JP6339871B2 - 板状部材の固定機構、pvd処理装置及び板状部材の固定方法 - Google Patents
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Description
13 プロセスモジュール
29 ターゲット
30 ホルダ
38 クランプ部材
41 位置決めブロック
42 ボルト
42a 雄ねじ
42b リーマ部
43 スライダ
43a 当接部
43b 逃げ部
44 スライダ収容部
45 巻バネ
46 ねじ穴
46b リーマ穴
47 隙間
49 シールド部材
Claims (9)
- 基部へ板状部材を固定する板状部材の固定機構であって、
前記板状部材を前記基部へ向けて押圧する押圧ユニットと、
前記基部に取り付けられて前記板状部材の側面に当接し、前記板状部材の前記基部に対する位置を決定する複数の位置決めユニットとを備え、
前記位置決めユニットは、前記基部から立設される軸部と、該軸部に沿って移動するスライド部とを有し、
前記スライド部は、前記押圧ユニットが前記板状部材を前記基部へ向けて押圧する前に前記板状部材の側面へ当接する当接部と、前記押圧ユニットが前記板状部材とともに前記スライド部を前記基部へ向けて押圧することによって前記スライド部が前記基部へ向けて移動した際に前記板状部材の側面と対向する前記当接部よりも細身の逃げ部とを有することを特徴とする板状部材の固定機構。 - 前記基部は、前記スライド部が前記基部へ向けて移動する際に前記スライド部を収容する収容部を有することを特徴とする請求項1記載の板状部材の固定機構。
- 前記スライド部において、前記逃げ部は前記当接部に関して前記基部と反対側に形成されることを特徴とする請求項1又は2記載の板状部材の固定機構。
- 前記位置決めユニットは、前記スライド部を前記基部とは反対側に付勢する付勢部材をさらに有することを特徴とする請求項3記載の板状部材の固定機構。
- 前記板状部材は矩形を呈し、前記板状部材の少なくとも2側面に前記複数の位置決めユニットの前記当接部が当接するように位置決めされることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の板状部材の固定機構。
- 前記軸部の先端はねじで構成され、前記軸部は前記基部に設けられたねじ穴に取り付けられることを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載の板状部材の固定機構。
- 前記軸部にはリーマ部が設けられ、前記ねじ穴にはリーマ穴が形成され、前記軸部が前記ねじ穴に取り付けられる際、前記リーマ部は前記リーマ穴へ嵌合されることを特徴とする請求項6記載の板状部材の固定機構。
- 内部に処理空間を備えるチャンバと、前記処理空間に暴露される板状部材としてのターゲットと、開口部を有し且つ前記処理空間及び前記ターゲットの間に介在するシャッター部材とを備え、前記チャンバの内部に収容された基板にPVD処理を施すPVD処理装置であって、
前記ターゲットを前記チャンバに設けられた基部へ固定する固定機構をさらに備え、
前記固定機構は、前記ターゲットを前記基部へ向けて押圧する押圧ユニットと、前記基部に取り付けられて前記ターゲットの側面に当接し、前記ターゲットの前記基部に対する位置を決定する複数の位置決めユニットとを有し、
前記位置決めユニットは、前記基部から立設される軸部と、該軸部に沿って移動するスライド部とを有し、
前記スライド部は、前記押圧ユニットが前記ターゲットを前記基部へ向けて押圧する前に前記ターゲットの側面へ当接する当接部と、前記押圧ユニットが前記ターゲットとともに前記スライド部を前記基部へ向けて押圧することによって前記スライド部が前記基部へ向けて移動した際に前記ターゲットの側面と対向する前記当接部よりも細身の逃げ部とを有することを特徴とするPVD処理装置。 - 基部へ板状部材を固定する固定機構であって、前記板状部材を前記基部へ向けて押圧する押圧ユニットと、前記基部に取り付けられて前記板状部材の側面に当接し、前記板状部材の前記基部に対する位置を決定する複数の位置決めユニットとを備え、前記位置決めユニットは、前記基部から立設される軸部と、該軸部に沿って移動するスライド部とを有し、前記スライド部は、前記押圧ユニットが前記板状部材を前記基部へ向けて押圧する前に前記板状部材の側面へ当接する当接部と、前記押圧ユニットが前記板状部材とともに前記スライド部を前記基部へ向けて押圧することによって前記スライド部が前記基部へ向けて移動した際に前記板状部材の側面と対向する前記当接部よりも細身の逃げ部とを有する固定機構における板状部材の固定方法であって、
前記押圧ユニットが前記板状部材を前記基部へ向けて押圧する前に前記複数の位置決めユニットのスライド部の当接部を前記板状部材の少なくとも2側面へ当接させて前記板状部材の前記基部に対する位置を決定する位置決定ステップと、
前記押圧ユニットが前記板状部材を前記基部へ向けて押圧して前記板状部材を前記基部へ固定する固定ステップと、
前記複数の位置決めユニットのスライド部を前記押圧ユニットによって前記軸部に沿って前記基部へ向けて移動させて前記板状部材の側面へ前記逃げ部を対向させる逃げ部対向ステップとを有することを特徴とする板状部材の固定方法。
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