JP2020202318A - 基板ホルダおよびプラズマ処理装置 - Google Patents
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Abstract
Description
以下、本発明の一実施形態について、詳細に説明する。図1は、本実施形態におけるプラズマ処理装置1の構成を模式的に示す断面図である。プラズマ処理装置1は、誘電結合プラズマを用いて基板Sにプラズマ処理を施す装置である。ここで、プラズマ処理装置1による基板Sに施す処理は、例えば、プラズマCVD(Chemical Vapor Deposition)法による膜形成、エッチング、アッシング、スパッタリングなどである。なお、プラズマ処理装置1は、プラズマCVD法によって膜形成を行う場合はプラズマCVD装置、エッチングを行う場合はプラズマエッチング装置、アッシングを行う場合はプラズマアッシング装置、スパッタリングを行う場合はプラズマスパッタリング装置とも呼ばれる。
本発明の他の実施形態について、以下に説明する。なお、説明の便宜上、上記実施形態にて説明した部材と同じ機能を有する部材については、同じ符号を付記し、その説明を繰り返さない。
10、50 基板ホルダ
11、51 固定部材
11a、11c、22b、51a、53a、71a テーパ面
11b、62 凹部
12、52 バネ(付勢手段)
13、53 第3部材
20、60 第1部材
21、61 載置部
22、71 固定溝
30、70 第2部材
30a、63 スライド溝
S 基板
Claims (4)
- プラズマ処理が実行される対象である基板が載置される載置部を有する第1部材と、
前記基板が前記載置部に載置されている状態において、前記基板の前記載置部に当接している面と反対側の面の少なくとも外周部に当接する第2部材と、を備え、
前記第1部材または前記第2部材には、前記第2部材に対する前記第1部材の移動方向に対して傾斜するテーパ面を有する固定溝が形成されており、
前記第1部材または前記第2部材のうち、前記固定溝が形成されていない方には、前記固定溝のテーパ面に対応するテーパ面が形成された固定部材をスライドさせるスライド溝が形成されており、
前記固定部材を前記固定溝に挿入する方向に前記固定部材を付勢する付勢手段が、前記スライド溝内に設けられていることを特徴とする基板ホルダ。 - 前記固定部材を前記固定溝に挿入する方向とは反対方向にスライドさせる第3部材を備えることを特徴とする請求項1に記載の基板ホルダ。
- 前記固定部材には、当該固定部材を前記固定溝に挿入する方向に対して傾斜するテーパ面を有する凹部が形成されており、
前記第3部材は、前記固定部材の凹部が有するテーパ面に対応するテーパ面が形成されていることを特徴とする請求項2に記載の基板ホルダ。 - 請求項1から3のいずれか1項に記載の基板ホルダを用いることを特徴とするプラズマ処理装置。
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Citations (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0529264A (ja) * | 1991-07-23 | 1993-02-05 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体ウエハ処理装置 |
JPH07153822A (ja) * | 1993-11-30 | 1995-06-16 | Oki Electric Ind Co Ltd | プラズマ処理装置 |
JPH07317413A (ja) * | 1994-05-25 | 1995-12-05 | Yagi:Kk | 扉等開度調整器 |
JPH11159218A (ja) * | 1997-11-26 | 1999-06-15 | Shin Etsu Polymer Co Ltd | 精密基板容器のドアラッチ機構 |
JP2000058633A (ja) * | 1998-08-17 | 2000-02-25 | Shin Etsu Polymer Co Ltd | 精密基板収納容器 |
JP2001053137A (ja) * | 1999-08-11 | 2001-02-23 | Tdk Corp | クリーンボックスの蓋ラッチ機構 |
JP2001168176A (ja) * | 1999-12-03 | 2001-06-22 | Foi:Kk | プラズマ処理装置および保持具 |
JP2003340664A (ja) * | 2002-05-23 | 2003-12-02 | Itsuo Kitahata | ワーククランプ |
JP2007303843A (ja) * | 2006-05-08 | 2007-11-22 | Citizen Holdings Co Ltd | リバーシブル表示装置 |
JP2008034465A (ja) * | 2006-07-26 | 2008-02-14 | Nisshinbo Ind Inc | ウエハ固定装置 |
JP2008150066A (ja) * | 2006-12-15 | 2008-07-03 | Shin Etsu Polymer Co Ltd | 基板収納容器 |
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2019
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Patent Citations (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0529264A (ja) * | 1991-07-23 | 1993-02-05 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体ウエハ処理装置 |
JPH07153822A (ja) * | 1993-11-30 | 1995-06-16 | Oki Electric Ind Co Ltd | プラズマ処理装置 |
JPH07317413A (ja) * | 1994-05-25 | 1995-12-05 | Yagi:Kk | 扉等開度調整器 |
JPH11159218A (ja) * | 1997-11-26 | 1999-06-15 | Shin Etsu Polymer Co Ltd | 精密基板容器のドアラッチ機構 |
JP2000058633A (ja) * | 1998-08-17 | 2000-02-25 | Shin Etsu Polymer Co Ltd | 精密基板収納容器 |
JP2001053137A (ja) * | 1999-08-11 | 2001-02-23 | Tdk Corp | クリーンボックスの蓋ラッチ機構 |
JP2001168176A (ja) * | 1999-12-03 | 2001-06-22 | Foi:Kk | プラズマ処理装置および保持具 |
JP2003340664A (ja) * | 2002-05-23 | 2003-12-02 | Itsuo Kitahata | ワーククランプ |
JP2007303843A (ja) * | 2006-05-08 | 2007-11-22 | Citizen Holdings Co Ltd | リバーシブル表示装置 |
JP2008034465A (ja) * | 2006-07-26 | 2008-02-14 | Nisshinbo Ind Inc | ウエハ固定装置 |
JP2008150066A (ja) * | 2006-12-15 | 2008-07-03 | Shin Etsu Polymer Co Ltd | 基板収納容器 |
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