1260729 (1) 九、發明說明 【發明所屬之技術領域】 本發明，是關於半導體晶圓等形成的基板在收納、輸 送、搬運'保管時所使用的基板收納容器及其定位方法。 【先前技術】 近年來，半導體零件的微細化或配線的窄距化持續進 Φ 步，有鑑於上述進步，對於基板收納容器，是被要求具有 高的密封性和使用操作的自動化以防止收納在其內部的半 導體晶圓等形成的精密基板受到污染方面。爲應對上述業 界的需求，已提案有容器本體開閉用的蓋體可自動安裝、 拆卸的基板收納容器（參照專利文獻1、2 )。 此種基板收納容器，如第1 0圖至第1 2圖所示，例如 具備有：未圖示複數片精密基板收納用的容器本體1;設 置在該容器本體1底部的複數定位體40A ;容器本體1正 # 面開口開閉用的蓋體20;及，嵌合在容器本體1正面的蓋 體20其上鎖、開鎖用的上鎖機構，該基板收納容器是透 過複數定位體40A使其定位搭載在未圖示的加工裝置上。 容器本體1，於其頂板裝配有要保持在被稱爲OHT的 自動搬運機上的自動式凸緣，自動搬運機是以保持著該自 動式凸緣來吊起容器本體1進行搬運。此外，複數定位體 40A，是以指定排列配設在容器本體1的底部。各定位體 40A，是由：形成在容器本體1底面的一對平行肋條2 ; - 及，形成在覆蓋著容器本體1底面的底板4上從下方嵌合 -4· (2) 1260729 一對平行肋條2的空心軌道6 A所形成。 上鎖機構，雖未圖示，但其是內藏在蓋體內，利用加 工裝置構成用的蓋體開閉裝置的操作鑰匙就能夠進行上鎖 操作或開鎖操作。此外，加工裝置，是於要搭載基板收納 容器的搭載面’豎立設有分別要嵌合於複數定位體40A的 定位銷5 0 (參照第1 2圖），設有要檢測有無基板收納容 器的感知器。 〔專利文獻1〕日本特開2000-58633號公報 〔專利文獻2〕日本特開2003- 1 7408 1號公報 【發明內容】 〔發明欲解決之課題〕 習知的基板收納容器，是構成爲如上述，因蓋體內藏 有上鎖機構而變重的關係，導致重心不在容器本體1的中 心部而偏向正面側，因此正面側容易朝下方傾斜爲其特徵 。該特徵，在精密基板爲最大收納片數滿載的狀況時較不 明顯，但若爲少片數收納的狀況時則明顯呈現。若以基板 收納容器的正面側朝下方傾斜的狀態來定位搭載在加工裝 置上時，加工裝置的定位銷50接觸到定位體40A時的摩 擦阻力會使基板收納容器不易滑動，導致會有中途停止無 法進行高精確度定位的問題產生。 此外，基板收納容器是透過自動式凸緣來使其吊起， 所以基板收納容器不容易支撐成穩定狀態，恐怕無法使容 器本體1的定位體40A分別均等接觸嵌合於加工裝置的複 (3) 1260729 數定位銷5 0。其結果，加工裝置上的基板收納容器是偏位 傾斜造成停止或妨礙到感測器的檢測，導致後續作業中斷 的問題產生。 本發明是有鑑於上述問題而爲的發明，目的在於提供 一種即使容器本體的蓋體側爲朝下方傾斜的狀態要搭載在 裝置上時也能夠進行適當定位，不會妨礙到後續作業的基 板收納容器及其定位方法。 〔用以解決課題之手段〕 於本發明中爲解決上述課題，基板收納容器是具備有 :基板收納用的容器本體；該容器本體正面開口開閉用的 蓋體；及，設置在容器本體底部的複數定位體，其特徵爲 ，各定位體，包括：隔著間隔形成相向的複數長片；及， 於該複數長片之間當中，至少位於複數長片端部間下方的 複數短片，於這些複數的長片和短片當中，至少各短片的 ^ 內面是從容器本體的底部朝下方向逐漸擴寬傾斜的同時， 內面的上部是延長至複數長片間。 另，容器本體的底部，也可是由：容器本體的底面； 及，安裝在該容器本體的底面上的板片所構成，於容器本 體的底面，隔著間隔複數排列形成相向的一對平行肋條， 將各對平行肋條做爲定位體的複數長片，於板片，複數排 列圍著一對平行肋條的空心軌道，將各軌道的彎曲部做爲 定位體的複數短片。 此外，又可具備有內藏於蓋體要對覆蓋容器本體正面 -6- (4) 1260729 的蓋體進行上鎖的上鎖機構，該 所支撐以來自於外部的操作進行 轉體的旋轉朝蓋體內外方向進退 設置在各進退移動體，根據進退 周圍出沒被插入在容器本體正面 〇 另外，容器本體的板片，也 ，該熱塑性樹脂是從至少含有一 、碳粉、富勒嫌（Fullerene)、碳 維、氟纖維、有機矽聚合物、滑 加劑的聚碳酸酯、聚對苯二甲酸 醚亞胺、聚醚碾、聚縮醛、液晶 中至少選出一種類來做爲使用。 此外，於各定位體，也可包 向分割，從容器本體底部朝下方 另外，各定位體的區隔塊也 此外，於本發明中爲解決上 是透過複數定位體搭載在加工裝 徵爲，是於各定位體，在其長向 對內面，在將定位體分別嵌合於 ，各定位體的四個內面當中，至 定位銷。 另，在各定位體長向形成相 一對平行肋條的內面。 上鎖機構，是由：爲蓋體 旋轉的旋轉體；根據該旋 的複數進退移動體；及， 移動體的進退移動從蓋體 內周凹部的卡止部所構成 可使用熱塑性樹脂來形成 種類由碳纖維、玻璃纖維 纖管、合成纖維、金屬纖 石、雲母所形成的一群添 丁二醇酯、聚醚酮醚、聚 聚物的一群熱塑性樹脂當 括有是將複數長片朝其長 逐漸變細形成的區隔塊。 可形成爲空心的圓錐形。 述課題，基板收納容器， 置的複數定位銷上，其特 和短向分別形成相向的一 加工裝置的複數定位銷時 少有三個內面是會接觸到 向的一對內面，也可是爲 (5) 1260729 再加上，於本發明中爲解決上述課題，基板收納容器 定位方法，是一種透過複數定位體搭載在加工裝置的複數 定位銷上的基板收納容器定位方法，其特徵爲，是於各定 位體，在其長向和短向分別形成相向的一對內面，在將定 位體分別嵌合於加工裝置的複數定位銷時，是使各定位體 的四個內面當中至少有三個內面會接觸到定位銷。 於此，申請專利範圍的基板，至少是包括各種精密基 板，具體而言是包括口徑300mm、400mm、450mm的半導 體晶圓、光罩玻璃、液晶玻璃、記億光碟等。容器本體， 可以是被稱爲 FOUP的前開式盒體，也可以是被稱爲 FO SB的前開式盒體。該容器本體，可以是爲透明或半透 明或不透明，可於其頂板適宜設置透視窗。此外，蓋體， 可使用單數或複數的板片構成爲透明或半透明或不透明。 於蓋體雖設有上鎖機構，但對於該上鎖機構，是可由 :爲蓋體所支撐以來自於蓋體外部的操作就可使其旋轉的 • 旋轉體；可滑動地被支撐於蓋體，可旋轉地被連接於旋轉 體，根據該旋轉體的旋轉使其從蓋體內部方向朝外部方向 進退移動的複數進退移動桿；及，可旋轉地被支撐在蓋體 周圍開口附近可旋轉地連結於各進退移動體的前端部，根 據進退移動桿的進退移動使其從蓋體周圍開口出沒的卡止 滾輪所構成。 此外，上鎖機構，也可是由：爲蓋體所支撐以來自於 蓋體外部的操作就可使其旋轉的旋轉體；透過軸承可滑動 地支撐在蓋體，可旋轉地直接或間接連接於旋轉體，根據 -8- (6) 1260729 該旋轉體的旋轉使其從蓋體內部方向朝外部方向進退移動 的複數進退移動轉動軸；及，可旋轉地被支撐在各進退移 動轉動軸，根據進退移動轉動軸的進退動作使其從蓋體周 圍開口出沒的滾輪所構成。旋轉體和進退移動轉動軸是爲 間接性連接時，例如是可用曲柄卡止部等來連結旋轉體和 進退移動轉動軸。 另外，上鎖機構也可是以抑制塵埃產生爲條件，由： • 爲蓋體所支撐以來自於蓋體外部的操作就可使其旋轉的齒 輪；可滑動地支撐在蓋體透過其他齒輪連接於齒輪，根據 齒輪的旋轉使其從蓋體內部方向朝外部方向進退移動的複 數進退移動桿；及，形成在各進退移動桿的前端部，根據 進退移動桿的進退動作使其從蓋體周圍開口出沒的卡止爪 所構成，使進退移動桿的端部可旋轉地支撐在偏離其他齒 輪中心部的位置。 容器本體的底部，雖主要是由：容器本體的底面；及 ® ，安裝在該容器本體底面的板片所構成，但也可以只由容 器本體的底面來構成，或也可以只是爲要安裝在容器本體 上的板片。板片，其尺寸是可大於或小於容器本體的底面 ，其形狀是可變更成矩形、多角形、大致U字形、Y字形 等。 各定位體構成用的複數長片，可以是由剖面大致爲Μ 字形的塊體其形成相向的相向壁所形成’也可以是由平面 大致爲長方形的塊體其形成相向的相向長壁所形成。該複 數長片，是可形成爲從容器本體的底部朝下方逐漸擴寬傾 (7) 1260729 斜，也可形成爲並非如此。 對於各定位體，除了上述以外，其也可以是由：要設 置在容器本體底面的一對平行肋條；及，設置在容器本體 的底面圍著一對平行肋條的空心軌道所構成，將軌道的彎 曲部形成爲是從下方位於一對平行肋條之間。此外，各定 位體，也可以是由：要設置在板片上的一對平行肋條；及 ，設置在容器本體的底面圍著一對平行肋條的空心軌道所 ® 構成，軌道的彎曲部是從下方介於一對平行肋條之間。 對於空心的軌道，是可以由：平面大致形成爲橢圓形 圍住一對平行肋條周圍的環狀周壁；及，形成爲該周壁內 面的傾斜面所構成，將周壁所包圍的中央部形成爲透空的 空心。於該狀況，也可將一對平行肋條分割成前後二個的 一對平行肋條，使該前後二個的一對平行肋條分別包圍軌 道，於該一對軌道之間設置區隔塊。再加上，區隔塊，是 以形成爲圓錐形、大致半橢圓球形、截頂錐形爲佳。 〔發明效果〕 根據本發明時，例如即使容器本體的蓋體側爲朝下方 傾斜的狀態要搭載在裝置上時也能夠有適當定位的效果。 此外，還能夠有效防止定位後的作業受到妨礙。 【實施方式】 〔發明之最佳實施形態〕 以下’是參照圖面來說明本發明的最佳實施形態，此 -10- (8) 1260729 時，本實施形態的基板收納容器，是被稱爲薄板用收納、 保管容器或稱爲輸送容器，如第1圖至第4圖所示，具備 有：例如12吋的半導體晶圓所形成的複數片（例如爲25 片、2 6片）精密基板收納用的容器本體1 ;裝卸自如開閉 該容器本體1正面開口的蓋體20;根據來自於加工裝置的 蓋體開閉裝置的外部操作來對要嵌合封閉容器本體1正面 的蓋體20進行上鎖、開鎖的左右一對上鎖機構30;及， ® 排列設置在容器本體1底部的複數定位體40。 容器本體1，如第1圖所示，是使用指定的樹脂成型 爲透明的前開式盒體，兩側壁的後部是分別朝內方向局部 性傾斜使背面壁的面積設定成要比橫長的正面面積還小， 具有能夠將薄圓形的複數片精密基板（未圖示）排列在上 下方向來形成定向收納的功能。 於容器本體1的內部兩側，雖未圖示但分別配設有形 成爲一體性、裝卸自如的支撐板，該支撐板的平面大致爲 ® 〈字形或大致爲半圓弧形，於該左右一對支撐板的相向面 ，在上下方向隔著指定間距分別一體性排列設有平面大致 爲〈字形或大致爲半圓弧形的T型支撐片，該左右一對T 型支撐片是將精密基板支撐成大致水平。 各T型支撐片，雖然未加以圖示，但其是由：沿著精 密基板的周緣部形成爲平面大致是〈字形或大致是半圓弧 形的平板；形成在該平板的彎曲形成的前部內側上的前部 中程度板厚區域；形成在平板的前部外側上位於前部中程 度板厚區域的外側換句話說位於靠近支撐板位置的前部板 -11 - (9) 1260729 厚較厚區域；形成在平板後部的後部中程度 ，形成在平板的後部上位於後部中程度板厚 並且位於靠近支撐板位置的後部板厚較厚區 前部中程度板厚區域和前部板厚較厚區域之 基板接觸用的段差，使精密基板在平坦的前 區域和後部中程度板厚區域支撐成大致水平 於容器本體1底面的前部兩側和後部中 • 所示，分別排列形成有相向的一對平行肋條 體1的底面，裝卸自如地安裝有薄板的底板 地嵌入在該底板4後部的複數識別體5是透 的識別來掌握基板收納容器的型式或精密基 一對平行肋條2，如第2圖及第3圖所 中央部間一體性架設有桿形的補強肋條3， 是形成爲大致Η字形。各平行肋條2，是形 的平整直線板形，從容器本體1的底面朝下 β第4圖）。 底板4，如第2圖所示，是形成爲可對 底面大小的平面大致爲多角形等，從底面看: 排列著複數（於本實施形態爲3個）穿孔成 貫通孔，於各貫通孔的周緣部，一體形成有 圍著一對平行肋條2的空心軌道6。 各軌道6，如第3圖及第4圖所示，是 形成相向，從外側重疊於各平行肋條2的一 及，一體性短架設在該一對直線部7兩端間 板厚區域；及 區域的前方， 域所形成，在 間形成有精密 部中程度板厚 〇 央，如第2圖 2，於容器本 4，裝卸自如 過對加工裝置 β的片數等。 示，於其大致 整體從底面看 成爲沒有凹凸 方突出（參照 應容器本體1 大致Υ字模樣 大致橢圓形的 從下方嵌合包 由：隔著間隔 對直線部7 ; 彼此相向的一 -12- (10) 1260729 對彎曲部8來形成爲底面視是爲大致橢圓形，從底板4朝 容器本體1的底面方向（上方向）形成突出。 各彎曲部8，其外周面是彎曲形成爲大致半圓弧形， 平整沒有凹凸的內面9是形成爲要比一對平行肋條2之間 的間隔還窄，該內面9是形成爲從容器本體1的底部即底 板4朝下方向逐漸擴寬成直線傾斜（參照第4圖）。該內 面9，是從一對平行肋條2下端部間的相向區域2a傾斜到 # 達一對平行肋條2兩端部間的下方。 加工裝置，是於要搭載基板收納容器的搭載面，豎立 設有平面大致成Y字模樣的要分別嵌合於複數軌道6內的 3支定位銷5 0，設置有要檢測有無基板收納容器的感知器 。各定位銷50的前端部是彎曲形成爲大致橢球形。 於容器本體1的底面兩側，如第1圖所示，分別伸出 形成有朝前後方向延伸的L字形剖面的導軌1 〇，該左右 一對導軌10是爲方便基板收納容器的搬運而設。於容器 ® 本體1的頂板中央部，一體性或裝卸自如安裝有平面大致 矩形的自動式凸緣Π，該自動式凸緣11是由稱爲OHT的 自動搬運機吊著，使基板收納容器搬運至作業區內。 容器本體1開口正面的周緣部，其剖面是大致形成爲 倒L字形，藉此以形成有朝外方向伸出的邊緣部1 2，於 該邊緣部12的內周面上下，分別凹陷形成有呈矩形蓋體 20上鎖用的複數卡止孔1 3。於容器本體1的兩側壁，分 別選擇性安裝有厚板的圓板形或倒U字形的搬運手把，藉 由把持著該搬運手把來搬運基板收納容器。 -13- (11) 1260729 另，容器本體1、支撐板、T型支撐片、底板4、導 軌1 0、自動式凸緣1 1及搬運手把，例如是使用聚碳酸酯 、聚醚亞胺、聚醚酮醚，或使用環狀聚烯烴類樹脂等來形 成。於這些材料中，適宜添加有導電性賦予劑。 蓋體20’如第1圖所示，是由：要裝卸自如嵌合在容 器本體的邊緣部1 2內剖面爲大致碟形的箝合板21 ;及， 要覆蓋該嵌合板2 1表面開口的蓋板22所構成，是中間隔 著彈性的前護圈（未圖示）使精密機板被保持在蓋體20 與設置在容器本體1內部背面的後護圈（未圖示）之間。 嵌合板21，是形成爲其四角部端面爲倒圓的橫長正面 大致矩形，周壁是形成爲剖面大致L字形或大致Η字形或 大致Ζ字形以確保剛性，爲該周壁所嵌合的無端的密封塞 條是變形緊密嵌入在容器本體1的邊緣部12內，以確保 密封性。 該密封塞條，雖未圖示，但其例如是由：空心框形的 基材；從該基材邊形成傾斜的同時突出延伸在基材周方向 外側的尖細彎曲片；及，從基材突出以壓力作用狀態能夠 強力嵌入在嵌合板21周壁上形成的嵌合保持溝內的單數 或複數的嵌合肋條所形成，當蓋體2 1所密封的基板收納 容器的內外產生壓力差時，具有能夠限制含有塵埃的氣體 從基板收納容器的外部流入內部，使氣體只能夠從基板收 納容器的內部流出外部的單方向性密封功能。 上述密封塞條，例如是使用矽膠、氟膠、熱塑性聚酯 類合成橡膠、熱塑性聚烯烴類合成橡膠等來成型爲可彈性 •14- (12) 1260729 變形。 於嵌合板2 1的周壁，隔著間隔穿孔有洗 的複數去水孔，於周壁的上下，隔著指定間隔 一對開□，各開口是於蓋體20的嵌合時與容; 卡止孔1 3形成相向。於嵌合板2 1的左右兩側 隔著指定間隔穿孔有蓋板2 2用的複數安裝孔。 蓋板22，如第1圖所示，其是形成爲板形 • 側的中央部附近，分別穿孔有上鎖機構3 0用 貫通操作孔23，各貫通操作孔23是爲加工裝 蓋體開閉裝置的操作鑰匙所貫通。 另，蓋體20，例如是使用聚碳酸酯、含氟 聚對苯二甲酸丁二醇酯、聚醚酮醚、聚醚亞胺 來成型。 各上鎖機構3 0，雖省略詳細說明，但其是 板2 1內的圓筒肋條所嵌合支撐從外部以操作 B 操作就可旋轉的旋轉體即旋轉捲軸；可滑動地 合板21和蓋板22的凸輪間，根據旋轉捲軸的 20內外方向直線滑動的複數進退移動體即進退 ，形成在各進退移動桿的前端部，伴隨著進退 退移動從蓋體周圍開口出沒嵌合卡止於邊緣部 1 3的卡止部即卡止爪所構成。 另，蓋體開閉裝置的連接位置或尺寸，是J 格來規定每個容器的尺寸。例如：關於1 2吋 半導體晶圓定向收納作業容器的蓋體20自動 淨時要使用 形成有左右 器本體1的 的周壁內， ，於左右兩 的正面矩形 置構成用的 聚碳酸酯、 或聚縮醛等 由：爲嵌合 鑰匙的旋轉 被夾持在嵌 旋轉朝蓋體 移動桿；及 移動桿的進 1 2卡止孔 4 S Ε ΜI 規 (3 00mm ) 開閉用裝置 -15- (13) 1260729 界面的規格，是被規定成可對應SEMI規格的E62 化的蓋體開閉裝置。 上鎖機構30，例如是使用聚碳酸酯、含氟聚碳酸 聚對苯二甲酸丁二醇酯、聚醚酮醚、聚醚亞胺或聚縮 來成型。 各定位體40，如第3圖及第4圖所示’是由形成 — 器本體1底面的一對平行肋條2和形成在底板4上的 ^ 6的一對彎曲部8來形成凹陷的凹部，平形肋條2是 爲要比彎曲部8還長。軌道6短向的彎曲部8的內谊 如第4圖所示，是從上方朝下方逐漸直線擴寬傾斜， 端部是延長至一對平行肋條2下端部間的相向區域2 a 根據上述構成時，以基板收納容器重的正面側爲 方傾斜的狀態要定位搭載在加工裝置上時’因各定位‘ 構成用的一對平行肋條2內面和軌道6 —對內面9的 當中至少有三個面接觸到定位銷5 0，所以能夠使基板 ® 容器穩定確實滑動至常態位置。如此一來就能夠達到 確度的定位，並且，即使產生振動等基板收納容器也 偏離常態位置。 此外，因能夠使定位體40分別均等接觸嵌合於 裝置的複數定位銷5 0，所以基板收納容器不會偏位傾 住在加工裝置上。因此，完全不會發生因基板收納容 斜卡住造成的感知器檢測障礙，能夠抑制防止後續作 斷。 再加上，因軌道6平整沒有凹凸的內面9的上端 標準 酯、 醛等 在容 軌道 形成 9， 其上 〇 朝下 I 40 四面 收納 高精 不會 加工 斜卡 器傾 業中 部是 •16- (14) 1260729 延長至一對平行肋條2下端部間的相向區域2 a，使一對平 行肋條的內面和軌道6的內面9是形成爲大致連續，所以 定位時不穩的狀況實在少，基板收納容器不會偏離常態位 置。 如以上所述，於具有複數定位體40的基板收納容器 定位在備有複數定位銷50的加工裝置上時，因定位體40 的四面當中至少有三面是接觸到定位銷50，所以就能夠有 • 尺寸精確度佳的基板收納容器的定位。 其次，第5圖至第7圖是表示本發明的第2實施形態 ，於該狀況時，是將一對平行肋條2分割成前部一對平行 肋條2A和後部一對平行肋條2B，這些前部一對平行肋條 2A和後部一對平行肋條2B是分別以軌道6圍住的同時， 於該一對軌道6之間，形成有使前部一對平行肋條2A和 後部一對平行肋條2B於前後長向區分爲二的區隔塊41。 區隔塊41，如第7圖所示，其是形成爲從底板4朝下 ® 方逐漸變細的空心圓錐形，外周面42是形成爲沒有凹凸 的平整面，定位銷50是可滑動接觸到該外周面42以被引 導至指定位置。對於其他的部份，因是與上述實施形態相 同所以省略說明。 於該實施例同樣是能夠期待有與上述實施形態相同的 效果，再加上，因是於前部一對平行肋條2A和後部一對 平行肋條2B之間隔著定位銷50引擎用的區隔塊41，使 定位銷5 0接觸到一對平行肋條2的內面、軌道6的內面 及區隔塊4 1的外周面42所形成的四面，所以定位銷50 -17- (15) 1260729 不穩定範圍變少。因此，明確的效果是能夠期待有局精確 度的定位，並且，能夠抑制防止因振動等所造成的基板收 納容器從常態位置偏離。 另，上述實施形態中雖然是圖不著只水平方向開口的 前開式盒體的容器本體1，但在蓋體20拆卸時或精密基板 取出時也可將容器本體1朝向上方此外的也可準備支撐框 _ 來替代支撐板，於該支撐框上隔著縱肋條將複數τ型支撐 ® 片排列設置在上下方向。另外，於支撐框的後部’也可形 成有位於彼此鄰接τ型支撐片間的剖面爲大致倒u字形大 致倒V字形的保持溝，將精密基板的兩側部後方周緣支撐 在該保持溝。 此外，各T型支撐片，也可是由：沿著精密基板的周 緣部形成爲平面大致是〈字形的平板；形成在該平板的彎 曲形成的前部內側上的前部中程度板厚肋條；形成在平板 的前部外側上位於前部中程度板厚肋條的外側換句話說位 ® 於靠近支撐框位置的前部板厚較厚區域；及，形成在平板 後部的後部中程度板厚區域所形成，在前部中程度板厚肋 條和前部板厚較厚區域之間形成著段差，使精密基板在大 致平坦的前部中程度板厚肋條和後部中程度板厚區域支撐 成大致水平。 另外，複數定位體40不一定要各置在容器本體1的 底面，也可分別設置在底板4。此外，也可將底板4擴大 形成然後於其兩側部豎立設置與容器本體1的兩側壁形成 相向的相向壁，於個相向壁安裝有把持用的搬運手把。此 -18- (16) 1260729 外，於底板4的後部，也可豎立設置著位於容器本體1背 面側的壁，於該壁上黏貼、嵌合或支撐著識別碼或1C標 籤等。 此外，也可將容器本體1開口正面的周緣部形成剖面 爲大致倒L字形將其前端部形成剖面爲大致U字形，將這 些凹陷的內部空間做爲卡止孔1 3來使用。另外，也可於 嵌合板21的被面周緣部安裝無端第一密封塞條的同時， 於嵌合板21的周壁安裝無端第二密封塞條，使第二密封 塞條是位於第一密封塞條的寬度方向外側。 再加上，底板4和定位體40，是可使用熱塑性樹脂來 成型，該熱塑性樹脂是從至少適量含有一種類由碳纖維、 玻璃纖維、碳粉、富勒烯、碳纖管、合成纖維、金屬纖維 、氟纖維、有機矽聚合物、滑石、雲母所形成的一群添加 劑之聚碳酸酯、聚對苯二甲酸丁二醇酯、聚醚酮醚、聚_ 亞胺、聚醚碾、聚縮醛、液晶聚物的一群熱塑性樹脂當中 至少選出一種類來使用。又此外，定位體40，也可~體开多 成於容器本體1，也可使用與容器本體1不同的材料來开多 成，然後以插入成型等方法來與容器本體1形成一體。 〔實施例〕 以下，是同時對本發明相關的基板收納容器及其$ 方法的實施例和比較例進行說明。 (實施例1 ) -19- (17) 1260729 首先，如第8圖所示，是準備好以根據SEMI規格尺 寸所製成的底板用的測定工具，將具有第1實施形態定位 體的基板收納容器以空狀態搭載在該測定工具上，從常態 位置移動成第9圖所示的位置後在放手的狀況下對10個 試體進行確認是否會恢復成原來位置，將該確認結果整理 在表1。
(實施例2 ) 將具有第2實施形態定位體的基板收納容器以空狀態 搭載在該測定工具上，從常態位置移動成第9圖所示的位 置後在放手的狀況下對1 0個試體進行確認是否會恢復成 原來位置，將該確認結果整理在表1。 (比較例） 將具有第1 〇圖至第1 2圖所示習知定位體的基板收納 容器以空狀態搭載在該測定工具上，從常態位置移動成第 9圖所示的位置後在放手的狀況下對1 〇個試體進行確認是 否會恢復成原來位置，將該確認結果整理在表1。 -20- (18) 1260729 〔表1〕 確認是否有 ‘卡在定位銷上的狀況 是否有卡在定位銷上的狀況 實施例1 無（〇/ 10 ) 實施例2 無（〇/ 10 ) 比較例 有（9/ 10 ) 【圖式簡單說明】 第1圖爲表示本發明相關基板收納容器的實施形態模 式全體透視圖。 第2圖爲表示本發明相關基板收納容器及其定位方法 的實施形態底面圖。 第3爲表示本發明相關基板收納容器及其定位方法的 實施形態中定位體的底面圖。 第4圖爲第3圖IV-IV剖線的剖面圖。 第5圖爲表示本發明相關基板收納容器及其定位方法 的第2實施形態底面圖。 第6爲表示本發明相關基板收納容器及其定位方法的 第2實施形態中定位體的底面圖。 第7圖爲第6圖VII-VII剖線的剖面圖。 第8爲表示本發明相關基板收納容器及其定位方法的 的態 法狀 方的 位時 定上 其具 及工 器定 容測 。 納的 圖收用 明板板 說基底 具關在 工相載 定明搭 測發要 的本體 用示本 板表器 底爲容 中 9 中 例第例 施 施 -21 - (19) 1260729 說明圖。 第1 0圖爲表示習知的基板收納容器底面圖。 第11圖爲表示習知的基板收納容器的定位體底面圖 〇 第12圖爲第1 1圖XII-X剖線的剖面圖。 【主要元件符號說明】 1 :容器本體 2 : —對平形肋條（長片、內面） 2A :前部一對平行肋條 2 a :相向區域 2B :後部一對平行肋條 3 :補強肋條 4 :底板（板片） 6 :軌道 7 :直線部 8 :彎曲部（短片） 9 :內面 12 :邊緣部（正面開口） 13 :卡止孔（凹部） 20 :蓋體 21 :嵌合板 22 :蓋板 23 :貫通操作孔 •22- (20) (20)1260729 3 0 :上鎖機構 40 :定位體 41 :區隔塊 4 2 :外周面 5 0 :定位銷
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