JP2010135387A - ウエハ収納容器 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】
ウエハ収納容器を載置する載置台に、側面によって水平方向の位置決めをする第1水平位置決めピンおよび第2水平位置決めピン、並びに、頂部のレベル基準面によって高さ方向のレベルを決める3つ以上のレベルピンを設け、載置台に載置されるウエハ収納容器下面に第1水平位置決めピンに嵌合する円筒状穴部、第2水平位置決めピンが挿入される長穴部、およびレベルピン各々が当接する、前記ウエハ収納容器下面の最下部より上に位置する3つ以上のレベル当接面を設ける。また、各ピンの頂部角部および各穴部の入口部をテーパー形状にする。
【選択図】図3
Description
本発明のウエハ収納容器は略六面体の外形を有し、その1つの面にウエハを出し入れする開口部および前記開口部を塞ぐ蓋体を有し、ウエハ収納容器が載置する載置台に、側面によって水平方向の位置決めをする第1水平位置決めピンおよび第2水平位置決めピン、並びに頂部のレベル基準面によって高さ方向のレベルを決める3つ以上のレベルピンを有する。そして、ウエハ収納容器は、前記載置台に載置されるウエハ収納容器下面に、前記第1水平位置決めピンに嵌合する円筒状穴部、前記第2水平位置決めピンが挿入される長穴部、および前記レベルピン各々が当接する前記ウエハ収納容器下面の最下部より上に位置する3つ以上のレベル当接面を有する。
4 位置合わせ手段(円筒状穴部)、5 位置合わせ手段(長穴部)、
6 位置合わせ手段(高さ方向位置決め凹部)、7 ウエハ収納容器本体側面、
10 載置台、11 載置台水平面、
12 位置合わせ手段(第1水平(方向)位置決めピン)、
13 位置合わせ手段(第2水平(方向)位置決めピン)、
14 位置合わせ手段(レベルピン)、16 長穴溝平行部、
21 ウエハ収納容器本体側面、22 トップフランジ、23 ウエハ、
31 共用ピン、32 共用ピンの上部部分、33 共用ピンの下部部分、
34 共用ピンの頂部、35 共用凹部の天井部、36 共用凹部、
41 ウエハ収納容器、42 部材、43 高さ方向位置決め凹部、
44 部材、45 円筒状穴部、長穴部、46 ウエハ収納容器、
47 高さ方向位置決め凹部、48 円筒状穴部、長穴部、
60 ウエハ収納容器、61 ウエハ収納容器本体、62 蓋体、
66 長溝部材、71 KC−ピン、
72 キネマティックカップリング(V字型長溝)、
81 凹部の天井部、82 テーパー部、83 テーパー部、
84 円筒状穴部の天井部、85 テーパー部、86 レベルピンの頂部、
87 第1水平位置決めピンの頂部、88 テーパー部、
Claims (4)
- 側面によって水平方向の位置決めをする第1水平位置決めピンおよび第2水平位置決めピン、並びに頂部のレベル基準面によって高さ方向のレベルを決める3つ以上のレベルピンを有する載置台に載置されるウエハ収納容器であって、
略六面体の外形を有し、その1つの面にウエハを出し入れする開口部および前記開口部を塞ぐ蓋体を有し、
前記載置台に載置される前記ウエハ収納容器の下面に
前記第1水平位置決めピンに嵌合する円筒状穴部、
前記第2水平位置決めピンが挿入される長穴部、および
前記レベルピン各々が当接する、前記ウエハ収納容器下面の最下部より上に位置する3つ以上のレベル当接面
を有することを特徴とするウエハ収納容器。 - 前記レベル当接面は前記ウエハ収納容器下面に設けられた凹部の天井部の平坦面であり、前記凹部の入口および前記レベルピン頂部にテーパーを設けていることを特徴とし、前記レベルピン頂部が前記凹部テーパー部にガイドされて前記レベルピンが前記凹部内側に挿入された段階において、前記第1および第2水平位置決めピンの先端が前記円筒状穴部および長穴部の入口部の高さになるように前記レベルピンテーパー部、前記凹部、前記水平位置決めピン、前記円筒状穴部、および前記長穴部の高さが設定されていることを特徴とする請求項1に記載のウエハ収納容器。
- 前記第1水平位置決めピンおよび/または前記第2水平位置決めピンの頂部の平面によっても高さ方向のレベルを決めることを特徴とする請求項1または2に記載のウエハ収納容器。
- 前記円筒状穴部および/または前記長穴部は前記ウエハ収納容器開口部付近に設けられているか、或いは、前記ウエハ収納容器開口面左右の中央線上に前記円筒状穴部および/または前記長穴部が設けられているか、或いは、前記円筒状穴部と前記長穴部は収納容器開口面左右の対称位置に配置されていることを特徴とする請求項1〜3のいずれかの項に記載のウエハ収納容器。
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