JPWO2016047163A1 - 基板収納容器 - Google Patents

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Abstract

基板収納容器は、容器本体と、蓋体と、側方基板支持部（５）と、を備える。基板収納容器の側方基板支持部（５）は、基板の縁部を支持しているときに基板に接触する基板接触部（５３、５４）と、基板接触部（５３、５４）を支持する接触部支持部（５２１、５２３）と、を有する。基板接触部（５３、５４）は、基板接触部（５３、５４）に接触する基板の温度に対する耐熱性を有する材料により構成される。接触部支持部（５２１、５２３）は、基板接触部（５３、５４）よりも耐熱性が低く、且つ、基板接触部（５３、５４）よりも吸湿率が低い材料により構成されている。

Description

本発明は、半導体ウェーハ等からなる基板を収納、保管、搬送、輸送等する際に使用される基板収納容器に関する。
半導体ウェーハからなる基板を収納して搬送するための基板収納容器としては、容器本体と蓋体とを備える構成のものが、従来より知られている。
容器本体は、一端部に容器本体開口部が形成され他端部が閉塞された筒状の壁部を有する。容器本体内には基板収納空間が形成されている。基板収納空間は、壁部により取り囲まれて形成されており、複数の基板を収納可能である。蓋体は、容器本体開口部に対して着脱可能であり、容器本体開口部を閉塞可能である。
また、基板収納空間には、基板収納空間内において対をなすように基板支持板状部が壁部に設けられている。基板支持板状部は、蓋体によって容器本体開口部が閉塞されていないときに、隣接する基板同士を所定の間隔で離間させて並列させた状態で、複数の基板の縁部を支持可能である。
蓋体の部分であって容器本体開口部を閉塞しているときに基板収納空間に対向する部分には、フロントリテーナが設けられている。フロントリテーナは、蓋体によって容器本体開口部が閉塞されているときに、複数の基板の縁部を支持可能である。また、フロントリテーナと対をなすようにして、奥側基板支持部が壁部に設けられている。奥側基板支持部は、複数の基板の縁部を支持可能である。奥側基板支持部は、蓋体によって容器本体開口部が閉塞されているときに、フロントリテーナと協働して複数の基板を支持することにより、隣接する基板同士を所定の間隔で離間させて並列させた状態で、複数の基板を保持する。
国際公開第２０１１／１０２３１８号 特許第４１５０４６５号公報 国際公開第２０１４／０６９８１０号
例えば、工場内の工程において基板を搬送するための基板収納容器には、高温の基板が収納される。基板収納容器の基板支持板状部が耐熱性を有していない場合には、基板に接触する基板支持板状部の部分、即ち、基板接触部にキズが発生したり、基板接触部を構成する樹脂が溶けてしまい、基板収納空間への基板の出し入れの際に、基板の裏面へダメージを与えてしまったりする恐れがある。また、熱変形により基板収納容器の寸法が変化し、基板高さ等の規格から外れてしまうことにより、基板取出機との接触による基板損傷も懸念される。このため、基板収納容器には、耐熱性が要求される。
一方、耐熱性を有する材料で、基板収納容器を構成した場合には、基板収納空間を窒素等でパージしたときに、基板収納空間の湿度が低下することより、基板収納容器や基板接触部を支持する接触部支持部等から水分が放出される。このため、蓋体により容器本体開口部を閉塞された状態でも、窒素等でパージされた基板収納空間内の湿度は時間とともに上昇する。この基板収納空間内の湿度の上昇が基板に悪影響を与えることがある。
本発明は、耐熱性を有し、且つ、吸湿性が低い基板収納容器を提供することを目的とする。
本発明は、複数の基板を収納可能な基板収納空間が内部に形成され、一端部に前記基板収納空間に連通する容器本体開口部が形成された容器本体と、前記容器本体開口部に対して着脱可能であり、前記容器本体開口部を閉塞可能な蓋体と、前記基板収納空間内において対をなすように配置され、前記蓋体によって前記容器本体開口部が閉塞されていないときに、前記複数の基板のうちの隣接する基板同士を所定の間隔で離間させて並列させた状態で、前記複数の基板の縁部を支持可能な側方基板支持部と、を備え、前記側方基板支持部は、前記基板の縁部を支持しているときに前記基板に接触する基板接触部と、前記基板接触部を支持する接触部支持部と、を有し、前記基板接触部は、前記基板接触部に接触する前記基板の温度に対する耐熱性を有する材料により構成され、前記接触部支持部は、前記基板接触部よりも耐熱性が低く、且つ、前記基板接触部よりも吸湿率が低い材料により構成されている基板収納容器に関する。
また、前記基板接触部は、前記接触部支持部とは別体で形成され、前記接触部支持部に対して固定されることが好ましい。
また、前記容器本体は、一対の側壁を有し、前記側方基板支持部は、少なくとも一対設けられ、一方の前記側方基板支持部は一方の前記側壁に固定され、他方の前記側方基板支持部は他方の前記側壁に固定され、一方の前記側方基板支持部は他方の前記側壁に固定可能であり、他方の前記側方基板支持部は一方の前記側壁に固定可能であり、一方の前記側方基板支持部の前記基板接触部は、他方の前記側方基板支持部の前記接触部支持部に対して固定可能であり、他方の前記側方基板支持部の前記基板接触部は、一方の前記側方基板支持部の前記接触部支持部に対して固定可能であることが好ましい。
また、前記接触部支持部は、係止部を有し、前記係止部には、広孔部と、前記広孔部に連通する狭孔部とが形成され、前記基板接触部は、基板接触部本体と、前記係止部に係止される被係止部と、を有し、前記基板接触部本体は、前記広孔部及び前記狭孔部に挿入不能であり、前記被係止部は、前記広孔部に挿入可能であり且つ前記狭孔部には挿入不能な頭部と、一端部が前記頭部に接続され他端部が前記基板接触部本体に接続され、前記広孔部及び前記狭孔部に挿入可能な首部と、を有し、前記首部が前記狭孔部に挿入されているときに、前記首部が前記狭孔部から前記広孔部へ移動することを阻害する被係止部移動阻害部を有することが好ましい。
また、前記係止部及び前記被係止部を複数有し、一の前記狭孔部においては、前記狭孔部と前記広孔部とを結ぶ方向に対して直交する方向において、前記狭孔部の幅は、前記首部の幅と略同一であり、他の前記狭孔部においては、前記狭孔部と前記広孔部とを結ぶ方向に対して直交する方向において、前記狭孔部の幅は、前記首部の幅よりも大きいことが好ましい。
ここで、「前記狭孔部の幅は、前記首部の幅と略同一」とは、略同一ではなく完全同一である場合には、首部を狭孔部に挿入することができないことがあるため、このような不具合を解消し、首部を狭孔部に挿入可能とする程度に、狭孔部の幅は首部の幅と同一であることを意味する。
また、前記基板接触部は、前記接触部支持部に対してインサート成形により固定されることが好ましい。また、前記基板接触部は、前記接触部支持部に対してオーバーモールドにより形成されることが好ましい。
また、前記容器本体は、前記基板接触部よりも吸湿率が低い材料により構成されていることが好ましい。また、前記容器本体は、前記接触部支持部と一体成形されていることが好ましい。
本発明によれば、耐熱性を有し、且つ、吸湿性が低い基板収納容器を提供することができる。
本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１に基板Ｗが基板収納容器１に収納された様子を示す分解斜視図である。 本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１の基板支持板状部５を示す斜視図である。 本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１の基板支持板状部５を示す正面図である。 本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１の基板支持板状部５から前側基板接触部５３及び後側基板接触部５４が取り外された様子を示す斜視図である。 本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１の前側基板接触部５３を示す斜視図である。 本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１の前側基板接触部５３を示す側面図である。 本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１の前側基板接触部５３を示す背面図である。 本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１の後側基板接触部５４を示す斜視図である。 本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１の後側基板接触部５４を示す側面図である。 本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１の後側基板接触部５４を示す背面図である。 本発明の第２実施形態に係る基板収納容器の基板支持板状部５Ａを示す斜視図である。 本発明の第２実施形態に係る基板収納容器の前側基板接触部５３Ａを示す斜視図である。 本発明の第２実施形態に係る基板収納容器の後側基板接触部５４Ａを示す斜視図である。 本発明の第２実施形態に係る基板収納容器の基板支持板状部５Ａを示す正面図である。 図１０のＡ−Ａ線に沿った断面図である。 本発明の第３実施形態に係る基板収納容器の基板支持板状部５Ｂを示す斜視図である。 本発明の第４実施形態に係る基板収納容器の基板支持板状部５Ｃを示す正面図である。 本発明の第４実施形態に係る基板収納容器の基板支持板状部５Ｃから前側基板接触部５３Ｃ及び後側基板接触部５４Ｃが取り外された様子を示す正面図である。 本発明の第４実施形態に係る基板収納容器の前側基板接触部５３Ｃを示す側面図である。 本発明の第４実施形態に係る基板収納容器の前側基板接触部５３Ｃを示す背面図である。 本発明の第４実施形態に係る基板収納容器の前側基板接触部５３Ｃを示す平面図である。 本発明の第４実施形態に係る基板収納容器の後側基板接触部５４Ｃを示す側面図である。 本発明の第４実施形態に係る基板収納容器の後側基板接触部５４Ｃを示す背面図である。 本発明の第４実施形態に係る基板収納容器の後側基板接触部５４Ｃを示す平面図である。 本発明の第４実施形態に係る基板収納容器の基板支持板状部５Ｃに、前側基板接触部５３Ｃを取り付けようとしている様子を示す断面斜視図である。 本発明の第４実施形態に係る基板収納容器の基板支持板状部５Ｃの広孔部５２６１Ｃに、前側基板接触部５３Ｃの被係止部の首部５３３２Ｃ及び頭部５３３１Ｃが挿入された様子を示す拡大断面斜視図である。 本発明の第４実施形態に係る基板収納容器の基板支持板状部５Ｃの狭孔部５２６２Ｃに、前側基板接触部５３Ｃの被係止部の首部５３３２Ｃが挿入された様子を示す拡大断面斜視図である。 本発明の第５実施形態に係る基板収納容器の基板支持板状部の狭孔部５２６２Ｃに、前側基板接触部５３Ｃの被係止部の首部５３３２Ｃが挿入された様子を示す概略断面図である。
以下、本発明の第１実施形態による基板収納容器について、図１〜図６Ｃを参照しながら説明する。
図１は、本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１に基板Ｗが基板収納容器１に収納された様子を示す分解斜視図である。図２は、本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１の基板支持板状部５を示す斜視図である。図３は、本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１の基板支持板状部５を示す正面図である。図４は、本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１の基板支持板状部５から前側基板接触部５３及び後側基板接触部５４が取り外された様子を示す斜視図である。図５Ａは、本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１の前側基板接触部５３を示す斜視図である。図５Ｂは、本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１の前側基板接触部５３を示す側面図である。
図５Ｃは、発明の第１実施形態に係る基板収納容器１の前側基板接触部５３を示す背面図である。図６Ａは、本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１の後側基板接触部５４を示す斜視図である。図６Ｂは、本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１の後側基板接触部５４を示す側面図である。図６Ｃは、本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１の後側基板接触部５４を示す背面図である。
ここで、説明の便宜上、後述の容器本体２から蓋体３へ向かう方向（図１における右上から左下へ向かう方向）を前方向Ｄ１１と定義し、その反対の方向を後方向Ｄ１２と定義し、これらを前後方向Ｄ１と定義する。また、後述の下壁２４から上壁２３へと向かう方向（図１における上方向）を上方向Ｄ２１と定義し、その反対の方向を下方向Ｄ２２と定義し、これらを上下方向Ｄ２と定義する。また、後述する第２側壁２６から第１側壁２５へと向かう方向（図１における右下から左上へ向かう方向）を左方向Ｄ３１と定義し、その反対の方向を右方向Ｄ３２と定義し、これらを左右方向Ｄ３と定義する。主要な図面においては、これらの方向を示す矢印を付して説明する。
また、基板収納容器１に収納される基板Ｗ（図１等参照）は、円盤状のシリコンウェーハ、ガラスウェーハ、サファイアウェーハ等であり、産業に用いられる薄いものである。本実施形態における基板Ｗは、直径３００ｍｍ程度のシリコンウェーハである。
図１に示すように、基板収納容器１は、容器本体２と、蓋体３と、シール部材４と、側方基板支持部としての基板支持板状部５と、奥側基板支持部（図示せず）と、フロントリテーナ（図示せず）と、を有している。
容器本体２は、一端部に容器本体開口部２１が形成され、他端部が閉塞された筒状の壁部２０を有する。容器本体２内には基板収納空間２７が形成されている。基板収納空間２７は、壁部２０により取り囲まれて形成されている。壁部２０の部分であって基板収納空間２７を形成している部分には、基板支持板状部５が配置されている。基板収納空間２７には、図１に示すように、複数の基板Ｗを収納可能である。
基板支持板状部５は、基板収納空間２７内において対をなすように壁部２０に設けられている。基板支持板状部５は、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されていないときに、複数の基板Ｗの縁部に当接することにより、隣接する基板Ｗ同士を所定の間隔で離間させて並列させた状態で、複数の基板Ｗの縁部を支持可能である。基板支持板状部５の奥側には、奥側基板支持部（図示せず）が設けられている。
奥側基板支持部（図示せず）は、基板収納空間２７内においてフロントリテーナ（図示せず）と対をなすように壁部２０に設けられている。奥側基板支持部（図示せず）は、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに、複数の基板Ｗの縁部に当接することにより、複数の基板Ｗの縁部の後部を支持可能である。
蓋体３は、容器本体開口部２１を形成する開口周縁部２８（図１等）に対して着脱可能であり、容器本体開口部２１を閉塞可能である。フロントリテーナ（図示せず）は、蓋体３の部分であって蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに基板収納空間２７に対向する部分に設けられている。フロントリテーナ（図示せず）は、基板収納空間２７の内部において奥側基板支持部（図示せず）と対をなすように配置されている。
フロントリテーナ（図示せず）は、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに、複数の基板Ｗの縁部に当接することにより複数の基板Ｗの縁部の前部を支持可能である。フロントリテーナ（図示せず）は、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに、奥側基板支持部（図示せず）と協働して複数の基板Ｗを支持することにより、隣接する基板Ｗ同士を所定の間隔で離間させて並列させた状態で、複数の基板Ｗを保持する。以下、各部について、詳細に説明する。
基板収納容器１は、プラスチック材等の樹脂で構成されており、特に説明が無い場合には、その材料の樹脂としては、たとえば、シクロオレフィンポリマー、シクロオレフィンコポリマー、といった、後述の前側基板接触部５３、後側基板接触部５４よりも吸湿性の低い成形材料やこれらのアロイ等に導電性を持たせる為カーボン繊維、カーボンパウダー、カーボンナノチューブ、ケッチェンブラック（登録商標）、導電性ポリマー等の導電性物質が、これらの成形材料の樹脂に選択的に添加される。また、剛性を上げるために、これらの成形材料の樹脂に、ガラス繊維や炭素繊維等が添加されてもよい。
図１等に示すように、容器本体２の壁部２０は、奥壁２２と上壁２３と下壁２４と第１側壁２５と第２側壁２６とを有する。奥壁２２、上壁２３、下壁２４、第１側壁２５、及び第２側壁２６は、上述の材料により構成されており、第１実施形態では、シクロオレフィンポリマーにより一体成形されて構成されている。
第１側壁２５と第２側壁２６とは対向しており、上壁２３と下壁２４とは対向している。上壁２３の後端、下壁２４の後端、第１側壁２５の後端、及び第２側壁２６の後端は、全て奥壁２２に接続されている。上壁２３の前端、下壁２４の前端、第１側壁２５の前端、及び第２側壁２６の前端は、奥壁２２に対向する位置関係を有し、略長方形状をした容器本体開口部２１を形成する開口周縁部２８を構成する。
開口周縁部２８は、容器本体２の一端部に設けられており、奥壁２２は、容器本体２の他端部に位置している。壁部２０の外面により形成される容器本体２の外形は箱状である。壁部２０の内面、即ち、奥壁２２の内面、上壁２３の内面、下壁２４の内面、第１側壁２５の内面、及び第２側壁２６の内面は、これらによって取り囲まれた基板収納空間２７を形成している。開口周縁部２８に形成された容器本体開口部２１は、壁部２０により取り囲まれて容器本体２の内部に形成された基板収納空間２７に連通している。基板収納空間２７には、最大で２５枚の基板Ｗを収納可能である。
図１に示すように、上壁２３及び下壁２４の部分であって、開口周縁部２８の近傍の部分には、基板収納空間２７の外方へ向かって窪んだラッチ係合凹部２３１Ａ、２３１Ｂ、２４１Ａ、２４１Ｂが形成されている。ラッチ係合凹部２３１Ａ、２３１Ｂ、２４１Ａ、２４１Ｂは、上壁２３及び下壁２４の左右両端部近傍に１つずつ、計４つ形成されている。
図１に示すように、上壁２３の外面においては、リブ２３５Ａ、２３５Ｂが、上壁２３と一体成形されて設けられている。リブ２３５Ａ、２３５Ｂは、容器本体２の剛性を高める。また、上壁２３の中央部には、トップフランジ２３６が固定される。トップフランジ２３６は、ＡＭＨＳ（自動ウェーハ搬送システム）、ＰＧＶ（ウェーハ基板搬送台車）等において基板収納容器１を吊り下げる際に、基板収納容器１において掛けられて吊り下げられる部分となる部材である。
図１に示すように、基板支持板状部５は、第１側壁２５及び第２側壁２６にそれぞれ設けられて、左右方向Ｄ３において対をなすようにして基板収納空間２７内に配置されている。具体的には、基板支持板状部５は、板部５１と、板部支持部５２と、前側基板接触部５３と、後側基板接触部５４と、を有している。第１側壁２５、第２側壁２６にそれぞれ設けられた基板支持板状部５は、同一形状を有しているため、以下、一方の基板支持板状部５についてのみ説明する。即ち、第１側壁２５に設けられた基板支持板状部５は、第２側壁２６に固定されて使用可能であり、また、第２側壁２６に設けられた基板支持板状部５は、第１側壁２５に固定されて使用可能である。
また、前側基板接触部５３、後側基板接触部５４は、前記接触部支持部としての第１板部支持部５２１、第３板部支持部５２３とは別体で形成されている。即ち、図４、図５Ａ〜図５Ｃ、図６Ａ〜図６Ｃ、に示すように、前側基板接触部５３、後側基板接触部５４は、第１板部支持部５２１、第３板部支持部５２３に対して着脱可能な別部品で構成されている。
板部５１及び板部支持部５２は、前側基板接触部５３、後側基板接触部５４よりも耐熱性が低く、且つ、前側基板接触部５３、後側基板接触部５４よりも吸湿率が低い材料により一体成形されて構成されている。具体的には、板部５１と板部支持部５２とは、シクロオレフィンポリマー、シクロオレフィンコポリマー、といった、前側基板接触部５３、後側基板接触部５４よりも吸湿性の低い成形材料が用いられている。これらの成形材料の樹脂に導電性を付与する場合には、カーボン繊維、カーボンパウダー、カーボンナノチューブ、ケッチェンブラック（登録商標）、導電性ポリマー等の導電性物質が、これらの成形材料の樹脂に選択的に添加される。
板部５１は、板状の弧形状を有している。板部５１は、第１側壁２５、第２側壁２６に、それぞれ２５枚ずつ計５０枚設けられている。隣接する板部５１は、上下方向Ｄ２において１０ｍｍ〜１２ｍｍ間隔で互いに離間して平行な位置関係で配置されている。なお、最も上に位置する板部５１の上方にも、板部５１と略同一形状のものが配置されているが、これは、最も上に位置して基板収納空間２７内へ挿入される基板Ｗに対して、挿入する際のガイドの役割をする部材である。
また、第１側壁２５に設けられた２５枚の板部５１と、第２側壁２６に設けられた２５枚の板部５１とは、互いに左右方向Ｄ３において対向する位置関係を有している。また、５０枚の板部５１、及び、板部５１と略同形状の２枚のガイドの役割をする部材は、下壁２４の内面に平行な位置関係を有している。
板部支持部５２は、接触部支持部としての第１板部支持部５２１と、第２板部支持部５２２と、第３板部支持部５２３とにより構成されており、これらは、上下方向Ｄ２に延びている。第１側壁２５に設けられた２５枚の板部５１は、第１側壁２５側に設けられた第１板部支持部５２１、第２板部支持部５２２、及び、第３板部支持部５２３に接続されている。同様に、第２側壁２６に設けられた２５枚の板部５１は、第２側壁２６側に設けられた第１板部支持部５２１、第２板部支持部５２２、及び、第３板部支持部５２３に接続されている。基板支持板状部５は、第１側壁２５、第２側壁２６にそれぞれ固定される。
第１板部支持部５２１は、前側基板接触部５３が当接して固定される前側接触部当接面５２５を有している。前側接触部当接面５２５は、図４に示すように、上下方向Ｄ２に細長く延びる長方形状を有しており、平坦面により構成されている。前側接触部当接面５２５の上端部及び下端部と、上下方向における前側接触部当接面５２５の中央部と、当該上端部と当該中央部との中間部と、当該下端部と当該中央部との中間部とは、それぞれ円形の貫通孔５２６を有している。第１板部支持部５２１は、基板接触部５３を支持する。
第３板部支持部５２３は、後側基板接触部５４が当接して固定される後側接触部当接面５２７を有している。後側接触部当接面５２７は、図４に示すように、上下方向Ｄ２に細長く延びる長方形状を有しており、平坦面により構成されている。後側接触部当接面５２７の上端部及び下端部と、上下方向における後側接触部当接面５２７の中央部と、当該上端部と当該中央部との中間部と、当該下端部と当該中央部との中間部と、には、円形の貫通孔５２８が形成されている。
前側基板接触部５３は、図５Ａ〜図５Ｃに示すように、前側板状基部５３１と、前側内方凸部５３２と、前側被固定凸部５３３とを有しており、これらは一体成形されている。前側基板接触部５３は、基板支持板状部５が基板Ｗの縁部を支持しているときに、基板Ｗに接触する。前側基板接触部５３は、前側基板接触部５３に接触する基板Ｗの温度に対する耐熱性を有する材料により構成されている。より具体的には、前側基板接触部５３は、ＰＥＥＫ材等により構成されている。このＰＥＥＫ材に導電性を付与する場合には、カーボン繊維、カーボンパウダー、カーボンナノチューブ、ケッチェンブラック（登録商標）、導電性ポリマー等の導電性物質が、これらの成形材料の樹脂に選択的に添加される。
前側板状基部５３１は、前側接触部当接面５２５よりも僅かに小さい長方形の板状を有している。前側板状基部５３１の裏面は、前側接触部当接面５２５（図４参照）に略一致した位置関係で対向して当接する。
前側内方凸部５３２は、前側板状基部５３１の表面から基板収納空間２７の内方へ延びる板状を有している。前側内方凸部５３２は、図２、図５Ａ等に示すように、前後方向Ｄ１及び左右方向Ｄ３に平行な平面視において、先細り形状を有するとともに、図５Ｂに示すように、上下方向Ｄ２において、先細り形状を有している。前側内方凸部５３２の上面と下面とを結ぶ前側内方凸部５３２の厚さ方向は、上下方向Ｄ２に一致している。
前側内方凸部５３２の上面には、略半円凸部５３４が存在する。略半円凸部５３４は、前側内方凸部５３２の基部から先端部に至るまで延びており、略半円凸部５３４が延びる方向に直交する断面は、上方向Ｄ２１へ凸形状を有する略半円形状を有している。略半円凸部５３４の最上部には、基板Ｗの下面の縁部が当接し、これにより、基板Ｗは、基板支持板状部５によって支持される。
前側被固定凸部５３３は、図５Ｂ、図５Ｃに示すように、円盤形状を有している。前側被固定凸部５３３の軸心は、前側板状基部５３１の裏面（図５Ｃに現われている前側板状基部５３１の面）の法線方向に平行な位置関係を有しており、前側被固定凸部５３３は、前側板状基部５３１の裏面から突出している。前側被固定凸部５３３は、貫通孔５２６（図４等参照）に圧入可能である。前側被固定凸部５３３が貫通孔５２６に圧入されることにより、前側基板接触部５３は、板部支持部５２の第１板部支持部５２１に対して、固定される。
前述のように、第１側壁２５、第２側壁２６にそれぞれ設けられた基板支持板状部５は、同一形状を有しているため、第１側壁２５に設けられた基板支持板状部５の前側基板接触部５３は、第２側壁２６に設けられた基板支持板状部５の第１板部支持部５２１に対して固定可能である。同様に、第２側壁２６に設けられた基板支持板状部５の前側基板接触部５３は、第１側壁２５に設けられた基板支持板状部５の第１板部支持部５２１に対して固定可能である。
後側基板接触部５４は、図６Ａ〜図６Ｃに示すように、後側板状基部５４１と、後側内方凸部５４２と、後側被固定凸部５４３とを有しており、これらは一体成形されている。後側基板接触部５４は、基板支持板状部５が基板Ｗの縁部を支持しているときに、基板Ｗに接触する。後側基板接触部５４は、後側基板接触部５４に接触する基板Ｗの温度に対する耐熱性を有する材料により構成されている。より具体的には、後側基板接触部５４は、ＰＥＥＫ材等により構成されている。このＰＥＥＫ材に導電性を付与する場合には、カーボン繊維、カーボンパウダー、カーボンナノチューブ、ケッチェンブラック（登録商標）、導電性ポリマー等の導電性物質が、これらの成形材料の樹脂に選択的に添加される。
後側板状基部５４１は、後側接触部当接面５２７よりも僅かに小さい長方形の板状を有しており、後側板状基部５４１の裏面は、後側接触部当接面５２７に略一致した位置関係で対向して当接する。
後側内方凸部５４２は、後側板状基部５４１の表面から基板収納空間２７の内方へ延びる板状を有している。後側内方凸部５４２は、図２、図６Ａ等に示すように、前後方向Ｄ１及び左右方向Ｄ３に平行な平面視において、先細り形状を有するとともに、図６Ｂに示すように、上下方向Ｄ２において、先細り形状を有している。後側内方凸部５４２の上面と下面とを結ぶ後側内方凸部５４２の厚さ方向は、上下方向Ｄ２に一致している。
後側内方凸部５４２の上面には、前側基板接触部５３の略半円凸部５３４のような略半円凸部は存在しない。後側内方凸部５４２の上面の縁部には、基板Ｗの下面の縁部が当接し、これにより、基板Ｗは、基板支持板状部５によって支持される。
後側被固定凸部５４３は、図６Ｂ、図６Ｃに示すように、円盤形状を有している。後側被固定凸部５４３の軸心は、後側板状基部５４１の裏面（図６Ｃに現われている後側板状基部５４１の面）の法線方向に平行な位置関係を有しており、後側被固定凸部５４３は、後側板状基部５４１の裏面から突出している。後側被固定凸部５４３は、貫通孔５２８（図４等参照）に圧入可能である。後側被固定凸部５４３が貫通孔５２８に圧入されることにより、後側基板接触部５４は、板部支持部５２の第３板部支持部５２３に対して、着脱可能に固定される。
前述のように、第１側壁２５、第２側壁２６にそれぞれ設けられた基板支持板状部５は、同一形状を有しているため、第１側壁２５に設けられた基板支持板状部５の後側基板接触部５４は、第２側壁２６に設けられた基板支持板状部５の第３板部支持部５２３に対して着脱可能に固定可能である。同様に、第２側壁２６に設けられた基板支持板状部５の後側基板接触部５４は、第１側壁２５に設けられた基板支持板状部５の第３板部支持部５２３に対して着脱可能に固定可能である。
このような構成の基板支持板状部５により、複数の基板Ｗのうちの隣接する基板Ｗ同士を、所定の間隔で離間した状態で且つ互いに平行な位置関係とした状態で、複数の基板Ｗの縁部を支持可能である。
奥側基板支持部（図示せず）は、壁部基板支持部（図示せず）を有している。壁部基板支持部（図示せず）は、基板支持板状部５の板部５１の後端部に形成されて設けられている。なお、壁部基板支持部（図示せず）は、容器本体２と一体で成形されていてもよい。
壁部基板支持部（図示せず）は、基板収納空間２７に収納可能な基板Ｗの一枚毎に対応した個数、具体的には、２５個設けられている。第１側壁２５及び第２側壁２６に設けられた壁部基板支持部（図示せず）は、左右方向Ｄ３において対をなす位置関係を有している。また、第１側壁２５及び第２側壁２６に設けられた壁部基板支持部（図示せず）は、前後方向Ｄ１において、後述するフロントリテーナ（図示せず）と対をなすような位置関係を有している。基板収納空間２７内に基板Ｗが収納され、蓋体３が閉じられることにより、壁部基板支持部（図示せず）は、基板Ｗの縁部の端縁を挟持する。
図１に示すように、蓋体３は、容器本体２の開口周縁部２８の形状と略一致する略長方形状を有している。蓋体３は容器本体２の開口周縁部２８に対して着脱可能であり、開口周縁部２８に蓋体３が装着されることにより、蓋体３は、容器本体開口部２１を閉塞可能である。蓋体３の内面（図１に示す蓋体３の裏側の面）であって、蓋体３が容器本体開口部２１を閉塞しているときの開口周縁部２８のすぐ後方向Ｄ１２の位置に形成された段差の部分の面（シール面２８１）に対向する面には、環状のシール部材４が取り付けられている。シール部材４は、弾性変形可能なポリエステル系、ポリオレフィン系など各種熱可塑性エラストマー、フッ素ゴム、シリコンゴム等により構成されている。シール部材４は、蓋体３の外周縁部を一周するように配置されている。
蓋体３が開口周縁部２８に装着されたときに、シール部材４は、シール面２８１と蓋体３の内面とにより挟まれて弾性変形し、蓋体３は、容器本体開口部２１を密閉した状態で閉塞する。開口周縁部２８から蓋体３が取り外されることにより、容器本体２内の基板収納空間２７に対して、基板Ｗを出し入れ可能となる。
蓋体３においては、ラッチ機構が設けられている。ラッチ機構は、蓋体３の左右両端部近傍に設けられており、図１に示すように、蓋体３の上辺から上方向Ｄ２１へ突出可能な２つの上側ラッチ部３２Ａ、３２Ｂと、蓋体３の下辺から下方向Ｄ２２へ突出可能な２つの下側ラッチ部３２Ｃ、３２Ｄと、を備えている。２つの上側ラッチ部３２Ａ、３２Ｂは、蓋体３の上辺の左右両端近傍に配置されており、２つの下側ラッチ部３２Ｃ、３２Ｄは、蓋体３の下辺の左右両端近傍に配置されている。
蓋体３の外面には操作部３３が設けられている。操作部３３を蓋体３の前側から操作することにより、上側ラッチ部３２Ａ、３２Ｂ、下側ラッチ部３２Ｃ、３２Ｄを蓋体３の上辺、下辺から突出させることができ、また、上辺、下辺から突出させない状態とすることができる。上側ラッチ部３２Ａ、３２Ｂが蓋体３の上辺から上方向Ｄ２１へ突出して、容器本体２のラッチ係合凹部２３１Ａ、２３１Ｂに係合し、且つ、下側ラッチ部３２Ｃ、３２Ｄが蓋体３の下辺から下方向Ｄ２２へ突出して、容器本体２のラッチ係合凹部２４１Ａ、２４１Ｂに係合することにより、蓋体３は、容器本体２の開口周縁部２８に固定される。
蓋体３の蓋体本体３０の内側には、フロントリテーナ（図示せず）が固定されて設けられている。フロントリテーナ（図示せず）は、フロントリテーナ基板受け部（図示せず）を有している。フロントリテーナ基板受け部（図示せず）は、左右方向Ｄ３に所定の間隔で離間して対をなすようにして２つずつ配置されている。このように対をなすようにして２つずつ配置されたフロントリテーナ基板受け部（図示せず）は、上下方向Ｄ２に２５対並列した状態で設けられている。基板収納空間２７内に基板Ｗが収納され、蓋体３が閉じられることにより、フロントリテーナ基板受け部（図示せず）は、基板Ｗの縁部の端縁を挟持して支持する。
上記構成の第１実施形態による基板収納容器１によれば、以下のような効果を得ることができる。
上述のように、基板収納容器１は、複数の基板Ｗを収納可能な基板収納空間２７が内部に形成され、一端部に基板収納空間２７に連通する容器本体開口部２１が形成された容器本体２と、容器本体開口部２１に対して着脱可能であり、容器本体開口部２１を閉塞可能な蓋体３と、基板収納空間２７内において対をなすように配置され、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されていないときに、複数の基板Ｗのうちの隣接する基板Ｗ同士を所定の間隔で離間させて並列させた状態で、複数の基板Ｗの縁部を支持可能な側方基板支持部としての基板支持板状部５と、を備えている。基板支持板状部５は、基板Ｗの縁部を支持しているときに基板Ｗに接触する前側基板接触部５３、後側基板接触部５４と、前側基板接触部５３、後側基板接触部５４を支持する接触部支持部としての第１板部支持部５２１、第３板部支持部５２３と、を有する。前側基板接触部５３、後側基板接触部５４は、前側基板接触部５３、後側基板接触部５４に接触する基板Ｗの温度に対する耐熱性を有する材料により構成されている。第１板部支持部５２１、第３板部支持部５２３は、前側基板接触部５３、後側基板接触部５４よりも耐熱性が低く、且つ、前側基板接触部５３、後側基板接触部５４よりも吸湿率が低い材料により構成されている。
この構成により、側方基板支持部としての基板支持板状部５は、基板Ｗの縁部を支持しているときに基板Ｗに接触する前側基板接触部５３、後側基板接触部５４と、前側基板接触部５３、後側基板接触部５４を支持する接触部支持部としての第１板部支持部５２１、第３板部支持部５２３と、を有し、前側基板接触部５３、後側基板接触部５４は、前側基板接触部５３、後側基板接触部５４に接触する基板Ｗの温度に対する耐熱性を有する材料により構成されているため、前側基板接触部５３、後側基板接触部５４にキズが発生することを抑え、前側基板接触部５３、後側基板接触部５４を構成する樹脂が溶けることを抑えることができる。このため、基板収納空間２７への基板Ｗの出し入れの際に、基板Ｗの裏面へダメージを与えることを抑えることができる。また、熱変形により基板収納容器１の寸法が変化し、基板高さ等の規格から外れてしまうことを抑えることができ、基板取出機との接触による基板損傷が発生することを抑えることができる。このため、従来、耐熱性の材料で構成されていた基板収納容器１が使用されていた工程においても、基板収納容器１を用いることができる。
また、接触部支持部としての第１板部支持部５２１、第３板部支持部５２３は、前側基板接触部５３、後側基板接触部５４よりも吸湿率が低い材料により構成されているため、基板収納空間２７を窒素等でパージしたときに、基板収納空間２７の湿度が低下しても、第１板部支持部５２１、第３板部支持部５２３から水分が放出されることを抑えることができる。このため、基板Ｗに水分による悪影響を与えることを極力抑えることができる。
また、前側基板接触部５３、後側基板接触部５４は、前記接触部支持部としての第１板部支持部５２１、第３板部支持部５２３とは別体で形成され、接触部支持部としての第１板部支持部５２１、第３板部支持部５２３に対して固定される。この構成により、前側基板接触部５３、後側基板接触部５４が使用されて破損等した場合であっても、前側基板接触部５３、後側基板接触部５４を容易に交換することができる。また、必要に応じて、形状の異なる前側基板接触部５３、後側基板接触部５４に交換して使用することができる。
また、前記容器本体２は、一対の側壁としての第１側壁２５、第２側壁２６を有し、前記側方基板支持部としての基板支持板状部５は、一対設けられ、一方の前記基板支持板状部５は、一方の前記側壁としての第１側壁２５に固定され、他方の前記側方基板支持部としての基板支持板状部５は、他方の前記側壁としての第２側壁２６に固定されている。一方の前記側方基板支持部としての基板支持板状部５は、他方の前記側壁としての第２側壁２６に固定可能であり、他方の前記側方基板支持部としての基板支持板状部５は、一方の前記側壁としての第１側壁２５に固定可能である。一方の基板支持板状部５の前記前側基板接触部５３、後側基板接触部５４は、他方の基板支持板状部５の前記接触部支持部としての第１板部支持部５２１、第３板部支持部５２３に対してそれぞれ固定可能であり、他方の基板支持板状部５の前記前側基板接触部５３、後側基板接触部５４は、一方の基板支持板状部５の前記前側基板接触部５３、後側基板接触部５４に対してそれぞれ固定可能である。
この構成により、側方基板支持部としての基板支持板状部５を、第１側壁２５と第２側壁２６とのいずれにも着脱可能に固定することができる。また、前側基板接触部５３を、一方の基板支持板状部５の第１板部支持部５２１と、他方の基板支持板状部５の第１板部支持部５２１と、のいずれにも着脱可能に固定することができる。同様に、また、後側基板接触部５４を、一方の基板支持板状部５の第３板部支持部５２３と、他方の基板支持板状部５の第３板部支持部５２３と、のいずれにも着脱可能に固定することができる。このため、前側基板接触部５３、後側基板接触部５４、及び基板支持板状部５の製造に係るコストの低減を図ることができる。
また、容器本体２は、前側基板接触部５３、後側基板接触部５４よりも吸湿率が低い材料により構成されている。この構成により、基板収納空間２７を窒素等でパージしたときに、基板収納空間２７の湿度が低下しても、容器本体２から水分が放出されることを抑えることができる。このため、基板Ｗに水分による悪影響を与えることを効果的に抑えることができる。
ここで、前側基板接触部５３、後側基板接触部５４と、接触部支持部としての第１板部支持部５２１、第３板部支持部５２３との固定に際して、上述した圧入以外の方法、例えば熱かしめやフックによる固定など他の方法を用いることができることは言うまでもない。
以下、本発明の第２実施形態による基板収納容器について図７〜図１１を参照しながら説明する。図７は、本発明の第２実施形態に係る基板収納容器の基板支持板状部５Ａを示す斜視図である。図８は、本発明の第２実施形態に係る基板収納容器の前側基板接触部５３Ａを示す斜視図である。図９は、本発明の第２実施形態に係る基板収納容器の後側基板接触部５４Ａを示す斜視図である。図１０は、本発明の第２実施形態に係る基板収納容器の基板支持板状部５Ａを示す正面図である。図１１は、図１０のＡ−Ａ線に沿った断面図である。
第２実施形態による基板収納容器の基板支持板状部５Ａは、前側基板接触部５３Ａが、接触部支持部としての第１板部支持部５２１Ａに対してインサート成形により固定される点で、また、後側基板接触部５４Ａが、接触部支持部としての第３板部支持部５２３Ａに対してインサート成形により固定される点で、第１実施形態による基板収納容器１の基板支持板状部５とは異なる。これ以外の各部の構成については、第１実施形態による基板収納容器１の各部の構成と同様である。第１実施形態における各構成と同様の構成については、同様の符号を付して説明を省略する。
図７に示すように、基板支持板状部５Ａにおいて、前側基板接触部５３Ａは、第１板部支持部５２１Ａに対して、インサート成形により固定されている。前側基板接触部５３Ａは、図８に示すように、前側板状基部５３１Ａと、前側内方凸部５３２と、前側板状基部平行板５３５Ａと、平行板連結部５３６Ａとを有している。これらは全て同一のＰＥＥＫ材により構成されている。
前側板状基部５３１Ａは第１実施形態における前側板状基部５３１と同一の構成を有している。前側板状基部平行板５３５Ａは、前側板状基部５３１Ａと同一形状の長方形状の板状を有している。平行板連結部５３６Ａは、前側板状基部５３１Ａ及び前側板状基部平行板５３５Ａと一体成形されており、前側板状基部５３１Ａと前側板状基部平行板５３５Ａとを連結する。これにより、前側板状基部５３１Ａと前側板状基部平行板５３５Ａとは、平行の位置関係を有している。平行板連結部５３６Ａは、前側板状基部５３１Ａと前側板状基部平行板５３５Ａとを結ぶ方向において、前側内方凸部５３２にそれぞれ対向する位置関係を有している。
前側基板接触部５３Ａは、金型にセットされ、溶融したシクロオレフィンポリマー等の樹脂材料により前側板状基部５３１Ａ、前側板状基部平行板５３５Ａ、及び、平行板連結部５３６Ａがモールディングされる。そして、溶融した樹脂材料は、冷却されて第１板部支持部５２１Ａを有する板部支持部５２Ａとなる。これにより、図７、図１０、図１１に示すように、前側基板接触部５３Ａは、第１板部支持部５２１Ａに対してインサート成形されて固定される。
また、図７に示すように、基板支持板状部５Ａにおいて、後側基板接触部５４Ａは、第３板部支持部５２３Ａに対して、インサート成形により固定されている。後側基板接触部５４Ａは、図９に示すように、後側板状基部５４１Ａと、後側内方凸部５４２と、後側板状基部平行板５４５Ａと、平行板連結部５４６Ａとを有している。これらは全て同一のＰＥＥＫ材により構成されている。
後側板状基部５４１Ａは第１実施形態における後側板状基部５４１と同一の構成を有している。後側板状基部平行板５４５Ａは、後側板状基部５４１Ａと同一形状の長方形状の板状を有している。平行板連結部５４６Ａは、後側板状基部５４１Ａ及び後側板状基部平行板５４５Ａと一体成形されており、後側板状基部５４１Ａと後側板状基部平行板５４５Ａとを連結する。これにより、後側板状基部５４１Ａと後側板状基部平行板５４５Ａとは、平行の位置関係を有している。平行板連結部５４６Ａは、後側板状基部５４１Ａと後側板状基部平行板５４５Ａとを結ぶ方向において、後側内方凸部５４２にそれぞれ対向する位置関係を有している。
後側基板接触部５４Ａは、金型にセットされ、溶融したシクロオレフィンポリマー等の樹脂材料により後側板状基部５４１Ａ、後側板状基部平行板５４５Ａ、及び、平行板連結部５４６Ａがモールディングされる。そして、溶融した樹脂材料は、冷却されて第３板部支持部５２３Ａを有する板部支持部５２Ａとなる。これにより、図７、図１０に示すように、後側基板接触部５４Ａは、第３板部支持部５２３Ａに対してインサート成形されて固定される。
上記構成の第２実施形態による基板収納容器によれば、以下のような効果を得ることができる。
前述のように、前側基板接触部５３Ａ、後側基板接触部５４Ａは、接触部支持部としての第１板部支持部５２１Ａ、第３板部支持部５２３Ａに対してそれぞれインサート成形により固定される。この構成により、前側基板接触部５３Ａと第１板部支持部５２１Ａとの間、後側基板接触部５４Ａと第３板部支持部５２３Ａとの間に、それぞれ隙間を無くすことができ、基板収納容器の洗浄後の水残りを低減することができる。
以下、本発明の第３実施形態による基板収納容器について図１２を参照しながら説明する。図１２は、本発明の第３実施形態に係る基板収納容器の基板支持板状部５Ｂを示す斜視図である。
第３実施形態による基板収納容器の基板支持板状部５Ｂにおいて、前側基板接触部を構成する略半円凸部材５３４Ｂは、接触部支持部を構成する板部５１Ｂに対してオーバーモールドにより形成される点、及び、後側基板接触部を構成する板状傾斜凸部材５４４Ｂは、接触部支持部を構成する板部５１Ｂに対してオーバーモールドにより形成される点で、第１実施形態による基板収納容器１の基板支持板状部５とは異なる。これ以外の各部の構成については、第１実施形態による基板収納容器１の各部の構成と同様である。第１実施形態における各構成と同様の構成については、同様の符号を付して説明を省略する。
基板支持板状部５Ｂは、２５個の略半円凸部材５３４Ｂにより構成される前側基板接触部と、２５個の板状傾斜凸部材５４４Ｂにより構成される後側基板接触部とを有している。略半円凸部材５３４Ｂは、第１実施形態における略半円凸部５３４と同一形状を有している。略半円凸部材５３４Ｂの長手方向が、板部５１Ｂの長手方向に略直交する位置関係で、略半円凸部材５３４Ｂは、板部５１Ｂの前寄りの上面に、それぞれ１つずつオーバーモールドにより形成されている。
板状傾斜凸部材５４４Ｂは、略三角形状の板状を有している。板状傾斜凸部材５４４Ｂは、容器中心部に向けてわずかに傾斜を持って形成されている。板部５１Ｂの長手方向に略直交する位置関係で、板状傾斜凸部材５４４Ｂは、板部５１Ｂの後ろ寄りの上面にそれぞれ１つずつオーバーモールドにより形成されている。
板部５１Ｂに対する略半円凸部材５３４Ｂ、板状傾斜凸部材５４４Ｂのオーバーモールドは、以下の工程により行われる。
先ず、板部５１Ｂとなる溶融したシクロオレフィンポリマー等の樹脂材料が成形されて、略半円凸部材５３４Ｂ及び板状傾斜凸部材５４４Ｂが存在していない状態の基板支持板状部５Ｂが成形される。次に、略半円凸部材５３４Ｂが存在していない状態の基板支持板状部５Ｂが射出成形金型に配置され、基板支持板状部５Ｂの板部５１Ｂの上に、溶融したＰＥＥＫ材が射出成形される。このＰＥＥＫ材により構成される略半円凸部材５３４Ｂ、板状傾斜凸部材５４４Ｂが、板部５１Ｂに対してオーバーモールドされて形成される。
基板支持板状部５Ｂの板部５１Ｂの上に、溶融したＰＥＥＫ材を射出成形する際に、板部５１Ｂが歪まないようにするために、射出成形における金型温度は、板部５１Ｂとなるシクロオレフィンポリマー等のガラス転移点以下に保持される。溶融したＰＥＥＫ材が、溶融していないシクロオレフィンポリマー等と接触したときには、熱物理的結合が生じると考えられ、これにより、板部５１Ｂに略半円凸部材５３４Ｂ、板状傾斜凸部材５４４Ｂがオーバーモールドにより成形される。
上記構成の第３実施形態による基板収納容器によれば、以下のような効果を得ることができる。
前述のように、基板接触部としての略半円凸部材５３４Ｂ、板状傾斜凸部材５４４Ｂは、接触部支持部としての板部５１Ｂに対してオーバーモールドにより形成される。この構成により、略半円凸部材５３４Ｂ及び板状傾斜凸部材５４４Ｂと板部５１Ｂとの間に、それぞれ隙間を無くすことができ、基板収納容器の洗浄後の水残りを低減することができる。また、基板接触部を構成する樹脂材料の量の低減を図ることができる。
以下、本発明の第４実施形態による基板収納容器について図１３〜図１９を参照しながら説明する。
図１３は、本発明の第４実施形態に係る基板収納容器の基板支持板状部５Ｃを示す正面図である。図１４は、本発明の第４実施形態に係る基板収納容器の基板支持板状部５Ｃから前側基板接触部５３Ｃ及び後側基板接触部５４Ｃが取り外された様子を示す正面図である。図１５Ａは、本発明の第４実施形態に係る基板収納容器の前側基板接触部５３Ｃを示す側面図である。図１５Ｂは、本発明の第４実施形態に係る基板収納容器の前側基板接触部５３Ｃを示す背面図である。図１５Ｃは、本発明の第４実施形態に係る基板収納容器の前側基板接触部５３Ｃを示す平面図である。図１６Ａは、本発明の第４実施形態に係る基板収納容器の後側基板接触部５４Ｃを示す側面図である。図１６Ｂは、本発明の第４実施形態に係る基板収納容器の後側基板接触部５４Ｃを示す背面図である。図１６Ｃは、本発明の第４実施形態に係る基板収納容器の後側基板接触部５４Ｃを示す平面図である。
図１７は、本発明の第４実施形態に係る基板収納容器の基板支持板状部５Ｃに、前側基板接触部５３Ｃを取り付けようとしている様子を示す断面斜視図である。図１８は、本発明の第４実施形態に係る基板収納容器の基板支持板状部５Ｃの広孔部５２６１Ｃに、前側基板接触部５３Ｃの被係止部の首部５３３２Ｃ及び頭部５３３１Ｃが挿入された様子を示す拡大断面斜視図である。図１９は、本発明の第４実施形態に係る基板収納容器の基板支持板状部５Ｃの狭孔部５２６２Ｃに、前側基板接触部５３Ｃの被係止部の首部５３３２Ｃが挿入された様子を示す拡大断面斜視図である。
第４実施形態による基板収納容器では、前側基板接触部５３Ｃ及び後側基板接触部５４Ｃの構成が、第１実施形態による基板収納容器の前側基板接触部５３及び後側基板接触部５４の構成とは異なる。また、これに伴い、第４実施形態による基板収納容器の第１板部支持部５２１Ｃ、第３板部支持部５２３Ｃの構成も第１実施形態による基板収納容器の第１板部支持部５２１、第３板部支持部５２３の構成とは異なる。これら以外の構成については、第１実施形態における各構成と同様である。第１実施形態における各構成と同様の構成については、同様の符号を付して説明を省略する。
第１側壁２５に固定される基板支持板状部５Ｃと、第２側壁２６に固定される基板支持板状部５Ｃとは、左右対称形状を有している。このため、第１側壁２５に固定される基板支持板状部５Ｃについて説明し、第２側壁２６に固定される基板支持板状部５Ｃについては説明を省略する。
第１板部支持部５２１Ｃは、Ｔ字状貫通孔５２６Ｃを有する係止部と、被係止部移動阻害部を構成する長方形貫通孔部５２６３Ｃを有する被係止部とを有している。
Ｔ字状貫通孔５２６Ｃは、図１４に示すように、第１板部支持部５２１Ｃの上端部から下端部に至るまで、上下方向Ｄ２において等間隔で５つ形成されており、それぞれ長方形状を有する広孔部５２６１Ｃと狭孔部５２６２Ｃとを有している。広孔部５２６１Ｃは、狭孔部５２６２Ｃに対して前方向Ｄ１１の側に位置している。上下方向Ｄ２における広孔部５２６１Ｃの長さは、同方向における狭孔部５２６２Ｃの２倍程度である。狭孔部５２６２Ｃは、広孔部５２６１Ｃの上下方向Ｄ２における中央位置の後部に連通している。
長方形貫通孔部５２６３Ｃは、第１板部支持部５２１Ｃにおいて、Ｔ字状貫通孔５２６Ｃの上方近傍又は下方近傍に形成されている。より具体的には、１番上に位置する長方形貫通孔部５２６３Ｃは、１番上に位置するＴ字状貫通孔５２６Ｃの下方近傍に形成されている。上から２番目〜４番目に位置する長方形貫通孔部５２６３Ｃは、上から２番目〜４番目に位置するＴ字状貫通孔５２６Ｃのそれぞれ上方近傍に形成されている。
長方形貫通孔部５２６３Ｃは、貫通孔５２６４Ｃと、突起部５２６５Ｃと、平坦凹部５２６６Ｃとを有する。
貫通孔５２６４Ｃは、長方形貫通孔部５２６３Ｃにおいて最も前方向Ｄ１１の端部に位置しており、第１板部支持部５２１Ｃを貫通している。平坦凹部５２６６Ｃは、長方形貫通孔部５２６３Ｃにおいて最も後方向Ｄ１２の端部に位置しており、左方向Ｄ３１（図１４における紙面の表から裏へ向かう方向）へ窪んだ凹部により構成されている。突起部５２６５Ｃは、貫通孔５２６４Ｃと平坦凹部５２６６Ｃとの間に位置している。突起部５２６５Ｃは、基板収納空間２７の中央に向って（図１４における紙面の裏から表へ向かって）突出している。突起部５２６５Ｃの突出端面は、前方向Ｄ１１へ進むにつれて左方向Ｄ３１（図１４における紙面の表から裏へ向かう方向）へ向う傾斜面を有している（図１７参照）。
図１４に示すように、第３板部支持部５２３Ｃは、Ｔ字状貫通孔５２８Ｃを有する係止部と、被係止部移動阻害部を構成する長方形貫通孔部５２８３Ｃを有する固定部とを有している。
Ｔ字状貫通孔５２８Ｃは、第３板部支持部５２３Ｃの上端部から下端部に至るまで、上下方向Ｄ２において等間隔で５つ形成されており、それぞれ長方形状を有する広孔部５２８１Ｃと狭孔部５２８２Ｃとを有している。広孔部５２８１Ｃは、狭孔部５２８２Ｃに対して後方向Ｄ１２の側に位置している。上下方向Ｄ２における広孔部５２８１Ｃの長さは、同方向における狭孔部５２８２Ｃの２倍程度である。狭孔部５２８２Ｃは、広孔部５２８１Ｃの上下方向Ｄ２における中央位置の前部に連通している。
長方形貫通孔部５２８３Ｃは、第３板部支持部５２３Ｃにおいて、Ｔ字状貫通孔５２８Ｃの上方近傍又は下方近傍に形成されている。より具体的には、１番上に位置する長方形貫通孔部５２８３Ｃは、１番上に位置するＴ字状貫通孔５２８Ｃの下方近傍に形成されている。上から２番目〜４番目に位置する長方形貫通孔部５２８３Ｃは、上から２番目〜４番目に位置するＴ字状貫通孔５２８Ｃのそれぞれ上方近傍に形成されている。
長方形貫通孔部５２８３Ｃは、貫通孔５２８４Ｃと、突起部５２８５Ｃと、平坦凹部５２８６Ｃとを有する。
貫通孔５２８４Ｃは、長方形貫通孔部５２８３Ｃにおいて最も後方向Ｄ１２の端部に位置しており、第３板部支持部５２３Ｃを貫通している。平坦凹部５２８６Ｃは、長方形貫通孔部５２８３Ｃにおいて最も前方向Ｄ１１端部に位置しており、略左方向Ｄ３１（図１４における紙面の表から裏へ向かう方向）へ窪んだ凹部により構成されている。突起部５２８５Ｃは、貫通孔５２８４Ｃと平坦凹部５２８６Ｃとの間に位置している。突起部５２８５Ｃは、基板収納空間２７の中央に向って（図１４における紙面の裏から表へ向かって）突出している。突起部５２８５Ｃの突出端面は、略後方向Ｄ１２へ進むにつれて略左方向Ｄ３１へ向う傾斜面を有している。
前側基板接触部５３Ｃは、被係止部としての前側被固定凸部５３３Ｃと、被係止部移動阻害部を構成する移動阻害突起５３７Ｃとを有している。
前側被固定凸部５３３Ｃは、図１５Ａ、図１５Ｂ、図１５Ｃ、図１７〜図１９に示すように、前側内方凸部５３２が突出している前側板状基部５３１の面に対する反対側の面から突出する略Ｔ字形状を有しており、頭部５３３１Ｃと首部５３３２Ｃとを有している。
頭部５３３１Ｃは、前側被固定凸部５３３Ｃの突出端部を構成する略長方形の板状を有している。頭部５３３１Ｃの長手方向は、上下方向Ｄ２に一致する位置関係を有している。略長方形の板状の頭部５３３１Ｃは、広孔部５２６１Ｃよりも小さく構成されている。即ち、図１５Ａに示す上下方向Ｄ２における頭部５３３１Ｃの幅Ｗ２は、図１４に示す上下方向Ｄ２における広孔部５２６１Ｃの幅Ｗ３よりも短く、広孔部５２６１Ｃに挿入可能である。また、頭部５３３１Ｃは、狭孔部５２６２Ｃよりも大きく構成されている。即ち、図１５Ａに示す上下方向Ｄ２における頭部５３３１Ｃの幅Ｗ２は、図１４に示す上下方向Ｄ２における狭孔部５２６２Ｃの幅Ｗ４よりも長く、狭孔部５２６２Ｃに挿入不能である。
首部５３３２Ｃの一端部は、上下方向Ｄ２における前記頭部５３３１Ｃの中央部に一体成形されて接続されている。首部５３３２Ｃの他端部は、前記基板接触部本体を構成する前側板状基部５３１に一体成形されて接続されている。
５つの前側被固定凸部５３３Ｃのうちの、図１５Ａにおいて下から１番目、２番目、４番目、５番目に位置する４つの前側被固定凸部５３３Ｃにおいては、前記狭孔部５２６２Ｃ（図１４参照）と前記広孔部５２６１Ｃとを結ぶ方向に対して直交する方向である前側板状基部５３１の面に平行な方向（広孔部５２６１Ｃの長手方向に平行な方向である上下方向Ｄ２）における首部５３３２Ｃの幅Ｗ１は、同方向における広孔部５２６１Ｃの幅Ｗ３及び狭孔部５２６２Ｃの幅Ｗ４よりも小さく構成されている。このため、首部５３３２Ｃを、広孔部５２６１Ｃ及び狭孔部５２６２Ｃに挿入可能である。
５つの前側被固定凸部５３３Ｃのうちの、残りの１つの前側被固定凸部５３３Ｃ、即ち、図１５Ａにおいて上下方向Ｄ２における中央部に位置する前側被固定凸部５３３Ｃにおいては、同方向における首部５３３２Ｃの幅Ｗ１は、同方向における狭孔部５２６２Ｃ（図１４参照）の幅Ｗ４と略同一である。ここで、「首部５３３２Ｃの幅Ｗ１は、狭孔部５２６２Ｃの幅Ｗ４と略同一」とは、略同一ではなく完全同一である場合には、首部５３３２Ｃを狭孔部５２６２Ｃに挿入することができないことがあるため、このような不具合を解消し、首部５３３２Ｃを狭孔部５２６２Ｃに挿入可能とする程度に、狭孔部５２６２Ｃの幅Ｗ４は首部５３３２Ｃの幅Ｗ１と同一であることを意味する。
５つの全ての長方形貫通孔部５２６３Ｃ（図１４参照）に対する各前側被固定凸部５３３Ｃ（図１５Ａ等参照）について、首部５３３２Ｃが広孔部５２６１Ｃから移動して狭孔部５２６２Ｃに挿入され、頭部５３３１Ｃが狭孔部５２６２Ｃの周囲の第１板部支持部５２１Ｃの部分に当接することにより、前側基板接触部５３Ｃは、板部支持部５２Ｃの第１板部支持部５２１Ｃに対して、固定される。
図１５Ａに示すように、移動阻害突起５３７Ｃは、前側被固定凸部５３３Ｃと同様に、前側内方凸部５３２が突出している前側板状基部５３１の面に対する反対側の面から突出している。移動阻害突起５３７Ｃは、長方形貫通孔部５２６３Ｃの貫通孔５２６４Ｃに挿入可能な大きさの略直方体形状を有している。全ての前側被固定凸部５３３Ｃの頭部５３３１ＣがＴ字状貫通孔５２６Ｃの広孔部５２６１Ｃに一つずつ挿入されたときに、全ての移動阻害突起５３７Ｃが、長方形貫通孔部５２６３Ｃの貫通孔５２６４Ｃに一つずつ挿入される位置関係となるように、移動阻害突起５３７Ｃは、前側板状基部５３１に一体成形されて固定されている。移動阻害突起５３７Ｃが、貫通孔５２６４Ｃから移動して突起部５２６５Ｃを乗り越えて、平坦凹部５２６６Ｃに位置することにより、前記首部５３３２Ｃが前記狭孔部５２６２Ｃに挿入された状態となり、首部５３３２Ｃが狭孔部５２６２Ｃから広孔部５２６１Ｃへ移動することを阻害し、前側基板接触部５３Ｃが、板部支持部５２Ｃの第１板部支持部５２１Ｃから外れる状態となることを阻止する。
後側基板接触部５４Ｃは、被係止部としての後側被固定凸部５４３Ｃと、被係止部移動阻害部を構成する移動阻害突起５４７Ｃとを有している。
後側被固定凸部５４３Ｃは、図１６Ａ、図１６Ｂ、図１６Ｃ、図１７〜図１９に示すように、後側内方凸部５４２が突出している後側板状基部５４１の面に対する反対側の面から突出する略Ｔ字形状を有しており、頭部５４３１Ｃと首部５４３２Ｃとを有している。
頭部５４３１Ｃは、後側被固定凸部５４３Ｃの突出端部を構成する略長方形の板状を有している。頭部５４３１Ｃの長手方向は、上下方向Ｄ２に一致する位置関係を有している。略長方形の板状の頭部５４３１Ｃは、広孔部５２８１Ｃよりも小さく構成されている。即ち、図１６Ａに示す上下方向Ｄ２における頭部５４３１Ｃの幅Ｗ６は、図１４に示す上下方向Ｄ２における広孔部５２８１Ｃの幅Ｗ７よりも短く、広孔部５２８１Ｃに挿入可能である。また、頭部５４３１Ｃは、狭孔部５２８２Ｃよりも大きく構成されている。即ち、図１６Ａに示す上下方向Ｄ２における頭部５４３１Ｃの幅Ｗ６は、図１４に示す上下方向Ｄ２における狭孔部５２８２Ｃの幅Ｗ８よりも長く、狭孔部５２８２Ｃに挿入不能である。
首部５４３２Ｃの一端部は、上下方向Ｄ２における前記頭部５４３１Ｃの中央部に一体成形されて接続されている。首部５４３２Ｃの他端部は、前記基板接触部本体を構成する後側板状基部５４１に一体成形されて接続されている。
５つの後側被固定凸部５４３Ｃのうちの、図１６Ａにおいて下から１番目、２番目、４番目、５番目に位置する４つの後側被固定凸部５４３Ｃにおいては、前記狭孔部５２８２Ｃと前記広孔部５２８１Ｃとを結ぶ方向に対して直交する方向である、後側板状基部５４１の面に平行な方向（広孔部５２８１Ｃの長手方向に平行な方向である上下方向Ｄ２）における首部５４３２Ｃの幅Ｗ５は、同方向における広孔部５２８１Ｃの幅Ｗ７（図１４参照）及び狭孔部５２８２Ｃの幅Ｗ８よりも小さく構成されている。このため、首部５４３２Ｃを、広孔部５２８１Ｃ及び狭孔部５２８２Ｃに挿入可能である。
５つの後側被固定凸部５４３Ｃのうちの、残りの１つの後側被固定凸部５４３Ｃ、即ち、図１６Ａにおいて上下方向Ｄ２における中央部に位置する後側被固定凸部５４３Ｃにおいては、同方向における首部５４３２Ｃの幅Ｗ５は、同方向における狭孔部５２８２Ｃの幅Ｗ８と略同一である。ここで、「首部５４３２Ｃの幅Ｗ５は、狭孔部５２８２Ｃの幅Ｗ８と略同一」とは、略同一ではなく完全同一である場合には、首部５４３２Ｃを狭孔部５２８２Ｃに挿入することができないことがあるため、このような不具合を解消し、首部５４３２Ｃを狭孔部５２８２Ｃに挿入可能とする程度に、狭孔部５２８２Ｃの幅Ｗ８は首部５４３２Ｃの幅Ｗ５と同一であることを意味する。
５つの全ての長方形貫通孔部５２８３Ｃ（図１４参照）に対する各後側被固定凸部５４３Ｃ（図１６Ａ等参照）について、首部５４３２Ｃが広孔部５２８１Ｃから移動して狭孔部５２８２Ｃに挿入され、頭部５４３１Ｃが狭孔部５２８２Ｃの周囲の第３板部支持部５２３Ｃの部分に当接することにより、後側基板接触部５４Ｃは、板部支持部５２Ｃの第３板部支持部５２３Ｃに対して、固定される。
図１６Ａに示すように、移動阻害突起５４７Ｃは、後側被固定凸部５４３Ｃと同様に、後側内方凸部５４２が突出している後側板状基部５４１の面に対する反対側の面から突出している。移動阻害突起５４７Ｃは、長方形貫通孔部５２８３Ｃの貫通孔５２８４Ｃに挿入可能な大きさの略直方体形状を有している。全ての後側被固定凸部５４３Ｃの頭部５４３１ＣがＴ字状貫通孔５２８Ｃの広孔部５２８１Ｃに一つずつ挿入されたときに、全ての移動阻害突起５４７Ｃが、長方形貫通孔部５２８３Ｃの貫通孔５２８４Ｃに一つずつ挿入される位置関係となるように、移動阻害突起５４７Ｃは、後側板状基部５４１に一体成形されて固定されている。移動阻害突起５４７Ｃが、貫通孔５２８４Ｃから移動して突起部５２８５Ｃを乗り越えて、平坦凹部５２８６Ｃに位置することにより、前記首部５４３２Ｃが前記狭孔部５２８２Ｃに挿入された状態となり、前記首部５４３２Ｃが前記狭孔部５２８２Ｃから前記広孔部５２８１Ｃへ移動することを阻害し、後側基板接触部５４Ｃが、板部支持部５２Ｃの第３板部支持部５２３Ｃから外れる状態となることを阻止する。
次に、前側基板接触部５３Ｃを第１板部支持部５２１Ｃに固定する動作について説明する。後側基板接触部５４Ｃを第３板部支持部５２３Ｃに固定する動作は、前側基板接触部５３Ｃを第１板部支持部５２１Ｃに固定する動作と同様であるため、説明を省略する。
先ず、図１７に示すように、前側板状基部５３１を前側接触部当接面５２５に対向するように配置して、全ての前側被固定凸部５３３Ｃの頭部５３３１Ｃを、全てのＴ字状貫通孔５２６Ｃの広孔部５２６１Ｃ（図１４参照）に挿入可能な状態に対向させる。これにより、全ての移動阻害突起５３７Ｃは、全ての長方形貫通孔部５２６３Ｃの貫通孔５２６４Ｃに対向する。
次に、前側板状基部５３１を第１板部支持部５２１Ｃに接近させてゆく。そして、図１８に示すように、全ての前側被固定凸部５３３Ｃの頭部５３３１Ｃを、全てのＴ字状貫通孔５２６Ｃの広孔部５２６１Ｃに挿入する。
次に、前側板状基部５３１を前側接触部当接面５２５に対して後方向Ｄ１２（図１８の右方向）へ移動させる。すると、移動阻害突起５３７Ｃは突起部５２６５Ｃの傾斜面を移動してゆき、平坦凹部５２６６Ｃへ接近する。また、首部５３３２Ｃは、広孔部５２６１Ｃから狭孔部５２６２Ｃへ移動してゆく。
そして、更に、前側板状基部５３１を前側接触部当接面５２５に対して後方向Ｄ１２（図１８の右方向）へ移動させることにより、図１９に示すように、移動阻害突起５３７Ｃは、突起部５２６５Ｃの傾斜面を乗り越え、傾斜面から平坦凹部５２６６Ｃへ落ちる。このとき、首部５３３２Ｃは、狭孔部５２６２Ｃに位置している。これにより、移動阻害突起５３７Ｃは、平坦凹部５２６６Ｃに位置しており、突起部５２６５Ｃの存在により、平坦凹部５２６６Ｃから貫通孔５２６４Ｃへの移動が阻まれた状態となっており、このため、首部５３３２Ｃは、狭孔部５２６２Ｃにから広孔部５２６１Ｃへの移動が阻まれた状態になっている。この状態では、頭部５３３１Ｃが狭孔部５２６２Ｃから抜けないため、前側基板接触部５３Ｃが、板部支持部５２Ｃの第１板部支持部５２１Ｃに固定された状態が維持される。
上記構成の第４実施形態による基板収納容器によれば、以下のような効果を得ることができる。
前述のように、接触部支持部としての第１板部支持部５２１Ｃ、第３板部支持部５２３Ｃは、係止部としてのＴ字状貫通孔５２６Ｃ、５２８Ｃを有する。前記係止部には、広孔部５２６１Ｃ、５２８１Ｃと、前記広孔部に連通する狭孔部５２６２Ｃ、５２８２Ｃとが形成されている。前記基板接触部は、基板接触部本体としての前側板状基部５３１、後側板状基部５４１と、前記係止部に係止される被係止部としての前側被固定凸部５３３Ｃ、後側被固定凸部５４３Ｃと、を有している。前記基板接触部本体は、前記広孔部及び前記狭孔部に挿入不能である。前記被係止部は、前記広孔部に挿入可能であり且つ前記狭孔部には挿入不能な頭部５３３１Ｃ、５４３１Ｃと、一端部が前記頭部に接続され他端部が前記基板接触部本体に接続され、前記広孔部及び前記狭孔部に挿入可能な首部５３３２Ｃ、５４３２Ｃと、を有する。前記首部が前記狭孔部に挿入されているときに、前記首部が前記狭孔部から前記広孔部へ移動することを阻害する被係止部移動阻害部としての長方形貫通孔部５２６３Ｃ、５２８３Ｃ、移動阻害突起５３７Ｃ、５４７Ｃを有する。
この構成により、第１板部支持部５２１Ｃ、第３板部支持部５２３Ｃに前側基板接触部５３Ｃ、後側基板接触部５４Ｃを、それぞれ容易に固定することができる。更に、第１板部支持部５２１Ｃ、第３板部支持部５２３Ｃに、前側基板接触部５３Ｃ、後側基板接触部５４Ｃを、それぞれ固定した状態を維持することができる。
また、前記係止部及び前記被係止部は、複数存在する。一の前記狭孔部においては、前記狭孔部と前記広孔部とを結ぶ方向に対して直交する方向Ｄ２において、前記狭孔部の幅Ｗ４、Ｗ８は、前記首部５３３２Ｃ、５４３２Ｃの幅Ｗ１、Ｗ５と略同一である。他の前記狭孔部においては、前記狭孔部と前記広孔部とを結ぶ方向に対して直交する方向Ｄ２において、前記狭孔部の幅Ｗ４、Ｗ８は、前記首部５３３２Ｃ、５４３２Ｃの幅Ｗ１、Ｗ５よりも大きい。
この構成により前側基板接触部５３Ｃ、後側基板接触部５４Ｃにおいて若干の寸法誤差が生じた場合であっても、全ての前側被固定凸部５３３Ｃ、後側被固定凸部５４３Ｃを全てのＴ字状貫通孔５２６Ｃ、５２８Ｃに係止することができ、寸法誤差により係止できない状態となることを防ぐことができる。このため、寸法誤差によらずに、前側基板接触部５３Ｃ、後側基板接触部５４Ｃを第１板部支持部５２１Ｃ、第３板部支持部５２３Ｃに、それぞれ固定することができる。
更に、一の前記狭孔部である中央部のＴ字状貫通孔５２６Ｃ、５２８Ｃの狭孔部においては、前記狭孔部と前記広孔部とを結ぶ方向に対して直交する方向である上下方向Ｄ２において、前記狭孔部の幅Ｗ４、Ｗ８は、前記首部５３３２Ｃ、５４３２Ｃの幅Ｗ１、Ｗ５と略同一であるため、この中央部のＴ字状貫通孔５２６Ｃ、５２８Ｃへ前側被固定凸部５３３Ｃ、後側被固定凸部５４３Ｃを、高い精度で位置決めが行われた状態で、前側基板接触部５３Ｃ、後側基板接触部５４Ｃを、第１板部支持部５２１Ｃ、第３板部支持部５２３Ｃに、それぞれ固定を行うことができる。
以下、本発明の第５実施形態による基板収納容器について図２０を参照しながら説明する。
図２０は、本発明の第５実施形態に係る基板収納容器の基板支持板状部の狭孔部５２６２Ｃに、前側基板接触部５３Ｃの被係止部の首部５３３２Ｃが挿入された様子を示す概略断面図である。
第５実施形態による基板収納容器においては、Ｔ字状貫通孔５２６Ｄの形状が第４実施形態によるＴ字状貫通孔５２６Ｃの形状とは異なる。これら以外の構成については、第４実施形態における各構成と同様である。第４実施形態における各構成と同様の構成については、同様の符号を付して説明を省略する。
また、前側被固定凸部５３３Ｃが挿入されるＴ字状貫通孔５２６Ｄと、後側被固定凸部５４３Ｃが挿入されるＴ字状貫通孔（図示せず）とは、同一形状を有しているため、前側被固定凸部５３３Ｃが挿入されるＴ字状貫通孔５２６Ｄについてのみ説明し、後側被固定凸部５４３Ｃが挿入されるＴ字状貫通孔（図示せず）については説明を省略する。
Ｔ字状貫通孔５２６Ｄは、先細り孔部５２６７Ｄを有している。先細り孔部５２６７Ｄの一端部は、広孔部５２６１Ｃの長手方向における中央部に接続されている。先細り孔部５２６７Ｄの他端部は、広孔部５２６１Ｃに対向する狭孔部５２６２Ｃの中央部分に接続されている。これにより、先細り孔部５２６７Ｄは、広孔部５２６１Ｃと狭孔部５２６２Ｃとを連通する。
先細り孔部５２６７Ｄは、広孔部５２６１Ｃから狭孔部５２６２Ｃに近づくにつれて、先細る形状を有している。そして、狭孔部５２６２Ｃに接続されている先細り孔部５２６７Ｄの部分の開口幅は、上下方向Ｄ２における首部５３３２Ｃの幅Ｗ１（図１５Ａ参照）よりも短い。このため、広孔部５２６１Ｃから、先細り孔部５２６７Ｄを通ってきた首部５３３２Ｃは、狭孔部５２６２Ｃの方向へ押し込まれることにより、狭孔部５２６２Ｃに入る。首部５３３２Ｃが狭孔部５２６２Ｃに入った後には、先細り孔部５２６７Ｄの先細った部分により、首部５３３２Ｃは、狭孔部５２６２Ｃから広孔部５２６１Ｃの方への移動が阻止される。
上記構成の第５実施形態による基板収納容器によれば、以下のような効果を得ることができる。
前述のように、Ｔ字状貫通孔５２６Ｄは、広孔部５２６１Ｃと狭孔部５２６２Ｃとを連通する先細り孔部５２６７Ｄを有している。このため、第４実施形態における移動阻害突起５３７Ｃ、５４７Ｃや、長方形貫通孔部５２６３Ｃ、５２８３Ｃを不要とすることができ、先細り孔部５２６７Ｄによって被係止部移動阻害部を構成することができる。この結果、前側内方凸部５３２を有する前側基板接触部、後側内方凸部５４２を有する後側基板接触部を、簡単な構成で、側方基板支持部の接触部支持部に対して固定することができる。
本発明は、上述した実施形態に限定されることはなく、特許請求の範囲に記載された技術的範囲において変形が可能である。例えば、本実施形態では、容器本体２と、接触部支持部を構成する第１板部支持部５２１、第３板部支持部５２３、板部５１Ｂとは、別体で構成、即ち、別部品により構成されたが、この構成に限定されない。例えば、図４に示すような、接触部支持部としての、前側基板接触部５３及び後側基板接触部５４が設けられていない基板支持板状部５が、図１に示す容器本体２と一体成形されていてもよい。
また、本実施形態では、前側基板接触部５３Ｃ、後側基板接触部５４Ｃの側に、前側被固定凸部５３３Ｃ、後側被固定凸部５４３Ｃが存在し、第１板部支持部５２１Ｃ、第３板部支持部５２３Ｃの側にＴ字状貫通孔５２６Ｃ、５２８Ｃが形成されていたが、この構成に限定されない。例えば、第１板部支持部５２１Ｃ、第３板部支持部５２３Ｃの側に凸部が存在し、前側基板接触部５３Ｃ、後側基板接触部５４Ｃの側に、貫通孔が形成されていてもよい。
同様に、本実施形態では、前側基板接触部５３Ｃ、後側基板接触部５４Ｃの側に、移動阻害突起５３７Ｃ、移動阻害突起５４７Ｃが存在し、第１板部支持部５２１Ｃ、第３板部支持部５２３Ｃの側に長方形貫通孔部５２６３Ｃが形成されていたが、この構成に限定されない。例えば、第１板部支持部５２１Ｃ、第３板部支持部５２３Ｃの側に突起が存在し、前側基板接触部５３Ｃ、後側基板接触部５４Ｃの側に、貫通孔が形成されていてもよい。また係止部、被係止部、被係止部移動阻害部の構成は、本実施形態における係止部、被係止部、被係止部移動阻害部の構成に限定されない。
また、容器本体、蓋体、及び、側方基板支持部の形状や、寸法、材料、容器本体に収納可能な基板の枚数等は、本実施形態における容器本体２、及び、蓋体３、及び、基板支持板状部５の形状や、寸法、材料、容器本体２に収納可能な基板Ｗの枚数等に限定されない。例えば、前側基板接触部５３、５３Ａ、後側基板接触部５４、５４Ａは、２分割構成や、３分割構成等のように、分割された構成とされてもよいし、基板Ｗの１枚毎に対応して１つずつばらばらに、基板Ｗと同一の個数設けられる構成とされてもよい。また、例えば、基板Ｗの直径は３００ｍｍであったが、この値に限定されない。例えば、基板Ｗの直径は３００ｍｍ〜４５０ｍｍであればよい。また、例えば、基板支持板状部５は一対設けられたが、一対に限定されない。少なくとも一対設けられていればよい。
１ 基板収納容器
２ 容器本体
３ 蓋体
５、５Ａ 基板支持板状部（側方基板支持部）
２１ 容器本体開口部
２７ 基板収納空間
５１Ｂ 板部（接触部支持部）
５３、５３Ａ 前側基板接触部（基板接触部）
５４、５４Ａ 後側基板接触部（基板接触部）
５２１、５２１Ａ、５２１Ｃ 第１板部支持部（接触部支持部）
５２３、５２３Ａ、５２３Ｃ 第３板部支持部（接触部支持部）
５３１ 前側板状基部
５４１ 後側板状基部
５３４Ｂ 略半円凸部材（接触部支持部）
５４４Ｂ 板状傾斜凸部材（接触部支持部）
５２６Ｃ、５２６Ｄ、５２８Ｃ Ｔ字状貫通孔（係止部）
５２６１Ｃ、５２８１Ｃ 広孔部
５２６２Ｃ、５２８２Ｃ 狭孔部
５２６７Ｄ 先細り孔部（係止部）
５３３Ｃ 前側被固定凸部（被係止部）
５３７Ｃ 移動阻害突起（被係止部移動阻害部）
５４３Ｃ 後側被固定凸部（被係止部）
５２６３Ｃ、５２８３Ｃ 長方形貫通孔部（被係止部移動阻害部）
５３３１Ｃ、５４３１Ｃ 頭部
５３３２Ｃ、５４３２Ｃ 首部
Ｗ 基板

Claims (9)

  1. 複数の基板を収納可能な基板収納空間が内部に形成され、一端部に前記基板収納空間に連通する容器本体開口部が形成された容器本体と、
    前記容器本体開口部に対して着脱可能であり、前記容器本体開口部を閉塞可能な蓋体と、
    前記基板収納空間内において対をなすように配置され、前記蓋体によって前記容器本体開口部が閉塞されていないときに、前記複数の基板のうちの隣接する基板同士を所定の間隔で離間させて並列させた状態で、前記複数の基板の縁部を支持可能な側方基板支持部と、を備え、
    前記側方基板支持部は、前記基板の縁部を支持しているときに前記基板に接触する基板接触部と、前記基板接触部を支持する接触部支持部と、を有し、
    前記基板接触部は、前記基板接触部に接触する前記基板の温度に対する耐熱性を有する材料により構成され、
    前記接触部支持部は、前記基板接触部よりも耐熱性が低く、且つ、前記基板接触部よりも吸湿率が低い材料により構成されている基板収納容器。
  2. 前記基板接触部は、前記接触部支持部とは別体で形成され、前記接触部支持部に対して固定される請求項１に記載の基板収納容器。
  3. 前記容器本体は、一対の側壁を有し、
    前記側方基板支持部は、少なくとも一対設けられ、一方の前記側方基板支持部は一方の前記側壁に固定され、他方の前記側方基板支持部は他方の前記側壁に固定され、
    一方の前記側方基板支持部は他方の前記側壁に固定可能であり、他方の前記側方基板支持部は一方の前記側壁に固定可能であり、
    一方の前記側方基板支持部の前記基板接触部は、他方の前記側方基板支持部の前記接触部支持部に対して固定可能であり、他方の前記側方基板支持部の前記基板接触部は、一方の前記側方基板支持部の前記接触部支持部に対して固定可能である請求項１又は請求項２に記載の基板収納容器。
  4. 前記接触部支持部は、係止部を有し、
    前記係止部には、広孔部と、前記広孔部に連通する狭孔部とが形成され、
    前記基板接触部は、基板接触部本体と、前記係止部に係止される被係止部と、を有し、
    前記基板接触部本体は、前記広孔部及び前記狭孔部に挿入不能であり、
    前記被係止部は、前記広孔部に挿入可能であり且つ前記狭孔部には挿入不能な頭部と、一端部が前記頭部に接続され他端部が前記基板接触部本体に接続され、前記広孔部及び前記狭孔部に挿入可能な首部と、を有し、
    前記首部が前記狭孔部に挿入されているときに、前記首部が前記狭孔部から前記広孔部へ移動することを阻害する被係止部移動阻害部を有する請求項２又は請求項３に記載の基板収納容器。
  5. 前記係止部及び前記被係止部を複数有し、
    一の前記狭孔部においては、前記狭孔部と前記広孔部とを結ぶ方向に対して直交する方向において、前記狭孔部の幅は、前記首部の幅と略同一であり、
    他の前記狭孔部においては、前記狭孔部と前記広孔部とを結ぶ方向に対して直交する方向において、前記狭孔部の幅は、前記首部の幅よりも大きい、請求項４に記載の基板収納容器。
  6. 前記基板接触部は、前記接触部支持部に対してインサート成形により固定される請求項１に記載の基板収納容器。
  7. 前記基板接触部は、前記接触部支持部に対してオーバーモールドにより形成される請求項１に記載の基板収納容器。
  8. 前記容器本体は、前記基板接触部よりも吸湿率が低い材料により構成されている請求項１〜請求項７のいずれかに記載の基板収納容器。
  9. 前記容器本体は、前記接触部支持部と一体成形されている請求項１〜請求項８のいずれかに記載の基板収納容器。
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