KR101708087B1 - 기판 수납 용기 - Google Patents

Abstract

덮개측으로 중심이 치우치는 것을 억제하여 덮개측으로 경사지는 것을 방지하고, 안정된 자세로 반송 등을 할 수 있는 기판 수납 용기를 제공한다. 복수매의 반도체 웨이퍼를 정렬 수납하는 용기 본체(1)와, 이 용기 본체(1)의 개구된 정면을 착탈이 자유롭게 개폐하는 덮개를 구비하고, 용기 본체(1)의 천장(5)의 대략 중앙부에 반송용의 로보틱 플랜지를 장착한 기판 수납 용기이고, 용기 본체(1)의 배면벽(7)이나 측벽(10) 후부 등의 후부에 무거운 중심 위치 조정 부재(40)를 설치하고, 이 중심 위치 조정 부재(40)에 의해 기판 수납 용기가 덮개측으로 경사지는 것을 규제한다. 용기 본체(1)의 후부에 중심 위치 조정 부재(40)가 위치하여 카운터웨이트로서 기능하므로, 반도체 웨이퍼를 수납한 기판 수납 용기의 중심 위치를 반도체 웨이퍼의 센터 위치로부터 ±35㎜ 이내의 허용 범위로 억제할 수가 있다.

Description

기판 수납 용기{SUBSTRATE STORAGE CONTAINER}

본 발명은, 반도체 웨이퍼로 대표되는 기판을 수납, 보관, 반송, 수송 등 할 때에 사용되는 기판 수납 용기에 관한 것이다.

종래에 있어서의 기판 수납 용기는, 도시하지 않지만, 복수매의 반도체 웨이퍼를 상하 방향으로 정렬 수납하는 용기 본체와, 이 용기 본체의 개구된 정면을 개폐하는 무거운 덮개를 구비하고, 공정간에 자동적으로 반송되어 반도체 웨이퍼용의 가공 장치에 부설된 로드 포트(load port) 장치에 위치 결정 탑재된다(특허 문헌 1 참조).

용기 본체는 예를 들면 φ300㎜나 450㎜의 반도체 웨이퍼를 수평으로 수납하는 정면이 개구된 프런트 오픈 박스로 형성되고, 천장의 대략 중앙부에, 공장의 천장 반송 기구에 쥐어져 매달리는 반송용의 로보틱 플랜지(robotic flange)가 장착되어 있다. 또, 덮개는 로드 포트 장치의 덮개 개폐 장치에 외부로부터 조작되는 잠금 기구가 내장되고, 용기 본체에 수납된 반도체 웨이퍼에 대향하는 대향면에 복수매의 반도체 웨이퍼의 전부(前部) 주연(周緣)을 탄발적으로 보유하는 프런트 리테이너(front retainer)가 장착되어 있고, 이들 잠금 기구나 프런트 리테이너에 의해 질량이 증대된다.

일본국 특허공개 2000­306988호 공보

종래에 있어서의 기판 수납 용기는, 이상과 같이 구성되고, 반도체 웨이퍼를 수납한 용기 본체의 개구된 정면에 무거운 덮개가 감합되므로, 반도체 웨이퍼의 센터 위치에서 정면측, 환언하면 전방의 덮개측으로 중심이 크게 치우치게 되어, 천장 반송 기구에 의해 들어 올려 반송될 때, 덮개측으로 경사지는 일이 적지 않다. 이 결과, 천장 반송 기구에 의한 반송시에 기판 수납 용기를 안정된 자세로 고속 반송하거나 가공 장치의 로드 포트 장치에 수평으로 위치 결정 탑재하는 것이 매우 곤란하게 된다고 하는 문제가 생긴다.

이러한 문제를 해소하는 수단으로서 덮개를 얇게 형성하여 경량화를 도모하는 방법이 제안되어 있다. 그렇지만, 이 방법에 의한 경우, 프런트 리테이너가 반도체 웨이퍼를 보유할 때의 반력이 덮개에 작용하므로, 덮개의 강성이 부족하여 변형이나 손상을 초래할 우려가 새롭게 생긴다.

본 발명은 상기를 감안한 것으로, 덮개측으로 중심이 치우치는 것을 억제하여 덮개측으로 경사지는 것을 방지하고, 안정된 자세로 반송 등을 할 수 있는 기판 수납 용기를 제공하는 것을 목적으로 하고 있다.

본 발명에 대해 상기 과제를 해결하기 위해, 기판을 수납하는 용기 본체와, 이 용기 본체의 개구된 정면을 개폐하는 덮개를 구비하고, 용기 본체에 반송용의 매달림부를 구비한 것으로서, 용기 본체의 후부에 중심 위치 조정 부재를 설치하고, 이 중심 위치 조정 부재에 의해 덮개측으로 경사지는 것을 규제하도록 한 것을 특징으로 하고 있다.

또한, 용기 본체의 천장에, 반송 기구에 쥐어지는 로보틱 플랜지를 장착하여 매달림부로 하고, 덮개에 기판의 주연(周緣)을 보유하는 리테이너를 장착함과 아울러 잠금 기구를 설치할 수가 있다.

또, 중심 위치 조정 부재는, 용기 본체의 배면벽에 장착되고, 충격 완화재가 이동 가능하게 충전된 중공의 캡슐(capsule)로 할 수가 있다.

또, 용기 본체의 배면벽 양측부에 오목부를 각각 형성하여 오목부의 내면에는 간섭 리브(rib)를 형성하고, 캡슐을 중공의 대략 기둥 모양으로 형성하여 용기 본체의 복수의 오목부에 각각 감합 가능하게 하고, 캡슐의 외주면에 오목부의 간섭 리브(rib)에 감합되는 간섭 홈(groove)을 형성할 수가 있다.

또, 용기 본체의 배면벽에, 캡슐에 탄성 보유편을 간섭시켜 그 탈락을 방지하는 스토퍼 밴드(stopper band)를 장착할 수가 있다.

또, 용기 본체의 배면벽 내면 양측부에 기판의 주연을 보유 가능한 리테이너를 오목부에 대향시켜 형성할 수도 있다.

또, 중심 위치 조정 부재는, 용기 본체의 측벽 후부에 형성되는 보강 리브로 하는 것이 가능하다.

또, 중심 위치 조정 부재는, 용기 본체의 배면벽측의 하부에 장착되는 추체(錘體)로 하는 것이 가능하다.

또, 중심 위치 조정 부재를 용기 본체의 배면벽에 장착되는 복수의 지지 블록으로 하고, 이 복수의 지지 블록에 의해 용기 본체를 정면이 상향으로 되도록 배치한 경우에, 용기 본체의 기울어짐을 방지하는 것도 가능하다.

또한, 중심 위치 조정 부재를 용기 본체의 배면벽에 장착되는 지지판으로 하여 그 용기 본체의 배면벽에 접촉하지 않는 비접촉면을 경사 형성하고, 이 지지판에 의해 용기 본체를 정면이 상향으로 되도록 배치한 경우에, 용기 본체를 한 방향으로 경사지게 하는 것도 기대할 수 있다.

여기서, 특허 청구의 범위에 있어서의 기판에는 적어도 φ300㎜나 450㎜의 반도체 웨이퍼, 회로 기판, 유리 기판, 마스크 기판 등이 단수 복수 포함된다. 또, 용기 본체나 캡슐은 투명, 불투명, 반투명의 어느 것이라도 좋다. 용기 본체의 배면벽에 대해서는 요철의 보강 구조로 구성하여 그 일부를 상하 방향으로 뻗는 오목부로 하고, 이 오목부를 단면 대략 반원의 홈(groove)으로 형성할 수가 있다.

용기 본체의 배면벽측의 하부에는, 적어도 용기 본체의 배면벽 하부, 용기 본체의 저판에 장착되는 보텀 플레이트(bottom plate)의 후부, 용기 본체의 저판(底板)과 보텀 플레이트의 후부와의 사이가 포함된다. 간섭 리브나 간섭 홈의 형상이나 수 등은 적당하게 증감 변경할 수가 있다. 또한, 보강 리브나 추체는 착탈 자유의 유무나 단수 복수를 특별히 묻는 것은 아니다.

본 발명에 의하면, 용기 본체의 후부에 중심 위치 조정 부재를 설치하여 카운터웨이트(counterweight)로서 기능시키므로, 기판을 수납한 기판 수납 용기의 중심의 이동을 기판의 센터 위치로부터 소정의 허용 범위 내로 억제할 수가 있다. 이 억제 작용에 의해 기판을 수납한 기판 수납 용기의 중심이 덮개측으로 치우치는 것을 방지하거나 기판 수납 용기가 덮개측으로 경사지는 것을 억제하여 기판 수납 용기의 자세를 안정시킬 수가 있다.

본 발명에 의하면, 덮개측으로 중심이 치우치는 것을 억제하여 덮개측으로 기판 수납 용기가 경사지는 것을 방지하고, 안정된 자세로 반송 등을 할 수가 있다고 하는 효과가 있다.

또, 중심 위치 조정 부재를 용기 본체의 배면벽에 장착되고, 충격 완화재가 이동 가능하게 충전된 중공의 캡슐로 하면, 예를 들면 기판 수납 용기에 충격 등이 작용해도, 기판 수납 용기의 거동에 수반하는 충격 완화재의 이동에 의해 충격 등을 흡수하거나 감쇠할 수가 있다.

또, 용기 본체의 배면벽 양측부에 오목부를 각각 형성하여 오목부의 내면에는 간섭 리브를 형성하고, 캡슐을 중공의 대략 기둥 모양으로 형성하여 용기 본체의 복수의 오목부에 각각 감합 가능하게 하고, 캡슐의 외주면에 오목부의 간섭 리브에 감합되는 간섭 홈을 형성하면, 배면벽의 양측부에 캡슐을 대략 균등하게 위치시켜, 기판 수납 용기의 밸런스를 향상시키거나 밸런스의 악화에 수반하는 기판의 위치 어긋남이나 회전 등을 저지할 수가 있다. 또, 간섭 리브와 간섭 홈의 감합에 의해 간단하고 쉬운 구성으로 캡슐의 탈락을 방지하는 것이 가능하게 된다.

또, 청구항 6 기재의 발명에 의하면, 복수의 지지 블록의 높이를 가지런히 할 수가 있으므로, 기판을 수납한 용기 본체를 정면이 상향으로 되도록 배치한 경우에, 용기 본체의 자세를 안정시켜, 용기 본체 내의 기판이 기울어 접촉하고, 파손 등이 되는 것을 방지하는 것이 가능하게 된다. 또, 용기 본체에 오목부를 설치할 필요가 없기 때문에 용기 본체를 성형하는 경우에 금형에 개량을 행할 필요가 없다.

또한, 청구항 7 기재의 발명에 의하면, 복수매의 기판을 수납한 용기 본체를 정면이 상향으로 되도록 배치하고, 이 용기 본체의 정면으로부터 덮개를 떼어내도, 수납된 복수매의 기판을 한 방향으로 기울여 정렬 지지할 수가 있다. 따라서, 복수매의 기판끼리가 접촉하거나 인접하는 기판끼리가 반대 방향으로 기울어 접촉하고, 이 접촉에 수반하여 손상되거나 파손을 초래하는 것을 방지하는 것이 가능하게 된다. 또한, 용기 본체에 오목부를 설치할 필요가 없기 때문에 용기 본체를 성형하는 경우에 금형을 개량할 필요가 없다.

도 1은 본 발명과 관련되는 기판 수납 용기의 실시 형태를 모식적으로 나타내는 전체 사시 설명도이다.
도 2는 본 발명과 관련되는 기판 수납 용기의 실시 형태에 있어서의 용기 본체의 배면벽측을 모식적으로 나타내는 사시 설명도이다.
도 3은 본 발명과 관련되는 기판 수납 용기의 실시 형태에 있어서의 용기 본체의 오목부와 캡슐을 모식적으로 나타내는 사시 설명도이다.
도 4는 본 발명과 관련되는 기판 수납 용기의 실시 형태에 있어서의 용기 본체의 오목부를 모식적으로 나타내는 부분 설명도이다.
도 5는 본 발명과 관련되는 기판 수납 용기의 실시 형태에 있어서의 용기 본체의 오목부를 모식적으로 나타내는 부분 배면 설명도이다.
도 6은 본 발명과 관련되는 기판 수납 용기의 실시 형태에 있어서의 캡슐을 모식적으로 나타내는 사시 설명도이다.
도 7은 본 발명과 관련되는 기판 수납 용기의 실시 형태에 있어서의 캡슐을 모식적으로 나타내는 부분 단면 사시 설명도이다.
도 8은 본 발명과 관련되는 기판 수납 용기의 제2의 실시 형태를 모식적으로 나타내는 사시 설명도이다.
도 9는 본 발명과 관련되는 기판 수납 용기의 제3의 실시 형태를 모식적으로 나타내는 사시 설명도이다.
도 10은 본 발명과 관련되는 기판 수납 용기의 제3의 실시 형태를 모식적으로 나타내는 배면 설명도이다.
도 11은 본 발명과 관련되는 기판 수납 용기의 제4의 실시 형태를 모식적으로 나타내는 사시 설명도이다.
도 12는 본 발명과 관련되는 기판 수납 용기의 제4의 실시 형태에 있어서의 스토퍼 밴드(stopper band)를 모식적으로 나타내는 단면 설명도이다.
도 13은 본 발명과 관련되는 기판 수납 용기의 제5의 실시 형태를 모식적으로 나타내는 설명도이다.
도 14는 본 발명과 관련되는 기판 수납 용기의 제6의 실시 형태를 모식적으로 나타내는 설명도이다.

이하, 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시의 형태를 설명하면, 본 실시 형태에 있어서의 기판 수납 용기는, 도 1 내지 도 7에 나타내듯이, 반도체 웨이퍼 W를 정렬 수납하는 용기 본체(1)와, 이 용기 본체(1)의 개구된 정면(13)을 착탈이 자유롭게 개폐하는 무거운 덮개(20)를 구비하고, 용기 본체(1)의 후부에 무거운 중심 위치 조정 부재(40)를 설치하고, 이 중심 위치 조정 부재(40)에 의해 전방의 덮개(20)측으로 중심이 치우치는 것을 억제하거나 덮개(20)측으로 경사지는 것을 규제하도록 하고 있다.

반도체 웨이퍼 W는, 도 1에 나타내듯이, 예를 들면 775㎛의 두께를 가지는φ300㎜, 혹은 925㎛의 두께를 가지는 φ450㎜의 실리콘 웨이퍼로 이루어지고, 주연부에 도시하지 않는 위치 맞춤이나 식별용의 노치(notch)가 평면 V자형으로 절결(cut out)되어 있고, 용기 본체(1)에 25매가 상하 방향으로 정렬되어 수납된다.

용기 본체(1)와 덮개(20)는 소정의 수지를 함유하는 성형 재료에 의해 복수의 부품이 각각 사출 성형되고, 이 복수의 부품의 조합으로 구성된다. 이 성형 재료 중의 소정의 수지로서는, 예를 들면 역학적 성질이나 내열성 등이 뛰어난 폴리카보네이트, 폴리에테르에테르케톤, 폴리에테르이미드, 폴리부틸렌테레프탈레이트, 폴리에스테르계, 폴리스티렌계, 폴리올레핀계 등으로 이루어지는 열가소성 엘라스토머(elastomer), 폴리아세탈, 액정 폴리머, 혹은 환상 올레핀 수지 등을 들 수 있다. 이 소정의 수지에는 카본, 카본 섬유, 금속 섬유, 카본 나노 튜브, 도전성 폴리머, 대전 방지제, 또는 난연제 등이 필요에 따라서 선택적으로 첨가된다.

용기 본체(1)는, 도 1 내지 도 3에 나타내듯이, 반도체 웨이퍼 W를 수평으로 수납하는 정면(13)이 개구된 프런트 오픈 박스로 성형되고, 가로로 긴 정면(13)을 수평 횡방향을 향한 상태로 가공 장치에 부설된 로드 포트 장치 상에 위치 결정되어 탑재되거나, 세정조의 세정액에 의해 세정된다. 이 용기 본체(1)의 내부 양측, 환언하면 양쪽 측벽(10)의 내면에는 반도체 웨이퍼 W를 수평으로 지지하는 좌우 한 쌍의 지지 티스(teeth)(2)가 대향하여 설치되고, 이 한 쌍의 지지 티스(2)가 상하 방향으로 소정의 피치(pitch)로 배열되어 있고, 각 지지 티스(2)가 전후 방향으로 가늘고 긴 판편(板片)으로 형성된다.

용기 본체(1)의 저판(3)의 전부 양측과 후부 중앙에는 복수의 위치 결정구(決定具)가 체결 나사 등을 통해 각각 나착(螺着)되고, 각 위치 결정구가 단면 대략 V자형으로 형성되어 로드 포트 장치의 테이블 상의 위치 결정 핀(pin)에 상방으로부터 감합하고, 기판 수납 용기, 환언하면 용기 본체(1)를 고정밀도로 위치 결정하도록 기능한다. 또, 용기 본체(1)의 저판(3)에는 저판(3)을 피복하여 복수의 위치 결정구 등을 각각 노출시키는 보텀 플레이트(4)가 체결 나사를 통해 수평으로 나착되고, 이 보텀 플레이트(4)의 좌우 양측부에는 반송용의 컨베이어 레일이 각각 선택적으로 형성된다.

용기 본체(1)의 천장(5)의 대략 중앙부에는 도 1에 나타내듯이, 반송용의 로보틱 플랜지(6)가 착탈이 자유롭게 장착되고, 이 로보틱 플랜지(6)가 공장의 천장 반송 기구에 쥐어져 매달린 후, 기판 수납 용기가 공정간에 고속으로 반송된다.

용기 본체(1)의 후부인 배면벽(7)은, 도 2 내지 도 5에 나타내듯이, 예를 들면 요철의 보강 구조로 구성되고, 좌우 양측부에는 상하 방향으로 직선적으로 뻗는 오목부(8)가 각각 내측 방향을 향해 오목하게 형성되어 있고, 이 좌우 한 쌍의 오목부(8)가 각각 단면 대략 반원의 홈(groove) 모양으로 만곡 형성된다. 각 오목부(8)의 상하 양단부의 내면에는 외부로 노출되는 간섭 리브(9)가 각각 평면 대략 반원호형으로 만곡 형성된다. 또, 배면벽(7)의 내면 양측부에는 반도체 웨이퍼 W의 후부 주연(周緣)을 보유 가능한 리어 리테이너가 오목부(8)에 대향하도록 각각 선택적으로 형성된다.

용기 본체(1)의 양쪽 측벽(10) 외면에는 전후 방향으로 뻗은 장착용의 절결(11)이 형성되고, 각 절결(11)에 그립부(grip portion)(12)가 각각 착탈이 자유롭게 장착된다. 각 그립부(12)는 작업의 비상시 등에 쥐어짐 조작되는 외에, 용기 본체(1)의 보강이나 변형 방지의 기능을 발휘한다.

용기 본체(1)의 배면벽(7)의 반대측에 위치하는 정면(13)은 주연으로부터 외측 방향으로 튀어 나온 림 플랜지(rim flange)(14)가 부풀어 나와 형성되고, 이 림 플랜지(14) 내에 덮개(20)가 로드 포트 장치의 덮개 개폐 장치에 의해 착탈이 자유롭게 압입되어 감합된다. 이 림 플랜지(14)의 내주면의 상하 양측부에는 덮개(20)의 잠금 기구(30)용의 계지 구멍(15)이 각각 천공된다.

덮개(20)는, 도 1에 나타내듯이, 용기 본체(1)의 정면(13)의 림 플랜지(14) 내에 감합하는 가로로 긴 케이스(21)와, 이 케이스(21)의 개구된 정면을 피복 하는 표면 플레이트(28)와, 이들 케이스(21)와 표면 플레이트(28)의 사이에 개재되는 잠금 기구(30)를 구비하여 구성된다.

케이스(21)는 기본적으로는 프레임 모양의 주벽(周壁)을 구비한 얕은 바닥의 단면 대략 그릇 모양으로 형성되고, 중앙부가 이면측으로부터 표면측을 향해 정면 대략 상자 모양으로 돌출 형성되어 있고, 이 중앙부와 주벽의 좌우 양측부의 사이에 잠금 기구(30)용의 설치 공간이 각각 구획 형성된다. 케이스(21)의 주벽의 상하 양측부에는 잠금 기구(30)용의 관통공(22)이 각각 천공되고, 각 관통공(22)이 림 플랜지(14)의 계지 구멍(15)에 대향한다.

케이스(21)의 용기 본체(1)에 수납된 반도체 웨이퍼 W에 대향하는 대향면, 즉 이면에는 복수매의 반도체 웨이퍼 W의 전부(前部) 주연을 탄발적으로 보유하는 프런트 리테이너(23)가 착탈이 자유롭게 장착된다. 이 프런트 리테이너(23)는 케이스(21)의 이면에 장착되어 덮개(20)의 변형을 방지하는 세로로 긴 프레임체(frame body)(24)를 구비하고, 이 프레임체(24)의 종잔부(vertical crosspiece portion)에는 경사지면서 반도체 웨이퍼 W 방향으로 뻗는 복수의 탄성편(25)이 각각 상하로 늘어 놓여 일체로 형성되어 있고, 각 탄성편(25)의 선단부에는 반도체 웨이퍼 W의 전부 주연을 V홈에 의해 보유하는 작은 보유 블록(26)이 일체로 형성된다.

케이스(21)의 이면 주연부(周緣部)에는 프레임 모양의 감합홈이 형성되고, 이 감합홈에는 용기 본체(1)의 정면(13) 내주연(內周緣)에 압접하는 립(lip) 형태의 개스킷(gasket)이 긴밀하게 감합된다. 이 개스킷은 예를 들면 내열성이나 내후성(耐候性) 등이 뛰어난 불소 고무, 실리콘 고무, 각종의 열가소성 엘라스토머(elastomer)(예를 들면, 올레핀계, 폴리에스테르계, 폴리스티렌계 등) 등을 성형 재료로 하여 탄성변형 가능한 프레임 모양으로 성형된다.

표면 플레이트(28)는 케이스(21)의 개구된 정면에 대응하도록 가로로 긴 평판으로 형성되고, 좌우 양측부에 잠금 기구(30)용의 조작구(29)가 각각 천공된다. 또, 잠금 기구(30)는 표면 플레이트(28)의 조작구(29)를 관통한 덮개 개폐 장치의 조작 핀에 회전 조작되는 좌우 한 쌍의 회전 플레이트(31)와, 각 회전 플레이트(31)의 회전에 수반하여 상하 방향으로 슬라이드하는 복수의 슬라이드 플레이트(slide plate)(32)와, 각 슬라이드 플레이트(32)의 슬라이드에 수반하여 케이스(21)의 관통공(22)로부터 돌출되어 림 플랜지(rim flange)(14)의 계지 구멍(15)에 계지하는 복수의 계지조(locking claw)(33)를 구비하여 구성되고, 프런트 리테이너(23)의 전방에 위치한다.

중심 위치 조정 부재(40)는, 도 2 내지 도 7에 나타내듯이, 용기 본체(1)의 배면벽(7)에 있어서의 좌우 한 쌍의 오목부(8)에 각각 착탈이 자유롭게 감합되고, 덮개(20)의 질량에 균형이 맞는 소정량의 충격 완화재(43)가 충전된 좌우 한 쌍의 무거운 캡슐(41)로 이루어지고, 반도체 웨이퍼 W를 수납한 기판 수납 용기의 중심 위치를 반도체 웨이퍼 W의 센터 위치로부터 ±40㎜ 이내, 바람직하게는 ±30㎜ 이내의 허용 범위로 한다.

각 캡슐(41)은 소정의 재료를 이용하여 용기 본체(1)의 배면벽(7)의 높이와 대략 같은 길이를 가지는 중공 세로로 긴 원기둥형, 환언하면 실린더 모양으로 형성되고, 상하 양단부의 외주면에는 오목부(8)의 간섭 리브(9)에 압입하여 긴밀하게 감합하는 대략 링 모양(ring shape)의 간섭 홈(42)이 각각 형성되어 있고, 이 간섭 홈(42)의 긴밀한 감합에 의해 탈락이 방지된다. 캡슐(41)의 소정의 재료로서는 예를 들면 용기 본체(1)나 덮개(20)와 같은 성형 재료, 알루미늄, 스테인리스강, 동(銅) 등으로 이루어지는 각종 금속, 이들의 합금, 혹은 이들의 금속이나 합금에 수지 코팅(coating)하여 피복한 재료 등이 해당한다.

캡슐(41)은 충격 완화재(43)의 주입이나 충전량의 변경을 용이하게 하고 싶은 경우, 상하 방향이나 좌우 방향으로 분할 가능하게 형성된다. 예를 들면, 충격 완화재(43)가 주입되는 바닥을 갖는 원통형의 캡슐 본체를 구비하고, 이 캡슐 본체의 개구 단부에 착탈 자유의 캡(cap)이 나사 감합하는 구성 등으로 된다.

충격 완화재(43)는 특히 한정되는 것은 아니지만, 예를 들면 액체, 겔(gel)상 부재, 입상체, 발포체 등이 해당하고, 기판 수납 용기의 움직임에 따라 상하 방향 등으로 동작하여 댐퍼(damper)로서도 기능한다. 이 충격 완화재(43)가 액체인 경우에는, 물, 점성 저항이 높은 오일, 물을 흡수한 폴리아크릴산, 폴리비닐알코올, 폴리우레탄, 폴리아크릴아미드, 오일을 흡수한 폴리노보넨 수지, 폴리스티렌-부타디엔 공중합 수지 등이 적당히 사용된다.

상기 구성에 의하면, 용기 본체(1)의 배면벽(7)의 오목부(8)에 대형의 캡슐(41)을 감합하여 카운터웨이트(counterweight)로서 무거운 덮개(20)와 균형을 맞추고, 반도체 웨이퍼 W를 수납한 기판 수납 용기의 중심 위치를 반도체 웨이퍼 W의 센터 위치로부터 ±40㎜ 이내의 허용 범위로 억제할 수가 있다.

이러한 억제 작용에 의해 반도체 웨이퍼 W를 수납한 기판 수납 용기의 중심이 정면(13)측, 환언하면 전방의 덮개(20)측으로 크게 치우치는 것을 현저하게 억제하거나, 혹은 천장 반송 기구에 의해 들어 올려 반송되는 경우에도, 기판 수납 용기가 덮개(20)측으로 경사지는 것을 유효하게 방지할 수가 있다. 따라서, 천장 반송 기구에 의한 반송시에 기판 수납 용기를 안정된 자세로 고속 반송하거나 가공 장치의 로드 포트 장치에 수평으로 위치 결정 탑재하는 것이 실로 용이하게 된다.

또, 덮개(20)를 얇게 형성하여 경량화를 도모할 필요가 전혀 없기 때문에, 덮개(20)의 강성이 부족하여 변형이나 손상을 초래할 우려를 배제할 수가 있다. 또, 용기 본체(1)의 배면벽(7)에 캡슐(41)이 단지 위치하는 것이 아니라, 용기 본체(1)의 배면벽(7)과 대략 같은 길이의 캡슐(41)이 배면벽(7)의 양측부에 각각 균등하게 위치하므로, 기판 수납 용기의 전후나 좌우의 밸런스를 큰 폭으로 향상시키거나 밸런스의 악화에 수반하는 반도체 웨이퍼 W의 회전 등을 유효하게 저지하는 것이 가능하게 된다.

또, 용기 본체(1)에 수평으로 수납되는 반도체 웨이퍼 W의 대략 전체 영역에 걸쳐 카운터웨이트인 캡슐(41)을 반도체 웨이퍼 W에 대해서 수직으로 배치하므로, 기판 수납 용기의 중심 위치를 Z방향으로도 밸런스 좋게 균등하게 조정하는 것이 가능하게 된다. 이 때문에 기판 수납 용기를 고속으로 반송해도 중심 위치의 편심에 수반하는 기판 수납 용기의 진동을 작게 하는 것이 가능하게 된다.

또, 각 캡슐(41)에 고정의 추체를 단지 수납하는 것이 아니라, 유동성의 충격 완화재(43)를 충전하므로, 예를 들면 기판 수납 용기에 충격이 작용해도, 충격 완화재(43)의 유동에 의해 충격을 흡수하거나 제진(除振)하거나 감쇠할 수가 있다. 따라서, 기판 수납 용기나 반도체 웨이퍼 W의 손상 방지를 많이 기대할 수 있다. 또한, 각 캡슐(41)이 오목부(8)의 디자인에 대응하는 원기둥형이고, 또한 착탈이 자유로우므로 캡슐(41)을 필요에 따라서 떼어내거나 충격 완화재(43)를 적당히 증감시키는 등의 각종의 편의를 도모할 수도 있다.

다음에, 도 8은 본 발명의 제2의 실시 형태를 나타내는 것으로, 이 경우에는 용기 본체(1)의 후부인 양쪽 측벽(10) 후부에 중심 위치 조정 부재(40)인 무거운 복수의 보강 리브(44)를 각각 상하 방향으로 일체적으로 배열하고, 각 보강 리브(44)를 다각형의 대략 버튼형으로 형성하도록 하고 있다.

복수의 보강 리브(44)는 덮개(20)의 질량을 고려하여 크기나 수 등이 결정되고, 필요에 따라 동, 알루미늄, 스테인리스강, 이들의 합금에 수지 코팅하여 피복한 부재 등이 인서트(insert)된다. 이 외의 부분에 대해서는 상기 실시 형태와 대략 마찬가지이므로 설명을 생략한다.

본 실시 형태에 있어서도 상기 실시 형태와 같은 작용 효과를 기대할 수 있고, 또한 중심 위치 조정 부재(40)의 구성의 다양화를 도모할 수가 있을 수 있는 외에, 중심 위치 조정 부재(40)로서 별체의 캡슐(41)을 일부러 제조할 필요성이 없는 것은 분명하다. 또한, 용기 본체(1)의 배면벽(7)에 오목부(8)를 설치하는 작업을 생략할 수가 있으므로 용기 본체(1)를 사출 성형하는 금형을 개량할 필요가 전혀 없다.

다음에, 도 9 및 도 10은 본 발명의 제3의 실시 형태를 나타내는 것으로, 이 경우에는 중심 위치 조정 부재(40)를, 용기 본체(1)의 저판(3)과 보텀 플레이트(4)의 후부(後部) 사이에 착탈이 자유롭게 장착되는 무거운 추체(45)로 하도록 하고 있다.

보텀 플레이트(4)의 표면 후부에는 추체(45)용의 장착부(16)가 형성된다. 추체(45)는 특히 한정되는 것은 아니지만, 예를 들면 덮개(20)의 질량에 균형이 맞는 동이나 연제(鉛製)의 판, 봉 등으로 이루어지고 필요에 따라 합성수지제의 커버 등에 의해 피복 보호되어 보텀 플레이트(4)의 장착부(16)에 장착된다. 이 외의 부분에 대해서는 상기 실시 형태와 대략 마찬가지이므로 설명을 생략한다.

본 실시 형태에 있어서도 상기 실시 형태와 같은 작용 효과를 기대할 수 있고, 중심 위치 조정 부재(40)의 구성의 다양화나 소형화를 도모할 수가 있을 수 있는 외에, 오목부(8)를 설치할 필요가 없기 때문에 용기 본체(1)를 사출 성형하는 전용의 금형으로 개량을 행할 필요가 전혀 없다.

다음에, 도 11 및 도 12는 본 발명의 제4의 실시 형태를 나타내는 것으로, 이 경우에는 용기 본체(1)의 배면벽(7)의 상하에 각 캡슐(41)에 감합하여 그 탈락을 방지하는 복수의 스토퍼 밴드(46)를 착탈이 자유롭게 나착(螺着)하도록 하고 있다.

각 스토퍼 밴드(46)는 배면벽(7)의 오목부(8)를 걸치는 가늘고 긴 가요성(flexible)의 밴드(47)를 구비하고, 이 밴드(47)의 내면에는 캡슐(41)의 외주면에 밀접(密接)시켜 보유하는 단면 대략 반원호형의 만곡한 탄성 보유편(48)이 일체로 형성된다. 이 외의 부분에 대해서는 상기 실시 형태와 대략 마찬가지이므로 설명을 생략한다.

본 실시 형태에 있어서도 상기 실시 형태와 같은 작용 효과를 기대할 수 있고, 또한 간단하고 쉬운 구성으로 캡슐(41)의 낙하를 방지할 수가 있다.

다음에, 도 13은 본 발명의 제5의 실시 형태를 나타내는 것으로, 이 경우에는 용기 본체(1)의 배면벽(7)의 상하에 중심 위치 조정 부재(40)인 무거운 복수의 지지 블록(49)을 소정의 간격으로 장착하여 이들 복수의 지지 블록(49)을 같은 높이에 형성하고, 이 복수의 지지 블록(49)에 의해 용기 본체(1)의 자세를 제어하도록 하고 있다.

복수의 지지 블록(49)은 예를 들면 2개, 4개, 5개, 또는 6개의 필요한 수가 사용되고, 용기 본체(1)의 배면벽(7)의 상하 방향이나 상하 좌우 방향으로 소정의 간격을 두어 체결구(締結具) 등으로 나착된다. 예를 들면, 복수의 지지 블록(49)은 용기 본체(1)의 배면벽(7)의 네 귀퉁이부, 네 귀퉁이부와 중앙부에 적당하게 나착된다. 각 지지 블록(49)은 예를 들면 알루미늄, 스테인리스강, 동, 합성수지 등으로 이루어지는 소정의 재료를 사용하여 다른 지지 블록(49)과 같은 높이의 무거운 각형(角型), 다각형형, 환형(丸型) 등으로 형성된다. 이 외의 부분에 대해서는 상기 실시 형태와 대략 마찬가지이므로 설명을 생략한다.

본 실시 형태에 있어서도 상기 실시 형태와 같은 작용 효과를 기대할 수 있고, 또한 무거운 복수의 지지 블록(49)의 높이를 가지런히 하여 정합함으로써, 소정의 테이블에 용기 본체(1)를 정면(13)이 상향으로 되도록 배치한 경우에, 용기 본체(1)의 자세를 안정시켜 경사를 방지하는 것이 가능하게 된다. 따라서, 인접하는 반도체 웨이퍼 W끼리가 임의로 기울어 접촉하고, 이 접촉에 수반하여 손상되거나 파손하는 것을 방지할 수가 있는 것은 분명하다. 또, 용기 본체(1)의 배면벽(7)에 오목부(8)를 설치하지 않아도 좋기 때문에 용기 본체(1)를 사출 성형하는 금형을 개량할 필요가 전혀 없다.

다음에, 도 14는 본 발명의 제6의 실시 형태를 나타내는 것으로, 이 경우에는 용기 본체(1)의 배면벽(7)에 중심 위치 조정 부재(40)인 무거운 지지판(50)을 장착하고, 이 지지판(50)에 의해 용기 본체(1)를 정면(13)이 상향으로 되도록 배치한 경우에, 용기 본체(1)의 자세를 조정하여 한 방향으로 약간 경사지게 하도록 하고 있다.

지지판(50)은 예를 들면 알루미늄, 스테인리스강, 동, 합성수지 등으로 이루어지는 소정의 재료를 사용하여 용기 본체(1)의 배면벽(7)보다도 작은 판으로 형성되고, 용기 본체(1)의 배면벽(7)에 겹쳐 체결구 등으로 나착된다. 이 지지판(50)은 용기 본체(1)의 배면벽(7)에 접촉하는 접촉면이 평탄하게 형성되고, 배면벽(7)에 접촉하지 않는 넓은 비접촉면(51)이 약간 경사 형성됨으로써, 용기 본체(1)의 천장(5)측의 두께가 두껍고, 용기 본체(1)의 저판(3)측의 두께가 얇게 된다. 이 외의 부분에 대해서는 상기 실시 형태와 대략 마찬가지이므로 설명을 생략한다.

본 실시 형태에 있어서도 상기 실시 형태와 같은 작용 효과를 기대할 수 있고, 또한 소정의 테이블에 지지판(50)의 경사진 비접촉면(51)을 접촉시켜 용기 본체(1)를 정면(13)이 상향으로 되도록 배치한 후, 이 용기 본체(1)의 정면(13)으로부터 덮개(20)를 떼어내도 복수매의 반도체 웨이퍼 W를 한 방향(예를 들면, 반도체 웨이퍼 W의 이면 방향)으로 기울여 정렬 지지할 수가 있는 것은 분명하다.

따라서, 복수매의 반도체 웨이퍼 W의 표면끼리가 접촉하거나 인접하는 반도체 웨이퍼 W끼리가 반대 방향으로 기울어 접촉하고, 이 접촉에 수반하여 손상되거나 파손을 초래하는 것을 방지하는 것이 가능하게 된다. 또한, 용기 본체(1)의 배면벽(7)에 오목부(8)를 설치할 필요가 없기 때문에 용기 본체(1)용의 금형으로 개량을 행할 필요가 없다.

또한, 상기 실시 형태에서는 덮개(20)의 케이스(21) 이면에 프런트 리테이너(23)를 단지 장착했지만, 케이스(21)의 이면 중앙부에 프런트 리테이너(23)를 장착해도 좋고, 케이스(21)의 이면 양측부에 프런트 리테이너(23)를 각각 장착해도 좋다. 또, 상기 실시 형태에서는 한 쌍의 캡슐(41)을 사용했지만, 1개라도 좋고, 3개나 4개 등으로 해도 좋다. 또, 캡슐(41)을 종(縱)으로 감합하는 것이 아니라 횡(橫)이나 경사 등으로 감합해도 좋다.

또, 용기 본체(1)의 배면벽(7)에 오목부(8)에 감합한 캡슐(41)의 탈락을 규제하는 스토퍼 밴드(46) 이외의 규제편이나 테이프 등을 적당히 장착할 수가 있다. 또, 오목부(8)과 캡슐(41)의 사이에 제진 고무 등의 탄성층을 개재시킬 수가 있다. 또, 상기 실시 형태에서는 캡슐(41)을 단지 중공의 원기둥형으로 형성했지만, 중공의 타원기둥형이나 각기둥형 등으로 형성하거나, 충격 완화재(43)의 누설을 방지하는 관점에서 이중 구조의 통형 등으로 형성할 수도 있다. 또한, 제1, 제2, 제3, 제5의 실시 형태에 있어서의 중심 위치 조정 부재(40)를 적당히 조합하는 것도 가능하다.

<산업상의 이용 가능성>

본 발명과 관련되는 기판 수납 용기는 예를 들면 반도체나 액정의 제조 분야 등에 사용된다.

1　　용기 본체 3　　저판(base plate)
4　　보텀 플레이트(bottom plate) 5　　천장(ceiling)
6　　로보틱 플랜지(매달림부(被吊持部)) 7　　배면벽
8　　오목부 9　　간섭 리브(rib)
10　　측벽 13　　정면
16　　장착부 20　　덮개(lid)
21　　케이스(case)
23　　프런트 리테이너(front retainer) 28　　표면 플레이트(plate)
30　　잠금 기구(locking mechanism) 40　　중심 위치 조정 부재
41　　캡슐(capsule) 42　　간섭 홈(groove)
43　　충격 완화재 44　　보강 리브(rib)
45　　추체(錘體)
46　　스토퍼 밴드(stopper band) 47　　밴드(band)
48　　탄성 보유편 49　　지지 블록(block)
50　　지지판 51　　비접촉면
W　　반도체 웨이퍼(기판)

Claims (7)

1. 기판을 수납하는 용기 본체와, 이 용기 본체의 개구된 정면을 개폐하는 덮개를 구비하고, 용기 본체에 반송용의 매달림부를 구비한 기판 수납 용기로서,
   용기 본체의 후부에 중심 위치 조정 부재를 설치하고, 이 중심 위치 조정 부재에 의해 덮개측으로 경사지는 것을 규제하도록 하고,
   중심 위치 조정 부재는, 용기 본체의 배면벽에 장착되고, 충격 완화재가 이동 가능하게 충전된 중공의 캡슐인 기판 수납 용기.
2. 제1항에 있어서,
   용기 본체의 배면벽 양측부에 오목부를 각각 형성하여 오목부의 내면에는 간섭 리브를 형성하고, 캡슐을 중공의 기둥 모양으로 형성하여 용기 본체의 복수의 오목부에 각각 감합 가능하게 하고, 캡슐의 외주면에 오목부의 간섭 리브에 감합되는 간섭 홈을 형성한 기판 수납 용기.
3. 기판을 수납하는 용기 본체와, 이 용기 본체의 개구된 정면을 개폐하는 덮개를 구비하고, 용기 본체에 반송용의 매달림부를 구비한 기판 수납 용기로서,
   용기 본체의 후부에 중심 위치 조정 부재를 설치하고, 이 중심 위치 조정 부재에 의해 덮개측으로 경사지는 것을 규제하도록 하고,
   중심 위치 조정 부재를 용기 본체의 배면벽에 장착되는 복수의 지지 블록으로 하고, 이 복수의 지지 블록에 의해 용기 본체를 정면이 상향으로 되도록 배치한 경우에, 용기 본체의 기울어짐을 방지하도록 한 기판 수납 용기.
4. 기판을 수납하는 용기 본체와, 이 용기 본체의 개구된 정면을 개폐하는 덮개를 구비하고, 용기 본체에 반송용의 매달림부를 구비한 기판 수납 용기로서,
   용기 본체의 후부에 중심 위치 조정 부재를 설치하고, 이 중심 위치 조정 부재에 의해 덮개측으로 경사지는 것을 규제하도록 하고,
   중심 위치 조정 부재를 용기 본체의 배면벽에 장착되는 지지판으로 하여 그 용기 본체의 배면벽에 접촉하지 않는 비접촉면을 경사 형성하고, 이 지지판에 의해 용기 본체를 정면이 상향으로 되도록 배치한 경우에, 용기 본체를 한 방향으로 경사지게 하도록 한 기판 수납 용기.
5. 삭제
6. 삭제
7. 삭제

Images