JP4641289B2

JP4641289B2 - 基板収納容器

Info

Publication number: JP4641289B2
Application number: JP2006204903A
Authority: JP
Inventors: 喜則佐藤
Original assignee: Shin Etsu Polymer Co Ltd
Current assignee: Shin Etsu Polymer Co Ltd
Priority date: 2006-07-27
Filing date: 2006-07-27
Publication date: 2011-03-02
Anticipated expiration: 2026-07-27
Also published as: JP2008034533A

Description

本発明は、半導体ウェハ、マスクガラス等の精密基板などを収納し、輸送、搬送、保管などに使用される基板収納容器、及び基板収納容器を搬送可能なコンベアレール部材に関する。

近年、半導体部品の微細化や配線の狭ピッチ化が進んでいる。このため、半導体ウェハ（精密基板）を収納する基板収納容器には、精密基板の汚染を防止するために高い密閉性と取扱いの自動化とが求められている。図９は、従来の基板収納容器を示す底面図である。図９に示す従来の基板収納容器５１は、いわゆるフロントオープンボックスタイプのものであり、精密基板を収納する容器本体５２と、この容器本体５２の底部外面に設けられたボトムプレート５３とを備えている。このボトムプレート５３は、容器本体５２の開口側（前側）の周縁部５４の底面５４ａ、開口側の周縁部５４と直交する左右両側の周縁部５５の底面５５ａが平坦面に形成されている。また、ボトムプレート５３の中央部には、基板収納容器５１の位置決めするための位置決め部品、基板収納容器５１に関する情報を識別可能とする識別部品等が取り付け可能とされている。

この種の基板収納容器５１が搬送される際には、例えばローラコンベア上に載置されて搬送される。このとき、ボトムプレート５３の左右両側の周縁部５５，５５がコンベアローラと接触するコンベア接触レールとなる。そして、基板収納容器５１は、ボトムプレート５３の左右両側の周縁部５５，５５の延在方向（基板収納容器５１における前後方向）Ｄ_１に沿って搬送される（例えば、特許文献１参照）。
特開２００５−６４３７８号公報

基板収納容器を左右方向に搬送させるためのコンベア接触レールを設置しようとした場合、ボトムプレート５３の前側の周縁部５４の底面５４ａには、基板収納容器の左右方向に連続する十分な長さの平坦面があるため、コンベア接触レールとして利用することができる。しかしながら、ボトムプレート５３の後側の周縁部の底面には、基板収納容器の左右方向に連続する十分な長さの平坦面がないため、コンベア接触レールとして利用することができなかった。また、ボトムプレート５３の中央部には位置決め部品や識別部品を取り付ける必要があるため、コンベア接触レールを設置することができなかった。

したがって、上記特許文献１に記載の従来技術では、基板収納容器を搬送する際には、左右両側の周縁部５５，５５の延在方向Ｄ_１の１方向にしか搬送できなかった。そのため、例えば、加工設備等へ搬送する際には、基板収納容器の搬送方向を変えるための方向転換装置を用いて、基板収納容器の向きを変えることで、基板収納容器の搬送方向を変えていた。

本発明は、このような課題を解決するために成されたものであり、容器本体の左右方向に搬送させることが可能な基板収納容器及びコンベアレール部材を提供することを目的とする。

本発明による基板収納容器は、開口を有し基板を収納する容器本体を備え、開口が形成された面を前面として、容器本体の前側に形成され、容器本体の左右方向に延びる第１のコンベアレールが容器本体の底部に形成された基板収納容器であって、第１のコンベアレールと対となる第２のコンベアレールが形成されたコンベアレール部材を具備し、コンベアレール部材は、容器本体に固定される固定部を備え、固定部によって容器本体に取り付けられ、第２のコンベアレールは容器本体の後側に配置されることを特徴としている。

このような基板収納容器によれば、容器本体の前側に形成された第１のコンベアレールと対となる第２のコンベアレールが形成されたコンベアレール部材を備えている。このコンベアレール部材には、容器本体に固定される固定部が設置されている。この固定部によって、コンベアレール部材を容器本体に固定することで、容器本体の前側に形成された第１のコンベアレールと対になるように、第２のコンベアレールを容器本体の後側に配置することができる。すなわち、コンベアレール部材を容器本体の底部外面に取り付けることで、容器本体の左右方向に延在するコンベアレールを形成することができる。これにより、基板収納容器を、例えばローラコンベア上に載置して、コンベアレールの延在する方向に沿って容器本体の左右方向に搬送することができる。

ここで、容器本体の底部外面側に設置されたボトムプレートを更に備え、容器本体の底部外面には、ボトムプレートに向かって突出しボトムプレートを固定するボトムプレート固定部が設置され、コンベアレール部材の固定部は、ボトムプレート固定部に装着され、第２のコンベアレールは、容器本体の後方側へ張り出して配置されることが好ましい。これにより、突出するボトムプレート固定部にコンベアレール部材の固定部を装着することで、第２のコンベアレールを容器本体の後方側に張り出して設置することができる。また、既存のボトムプレート固定部を利用してコンベアレール部材を固定しているため、コンベアレール部材を固定するための新たな部品を用いる必要がない。

また、固定部は、ボトムプレート固定部に固定される筒体を有し、この筒体の内周面には、内方に突出する第１の位置調整用突起が形成され、筒体の容器本体側の端面には、外方に突出する第２の位置調整用突起が形成されていることが好ましい。これにより、第１の位置調整用突起の突出量を変化させることで、ボトムプレート固定部と筒体との嵌めあいを容易に調整することができるので、第２のコンベアレールの位置ずれを防止することができる。また、第２の位置調整用突起の突出量を変化させることで、容器本体とコンベアレール部材との位置関係を容易に調整することができるので、コンベアレール部材の撓みを防止して第２のコンベアレールの位置ずれを防止することができる。その結果、第２のコンベアレールの位置ずれが防止されるため、基板収納容器を安定させて搬送することができる。

また、コンベアレール部材は、第２のコンベアレールが形成された面と反対側の面から外方に向かって突出する撓み防止用リブを更に備えていることが好ましい。これにより、外方に向かって突出する撓み防止用リブによって、コンベアレール部材の剛性を向上させて、コンベアレール部材の撓みを防止することが可能となる。従って、第２のコンベアレールの位置ずれが防止されるため、基板収納容器を安定させて搬送することができる。

また、本発明によるコンベアレール部材は、開口を有し基板を収納する基板収納容器の容器本体の底部に取り付け可能とされ、開口が形成された面を前面として容器の左右方向に延びるコンベアレールが形成されたコンベアレール部材であって、容器本体に固定される固定部を備え、容器本体の底部外面には、容器本体の底部外面に設置されるボトムプレートに向かって突出しボトムプレートを固定するボトムプレート固定部が設置され、固定部は、ボトムプレート固定部に装着され、コンベアレールは、容器本体の後側に配置され、容器本体の後方側へ張り出すことを特徴としている。

このようなコンベアレール部材によれば、容器本体に固定される固定部が設置され、この固定部によって、コンベアレール部材を容器本体に固定することで、容器本体の前側に形成されたコンベアレールと対になるように、コンベアレール部材のコンベアレールを容器本体の後側に配置することができる。すなわち、コンベアレール部材を容器本体の底部外面に取り付けることで、容器本体の左右方向に延在するコンベアレールを形成することができる。これにより、基板収納容器を、例えばローラコンベア上に載置して、コンベアレールの延在する方向に沿って容器本体の左右方向に搬送することができる。

本発明によれば、基板収納容器を、コンベアレールの延在する方向に沿って容器本体の左右方向に搬送することができる。

以下、本発明による基板収納容器及びコンベアレール部材の好適な実施形態について図面を参照しながら説明する。なお、図面の説明において、同一または相当要素には同一の符号を付し、重複する説明は省略する。図１は、本発明の実施形態に係る基板収納容器を示す分解斜視図、図２は、図１に示す基板収納容器の底面図、図３は、図２におけるIII−III線に沿う容器本体、アダプタプレート及びボトムプレートの断面図、図４は、図２中のアダプタプレートの底面図、図５は、図４に示すアダプタプレートの側面図、図６は、図４に示すアダプタプレートの平面図、図７は、図４に示すアダプタプレートの斜視図、図８は、図４に示すアダプタプレートの固定部を拡大して示す平面図である。

図１に示す基板収納容器１は、例えば口径が３００ｍｍ（約１２インチ）の半導体ウェハ（基板；不図示）を複数枚（例えば２５、２６枚）収容し、輸送、搬送、保管などに使用される基板収納容器である。この基板収納容器１は、いわゆるフロントオープンボックスタイプのものであり、基板を収納する容器本体２と、この容器本体２に設けられた開口部（開口）３を覆う蓋体４とを備えている。なお、図１において、後述するボトムプレート７の記載を省略している。また、本明細書において、開口部３が形成された面を「容器本体２の前面」と定め、「前」「後」「左」「右」等の方向を表す語を用いることとする。

容器本体２は箱型を成し、図示左側の側面には基板を出し入れする開口部３が形成されている。容器本体２の対向する一対の側壁２ａの内面には、複数の基板を上下方向に水平に並べて支持する支持部２ｂが各々設けられている。

蓋体４は、容器本体２と蓋体４との間を封止するシール用ガスケット５を介して、開口部３を閉鎖する。また、蓋体４の内面には、複数の基板を上下方向に水平に並べて支持するリテーナ６が設けられている。

図２及び図３に示すように容器本体２の底壁２ｃ（底部）の外面側（図３における下側）には、ボトムプレート７が取り付けられている。容器本体２の底壁２ｃには、外方に向かって突出する複数（本実施形態では４つ）のボトムプレート固定用ボス（ボトムプレート固定部）２ｄが設けられている。このボトムプレート固定用ボス２ｄには、図３に示すように、雌螺子部２ｅが形成されている。

ボトムプレート７は、容器本体２の底壁２ｃを外面側から覆うものである。このボトムプレート７は、容器本体２の底壁２ｃに設けられたボトムプレート固定用ボス２ｄと対応する位置に、容器本体２側に向かって突出する突出部７ａが設けられている。この突出部７ａには、ボトムプレート７の内外を貫通する開口７ｂが形成されている。この開口７ｂには、雄螺子８が挿通され、雄螺子８の先端部は、容器本体２の雌螺子部２ｅに螺合する。この雄螺子８によって、ボトムプレート７を容器本体２に固定している。

また、ボトムプレート７には、図２に示すように、容器本体２の前後方向Ｄ_２に延在する一対の前後方向コンベア接触レール（以下、「前後方向レール」という）９が設けられている。この一対の前後方向レール９は、ボトムプレート７の左右両側の周縁に形成されている。前後方向レール９の底面９ａは、平坦面とされ、前後方向レール９の前後方向の端部は上下方向に傾斜する傾斜面９ｂとされている。この傾斜面９ｂは、外方に向かうにつれて上方に傾斜している。この前後方向レール９の材料としては、耐摩耗性、摺動性、剛性に優れるポリカーボネート、ポリブチレンテレフタレート、ポリエーテルエーテルケトン、ポリエーテルサルフォン等の熱可塑性樹脂、これらに炭素繊維、フッ素樹脂、シリコーン樹脂等が添加された材料が挙げられる。

そして、基板収納容器１を例えばローラコンベア等の搬送装置によって搬送する場合、基板収納容器１をローラコンベア等に載置して、ローラコンベアのローラと前後方向レール９の底面９ａとを接触させる。これにより、基板収納容器１を前後方向レール９の延在する方向に沿って容器本体２の前後方向に搬送することができる。

ここで、本実施形態の基板収納容器１には、容器本体２の前後方向Ｄ_２に延在する上記前後方向レール９に加えて、容器本体２の左右方向Ｄ_３に延在する一対の左右方向コンベア接触レール（以下、「左右方向レール」という）１０が形成されている。この一対の左右方向レール１０は、ボトムプレート７の前側の周縁に形成された第１のコンベアレール１１と、この第１のコンベアレール１１と対となり、ボトムプレート７の後側に配置された第２のコンベアレールとによって構成されている。基板収納容器１は、第２のコンベアレール１２が形成されたアダプタプレート（コンベアレール部材）１３を備えている。

なお、アダプタプレート１３において、アダプタプレート１３を容器本体２に取り付けた状態での前方方向を前側と定め、「前」「後」「左」「右」等の方向を表す語を用いることとする。

第１のコンベアレール１１の底面１１ａは、平坦面とされ、コンベアレール１１の左右方向Ｄ_３の端部は上下方向に傾斜する傾斜面とされている。この傾斜面は、外方に向かうにつれて上方に傾斜している。この第１のコンベアレール１１の材料としては、耐摩耗性、摺動性、剛性に優れるポリカーボネート、ポリブチレンテレフタレート、ポリエーテルエーテルケトン、ポリエーテルサルフォン等の熱可塑性樹脂や、これらの樹脂を混合した樹脂や、これらの樹脂をアロイ化した樹脂が挙げられる。また、これらの樹脂に添加される添加剤等として、導電性や静電気消散性を付与するためのカーボンブラック、炭素繊維、金属繊維、導電性樹脂、各種の帯電防止剤等、剛性を出すものとして、ガラス繊維、ガラスフレーク等、摺動性を出すものとして、フッ素樹脂、シリコーン樹脂等が挙げられ、これらの添加剤等を適宜選択して上記樹脂に添加してもよい。

このアダプタプレート１３は、板状を成し、図２〜図７に示すように、その底面に第２のコンベアレール１２が形成されている。アダプタプレート１３は、第２のコンベアレール１２の長手方向に沿って延在するアダプタプレート本体１３ａとこのアダプタプレート本体１３ａから突出し、容器本体２に固定される固定部１４とを備えている。アダプタプレート１３の材料としては、耐摩耗性、摺動性、剛性に優れるポリカーボネート、ポリブチレンテレフタレート、ポリエーテルエーテルケトン、ポリエーテルサルフォン等の熱可塑性樹脂や、これらの樹脂を混合した樹脂や、これらの樹脂をアロイ化した樹脂が挙げられる。また、これらの樹脂に添加される添加剤等として、導電性や静電気消散性を付与するためのカーボンブラック、炭素繊維、金属繊維、導電性樹脂、各種の帯電防止剤等、剛性を出すものとして、ガラス繊維、ガラスフレーク等、摺動性を出すものとして、フッ素樹脂、シリコーン樹脂等が挙げられ、これらの添加剤等を適宜選択して上記樹脂に添加してもよい。

アダプタプレート１３の底面は、平坦面とされ、アダプタプレート１３の後側の周縁に、第２のコンベアレール１２が形成されている。第２のコンベアレール１２の長手方向（容器本体２における左右方向Ｄ_３）の端部は上下方向に傾斜する傾斜面とされている。この傾斜面は、外方に向かうにつれて上方に傾斜している。

なお、前後方向レール９、左右方向レール１０の傾斜面の角度は、１度〜１０度が好ましく、これにより、基板収納容器１がローラコンベアに乗り移る際に、スムーズに移行させることができる。また、前後方向レール９、左右方向レール１０の底面（ローラコンベアとの接触面）の平坦度（容器本体２の高さ方向における最大値と最小値との差）は、０．８ｍｍ以下が好ましく、０．５ｍｍ以下がより好ましい。前後方向レール９、左右方向レール１０の底面の平坦度が０．８ｍｍを超えた場合、コンベアによる搬送途中に、特にコンベアユニットの継目において基板収納容器が引っ掛かって止まったり、コンベア搬送時の振動により内部に収納された基板に、擦れによるパーティクルが生じたり損傷が生じる虞がある。前後方向レール９、左右方向レール１０の底面の平坦度を０．８ｍｍ以下にすることで、基板収納容器１を円滑に搬送することができると共に、基板収納容器１の振動を防止して、パーティクルの発生、基板の損傷を防止することができる。

また、アダプタプレート本体１３ａの長手方向における中央部１３ｂは、長手方向の端部に比して細く形成されて、ボトムプレート７に対応する形状とされている。すなわち、アダプタプレート１３を容器本体２に取り付けた状態で、第２のコンベアレール１２は容器本体２の後方側に張り出して設置される。

固定部１４は、容器本体２のボトムプレート固定用ボス２ｄに装着される筒体１４ａを有している。この筒体１４ａはボトムプレート固定用ボス２ｄに嵌合するものであり、ボトムプレート固定用ボス２ｄの外径と筒体１４ａの内径とが対応する大きさとされている。また、図６〜図８に示すように、筒体１４aの内周面１４ｂには、内方に突出する複数（本実施形態では４本）の第１の位置調整用微小突起１４ｃが設けられている。この第１の位置調整用微小突起１４ｃは、筒体１４aの軸線方向（上下方向）に沿って線状に形成されている。第１の位置調整用微小突起１４ｃの突出量を変化させることで、ボトムプレート固定用ボス２ｄと筒体１４ａとの嵌めあいを容易に調整することができる。そのため、アダプタプレート１３の位置ずれを防止して精度良く固定できるようになる。なお、図３及び図４において、第１の位置調整用微小突起１４ｃの図示を省略している。

また、筒体１４ａの容器本体２側（上側）の端面１４ｄには、外方（上方）に向かって突出する複数（本実施形態では４個）の第２の位置調整用微小突起１４ｅが形成されている。第２の位置調整用微小突起１４ｅの突出量を変化させることで、容器本体２とアダプタプレート１３との位置関係を容易に、しかも精度良く調整することができる。このように、アダプタプレート１３の上下方向の位置が調整可能となるので、アダプタプレート１３の撓み（変形）に応じて、アダプタプレート１３の水平性の微調整もできるようになる。

また、固定部１４は、図３〜図８に示すように、ボトムプレート７の突出部７ａ（図３参照）に装着される大径円筒部１４ｆを備えている。この大径円筒部１４ｆは、筒体１４ａと同軸上に配置されている。大径円筒部１４ｆの内面に、ボトムプレート７の突出部７ａが収容される。また、大径円筒部１４ｆの下端部には、切欠き部が設けられている。このため、基板収納容器１の洗浄後の乾燥を容易とすることが可能となる。また、切欠き部を通じて、洗浄液（例えば水）が移動しやすくなるため、洗浄効率を向上させることができる。

また、アダプタプレート本体１３ａには、図３、図５〜図７に示すように、第２のコンベアレール１２が形成された底面と反対側の面から外方（上方）に向かって突出する撓み防止用リブ１７が複数形成されている。この撓み防止用リブ１７は、側面視において山型を成している。複数の撓み防止用リブ１７は、前後方向、左右方向に延在し、頂部１８において互いに交差している。この頂部（受け部）１８が容器本体２の底壁２ｃと接触する。これにより、撓み防止用リブ１７によって、アダプタプレート１３の撓み（変形）を防止してアダプタプレート１３の位置ずれを防止することができる。

そして、基板収納容器１は、図３に示すように、雄螺子８によって、容器本体２の底壁２ｃとボトムプレート７とが互いに連結されて固定されている。容器本体２のボトムプレート固定用ボス２ｄが、アダプタプレート１３の筒体１４ａに挿入されて嵌合している。ボトムプレート７の突起部７ａが、アダプタプレート１３の大径円筒部１４ｆ内に収容されて、互いに当接している。アダプタプレート１３の筒体１４の上側の端面、撓み防止用リブ１７の頂部１８が容器本体２の底壁２ｃの外面に当接している。

このような基板収納容器１では、容器本体２の前側に形成された第１のコンベアレール１１と対となる第２のコンベアレール１２が形成されたコンベアレール部材１３を備えている。このアダプタプレート１３を容器本体２に固定することで、容器本体２の前側に形成された第１のコンベアレール１１と対になるように、第２のコンベアレール１２が容器本体２の後側に配置されている。すなわち、アダプタプレート１３を容器本体２の底部外面２ｃに取り付けることができるので、左右方向レール１０を形成することができる。これにより、基板収納容器１を、ローラコンベア上に載置して、左右方向レール１０に沿って容器本体２の左右方向に搬送することができる。このように、基板収納容器１は、前後方向レール９に加えて、左右方向レール１０を備えているため、ローラコンベアを用いて、前後方向、左右方向に搬送することが可能とされている。従って、容器本体２の向きを変えるための方向転換装置を用いることなく、基板収納容器１の搬送方向を変えることができる。

ここで、第２のコンベアレール１２は、容器本体２の後方側に張り出して設置されている。また、既存のボトムプレート固定用ボス２ｄを利用してアダプタプレート１３を固定しているため、アダプタプレート１３を固定するための新たな部品を用いる必要がない。

以上、本発明をその実施形態に基づき具体的に説明したが、本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。上記実施形態において、本発明の基板収納容器による収納物を基板としているが、収納される基板は、半導体ウェハに限定されず、マスクガラスを始めとしたその他の基板でもよい。

また、上記実施形態では、ボトムプレート７を備える構成としているが、ボトムプレート７を備えない構成でもよい。

本発明の実施形態に係る基板収納容器を示す分解斜視図である。図１に示す基板収納容器の底面図である。図２におけるIII−III線に沿う容器本体、アダプタプレート及びボトムプレートの断面図である。図２中のアダプタプレートの底面図である。図４に示すアダプタプレートの側面図である。図４に示すアダプタプレートの平面図である。図４に示すアダプタプレートの斜視図である。図４に示すアダプタプレートの固定部を拡大して示す平面図である。従来の基板収納容器を示す底面図である。

符号の説明

１…基板収納容器、２…容器本体、２ｃ…底壁（底部）、２ｄ…ボトムプレート固定用ボス（ボトムプレート固定部）、３…開口部（開口）、７…ボトムプレート、１１…第１のコンベアレール、１２…第２のコンベアレール、１３…アダプタプレート（コンベアレール部材）、１４…固定部、１４ａ…筒体、１４ｂ…筒体の内周面、１４ｃ…第１の位置調整用微小突起、１４ｅ…第２の位置調整用微小突起、１７…撓み防止用リブ。

Claims

開口を有し基板を収納する容器本体を備え、前記開口が形成された面を前面として、前記容器本体の前側に形成され、前記容器本体の左右方向に延びる第１のコンベアレールが前記容器本体の底部に形成された基板収納容器であって、
前記第１のコンベアレールと対となる第２のコンベアレールが形成されたコンベアレール部材と、
前記容器本体の底部外面側に設置されたボトムプレートと、
を具備し、
前記コンベアレール部材は、
前記容器本体に固定される固定部を備え、
前記容器本体の底部外面には、前記ボトムプレートに向かって突出し前記ボトムプレートを固定するボトムプレート固定部が設置され、
前記コンベアレール部材の前記固定部は、前記ボトムプレート固定部に装着され、
前記第２のコンベアレールは、前記容器本体の後側に配置され、前記容器本体の後方側へ張り出すことを特徴とする基板収納容器。
前記固定部は、前記ボトムプレート固定部に固定される筒体を有し、
前記筒体の内周面には、内方に突出する第１の位置調整用突起が形成され、
前記筒体の前記容器本体側の端面には、外方に突出する第２の位置調整用突起が形成されていることを特徴とする請求項１記載の基板収納容器。
前記コンベアレール部材は、前記第２のコンベアレールが形成された面と反対側の面から外方に向かって突出する撓み防止用リブを更に備えていることを特徴とする請求項１または２に記載の基板収納容器。