WO2014196011A1 - 基板収納容器 - Google Patents

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Abstract

基板収納容器は、容器本体と、蓋体と、ボトムプレート(6)と、溝部材(7)と、を備える。ボトムプレート(6)は、板状を有し下壁(24)の外面に対向して配置され係止部(612)を有する。溝部材(7)は、下方へ向けて開口する溝(701)が形成された溝形成部(71)と、溝形成部(71)に接続され溝形成部(71)の周囲を周回するように配置された周回壁部(72)と、周回壁部(72)に接続され、弾性変形可能であり、弾性変形することにより、ボトムプレート(6)の係止部に係止される被係止部(73)と、を有し、下壁(24)及びボトムプレート(6)に支持され固定される。

Description

基板収納容器
 本発明は、半導体ウェーハ等の基板を収納する基板収納容器に関する。
 半導体ウェーハ等の基板を収納する容器としては、容器本体と、蓋体と、溝部材とを備える構成のものが、従来より知られている。
 容器本体は、一端部に容器本体開口部が形成され、他端部が閉塞された筒状の壁部を有する。容器本体内には基板収納空間が形成されている。基板収納空間は、壁部により取り囲まれて形成されており、複数の基板を収納可能である。蓋体は、容器本体開口部に対して着脱可能であり、容器本体開口部を閉塞可能である。基板支持板状部は、基板収納空間内において対をなすように壁部に設けられている。基板支持板状部は、蓋体によって容器本体開口部が閉塞されていないときに、隣接する基板同士を所定の間隔で離間させて並列させた状態で、複数の基板の縁部を支持可能である。
 蓋体の部分であって容器本体開口部を閉塞しているときに基板収納空間に対向する部分には、フロントリテーナが設けられている。フロントリテーナは、蓋体によって容器本体開口部が閉塞されているときに、複数の基板の縁部を支持可能である。また、フロントリテーナと対をなすようにして、奥側基板支持部が壁部に設けられている。奥側基板支持部は、複数の基板の縁部を支持可能である。奥側基板支持部は、蓋体によって容器本体開口部が閉塞されているときに、フロントリテーナと協働して複数の基板を支持することにより、隣接する基板同士を所定の間隔で離間させて並列させた状態で、複数の基板を保持する。
 容器本体の壁部は、奥壁と、上壁と、下壁と、第1側壁と、第2側壁と、を有している。下壁には、溝部材が固定されている。溝部材はV字状の溝を有しており、溝には、基板収納容器を支持する支持部材が係合する。溝への支持部材の係合により、支持部材によって基板収納容器が支持された状態で基板収納容器は搬送される。
特開2010-40612号公報 国際公開第2013/025629号パンフレット
 溝部材は、溝形成部と爪部材とを有している。溝形成部は、溝を形成する。爪部材は、溝形成部に接続されており、下壁に対して固定されたボトムプレート、又は、下壁に係止される。爪部材は弾性変形することにより、下壁に対して固定されたボトムプレート及び/又は下壁に係止される。
 近年、基板の大型化に伴い、基板収納容器も大型化し、基板を収納した基板収納容器の重量が大きくなる傾向にある。これにより、溝部材にかかる荷重は大きくなり、溝部材の強度を高めることが要求されている。
 本発明は、大型化した基板収納容器の荷重に耐えることができ、且つ、耐久性が高い溝部材を有する基板収納容器を提供することを目的とする。
 本発明は、一端部に容器本体開口部が形成され他端部が閉塞された筒状の壁部であって、奥壁、上壁、下壁、及び一対の側壁を有し前記上壁の一端部、前記下壁の一端部、及び前記側壁の一端部によって前記容器本体開口部が形成された壁部を備え、前記上壁の内面、前記下壁の内面、前記側壁の内面、及び前記奥壁の内面によって、複数の基板を収納可能であり前記容器本体開口部に連通する基板収納空間が形成された容器本体と、前記容器本体開口部に対して着脱可能であり、前記容器本体開口部を閉塞可能な蓋体と、板状を有し前記下壁の外面に対向して配置され係止部を有するボトムプレートと、下方へ向けて開口する溝が形成された溝形成部と、前記溝形成部に接続され前記溝形成部の周囲を周回するように配置された周回壁部と、前記周回壁部に接続され、弾性変形可能であり、弾性変形することにより、前記ボトムプレートの前記係止部に係止される被係止部と、を有し、前記下壁及び前記ボトムプレートに支持され固定される溝部材と、を備える基板収納容器に関する。
 また、前記溝形成部は、前記周回壁部の周回方向に対する軸方向における前記周回壁部の一端部に接続され、前記溝は、前記周回壁部の前記軸方向における前記周回壁部の一端部において開口し、前記被係止部は、前記周回壁部の前記軸方向における前記周回壁部の他端部に接続されていることが好ましい。
 また、前記被係止部は、前記周回壁部の前記軸方向における前記周回壁部の他端部から、前記周回壁部の外面に沿って、前記周回壁部の前記軸方向における前記周回壁部の一端部の方へ延出する片持ちバネにより構成されていることが好ましい。
 また、前記ボトムプレートには、前記溝部材を挿入可能な挿入貫通孔が形成され、前記ボトムプレートの前記係止部は、前記ボトムプレートの部分であって前記挿入貫通孔の周囲の周縁部分により構成され、前記片持ちバネは、前記片持ちバネの延出端部に位置する板状部と、前記板状部よりも前記片持ちバネの基端部側に位置し前記周回壁部から離間する方向へ前記板状部よりも突出する被係止凸部と、を有し、前記被係止凸部は、前記周縁部分に係止されることが好ましい。
 また、前記溝部材は、前記周回壁部の内面の一部分と、前記内面の一部分とは異なる前記周回壁部の内面の他の部分と、前記溝形成部と、に接続されたリブ部を備え、前記リブ部の上端面は前記溝部材の上端面を構成し、前記リブ部の上端面には、前記リブ部の上端面から上方へ突出し前記下壁に当接する高さ調整凸部が存在することが好ましい。
 また、前記溝形成部の部分であって前記溝の底部を形成している溝底形成部は、直線状を有し、前記溝底形成部の両端には、前記溝底形成部の両端から突出する位置決め凸部が存在し、前記下壁の下面には、前記下壁の下面に沿って平行に延びる2本のレールが下方へ向けて突出して存在し、前記2本のレール間に前記位置決め凸部は嵌合可能であることが好ましい。
 また、前記溝形成部は、前記周回壁部の周回方向に対する軸方向における前記周回壁部の一端部の全体にわたって接続され、前記溝は、前記周回壁部の前記軸方向における前記周回壁部の一端部において開口し、前記周回壁部の一端部における前記溝形成部と前記周回壁部との接続部分には、前記周回壁部の内側空間と前記周回壁部の外側空間とを連通する水抜き貫通孔が形成されていることが好ましい。
 本発明によれば、大型化した基板収納容器の荷重に耐えることができ、且つ、耐久性が高い溝部材を有する基板収納容器を提供することができる。
本発明の実施形態に係る基板収納容器1を示す分解斜視図である。 本発明の実施形態に係る基板収納容器1を示す底面図である。 本発明の実施形態に係る基板収納容器1を示す拡大底面図である。 図2BのA-A線に沿った要部拡大断面図である。 図2BのB-B線に沿った要部拡大断面図である。 本発明の実施形態に係る基板収納容器1の溝部材7を示す下方斜視図である。 本発明の実施形態に係る基板収納容器1の溝部材7を示す上方斜視図である。 本発明の実施形態に係る基板収納容器1の溝部材7を示す底面図である。 本発明の実施形態に係る基板収納容器1の溝部材7を示す平面図である。 本発明の実施形態に係る基板収納容器1の溝部材7を示す側面図である。 本発明の実施形態に係る基板収納容器1の溝部材7を示す正面図である。 本発明の実施形態に係る基板収納容器1の容器本体2から溝部材7が取外された様子を示す底面図である。 本発明の実施形態に係る基板収納容器1の容器本体2から溝部材7が取外された様子を示す拡大底面図である。 本発明の実施形態に係る基板収納容器1のボトムプレート6に対して溝部材7を取付けている様子を示す斜視図である。 本発明の実施形態に係る基板収納容器1のボトムプレート6に対して溝部材7を取付けている様子を示す拡大斜視図である。
 以下、本発明の第1実施形態に係る基板収納容器1について、図面を参照しながら説明する。図1は、本発明の実施形態に係る基板収納容器1を示す分解斜視図である。図2Aは、本発明の実施形態に係る基板収納容器1を示す底面図である。図2Bは、本発明の実施形態に係る基板収納容器1を示す拡大底面図である。図3Aは、図2BのA-A線に沿った要部拡大断面図である。図3Bは、図2BのB-B線に沿った要部拡大断面図である。
 図4Aは、本発明の実施形態に係る基板収納容器1の溝部材7を示す下方斜視図である。図4Bは、本発明の実施形態に係る基板収納容器1の溝部材7を示す上方斜視図である。図4Cは、本発明の実施形態に係る基板収納容器1の溝部材7を示す底面図である。図4Dは、本発明の実施形態に係る基板収納容器1の溝部材7を示す平面図である。図4Eは、本発明の実施形態に係る基板収納容器1の溝部材7を示す側面図である。図4Fは、本発明の実施形態に係る基板収納容器1の溝部材7を示す正面図である。
 図5Aは、本発明の実施形態に係る基板収納容器1の容器本体2から溝部材7が取外された様子を示す底面図である。図5Bは、本発明の実施形態に係る基板収納容器1の容器本体2から溝部材7が取外された様子を示す拡大底面図である。図6Aは、本発明の実施形態に係る基板収納容器1のボトムプレート6に対して溝部材7を取付けている様子を示す斜視図である。図6Bは、本発明の実施形態に係る基板収納容器1のボトムプレート6に対して溝部材7を取付けている様子を示す拡大斜視図である。
 ここで、説明の便宜上、後述の容器本体2から蓋体3へ向かう方向(図1における左下方向)を前方向D11と定義し、その反対の方向を後方向D12と定義し、これらを前後方向D1と定義する。また、後述の下壁24から上壁23へと向かう方向(図1における上方向)を上方向D21と定義し、その反対の方向を下方向D22と定義し、これらを上下方向D2と定義する。また、後述する第2側壁26から第1側壁25へと向かう方向(図1における左上方向)を左方向D31と定義し、その反対の方向を右方向D32と定義し、これらを左右方向D3と定義する。
 また、基板収納容器1に収納される基板W(図1参照)は、円盤状のシリコンウェーハ、ガラスウェーハ、サファイアウェーハ等であり、産業に用いられる薄いものである。本実施形態における基板Wは、直径450mmのシリコンウェーハである。
 図1に示すように、基板収納容器1は、容器本体2と、蓋体3と、溝部材7(図2A等参照)とを有している。
 容器本体2は、一端部に容器本体開口部21が形成され、他端部が閉塞された筒状の壁部20を有する。容器本体2内には基板収納空間27が形成されている。基板収納空間27は、壁部20により取り囲まれて形成されている。壁部20の部分であって基板収納空間27を形成している部分には、基板支持板状部5が配置されている。基板収納空間27には、複数の基板Wを収納可能である。
 基板支持板状部5は、基板収納空間27内において左右方向D3に対をなすように壁部20に設けられている。基板支持板状部5は、蓋体3によって容器本体開口部21が閉塞されていないときに、隣接する基板W同士を所定の間隔で離間させて並列させた状態で、複数の基板Wの縁部を支持可能である。基板支持板状部5の奥側には、奥側基板支持部(図示せず)が設けられている。奥側基板支持部(図示せず)は、蓋体3によって容器本体開口部21が閉塞されているときに、複数の基板Wの縁部の後部を支持可能である。
 蓋体3は、容器本体開口部21に対して着脱可能であり、容器本体開口部21を閉塞可能である。蓋体3の部分であって蓋体3によって容器本体開口部21が閉塞されているときに基板収納空間27に対向する部分(図1に示す蓋体3の裏側の面)には、フロントリテーナ(図示せず)が設けられている。フロントリテーナ(図示せず)は、奥側基板支持部(図示せず)と対をなすように配置されている。
 フロントリテーナ(図示せず)は、蓋体3によって容器本体開口部21が閉塞されているときに、複数の基板Wの縁部の前部を支持可能である。フロントリテーナ(図示せず)は、蓋体3によって容器本体開口部21が閉塞されているときに、奥側基板支持部(図示せず)と協働して複数の基板Wを支持することにより、隣接する基板W同士を所定の間隔で離間させて並列させた状態で、複数の基板Wを保持する。
 図2Aに示すように、溝部材7は、下方に開口するV字状の溝701を有しており、容器本体2の下部に3つ配置されている。V字状の溝701には、基板収納容器1を支持する支持部材(図示せず)が係合可能である。
 図1に示すように、壁部20を構成する後述する一対の側壁25、26には、側壁25、26の外面に沿うように、ハンドリング部材8がそれぞれ一対の側壁の外面に対向して配置されて設けられている。ハンドリング部材8のリブ82の下部がフォークリフト(図示せず)のフォークにより支持されることによって、基板収納容器1はフォークリフトにより持ち上げることができる。以下、各部について、詳細に説明する。
 図1に示すように、容器本体2の壁部20は、奥壁22と上壁23と下壁24と第1側壁25と第2側壁26とを有する。奥壁22、上壁23、下壁24、第1側壁25、及び第2側壁26は、プラスチック材等により構成されており、第1実施形態では、ポリカーボネートにより一体成形されて構成されている。
 第1側壁25と第2側壁26とは対向しており、上壁23と下壁24とは対向している。上壁23の後端、下壁24の後端、第1側壁25の後端、及び第2側壁26の後端は、全て奥壁22に接続されている。上壁23の前端、下壁24の前端、第1側壁25の前端、及び第2側壁26の前端は、奥壁22に対向する位置関係を有し、略長方形状をした容器本体開口部21を形成する開口周縁部28を構成する。
 開口周縁部28は、容器本体2の一端部に設けられており、奥壁22は、容器本体2の他端部に位置している。壁部20の外面により形成される容器本体2の外形は箱状である。壁部20の内面、即ち、奥壁22の内面、上壁23の内面、下壁24の内面、第1側壁25の内面、及び第2側壁26の内面は、これらによって取り囲まれた基板収納空間27を形成している。開口周縁部28に形成された容器本体開口部21は、壁部20により取り囲まれて容器本体2の内部に形成された基板収納空間27に連通している。基板収納空間27には、最大で25枚の基板Wを、基板Wの上面及び下面が略水平となる位置関係で収納可能である。
 図1に示すように、上壁23及び下壁24の部分であって、開口周縁部28の近傍の部分には、基板収納空間27の外方へ向かって窪んだラッチ係合凹部231A、231B、241A、241Bが形成されている。ラッチ係合凹部231A、231B、241A、241Bは、上壁23及び下壁24の左右両端部近傍に1つずつ、計4つ形成されている。
 図1に示すように、上壁23の外面においては、フランジ固定部(図示せず)及びリブ235A、235Bが、上壁23と一体成形されて設けられている。フランジ固定部(図示せず)は、上壁23の中央部に配置されている。フランジ固定部(図示せず)には、図1に示すように、トップフランジ236が固定される。トップフランジ236は、上壁23の中央部に配置されている。トップフランジ236は、AMHS(自動ウェーハ搬送システム)、PGV(ウェーハ基板搬送台車)等において基板収納容器1を吊り下げる際に、吊り上げ部材としてのこれらの機械のアーム(図示せず)に掛けられ、これにより基板収納容器1は、アームに吊り下げられる。
 上壁には、リブ235A、235Bが設けられている。リブ235Aは、トップフランジ236から左前方向、右前方向にそれぞれ複数本延びている。また、リブ235Bは、トップフランジ236から前方向D11に複数本延びており、また、トップフランジ236から後方向D12に複数本延びている。
 下壁24には、ボトムプレート6が固定されている。ボトムプレート6は、下壁24の外面を構成する下面242(図3A等参照)の略全面に対向して配置される略長方形状の板状を有しており、図2Aに示すように、ネジ243によって下壁24に固定されている。ボトムプレート6と下壁24との間には、空間244(図3A等参照)が形成されている。なお、下壁24へのボトムプレート6の固定は、ネジ243に限定されない。ネジ243での固定の他に、ネジ243に代えて接着や溶着等により固定してもよい。
 図6A等に示すように、ボトムプレート6には、挿入貫通孔61が形成されている。挿入貫通孔61は、略長円形状を有しており、挿入貫通孔61には、溝部材7を挿入可能である。なお、図6A及び図6Bにおいては、便宜上ボトムプレート6及び溝部材7のみを図示している。挿入貫通孔61は、図2Aに示すように、ボトムプレート6の中央を中心として、ボトムプレート6の周方向に120°間隔で位置している。挿入貫通孔61は、ボトムプレート6の中央を中心として長手方向が放射状となる位置関係を有している。
 図5Bに示すように、挿入貫通孔61の長手方向における挿入貫通孔61の幅方向の両端部分には、被係止部挿入部611が形成されている。被係止部挿入部611が形成されていることにより、被係止部挿入部611が形成されている部分の挿入貫通孔61の幅は広く形成されている。被係止部挿入部611には、後述の溝部材7の被係止部73を挿入可能である。ボトムプレート6の部分により構成されている挿入貫通孔61の周囲の周縁部分であって被係止部挿入部611を形成している部分は、係止部を構成しており、上方向へ突出する係止部凸部612(図3A等参照)を有している。
 図5Bに示すように、ボトムプレート6の挿入貫通孔61に対向する下壁24の下面242の部分には、2本のレール245が存在している。2本のレール245は、下壁24の下面242に沿って、挿入貫通孔61の長手方向へ平行に延びており、下方向D22へ向けて突出している。底面視で2本のレール245の一端及び他端から更に、2本のレール245をそれぞれ延長するように、一対のレール延長部246が下壁24の下面242に沿って存在している。底面視で一対のレール延長部246は、それぞれ湾曲しており、下壁24の下面242に沿って互いに離間するように延びている。
 レール延長部246の下方向D22への突出量は、2本のレール245の同方向への突出量よりも小さい。また、2本のレール245に接続されている一対のレール延長部246の部分には、それぞれ、2本のレール245の延びる方向に直交する方向へ延びる直交延出部247が存在している。直交延出部247の下方向D22への突出量は、レール延長部246の同方向への突出量と同一である。
 図4B等に示すように、溝部材7は、溝形成部71と、周回壁部72と、被係止部73と、リブ部としての一対の平行壁部74と、を有しており、下壁24及びボトムプレート6に支持され固定される。また、溝部材7は、図4Cに示す底面視における中央位置を中心とする点対称形状を有している。なお、図4A~図4Fにおいては、図2A中に図示した3つの溝部材7のうちの最も後方向(D12)に位置している溝部材7を図示している。
 図4A、図4B等に示すように、周回壁部72は、略筒状を有しており、周回壁部72の軸方向としての上下方向D2に直交する断面は、挿入貫通孔61よりも僅かに小さい長円形状を有している。周回壁部72の径方向における厚さは、4mm程度であり、厚肉に構成されている。周回壁部72は、溝形成部71の周囲を周回して取囲むように配置されている。長円形状の周回壁部72の長手方向における中央部には、周回壁部72の軸方向における上端から下端へ向かって形成された矩形の切欠き723が一対形成されている。
 溝形成部71は、切妻状部711と、一対の半円錐状部712と、を有する。一対の半円錐状部712は、あたかも1つの円錐がその軸心を含む面により半分に切断されたような形状を有する。但し、実際には、一対の半円錐状部712は、1つの円錐が切断されて形成されたのではなく、切妻状部711、周回壁部72、被係止部73、及び平行壁部74と一体的成形されて形成されている。
 切妻状部711は、切妻屋根形状を有している。切妻状部711の長手方向における端面は、前述のように、あたかも1つの円錐が半分に切断されて構成されたかのような形状を有する一対の半円錐状部712の端面であって、当該切断面に相当する端面に一体成形されて接続されている。従って切妻状部711は、溝形成部71の中央部を構成している。
 切妻状部711の下面により、下方へ向けて開口するV字状の溝701が形成されている。切妻状部711の長手方向において、V字状の溝701の端部は、半円錐状部712の下面により閉じられている。切妻状部711の下端部713は、周回壁部72の下端部721と一体成形されて接続されており、また、半円錐状部712の下端部714は、周回壁部72の下端部721と一体成形されて接続されている。従って、略筒状を有する周回壁部72の一端部としての下端部721の全体は、溝形成部71を構成する切妻状部711及び半円錐状部712に接続されている。V字状の溝701は、周回壁部72の軸方向(上下方向D2)における、周回壁部72の一端部としての下端部721において開口している。切妻状部711及び半円錐状部712の厚さは、周回壁部72の厚さと同様に、4mm程度であり、厚肉に構成されている。
 図4B、図4Dに示すように、溝701の底部を形成している切妻状部711の溝底形成部715は直線状を有している。溝底形成部715の長手方向における両端部には、それぞれ平面視で略コの字状の位置決め凸部716が存在している。位置決め凸部716は、切妻状部711の溝底形成部715の端部を略コの字状に取囲むようにして位置しており、溝底形成部715の上端面よりも上方に突出している。溝底形成部715の長手方向における一端部の位置決め凸部716と、溝底形成部715の長手方向における他端部の位置決め凸部716とは、それぞれ2本のレール245の間に嵌合可能である。この嵌合により、溝部材7は、2本のレール245に直交する方向において位置決めされる。
 図4B、図4Dに示すように、リブ部としての一対の平行壁部74は、切妻状部711と半円錐状部712との接続部分において、切妻状部711及び半円錐状部712に一体成形されて接続されている。一対の平行壁部74は、切妻状部711及び半円錐状部712の上側に位置しており、切妻状部711の長手方向に直交する方向に、平行な位置関係を有している。一対の平行壁部74の上端面741と、位置決め凸部716の上端面と、周回壁部72の上端面とは、面一の位置関係を有している。一対の平行壁部74の上端面741は、溝部材7の上端面を構成している。
 図4Bに示すように、切妻状部711の長手方向に直交する方向における一対の平行壁部74の両端部は、周回壁部72の内面724の一部分と、当該内面724の一部分とは異なる周回壁部72の内面724の他の部分とに、それぞれ一体成形されて接続されている。一対の平行壁部74の端部の下端部は、切妻状部711の長手方向における両端部の上面に一体成形されて接続されている。互いに対向する一対の平行壁部74の側面には、2本のレール245の長手方向における両端がそれぞれ当接可能である。この当接により、溝部材7は、2本のレール245の長手方向において位置決めされる。
 一対の平行壁部74の上端面741であって、位置決め凸部716と、周回壁部72に接続されている平行壁部74の端部との間の部分には、高さ調整凸部742が存在している。高さ調整凸部742は、平行壁部74の上端面741と一体成形されて接続されている。高さ調整凸部742は、平行壁部74の上端面741から上方向D21へ突出しており、下壁24の直交延出部247(図5B参照)の下端面に当接可能である。この当接により、ガタが発生しない状態で、溝部材7が下壁24及びボトムプレート6に固定される。
 図4C、図4Eに示すように、周回壁部72の一端部における溝形成部71と周回壁部72との接続部分には、水抜き貫通孔702が形成されている。水抜き貫通孔702は、平行壁部74の下端部を挟むように対をなして、平行壁部74の下端部に隣接して、計8つ形成されている。水抜き貫通孔702が形成されている周回壁部72の部分には、周回壁部72の下端部721から上端部722へ向かうように形成された矩形状の水抜き用切欠き725が形成されており、対をなす水抜き貫通孔702は、それぞれ水抜き用切欠き725に連通している。そして、水抜き貫通孔702は、周回壁部72の内側空間と周回壁部72の外側空間とを連通する。
 図4Dに示すように、より具体的には、水抜き貫通孔702は、周回壁部72の内面724と半円錐状部712の上面と平行壁部74とによって囲まれる空間703、又は、周回壁部72の内面724と切妻状部711の上面と一対の平行壁部74とによって囲まれる空間704と、周回壁部72の外側空間とを連通する。水抜き貫通孔702は、基板収納容器1を洗浄する際に、周回壁部72の内面724と半円錐状部712の上面と平行壁部74とによって囲まれる空間703、又は、周回壁部72の内面724と切妻状部711の上面と一対の平行壁部74の端部とによって囲まれる空間704に溜まった洗浄液を、周回壁部72の外側空間へ排出する。
 被係止部73は、弾性変形可能な片持ちバネにより構成されている。図4F等に示すように、被係止部73の基部731は、周回壁部72の軸方向(上下方向D2)における周回壁部72の他端部としての上端部722に一体成形されて接続されている。被係止部73は、周回壁部72の軸方向における周回壁部72の上端部722から、周回壁部72の外面に沿って、周回壁部72の軸方向における周回壁部72の一端部としての下端部721の方へ延出している。被係止部73の自由端732は、上下方向D2において周回壁部72の下端部721よりも僅かに上方位置している。
 図4Eに示すように、側方視で被係止部73には、切欠き723と一致する位置関係を有するバネ切欠き733が、形成されている。バネ切欠き733が形成されていることにより、被係止部73の上半分の部分は、下半部に対して二股に分岐する形状を有している。被係止部73の下半分の部分は、板状部734と被係止凸部735とを有している。板状部734は、被係止部73の延出端部に位置しており、片持ちバネの自由端の部分を構成している。
 被係止凸部735は、板状部734よりも、片持ちバネにより構成される被係止部73の基部側であって、二股に分岐する被係止部73の上半分の部分よりも下側位置に存在している。被係止凸部735は、周回壁部72から離間する方向へ、板状部734よりも突出している。図4Fに示すように、溝部材7の正面視で被係止凸部735は、上方向D21へ向かうにつれて、周回壁部72に近づくような略直角二等辺三角形状を有している。溝部材7が、挿入貫通孔61(図5A等参照)に挿入されてゆくにつれて、被係止部73は、弾性変形してゆく。そして被係止凸部735の下端面736が係止部凸部612(図3A等参照)の上端面613に当接して、被係止部73は、係止部に係止される。
 図1に示すように、蓋体3は、容器本体2の開口周縁部28の形状と略一致する略長方形状を有している。蓋体3は容器本体2の開口周縁部28に対して着脱可能であり、開口周縁部28に蓋体3が装着されることにより、蓋体3は、容器本体開口部21を閉塞可能である。蓋体3の内面(図1に示す蓋体3の裏側の面)であって、蓋体3が容器本体開口部21を閉塞しているときの開口周縁部28のすぐ後方向D12の位置に形成された段差の部分の面(シール面)に対向する面には、環状のシール部材4が取り付けられている。シール部材4は、弾性変形可能なPOE(ポリオキシエチレン)製、PEE製をはじめ、ポリエステル系、ポリオレフィン系など各種熱可塑性エラストマー、フッ素ゴム製、シリコンゴム製等である。シール部材4は、蓋体3の外周縁部を一周するように配置されている。
 蓋体3が開口周縁部28に装着されたときに、シール部材4は、前述した段差の部分の面(シール面)と蓋体3の内面とにより挟まれて弾性変形し、蓋体3は、容器本体開口部21を密閉した状態で閉塞する。開口周縁部28から蓋体3が取り外されることにより、容器本体2内の基板収納空間27に対して、基板Wを出し入れ可能となる。
 蓋体3においては、ラッチ機構が設けられている。ラッチ機構は、蓋体3の左右両端部近傍に設けられており、図1に示すように、蓋体3の上辺から上方向D21へ突出可能な2つの上側ラッチ部32Aと、蓋体3の下辺から下方向D22へ突出可能な2つの下側ラッチ部(図示せず)と、を備えている。2つの上側ラッチ部32Aは、蓋体3の上辺の左右両端近傍に配置されており、2つの下側ラッチ部は、蓋体3の下辺の左右両端近傍に配置されている。
 蓋体3の外面においては操作部33が設けられている。操作部33を蓋体3の前側から操作することにより、上側ラッチ部32A、下側ラッチ部(図示せず)を蓋体3の上辺、下辺から突出させることができ、また、上辺、下辺から突出しない状態とさせることができる。上側ラッチ部32Aが蓋体3の上辺から上方向D21へ突出して、容器本体2のラッチ係合凹部231A、231Bに係合し、且つ、下側ラッチ部が蓋体3の下辺から下方向D22へ突出して、容器本体2のラッチ係合凹部241A、241Bに係合することにより、蓋体3は、容器本体2の開口周縁部28に固定される。
 蓋体3の内側においては、基板収納空間27の外方へ窪んだ凹部(図示せず)が形成されている。凹部(図示せず)には、フロントリテーナ(図示せず)が固定されて設けられている。
 フロントリテーナは、フロントリテーナ基板受け部(図示せず)を有している。フロントリテーナ基板受け部は、左右方向D3に所定の間隔で離間して対をなすようにして2つずつ配置されている。このように対をなすようにして2つずつ配置されたフロントリテーナ基板受け部は、上下方向D2に25対並列した状態で設けられている。基板収納空間27内に基板Wが収納され、蓋体3が閉じられることにより、フロントリテーナ基板受け部は、基板Wの縁部の端縁を挟持して支持する。
 上記構成による基板収納容器1において、下壁24及びボトムプレート6に対する溝部材7の着脱は、以下のようにして行われる。
 先ず、図6A、図6Bに示すように、溝部材7を溝701が下方に開口する位置関係として、挿入貫通孔61に溝部材7を挿入してゆく。すると、被係止凸部735(図3A等参照)の突出端は、ボトムプレート6の部分により構成されている被係止部挿入部611を形成している部分に当接する。これにより、片持ちバネにより構成される被係止部73が弾性変形して、溝部材7の長手方向に直交する幅方向において、被係止部73が周回壁部72にそれぞれ接近した状態となる。
 更に、挿入貫通孔61に溝部材7を挿入してゆくと、図3Aに示すように、被係止凸部735が係止部凸部612の上端面613よりも上方へ位置し、ボトムプレート6の部分により構成されている被係止部挿入部611を形成している部分に板状部734が当接する。これと同時に、被係止凸部735の下端面736が係止部凸部612の上端面613に当接して、被係止部73が係止部凸部612に係止される。この係止により、溝部材7は、ボトムプレート6に支持され、ボトムプレート6に対して固定される。
 これと同時に、高さ調整凸部742は、下壁24の直交延出部247の下端面に当接する。このとき、溝底形成部715の長手方向における一端部の位置決め凸部716と、溝底形成部715の長手方向における他端部の位置決め凸部716とは、図3Bに示すように、同時にそれぞれ2本のレール245の間に嵌合する。これらにより、溝部材7は、下壁24に支持され、下壁24に対して固定される。
 溝部材7を下壁24及びボトムプレート6から取外す際には、先ず、一対の被係止部73の板状部734を周回壁部72に接近させるように、板状部734を押圧して、被係止部73を弾性変形させる。これにより、ボトムプレート6の部分により構成されている被係止部挿入部611を形成している部分から、板状部734が離間する。そして、被係止凸部735の下端面736が係止部凸部612の上端面613に対向しない位置関係となったときに、溝部材7を挿入貫通孔61から引き抜く。これにより、溝部材7は、ボトムプレート6及び下壁24から取外される。
 上記構成の第1実施形態に係る基板収納容器1によれば、以下のような効果を得ることができる。
 溝部材7は、下方へ向けて開口する溝701が形成された溝形成部71と、溝形成部71に接続され溝形成部71の周囲を周回するように配置された周回壁部72と、周回壁部72に接続され、弾性変形可能であり、弾性変形することにより、ボトムプレート6の係止部(挿入貫通孔61の周囲の周縁部分であって被係止部挿入部611を形成している部分)に係止される被係止部73と、を有する。
 このため、溝形成部71及び周回壁部72を肉厚に構成して、強固な周回壁部72により強固な溝形成部71を取囲んで溝部材7を頑丈な構成とすることができる。この結果、大型化した基板収納容器1の荷重に耐えることができる溝部材7を有する基板収納容器1とすることができる。また、溝部材7を頑丈な構成とすることができるため、溝形成部71や周回壁部72の変形を極力抑えることができ、溝部材7を高い精度でボトムプレート6及び下壁24に対して位置決めをして固定することができる。
 また、溝形成部71は、周回壁部72の周回方向に対する軸方向における周回壁部72の一端部(下端部721)に接続され、溝701は、周回壁部72の軸方向における周回壁部72の一端部(下端部721)において開口し、被係止部73は、周回壁部72の軸方向における周回壁部72の他端部(上端部722)に接続されている。このため、溝部材7にかかる荷重を、周回壁部72の軸方向における周回壁部72の一端部と他端部とに(下端部721と上端部722とに)分散させることができ、溝部材7の耐久性を高めることができる。
 また、被係止部73は、周回壁部72の軸方向における周回壁部72の他端部(上端部722)から、周回壁部72の外面に沿って、周回壁部72の軸方向における周回壁部72の一端部(下端部721)の方へ延出する片持ちバネにより構成されている。このため、片持ちバネの付勢力に抗して片持ちバネを弾性変形させて、係止部に被係止部73を係合させたり、係止部から被係止部73を係合解除させたりすることができる。従って、被係止部73の係止部に対する着脱を容易とすることができる。
 また、ボトムプレート6には、溝部材7を挿入可能な挿入貫通孔61が形成され、ボトムプレート6の係止部は、ボトムプレート6の部分であって挿入貫通孔61の周囲の周縁部分により構成され、片持ちバネは、片持ちバネの延出端部に位置する板状部734と、板状部734よりも片持ちバネの基端部側に位置し周回壁部72から離間する方向へ突出する被係止凸部735と、を有し、被係止凸部735は、周縁部分に係止される。
 このため、板状部734を押圧することにより、容易に被係止部73を弾性変形させることができ、被係止部73の係止部に対する着脱を容易とすることができる。この結果、圧入等により溝部材7を下壁24やボトムプレート6に固定しなくてよいため、摩耗や破損が生ずることを極力抑えることができる。
 また、溝部材7が挿入貫通孔61内に挿入されてボトムプレート6と下壁24との間に形成される空間244内に収容されることにより、ボトムプレート6の外側に露出される溝部材7の部分を、主としてV字状の溝701を形成している部分(溝形成部71)のみとすることきができ、溝部材7の大部分をボトムプレート6により保護することができる。この結果、溝部材7に他の部材が接触することにより溝部材7がボトムプレート6及び下壁24から外れてしまうことを極力抑えることができる。
 また、前記リブ部を構成する平行壁部74の上端面741には、平行壁部74の上端面から上方へ突出し前記下壁24に当接する高さ調整凸部742が存在する。このため、高さ調整凸部742を適切な高さに設定することで、溝部材7をガタ付きなく下壁24及びボトムプレート6に固定することができる。
 また、溝形成部71の部分であって溝701の底部を形成している溝底形成部715は、直線状を有し、溝底形成部715の両端には、溝底形成部715の両端から突出する位置決め凸部716が存在する。下壁24の下面242には、下壁24の下面242に沿って平行に延びる2本のレール245が下方へ向けて突出して存在している。そして、2本のレール245間に位置決め凸部716は嵌合可能である。この嵌合により、溝部材7を下壁24に対して容易に位置決めすることができる。
 また、溝形成部71は、周回壁部72の周回方向に対する軸方向における周回壁部72の一端部の全体にわたって接続され、溝701は、周回壁部72の軸方向における周回壁部72の一端部(下端部721)において開口し、周回壁部72の一端部(下端部721)における溝形成部71と周回壁部72との接続部分には、周回壁部72の内側空間と周回壁部72の外側空間とを連通する水抜き貫通孔702が形成されている。このため、基板収納容器1を洗浄する際に、水抜き貫通孔702を通して、溝形成部71の上面と周回壁部72とにより囲まれる空間に流入した洗浄液等を当該空間外へ排出することができる。この結果、溝形成部71の上面と周回壁部72とにより囲まれる空間に洗浄液等が溜まることを防止することができる。
 また、溝部材7は、図4Cに示す底面視における中央位置を中心とする点対称形状を有している。このため、溝部材7をボトムプレート6及び下壁24に取付ける際に、溝部材7の方向を気にせずに、取付けを容易とすることができる。
 本発明は、上述した実施形態に限定されることはなく、特許請求の範囲に記載された技術的範囲において変形が可能である。例えば、基板収納容器1の形状や構成は、上述した実施形態の形状や構成に限定されない。具体的には、例えば、被係止凸部735の下端面736は、係止部凸部612の上端面に当接して、被係止部73は、係止部に係止されたが、この構成に限定されない。例えば、ボトムプレート6の部分であって挿入貫通孔61の周囲の周縁部分には係止部凸部612が設けられておらず、被係止凸部735は、当該周縁部分に係止される構成であってもよい。
1 基板収納容器
2 容器本体
3 蓋体
6 ボトムプレート
7 溝部材
20 壁部
21 容器本体開口部
22 奥壁
23 上壁
24 下壁
25 第1側壁
26 第2側壁
27 基板収納空間
61 挿入貫通孔
71 溝形成部
72 周回壁部
73 被係止部
74 平行壁部(リブ部)
245 レール
701 溝
702 水抜き貫通孔
715 溝底形成部
716 位置決め凸部
724 内面
734 板状部
735 被係止凸部
742 高さ調整凸部
W 基板

Claims (7)

  1.  一端部に容器本体開口部が形成され他端部が閉塞された筒状の壁部であって、奥壁、上壁、下壁、及び一対の側壁を有し前記上壁の一端部、前記下壁の一端部、及び前記側壁の一端部によって前記容器本体開口部が形成された壁部を備え、前記上壁の内面、前記下壁の内面、前記側壁の内面、及び前記奥壁の内面によって、複数の基板を収納可能であり前記容器本体開口部に連通する基板収納空間が形成された容器本体と、
     前記容器本体開口部に対して着脱可能であり、前記容器本体開口部を閉塞可能な蓋体と、
     板状を有し前記下壁の外面に対向して配置され係止部を有するボトムプレートと、
     下方へ向けて開口する溝が形成された溝形成部と、前記溝形成部に接続され前記溝形成部の周囲を周回するように配置された周回壁部と、前記周回壁部に接続され、弾性変形可能であり、弾性変形することにより、前記ボトムプレートの前記係止部に係止される被係止部と、を有し、前記下壁及び前記ボトムプレートに支持され固定される溝部材と、を備える基板収納容器。
  2.  前記溝形成部は、前記周回壁部の周回方向に対する軸方向における前記周回壁部の一端部に接続され、前記溝は、前記周回壁部の前記軸方向における前記周回壁部の一端部において開口し、
     前記被係止部は、前記周回壁部の前記軸方向における前記周回壁部の他端部に接続されている請求項1に記載の基板収納容器。
  3.  前記被係止部は、前記周回壁部の前記軸方向における前記周回壁部の他端部から、前記周回壁部の外面に沿って、前記周回壁部の前記軸方向における前記周回壁部の一端部の方へ延出する片持ちバネにより構成されている請求項2に記載の基板収納容器。
  4.  前記ボトムプレートには、前記溝部材を挿入可能な挿入貫通孔が形成され、前記ボトムプレートの前記係止部は、前記ボトムプレートの部分であって前記挿入貫通孔の周囲の周縁部分により構成され、
     前記片持ちバネは、前記片持ちバネの延出端部に位置する板状部と、前記板状部よりも前記片持ちバネの基端部側に位置し前記周回壁部から離間する方向へ前記板状部よりも突出する被係止凸部と、を有し、
     前記被係止凸部は、前記周縁部分に係止される請求項3に記載の基板収納容器。
  5.  前記溝部材は、前記周回壁部の内面の一部分と、前記内面の一部分とは異なる前記周回壁部の内面の他の部分と、前記溝形成部と、に接続されたリブ部を備え、前記リブ部の上端面は前記溝部材の上端面を構成し、
     前記リブ部の上端面には、前記リブ部の上端面から上方へ突出し前記下壁に当接する高さ調整凸部が存在する請求項1~請求項4のいずれかに記載の基板収納容器。
  6.  前記溝形成部の部分であって前記溝の底部を形成している溝底形成部は、直線状を有し、前記溝底形成部の両端には、前記溝底形成部の両端から突出する位置決め凸部が存在し、
     前記下壁の下面には、前記下壁の下面に沿って平行に延びる2本のレールが下方へ向けて突出して存在し、
     前記2本のレール間に前記位置決め凸部は嵌合可能である請求項1~請求項5のいずれかに記載の基板収納容器。
  7.  前記溝形成部は、前記周回壁部の周回方向に対する軸方向における前記周回壁部の一端部の全体にわたって接続され、前記溝は、前記周回壁部の前記軸方向における前記周回壁部の一端部において開口し、
     前記周回壁部の一端部における前記溝形成部と前記周回壁部との接続部分には、前記周回壁部の内側空間と前記周回壁部の外側空間とを連通する水抜き貫通孔が形成されている請求項1~請求項6のいずれかに記載の基板収納容器。
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