JP2004146578A - カセット用基板支持部材および基板用カセット - Google Patents
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Abstract
【解決手段】カセット用基板支持部材200は、長尺の棒状部材からなるリブ201と、このリブ201の一方端に設けられ、サイドサポートフレーム101aにリブ201を固定するための受け部材213と、リブ201の軸方向に沿って所定の間隔を隔ててリブ201に取付けられるリング状部材210,211,212とを備えている。リブ201の材料としては、低発塵性、絶縁性、強度性、軽量性の観点から、その軸方向に延びるように炭素繊維が配設された炭素繊維強化プラスチック材料(CFRP)が用いられている。
【選択図】 図4
Description
【発明の属する技術分野】
この発明は、カセット用基板支持部材および基板用カセットに関し、基板用カセットの軽量化を可能とするカセット用基板支持部材および基板用カセットに関する。
【0002】
【従来の技術】
カラー液晶ディスプレイ等にはガラス基板が用いられているが、その製造プロセスにおいては、工程間におけるガラス基板の搬送・ストック等のために、このガラス基板を複数枚蓄積させた状態で保持する基板用カセットが用いられる。
【0003】
この基板用カセットとしては、以下に示す特許文献1、特許文献2、および特許文献3等に挙げられるものがある。これらの特許文献に開示される基板用カセットは、フレーム部材に樹脂、金属、金属−樹脂複合体等の材料が用いられ、またガラス基板への通電を避けるため、ガラス基板を下面側から支持する基板支持部材の表面には、104〜1010程度の電気抵抗を有する樹脂膜が塗布されている。
【0004】
【特許文献1】
特開平9−36219号公報
【0005】
【特許文献2】
特開2001−146295号公報
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
近年、カラー液晶ディスプレイ等の大型化が進んでおり、たとえば、カラー液晶ディスプレイの大きさは、1100mm(短辺寸法)×1300mm(長辺寸法)が主流であったが、今後は、1800mm(短辺寸法)×2000mm(長辺寸法)が主流になり、その後も、カラー液晶ディスプレイの大きさは加速的に大型化されるものと思われる。
【0007】
このカラー液晶ディスプレイの大型化に伴いガラス基板も大型化する結果、基板用カセットも大型化することになるが、この大型化により基板用カセットの質量も増大することになる。たとえば、1100mm×1300mmのガラス基板を24枚積層収容可能な基板用カセットの場合、その単体の質量は約75kg程度であるが、1800mm×2000mmのガラス基板を24枚積層収容可能な基板用カセットにおいては、その単体の質量は約250kg程度に増大することになる。
【0008】
その結果、カラー液晶ディスプレイの製造工程において、基板用カセットの搬送・移動に用いられる駆動装置の容量を大型化する必要が生じ(たとえば、駆動モータの大型化等)、カラー液晶ディスプレイの製造コストの上昇、製造装置のフットプリントの増大を招く結果となる。
【0009】
したがって、この発明は、上記課題を解決するためになされたものであり、カラー液晶ディスプレイ等のフラットディスプレイの大型化にともなう、基板用カセットの大型化においても、基板用カセットの質量の増大の抑制を可能とする、カセット用基板支持部材および基板用カセットを提供することにある。
【0010】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するため、本発明に基づいたカセット用基板支持部材においては、基板を積層状態に収容する基板用カセットに用いられ、基板を所定の間隔で下方側から支持するため、基板用カセットのフレームから内部に張出すように設けられるカセット用基板支持部材であって、長尺の棒状部材からなるリブと、リブの一方端に設けられ、フレームにリブを固定するための受け部材と、リブの軸方向に沿って所定の間隔を隔ててリブに取付けられる補助支持部材とを備え、リブは、その軸方向に延びる炭素繊維を含む炭素繊維強化プラスチック材料を有するように設けられる。
【0011】
このように、炭素繊維強化プラスチック材料を用いることにより、低発塵性、強度性を維持しながら、カセット用基板支持部材自体の軽量化を図ることが可能になる。その結果、このカセット用基板支持部材を複数用いる基板用カセットの軽量化が図られ、基板用カセットの搬送・移動に用いられる駆動装置の容量の大型化が回避でき、これにより、たとえば、カラー液晶ディスプレイの製造コストの上昇、製造装置のフットプリントの増大を抑制することが可能になる。
【0012】
また、上記発明において好ましくは、上記リブは、中心部に金属補強部材を有し、上記金属補強部材の外周面には、その外周面を取囲み、軸方向に延びる炭素繊維を含む炭素繊維強化プラスチック材料が設けられる。これにより、基板用カセットのさらなる大型化に対しても、十分な支持強度を得ることが可能になる。
【0013】
また、上記発明において好ましくは、リブと補助支持部材との間には、相互に係合する係合領域が設けられる。基板とリブとの接触面積を少なくするために、リブには静電気対策および低発塵性対策が施された樹脂材料からなる補助支持部材が取付けられるが、炭素繊維強化プラスチック材料からなるリブの場合、その表面粗さが比較的小さいため補助支持部材が移動または脱落するおそれがある。そこで、リブと補助支持部材との間に相互に係合する係合領域を設けることにより、補助支持部材の移動・脱落を未然に防止することが可能となる。
【0014】
また、上記課題を解決するため、本発明に基づいた基板用カセットにおいては、基板を積層状態に収容する基板用カセットであって、基板を所定の間隔で下方側から支持するために、上述したカセット用基板支持部材を適用している。この基板用カセットによれば、軽量化が図られたカセット用基板支持部材を用いていることから、このカセット用基板支持部材を複数用いる基板用カセットの軽量化が図られ、基板用カセットの搬送・移動に用いられる駆動装置の容量の大型化が回避でき、これにより、たとえば、カラー液晶ディスプレイの製造コストの上昇、製造装置のフットプリントの増大を抑制することが可能になる。
【0015】
【発明の実施の形態】
以下、本発明に基づいたカセット用基板支持部材および基板用カセットの実施の形態について、図1から図4を参照しながら説明する。
【0016】
(基板用カセット100の全体構成)
まず、図1から図3を参照して、基板用カセット100の全体構成について説明する。本実施の形態において示す基板用カセット100は、一例として、カラー液晶ディスプレイに用いられるガラス基板を収容することを目的とするものを示し、ガラス基板の大きさは、1800mm×2000mm、収容枚数は24枚である。なお、図1は、本実施の形態における基板用カセット100の概略全体構成を示す正面図であり、図2は、図1中II−II線矢視にしたがった見下げ図であり、図3は、図1中IIIで囲まれる領域の部分拡大断面図である。
【0017】
この基板用カセット100は、全体として箱状のフレーム101を有し、両側面部には、サイドサポートフレーム101aが所定の間隔で配置されている。また、背面部分には、収容されるガラス基板に当接し、ガラス基板の背面側をサポートするストッパフレーム101bが設けられている。フレーム101、サイドサポートフレーム101aおよびストッパフレーム101bは、樹脂、金属、金属−樹脂複合体等の材料から形成されている。
【0018】
サイドサポートフレーム101aおよびストッパフレーム101bには、図3に示すように、ガラス基板1を下方側から支持するため、内部に張出すように設けられるカセット用基板支持部材200が所定のピッチで複数設けられている。
【0019】
本実施の形態における基板用カセット100の寸法としては、幅約1700mm、高さ約1900mm、奥行き約1900mm、カセット用基板支持部材200の配置ピッチ約70mm、カセット用基板支持部材200の突出長さ約400mm程度である。
【0020】
(カセット用基板支持部材200の詳細構造)
次に、図4および図5を参照して、カセット用基板支持部材200の詳細構造について説明する。なお、図4(A)から(E)は、カセット用基板支持部材200の構造を示す図であり、図5(A)はリブ201の横断面図、(B)はリブ201の縦断面図である。
【0021】
このカセット用基板支持部材200は、図4(A),(C)に示すように、長尺の棒状部材からなるリブ201と、このリブ201の一方端に設けられ、サイドサポートフレーム101aにリブ201を固定するための受け部材213と、リブ201の軸方向に沿って所定の間隔を隔ててリブ201に取付けられる補助支持部材210,211,212とを備えている。
【0022】
リブ201を構成する主な材料としては、低発塵性、絶縁性、強度性、軽量性の観点から、炭素繊維強化プラスチック材料(CFRP)が用いられており、具体的な組成としては、カーボンが50%〜70%、他がエポキシ樹脂である。また、構造的特徴としては、図5(A),(B)に示すように、リブ201そのものとして、リブ201の軸が延びる方向に沿って炭素繊維201bが延びるように複数配設されており、この炭素繊維201bを包含するように樹脂201aが設けられている。なお、絶縁性を高めるため、図6に示すように、リブ201の表面にガラス材料等からなる被覆膜250を設けることも可能である。
【0023】
また、上記構造からまるリブ201としては、引抜き成形(押出し成形)により形成された製品を用いている。これにより、工業製品を用いることができるため、カセット用基板支持部材200のコストを低下させることを可能としている。なお、本実施の形態におけるリブ201の寸法は、長さ約450mm、直径約φ10mm程度である。
【0024】
また、ガラス基板1を載置する際に、静電気対策あるいは低発塵性を高める目的から、リブ201には図4(B)に示すように、ガラス基板1との接触面積を少なくするために補助支持部材としてのリング状部材210,211,212が嵌合されている。リブ201には、リング状部材210,211,212が取付けられる位置に、係合領域としての凹部溝202が設けられ、リング状部材210,211,212の内面には、この凹部溝202に勘合する凸部領域(図示省略)が設けられている。このように、リブ201とリング状部材210,211,212との間に、相互に係合する係合領域を設けるようにしたのは、炭素繊維強化プラスチック材料からなるリブ201の場合、その表面粗さが比較的小さいため樹脂等からなるリング状部材210,211,212の移動または脱落を防止するためである。なお、リブ201に凸部を設け、リング状部材に凹部を設けることも可能である。また、補助支持部材としてリング形状の部材を用いるようにしたが、この形状に限定されるものでなく、その他、基板を支持可能な形状であれば、どのような形状であっても採用可能である。
【0025】
なお、リング状部材210,211,212の材質としては、エラストマー系樹脂のような滑りにくい樹脂、あるいは、ポリエーテルエーテルケトン、ポリエーテルイミド、ポリイミド、ポリエーテルサルフォン、ポリサルフォン、ポリカーボネート、ポリフェニレンオキシド、ポリブチレンテレフタレートをはじめとする粘りのある低発塵性または耐摩耗性の良い樹脂(ノンフィラーのナチュラル樹脂)を用いることが好ましいが、その他静電気対策を施した樹脂の使用も可能である。
【0026】
リブ201の一方端部に設けられる受け部材213は、リブ201を貫通させる筒状胴部213aと筒状胴部213aに対して垂直方向に延びるフランジ部213bとを備えている。この受け部材213の材質も、上記補助支持部材と同様に、エラストマー系樹脂のような滑りにくい樹脂、あるいは、ポリエーテルエーテルケトン、ポリエーテルイミド、ポリイミド、ポリエーテルサルフォン、ポリサルフォン、ポリカーボネート、ポリフェニレンオキシド、ポリブチレンテレフタレートをはじめとする粘りのある低発塵性または耐摩耗性の良い樹脂(ノンフィラーのナチュラル樹脂)を用いることが好ましいが、その他静電気対策を施した樹脂の使用も可能である。
【0027】
サイドサポートフレーム101aは、図4(E)に示すように、断面がコの字状に設けられ、受け部材213が取付けられる内側側壁110には、縦方向に延びる溝113が設けられ、この溝113に重なるように、筒状胴部213aの挿入が可能な孔114が設けられている。内側側壁110に対して、連結側壁111により連結される外側側壁112には、孔114に対向する位置に、リブ201の挿入が可能な孔115が設けられている。
【0028】
サイドサポートフレーム101aへのリブ201の固定においては、リブ201の後端部を受け部材213の筒状胴部213aに挿入した状態で、受け部材213を孔114に挿入し、リブ201を孔115に挿入する。受け部材213のフランジ部213bは、溝113に嵌合する。また、リブ201の孔115から突出した領域には、(D)に示すように、プッシュナット220(SUS304製)を設け、リブ201の孔115からの脱落を防止する。
【0029】
このように、リブ201の後端部に受け部材213を設けることにより、異なる部材からなるリブ201のサイドサポートフレーム101aへの連結を可能とする。
【0030】
(作用・効果)
以上、本実施の形態におけるカセット用基板支持部材200によれば、リブ201に炭素繊維強化プラスチック材料を用いることにより、絶縁性、強度性を維持しながら、カセット用基板支持部材自体の軽量化を図ることが可能になる。たとえば、従来のカセット用基板支持部材と質量を比較した場合、約30%程度の軽量化を実現することを可能としている。
【0031】
さらに、このカセット用基板支持部材200を複数用いる上記基板用カセット100においても、従来の同機能製品と質量を比較した場合、約30%程度の軽量化を実現することを可能としている。
【0032】
その結果、基板用カセット100の搬送・移動に用いられる駆動装置の容量の大型化が回避でき、カラー液晶ディスプレイの製造コストの上昇、製造装置のフットプリントの増大を抑制することが可能になる。
【0033】
なお、本実施の形態においては、好ましい一例として、カラー液晶ディスプレイに用いられるガラス基板用カセットを一例にして説明しているが、各種フラットパネルの製造工程に用いられる基板カセットに適用することが可能である。
【0034】
また、リブ201の他の構造として、図7に示すように、中心部に金属補強部材201cを有し、この金属補強部材201cの外周面には、その外周面を取囲み、軸方向に延びる炭素繊維201bを含む炭素繊維強化プラスチック材料201aを設ける構造を採用することにより、基板用カセットのさらなる大型化に対しても、十分な支持強度を得ることが可能になる。
【0035】
また、受け部材213の他の構造として、図8に示すように、フランジ部213bと内側側壁110との間に隙間Sを設ける構成を採用することも可能である。これにより、基板用カセット100の洗浄時における受け部材213の周辺における排水性を向上させることが可能になる。
【0036】
また、上記実施の形態においては、基板用カセット100のリブ201にその軸方向に延びる炭素繊維を含む炭素繊維強化プラスチック材料を用いる場合について説明したが、基板用カセット100を構成するフレーム自体に対しても同様に、各構成フレームの軸方向に延びる炭素繊維を含む炭素繊維強化プラスチック材料を用いることが可能であり、これにより、基板用カセット100のさらなる軽量化を図ることが可能になる。
【0037】
したがって、本発明の技術的範囲は、上記した実施の形態のみによって解釈されるのではなく、特許請求の範囲の記載に基づいて画定される。また、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれる。
【0038】
【発明の効果】
本発明におけるカセット用基板支持部材および基板用カセットによれば、基板用カセットの軽量化を図ることが可能になり、基板用カセットの搬送・移動に用いられる駆動装置の容量の大型化の回避、フラットパネルの製造コストの上昇、製造装置のフットプリントの増大を抑制することが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本実施の形態における基板用カセット100の概略全体構成を示す正面図である。
【図2】図1中II−II線矢視にしたがった見下げ図である。
【図3】図1中IIIで囲まれる領域の部分拡大断面図である。
【図4】(A)から(E)は、カセット用基板支持部材200の構造を示す図である。
【図5】(A)はリブの横断面図、(B)はリブの縦断面図である。
【図6】リブの他の構造を示す断面図である。
【図7】リブの他の構造を示す断面図である。
【図8】受け部材の構造を示す断面図である。
【符号の説明】
100 基板用カセット、101 フレーム、101a サイドサポートフレーム、101b ストッパフレーム、110 内側側壁、111 連結側壁、112 外側側壁、113 溝、114,115 孔、200 カセット用基板支持部材、201 リブ、201a 樹脂、201b 炭素繊維、201c 金属補助部材、202 凹部溝、210,211,212 補助支持部材、213 受け部材、213a 筒状胴部、213b フランジ部、220 プッシュナット、250 被覆膜。
Claims (4)
- 基板を積層状態に収容する基板用カセットに用いられ、前記基板を所定の間隔で下方側から支持するため、前記基板用カセットのフレームから内部に張出すように設けられるカセット用基板支持部材であって、
長尺の棒状部材からなるリブと、
前記リブの一方端に設けられ、前記フレームに前記リブを固定するための受け部材と、
前記リブの軸方向に沿って所定の間隔を隔てて前記リブに取付けられる補助支持部材とを備え、
前記リブは、その軸方向に延びる炭素繊維を含む炭素繊維強化プラスチック材料を有する、カセット用基板支持部材。 - 前記リブは、中心部に金属補強部材を有し、前記金属補強部材の外周面には、その外周面を取囲み、軸方向に延びる炭素繊維を含む炭素繊維強化プラスチック材料が設けられる、請求項1に記載のカセット用基板支持部材。
- 前記リブと補助支持部材との間には、相互に係合する係合領域が設けられる、請求項1または2に記載のカセット用基板支持部材。
- 基板を積層状態に収容する基板用カセットであって、前記基板を所定の間隔で下方側から支持するために、請求項1から3のいずれかに記載のカセット用基板支持部材を適用したことを特徴とする、基板用カセット。
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