JP2010098198A - 基板収容容器およびその位置決め構造 - Google Patents

Abstract

【課題】基板収容容器を、確実に精度良く、載置台上に載置可能な基板収容容器およびその位置決め構造を提供するものである。
【解決手段】本発明に係る基板収容容器１０は、載置台２００上に水平に載置、位置決めされ、その内部に基板Ｗが収容され、基板収容容器１０の、載置台２００の載置面２０１に載置される載置部１５に、先端が載置面２０１と平行な平坦面３１１に形成された突起部３１を少なくとも３つ設けると共に、漏斗状の凹部３２を少なくとも２つ設け、各突起部３１の平坦面３１１を載置面２０１に当接させ、平面同士を面接触させるようにしたものである。
【選択図】 図４

Description

本発明は、基板収容容器およびその位置決め構造に係り、特に、半導体ウエハ、マスクガラスなどの基板を収容、輸送、保管するための基板収容容器の、ロードポートなどの載置台に載置される載置部の構造、および載置台との位置決め構造に関するものである。

半導体ウエハなどの基板は、微小な粉塵による汚染を避けるために、基板収容容器に収容した状態で、輸送、保管され、各種の処理装置に供される。そして、この基板収容容器を、ロードポートなどの載置台に載置、位置決めした後、基板収容容器内の基板が各種の処理装置に供される。

基板収容容器と載置台との一般的な位置決め機構としては、凹部材と凸部材の嵌合を利用するものがある。
従来は、図１３に示すように、基板収容容器９０の容器本体９１の底面９２に位置決め部材である断面Ｖ字状をした凹部材９３を複数箇所設け、図１４に示すように、載置台１００の載置面１０１に凸部材である位置決めピン１０２を設け、それぞれの凹凸部材９３，１０２を相互に嵌合させることにより、基板収容容器９０と載置台１００との位置決めを行っていた。容器本体９１の開口部９４は、図１４に二点鎖線で示す蓋部材９５により開閉自在とされる。

ここで、容器本体９１の底面９２に設けられる凹部材９３（位置決め部材）は、ＳＥＭＩ規格で定められており、容器本体９１側にＶ溝９３が３個設けられ、それらのＶ溝９３の近傍に、図１５に示すように、基板収容容器９０の在席検出のための検出パッド１１０が設けられる。載置台１００の載置面１０１における検出パッド１１０に対応する位置には、図１６に示すように、在席検出センサ１２０が設けられる。

位置決め部材は、容器本体の底面に直接設けられる場合と、容器本体の底に取り付けられるプレートに設ける場合とがある。
前者の例としては、精密基板を収納する精密基板収納容器の、容器本体の底面に備えられ、精密基板を加工するための加工装置側の位置決めピンとの係合に用いられる精密基板収納容器の位置決め部材が挙げられる（特許文献１参照）。この位置決め部材は、容器本体の底面に一体化されてなる。

後者の例としては、ウエハ収納用のポッドと、ポッドの底面に螺着されるボトムプレートと、を備える精密基板収納容器が挙げられる（特許文献２参照）。この精密基板収納容器は、ポッドに成形される嵌合ボスと、ボトムプレートに成形される嵌合突部とで位置決め取付手段が構成される。
特許第３９４２３７９号明細書 特開２０００−９１４０９号公報

ところで、従来の位置決め部材、すなわちＶ溝９３を、その溝内に載置台１００の凸部材（位置決めピン１０２）に嵌合させ、これらの嵌合だけでＸ−Ｙ−Ｚ方向の位置決めを同時に行っていた。具体的には、位置決めピン１０２をＶ溝９３の溝面１１３に倣わせつつ、滑らせることで、溝面１１３にてＸ−Ｙ方向の位置決めがなされ、Ｖ溝９３の最深部にてＺ方向の位置決めがなされる。

しかしながら、位置決めピン１０２が溝面１１３の途中に引っ掛かって基板収容容器９０に“浮き”が生じたり、位置決めピン１０２がＶ溝９３にオフセットした状態で着座、換言すると基板収容容器９０が僅かに傾いた状態で載置されたりすることがある。

前者の場合、検出パッド１１０と在席検出センサ１２０との間に隙間が生じ、在席検出センサ１２０が正常に作動しないことから容易に検出ができ、在席検出エラー（在席ＮＧ）となる。この場合、再度、基板収容容器９０を載置台１００上に置き直す必要があるが、検出そのものは可能である。

一方、後者の場合、Ｖ溝９３や位置決めピン１０２の加工精度が悪かったり、経年変化や摩耗などによりＶ溝９３の精度が低下してきたりしたときに生じる。これらの場合、基板収容容器９０と載置台１００との位置ずれは生じているものの、その位置ずれ量はごく僅かであることから、在席検出センサ１２０自体は正常に作動して在席ＯＫとなってしまうことがある。これらの場合、在席、すなわち容器の載置状態は正常と判断されているので、通常通り、図示しないロボットハンドが基板収容容器９０内に収容された基板を取りに行くことになる。しかしながら、基板収容容器９０は僅かに位置ずれしていることから、ロボットハンドが基板にぶつかってしまい、基板を破損するおそれがある。

以上の事情を考慮して創案された本発明の目的は、基板収容容器を、確実に精度良く、載置台上に載置可能な基板収容容器およびその位置決め構造を提供することにある。

上記目的を達成すべく本発明に係る基板収容容器は、載置台上に水平に載置、位置決めされ、その内部に基板が収容される容器であって、前記基板収容容器の、前記載置台の載置面に載置される載置部に、先端が前記載置面と平行な平坦面に形成された突起部を少なくとも３つ設けると共に、漏斗状の凹部を少なくとも２つ設け、前記各突起部の平坦面を前記載置面に当接させ、平面同士を面接触させるようにしたものである。

また、前記突起部は、前記基板収容容器の載置部に、平面上において三角形の頂点を形成する位置関係にて３つ設けてもよい。
また、前記平坦面の少なくとも１つを、容器在席検出のための被在席検出部としてもよい。

また、前記被在席検出部を構成する前記平坦面は、その他の平坦面よりも突出高さを低く設けてもよい。
また、前記基板収容容器は、その本体の底に基板収容容器を水平に支持するスタンド部を有し、そのスタンド部の底部に前記突起部および前記凹部を設けてもよい。
また、前記突起部の平坦面の少なくとも２つに、前記凹部を設けてもよい。

一方、本発明に係る基板収容容器の位置決め構造は、前述した本発明に係る基板収容容器と、その基板収容容器が載置される載置台とで構成され、前記基板収容容器を前記載置台上に水平に載置、位置決めする際の位置決め構造であって、前記載置台に、載置面よりも上方に突出する位置決めピンを少なくとも２つ設けると共に、載置面に在席検出部を少なくとも１つ設け、前記各突起部の平坦面を前記載置面に当接させ、前記載置台に対する前記基板収容容器の垂直方向の位置決めをし、前記各凹部内に前記位置決めピンを嵌入させ、前記載置台に対する前記基板収容容器の水平方向の位置決めをし、前記平坦面の少なくとも１つを前記在席検出部にて検出し、前記基板収容容器の在席を検出するものである。

また、前記載置部に前記凹部を離間して２つ設けると共に、一方の凹部を丸穴に、他方の凹部を長穴に形成し、丸穴に形成された前記凹部を一方の前記位置決めピンの基準穴とし、長穴に形成された前記凹部を他方の前記位置決めピンの回転拘束穴としてもよい。
また、前記載置部に前記凹部を離間して２つ設けると共に、両凹部を丸穴に形成し、一方の前記凹部に嵌入される前記位置決めピンを丸ピンに形成し、他方の前記凹部に嵌入される前記位置決めピンを、丸ピンの周面の少なくとも２箇所を切り落としてなる異形ピンに形成してもよい。

また、前記平坦面の少なくとも１つを、その他の平坦面よりも突出高さを低く設けて容器在席検出のための被在席検出部とし、その少なくとも１つの被在席検出部を前記在席検出部にて検出するようにしてもよい。
また、前記在席検出部が、載置面よりも上方に突出され、かつ、載置面に没入自在なドグセンサや、前記載置台内部に設けられ、載置面に臨んで垂直上向きに配置される非接触センサであってもよい。

本発明によれば、基板収容容器の載置部に、先端が載置台の載置面と平行な平坦面に形成された突起部と、漏斗状の凹部とを設け、基板収容容器と載置台との位置決めを、水平方向（Ｘ−Ｙ方向）の位置決めと垂直方向（Ｚ方向）の位置決めとを別々に分け、それぞれ別々の部材で位置決めするようにしたことで、基板収容容器の水平方向および垂直方向の位置決め精度が良好となるという優れた効果を発揮する。

以下、本発明の好適一実施の形態を添付図面に基づいて説明する。
図１に示すように、本実施の形態に係る基板収容容器１０は、載置台２００上に水平に載置、位置決めされ、その内部に基板Ｗが収容される。

（基板収容容器）
基板収容容器１０は、内部に基板Ｗの収容空間を有する容器本体１１と、容器本体前面（図１中では右面）の開口部１２を開閉自在に閉塞する蓋部材１３とで主に構成される。また、容器本体１１の上面、側面の所定の位置に、容器搬送のためのハンドル１４が設けられる。

基板収容容器１０の、載置台２００の載置面２０１に載置される載置部１５（容器本体１１の底部）には、図４に示すように、先端が載置面２０１と平行な平坦面３１１に形成された突起部（検出パッド）３１と、漏斗状の凹部（位置決め穴）３２が設けられる。突起部３１の数は特に限定するものではないが、３つが最も好ましい。また、凹部３２の数は少なくとも２つあればよく、特に限定するものではないが、２つが最も好ましい。平坦面３１１の平面視形状は特に限定するものではなく、図３に示す長円形状、円形状、楕円形状、矩形形状、多角形形状などであってよい。

突起部３１は、図３に示すように、三角形の頂点を形成する位置関係にて、基板収容容器１０の載置部１５に設けられる。また、凹部３２は、図４に示すように、穴奥側（図４中では上側）に向かって先細りとなるテーパ状に形成されるピンガイド部３２１と、ピンガイド部３２１の穴奥側から連続して垂直上向きに形成されるピン嵌入部（垂直穴部）３２２とで構成される。ここで、各突起部３１は、好ましくは正三角形、または二等辺三角形の頂点を形成する位置関係に配置される。また、各凹部３２は、後述するＸ−Ｙ方向の位置決め精度を高めるべく、できるかぎり離間して設けることが好ましい。ピンガイド部３２１とピン嵌入部３２との境界部は、連続、かつ、滑らかとなるようＲ状に形成される。

図３においては、突起部３１が全て検出パッドである場合を例に挙げたが、特にこれに限定するものではない。例えば、図６に示すように、載置部１５に、突起高さの異なる２種類の突起部３１，６３１を設けてもよい。突起高さは、例えば、突起部６３１よりも突起部３１の方が高く形成される。この場合、突起高さの高い突起部３１が載置面２０１に当接される垂直位置決め部となり、突起高さの低い突起部６３１が後述する在席検出部に対する被在席検出部となる。突起部６３１は、図５に示すように、突起部３１の近傍に少なくとも１つ（図５中では２つ図示）設けられる。

（載置台）
この基板収容容器１０が載置される載置台２００は、その載置面２０１に、載置面２０１よりも上方に突出させて垂直上向きに設けられる位置決めピン４０が２つ、載置面２０１よりも上方に突出され、かつ、載置面２０１に没入自在なドグセンサ（在席検出部）４１が１つ設けられる。ドグセンサ４１の数は少なくとも１つあればよく、特に限定するものではないが、その上限数は突起部３１の数と同数とされる。

この載置台２００と基板収容容器１０との位置決め構造は、位置決めピン４０と凹部３２との係合、および突起部３１の平坦面３１１と載置台２００の載置面２０１との当接、にて構成される。位置決めピン４０およびドグセンサ４１は、突起部３１および凹部３２と対向する位置に設けられる。

ここで、ピン嵌入部３２２および位置決めピン４０は、その最奥部に位置決めピン４０（後述）が完全に着座しないよう、十分な深さおよび長さに形成される。位置決めピン４０の長さに対してピン嵌入部３２２の深さが十分でないと、ピン嵌入部３２２の最奥部に位置決めピン４０が完全に着座して基板収容容器１０が宙に浮いて支持されてしまい、平坦面３１１と載置面２０１とを平面接触させることができなくなる。位置決めピン４０の先端は、ピンガイド部３２１のテーパ面に滑らかに倣うことができるよう、Ｒ状に形成される。

図４においては、在席検出部として、被在席検出部（突起部３１，６３１など）と直接接触するドグセンサ４１を例に挙げたが、特にこれに限定するものではない。例えば、図６に示すように、載置台２００の内部に、載置面２０１に臨んで垂直上向きに配置される非接触センサ（光電センサ、超音波センサ）６４０を設けてもよい。具体的に、光電センサの場合、光電センサ６４０の投光器（図示せず）からガラス窓６４１を介して光Ｌを投光し、被在席検出部にて検出、反射された光Ｌを受光器（図示せず）にて検出するようにしてもよい。

本実施の形態においては、基板収容容器としてＦＯＵＰを例に挙げて説明を行ったが、特にこれに限定するものではなく、基板を収容、輸送、保管するための容器であれば、ＦＯＳＢ、オープンカセットなどであってもよい。

次に、本実施の形態に係る基板収容容器１０と載置台２００との位置決めメカニズムを説明する。
基板収容容器１０を載置台２００の所定の位置に載置すると、基板収容容器１０の各凹部３２におけるピンガイド部３２１に、載置台２００の位置決めピン４０がそれぞれ当接される。また、載置台２００の各ドグセンサ４１に、基板収容容器１０の突起部３１の平坦面３１１がそれぞれ当接される。

その後、基板収容容器１０の自重によって、ピンガイド部３２１に当接された各位置決めピン４０は、ピンガイド部３２１のテーパ面に倣って滑りつつ、ピン嵌入部３２２にそれぞれ案内され、各ドグセンサ４１は、当接された各突起部３１の平坦面３１１にて押下され、載置面２０１に徐々に没入される。

その後、各突起部３１の平坦面３１１が載置面２０１に着座、当接し、平面同士の面接触がなされる。これにより、載置台２００に対する基板収容容器１０のＺ方向（垂直方向）の位置決めがなされる。そして、この面接触のとき、すなわち、平坦面３１１にて各ドグセンサ４１が載置面２０１に完全に没入されたとき、図示しない検出・判断装置にて基板収容容器１０の在席検出がなされ、在席ＯＫと判断される。

また、ピン嵌入部３２２に案内された各位置決めピン４０は、ピン嵌入部３２２に嵌り込み、各突起部３１の平坦面３１１が載置面２０１に着座、当接した時点で、その嵌入が停止される。このとき、位置決めピン４０の先端は、ピン嵌入部３２２の中途部に位置した状態で停止される。これにより、載置台２００に対する基板収容容器１０のＸ−Ｙ方向（水平方向）の位置決めがなされる。

図１６に示したように、従来の基板収容容器９０は、底面部９２が載置台１００の載置面１０１から完全に離れ、宙に浮いた状態で支持されていた。よって、基板収容容器９０のＺ方向の位置決めは、Ｖ溝９３と位置決めピン１０２の精度に左右されていた。

しかしながら、位置決めピン１０２の加工精度を均一にすることは困難である。また、基板収容容器９０は、一般に、樹脂で射出成型されるが、樹脂成型品の成型精度にはバラツキがある。また、基板収容容器９０の使用に伴い、Ｖ溝９３の摩耗や、経年変化（縮み）などが生じる。以上の理由より、これらの部材の精度を高精度に保つことは、非常に困難である。その結果、容器の位置決め精度および在席検出精度を高精度に保つことも、困難であった。

一方、本実施形態の基板収容容器１０は、載置台２００の載置面２０１に、各突起部３１の平坦面３１１を直に平面接触させる。そして、これら載置面２０１および平坦面３１１は平面であるため、面の精度を出すことは、従来のＶ溝９３および位置決めピン１０２の精度を出すことに比べて容易である。よって、載置面２０１と平坦面３１１とを隙間なく容易に密接させることができる。そして、平坦面３１１と載置面２０１との平面接触は最も安定な三点接触であるため、基板収容容器１０は、載置面２０１に対して高い精度で水平載置（垂直位置決め）される。

また、平坦面３１１と載置面２０１との当接位置にドグセンサ４１を設けているので、平坦面３１１と載置面２０１とが平面接触したときに、ドグセンサ４１による基板収容容器１０の在席検出がなされ、このときに初めて在席ＯＫと判断される。載置面２０１および平坦面３１１の平面精度は高精度に加工することが容易であり、また、その平面精度の経年変化も少ないので、突起部３１とドグセンサ４１との間に隙間が生じるおそれは殆どなく、在席検出は従来と比較して確実、高精度になされる。よって、隙間がないときは在席ＯＫ、隙間があったときは在席ＮＧ（エラー）となり、在席検出は容易となる。

したがって、在席ＯＫと判断されたときは、基板収容容器１０は載置面２０１に確実に水平状態（全く傾いていない状態）で載置されていることになる。よって、在席ＯＫと判断された場合、その後、通常通り、ロボットハンドにて基板収容容器１０内に収容された基板Ｗを取りに行ったときに、ロボットハンドが基板にぶつかって、基板Ｗを破損させるおそれはない。

すなわち、本実施形態の基板収容容器１０の位置決め構造は、基板収容容器１０の載置部１５に、平坦面３１１を有する突起部３１と、漏斗状の凹部３２とを設け、基板収容容器１０と載置台２００との位置決めを、水平方向（Ｘ−Ｙ方向）の位置決めと垂直方向（Ｚ方向）の位置決めとに別々分けたことに特長がある。すなわち、水平方向の位置決め機構は凹部３２と位置決めピン４０とであり、垂直方向の位置決め機構は凸部３１と載置面２０１とであり、それぞれ別々の部材が担当する。特に、基板収容容器１０の垂直方向の位置決めは、平坦面３１１と載置面２０１との平面接触にてなされることから、従来と比較して、高い精度で垂直方向の位置決めが可能である。よって、基板収容容器１０は載置面２０１上に高い精度で水平載置されることから、垂直方向の位置決め機構が、水平方向の位置決め機構の位置決め精度に影響を及ぼす（精度を損なう作用を及ぼす）ことはなく、必然的に水平方向の位置決めも高い精度で行うことができる。

よって、本実施形態の基板収容容器１０の位置決め構造によれば、図１６に示した従来の基板収容容器９０の位置決め構造と比較して、容器の位置決め精度および在席検出精度が大幅に向上し、高価な基板Ｗの歩留まりが向上する。

また、ピンガイド部３２１とピン嵌入部３２２との境界部は、連続、かつ、滑らかに形成しているため、位置決めピン４０が凹部３２の途中、例えば境界部に引っ掛かるおそれはない。位置決めピン４０は、垂直上向きに形成された垂直穴（ピン嵌入部３２２）に嵌入されるため、位置決めピン４０が傾いた状態で凹部３２に嵌り込むことはない。

また、水平方向の位置決めは、図４に示すように、丸穴（凹部３２）と丸ピン（位置決めピン４０）との限定するものではない。例えば、図７に示すように、一方の凹部３２を丸穴に、他方の凹部３２Ｂを長穴に形成してもよい。この場合、丸穴に形成された凹部３２を位置決めピン４０Ａの基準穴とし、長穴に形成された凹部３２Ｂを位置決めピン４０Ｂの回転拘束穴としてもよい。また、図８に示すように、両凹部３２を丸穴に形成し、一方の凹部３２に嵌入される位置決めピン４０Ｃを丸ピンに形成し、他方の凹部３２に嵌入される位置決めピン４０Ｄを、丸ピンの周面の少なくとも２箇所を切り落としてなる異形ピン（ダイヤモンドカットピン）に形成してもよい。このように凹部３２の一方を長穴にしたり、位置決めピン４０の一方を異形ピンにしたりすることで、基板収容容器１０の凹部３２の累積した公差とバラツキを許容することができ、確実、高精度に水平方向の位置決めを行うことができる。

次に、本発明の変形例を添付図面に基づいて説明する。
（第１変形例）
図１に示した本実施形態の基板収容容器１０は、容器本体１１の底面に、直接、突起部３１および凹部３２を設け、載置部１５としたものであった。
これに対して、図２に示すように、容器本体１１の底面に基板収容容器１０を水平に支持するスタンド部２１を設け、そのスタンド部２１の底面２２に突起部３１および凹部３２を設け、第１変形例の基板収容容器としてもよい。

第１変形例の基板収容容器１０によれば、容器本体１１の底面形状、例えば載置面２０１に対して水平または非水平に関係なく、容器の載置部１５に突起部３１および凹部３２を設けることが可能となる。つまり、既存の基板収容容器であっても、その容器本体の底面に、突起部３１および凹部３２を備えたスタンド部２１を取り付けることで、本実施の形態に係る基板収容容器１０と同じ作用効果を得ることができる。

（第２変形例）
図３に示した本実施形態の基板収容容器１０は、容器本体１１の底面における左右２箇所（図３中では上下２箇所）に、凹部３２を設けたものであった。
これに対して、図９に示すように、容器本体１１の底面に、プライマリー（外側）の位置決め、すなわち各突起部３１の外側領域９Ａ１および凹部５３２ａ（図１０参照）と、セカンダリー（内側）の位置決め、すなわち各突起部３１の内側領域９Ａ２および凹部５３２ｂとを設け、第２変形例の基板収容容器としてもよい。

第２変形例の基板収容容器１０によれば、プライマリー（外側）の位置決めを、主に、基板収容容器１０をロードポートやストッカなどの載置台に載置する際に標準的に使用することができ、セカンダリー（内側）の位置決めは、ストッカなどの載置台に載置されている基板収容容器１０を取り出すときに使用することができる。

（第３変形例）
図３に示した本実施形態の基板収容容器１０は、容器本体１１の底面における突起部３１の外側に、凹部３２を設けたものであった。
これに対して、図１１に示すように、容器本体１１の底面における突起部３１の平坦面３１１に、換言すると突起部３１の内側に、それぞれ２つの凹部７３２ａ，７３２ｂを設け、第３変形例の基板収容容器としてもよい。そして、載置台２００の、残りの突起部３１ｃの位置と対向する位置に、在席検出センサ（図示せず）が設けられる。

具体的には、図１１のXII−XII線断面図を図１２に示すように、突起部３１の平坦面３１１における周縁部が載置面２０１に当接され、平坦面３１１における中央部が凹部７３２ａに形成される。そして、この凹部７３２ａに位置決めピン８４０ａが嵌入される。

第３変形例の基板収容容器によれば、載置台２００の、突起部３１の位置と対向する位置に位置決めピン８４０ａおよび在席検出センサが設けられる。よって、基板収容容器の底面および載置台２００の載置面２０１においては、最低限、これらの部分だけの水平精度が出ていれば十分である。よって、基板収容容器の底面における面精度を出すための加工コストの低減、すなわち、基板収容容器の製造コストの低減を図ることができる。

以上、本発明は、上述した実施の形態に限定されるものではなく、他にも種々のものが想定されることは言うまでもない。

本発明の基板収容容器を、載置台に載置した状態を示す図である。 図１の変形例である。 図１の基板収容容器の底面図である。 図１の要部IVの拡大図である。 図３の変形例である。 図５のVI−VI線断面図である。 図４のVII−VII線断面図である。 図７の変形例である。 図３の他の変形例である。 図９のX−X線断面図である。 図３の別の変形例である。 図１１のXII−XII線断面図である。 従来の基板収容容器の下部斜視図である。 図１３の基板収容容器を、載置台に載置した状態を示す図である。 図１３の基板収容容器の底面図である。 図１４の要部XVIの拡大図である。

符号の説明

１０ 基板収容容器
１５ 載置部
３１ 突起部
３２ 凹部
２００ 載置台
２０１ 載置面
３１１ 平坦面
Ｗ 基板

Claims (12)

1. 載置台上に水平に載置、位置決めされ、その内部に基板が収容される容器であって、
   前記基板収容容器の、前記載置台の載置面に載置される載置部に、先端が前記載置面と平行な平坦面に形成された突起部を少なくとも３つ設けると共に、漏斗状の凹部を少なくとも２つ設け、
   前記各突起部の平坦面を前記載置面に当接させ、平面同士を面接触させるようにした
   ことを特徴とする基板収容容器。
2. 前記突起部は、前記基板収容容器の載置部に、平面上において三角形の頂点を形成する位置関係にて３つ設けられる
   請求項１記載の基板収容容器。
3. 前記平坦面の少なくとも１つが、容器在席検出のための被在席検出部である
   請求項１記載の基板収容容器。
4. 前記被在席検出部を構成する前記平坦面は、その他の平坦面よりも突出高さを低く設けた
   請求項３記載の基板収容容器。
5. 前記基板収容容器は、その本体の底に基板収容容器を水平に支持するスタンド部を有し、そのスタンド部の底部に前記突起部および前記凹部を設けた
   請求項１記載の基板収容容器。
6. 前記突起部の平坦面の少なくとも２つに、前記凹部を設けた
   請求項１記載の基板収容容器。
7. 請求項１から６いずれかに記載の基板収容容器と、その基板収容容器が載置される載置台とで構成され、前記基板収容容器を前記載置台上に水平に載置、位置決めする際の位置決め構造であって、
   前記載置台に、載置面よりも上方に突出する位置決めピンを少なくとも２つ設けると共に、載置面に在席検出部を少なくとも１つ設け、
   前記各突起部の平坦面を前記載置面に当接させ、前記載置台に対する前記基板収容容器の垂直方向の位置決めをし、
   前記各凹部内に前記位置決めピンを嵌入させ、前記載置台に対する前記基板収容容器の水平方向の位置決めをし、
   前記平坦面の少なくとも１つを前記在席検出部にて検出し、前記基板収容容器の在席を検出する、
   ことを特徴とする基板収容容器の位置決め構造。
8. 前記載置部に前記凹部を離間して２つ設けると共に、一方の凹部を丸穴に、他方の凹部を長穴に形成し、
   丸穴に形成された前記凹部を一方の前記位置決めピンの基準穴とし、長穴に形成された前記凹部を他方の前記位置決めピンの回転拘束穴とした
   請求項７記載の基板収容容器の位置決め構造。
9. 前記載置部に前記凹部を離間して２つ設けると共に、両凹部を丸穴に形成し、
   一方の前記凹部に嵌入される前記位置決めピンを丸ピンに形成し、他方の前記凹部に嵌入される前記位置決めピンを、丸ピンの周面の少なくとも２箇所を切り落としてなる異形ピンに形成した
   請求項７記載の基板収容容器の位置決め構造。
10. 前記平坦面の少なくとも１つを、その他の平坦面よりも突出高さを低く設けて容器在席検出のための被在席検出部とし、
    その少なくとも１つの被在席検出部を前記在席検出部にて検出する
    請求項７記載の基板収容容器の位置決め構造。
11. 前記在席検出部が、載置面よりも上方に突出され、かつ、載置面に没入自在なドグセンサである
    請求項７記載の基板収容容器の位置決め構造。
12. 前記在席検出部が、前記載置台内部に設けられ、載置面に臨んで垂直上向きに配置される非接触センサである
    請求項７記載の基板収容容器の位置決め構造。

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