)를 포함하고, 각 전면 에지(133)는 숄더부(131) 전방에 이격되게 위치한다.
도 2, 도 3 및 도 4를 참조하면, 본 실시예의 도어(20)는 도어 바디(2) 및 2개의 래치기구(3)를 포함한다. 도어 바디(2)는 카세트 바디(10)의 서라운딩 벽(13) 내부에 조립되어 개구(12)를 폐쇄한다. 도어 바디(2)는 케이스(21), 전면 덮개판(22) 및 시일부재(23)를 포함한다. 케이스(21)는 배면판(211), 배면판(211) 전측부에 돌출 설치된 다수개의 돌출바(212), 배면판(211) 가장자리에서 앞으로 연장되는 둘레벽(213), 배면판(211) 전측부에 설치된 2쌍의 피벗유닛(214), 배면판(211) 전측부에 설치된 2개의 부싱(215) 및 배면판(211) 전측부에 돌출 설치된 다수개의 스토핑 돌출바(216)를 포함한다. 둘레벽(213)의 상, 하 양측에는 2개의 좌우로 이격된 개공(217)이 각각 형성되고, 각 개공(217)은 대응하는 걸림홈(132)과 연통된다. 각 쌍의 2개의 피벗유닛(214)은 상하 이격되고, 각 피벗유닛(214)은 대응하는 개공(217)에 인접하고, 각 피벗유닛(214)은 배면판(211) 전측부에 돌출 설치되어 좌우로 이격 배치되는 복수 개의 피벗피스(218)를 포함하고, 각 피벗피스(218)는 앞으로 향해 개구된 피벗홈(219)이 형성되어 있다. 2개의 부싱(215)은 좌우로 이격되고, 각 부싱(215)은 대응하는 2개의 피벗유닛(214) 사이에 위치한다. 다수개의 스토핑 돌출바(216)는 각각 2개의 부싱(215)의 바깥둘레를 에워싼다.
전면 덮개판(22)은 걸림고리에 의해 케이스(21)의 둘레벽(213)에 걸림 결합되고, 전면 덮개판(22)과 케이스(21)는 공통으로 수용공간(24)을 형성하고, 각 개공(217)은 수용공간(24)과 연통된다. 전면 덮개판(22)은 판부(221) 및 판부(221) 후측면에 돌출 설치된 2쌍의 긴 형상의 리브(222)를 포함한다. 판부(221)는 좌우로 이격된 2개의 관통홀(223)이 형성되어 있다. 각 쌍의 2개의 긴 형상의 리브(222)는 상하로 이격되어 각각 판부(221) 상단 및 판부(221) 하단에 인접하고, 각 긴 형상의 리브(222)의 길이 연장방향은 세로방향을 따라 연장된다.
시일부재(23)는 고무재질 등으로 제조되고, 시일부재(23)는 링 형상으로 형성되어 배면판(211) 가장자리에 끼움 설치되고, 시일부재(23)는 카세트 바디(10)의 숄더부(131)에 밀착된다.
도 3, 도 4, 도 5 및 도 6을 참조하면, 래치기구(3)는 도어 바디(2)의 수용공간(24) 내부에 설치된다. 래치기구(3)는 지지부재(31), 래치부재(32) 및 캠부재(34)를 포함하고, 본 실시예에서는 각 그룹의 래치기구(3)는 2개의 지지부재(31), 2개의 래치부재(32) 및 1개의 캠부재(34)가 구비되는 것을 예로 든다. 각 쌍의 2개의 지지부재(31)는 상하로 이격되고, 본 실시예의 각 지지부재(31)는 롤러이고, 각 지지부재(31)는 대응하는 피벗유닛(214)의 피벗홈(219) 내부에 회전 가능하게 피벗 연결되어 대응하는 개공(217)에 인접한다. 각 피벗유닛(214)은 복수개의 이격 배치된 피벗피스(218)이 공통으로 피벗 연결되어 대응하는 지지부재(31)를 지지하는 방식에 의해, 지지부재(31)와 접촉하는 면적을 감소시킴으로써, 지지부재(31)가 회전 시 받는 마찰력을 감소시킬 수 있다.
각 쌍의 2개의 래치부재(32)는 상하로 배치되어 역방향으로 설치되고, 각 래치부재(32)는 판체(320), 적어도 하나의 접촉부(321), 제1 탄성아암(322), 위치결정용 걸림블록(323) 및 제2 탄성아암(324)을 포함한다. 판체(320)는 슬라이딩 연결판부(325), 슬라이딩 연결판부(325)의 일단에 형성된 지지판부(326) 및 슬라이딩 연결판부(325)의 지지판부(326)와 상반되는 타단에 형성된 연결판부(327)를 포함한다. 슬라이딩 연결판부(325), 지지판부(326) 및 연결판부(327)는 전면 덮개판(22)을 향하는 전측면(328) 및 배면판(211)을 향하는 후측면(329)을 공통으로 정의한다. 슬라이딩 연결판부(325)는 2개의 긴 형상의 가이드홈(330)이 형성되어 있고, 각 긴 형상의 가이드홈(330)은 전측면(328)과 후측면(329)을 관통하고, 각 긴 형상의 가이드홈(330)의 길이의 연장방향은 슬라이딩 연결판부(325)의 긴 변(長邊)과 평행하는 방향을 따라 연장되고, 각 긴 형상의 가이드홈(330)은 대응하는 돌출바(212)가 관통 설치된다. 각 긴 형상의 가이드홈(330)과 대응하는 돌출바(212)의 결합에 의해, 래치부재(32)를 긴 형상의 가이드홈(330)의 길이 연장방향을 따라 케이스(21)를 상대로 슬라이딩시킬 수 있다. 도 2 에 도시된 바와 같이, 지지판부(326)는 개공(217) 내부를 거쳐 대응하는 걸림홈(132) 내부로 관통 연장되어 대응하는 전면 에지(133)에 지지된다. 연결판부(327)는 오목홈(331) 및 오목홈(331)에 인접한 호형면(332)이 형성되어 있다.
본 실시예에서, 복수개의 접촉부(321)는 판체(320)의 후측면(329)에 설치되어 좌우로 이격 배치되고, 본 실시예에서, 각 접촉부(321)는 후측면(329)에 돌출 설치되어 지지판부(326)에 인접하는 볼록체이고, 각 접촉부(321)는 대응하는 지지부재(31)에 접촉하는 경사면(333)이 구비된다. 제1 탄성아암(322)은 판체(320)의 슬라이딩 연결판부(325)에 연결되어 전측면(328)에 돌출 연장되고, 제1 탄성아암(322)은 슬라이딩 연결판부(325) 중간부분에서 앞으로 또한 지지판부(326) 방향으로 경사지게 연장되어 나오고, 제1 탄성아암(322)은 전면 덮개판(22)의 대응하는 긴 형상의 리브(222)에 가압되는 제1 가압면(334)을 포함한다.
위치결정용 걸림블록(323)은 판체(320)의 전측면(328)에 돌출 설치되어 연결판부(327) 상에 위치하며 연결판부(327) 끝단부에 인접한다. 제2 탄성아암(324)은 판체(320)의 후측면(329)에 돌출 설치되어 연결판부(327) 상에 위치하고, 제2 탄성아암(324)은 후측면(329)에서 뒤로 또한 지지판부(326)에서 멀어지는 방향으로 경사지게 연장되어 나오고, 제2 탄성아암(324)은 케이스(21)의 배면판(211)에 가압되는 제2 가압면(335)을 포함한다.
각 캠부재(34)는 도어 바디(2)에 회전 가능하게 피벗 연결되고 원형의 원판체(341), 원판체(341) 후측에 돌출 설치된 슬리브(342), 원판체(341) 후측에 돌출 설치된 2개의 푸시바(343) 및 원판체(341) 후측에 돌출 설치된 2개의 푸시블록(344)을 포함한다. 원판체(341)는 전면 덮개판(22)의 판부(221) 후측에 위치하며 대응하는 2개의 래치부재(32)의 연결판부(327) 전방에 이격되게 위치하고, 원판체(341)는 삽입홈(345)이 형성되어 있고, 삽입홈(345)은 전면 덮개판(22)의 대응하는 관통홀(223)과 위치가 나란히 정렬되고, 삽입홈(345)과 관통홀(223)의 형상은 동일하다. 따라서, 키는 관통홀(223)을 거쳐 삽입홈(345) 내부에 삽입 설치되어 캠부재(34)를 회전시킬 수 있다. 원판체(341)는 가장자리에 라운딩 설치된 다수개의 돌출부(346)를 포함하고, 케이스(21)의 각 스토핑 돌출바(216)는 대응하는 돌출부(346)를 스토핑시켜, 캠부재(34)의 회전각도를 제한한다. 슬리브(342)는 대응하는 부싱(215)에 끼움 설치된다. 2개의 푸시바(343)는 각각 슬리브(342)의 양측에 연결되고, 각 푸시바(343)는 대응하는 래치부재(32)의 오목홈(331) 내부로 관통 연장되고, 각 푸시바(343)는 대응하는 래치부재(32)의 호형면(332)을 푸시하여 래치부재(32)를 슬라이딩 시킨다. 2개의 푸시블록(344)은 슬리브(342)의 다른 양측에 위치하여 각각 슬리브(342)와 서로 이격되고, 또한 2개의 푸시블록(344)의 설치위치의 연결라인과 2개의 푸시바(343)의 설치위치의 연결라인은 서로 수직되고, 또한 각 푸시블록(344)은 2개의 래치부재(32)의 연결판부(327) 사이에 위치한다. 각 푸시블록(344)은 대응하는 래치부재(32)의 위치결정용 걸림블록(323)을 푸시하는 나선곡면(347)을 포함하고, 나선곡면(347)는 끝단부에 인접하는 곳에는 위치결정용 걸림블록(323)이 걸림 결합되도록 하는 적어도 하나의 위치결정용 오목홈(348)이 형성되어 있다.
각 푸시블록(344)은 나선곡면(347)에서 원판체(341) 방향으로 함몰되어 원판체(341)까지 연장된 적어도 하나의 호형홈(349)이 형성되어 있다. 더 구체적으로, 본 실시예에서, 각 푸시블록(344)은 나선곡면(347)에서 원판체(341)방향으로 함몰되어 원판체(341)까지 연장된 복수개의 호형홈(349)이 형성되어 있고, 복수 개의 호형홈(349)은 서로 이격 배치되어 위치결정용 오목홈(348)과 연통되고, 각 호형홈(349)의 연장방향과 나선곡면(347)의 연장방향은 동일하다. 복수개의 호형홈(349)의 설계에 의해, 푸시블록(344)과 위치결정용 걸림블록(323)이 접촉하는 면적을 감소시킬 수 있어, 푸시블록(344)이 위치결정용 걸림블록(323)을 푸시할 때의 마찰력을 감소시킬 수 있다. 설명드릴 것은, 호형홈(349)의 개수는 1개일 수도 있고, 본 실시예에서 공개한 개수에 의해 한정되지 않는다.
도 5, 도 6 및 도 7을 참조하면, 각 캠부재(34)가 도 5에 도시된 제1 위치에 위치하는 경우, 각 캠부재(34)의 2개의 푸시바(343)는 2개의 래치부재(32)의 오목홈(331) 내부에 각각 걸림 결합되어, 2개의 래치부재(32)를 잠금해제 위치에 각각 제한시킨다. 각 래치부재(32)가 잠금해제 위치에 위치하면, 지지판부(326)는 대응하는 걸림홈(132)과 나란히 정렬되나 걸림홈(132) 내부로 관통 연장되지 않고, 각 접촉부(321)의 경사면(333)과 대응하는 지지부재(31)는 서로 일정거리 이격되고, 위치결정용 걸림블록(323)과 대응하는 푸시블록(344)의 나선곡면(347)은 서로 일정거리 이격되고, 케이스(21)의 각 돌출바(212)는 대응하는 긴 형상의 가이드홈(330) 일단에 위치한다.
도 8, 도 9 및 도 10을 참조하면, 도어 바디(2)(도 2에 도시된 바와 같음)를 카세트 바디(10)에 잠금 고정시키고자 할 때, 키를 통해 각 캠부재(34)를 제1 회전방향(R1)을 따라 회전시킨다. 각 캠부재(34)가 제1 회전방향(R1)을 따라 회전하는 과정에서, 2 개의 푸시바(343)는 먼저 2개의 래치부재(32)의 오목홈(331)을 각각 이탈한 다음, 2개의 푸시바(343)는 2개의 래치부재(32)의 호형면(332)을 각각 푸시하여 2개의 래치부재(32)를 각각 제1 슬라이딩 방향(D1) 및 제1 슬라이딩 방향(D1)과 반대되는 제2 슬라이딩 방향(D2)을 따라 슬라이딩시킨다.
도어 바디(2)(도 2에 도시된 바와 같음)를 카세트 바디(10)에 잠금 고정하는 과정에서, 2개의 래치부재(32)는 각각 제1 슬라이딩 방향(D1) 및 제2 슬라이딩 방향(D2)을 따라 슬라이딩하는 것을 제외하고, 나머지 동작과정은 모두 동일하므로, 이하에서는 제1 슬라이딩 방향(D1)을 따라 잠금 고정위치까지 슬라이딩하는 래치부재(32)에 대해서만 설명한다.
래치부재(32)가 제1 슬라이딩 방향(D1)을 따라 슬라이딩하는 과정에서, 각 접촉부(321)의 경사면(333)이 지지부재(31)에 접촉하면 인가되는 압력을 받게 되고, 지지부재(31)가 경사면(333)에 인가하는 압력 중 앞으로 향한 분력(分力)에 의해 래치부재(32)의 지지판부(326)에 인접한 일단이 점차 앞으로 경사지도록 한다. 래치부재(32)의 지지판부(326)에 인접한 일단이 앞으로 경사지는 과정에서, 제1 탄성아암(322)은 긴 형상의 리브(222)의 저지 및 압착을 받아, 제1 탄성아암(322)이 슬라이딩 연결판부(325) 방향으로 절곡 변형되어 복귀 탄력을 축적하도록 한다. 또한, 캠부재(34)가 제1 회전방향(R1)을 따라 회전 시, 푸시블록(344)도 동시에 이동시켜, 위치결정용 걸림블록(323)이 푸시블록(344)의 나선곡면(347) 하단(底端)으로부터 나선곡면(347)을 따라 나선곡면(347)의 상단을 향하여 슬라이딩하도록 한다. 위치결정용 걸림블록(323)이 나선곡면(347) 하단으로부터 슬라이딩되면서 점차 나선곡면(347)의 상단에 접근하면, 나선곡면(347)이 위치결정용 걸림블록(323)에 인가하는 뒤를 향한 분력은 연결판부(327)를 점차 뒤로 경사지게 하여, 제2 탄성아암(324)이 배면판(211)의 저지 및 압착을 받아, 제2 탄성아암(324)이 연결판부(327)의 방향을 향해 절곡 변형되어 복귀 탄력을 축적하도록 한다.
각 캠부재(34)가 도 8에 도시된 제2 위치로 회전하면, 지지판부(326)는 카세트 바디(10)의 대응하는 걸림홈(132) 내부로 관통 연장되어 대응하는 전면 에지(133)에 지지되고, 래치부재(32)의 위치결정용 걸림블록(323)은 푸시블록(344)의 위치결정용 오목홈(348) 내부에 걸림 결합되고, 케이스(21)의 각 돌출바(212)는 대응하는 긴 형상의 가이드홈(330) 타단에 위치한다. 위치결정용 걸림블록(323)이 위치결정용 오목홈(348) 내부에 걸림 결합되는 것, 및 각 접촉부(321)의 경사면(333)이 지지부재(31)에 가압 접촉하는 것에 의해, 래치부재(32)를 도 10에 도시된 바와 같은 경사지게 형성된 잠금고정 위치에 견고하게 위치결정시킬 수 있어, 도어 바디(2)를 카세트 바디(10)에 잠금 고정시킬 수 있다. 래치부재(32)가 잠금고정 위치에 있으면, 제1 탄성아암(322)은 접촉부(321)에 대해 지지부재(31) 방향으로 편향 가압하므로, 제1 탄성아암(322)이 접촉부(321)를 통해 지지부재(31)에 전달한 탄력은 시일부재(23)가 카세트 바디(10)의 숄더부(131)에 밀착되도록 하고, 지지부재(31)의 접촉부(321)에 대한 반작용력은 지지판부(326)가 전면 에지(133)에 밀착 지지되도록 함으로써, 도어 바디(2)가 카세트 바디(10)에 견고하게 잠금 고정되도록 하고, 또한 도어 바디(2)와 카세트 바디(10) 사이에 양호한 시일 효과를 얻는다.
도어 바디(2)와 카세트 바디(10) 사이의 잠금고정 상태를 해제하고자 할 경우, 키를 통해 각 캠부재(34)를 제1 회전방향(R1)과 반대되는 제2 회전방향(R2)을 따라 회전시킨다. 푸시블록(344)의 위치결정용 오목홈(348)이 위치결정용 걸림블록(323)을 이탈하면, 제2 탄성아암(324)의 복귀 탄력 작용이 연결판부(327) 및 위치결정용 걸림블록(323)에 대한 편향 가압으로 인한 추력에 의해, 연결판부(327)는 점차 앞으로 경사지고 위치결정용 걸림블록(323)은 푸시블록(344)의 나선곡면(347)을 푸시하면서 슬라이딩하므로, 캠부재(34)를 제2 회전방향(R2)을 따라 회전시켜, 사용자가 더 이상 계속하여 힘을 가하여 회전시키지 않는 상황에서도 캠부재(34)가 제1 위치로 자동으로 복귀될 수 있게 한다. 또한, 제1 탄성아암(322)의 복귀 탄력 작용이 슬라이딩 연결판부(325) 및 접촉부(321)에 대한 편향 가압으로 인한 추력에 에 의해, 접촉부(321)의 경사면(333)은 지지부재(31)와 접촉하면서 슬라이딩하여, 래치부재(32)의 지지판부(326)에 가까운 일단이 점차 뒤로 경사지게 함으로써, 래치부재(32)는 제2 슬라이딩 방향(D2)을 따라 자동으로 슬라이딩하여 잠금해제 위치로 복귀될 수 있게 하여, 지지판부(326)를 전면 에지(133) 및 걸림홈(132)에서 이탈시킨다. 이때, 웨이퍼를 카세트 바디(10)의 탑재공간(11)(도 2에 도시된 바와 같음) 내부에 배치시키거나 또는 탑재공간(11) 내부의 웨이퍼를 꺼낼 수 있도록, 도어(20)(도 2에 도시된 바와 같음)를 카세트 바디(10)에서 분리할 수 있다.
특별히 설명드릴 것은, 지지부재(31)는 피벗피스(218)의 롤러에 피벗 연결되므로, 접촉부(321)의 경사면(333)이 지지부재(31)를 따라 슬라이딩하는 과정에서 지지부재(31)를 동시에 회전시킬 수 있어, 양자 사이의 마찰을 감소시킬 수 있다. 또한, 래치부재(32)는 복수개의 서로 이격 배치된 접촉부(321)의 경사면(333)이 지지부재(31)와 접촉하는 방식에 의해, 접촉부(321)와 지지부재(31)가 접촉하는 면적을 줄일 수 있다. 또한, 래치부재(32)가 슬라이딩하는 과정에서, 제1 탄성아암(322)의 제1 가압면(334)은 긴 형상의 리브(222)를 따라 슬라이딩하고, 전면 덮개판(22)은 긴 형상의 리브(222)가 제1 가압면(334)과 접촉하는 방식에 의해, 제1 가압면(334)과 접촉하는 면적을 감소시킬 수 있어, 제1 탄성아암(322)이 이동 시 발생하는 마찰을 줄일 수 있다. 상술한 설계방법을 통해, 래치부재(32)가 슬라이딩하는 과정에서 접촉부(321)와 지지부재(31) 사이 및 제1 탄성아암(322)과 전면 덮개판(22) 사이의 마찰을 크게 줄일 수 있어, 마찰로 인해 생성되는 먼지를 효과적으로 감소시켰고, 탑재공간(11) 내부의 웨이퍼가 먼지에 의해 오염되는 것을 방지했다.
기타 실시방식에서, 접촉부(321)의 개수는 1개일 수도 있고, 본 실시예에 공개된 개수에 의해 한정되지 않는다. 또한, 접촉부(321)는 판체(320)에 피벗 연결되는 롤러일 수도 있고, 지지부재(31)는 경사면이 구비된 볼록체일 수 있고, 이를 통해서도 마찬가지로 마찰현상이 발생하는 것을 줄이는 효과를 얻을 수 있다.
결론적으로, 본 실시예의 웨이퍼 카세트(100)의 래치기구(3)는, 접촉부(321)와 지지부재(31)를 결합하고, 또한 제1 탄성아암(322)과 긴 형상의 리브(222)를 결합하는 설계방식에 의해, 래치부재(32)의 슬라이딩 과정에서의 마찰을 줄일 수 있어, 마찰로 인해 생성되는 먼지를 줄일 수 있어, 탑재공간(11) 내부의 웨이퍼가 먼지에 의해 오염되는 것을 방지한다. 또한, 제1 탄성아암(322), 지지부재(31) 및 접촉부(321)의 경사면(333)을 서로 결합하고, 또한 제2 탄성아암(324), 위치결정용 걸림블록(323)과 푸시블록(344)의 나선곡면(347)을 결합하는 설계를 통해, 캠부재(34)의 회전동작이 완전하지 않더라도(예컨대 사용자가 더 이상 힘을 가해 캠부재(34)를 회전시키지 않는 상황에서도), 래치부재(32)가 잠금고정 위치를 이탈한 후 잠금해제 위치로 자동으로 복귀되거나, 또는 잠금해제 위치를 이탈한 후 잠금고정 위치로 자동으로 복귀될 수 있게 하였으므로, 사용상의 용이성을 향상시켰을 뿐만 아니라 조작 신뢰성도 향상시켰다. 따라서 본 고안의 목적에 확실히 도달할 수 있다.
상술한 내용은, 본 고안의 실시예일 뿐, 상기 내용으로 본 고안 실시 범위를 한정해서는 안되며, 본 고안의 실용신안등록청구범위 및 실용신안등록 설명서의 내용에 근거한 간단한 등가적 변화 및 수정은 모두 본 고안의 등록범위에 포함되어야 한다.
100 웨이퍼 카세트
10 카세트 바디
11 탑재공간
12 개구
13 서라운딩 벽
131 숄더부
132 걸림홈
133 전면 에지
20 도어
2 도어 바디
21 케이스
211 배면판
212 돌출바
213 둘레벽
214 피벗유닛
215 부싱
216 스토핑 돌출바
217 개공
218 피벗피스
219 피벗홈
22 전면 덮개판
221 판부
222 긴 형상의 리브
223 관통홀
23 시일부재
24 수용공간
3 래치기구
31 지지부재
32 래치부재
320 판체
321 접촉부
322 제1 탄성아암
323 위치결정용 걸림블록
324 제2 탄성아암
325 슬라이딩 연결판부
326 지지판부
327 연결판부
328 전측면
329 후측면
330 긴 형상의 가이드홈
331 오목홈
332 호형면
333 경사면
334 제1 가압면
335 제2 가압면
34 캠부재
341 원판체
342 슬리브
343 푸시바
344 푸시블록
345 삽입홈
346 돌출부
347 나선곡면
348 위치결정용 오목홈
349 호형홈
R1 제1 회전방향
R2 제2 회전방향
D1 제1 슬라이딩 방향
D2 제2 슬라이딩 방향

Claims (17)

  1. 도어 바디 내부에 설치되어 상기 도어 바디를 카세트 바디에 잠금 고정시키는 래치기구에 있어서，
    상기 래치기구는 지지부재, 래치부재 및 캠부재를 포함하고,
    상기 지지부재는 상기 도어 바디 내부에 설치되고,
    상기 래치부재는 상기 도어 바디에 슬라이딩 가능하게 연결되는 판체 및 적어도 하나의 접촉부를 포함하고, 상기 판체는 상기 지지부재 전방에 이격되게 위치하는 후측면, 지지판부 및 상기 지지판부와 반대되는 연결판부를 포함하고, 상기 접촉부는 상기 후측면에 설치되어 상기 지지판부에 인접하고, 상기 접촉부는 상기 지지부재에 접촉되어 상기 지지부재에 의해 앞으로 지지될 수 있고, 상기 지지부재와 상기 접촉부 중 하나는 롤러이고 다른 하나는 볼록체이고, 상기 볼록체는 상기 롤러에 접촉하는 경사면이 구비되고,
    상기 캠부재는, 상기 도어 바디에 회전 가능하게 피벗 연결되어 상기 연결판부에 연결되고, 상기 캠부재는 상기 접촉부가 상기 지지부재에 의해 앞으로 지지되는 잠금고정 위치로 상기 래치부재를 슬라이딩시켜, 상기 지지판부가 상기 카세트 바디의 전면 에지에 지지되도록 하는,
    래치기구.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 지지부재는 상기 롤러이고 상기 도어 바디에 피벗 연결되고, 상기 래치부재는 복수개의 상기 후측면에 설치되어 서로 이격 배치되는 상기 접촉부를 포함하고, 각 상기 접촉부는 상기 볼록체이고 상기 후측면에 돌출 설치되는, 래치기구.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 래치부재는 상기 판체에 설치된 제1 탄성아암을 더 포함하고, 상기 제1 탄성아암은 상기 접촉부를 상기 지지부재 방향으로 편향 가압하도록, 상기 도어 바디에 가압되는, 래치기구.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 판체는 전측면을 더 포함하고, 상기 제1 탄성아암은 상기 전측면에 돌출 연장되고, 상기 제1 탄성아암은 상기 도어 바디에 가압되는 제1 가압면을 포함하는, 래치기구.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 캠부재는 적어도 하나의 위치결정용 오목홈이 형성되어 있고, 상기 래치부재는 상기 전측면에 돌출 설치되어 상기 연결판부에 위치하는 위치결정용 걸림블록을 더 포함하고, 상기 위치결정용 걸림블록은 상기 위치결정용 오목홈에 걸려 상기 래치부재를 상기 잠금고정 위치에 위치시키는, 래치기구.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 캠부재는 상기 연결판부 전방에 이격되게 위치하는 원판체 및 상기 원판체 후측에 돌출 설치된 푸시블록을 포함하고, 상기 푸시블록은 상기 위치결정용 걸림블록을 푸시하는 나선곡면을 포함하고, 상기 나선곡면은 상기 위치결정용 오목홈이 형성되어 있고, 상기 푸시블록은 상기 나선곡면에서 상기 원판체 방향으로 함몰되어 상기 위치결정용 오목홈과 연통되는 적어도 하나의 호형홈이 형성되어 있고, 상기 호형홈의 연장방향과 상기 나선곡면의 연장방향은 동일한, 래치기구.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 래치부재는 상기 후측면에 돌출 설치되어 상기 연결판부에 위치하는 제2 탄성아암을 더 포함하고, 상기 제2 탄성아암은 상기 위치결정용 걸림블록을 상기 캠부재 방향으로 편향 가압하고, 상기 제2 탄성아암은 상기 도어 바디에 가압되는 제2 가압면을 포함하는, 래치기구.
  8. 제1항에 있어서,
    상기 래치부재는 상기 판체에 설치되는 제1 탄성아암을 더 포함하고, 상기 제1 탄성아암은 상기 접촉부를 상기 지지부재 방향으로 편향 가압하도록, 상기 도어 바디에 가압되는, 래치기구.
  9. 래치기구가 구비된 웨이퍼 카세트에 있어서,
    적어도 하나의 걸림홈이 형성된 카세트 바디, 및 도어를 포함하고,
    상기 카세트 바디는 상기 걸림홈 전측에 위치한 전면 에지를 포함하고,
    상기 도어는, 도어 바디 및 적어도 하나의 래치기구를 포함하고,
    상기 도어 바디는 수용공간 및 상기 수용공간과 연통되는 적어도 하나의 개공이 형성되고, 상기 개공과 상기 걸림홈은 서로 연통되고,
    상기 적어도 하나의 래치기구는, 상기 수용공간 내부에 설치되고, 상기 래치기구는 적어도 하나의 지지부재, 적어도 하나의 래치부재 및 캠부재를 포함하고, 상기 지지부재는 상기 도어 바디에 설치되어 상기 개공에 인접하고, 상기 래치부재는 상기 도어 바디에 슬라이딩 가능하게 연결되는 판체 및 적어도 하나의 접촉부를 포함하고, 상기 판체는 상기 지지부재 전방에 이격되게 위치하는 후측면, 상기 개공 내부에 관통 설치되는 지지판부 및 상기 지지판부와 반대되는 연결판부를 포함하고, 상기 접촉부는 상기 후측면에 설치되어 상기 지지판부에 인접하고, 상기 접촉부는 상기 지지부재에 접촉하면서 상기 지지부재에 의해 앞으로 지지되고, 상기 지지부재와 상기 접촉부 중 하나는 롤러이고 다른 하나는 볼록체이고, 상기 볼록체는 상기 롤러에 접촉하는 경사면이 구비되고, 상기 캠부재는 상기 도어 바디에 회전 가능하게 피벗 연결되어 상기 연결판부에 연결되고, 상기 캠부재는 상기 접촉부가 상기 지지부재에 의해 앞으로 지지되는 잠금고정 위치로 상기 래치부재를 슬라이딩 시켜, 상기 지지판부가 상기 걸림홈 내부로 관통 연장되어 상기 전면 에지에 지지되도록 하는,
    래치기구가 구비된 웨이퍼 카세트.
  10. 제9항에 있어서,
    상기 지지부재는 상기 롤러이고 상기 도어 바디에 피벗 연결되고, 상기 래치부재는 상기 후측면에 설치되어 서로 이격 배치된 복수개의 상기 접촉부를 포함하고, 각 상기 접촉부는 상기 볼록체이고 상기 후측면에 돌출 설치되는, 래치기구가 구비된 웨이퍼 카세트.
  11. 제10항에 있어서,
    상기 래치부재는 상기 판체에 설치된 제1 탄성아암을 더 포함하고, 상기 제1 탄성아암은 상기 접촉부를 상기 지지부재 방향으로 편향 가압하도록, 상기 도어 바디에 가압되는, 래치기구가 구비된 웨이퍼 카세트.
  12. 제11항에 있어서,
    상기 도어 바디는 전면 덮개판을 포함하고, 상기 전면 덮개판은 긴 형상의 리브를 포함하고, 상기 판체는 전측면을 더 포함하고, 상기 제1 탄성아암은 상기 전측면에 돌출 연장되고, 상기 제1 탄성아암은 상기 긴 형상의 리브에 가압되는 제1 가압면을 포함하는, 래치기구가 구비된 웨이퍼 카세트.
  13. 제10항에 있어서,
    상기 도어 바디는 피벗유닛을 포함하고, 상기 피벗유닛은 복수개의 이격 배치된 피벗피스를 포함하고, 각 상기 피벗피스는 상기 지지부재를 피벗 연결하는 피벗홈이 형성되는, 래치기구가 구비된 웨이퍼 카세트.
  14. 제12항에 있어서,
    상기 캠부재는 적어도 하나의 위치결정용 오목홈을 형성하고, 상기 래치부재는 상기 전측면에 돌출 설치되어 상기 연결판부에 위치하는 위치결정용 걸림블록을 더 포함하고, 상기 위치결정용 걸림블록은 상기 위치결정용 오목홈에 걸려 상기 래치부재를 상기 잠금고정 위치에 위치 결정시키는, 래치기구가 구비된 웨이퍼 카세트.
  15. 제14항에 있어서,
    상기 캠부재는 상기 연결판부 전방에 이격되게 위치하는 원판체 및 상기 원판체 후측에 돌출 설치된 푸시블록을 포함하고，상기 푸시블록은 상기 위치결정용 걸림블록을 푸시하는 나선곡면을 포함하고, 상기 나선곡면은 상기 위치결정용 오목홈이 형성되어 있고, 상기 푸시블록은 상기 나선곡면에서 상기 원판체 방향으로 함몰되어 상기 위치결정용 오목홈과 연통되는 적어도 하나의 호형홈이 형성되어 있고, 상기 호형홈의 연장방향은 상기 나선곡면의 연장방향과 동일한, 래치기구가 구비된 웨이퍼 카세트.
  16. 제15항에 있어서,
    상기 도어 바디는 배면판을 더 포함하고, 상기 래치부재는 상기 후측면에 돌출 설치되어 상기 연결판부에 위치하는 제2 탄성아암을 더 포함하고, 상기 제2 탄성아암은 상기 위치결정용 걸림블록을 상기 캠부재 방향으로 편향 가압하고, 상기 제2 탄성아암은 상기 배면판에 가압되는 제2 가압면을 포함하는, 래치기구가 구비된 웨이퍼 카세트.
  17. 제9항에 있어서,
    상기 래치부재는 상기 판체에 설치되는 제1 탄성아암을 더 포함하고, 상기 제1 탄성아암은 상기 접촉부를 상기 지지부재 방향으로 편향 가압하도록, 상기 도어 바디에 가압되는, 래치기구가 구비된 웨이퍼 카세트.
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