KR101694378B1 - 캔틸레버 시스템 - Google Patents

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Abstract

본 발명의 일 실시예는 캔틸레버 시스템에 관한 것으로, 해결하고자 하는 기술적 과제는 최소 공간에 최대 개수의 디스플레이용 기판을 거치하여 열처리할 수 있는 캔틸레버 시스템을 제공하는데 있다.
이를 위해 본 발명은 수직 방향의 길이를 가지며 수평 방향으로 배열된 지지 기둥; 및 수평 방향의 길이를 가지며 수직 방향으로 배열된 동시에 지지 기둥에 결합되어 기판을 지지하는 캔틸레버로 이루어진 캔틸레버 시스템을 개시한다.

Description

캔틸레버 시스템{Cantilever system}
본 발명은 캔틸레버 시스템에 관한 것으로서, 최소 공간에 최대 개수의 디스플레이용 기판을 거치하여 열처리할 수 있는 캔틸레버 시스템에 관한 것이다.
일반적으로 디스플레이 패널의 제조 공정 중 유리 기판에는 무기물, 유기물 및/또는 반도체 소자의 형성을 위해 다양한 온도 프로파일하에서 다양한 열처리 공정이 수행되고 있다. 이때, 디스플레이 패널의 생산성이 향상되도록, 하나의 공정 챔버 내부에 통상 다수의 유리 기판이 장입된 후 열처리된다.
한편, 최근에는 생산 시설의 층고 제한에 따라 공정 챔버의 높이 역시 제한받고 있으며, 이에 따라 감소된 챔버의 층고에도 불구하고 동일하거나 또는 더 많은 개수의 유리 기판이 장입된 후 열처리될 수 있는 시스템의 개발이 요구되고 있다.
본 발명의 해결하고자 하는 기술적 과제는 수직 방향의 길이를 가지며 수평 방향으로 배열된 지지 기둥 및 수평 방향의 길이를 가지며 수직 방향으로 배열된 동시에 상기 지지 기둥에 고정단이 결합되어 기판을 지지하는 캔틸레버를 포함하며, 상기 캔틸레버는 상기 지지 기둥에 결합되는 고정단의 레벨이 조절되도록 형성되는캔틸레버 시스템을 제공하는데 있다.
또한, 본 발명의 다른 해결하고자 하는 기술적 과제는 최소 공간에 최대 개수의 디스플레이용 기판을 거치하여 열처리할 수 있는 캔틸레버 시스템을 제공하는데 있다.
또한, 본 발명의 또 다른 해결하고자 하는 기술적 과제는 우수한 온도 균일도 및 균일한 승온율로 기판을 열처리할 수 있는 캔틸레버 시스템을 제공하는데 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 캔틸레버 시스템은 수직 방향의 길이를 가지며 수평 방향으로 배열된 지지 기둥; 및 수평 방향의 길이를 가지며 수직 방향으로 배열된 동시에 상기 지지 기둥에 고정단이 결합되어 기판을 지지하는 캔틸레버를 포함하며, 상기 캔틸레버는 상기 지지 기둥에 결합되는 고정단의 레벨이 조절됨을 특징으로 한다.
상기 캔틸레버는 원형, 삼각형, 사각형, 오각형, 육각형 또는 다각형의 튜브(tube), 바(bar) 또는 로드(rod) 타입일 수 있다.
상기 지지 기둥은 상기 캔틸레버의 하부에서 상기 캔틸레버를 향하여 돌출된 지지 블록을 더 포함할 수 있다. 상기 캔틸레버와 상기 지지 블록 사이에 상기 고정단의 레벨 조절을 위한 레벨 조절 블록이 더 개재될 수 있다. 상기 지지 블록과 상기 캔틸레버 사이에 상기 캔틸레버의 회전 또는 이탈 방지를 위한 회전 이탈 방지 블록이 더 개재될 수 있다. 상기 레벨 조절 블록과 상기 캔틸레버 사이에 상기 캔틸레버의 회전 또는 이탈 방지를 위한 회전 이탈 방지 블록이 더 개재될 수 있다. 상기 레벨 조절 블록 및 회전 이탈 방지 블록에는 상기 캔틸레버를 중심으로 양측 영역에 관통홀이 형성되고, 상기 관통홀에 볼트가 결합되어 상기 지지 블록에 접촉함으로써, 상기 볼트의 결합 깊이에 따라 상기 캔틸레버의 고정단 레벨이 조절될 수 있다.
상기 캔틸레버는 상기 기판을 지지하기 위해 형성된 적어도 2개의 지지핀을 더 포함할 수 있다.
상기 캔틸레버는 마그네시아(Magnesia), 사파이어(Sapphire), 석영(Quartz), 알루미나(Al2O3), 지르코니아(ZrO2), 실리콘나이트라이트(SiN), 실리콘카바이드(SiC), 붕화질소(BN), 파이렉스(Pyrex) 또는 알루미늄나이트라이트(AlN)로 제조될 수 있다.
상기 지지 기둥과 상기 캔틸레버의 사이에는 상기 캔틸레버의 회전 또는 이탈 방지를 위한 회전 이탈 방지 블록이 더 개재될 수 있다. 상기 회전 이탈 방지 블록과 상기 지지 기둥의 사이에 상기 고정단의 레벨 조절을 위한 레벨 조절 블록이 더 개재될 수 있다. 상기 회전 이탈 방지 블록은 상기 캔틸레버와 대응되는 모양의 안착 요홈을 포함할 수 있다. 상기 캔틸레버는 상기 회전 이탈 방지 블록에 결합되는 고정핀을 더 포함할 수 있다. 상기 고정핀은 상기 캔틸레버에 부착되어 직경이 점차 작아지는 제1영역; 및 상기 제1영역으로부터 연장된 직경이 일정한 제2영역을 포함할 수 있다. 상기 회전 이탈 방지 블록은 상기 고정핀과 대응되는 형태의 고정홀을 포함할 수 있다.
상기 캔틸레버는 이물 유입 방지를 위하여 튜브의 자유단 또는 고정단이 밀폐되어 형성될 수 있다.
본 발명은 지지 기둥에 지지되는 캔틸레버의 고정단의 레벨을 조절하여 지지되지 않는 자유단이 처지는 것을 최소화하여 상부에 기판이 안정적으로 지지되는 캔틸레버 시스템을 제공한다.
또한, 본 발명은 최소 공간에 최대 개수의 디스플레이용 기판을 거치하여 열처리할 수 있는 캔틸레버 시스템을 제공한다. 즉, 본 발명은 수평 방향으로 배열된 다수의 지지 기둥을 구비하고, 또한 각각의 지지 기둥에 지지 기둥의 길이 방향을 따라 배열된 다수의 캔틸레버를 구비하며, 이러한 캔틸레버 위에 디스플레이용 기판을 거치함으로써, 최소 공간에 최대 개수의 디스플레이용 기판을 수용하여 열처리할 수 있게 된다.
또한, 본 발명은 우수한 온도 균일도 및 균일한 승온율로 기판을 열처리할 수 있는 캔틸레버 시스템을 제공한다. 즉, 본 발명은 캔틸레버에 기판과 최소 면적으로 접촉하는 다수의 지지핀을 구비하는 동시에, 캔틸레버를 감싸는 케이스의 챔버 공간을 최소화함으로써, 디스플레이용 기판에 우수한 온도 균일도 및 균일한 승온율을 제공할 수 있게 된다.
도 1a 내지 도 1e는 본 발명의 일 실시예에 따른 캔틸레버 시스템을 도시한 사시도, 정면도, 평면도, 좌측면도 및 후면도이다.
도 2는 본 발명에 따른 캔틸레버 시스템 중에서 캔틸레버와 지지 기둥 사이의 관계를 도시한 사시도이다.
도 3a, 도 3b 및 도 3c는 본 발명에 따른 캔틸레버 시스템 중에서 캔틸레버와 지지 기둥 사이의 결합 관계, 회전 이탈 방지 블록 및 레벨 조절 블록 사이의 결합 관계를 도시한 단면도, 분해 사시도 및 사시도이다.
도 4a, 도 4b 및 도 4c는 본 발명에 따른 캔틸레버 시스템 중에서 캔틸레버를 도시한 사시도 및 부분 확대 단면도이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명하기로 한다.
본 발명의 실시예들은 당해 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 본 발명을 더욱 완전하게 설명하기 위하여 제공되는 것이며, 하기 실시예는 여러 가지 다른 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 하기 실시예에 한정되는 것은 아니다. 오히려, 이들 실시예는 본 개시를 더욱 충실하고 완전하게 하고, 당업자에게 본 발명의 사상을 완전하게 전달하기 위하여 제공되는 것이다.
또한, 이하의 도면에서 각 층의 두께나 크기는 설명의 편의 및 명확성을 위해 과장된 것이며, 도면상에서 동일 부호는 동일한 요소를 지칭한다. 본 명세서에서 사용된 바와 같이, 용어 "및/또는"은 해당 열거된 항목 중 어느 하나 및 하나 이상의 모든 조합을 포함한다.
본 명세서에서 사용된 용어는 특정 실시예를 설명하기 위하여 사용되며, 본 발명을 제한하기 위한 것이 아니다. 본 명세서에서 사용된 바와 같이, 단수 형태는 문맥상 다른 경우를 분명히 지적하는 것이 아니라면, 복수의 형태를 포함할 수 있다. 또한, 본 명세서에서 사용되는 경우 "포함한다(comprise)" 및/또는 "포함하는(comprising)"은 언급한 형상, 단계, 숫자, 동작, 부재, 요소 및/또는 이들 그룹의 존재를 특정하는 것이며, 하나 이상의 다른 형상, 단계, 숫자, 동작, 부재, 요소 및/또는 이들 그룹의 존재 또는 부가를 배제하는 것이 아니다.
본 명세서에서 제1, 제2 등의 용어가 다양한 부재, 부품, 영역, 층들 및/또는 부분들을 설명하기 위하여 사용되지만, 이들 부재, 부품, 영역, 층들 및/또는 부분들은 이들 용어에 의해 한정되어서는 안 된다. 이들 용어는 하나의 부재, 부품, 영역, 층 또는 부분을 다른 영역, 층 또는 부분과 구별하기 위하여만 사용된다. 따라서, 이하 상술한 제1부재, 부품, 영역, 층 또는 부분은 본 발명의 가르침으로부터 벗어나지 않고서도 제2부재, 부품, 영역, 층 또는 부분을 지칭할 수 있다.
도 1a 내지 도 1e를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 캔틸레버 시스템(100)에 대한 사시도, 정면도, 평면도, 좌측면도 및 후면도가 도시되어 있다.
도 1a 내지 도 1e에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 캔틸레버 시스템(100)은 수평 방향으로 배열된 다수의 지지 기둥(110)과, 각각의 지지 기둥(110)을 따라 수직 방향으로 배열된 다수의 캔틸레버(120)를 포함한다. 이러한 캔틸레버(120)에는 디스플레이용 기판(101)이 안착되어 설정된 온도 프로파일에 따라 열처리된다. 또한, 본 발명은 캔틸레버(120)를 수용하며 챔버 공간을 형성하고, 지지 기둥(110)이 휘지 않도록 지지 기둥(110)이 고정되는 케이스(130)를 더 포함한다.
지지 기둥(110)은 수직(상, 하) 방향의 길이를 가지며 수평(좌,우) 방향을 따라 일정 간격으로 배열되어 있다. 이러한 지지 기둥(110)은 실질적으로 케이스(130)에 결합되어 있다. 즉, 케이스(130)는 전면이 개방된 육면체 형태로서 상면(131), 하면(132), 양쪽의 측면(133,134) 및 이들을 연결하는 후면(135)으로 이루어져 있는데, 상면(131), 하면(132) 및 후면(135)에 지지 기둥(110)이 결합되어 있다. 즉, 지지 기둥(110)의 상단은 상면(131)에, 지지 기둥(110)의 하단은 하면(132)에, 지지 기둥(110)의 길이 방향을 따르는 대부분의 영역은 후면(135)에 결합되어 있다. 따라서, 지지 기둥(110)은 캔틸레버(120)의 하중에 의해 일측(전면 방향)으로 기울지 않게 된다.
캔틸레버(120)는 수평(전,후) 방향의 길이를 가지며 수직(상,하) 방향을 따라 일정 간격으로 배열된 동시에 고정단이 지지 기둥(110)에 결합되어 있다. 또한, 캔틸레버(120)는 고정단과 반대측인 자유단이 지지되지 않은 상태로 유지된다. 이러한 캔틸레버(120)는 상술한 바와 같이 기판(101)을 지지하여, 기판(101)이 설정된 온도 프로파일대로 열처리되도록 한다. 즉, 캔틸레버(120)에는 상부를 향하여 다수의 지지핀(121)이 형성되어 있는데, 이러한 지지핀(121)에 기판(101)이 안착 및 거치된다.
또한, 케이스(130)의 양쪽 측면(133,134)으로부터 캔틸레버(120)를 향하여 지지 돌기(136)가 더 형성되고, 이러한 지지 돌기(136)에는 상부를 향하여 지지핀(137)이 형성되어 있으며, 이러한 지지핀(137)에 의해 기판(101)이 안착 및 거치된다.
다시 말하면, 기판(101)은 캔틸레버(120)의 지지핀(121) 및 돌기(136)의 지지핀(137)에 의해 공동으로 지지되어 거치된다.
더불어, 지지 기둥(110)의 대략 상단 및 케이스(130)의 상면(131)에는 캔틸레버(120)의 기움 현상을 확실하게 방지하기 위해 기움 방지 블록(111)이 더 설치될 수 있다. 엄밀히 말하면, 기움 방지 블록(111)의 하단은 지지 기둥(110)의 대략 상부 영역으로서, 캔틸레버(120)가 연장되기 시작하는 영역에 밀착 설치되어 있다. 더불어, 기움 방지 블록(111)의 상단은 도시되지 않은 고정 구조물에 고정된다. 따라서, 기움 방지 블록(111)은 캔틸레버(120)의 하중에 의해 지지 기둥(110)의 대략 상부 영역이 전방으로 휘어지려는 현상을 방지한다.
이와 같이 하여, 본 발명은 최소 공간에 최대 개수의 디스플레이용 기판(101)을 거치하여 열처리할 수 있도록 한다. 즉, 본 발명은 수평 및 수직 방향으로 배열된 다수의 캔틸레버(120)를 채택함으로써, 소위, 글래스 투 글래스 피치(glass to glass pitch)를 최소화하고, 이에 따라 최대 개수의 기판(101)을 수용할 수 있게 된다. 또한, 본 발명은 최소의 공간에 최대 개수의 기판(101)이 수용되도록 함으로써, 우수한 온도 균일도 및 균일한 승온율로 디스플레이용 기판(101)을 열처리할 수 있게 된다. 여기서, 열처리를 위한 히터 구조는 당업자에게 알려져 있으므로, 이에 대한 설명은 생략한다.
도 2를 참조하면, 본 발명에 따른 캔틸레버 시스템(100) 중에서 캔틸레버(120)와 지지 기둥(110)에 대한 사시도가 도시되어 있다. 여기서, 본 발명의 명확한 이해를 위해 공정 챔버를 정의하는 케이스(130) 및 그 주변 구조는 도시하지 않았다.
도 2에 도시된 바와 같이, 지지 기둥(110)은 수직 방향의 길이를 가지며 수평 방향으로 나란하게 배열되어 있다. 또한, 캔틸레버(120)는 수평 방향의 길이를 가지며 수직 방향으로 나란하게 배열되고, 또한 고정단이 지지 기둥(110)에 결합되어 기판(101)을 지지할 수 있도록 되어 있다. 더불어, 기움 방지 블록(111)이 지지 기둥(110)의 상단으로서 캔틸레버(120)가 연장되기 시작하는 근처에 결합되어 있다. 또한, 캔틸레버(120)의 상면에는 상부 방향을 향하여 다수의 지지핀(121)이 형성됨으로써, 기판(101)을 최소의 접촉 영역으로 지지할 수 있도록 되어 있다.
이러한 캔틸레버(120)는 열변형 및 열팽창 계수가 상대적으로 작은 세라믹으로 형성됨이 바람직하다. 특히, 캔틸레버(120)는 지지핀(121)의 용접이 가능한 석영 또는 그 등가물로 형성됨이 바람직하나, 본 발명에서 이를 한정하는 것은 아니다.
좀더 구체적으로 캔틸레버(120) 및/또는 지지핀(121)은 마그네시아(Magnesia), 사파이어(Sapphire), 석영(Quartz), 알루미나(Al2O3), 지르코니아(ZrO2), 실리콘나이트라이트(SiN), 실리콘카바이드(SiC), 붕화질소(BN), 파이렉스(Pyrex), 알루미늄나이트라이트(AlN) 및 그 등가물 중에서 선택된 어느 하나로 제조될 수 있으나, 본 발명에서 이를 한정하는 것은 아니다.
더불어, 캔틸레버(120)는 속이 비어 있는 대략 원형 튜브 타입으로 형성됨으로써, 중량이 가벼우면서도 일정 강도를 확보할 수 있도록 되어 있다. 더욱이, 캔틸레버는 이물 유입 방지를 위하여 원형 튜브의 한 쪽 부분이 밀폐되어 형성될 수 있다. 즉, 캔틸레버는 고정단 또는 자유단이 밀폐되어 형성될 수 있다.
좀더 구체적으로 캔틸레버(120)는 단면 형태가 원형, 삼각형, 사각형, 오각형, 육각형 또는 다각형이고, 또한 속이 비어 있는 튜브(tube) 또는 속이 꽉찬 바(bar) 또는 로드(rod) 타입일 수 있으나, 본 발명에서 이를 한정하는 것은 아니다.
이와 같이 하여, 본 발명은 지지 기둥(110)에 수직 방향으로 피치가 최소화된 다수의 캔틸레버(120)가 설치됨으로써, 수직 방향으로 최소의 피치를 갖도록 기판(101)이 안착 또는 장입될 수 있다. 따라서, 본 발명에 따르면 최근 생산 시설의 층고 제한에 적절한 캔틸레버 시스템(100)을 제공하게 된다. 또한, 캔틸레버(120)에는 상대적으로 직경이 작은 지지핀(121)이 형성됨으로써, 기판(101)과의 접촉 면적이 최소화되고, 이에 따라 기판(101)에는 캔틸레버(120)에 의한 열 전달이 최소화된다. 따라서, 본 발명에 따르면 케이스(130)의 내부 즉, 공정 챔버의 내부에서 균일한 온도 및 승온율로 기판(101)이 열처리될 수 있다.
도 3a, 도 3b 및 도 3c를 참조하면, 본 발명에 따른 캔틸레버 시스템(100) 중에서 캔틸레버(120)와 지지 기둥(110) 사이의 결합 관계,회전 이탈 방지 블록(140)과 레벨 조절 블록(150) 사이의 결합 관계에 대한 단면도, 분해 사시도 및 결합 사시도가 도시되어 있다.
도 3a 내지 도 3c에 도시된 바와 같이, 지지 기둥(110)에는 관통홀(112)이 형성됨으로써, 캔틸레버(120)의 고정단이 지지 기둥(110)의 관통홀(112)에 결합될 수 있다.
더불어, 지지 기둥(110)은 캔틸레버(120)의 하부에서 캔틸레버(120)를 향하여 일정 길이 돌출된 지지 블록(113)을 더 포함한다.
이러한 지지 블록(113)의 위에는 캔틸레버(120)의 회전 또는 이탈을 방지하기 위한 회전 이탈 방지 블록(140)이 더 설치될 수 있다. 더욱이, 회전 이탈 방지 블록(140)과 지지 블록(113)의 사이에는 캔틸레버(120)의 레벨 조절을 위한 레벨 조절 블록(150)이 더 개재될 수 있다.
한편, 캔틸레버(120)는 회전 이탈 방지 블록(140)에 결합되어 고정되는 고정핀(122)을 더 포함할 수 있다. 고정핀(122)은 제1영역(122a) 및 제2영역(122b)을 포함하는데, 제1영역(122a)은 캔틸레버(120)에 직접 부착되어 직경이 점차 작아지는 형태로 연장되고, 또한 제2영역(122b)은 제1영역(122a)으로부터 일정한 직경을 가지며 연장된다.
또한, 회전 이탈 방지 블록(140)은 원형의 캔틸레버(120)와 접촉 면적이 증가하도록 캔틸레버(120)와 대응되는 모양의 안착 요홈(141)을 포함한다. 또한, 회전 이탈 방지 블록(140)은 안착 요홈(141)의 대략 중앙에 고정핀(122)과 대응되는 형태의 고정홀(142)을 포함한다. 이러한 고정홀(142)은 후면 방향이 외측으로 완전히 개방되어 있다.
더불어, 회전 이탈 방지 블록(140) 및 레벨 조절 블록(150)은 상술한 안착 요홈(141)을 중심으로 양쪽 영역에 관통홀(143,153)이 형성되어 있으며, 이러한 관통홀(143,153)에 볼트(145)가 관통 및 결합된다. 여기서, 회전 이탈 방지 블록(140)의 관통홀(143)은 내경이 상대적으로 큰 상부 관통홀과, 내경이 상대적으로 작은 하부 관통홀이 서로 연결된 구조이며, 상부 관통홀과 하부 관통홀 사이에 단턱(143a)이 형성됨으로써, 볼트(145)의 머리 부분이 밀착될 수 있도록 되어 있다. 또한, 레벨 조절 블록(150)에 형성되는 관통홀(153)은 내경측에 나사산(154)이 형성되며, 볼트(145)의 나사산과 결합된다. 물론, 회전 이탈 방지 블록(140)의 관통홀(143)에는 나사산이 형성되거나 형성되지 않을 수 있다. 또한, 볼트(145)의 하단은 상술한 지지 블록(113)에 밀착된다.
이와 같이 하여, 본 발명은 캔틸레버(120)의 지지핀(121)이 상부를 향하고, 고정핀(122)이 하부를 향하도록 한 상태에서, 캔틸레버(120)의 고정단을 지지 기둥(110)의 관통홀(112)에 결합한다. 이 상태에서, 회전 이탈 방지 블록(140) 및 레벨 조절 블록(150)을 캔틸레버(120)와 지지 블록(113)의 사이에 결합한다. 즉, 캔틸레버(120)의 고정핀(122)이 회전 이탈 방지 블록(140)의 고정홀(142)에 고정되도록 한다. 물론, 이때 회전 이탈 방지 블록(140)의 안착 요홈(141)에 캔틸레버(120)의 대략 고정단이 안착된다. 더욱이, 이때, 회전 이탈 방지 블록(140)의 고정홀(142)은 후면을 향하여 완전히 개방되어 있으므로, 캔틸레버(120)의 고정핀(122)과 회전 이탈 방지 블록(140)의 고정홀(142) 사이의 결합은 간섭없이 양호하게 수행된다.
한편, 캔틸레버(120)가 지지 기둥(110)에 결합되고, 또한 회전 이탈 방지 블록(140)에 안착된 후, 상술한 볼트(145)의 조임 횟수를 적절히 조절함으로써, 상술한 캔틸레버(120)의 고정단의 높이 즉, 레벨이 조절될 수 있다. 보다 구체적으로는, 레벨 조절 블록(140)은 볼트(145)가 회전하는 경우에 지지 블록(113)의 상면에 대하여 상대적으로 상하 방향으로 이동된다. 또한, 레벨 조절 블록(150)이 상하 방향으로 이동되는 경우에 회전 이탈 방지 블록(140)도 함께 상하로 이동되며, 캔틸레버(120)의 고정단의 레벨이 조절된다. 이러한 캔틸레버(120)의 레벨 조절을 위해, 실질적으로 지지 기둥(110)에 형성된 관통홀(112)의 직경이 캔틸레버(120)의 외경보다 약간 크게 되어 있다. 캔틸레버(120)는 지지 기둥(110)에 결합되는 고정단측에서 레벨이 조절됨으로써, 고정단의 반대측인 자유단측이 자중에 의하여 아래로 쳐지는 것이 방지된다.
도 4a, 도 4b 및 도 4c를 참조하면, 본 발명에 따른 캔틸레버 시스템(100) 중에서 캔틸레버(120)에 대한 사시도 및 부분 확대 단면도가 도시되어 있다.
도 4a에 도시된 바와 같이, 캔틸레버(120)는 대략 속이 비어 있는 대략 원통형 튜브 형태이며, 상면에 기판(101)의 지지를 위한 다수의 지지핀(121)이 형성되고, 대략 고정단의 하면에 회전 이탈 방지 블록(140)에 결합을 위한 고정핀(122)이 형성된다.
도 4b에 도시된 바와 같이, 지지핀(121)은 일정한 직경을 가지며 상부로 연장되고, 상단은 기판(101)과 최소 접촉을 위해 대략 둥글게 형성되어 있다. 지지핀(121)은 캔틸레버(120)의 전체 길이에서 적어도 2개가 이격되어 형성되며, 바람직하게는 적어도 3개로 형성된다. 따라서, 지지핀(121)은 보다 안정적으로 기판의 하면을 지지할 수 있다. 또한, 도 4c에 도시된 바와 같이, 고정핀(122)은 직경(또는 수평 단면적)이 상대적으로 큰 제1영역(122a)과, 직경(또는 수평 단면적)이 상대적으로 작은 제2영역(122b)을 포함한다. 이러한 고정핀(122)은 상술한 바와 같이 회전 이탈 방지 블록(140)에 결합됨으로써, 캔틸레버(120)가 회전 이탈 방지 블록(140)으로부터 회전되거나 방지되지 않도록 한다.
이와 같이하여, 본 발명은 최소 공간에 최대 개수의 디스플레이용 기판(101)을 거치하여 열처리할 수 있고, 또한 우수한 온도 균일도 및 균일한 승온율로 기판(101)을 열처리할 수 있는 캔틸레버 시스템(100)을 제공하게 된다.
이상에서 설명한 것은 본 발명에 따른 캔틸레버 시스템을 실시하기 위한 하나의 실시예에 불과한 것으로서, 본 발명은 상기한 실시예에 한정되지 않고, 이하의 특허청구범위에서 청구하는 바와 같이 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양한 변경 실시가 가능한 범위까지 본 발명의 기술적 정신이 있다고 할 것이다.
100; 본 발명에 따른 캔틸레버 시스템
101; 기판 110; 지지 기둥
111; 기움 방지 블록 112; 관통홀
113; 지지 블록 120; 캔틸레버
121; 지지핀 122; 고정핀
122a; 제1영역 122b; 제2영역
130; 케이스 131; 상면
132; 하면 133,134; 측면
135; 후면 136; 지지 돌기
137; 지지핀 140; 회전 이탈 방지 블록
141; 안착 요홈 142; 고정홀
143; 관통홀 145; 볼트
150; 레벨 조절 블록 153; 관통홀

Claims (16)

  1. 수직 방향의 길이를 가지며 수평 방향으로 배열된 지지 기둥; 및
    수평 방향의 길이를 가지며 수직 방향으로 배열된 동시에 상기 지지 기둥에 고정단이 결합되어 기판을 지지하는 캔틸레버를 포함하며,
    상기 캔틸레버는 상기 지지 기둥에 결합되는 고정단의 레벨이 조절되며,
    상기 지지 기둥은 상기 캔틸레버의 하부에서 상기 캔틸레버를 향하여 돌출된 지지 블록과,
    상기 캔틸레버와 상기 지지 블록 사이에 상기 고정단의 레벨 조절을 위한 레벨 조절 블록 및
    상기 레벨 조절 블록과 상기 캔틸레버 사이에 위치하여 상기 캔틸레버의 회전 또는 이탈 방지를 위한 회전 이탈 방지 블록을 포함하며,
    상기 레벨 조절 블록 및 회전 이탈 방지 블록에는 상기 캔틸레버를 중심으로 양측 영역에 관통홀이 형성되고, 상기 레벨 조절 블록의 관통 홀의 내경 측에 나사산이 형성되며, 상기 회전 이탈 방지 블록의 관통홀을 관통하여 상기 레벨 조절 블록의 관통홀의 나사산에 볼트가 결합되어 상기 지지 블록에 접촉하며, 상기 볼트가 회전하면서 상기 레벨 조절 블록이 상기 회전 이탈 방지 블록과 함께 상기 지지 블록의 상면에 대하여 상하로 이동하도록 형성됨을 특징으로 하는 캔틸레버 시스템.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 캔틸레버는 원형, 삼각형, 사각형, 오각형, 육각형 또는 다각형의 튜브(tube), 바(bar) 또는 로드(rod) 타입인 것을 특징으로 하는 캔틸레버 시스템.
  3. 삭제
  4. 삭제
  5. 삭제
  6. 삭제
  7. 삭제
  8. 제 1 항에 있어서,
    상기 캔틸레버는 상기 기판을 지지하기 위해 형성된 적어도 2개의 지지핀을 더 포함함을 특징으로 하는 캔틸레버 시스템.
  9. 제 1 항에 있어서,
    상기 캔틸레버는 마그네시아(Magnesia), 사파이어(Sapphire), 석영(Quartz), 알루미나(Al2O3), 지르코니아(ZrO2), 실리콘나이트라이트(SiN), 실리콘카바이드(SiC), 붕화질소(BN), 파이렉스(Pyrex) 또는 알루미늄나이트라이트(AlN)로 제조된 것을 특징으로 하는 캔틸레버 시스템.
  10. 삭제
  11. 삭제
  12. 제 1 항에 있어서,
    상기 회전 이탈 방지 블록은 상기 캔틸레버와 대응되는 모양의 안착 요홈을 포함함을 특징으로 하는 캔틸레버 시스템.
  13. 제 1 항에 있어서,
    상기 캔틸레버는 상기 회전 이탈 방지 블록에 결합되는 고정핀을 더 포함함을 특징으로 하는 캔틸레버 시스템.
  14. 제 13 항에 있어서,
    상기 고정핀은
    상기 캔틸레버에 부착되어 직경이 점차 작아지는 제1영역; 및
    상기 제1영역으로부터 연장된 직경이 일정한 제2영역을 포함함을 특징으로 하는 캔틸레버 시스템.
  15. 제 13 항에 있어서,
    상기 회전 이탈 방지 블록은 상기 고정핀과 대응되는 형태의 고정홀을 포함함을 특징으로 하는 캔틸레버 시스템.
  16. 제 2 항에 있어서,
    상기 캔틸레버는 이물 유입 방지를 위하여 튜브의 자유단 또는 고정단이 밀폐되어 형성됨을 특징으로 하는 캔틸레버 시스템.
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