TWI529110B - Substrate storage container - Google Patents

Description

基板收納容器

本發明，是關於半導體晶圓所代表之基板其收納、保管、搬運、運輸等時使用的基板收納容器。

先前的基板收納容器，雖然未圖示，但其具備：可在上下方向整齊收納有複數片半導體晶圓的容器本體；及可開閉該容器本體開口之正面的重蓋體，自動性被搬運在工序間，定位搭載在半導體晶圓用之加工裝置所附設的裝載埠裝置(參照專利文獻1)。

容器本體，例如是形成為正面開口成可收納Φ 300mm或450mm半導體晶圓的正面開口箱體，在頂板的大致中央部，安裝有工廠天車所要握取吊掛搬運用的吊掛凸緣。此外，蓋體，是於裝載埠裝置的蓋體開閉裝置內藏有從外部操作的上鎖機構，於收納在容器本體之半導體晶圓相向的相向面，裝設有可彈性保持複數片半導體晶圓前部周緣的前護圈，該等上鎖機構及前護圈是會造成質量增多。

[先行技術文獻] [專利文獻]

[專利文獻1]日本特開2000-306988號公報

先前的基板收納容器，是構成為如以上所述，在收納有半導體晶圓之容器本體的開口正面嵌合有較重的蓋體，以致重心從半導體晶圓的中央位置大幅偏向正面側，換句話說，重心大幅偏向前方的蓋體，導致利用天車吊起搬運時往蓋體傾斜的狀況不少。其結果，在利用天車搬運時會產生的問題是非常難以將基板收納容器以穩定的姿勢進行高速搬運或水平定位搭載在加工裝置的裝載埠裝置。

解決上述問題的手段，是提案有將蓋體形成為薄型實現輕型化的方法。然而，根據該方法時，由於前護圈保持半導體晶圓時的反力會作用在蓋體，因此蓋體側的剛性不足是會導致變形或損傷產生新的隱憂。

本發明是有鑑於上述而為的發明，其目的是提供一種能夠藉由抑制重心偏向蓋體側來防止往蓋體側的傾斜，能夠以穩定姿勢搬運等的基板收納容器。

於本發明中為了解決上述課題，基板收納容器，具備：基板收納用的容器本體；及可開閉該容器本體開口之正面的蓋體，此外在容器本體具備有搬運用之被吊持部，其特徵為，於容器本體的後部設有重心位置調整手段，利用該重心位置調整手段來管制基板收納容器往蓋體側的傾斜。

另，在容器本體的頂板，可裝設搬運機構所要吊持的吊掛凸緣做為被吊持部，在蓋體可安裝有基板周緣保持用之護圈的同時設有上鎖機構。

此外，重心位置調整手段，可以是被安裝在容器本體的背面壁，填充有能夠移動之緩衝材的中空囊管。

另外，可在容器本體的背面壁兩側部分別形成有凹部，在凹部的內面形成有干涉肋，將囊管形成為中空的大致柱形能夠分別嵌合在容器本體的複數凹部，在囊管的外圍面形成有嵌合在凹部之干涉肋的干涉溝槽。

此外，在容器本體的背面壁可安裝有使彈性保持片干涉囊管以防止囊管脫落的制動帶。

另外，在容器本體的背面壁兩側部，也可形成與凹部成相向而可保持基板周緣的護圈。

此外，重心位置調整手段，可以是形成在容器本體的側壁後部的加強肋。

另外，重心位置調整手段，可以是安裝在容器本體的背面壁側下部的錘體。

此外，將重心位置調整手段做為安裝在容器本體背面壁的複數支撐塊，利用該複數支撐塊，可於容器本體配置成正面朝上時，防止容器本體傾斜。

再加上，將重心位置調整手段做為安裝在容器背面壁的支撐板，將其不重疊在該容器本體背面壁的非重疊面形成傾斜，利用該支撐板，可於容器本體配置成正面朝上時，可使容器本體往一方向傾斜。

於此，專利申請範圍的基板，至少是包括單數複數之 300mm或450mm的半導體晶圓、電路板、玻璃基板、遮 光罩基板等。此外，容器本體或囊管，可以是透明或不透明或半透明。至於容器本體的背面壁，是可以構成為凹凸的加強構造，其一部份為朝上下方向延伸的凹部，將該凹部形成為剖面大致半圓形的溝槽。

於容器本體的背面壁側的下部，至少包括：容器本體之背面壁下部、裝設在容器本體之底板的基底板之後部、及容器本體的底板和基底板的後部之間。干涉肋或干涉溝槽的形狀或數量等是可適宜增減變更。又加上，加強肋或錘體，並無特別限定為是否可裝拆自如或單數複數。

根據本發明時，由於是在容器本體的後部設有重心位置調整手段做為配重的功能，因此就能夠使收納有基板的基板收納容器的重心移動抑制在基板中心位置至指定的容許範圍內。利用該抑制作用，能夠防止收納有基板的基板收納容器的重心偏向蓋體側，能夠抑制基板收納容器往蓋體側傾斜，能夠使基板收納容器的姿勢穩定。

根據本發明時，其效果是能夠抑制重心偏向蓋體側防止基板收納容器往蓋體側傾斜，能夠以穩定的姿勢進行搬運等。

此外，若是將重心位置調整手段為被安裝在容器本體背面壁，填充有能夠移動之緩衝材的中空囊管時，例如即使衝擊等作用在基板收納容器，但利用基板收納容器之舉動造成的緩衝材移動，是能夠吸收衝擊等或減少振動。

此外，若是在容器本體的背面壁兩側部分別形成有凹部，在凹部的內面形成有干涉肋，將囊管形成為中空的大致柱形能夠分別嵌合在容器本體的複數凹部，在囊管的外圍面形成有要嵌合在凹部之干涉肋的干涉溝槽時，是能夠使囊管大致均等位於背面壁的兩側部，能夠提昇基板收納容器的平衡，或能夠阻止平衡變差所造成的基板位置偏移或旋轉等。又，利用干涉肋和干涉溝槽的嵌合，就能以簡易的構成防止囊管脫落。

另外，根據申請專利範圍第6項的發明時，是能夠使複數支撐塊的高度整齊，因此當收納有基板的基板收納容器要配置成正面朝上時，就能夠使容器本體的姿勢穩定，能夠防止容器本體內的基板傾斜接觸、破壞等。此外，由於容器本體不需設有凹部，因此於容器本體成型時，就不需要改良金屬模具。

再加上，根據申請專利範圍第7項的發明時，即使收納有複數片基板的容器本體配置成正面朝上，從該容器本體的正面卸下蓋體，還是能夠將收納的複數片基板朝一方傾斜整齊支撐著。因此，就能夠防止複數片基板彼此接觸，或鄰接的基板彼此往相反方向傾斜接觸，該接觸所造成的損傷或導致破損。又加上，在容器本體不需要設有凹部，因此於容器本體成型時，就不需要改良金屬模具。

〔發明之最佳實施形態〕

以下，參照圖面對本發明之最佳實施形態進行說明時，如第1圖至第7圖所示，本實施形態的基板收納容器，是具備：可整齊收納有半導體晶圓W的容器本體1；及可裝拆自如開閉該容器本體1開口之正面13的蓋體20，構成為於容器本體1的後部設有重心位置調整手段40，利用該重心位置調整手段40來抑制重心偏向前方之蓋體20側或往蓋體20側傾斜。

半導體晶圓W，如第1圖所示，例如是由具有775μm厚度之 300mm的矽晶圓形成，或者是由具有925μm厚度之 450mm的矽晶圓形成，於周緣部切口形成有平面V字形之未圖示動位用或辨別用的凹槽，以25片整齊成上下方向收納在容器本體1。

容器本體1和蓋體20，是利用含有指定樹脂的成型材料分別擠出成型為複數的零件，由該複數的零件組合構成。該成型材料中的指定樹脂，例如是力學性質或耐熱性等優越的聚碳酸酯、聚醚醚酮、聚酯型亞胺、聚丁烯對苯二酸鹽酯、聚酯類、聚烯烴類等形成的熱塑性彈性體、聚縮醛、液晶聚合物或者是環狀聚烯烴樹脂等。於該指定樹脂中，是可根據需求選擇性添加碳、碳纖維、金屬纖維、碳納米軟管、導電性聚合物、帶電防止劑或難燃劑等。

容器本體1，如第1圖至第3圖所示，是成型為可將半導體晶圓W收納成水平之正面13開口的前開口盒，可使橫長的正面13以朝向水平橫向的狀態定位搭載在加工裝置所附設的裝載埠裝置上，或利用洗淨槽的洗淨液洗淨。於該容器本體1的內部兩側，換句話說，於兩側壁10的內面，是對設有可將半導體晶圓W支撐成水平的左右一對支撐片2，該一對支撐片2是以指定的間距排列配置在上下方向，各支撐片2是形成為前後方向細長的板片。

於容器本體1之底板3的前部兩端和後部中央，是透過緊固小螺絲等分別螺接有複數的定位具，各定位具是形成剖面大致V字形從上方嵌合在裝載埠裝置之工作台上的定位銷，具有可使基板收納容器高精度定位的功能，換句話說，具有可使容器本體1高精度定位的功能。此外，於容器本體1的底板3，是透過緊固小螺絲水平螺接有包覆著底板3使複數定位具等分別露出的基底板4，於該基底板4的左右兩側部，是分別選擇性形成有搬運用的輸送軌道。

於容器本體1之頂板5的大致中央部，如第1圖所示，是裝拆自如安裝有搬運用吊掛凸緣6，該吊掛凸緣6由工廠的天車握持吊掛後，就可使基板收納容以高速搬運在工序間。

容器本體1的後部即背面壁7，如第2圖至第5圖所示，例如是構成為凹凸的加強構造，於左右兩側部，分別形成有延伸成直線朝內方向凹陷的凹部8，該左右一對凹部8是分別彎曲形成為剖面大致半圓的溝槽形狀。各凹部8之上下兩端部的內面，是分別形成有彎曲形成為平面大致圓弧形露出在外部的干涉肋9。此外，於背面壁7的內面兩側部，是分別選擇性形成有與凹部8成相向之可保持半導體晶圓W後部周緣的後護圈。

於容器本體1的兩側壁10外面，是形成有朝前後方向延伸之安裝用的開槽11，各開槽11是分別安裝有裝拆自如的把部12。各把部12，是在作業的緊急時等做為握持操作用以外，還具有加強容器本體1的功能或防止容器本體1變形的功能。

位於容器本體1之背面壁7相反側的正面13，是膨出形成有從周緣朝外方向伸出的周邊凸緣14，在該周邊凸緣14內是由裝載埠裝置的蓋體開閉裝置壓入嵌合有裝拆自如的蓋體20。於該周邊凸緣14之內圍面的上下兩側部，是分別穿孔有蓋體20之上鎖機構30用的卡止孔15。

蓋體20，如第1圖所示，是構成為具備：要嵌合在容器本體1之正面13之周邊凸緣14內的橫長框體21；覆蓋該框體21開口之正面的表面面板28；及設置在該等框體21和表面面板28之間的上鎖機構30。

框體21，基本上是形成為具備框形周圍壁之剖面大致淺底盤形，中央部從裏面側朝表面側突出形成為正面大致箱形，在該中央部和周圍壁的左右兩端部之間是分別區劃形成有上鎖機構30用的設置空間。在框體21之周圍壁的上下兩側部，是分別穿孔有上鎖機構30用的貫通孔22，各貫通孔22是與周邊凸緣14的卡止孔15成相向。

在框體21之容器本體1所收納的半導體晶圓W相向的相向面即裏面，是裝拆自如安裝有可彈性保持著複數片半導體晶圓W前部周緣的前護圈23。該前護圈23，具備安裝在框體21裏面可防止蓋體20變形的縱長框體24，在該框體24的縱棧部，是一體形成有分別排列在上下形成為傾斜的同時朝半導體晶緣W方向延伸的複數彈性片25，在各彈性片25的前端部，是一體形成有利用V溝槽保持半導體晶圓W前部周緣的小保持塊26。

於框體21的裏面周緣部，是形成有框形的嵌合溝槽，於該嵌合溝槽，是密嵌有要壓接在容器本體1之正面13內周緣的唇式密封墊。該密封墊，例如是以耐熱性或耐氣候性等優越的氟素橡膠、矽膠、各種熱塑性彈性體(例如烯烴類、聚酯類、聚苯乙烯類等)等為成型材料成型成可彈性變形的框形。

表面面板28，是對營著框體21開口的正面形成為橫長的平板，在左右兩側部，分別穿孔有上鎖機構30用的操作口29。此外，上鎖機構30，是構成為具備：由貫通表面板28之操作口29的蓋體開閉裝置之操作銷所旋轉操作的左右一對旋轉板31；隨著各旋轉板31的旋轉往上下方向滑動的複數滑板32；及隨著各滑板32的滑動從框體21的貫通孔22突出卡止於周邊凸緣14之卡止孔15的複數卡止爪33，另外，上鎖機構30是位於前護圈23的前端。

重心位置調整手段40，如第2圖至第7圖所示，是分別裝拆自如嵌合在容器本體1之背面壁7的左右一對凹部8，由填充有指定量的緩衝材43足以平衡蓋體20之質量的左右一對重囊管41構成，構成為能夠使收納有半導體晶圓W之基板收納容器的重心位置位於半導體晶圓W的中心位置±40mm以內的容許範圍，但以±30mm以內的容許範圍為佳。

各囊管41，是使用指定的材料形成為具有與容器本體1之背面壁7的高度大致相同之長度的中空縱長圓柱形，換句話說，是形成為圓筒形，於上下兩端部的外圍面，是分別形成有大致環形要壓入密嵌在凹部8之干涉肋9的干涉溝槽42。該干涉溝槽42的密嵌是能夠防止脫落。囊管41的指定材料，例如是和容器本體1或蓋體20相同的成型材料，或是由鋁、不銹鋼、銅等形成各種金屬、該等的合金，或是該等金屬或合金塗敷有樹脂塗層後包覆形成的材料。

囊管41，若為了要容易注入有緩衝材43或容易變更填充量時，是可形成為能夠上下方向或左右方向分割。例如：將囊管41形成為具備有緩衝材43要注入的有底圓筒形囊管本體，在該囊管本體的開口端部螺嵌有裝拆自如的蓋，諸如此類的構成等。

緩衝材43，是沒有特別的限定，但例如是為液體、凝膠狀構件、粒狀體、發泡體等，可根據基板收納容器的移動形成為往上下方向等動作，藉此也可做為減震器發揮功能。當該緩衝材43為液體時，是可適宜使用水、黏性阻力高的油、吸水後的聚丙烯酸、聚乙烯醇、聚氨酯、聚丙烯醯酸、吸油後的聚降冰片烯樹脂聚苯乙烯丁二烯共聚樹脂等。

根據上述構成時，是於容器本體1之背面壁7的凹部8嵌合大型的囊管41做為配重來平衡重的蓋體20，因此就能夠使收納有半導體晶圓W之基板收納容器的重心位置抑制在半導體晶圓W中心位置±40mm以內的容許範圍。

利用上述的抑制作用，是能夠明顯抑制收納有半導體晶圓W之基板收納容器的重心大幅偏向正面13側換句話說前方的蓋體20，或者是當利用天車吊起收納有半導體晶圓W之基板收納容器進行搬運時，也能夠有效防止基板收納容器往蓋體20側傾斜。因此，在利用天車進行搬運時就能夠將基板收納容器以穩定的姿勢高速搬運，或確實能夠容易將基板收納容器水平定位搭載在加工裝置的裝載埠裝置。

此外，由於完全不需要將蓋體20形成為薄型達到輕型化，因此，就能夠排除蓋體20剛性不足造成變形或損傷等的顧慮。此外，囊管41不僅是位於容器本體1的背面壁7而已，還要將與容器本體1之背面壁7大致同長的囊管41分別均等位於背面壁7的兩側，因此能夠大幅提昇基板收納容器前後及左右的平衡，或能夠有效阻止平衡變差造成的半導體晶圓W旋轉。

另外，是遍及水平收納在容器本體1之半導體晶圓W的大致全區域，將做為配重的囊管41配置成對半導體晶圓W成垂直，所以能夠使基板收納容器的重心位置在Z方向也能夠均等調整成平衡良好。因此，即使以高速搬運基板收納容器，還是能夠使重心位置偏心造成的基板收納容器振動小。

此外，在各囊管41不僅是收納有固定的錘體而已，也要填充有流動性的緩衝材43，因此即使衝擊作用在基板收納容器，但利用緩衝材43的流動是能夠吸收衝擊，或制振，或減震。因此，是大可期望防止基板收納容器或半導體晶圓W損傷。再加上，各囊管41是對應凹部8之設計的圓柱形，並且裝拆自如，因此還能夠根據需求拆下囊管41，或適當增減緩衝材43等達到各種方便。

其次，第8圖是圖示著本發明的第2實施形態，於該形態時，是於容器本體1的後部即兩側壁10後部，分別將重心位置調整手段40即重的複數加強肋44一體性排列在上下方向，將各加強肋44形成為多角形的大致鈕釦形。

複數的加強肋44，是考慮蓋體20的質量決定大小及數量等，根據需求，是可插入有銅、鋁、不銹鋼、該等合金塗敷有樹脂塗層後包覆形成的構件等。至於其他的部份，因是和上述實施形態大致相同所以就省略說明。

於本實施形態也可期望與上述實施形態相同的作用效果，並且，除了能夠實現重心位置調整手段40其構成的多樣化以外，明顯的作用效果是做為重心位置調整手段40不需要特別製造個別體的囊管41。再加上，由於能夠節省在容器本體1的背面壁7設置凹部8的作業，因此就完全不需要改良容器本體1擠出成型用的金屬模具。

接著，第9圖及第10圖是圖示著本發明的第3實施形態，於該形態時，重心位置調整手段40，是構成為要裝拆自如安裝在容器本體1的底板3和基底板4之後部間的重錘體45。

於基底板4的表面後部，是形成有錘體45用的安裝部16。錘體45，是沒有特別的限定，但例如是由能夠足以平衡蓋體20之質量的銅或鉛製的板、棒等形成，根據需求，是可利用合成樹脂製的罩蓋等覆蓋保護後安裝在基底板4的安裝部16。至於其他的部份，因是和上述實施形態大致相同所以就省略說明。

於本實施形態也可期望與上述實施形態相同的作用效果，除了能夠實現重心位置調整手段40其構成的多樣化及小型化以外，由於不需要設置凹部8，因此就完全不需要改良容器本體1擠出成型專用的金屬模具。

其次，第11圖及第12圖是圖示著本發明的第4實施形態，於該形態時，是於容器本體1之背面壁7的上下，裝拆自如螺接有要嵌合在各囊管41防止其脫落的複數制動帶46。

各制動帶46，是具備有細長跨著背面壁7之凹部8的撓性帶47，於該帶47的內面，是一體形成有彎曲成剖面大致半圓弧形要緊貼保持在囊管41之外圍面的彈性保持片48。至於其他的部份，因是和上述實施形態大致相同所以就省略說明。

於本實施形態也可期望與上述實施形態相同的作用效果，並且，能夠以簡易的構成防止囊管41掉落。

接著，第13圖是圖示著本發明的第5實施形態，於該形態時，是於容器本體1之背面壁7的上下，以指定間隔安裝有重心位置調整手段40即重的複數支撐塊49，將該等複數支撐塊49形成為相同高度，利用該複數支撐塊49控制容器本體1的姿勢。

複數支撐塊49，例如是依所需數量使用2個、4個、5個、6個，於容器本體1之背面壁7的上下方向或上下左右方向隔著指定間隔以緊固件等螺接著。例如：複數支撐塊49是可適當螺接在容器本體1之背面壁7的四角隅部或四角隅部和中央部。各支撐塊49，例如是使用由鋁、不銹鋼、銅、合成樹脂等形成的指定材料形成為與其他支撐塊49相同高度之重的角型、多角型、圓型等。至於其他的部份，因是和上述實施形態大致相同所以就省略說明。

於本實施形態也可期望與上述實施形態相同的作用效果，並且，藉由將重的複數支撐塊49高度整合成相同，因此當容器本體1在指定的工作台要配置成正面13朝上時，就可使容器本體1的姿勢穩定能夠防止容器本體1傾斜。因此，明顯的作用效果是能夠防止鄰接的半導體晶圓W彼此傾斜接觸，防止該接觸造成的損傷或破損。此外，在容器本體1的背面壁7也可不用設置凹部8，因此就完全不需要改良容器本體1擠出成型用的金屬模具。

其次，第14圖是圖示著本發明的第6實施形態，於該形態時，是於容器本體1的背面壁7，安裝有重心位置調整手段40即支撐板50，利用該支撐板50，於容器本體1要配置成正面13朝上時，是可調整容器本體1的姿勢使容器本體1稍微往一方向傾斜。

支撐板50，例如是使用由鋁、不銹鋼、銅、合成樹脂等形成的指定材料形成為比容器本體1的背面壁7還小的板，然後重疊在容器本體1的背面壁7以緊固件等螺接著。該支撐板50，其要重疊在容器本體1之背面壁7的重疊面是形成為平坦，其不重疊在背面壁7之寬廣的非重疊面51是形成為稍微傾斜，如此一來就會使容器本體1之頂板5側的板厚較厚，容器本體1之底板3側的板厚較薄。至於其他的部份，因是和上述實施形態大致相同所以就省略說明。

於本實施形態也可期望與上述實施形態相同的作用效果，並且，明顯的作用效果是在支撐板50之傾斜的非重疊面51接觸指定的工作台使容器本體1配置成正面13朝上之後，即使從該容器本體1的正面拆下蓋體20，還是能夠將複數片的半導體晶圓W朝一方向(例如：半導體晶圓W的裏面方向)傾斜整齊支撐著。

因此，是能夠防止複數片半導體晶圓W的表面彼此接觸，防止鄰接的導體晶圓W彼此朝相反方向傾斜接觸，防止該接觸造成的損傷或破損。再加上，在容器本體1的背面壁7是不用設置凹部8，因此就完全不需要改良容器本體1擠出成型用的金屬模具。

另，上述實施形態中是在蓋體20的框體21裏面只安裝有前護圈23，但也可在框體21的裏面中央部安裝有前護圈23，也可在框體21的裏面兩側部分別安裝有前護圈23。此外，上述實施形態中是使用一對囊管41，但也可使用1支囊管41，又可使用3支或4支囊管41。另外，囊管41也可形成為非縱向嵌合，而是形成為橫向或斜向等嵌合。

此外，在容器本體1的背面壁7，是可適當安裝要管制嵌合在凹部8之囊管41脫落用的制動帶46以外的管制片或膠帶等。另外，在凹部8和囊管41之間，是可設有制振橡膠等彈性層。此外，上述實施形態中是將囊管41僅形成為中空的圓柱形，但也可形成為中空的橢圓柱形或角柱形等，從防止緩衝材43洩漏的觀點來看，也可形成為雙層構造的筒形等。再加上，也可適當組合第1、第2、第3、第5實施形態的重心位置調整手段40。

[產業上之可利用性]

本發明相關的基板收納容器，例如是使用在半導體或液晶的製造分野等。

1．．．容器本體

3．．．底板

4．．．基底板

5．．．頂板

6．．．吊掛凸緣(被吊持部)

7．．．背面壁

8．．．凹部

9．．．干涉肋

10．．．側壁

13．．．正面

14．．．周邊凸緣

16．．．安裝部

20．．．蓋體

21．．．框體

23．．．前擋板

28．．．表面面板

30．．．上鎖機構

40．．．重心位置調整手段

41．．．囊管

42．．．干涉溝槽

43．．．緩衝材

44．．．加強肋

45．．．錘體

46．．．制動帶

47．．．帶

48．．．彈性保持片

49．．．支撐塊

50．．．支撐板

51．．．非層疊面

W．．．半導體晶圓

第1圖為表示本發明相關之基板收納容器實施形態的模式性全體透視說明圖。

第2圖為表示本發明相關之基板收納容器實施形態的容器本體背面壁側模式性透視說明圖。

第3圖為表示本發明相關之基板收納容器實施形態的容器本體凹部和囊管的模式性透視說明圖。

第4圖為表示本發明相關之基板收納容器實施形態的容器本體凹部模式性局部說明圖。

第5圖為表示本發明相關之基板收納容器實施形態的容器本體凹部模式性局部背面說明圖。

第6圖為表示本發明相關之基板收納容器實施形態的囊管模式性局部透視說明圖。

第7圖為表示本發明相關之基板收納容器實施形態的囊管模式性局部剖面透視說明圖。

第8圖為表示本發明相關之基板收納容器的第2實施形態模式性透視說明圖。

第9圖為表示本發明相關之基板收納容器的第3實施形態模式性透視說明圖。

第10圖為表示本發明相關之基板收納容器的第3實施形態模式性背面說明圖。

第11圖為表示本發明相關之基板收納容器的第4實施形態模式性透視說明圖。

第12圖為表示本發明相關之基板收納容器的第4實施形態的制動帶模式性剖面說明圖。

第13圖為表示本發明相關之基板收納容器的第5實施形態模式性說明圖。

第14圖為表示本發明相關之基板收納容器的第6實施形態模式性說明圖。

1．．．容器本體

5．．．頂板

7．．．背面壁

8．．．凹部

10．．．側壁

14．．．周邊凸緣

40．．．重心位置調整手段

41．．．囊管

42．．．干涉溝槽

43．．．緩衝材

Claims (6)

1. 一種基板收納容器，具備：能夠收納複數片基板 的前開口盒之容器本體；及可開閉該容器本體開口之正面 的蓋體，此外在容器本體的頂板具備有搬運用之被吊持部 並且在蓋體安裝有基板周緣保持用之護圈的同時設有上鎖 用的上鎖機構，其特徵為： 於容器本體的後部設有重心位置調整手段，利用該重 心位置調整手段來管制基板收納容器往蓋體側的傾斜， 重心位置調整手段是安裝在容器本體背面壁，填充有 能夠移動之緩衝材的中空囊管。
2. 如申請專利範圍第1項所記載的基板收納容器，其中，在容器本體的背面壁兩側部分別形成有凹部，在凹部的內面形成有干涉肋，將囊管形成為中空的大致柱形能夠分別嵌合在容器本體的複數凹部，在囊管的外圍面形成有嵌合於凹部之干涉肋的干涉溝槽。
3. 一種基板收納容器，具備：能夠收納複數片基板的前開口盒之容器本體；及可開閉該容器本體開口之正面的蓋體，此外在容器本體的頂板具備有搬運用之被吊持部並且在蓋體安裝有基板周緣保持用之護圈的同時設有上鎖用的上鎖機構，其特徵為：於容器本體的後部設有重心位置調整手段，利用該重心位置調整手段來管制基板收納容器往蓋體側的傾斜，重心位置調整手段是形成在容器本體側壁後部的加強肋。
4. 一種基板收納容器，具備：能夠收納複數片基板的前開口盒之容器本體；及可開閉該容器本體開口之正面的蓋體，此外在容器本體的頂板具備有搬運用之被吊持部並且在蓋體安裝有基板周緣保持用之護圈的同時設有上鎖用的上鎖機構，其特徵為：於容器本體的後部設有重心位置調整手段，利用該重心位置調整手段來管制基板收納容器往蓋體側的傾斜，重心位置調整手段是安裝在容器本體背面壁側下部的錘體。
5. 一種基板收納容器，具備：能夠收納複數片基板的前開口盒之容器本體；及可開閉該容器本體開口之正面的蓋體，此外在容器本體的頂板具備有搬運用之被吊持部並且在蓋體安裝有基板周緣保持用之護圈的同時設有上鎖用的上鎖機構，其特徵為：於容器本體的後部設有重心位置調整手段，利用該重心位置調整手段來管制基板收納容器往蓋體側的傾斜，將重心位置調整手段做為安裝在容器本體背面壁的複數支撐塊，利用該複數支撐塊，於容器本體配置成正面朝上時，防止容器本體的傾斜。
6. 一種基板收納容器，具備：能夠收納複數片基板的前開口盒之容器本體；及可開閉該容器本體開口之正面的蓋體，此外在容器本體的頂板具備有搬運用之被吊持部並且在蓋體安裝有基板周緣保持用之護圈的同時設有上鎖用的上鎖機構，其特徵為： 於容器本體的後部設有重心位置調整手段，利用該重心位置調整手段來管制基板收納容器往蓋體側的傾斜，將重心位置調整手段做為安裝在容器本體背面壁的支撐板，將其不重疊在該容器本體背面壁的非重疊面形成傾斜，利用該支撐板，於容器本體配置成正面朝上時，使容器本體往一方向傾斜。