KR20230147647A - 패널 수납 용기 - Google Patents
패널 수납 용기 Download PDFInfo
- Publication number
- KR20230147647A KR20230147647A KR1020237030263A KR20237030263A KR20230147647A KR 20230147647 A KR20230147647 A KR 20230147647A KR 1020237030263 A KR1020237030263 A KR 1020237030263A KR 20237030263 A KR20237030263 A KR 20237030263A KR 20230147647 A KR20230147647 A KR 20230147647A
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- peripheral surface
- flange
- cover body
- storage container
- frame material
- Prior art date
Links
- 238000003860 storage Methods 0.000 title claims abstract description 70
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims abstract description 124
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 148
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 claims description 35
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims description 23
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims description 23
- 239000007769 metal material Substances 0.000 claims description 19
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 claims description 12
- 238000003780 insertion Methods 0.000 description 42
- 230000037431 insertion Effects 0.000 description 42
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 31
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 18
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 description 15
- 230000004308 accommodation Effects 0.000 description 12
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 9
- 238000000034 method Methods 0.000 description 9
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 9
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 9
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 8
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 8
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 7
- 210000000078 claw Anatomy 0.000 description 5
- 239000002216 antistatic agent Substances 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 4
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 4
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 4
- 229920001971 elastomer Polymers 0.000 description 3
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 3
- NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N novaluron Chemical compound C1=C(Cl)C(OC(F)(F)C(OC(F)(F)F)F)=CC=C1NC(=O)NC(=O)C1=C(F)C=CC=C1F NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000005060 rubber Substances 0.000 description 3
- 239000004925 Acrylic resin Substances 0.000 description 2
- 229920000178 Acrylic resin Polymers 0.000 description 2
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229920000049 Carbon (fiber) Polymers 0.000 description 2
- 229920000089 Cyclic olefin copolymer Polymers 0.000 description 2
- 229920002943 EPDM rubber Polymers 0.000 description 2
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 2
- 239000004917 carbon fiber Substances 0.000 description 2
- 239000004918 carbon fiber reinforced polymer Substances 0.000 description 2
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 2
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 2
- 239000012778 molding material Substances 0.000 description 2
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 2
- 229920000515 polycarbonate Polymers 0.000 description 2
- 239000004417 polycarbonate Substances 0.000 description 2
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 2
- 238000004381 surface treatment Methods 0.000 description 2
- 229920005992 thermoplastic resin Polymers 0.000 description 2
- PQJZHMCWDKOPQG-UHFFFAOYSA-N 2-anilino-2-oxoacetic acid Chemical compound OC(=O)C(=O)NC1=CC=CC=C1 PQJZHMCWDKOPQG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000838 Al alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920001651 Cyanoacrylate Polymers 0.000 description 1
- YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N Fluorine atom Chemical compound [F] YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920000106 Liquid crystal polymer Polymers 0.000 description 1
- 239000004977 Liquid-crystal polymers (LCPs) Substances 0.000 description 1
- MWCLLHOVUTZFKS-UHFFFAOYSA-N Methyl cyanoacrylate Chemical compound COC(=O)C(=C)C#N MWCLLHOVUTZFKS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000861 Mg alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004696 Poly ether ether ketone Substances 0.000 description 1
- 229930182556 Polyacetal Natural products 0.000 description 1
- 239000004697 Polyetherimide Substances 0.000 description 1
- PPBRXRYQALVLMV-UHFFFAOYSA-N Styrene Natural products C=CC1=CC=CC=C1 PPBRXRYQALVLMV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BZHJMEDXRYGGRV-UHFFFAOYSA-N Vinyl chloride Chemical compound ClC=C BZHJMEDXRYGGRV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000006096 absorbing agent Substances 0.000 description 1
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 1
- 150000001412 amines Chemical class 0.000 description 1
- 125000000129 anionic group Chemical group 0.000 description 1
- QRUDEWIWKLJBPS-UHFFFAOYSA-N benzotriazole Chemical compound C1=CC=C2N[N][N]C2=C1 QRUDEWIWKLJBPS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000012964 benzotriazole Substances 0.000 description 1
- NTXGQCSETZTARF-UHFFFAOYSA-N buta-1,3-diene;prop-2-enenitrile Chemical compound C=CC=C.C=CC#N NTXGQCSETZTARF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002041 carbon nanotube Substances 0.000 description 1
- 229910021393 carbon nanotube Inorganic materials 0.000 description 1
- 125000002091 cationic group Chemical group 0.000 description 1
- 230000003749 cleanliness Effects 0.000 description 1
- 229920001940 conductive polymer Polymers 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 229920001577 copolymer Polymers 0.000 description 1
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 1
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 description 1
- 239000003365 glass fiber Substances 0.000 description 1
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 1
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 238000005304 joining Methods 0.000 description 1
- VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N methane Chemical compound C VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920001643 poly(ether ketone) Polymers 0.000 description 1
- 229920003229 poly(methyl methacrylate) Polymers 0.000 description 1
- -1 polybutylene terephthalate Polymers 0.000 description 1
- 229920001707 polybutylene terephthalate Polymers 0.000 description 1
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 1
- 229920002530 polyetherether ketone Polymers 0.000 description 1
- 229920001601 polyetherimide Polymers 0.000 description 1
- 239000004926 polymethyl methacrylate Substances 0.000 description 1
- 229920006324 polyoxymethylene Polymers 0.000 description 1
- YGSDEFSMJLZEOE-UHFFFAOYSA-M salicylate Chemical compound OC1=CC=CC=C1C([O-])=O YGSDEFSMJLZEOE-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 229960001860 salicylate Drugs 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 229920002379 silicone rubber Polymers 0.000 description 1
- 239000004945 silicone rubber Substances 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65D—CONTAINERS FOR STORAGE OR TRANSPORT OF ARTICLES OR MATERIALS, e.g. BAGS, BARRELS, BOTTLES, BOXES, CANS, CARTONS, CRATES, DRUMS, JARS, TANKS, HOPPERS, FORWARDING CONTAINERS; ACCESSORIES, CLOSURES, OR FITTINGS THEREFOR; PACKAGING ELEMENTS; PACKAGES
- B65D85/00—Containers, packaging elements or packages, specially adapted for particular articles or materials
- B65D85/30—Containers, packaging elements or packages, specially adapted for particular articles or materials for articles particularly sensitive to damage by shock or pressure
- B65D85/48—Containers, packaging elements or packages, specially adapted for particular articles or materials for articles particularly sensitive to damage by shock or pressure for glass sheets
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65D—CONTAINERS FOR STORAGE OR TRANSPORT OF ARTICLES OR MATERIALS, e.g. BAGS, BARRELS, BOTTLES, BOXES, CANS, CARTONS, CRATES, DRUMS, JARS, TANKS, HOPPERS, FORWARDING CONTAINERS; ACCESSORIES, CLOSURES, OR FITTINGS THEREFOR; PACKAGING ELEMENTS; PACKAGES
- B65D81/00—Containers, packaging elements, or packages, for contents presenting particular transport or storage problems, or adapted to be used for non-packaging purposes after removal of contents
- B65D81/02—Containers, packaging elements, or packages, for contents presenting particular transport or storage problems, or adapted to be used for non-packaging purposes after removal of contents specially adapted to protect contents from mechanical damage
- B65D81/05—Containers, packaging elements, or packages, for contents presenting particular transport or storage problems, or adapted to be used for non-packaging purposes after removal of contents specially adapted to protect contents from mechanical damage maintaining contents at spaced relation from package walls, or from other contents
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/673—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Packaging Frangible Articles (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Rigid Containers With Two Or More Constituent Elements (AREA)
- Closures For Containers (AREA)
- Packages (AREA)
Abstract
패널 수납 용기는, 개구를 획정하는 플랜지를 포함하고, 복수의 패널을 수납하기 위한 용기 본체와, 개구를 폐색하기 위한 덮개체와, 덮개체가 개구를 폐색하고 있는 상태에서 서로 마주하는 덮개체의 외주면과 플랜지의 내주면의 사이에 마련된 볼록 형상의 보호 부재를 구비한다.
Description
본 개시는 패널 수납 용기에 관한 것이다.
액정 패널용 유리 기판 등의 패널을 취급하는 제조 공정에서, 직사각형 형상의 패널을 제조 장치로부터 다른 공정의 제조 장치로 이송할 때 및 패널을 일시적으로 보관할 때에, 복수의 패널을 수납하는 패널 수납 용기가 이용된다. 예컨대, 특허문헌 1에는, 패널을 수납하는 용기 본체와, 용기 본체에 마련된 개구부를 개폐 자유롭게 덮는 덮개체를 구비하는 패널 수납 용기가 기재되어 있다.
덮개체가 개폐될 때에, 덮개체의 주연(周緣)이 용기 본체의 개구부를 획정하는 개구연에 접촉하는 경우가 있다. 이 때, 덮개체 및 용기 본체 중 적어도 한쪽이 손상될 우려가 있다.
본 개시는, 손상을 억제 가능한 패널 수납 용기를 설명한다.
본 개시의 일 측면에 따른 패널 수납 용기는 개구를 획정하는 플랜지를 포함하고, 복수의 패널을 수납하기 위한 용기 본체와, 개구를 폐색하기 위한 덮개체와, 덮개체가 개구를 폐색하고 있는 상태에서 서로 마주하는 덮개체의 외주면과 플랜지의 내주면의 사이에 마련된 볼록 형상의 보호 부재를 구비한다.
이 패널 수납 용기에서는, 덮개체가 개구를 폐색하고 있는 상태에서 서로 마주하는 덮개체의 외주면과 플랜지의 내주면의 사이에 볼록 형상의 보호 부재가 마련되어 있다. 덮개체가 플랜지에 장착될 때, 또는 덮개체가 플랜지로부터 제거될 때에, 덮개체의 경사 등에 기인하여 덮개체의 외주면이 플랜지의 내주면에 접근하는 경우가 있다. 이와 같은 경우, 덮개체의 외주면은 플랜지의 내주면에 접촉하기 전에 보호 부재에 접촉할 수 있다. 따라서, 덮개체의 외주면이 플랜지의 내주면에 접촉할 가능성을 저감할 수 있다. 또한, 보호 부재는 볼록 형상이므로, 덮개체의 외주면과 플랜지의 내주면이 접촉한 경우의 접촉 면적과 비교하여, 덮개체의 외주면과 보호 부재의 접촉 면적은 작아진다. 그 결과, 패널 수납 용기의 손상을 억제하는 것이 가능해진다.
보호 부재는 플랜지의 내주면에 마련되어도 되고, 덮개체가 개구를 폐색하고 있는 상태에서 플랜지의 내주면으로부터 덮개체의 외주면을 향하여 돌출하여도 된다. 보호 부재가 플랜지의 내주면으로부터 덮개체의 외주면을 향하여 돌출하여 있기 때문에, 덮개체의 외주면이 플랜지의 내주면에 접근한 경우에도, 덮개체의 외주면이 플랜지의 내주면에 접촉하기 전에 보호 부재에 접촉할 가능성이 높아진다. 따라서, 패널 수납 용기의 손상을 더욱 억제하는 것이 가능해진다.
보호 부재는 플랜지에 착탈 가능하게 마련되어도 된다. 이 경우, 보호 부재를 교환할 수 있다. 예컨대, 보호 부재가 손상된 경우에, 보호 부재를 새로운 보호 부재로 교환함으로써, 패널 수납 용기의 손상을 억제하는 것이 가능해진다.
보호 부재는, 덮개체의 외주면에 마련되고, 덮개체가 개구를 폐색하고 있는 상태에서 덮개체의 외주면으로부터 플랜지의 내주면을 향하여 돌출하여도 된다. 보호 부재가 덮개체의 외주면으로부터 플랜지의 내주면을 향하여 돌출하여 있기 때문에, 덮개체의 외주면이 플랜지의 내주면에 접근한 경우에도, 덮개체의 외주면이 플랜지의 내주면에 접촉하기 전에 보호 부재에 접촉할 가능성이 높아진다. 따라서, 패널 수납 용기의 손상을 더욱 억제하는 것이 가능해진다.
보호 부재는 덮개체에 착탈 가능하게 마련되어도 된다. 이 경우, 보호 부재를 교환할 수 있다. 예컨대, 보호 부재가 손상된 경우에, 보호 부재를 새로운 보호 부재로 교환함으로써, 패널 수납 용기의 손상을 억제하는 것이 가능해진다.
플랜지는 직사각형상의 프레임체이어도 된다. 보호 부재는 제1 보호 부재와, 제2 보호 부재를 포함하여도 된다. 제1 보호 부재 및 제2 보호 부재는 프레임체의 한 변을 이루는 프레임부의 양단에서의 내주면과 덮개체의 외주면의 사이에 마련되어도 된다. 예컨대, 덮개체가 경사진 경우, 프레임부의 양단에서의 내주면을 향하여 덮개체의 외주면이 접근할 가능성이 높다. 상기 구성에 의하면, 어느 단부에서의 내주면을 향하여 덮개체의 외주면이 접근하였다고 하더라도, 덮개체의 외주면은 플랜지의 내주면에 접촉하기 전에 제1 보호 부재 또는 제2 보호 부재에 접촉할 수 있다. 따라서, 패널 수납 용기의 손상을 보다 한층 억제하는 것이 가능해진다.
덮개체는 외주면을 포함하는 덮개 본체를 구비하여도 된다. 덮개 본체는 금속 재료로 구성되어도 된다. 플랜지는 수지 재료로 구성되어도 된다. 이 경우, 덮개체의 외주면이 플랜지의 내주면에 접촉하면, 분진이 발생하여 패널 수납 용기 내에 혼입될 우려가 있다. 상기 패널 수납 용기에 의하면, 덮개체의 외주면이 플랜지의 내주면에 접촉할 가능성을 저감할 수 있기 때문에, 분진의 발생을 억제하는 것이 가능해진다.
본 개시에 의하면, 손상을 억제할 수 있다.
도 1은, 일 실시형태에 따른 패널 수납 용기의 분해 사시도이다.
도 2는, 도 1의 패널 수납 용기의 배면 사시도이다.
도 3은, 도 1의 용기 본체의 일부의 분해 사시도이다.
도 4는, 플랜지의 장착을 설명하기 위한 도이다.
도 5는, 커버 부재를 설명하기 위한 도이다.
도 6은, 도 1의 패널 수납 용기의 부분 확대도이다.
도 7은, 도 6의 VII-VII선을 따른 단면도이다.
도 8은, 도 1의 패널 수납 용기의 저면도이다.
도 9는, 도 1의 용기 본체의 일부의 분해 사시도이다.
도 10은, 급배기 기구의 주변의 단면도이다.
도 11은, 도 2의 XI-XI선을 따른 단면도이다.
도 12는, 도 11의 XII-XII선을 따른 단면도이다.
도 2는, 도 1의 패널 수납 용기의 배면 사시도이다.
도 3은, 도 1의 용기 본체의 일부의 분해 사시도이다.
도 4는, 플랜지의 장착을 설명하기 위한 도이다.
도 5는, 커버 부재를 설명하기 위한 도이다.
도 6은, 도 1의 패널 수납 용기의 부분 확대도이다.
도 7은, 도 6의 VII-VII선을 따른 단면도이다.
도 8은, 도 1의 패널 수납 용기의 저면도이다.
도 9는, 도 1의 용기 본체의 일부의 분해 사시도이다.
도 10은, 급배기 기구의 주변의 단면도이다.
도 11은, 도 2의 XI-XI선을 따른 단면도이다.
도 12는, 도 11의 XII-XII선을 따른 단면도이다.
이하, 도면을 참조하면서 본 개시의 실시형태를 상세하게 설명한다. 또한, 도면의 설명에서 동일 요소에는 동일 부호를 붙이고, 중복되는 설명은 생략한다. 각 도에는 XYZ 좌표계가 나타난다. Y축 방향은, X축 방향 및 Z축 방향과 교차(여기서는 직교)하는 방향이다. Z축 방향은, X축 방향 및 Y축 방향과 교차(여기서는 직교)하는 방향이다. 일례로서, X축 방향은 좌우 방향(폭 방향)이고, Y축 방향은 전후 방향(깊이 방향)이며, Z축 방향은 상하 방향(높이 방향)이다. 설명의 편의상, '전', '후', '상', '하', '좌' 및 '우'의 용어가 이용되지만, 이들 방향에 한정되지 않는다.
도 1 및 도 2를 참조하여 일 실시형태에 따른 패널 수납 용기를 설명한다. 도 1은, 일 실시형태에 따른 패널 수납 용기의 분해 사시도이다. 도 2는, 도 1의 패널 수납 용기의 배면 사시도이다. 도 1 및 도 2에 나타내는 패널 수납 용기(1)는 복수의 패널을 수납하기 위한 용기이다. 패널 수납 용기(1)는, 예컨대 SEMI(Semiconductor Equipment and Materials International) 규격에 준거하고 있다. 패널의 예로서는 액정 패널용의 유리 기판 및 전자 부품을 탑재한 패널을 들 수 있다. 패널은 직사각형 형상을 갖는다. 패널의 사이즈의 예로서는, 510mm×515mm 및 600mm×600mm를 들 수 있다. 패널 수납 용기(1)에 수납 가능한 패널의 매수는, 임의로 정해져 있고, 예컨대, 6매이어도 되고, 12매이어도 된다.
패널 수납 용기(1)는, 예컨대, 전자 부품을 제조하는 제조 장치에 사용된다. 전자 부품은, 예컨대, 유리판 및 스테인리스판과 같은 대형의 캐리어 패널 위에 다수의 전자 부품을 탑재하는 공정, 이들 전자 부품을 에폭시 수지 등으로 봉지하는 공정, 봉지된 전자 부품을 패널 형태로 캐리어 패널로부터 떼어내는 공정 및 패널 형태의 전자 부품을 개별로 절취하는 공정 등을 거쳐 제조된다. 패널 수납 용기(1)는 이들 공정 사이에서 패널을 이송하기 위하여 이용된다.
패널 수납 용기(1)는, 용기 본체(2)와 덮개체(3)를 구비하고 있다.
용기 본체(2)는 정면(전면(前面))이 개방된 직육면체 형상의 용기이다. 바꾸어 말하면, 용기 본체(2)는, 전면에 개구(2a)가 마련된 프론트 오픈 박스형의 용기이다. 용기 본체(2)는 복수의 패널을 수납한다. 개구(2a)를 거쳐서 패널이 용기 본체(2)로 출입된다. 용기 본체(2)의 상세는 후술한다.
덮개체(3)는 용기 본체(2)의 개구(2a)를 폐색하기 위한 부재이다. 덮개체(3)는 가스켓 등의 봉지 부재(34)(도 7 참조)를 개재하여 용기 본체(2)의 개구(2a)를 기밀하게 폐색한다. 덮개체(3)는, 개구(2a)를 획정하는 플랜지(25)에 착탈 자유롭게 장착된다. 덮개체(3)는, 덮개 본체(31)와 잠금 기구(32)를 구비하고 있다. 덮개 본체(31)는 덮개체(3)의 본체 부분이다. 덮개 본체(31)는 직사각형상의 판재이며, 덮개체(3)의 외주면(3a)을 포함한다. 외주면(3a)은, 덮개체(3)(덮개 본체(31))의 주연을 따른 면이다. 덮개 본체(31)의 구성 재료의 비중은 플랜지(25)의 구성 재료의 비중보다도 크고, 예컨대 1.5 이상이다. 덮개 본체(31)는, 예컨대, 금속 재료로 구성되어 있다. 금속 재료의 예로서는, 알루미늄 및 마그네슘 합금을 들 수 있다. 덮개 본체(31)의 전면(前面)에는 열쇠 구멍(33)이 마련되어 있다. 열쇠 구멍(33)에는 미도시의 열쇠가 삽입된다.
잠금 기구(32)는 열쇠 구멍(33)에 삽입된 열쇠가 조작되는 것에 의해 덮개체(3)를 잠금 또는 해제한다. 잠금 기구(32)는 미도시의 래치를 구비하고 있다. 덮개체(3)가 플랜지(25)에 장착된 상태에서, 열쇠의 조작에 의해 래치가 플랜지(25)에 마련된 잠금 구멍(25h)에 감입되는 것에 의해 덮개체(3)가 잠금된다. 덮개체(3)가 잠겨 있는 상태에서, 열쇠의 조작에 의해 래치가 잠금 구멍(25h)으로부터 당겨 뽑히는 것에 의해 덮개체(3)가 해제된다.
용기 본체(2) 및 덮개체(3)는 금속 재료 또는 수지 재료로 성형되는 복수의 부품을 조합하는 것에 의해 구성된다. 수지 재료의 성형 재료에 포함되는 수지의 예로서는 열가소성 수지를 들 수 있다. 열가소성 수지의 예로서는 폴리카보네이트, 시클로올레핀 폴리머, 폴리에테르이미드, 폴리에테르케톤, 폴리에테르에테르케톤, 폴리부틸렌테레프탈레이트, 폴리아세탈, 액정 폴리머, 폴리메타크릴산 메틸 등의 아크릴 수지 및 아크릴로니트릴부타디엔스티렌 공중합체를 들 수 있다. 수지 재료의 성형 재료에 포함되는 수지로서, 이들 알로이가 이용되어도 된다.
이들 수지에는 도전 물질 및 각종 대전 방지제가 첨가되어도 된다. 도전 물질은, 예컨대, 카본 섬유, 카본 파우더, 카본 나노 튜브 또는 도전성 폴리머 등을 포함한다. 대전 방지제로서는, 음이온계, 양이온계 및 비이온계 등의 대전 방지제가 이용될 수 있다. 벤조트리아졸계, 살리실레이트계, 시아노아크릴레이트계, 옥살릭애시드아닐리드계 및 힌더드 아민계의 자외선 흡수제가 첨가되어도 된다. 강성을 향상시키는 유리 섬유 또는 탄소 섬유 등도 선택적으로 첨가되어도 된다.
다음으로, 도 3~도 5를 추가로 참조하여 용기 본체(2)를 상세하게 설명한다. 도 3은, 도 1의 용기 본체의 일부의 분해 사시도이다. 도 4는, 플랜지의 장착을 설명하기 위한 도이다. 도 5는, 커버 부재를 설명하기 위한 도이다. 도 3~도 5에 나타내는 바와 같이, 용기 본체(2)는 천판(21)과, 바닥판(22)과, 한 쌍의 측벽(23)과, 배면벽(24)과, 플랜지(25)와, 프레임체(26)와, 받침대부(27)와, 한 쌍의 레일 부재(28)와, 연결 플레이트(41~47)와, 사이드 플레이트(48)와, 한 쌍의 커버 부재(C1)와, 한 쌍의 커버 부재(C2)와, 한 쌍의 커버 부재(C3)를 구비하고 있다.
천판(21), 바닥판(22), 측벽(23) 및 배면벽(24)은 대략 직사각형상의 판재이다. 천판(21)과 바닥판(22)은 상하 방향에 있어 서로 마주하고 있고, 대략 평행하게 배치되어 있다. 한 쌍의 측벽(23)은 좌우 방향에 있어 서로 마주하고 있고, 대략 평행하게 배치되어 있다. 좌측의 측벽(23)은 천판(21)의 좌단과 바닥판(22)의 좌단을 연결하고 있다. 우측의 측벽(23)은 천판(21)의 우단과 바닥판(22)의 우단을 연결하고 있다. 배면벽(24)은 천판(21)의 후단과 바닥판(22)의 후단을 연결함과 함께, 한 쌍의 측벽(23)의 후단을 연결하고 있다. 천판(21), 한 쌍의 측벽(23), 바닥판(22) 및 배면벽(24)에 의해 수용 공간(20)이 획정된다.
천판(21), 바닥판(22) 및 측벽(23)은, 예컨대 금속 재료에 의해 구성되어 있다. 금속 재료의 예로서는, 알루미늄 및 스테인리스를 들 수 있다. 배면벽(24)은, 예컨대 용기 본체(2)의 외부로부터 수용 공간(20)을 육안으로 볼 수 있는 투명한 수지 재료에 의해 구성된다. 배면벽(24)의 일부가 투명한 수지 재료로 구성되어도 된다. 투명한 수지 재료의 예로서는 아크릴 수지, 폴리카보네이트, 염화비닐 수지 및 시크로올레핀폴리머를 들 수 있다.
천판(21)은, 전단부(21a)와, 후단부(21b)와 한 쌍의 측단부(21c)를 포함하고 있다. 전단부(21a)는 천판(21)의 전단연을 따른 부분이다. 후단부(21b)는 천판(21)의 후단연을 따른 부분이다. 한 쌍의 측단부(21c)는 천판(21)의 좌우의 측단연을 따른 부분이다. 전단부(21a) 및 한 쌍의 측단부(21c)에는 나사를 삽통하기 위한 복수의 삽통 구멍이 마련되어 있다.
바닥판(22)은 전단부(22a)와, 후단부(22b)와, 한 쌍의 측단부(22c)를 포함하고 있다. 전단부(22a)는 바닥판(22)의 전단연을 따른 부분이다. 후단부(22b)는 바닥판(22)의 후단연을 따른 부분이다. 한 쌍의 측단부(22c)는 바닥판(22)의 좌우의 측단연을 따른 부분이다. 후단부(22b) 및 한 쌍의 측단부(22c)에는 나사를 삽통하기 위한 복수의 삽통 구멍이 마련되어 있다. 바닥판(22)에는, 상하 방향으로 바닥판(22)을 관통하는 복수(본 실시형태에서는 4개)의 관통 구멍(22h)이 마련되어 있다. 관통 구멍(22h)에는 후술하는 급배기 기구(55)가 감입된다.
각 측벽(23)은 전단 및 상하단이 용기 본체(2)의 외측으로 되접힌 형상을 갖는다. 측벽(23)은 본체부(23a)와, 상단부(23b)와, 하단부(23c)와, 전단부(23d)를 포함하고 있다. 본체부(23a)는 직사각형 형상을 갖고 있다. 본체부(23a)는 후단부(23e)를 포함하고 있다. 후단부(23e)는 본체부(23a)의 후단연을 따른 부분이다. 상단부(23b)는 본체부(23a)의 상단연을 따라 연장되고, 본체부(23a)로부터 용기 본체(2)의 외측을 향하여 좌우 방향으로 입설되어 있다. 하단부(23c)는 본체부(23a)의 하단연을 따라 연장되고, 본체부(23a)로부터 용기 본체(2)의 외측을 향하여 좌우 방향으로 입설되어 있다. 전단부(23d)는 본체부(23a)의 전단연을 따라 연장되고, 본체부(23a)로부터 용기 본체(2)의 외측을 향하여 좌우 방향으로 입설되어 있다. 상단부(23b), 하단부(23c), 전단부(23d) 및 후단부(23e)에는 나사를 삽통하기 위한 복수의 삽통 구멍이 마련되어 있다. 본체부(23a)에는, 나사를 삽통하기 위한 복수의 삽통 구멍이 마련되어 있다. 본체부(23a)의 삽통 구멍은 후술하는 지지체(65)를 장착하기 위하여 이용된다.
배면벽(24)은 상단부(24a)와, 하단부(24b)와, 한 쌍의 측단부(24c)를 포함하고 있다. 상단부(24a)는 배면벽(24)의 상단연을 따른 부분이다. 하단부(24b)는 배면벽(24)의 하단연을 따른 부분이다. 한 쌍의 측단부(24c)는 배면벽(24)의 좌우의 측단연을 따른 부분이다. 하단부(24b)에는, 나사를 삽통하기 위한 복수의 삽통 구멍이 마련되어 있다.
플랜지(25)는 직사각형상의 프레임체이며, 천판(21)의 전단, 바닥판(22)의 전단 및 한 쌍의 측벽(23)의 전단에 걸쳐 마련되어 있다. 플랜지(25)에 의해 개구(2a)가 획정된다. 플랜지(25)의 내주면에는 전후 방향으로 단차가 마련되어 있고, 플랜지(25)의 전단에서의 내주는 후단에서의 내주보다도 길다. 덮개체(3)가 봉지 부재(34)를 개재하여 단차에 재치됨으로써, 개구(2a)가 덮개체(3)에 의해 폐색된다. 이 때, 플랜지(25)의 단차보다도 앞의 앞부분은 덮개체(3)을 둘러싸고 있다. 바꾸어 말하면, 덮개체(3)의 외주면(3a)은, 전주(全周)에 걸쳐 플랜지(25)의 앞부분의 내주면(25s)과 이간하여 마주하고 있다. 플랜지(25)는, 예컨대 상술한 수지 재료에 의해 구성된다. 플랜지(25)는 상 프레임재(25a)와, 하 프레임재(25b)와, 한 쌍의 측 프레임재(25c)를 포함하고 있다. 상 프레임재(25a), 하 프레임재(25b) 및 측 프레임재(25c) 각각은, 프레임체의 한 변을 이루는 프레임부이다.
상 프레임재(25a) 및 하 프레임재(25b)는 좌우 방향으로 연장되는 부재이다. 상 프레임재(25a) 및 하 프레임재(25b)는 상하 방향에 있어 서로 이간됨과 함께, 대략 평행하게 배치되어있다. 한 쌍의 측 프레임재(25c)는 상하 방향으로 연장되는 부재이다. 한 쌍의 측 프레임재(25c)는 좌우 방향에 있어 서로 이간됨과 함께, 대략 평행하게 배치되어 있다. 상 프레임재(25a)의 좌단과 하 프레임재(25b)의 좌단이 좌측의 측 프레임재(25c)에 의해 연결되고, 상 프레임재(25a)의 우단과 하 프레임재(25b)의 우단이 우측의 측 프레임재(25c)에 의해 연결되어 있다. 상 프레임재(25a) 및 하 프레임재(25b)의 각각에는 좌우 방향으로 이간되어 배열된 2개의 잠금 구멍(25h)이 마련되어 있다. 상 프레임재(25a)의 잠금 구멍(25h)과 하 프레임재(25b)의 잠금 구멍(25h)은 상하 방향에 있어 서로 마주하는 위치에 마련되어 있다.
프레임체(26)는 천판(21), 바닥판(22), 한 쌍의 측벽(23) 및 배면벽(24)을 고정하기 위하여 이용된다. 프레임체(26)는, 예컨대 금속 재료에 의해 구성되어 있다. 금속 재료의 예로서는 알루미늄 및 스테인리스를 들 수 있다. 프레임체(26)는 배면벽(24)의 전면에 마련된다. 프레임체(26)는 상 프레임재(26a)와, 하 프레임재(26b)와, 한 쌍의 측 프레임재(26c)와, 지주(26d)와, 한 쌍의 지주(26e)를 포함하고 있다. 상 프레임재(26a) 및 하 프레임재(26b)는 좌우 방향으로 연장되는 기둥 형상 부재이다. 상 프레임재(26a) 및 하 프레임재(26b)는 상하 방향으로 서로 이간됨과 함께 대략 평행하게 배치되어 있다.
한 쌍의 측 프레임재(26c)는 상하 방향으로 연장되는 기둥 형상 부재이다. 한 쌍의 측 프레임재(26c)는, 좌우 방향에 있어 서로 이간됨과 함께, 대략 평행하게 배치되어 있다. 상 프레임재(26a) 및 하 프레임재(26b)의 좌단은 나사에 의해 좌측의 측 프레임재(26c)에 고정되어 있다. 상 프레임재(26a) 및 하 프레임재(26b)의 우단은 나사에 의해 우측의 측 프레임재(26c)에 고정되어 있다. 즉, 상 프레임재(26a)의 좌단과 하 프레임재(26b)의 좌단이 좌측의 측 프레임재(26c)에 의해 연결되고, 상 프레임재(26a)의 우단과 하 프레임재(26b)의 우단이 우측의 측 프레임재(26c)에 의해 연결되어 있다.
지주(26d) 및 한 쌍의 지주(26e)는 상하 방향으로 연장되는 기둥 형상 부재이다. 한쪽 지주(26e), 지주(26d) 및 다른 쪽 지주(26e)는 좌우 방향에 있어 그 순서대로 배열되고 서로 대략 평행하게 배치되어 있다. 지주(26d) 및 한 쌍의 지주(26e)의 상단은, 나사에 의해 상 프레임재(26a)에 고정되어 있다. 지주(26d) 및 한 쌍의 지주(26e)의 하단은, 나사에 의해 하 프레임재(26b)에 고정되어 있다. 지주(26d)는 프레임체(26)의 좌우 방향에서의 중심에 마련되고, 한 쌍의 지주(26e)는, 프레임체(26)의 좌우 방향에서의 양단 근방에 마련된다. 지주(26d)에는, 후술하는 샤프트(61a)를 장착하기 위한 복수의 오목부가 마련되어 있다. 이들 오목부는, 지주(26d)의 전면으로부터 후방을 향하여 움푹 패여 있다. 지주(26e)에는, 후술하는 샤프트(62a)를 장착하기 위한 복수의 오목부가 마련되어 있다. 이들 오목부는 지주(26e)의 전면으로부터 후방을 향하여 움푹 패여 있다.
받침대부(27)는 용기 본체(2)의 베이스가 되는 부분이다. 받침대부(27)는, 예컨대 금속 재료에 의해 구성되어 있다. 금속 재료의 예로서는, 알루미늄 및 스테인리스를 들 수 있다. 받침대부(27)는 바닥판(22)의 아래면에 마련된다. 받침대부(27)는 지지 부재(27a)와, 지지 부재(27b)와, 한 쌍의 지지 부재(27c)와, 복수(본 실시형태에서는 3개)의 지지 부재(27d)를 포함하고 있다. 지지 부재(27a) 및 지지 부재(27b)는 좌우 방향으로 연장되는 기둥 형상 부재이다. 지지 부재(27a) 및 지지 부재(27b)는 전후 방향에 있어 서로 이간됨과 함께 대략 평행하게 배치되어 있다.
한 쌍의 지지 부재(27c)는, 전후 방향으로 연장되는 L자 형상의 부재이다. 한 쌍의 지지 부재(27c)는 좌우 방향에 있어 서로 이간됨과 함께 대략 평행하게 배치되어 있다. 각 지지 부재(27c)는 제1 부분(27e)과 제2 부분(27f)을 포함하고 있다. 제1 부분(27e)은 바닥판(22)(XY 평면)을 따른 판 형상의 부분이며, 전후 방향으로 연장되어 있다. 제2 부분(27f)은 제1 부분(27e)의 좌우 방향에서의 내측의 가장자리를 따라 전후 방향으로 연장되어 있고, 당해 가장자리로부터 아래쪽을 향하여 입설되어 있다. 제1 부분(27e) 및 제2 부분(27f)은 L자 형상을 이루고 있다.
지지 부재(27a) 및 지지 부재(27b)의 좌단은 나사에 의해 좌측의 지지 부재(27c)의 제2 부분(27f)에 고정되어 있다. 지지 부재(27a) 및 지지 부재(27b)의 우단은, 나사에 의해 우측의 지지 부재(27c)의 제2 부분(27f)에 고정되어 있다. 즉, 지지 부재(27a)의 좌단과 지지 부재(27b)의 좌단이 좌측의 지지 부재(27c)에 의해 연결되고, 지지 부재(27a)의 우단과 지지 부재(27b)의 우단이 우측의 지지 부재(27c)에 의해 연결되어 있다.
복수의 지지 부재(27d)는 좌우 방향으로 연장되는 기둥 형상 부재이다. 복수의 지지 부재(27d)는 전후 방향으로 배열되고, 서로 대략 평행하게 배치되어 있다. 각 지지 부재(27d)의 좌단은 나사에 의해 좌측의 지지 부재(27c)에 고정되어 있다. 각 지지 부재(27d)의 우단은 나사에 의해 우측의 지지 부재(27c)에 고정되어 있다.
한 쌍의 레일 부재(28)는 용기 본체(2)를 재치하기 위한 부분이다. 한 쌍의 레일 부재(28)는, 예컨대, 패널 수납 용기(1)가 컨베이어에 의해 반송될 때에 컨베이어에 재치된다. 각 레일 부재(28)는 전후 방향으로 연장되는 판 형상 부재이다. 레일 부재(28)는, 예컨대 상술한 수지 재료에 의해 구성되어 있다. 각 레일 부재(28)는 지지 부재(27c)의 아래에 마련되고, 연결 부재(49)에 의해 지지 부재(27c)에 연결되어 있다. 연결 부재(49)는 하단에 수나사가 마련되고, 상단에 암나사(나사 구멍)가 마련된 부재이다. 지지 부재(27c) 및 레일 부재(28)는 서로 연결됨으로써, 좌우 방향의 외측이 개방된 U자 형상을 이루고 있다.
연결 플레이트(41~47)는 천판(21), 바닥판(22), 측벽(23), 배면벽(24) 및 플랜지(25)를 연결하기 위한 부재이다. 연결 플레이트(41~47)는 장척의 판 형상 부재이다. 연결 플레이트(41~47)는, 예컨대 금속 재료에 의해 구성되어 있다. 금속 재료의 예로서는, 알루미늄 및 스테인리스를 들 수 있다. 연결 플레이트(41~44, 47)에는 나사를 삽통하기 위한 삽통 구멍이 마련되어 있다. 연결 플레이트(45, 46)에는 나사 구멍이 마련되어 있다.
사이드 플레이트(48)는 후술하는 지지체(65)를 장착하기 위한 부재이다. 사이드 플레이트(48)는 상하 방향으로 연장되는 판 형상 부재이다. 사이드 플레이트(48)는, 예컨대 금속 재료에 의해 구성되어 있다. 금속 재료의 예로서는, 알루미늄 및 스테인리스를 들 수 있다. 사이드 플레이트(48)는, 측벽(23)의 본체부(23a)의 외면에 마련된다. 본 실시형태에서는, 각 측벽(23)에 2개의 사이드 플레이트(48)가 마련된다. 2개의 사이드 플레이트(48)는 전후 방향으로 배열되며, 서로 대략 평행하게 배치되어 있다. 하나의 사이드 플레이트(48)는 측벽(23)의 전후 방향에서의 중심 부근에 마련되고, 다른 하나의 사이드 플레이트(48)는 측벽(23)의 전후 방향에서의 전단 근방에 마련된다. 각 사이드 플레이트(48)의 상단은 나사에 의해 상단부(23b)에 고정되어 있다. 각 사이드 플레이트(48)의 하단은 나사에 의해 하단부(23c)에 고정되어 있다. 각 사이드 플레이트(48)에는, 나사를 삽통하기 위한 삽통 구멍이 마련되어 있다.
커버 부재(C1~C3)는, 수용 공간(20)으로의 파티클(입자)의 침입을 방지하기 위한 부재이다. 커버 부재(C1~C3)는, 예컨대 상술한 수지 재료로 구성되어 있다. 한 쌍의 커버 부재(C1)는 천판(21)과, 측벽(23)과 플랜지(25)에 의해 형성되는 각부(角部)에 마련된다. 한 쌍의 커버 부재(C2)는, 천판(21)과, 측벽(23)과 배면벽(24)에 의해 형성되는 각부에 마련된다. 한 쌍의 커버 부재(C3)는 바닥판(22)과, 측벽(23)과 배면벽(24)에 의해 형성되는 각부에 마련된다.
이어서, 용기 본체(2)의 각 부재 사이의 연결 방법을 설명한다.
하 프레임재(26b)의 후면과 배면벽(24)의 하단부(24b)에서의 내면이 전후 방향으로 접촉하도록, 프레임체(26)에 배면벽(24)이 중첩된다. 또한, 하단부(24b)의 외면에 연결 플레이트(41)가 중첩된다. 바꾸어 말하면, 하단부(24b)는 연결 플레이트(41)와 하 프레임재(26b) 사이에 끼워져 있다. 이 상태에서, 연결 플레이트(41)의 삽통 구멍 및 하단부(24b)의 삽통 구멍에 나사가 삽통되고, 하 프레임재(26b)의 나사 구멍에 나사가 나사 결합된다. 이로 인해, 연결 플레이트(41)와 하 프레임재(26b)에 의해 하단부(24b)가 협지(挾持)되어, 프레임체(26)에 배면벽(24)이 고정된다.
천판(21)의 후단부(21b)가 상 프레임재(26a)의 윗면에 재치되고, 배면벽(24)의 상단부(24a)가 상 프레임재(26a)의 후면에 재치되며, 후단부(21b) 및 상단부(24a)를 덮도록 연결 플레이트(42)가 마련된다. 연결 플레이트(42)는 상 프레임재(26a)의 외형을 따른 형상을 갖고 있다. 구체적으로는, 연결 플레이트(42)는, 후단부(21b)를 덮는 부분과, 상단부(24a)를 덮는 부분과, 이들 부분을 연결하는 연결 부분을 포함하고 있다. 연결 플레이트(42)의 연결 부분에 마련된 삽통 구멍을 통해서, 나사가 상 프레임재(26a)에 마련된 나사 구멍에 나사 결합된다. 이로 인해, 연결 플레이트(42)와 상 프레임재(26a)에 의해 후단부(21b) 및 상단부(24a)가 협지되어, 프레임체(26)에 천판(21) 및 배면벽(24)이 고정된다. 그 결과, 천판(21)과 배면벽(24)이 연결된다.
측벽(23)의 후단부(23e)가 측 프레임재(26c)의 측면에 재치되고, 배면벽(24)의 측단부(24c)가 측 프레임재(26c)의 후면에 재치되며, 후단부(23e) 및 측단부(24c)를 덮도록, 연결 플레이트(43)가 마련된다. 연결 플레이트(43)는 측 프레임재(26c)의 외형을 따른 형상을 갖고 있다. 구체적으로는, 연결 플레이트(43)는, 후단부(23e)를 덮는 부분과, 측단부(24c)를 덮는 부분과, 이들 부분을 연결하는 연결 부분을 포함하고 있다. 연결 플레이트(43)의 연결 부분에 마련된 삽통 구멍을 통해서, 나사가 측 프레임재(26c)에 마련된 나사 구멍에 나사 결합된다. 또한, 연결 플레이트(43)의 후단부(23e)를 덮는 부분에 마련된 삽통 구멍 및 후단부(23e)에 마련된 삽통 구멍에 나사가 삽통되고, 측 프레임재(26c)의 측면에 마련된 나사 구멍에 나사가 나사 결합된다. 이로 인해, 연결 플레이트(43)와 측 프레임재(26c)에 의해 후단부(23e) 및 측단부(24c)가 협지되고, 프레임체(26)에 측벽(23) 및 배면벽(24)이 고정된다. 그 결과, 측벽(23)과 배면벽(24)이 연결된다.
천판(21)의 측단부(21c)가 측벽(23)의 상단부(23b)의 윗면에 재치되고, 측단부(21c)의 윗면에 연결 플레이트(44)가 중첩된다. 상단부(23b)의 아래면에는 전후 방향으로 연장되는 2매의 연결 플레이트(45)가 전후 방향으로 이간되어 마련되어 있다. 바꾸어 말하면, 측단부(21c)와 상단부(23b)는 상하 방향에 있어 서로 중첩되고, 측단부(21c) 및 상단부(23b)는 연결 플레이트(44)와 연결 플레이트(45)에 의해 상하 방향으로 끼워져 있다. 이 상태에서, 연결 플레이트(44)의 삽통 구멍, 측단부(21c)의 삽통 구멍 및 상단부(23b)의 삽통 구멍에 순서대로 나사가 삽통되고, 연결 플레이트(45)의 나사 구멍에 나사가 나사 결합된다. 이로 인해, 연결 플레이트(44)와 연결 플레이트(45)에 의해 측단부(21c) 및 상단부(23b)가 협지되고, 천판(21)과 측벽(23)이 연결된다.
플랜지(25)의 상 프레임재(25a)의 후단부가 천판(21)의 전단부(21a)의 윗면에 재치되고, 전단부(21a)의 아래면에 연결 플레이트(46)가 중첩된다. 바꾸어 말하면, 전단부(21a)는, 상 프레임재(25a)와 연결 플레이트(46)에 의해 상하 방향으로 끼워져 있다. 이 상태에서, 상 프레임재(25a)의 삽통 구멍 및 전단부(21a)의 삽통 구멍에 나사가 삽통되고, 연결 플레이트(46)의 나사 구멍에 나사가 나사 결합된다. 이로 인해, 상 프레임재(25a)와 연결 플레이트(46)에 의해 전단부(21a)가 협지되고, 천판(21)과 플랜지(25)가 연결된다.
플랜지(25)의 측 프레임재(25c)의 후면이 측벽(23)의 전단부(23d)의 전면에 중첩되고, 전단부(23d)의 후면에 연결 플레이트(47)가 중첩된다. 바꾸어 말하면, 전단부(23d)는 측 프레임재(25c)와 연결 플레이트(47)에 의해 전후 방향으로 끼워져 있다. 이 상태에서, 연결 플레이트(47)의 삽통 구멍 및 전단부(23d)의 삽통 구멍에 나사가 삽통되고, 측 프레임재(25c)의 나사 구멍에 나사가 나사 결합된다. 이로 인해, 측 프레임재(25c)와 연결 플레이트(47)에 의해 전단부(23d)가 협지되고, 측벽(23)과 플랜지(25)가 연결된다.
프레임체(26)의 하 프레임재(26b)의 아래면과 바닥판(22)의 후단부(22b)의 윗면이 상하 방향으로 접촉하도록, 하 프레임재(26b)에 후단부(22b)가 중첩된다. 또한, 후단부(22b)의 아래면에 받침대부(27)의 지지 부재(27b)가 중첩된다. 바꾸어 말하면, 후단부(22b)는 하 프레임재(26b)와 지지 부재(27b)에 끼워져 있다. 이 상태에서, 하 프레임재(26b)의 삽통 구멍 및 후단부(22b)의 삽통 구멍에 나사가 삽통되고, 지지 부재(27b)의 나사 구멍에 나사가 나사 결합된다. 이로 인해, 하 프레임재(26b)와 지지 부재(27b)에 의해 후단부(22b)가 협지되고, 바닥판(22)이 프레임체(26) 및 받침대부(27)에 고정된다.
레일 부재(28)에 마련된 나사 구멍에 연결 부재(49)의 수나사가 나사 결합되고, 연결 부재(49)의 나사 구멍과 지지 부재(27c)의 제1 부분(27e)에 마련된 삽통 구멍이 겹치도록 레일 부재(28) 위에 지지 부재(27c)가 배치된다. 지지 부재(27c)의 윗면에 바닥판(22)의 측단부(22c)가 재치되고, 또한 측단부(22c)의 윗면과 측벽(23)의 하단부(23c)의 아래면이 상하 방향에 있어서 접촉하도록, 측단부(22c)에 하단부(23c)가 중첩된다. 이 상태에서, 하단부(23c)의 삽통 구멍, 측단부(22c)의 삽통 구멍 및 제1 부분(27e)의 삽통 구멍에 나사가 삽통되고, 연결 부재(49)의 나사 구멍에 나사가 나사 결합된다. 이로 인해, 하단부(23c)와 지지 부재(27c)에 의해 측단부(22c)가 협지되고, 바닥판(22) 및 측벽(23)이 받침대부(27)에 고정된다. 그 결과, 바닥판(22)과 측벽(23)이 연결되고, 받침대부(27)와 레일 부재(28)가 연결된다.
또한, 상 프레임재(25a)의 후단부의 좌우 방향에서의 길이는, 전단부(21a) 및 연결 플레이트(46)의 좌우 방향의 길이보다도 짧다. 따라서, 전단부(21a)의 좌우 방향에서의 양단은 상 프레임재(25a)의 후단부에 덮여 있지 않다. 전단부(21a)의 좌우 방향에서의 양단 위에 커버 부재(C1)가 재치된다. 즉, 전단부(21a)의 좌우 방향에서의 양단은, 커버 부재(C1)와 연결 플레이트(46)에 의해 끼워져 있다. 이 상태에서, 커버 부재(C1)의 삽통 구멍 및 전단부 (21a)의 삽통 구멍에 나사가 삽통되고, 연결 플레이트(46)의 나사 구멍에 나사가 나사 결합된다. 이로 인해, 커버 부재(C1)가 장착된다.
연결 플레이트(44) 및 연결 플레이트(45)는 측단부(21c)의 후단 및 상단부(23b)의 후단까지 연장되어 있지 않다. 측단부(21c)의 후단과 상단부(23b)의 후단을 끼우도록 커버 부재(C2)가 장착된다. 이 상태에서, 커버 부재(C2)의 윗부분에 마련된 삽통 구멍, 측단부(21c)의 삽통 구멍 및 상단부(23b)의 삽통 구멍에 나사가 삽통되고, 커버 부재(C2)의 아래부분에 마련된 나사 구멍에 나사가 나사 결합된다. 이로 인해, 커버 부재(C2)가 장착된다.
연결 플레이트(41)의 좌우 방향의 길이는 하단부(24b)의 좌우 방향의 길이보다도 짧다. 따라서, 하단부(24b)의 좌우 방향에서의 양단은 연결 플레이트(41)로 덮여 있지 않다. 하단부(23c)의 후단과 제1 부분(27e)의 후단을 끼움과 함께, 하단부(24b)의 좌우 방향에서의 양단을 덮도록 커버 부재(C3)가 장착된다. 그리고 나사에 의해 커버 부재(C3)가 장착된다.
바닥판(22) 및 지지 부재(27c)는 측벽(23)보다도 전방으로 연장되어 있다. 즉, 측단부(22c)의 전단은 하단부(23c)로 덮여 있지 않다. 측단부(22c)의 전단은 플랜지(25)의 측 프레임재(25c)와 제1 부분(27e)의 전단에 의해 끼워져 있다. 이 상태에서, 제1 부분(27e)의 삽통 구멍 및 측단부(22c)의 삽통 구멍에 나사가 삽통되고, 측 프레임재(25c)의 아래면에 마련된 나사 구멍에 나사가 나사 결합된다. 이로 인해, 바닥판(22) 및 플랜지(25)가 받침대부(27)에 고정됨과 함께, 바닥판(22)과 플랜지(25)가 연결된다. 또한, 바닥판(22)의 전단부(22a)는, 플랜지(25)의 하 프레임재(25b)의 후면에 마련된 홈에 삽입되어 있다.
다음으로, 도 6 및 도 7을 참조하여 플랜지(25)와 덮개체(3)의 관계를 설명한다. 도 6은, 도 1의 패널 수납 용기의 부분 확대도이다. 도 7은, 도 6의 VII-VII선을 따른 단면도이다. 도 6 및 도 7에 나타내는 바와 같이, 용기 본체(2)는 복수의 보호 부재(29)를 더 구비하고 있다.
보호 부재(29)는 플랜지(25)를 보호하기 위한 볼록 형상의 부재이다. 보호 부재(29)는, 예컨대 상술한 수지 재료에 의해 구성된다. 보호 부재(29)의 구성 재료는 플랜지(25)의 구성 재료와 동일하여도 되고 상이하여도 된다. 보호 부재(29)는, 덮개체(3)가 개구(2a)를 폐색하고 있는 상태에서, 서로 마주하는 덮개체(3)의 외주면(3a)과 플랜지(25)의 내주면(25s)의 사이에 마련된다. 본 실시형태에서는, 보호 부재(29)는 플랜지(25)의 내주면(25s)에 마련되어 있고, 덮개체(3)가 개구(2a)를 폐색하고 있는 상태에서, 내주면(25s)으로부터 외주면(3a)을 향하여 돌출하여 있다. 보다 구체적으로는, 보호 부재(29)는, 측 프레임재(25c)에서의 내주면(25s)에 마련되어 있고, 덮개체(3)의 측단부에서의 외주면(3a)을 향하여 돌출하여 있다. 각 측 프레임재(25c)에 2개의 보호 부재(29)(제1 보호 부재, 제2 보호 부재)가 마련되어 있고, 2개의 보호 부재(29)는 측 프레임재(25c)의 상단 및 하단에서의 내주면(25s)에 마련되어 있다.
보호 부재(29)는 플랜지(25)에 착탈 가능하게 마련되어 있다. 보호 부재(29)는 수용부(29a)와 축부(29b)를 포함하고 있다. 수용부(29a)는 플랜지(25)의 내주면(25s)으로부터 외주면(3a)을 향하여 돌출하여 있는 부분이다. 수용부(29a)는 예컨대 원판 형상을 갖고 있다. 수용부(29a)는 외주면(3a)과 마주하는 당접면(29c)을 포함하고 있다. 당접면(29c)은, 덮개체(3)가 당접할 수 있는 면이다. 당접면(29c)의 면적은 측 프레임재(25c)에서의 내주면(25s)의 면적보다도 작다. 당접면(29c)과 외주면(3a)은 설계상 떨어져 있다. 당접면(29c)과 외주면(3a)의 거리(D)는, 예컨대 0.5㎜ 정도로 설계되어 있다.
축부(29b)는 보호 부재(29)를 플랜지(25)에 장착하기 위한 부분이다. 축부(29b)는, 수용부(29a)의 당접면(29c)과는 반대 측의 면에 마련되고, 당접면(29c)과 반대 방향으로 연장되어 있다. 축부(29b)는, 측 프레임재(25c)에서의 내주면(25s)에 마련된 장착 구멍(25t)에 감합되어 있다. 예컨대, 축부(29b)가 장착 구멍(25t)에 압입됨으로써, 보호 부재(29)가 플랜지(25)(측 프레임재(25c))에 장착된다. 축부(29b)가 접착재에 의해 장착 구멍(25t)에 접합됨으로써, 보호 부재(29)가 플랜지(25)(측 프레임재(25c))에 장착되어도 된다. 축부(29b)가 수나사이고, 장착 구멍(25t)이 암나사이어도 된다. 이 경우, 축부(29b)가 장착 구멍(25t)에 나사 결합됨으로써, 보호 부재(29)가 플랜지(25)(측 프레임재(25c))에 장착된다. 축부(29b)가 스냅 피트를 이용하여 장착 구멍(25t)에 고정됨으로써, 보호 부재(29)가 플랜지(25)(측 프레임재(25c))에 장착되어도 된다.
다음으로, 도 8~도 10을 참조하여, 용기 본체(2)의 바닥부에 마련되는 부재를 설명한다. 도 8은, 도 1의 패널 수납 용기의 저면도이다. 도 9는, 도 1의 용기 본체의 일부의 분해 사시도이다. 도 10은, 급배기 기구의 주변의 단면도이다. 또한, 도 8 및 도 9에서는, 설명의 편의상, 베이스 기판(51) 등을 받침대부(27)에 장착하기 위한 나사의 도시를 생략하고 있다. 도 8 및 도 9에 나타내는 바와 같이, 용기 본체(2)는 베이스 기판(51)과, 장착 플레이트(52)와, 장착 플레이트(53)와, 위치 결정 부재(54)와, 급배기 기구(55)와, 블록재(56)를 더 구비하고 있다.
베이스 기판(51)은 위치 결정 부재(54), 급배기 기구(55) 및 블록재(56)를 장착하기 위한 기판이다. 베이스 기판(51)은 직사각형상의 판재이다. 베이스 기판(51)은, 받침대부(27)의 아래쪽에 마련되고, 지지 부재(27a) 및 지지 부재(27d)에 나사에 의해 고정되어 있다. 베이스 기판(51)은, 지지 부재(27a) 및 3개의 지지 부재(27d)에 걸쳐서 마련되고, 후단부(22b)까지는 연장되어 있지 않다. 즉, 베이스 기판(51)은, 바닥판(22)의 전단부(22a) 근처에 배치되어 있다. 베이스 기판(51)의 전단부(51a)는 플랜지(25)의 하 프레임재(25b) 아래에 위치한다. 전단부(51a)에는, 나사를 삽통하기 위한 삽통 구멍이 마련되어 있다. 전단부(51a)의 삽통 구멍에 나사가 삽통되고, 하 프레임재(25b)의 나사 구멍에 나사가 나사 결합된다.
베이스 기판(51)에는, 위치 결정 부재(54)를 장착하기 위한 관통 구멍(51g)과, 급배기 기구(55)를 장착하기 위한 관통 구멍(51h)이 마련되어 있다. 본 실시형태에서는 3개의 관통 구멍(51g)과 4개의 관통 구멍(51h)이 마련되어 있다. 3개의 관통 구멍(51g)은 베이스 기판(51)의 중심으로부터 방사상으로 연장되어 있다. 베이스 기판(51)의 앞부분의 좌우 방향에서의 양단 부근에 2개의 관통 구멍(51g)이 마련되고, 베이스 기판(51)의 뒷부분의 좌우 방향에서의 중심 부근에 1개의 관통 구멍(51g)이 마련되어 있다. 4개의 관통 구멍(51h)은, 베이스 기판(51)의 네 모서리 부근에 마련되어 있다. 베이스 기판(51)의 후단부에는 RF-ID(Radio Frequency Identification) 태그를 장착하기 위한 관통 구멍이 더 마련되어 있다.
장착 플레이트(52, 53)는 위치 결정 부재(54)를 베이스 기판(51)에 장착하기 위한 부재이다. 장착 플레이트(52, 53)는 판 형상 부재이다. 장착 플레이트(52, 53)는, 예컨대, 상술한 수지 재료에 의해 구성되어 있다. 장착 플레이트(52)는 베이스 기판(51)의 앞부분의 아래면에 마련된다. 장착 플레이트(52)에는 위치 결정 부재(54)를 노출시키기 위한 2개의 관통 구멍(52g)이 마련되어 있다. 장착 플레이트(52)에는 2개의 관통 구멍(52g)의 사이에 패널 수납 용기(1)를 고정하기 위하여 이용되는 관통 구멍이 더 마련되어 있다. 장착 플레이트(53)는 베이스 기판(51)의 뒷부분의 아래면에 마련된다. 장착 플레이트(53)에는 위치 결정 부재(54)를 노출시키기 위한 관통 구멍(53g)이 마련되어 있다.
위치 결정 부재(54)는 반송 장치 또는 가공 장치 등의 외부 장치가 패널 수납 용기(1)(용기 본체(2))의 위치 결정을 행하기 위하여 이용되는 부재이다. 위치 결정 부재(54)는, 예컨대, 금속 재료에 의해 구성되어 있다. 금속 재료의 예로서는, 알루미늄 및 스테인리스를 들 수 있다. 위치 결정 부재(54)는 V자 형상의 판재이다. 위치 결정 부재(54)는, 바닥판(22)을 향하여(위쪽으로) 움푹 패이도록, 관통 구멍(51g)에 감합되어 있다. 위치 결정 부재(54)의 V자 면에 의해 V자 형상의 홈이 획정된다. V자 면에는, 내마모성의 표면 처리가 실시되어 있다. 본 실시형태에서는, 용기 본체(2)는, 3개의 위치 결정 부재(54)를 구비하고 있다.
베이스 기판(51)의 앞부분에 마련된 2개의 관통 구멍(51g)에, 2개의 위치 결정 부재(54)가 감합되어 있고, 위치 결정 부재(54)의 V자 면이 관통 구멍(52g)으로부터 노출되도록 장착 플레이트(52)가 베이스 기판(51)의 아래면에 장착되어 있다. 위치 결정 부재(54)의 양단이 베이스 기판(51)과 장착 플레이트(52)에 의해 협지되어 있다. 마찬가지로, 베이스 기판(51)의 뒷부분에 마련된 1개의 관통 구멍(51g)에, 1개의 위치 결정 부재(54)가 감합되어 있고, 위치 결정 부재(54)의 V자 면이 관통 구멍(53g)으로부터 노출되도록 장착 플레이트(53)가 베이스 기판(51)의 아래면에 장착되어 있다. 위치 결정 부재(54)의 양단이 베이스 기판(51)과 장착 플레이트(53)에 의해 협지되어 있다.
외부 장치가 갖는 핀이 각 위치 결정 부재(54)의 V자 면에 당접함으로써, 패널 수납 용기(1)가 위치 결정된다. 구체적으로는, V자 면에 의해 V자 형상의 홈에 핀이 유도된다. 패널 수납 용기(1)는 3개의 위치 결정 부재(54)를 구비하고 있기 때문에, 패널 수납 용기(1)는 3점에서 지지된다. 따라서, 패널 수납 용기(1)의 위치가 정밀도 좋게 정해진다. 위치 결정 부재(54)의 수 및 배치는 적절하게 변경되어도 된다.
또한, 위치 결정 부재(54)는 바닥판(22)의 아래면으로부터 이간되어 있다. 이로 인해, 외부 장치의 핀으로부터 위치 결정 부재(54)의 V자 면에 가해지는 힘은, 베이스 기판(51)으로 전달되어 바닥판(22)에 가해지는 것이 회피된다. 따라서, 바닥판(22)의 변형이 억제된다.
급배기 기구(55)는, 패널 수납 용기(1)의 내부(수용 공간(20))의 청정성 및 저습도를 유지하기 위하여, 수용 공간(20) 내에 가스를 공급하고, 수용 공간(20)으로부터 가스를 배출하기 위한 기구이다. 수용 공간(20) 내로 공급되는 가스의 예로서는, 불활성 가스를 들 수 있다. 본 실시형태에서는, 용기 본체(2)는, 4개의 급배기 기구(55)를 구비하고 있다. 각 급배기 기구(55)는, 바닥판(22)과 베이스 기판(51)의 사이에 마련되어 있다. 각 급배기 기구(55)는, 바닥판(22)에 마련된 관통 구멍(22h) 및 베이스 기판(51)에 마련된 관통 구멍(51h)을 거쳐서, 가스를 수용 공간(20)에 공급하고, 또는 가스를 수용 공간(20)으로부터 배출한다. 본 실시형태에서는, 전방에 마련된 2개의 급배기 기구(55)가, 수용 공간(20)으로부터 가스를 배출하고, 후방에 마련된 2개의 급배기 기구(55)가, 수용 공간(20)에 가스를 공급한다. 또한, 급배기 기구(55)의 수, 배치 및 기능은 임의로 변경될 수 있다.
도 10에 나타내는 바와 같이, 급배기 기구(55)는 필터(55a)와, 스페이서(55b)와 봉지 부재(55c)를 포함하고 있다. 필터(55a)는 가스를 통과시키는 부재이다. 스페이서(55b)는 필터(55a)를 보유지지하기 위한 부재이다. 스페이서(55b)는, 상하 양단이 개방된 통 형상(원통 형상)의 부재이며, 스페이서(55b)의 내부 공간에 필터(55a)가 수용된다. 스페이서(55b)의 내주면에는 단차가 마련되어 있고, 스페이서(55b)의 상단에서의 내경은 하단에서의 내경보다도 작다. 스페이서(55b)는 관통 구멍(22h) 및 관통 구멍(51h)과 스페이서(55b)의 내부 공간이 연통하도록 바닥판(22)과 베이스 기판(51)의 사이에 마련된다.
필터(55a)는 필터 본체(55d)와 커버(55e)를 포함하고 있다. 필터 본체(55d)는 상단에 환상의 클로부(爪部)(55f)를 포함하고, 필터 본체(55d)의 하단의 외주면에는 나사 홈이 마련되어 있다. 커버(55e)는 필터 본체(55d)의 하단 및 하단의 외주면을 덮는다. 커버(55e)는 외주면에 환상의 클로부(55g)를 포함하고, 커버(55e)의 내주면에는 나사 홈이 마련되어 있다.
급배기 기구(55)의 장착 방법을 설명한다. 스페이서(55b)의 하단이 베이스 기판(51)에 나사에 의해 고정되고, 스페이서(55b)의 상단이 O링 등의 봉지 부재(55c)를 개재하여 바닥판(22)의 아래면에 가압된다. 이 상태에서, 필터 본체(55d)가 관통 구멍(22h)을 통해서 스페이서(55b)의 내부 공간에 삽입된다. 이 때, 클로부(55f)가 관통 구멍(22h)을 획정하는 주연(周緣)부에 의해 계지된다. 그리고, 커버(55e)가 관통 구멍(51h)을 통해서 스페이서(55b)의 내부 공간에 삽입되고, 필터 본체(55d)의 외주면과 커버(55e)의 내주면이 나사 결합되고, 필터 본체(55d)와 커버(55e)가 일체화된다. 이 때, 클로부(55g)가 스페이서(55b)의 내주면의 단차에 계지된다. 즉, 클로부(55f)와 클로부(55g)에 의해, 바닥판(22)과 스페이서(55b)가 끼워진다. 그리고, 필터 본체(55d)의 외주면과 커버(55e)의 내주면이 더 나사 결합됨으로써 바닥판(22)과 스페이서(55b)가 밀착되고, 기밀하게 고정된다.
블록재(56)는 패널 수납 용기(1)(용기 본체(2))의 변형을 억제하기 위한 부재이다. 블록재(56)는, 예컨대 상술한 수지 재료에 의해 구성되어 있다. 블록재(56)는 베이스 기판(51)의 아래면에 마련된다. 블록재(56)는 베이스 기판(51)의 전후 방향에서의 중심보다도 후방에 마련된다. 보다 구체적으로는, 블록재(56)는, 전방에 마련된 2개의 위치 결정 부재(54)와 후방에 마련된 1개의 위치 결정 부재(54)의 전후 방향에서의 중심보다도 후방에 마련된다. 본 실시형태에서는, 용기 본체(2)는, 2개의 블록재(56)를 구비하고 있다. 2개의 블록재(56)는, 베이스 기판(51)의 후단연과 측단연에 의해 형성되는 각부에 각각 마련되어 있다.
다음으로, 도 11 및 도 12를 참조하여 수용 공간(20) 내의 구성을 설명한다. 도 11은, 도 2의 XI-XI선을 따른 단면도이다. 도 12는, 도 11의 XII-XII선을 따른 단면도이다. 도 11에 나타내는 바와 같이, 용기 본체(2)는 패널 지지부(60)를 더 구비하고 있다. 패널 지지부(60)는 패널을 지지하기 위한 부분이다. 패널 지지부(60)는 복수의 지지부(61)와, 복수의 지지부(62)와, 복수의 스토퍼(63)와, 복수의 스토퍼(64)를 구비하고 있다.
지지부(61), 지지부(62), 스토퍼(63) 및 스토퍼(64)의 수는 패널 수납 용기(1)에 수납 가능한 패널의 매수에 따라 변경된다. 본 실시형태에서는, 패널 지지부(60)는, 1매의 패널당 1개의 지지부(61)와, 2개의 지지부(62)와, 2개의 스토퍼(63)와, 2개의 스토퍼(64)를 구비하고 있다. 바꾸어 말하면, 1개의 지지부(61)와, 2개의 지지부(62)와, 2개의 스토퍼(63)와, 2개의 스토퍼(64)에 의해, 1매의 패널을 수납하는 수납단이 형성된다.
지지부(61)는 패널의 좌우 방향에서의 중앙부를 지지하기 위한 부분이다. 지지부(61)는, 샤프트(61a)와 복수의 탄성체(61b)를 포함하고 있다. 샤프트(61a)는 전후 방향으로 연장되는 기둥 형상(예컨대, 원기둥 형상)의 부재이다. 샤프트(61a)의 후단이 지주(26d)의 오목부에 감입되고, 나사에 의해 지주(26d)에 고정된다. 샤프트(61a)는, 예컨대, 굽힘 강성이 높은 재료에 의해 구성되어 있다. 샤프트(61a)의 구성 재료의 예로서, 스테인리스 및 알루미늄 등의 금속, 및 카본 섬유 강화 플라스틱을 들 수 있다.
탄성체(61b)는, 샤프트(61a)의 외주면에 마련된 환상(예컨대, 원환상)의 부재이다. 탄성체(61b)는 패널의 미끄러짐을 억제하고 패널의 위치 결정 정밀도를 향상시키기 위하여 마련된다. 패널의 미끄럼 방지의 관점으로부터, 탄성체(61b)는 샤프트(61a)보다도 높은 마찰력을 가져도 된다. 패널의 손상 방지의 관점으로부터, 탄성체(61b)는 샤프트(61a)보다도 높은 탄력성(쿠션성)을 가져도 된다. 탄성체 (61b)는, 예컨대 고무재에 의해 구성된다. 고무재의 예로서는 EPDM(에틸렌프로필렌 디엔 고무), 실리콘 고무 및 불소 고무를 들 수 있다. 탄성체(61b)는, 예컨대 O링이다. 복수의 탄성체(61b)는 샤프트(61a)의 연재 방향으로 일정한 간격으로 배열되어 있다. 위치 결정 정밀도 향상의 관점으로부터, 서로 이웃하는 2개의 탄성체(61b)의 간격은, 50㎜∼100㎜의 범위이어도 된다.
지지부(62)는 패널의 좌우 방향의 양단부를 지지하기 위한 부분이다. 지지부(62)는 샤프트(62a)와, 복수의 탄성체(62b)와, 복수의 지지체(65)를 포함하고 있다. 샤프트(62a)는 전후 방향으로 연장되는 기둥 형상(예컨대, 원기둥 형상)의 부재이다. 샤프트(62a)의 후단이 지주(26e)의 오목부에 감입되고, 나사에 의해 지주(26e)에 고정된다. 샤프트(62a)는, 예컨대, 굽힘 강성이 높은 재료에 의해 구성되어 있다. 샤프트(62a)의 구성 재료의 예로서, 스테인리스 및 알루미늄 등의 금속, 및 카본 섬유 강화 플라스틱을 들 수 있다. 샤프트(62a)의 전후 방향에서의 길이는 패널의 전후 방향에서의 길이보다도 약간 길고, 샤프트(61a)의 전후 방향에서의 길이보다도 길다.
탄성체(62b)는 샤프트(62a)의 외주면에 마련된 환상(예컨대, 원환상)의 부재이다. 탄성체(62b)는 패널의 미끄러짐을 억제하고 패널의 위치 결정 정밀도를 향상시키기 위하여 마련된다. 탄성체(62b)의 구성 재료 및 배열은 탄성체(61b)의 구성 재료 및 배열과 마찬가지이므로 상세한 설명을 생략한다.
지지체(65)는 샤프트(62a)를 지지하기 위한 부재이다. 도 12에 나타내는 바와 같이, 지지체(65)는 재치부(65a)와, 장착부(65b)를 포함하고 있다. 재치부(65a)는 패널의 좌우 방향에서의 단부가 재치되는 부분이다. 재치부(65a)는, 좌우 방향으로 연장되는 대략 직육면체 형상을 갖고 있다. 재치부(65a)의 윗면에 패널의 좌우 방향에서의 단부가 재치된다. 재치부(65a)의 선단 부분에는 샤프트(62a)를 삽통하기 위한 삽통 구멍(65c)이 마련되어 있다. 삽통 구멍(65c)은, 재치부(65a)를 전후 방향으로 관통하고 있다.
장착부(65b)는 지지체(65)를 사이드 플레이트(48)에 장착하기 위한 부분이다. 장착부(65b)는, 재치부(65a)의 기단에 마련되어 있다. 장착부(65b)는, 재치부(65a)의 윗면보다도 위쪽으로 돌출하여 있고, 지지체(65)의 기단으로부터 선단을 향함에 따라 아래쪽으로 경사지는 경사면(65d)을 포함하고 있다. 장착부(65b)에는, 장착부(65b)의 단면으로부터 좌우 방향으로 연장되는 나사 구멍이 마련되어 있다. 장착부(65b)가 측벽(23)(본체부(23a))의 내면에 당접된 상태에서, 사이드 플레이트(48)의 삽통 구멍, 및 본체부(23a)의 삽통 구멍에 나사가 삽통되고, 장착부(65b)의 나사 구멍에 나사가 나사 결합된다. 이로 인해, 지지체(65)와 사이드 플레이트(48)에 의해 측벽(23)(본체부(23a))을 사이에 끼운 상태에서, 지지체(65)가 사이드 플레이트(48)에 고정된다.
스토퍼(63)는 패널의 튀어나옴을 방지함과 함께 패널의 전단의 위치를 결정하기 위한 부재이다. 스토퍼(63)는, 예컨대 상술한 수지 재료로 구성되어 있다. 스토퍼(63)는 샤프트(62a)의 전단에 마련되어 있다. 예컨대, 샤프트(62a)의 전단을 스토퍼(63)에 마련된 장착 구멍에 감입함으로써, 스토퍼(63)가 샤프트(62a)에 장착된다. 스토퍼(63)는, 탄성체(62b)의 외경보다도 큰 외경을 갖는 원판 형상의 계지편(63a)을 포함하고 있다. 계지편(63a)은 외주면으로부터 중심으로 향함에 따라 후방으로 경사지는 경사면을 포함하고 있다.
스토퍼(64)는 패널의 후단의 위치를 결정하기 위한 부재이다. 스토퍼(64)는, 예컨대 상술한 수지 재료로 구성되어 있다. 스토퍼(64)는 샤프트(62a)의 후단부에 마련되어 있다. 스토퍼(64)는 블록상의 형상을 갖고 있다. 스토퍼(64)에는, 전후 방향으로 샤프트(62a)를 삽통하기 위한 삽통 구멍이 마련되어 있다. 스토퍼(64)의 삽통 구멍에 샤프트(62a)가 삽통된 상태에서, 스토퍼(64)의 후면이 지주(26e)의 전면(前面)에 당접되고, 나사에 의해 스토퍼(64)가 지주(26e)에 고정된다. 스토퍼(64)는 윗면으로부터 아래쪽으로 향함에 따라 전방으로 경사지는 경사면(64a)을 포함하고 있다.
스토퍼(63), 스토퍼(64) 및 지지체(65)에 의해 패널이 재치되는 재치 위치가 규정된다. 구체적으로는, 스토퍼(63, 64)에 의해 패널의 전후 방향에서의 재치 위치가 규정되고, 좌우에 마련된 4개의 지지체(65)에 의해 패널의 좌우 방향에서의 재치 위치가 규정된다. 예컨대, 로봇에 의해 패널이 수용 공간(20)에 반입되고, 어느 하나의 수납단에 패널이 재치된다. 이 때, 오차 등에 의해 패널의 위치가 약간 어긋나는 경우가 있다. 예컨대, 패널의 전단이 스토퍼(63)의 계지편(63a)의 경사면 위에 올라타더라도, 패널의 자중에 의해 패널이 당해 경사면을 따라 재치 위치로 유도된다. 마찬가지로, 패널의 후단이 스토퍼(64)의 경사면(64a) 위에 올라타더라도, 패널의 자중에 의해 패널이 경사면(64a)을 따라 재치 위치로 유도된다. 마찬가지로, 패널의 측단이 지지체(65)의 경사면(65d) 위에 올라타더라도, 패널의 자중에 의해 패널이 경사면(65d)을 따라 재치 위치로 유도된다.
이상 설명한 패널 수납 용기(1)에서는, 덮개체(3)가 개구(2a)를 폐색하고 있는 상태에서 서로 마주하는 덮개체(3)의 외주면(3a)과 플랜지(25)의 내주면(25s)의 사이에 볼록 형상의 보호 부재(29)가 마련되어 있다. 구체적으로는, 보호 부재(29)는, 플랜지(25)의 내주면(25s)에 마련되어 있고, 덮개체(3)가 개구(2a)를 폐색하고 있는 상태에서, 내주면(25s)으로부터 외주면(3a)을 향하여 돌출하여 있다. 덮개체(3)가 플랜지(25)에 장착될 때 또는 덮개체(3)가 플랜지(25)로부터 제거될 때에, 덮개체(3)의 경사 등에 기인하여, 덮개체(3)의 외주면(3a)이 플랜지(25)의 내주면(25s)에 접근하는 경우가 있다. 이와 같은 경우, 덮개체(3)의 외주면(3a)은 플랜지(25)의 내주면(25s)에 접촉하기 전에 보호 부재(29)에 접촉할 수 있다. 따라서, 덮개체(3)의 외주면(3a)이 플랜지(25)의 내주면(25s)에 접촉할 가능성을 저감할 수 있다. 또한, 보호 부재(29)는 볼록 형상이므로, 덮개체(3)의 외주면(3a)과 플랜지(25)의 내주면(25s)이 접촉한 경우의 접촉 면적과 비교하여, 덮개체(3)의 외주면(3a)과 보호 부재(29)의 접촉 면적은 작다. 그 결과, 패널 수납 용기(1)의 손상을 억제하는 것이 가능해진다.
보호 부재(29)는 플랜지(25)에 착탈 가능하게 마련되어 있으므로, 보호 부재(29)를 교환할 수 있다. 예컨대, 보호 부재(29)가 손상된 경우에, 보호 부재(29)를 새로운 보호 부재(29)로 교환함으로써 보호 부재(29)의 손상이 수복된다. 따라서, 패널 수납 용기(1)의 손상을 억제하는 것이 가능해진다.
예컨대, 덮개체(3)가 경사진 경우, 측 프레임재(25c)의 양단에서의 내주면(25s)을 향하여 덮개체(3)의 외주면(3a)이 접근할 가능성이 높다. 이에 대하여, 측 프레임재(25c)의 양단(상단 및 하단)에서의 내주면(25s)에 보호 부재(29)가 마련되어 있다. 이 구성에 의하면, 측 프레임재(25c)의 상단에서의 내주면(25s) 또는 측 프레임재(25c)의 하단에서의 내주면(25s)을 향하여 덮개체(3)의 외주면(3a)이 접근하더라도, 덮개체(3)의 외주면(3a)은 플랜지(25)의 내주면(25s)에 접촉하기 전에 보호 부재(29)에 접촉할 수 있다. 따라서, 패널 수납 용기(1)의 손상을 보다 한층 억제하는 것이 가능해진다.
덮개체(31)는 금속 재료로 구성되어 있고, 플랜지(25)는 수지 재료로 구성되어 있다. 따라서, 덮개체(3)의 외주면(3a)이 플랜지(25)의 내주면(25s)에 접촉하면, 분진이 발생하여 패널 수납 용기(1) 내에 혼입될 우려가 있다. 상기 패널 수납 용기(1)에 의하면, 덮개체(3)의 외주면(3a)이 플랜지(25)의 내주면(25s)에 접촉할 가능성을 저감할 수 있기 때문에, 분진의 발생을 억제하는 것이 가능해진다.
예컨대, 연결 플레이트(44, 45)를 이용하지 않고, 측단부(21c)와 상단부(23b)가 나사로 연결된 경우, 나사가 마련되어 있지 않은 개소에서는 측단부(21c)와 상단부(23b)가 충분히 밀착하지 않을 우려가 있다. 이에 대하여, 패널 수납 용기(1)에서는, 연결 플레이트(44)와 연결 플레이트(45)에 의해 측단부(21c) 및 상단부(23b)가 협지되고, 천판(21)과 측벽(23)이 연결되어 있다. 이 구성에서는, 연결 플레이트(44)와 연결 플레이트(45)에 의해, 측단부(21c) 및 상단부(23b)를 사이에 끼워넣음으로써, 측단부(21c)와 상단부(23b)의 밀착성을 향상시킬 수 있다. 그 결과, 수용 공간(20)의 기밀성을 향상시키는 것이 가능해진다.
사이드 플레이트(48)는, 상단부(23b)와 하단부(23c)에 의해 끼워져 있다. 따라서, 사이드 플레이트(48)의 상하 방향에서의 위치를 정밀도 좋게 맞출 수 있기 때문에, 지지체(65)의 상하 방향에서의 위치 정밀도를 향상시킬 수 있다. 또한, 하단부(23c)는 받침대부(27)의 지지 부재(27c)에 고정되어 있고, 지지 부재(27c)는 지지 부재(27a, 27b, 27d)에 접속되어 있다. 이 때문에, 패널이 지지체(65)에 재치된 경우에, 패널의 중량을 받침대부(27) 전체로 받을 수 있다. 그 결과, 패널을 안정적으로 지지하는 것이 가능해진다.
커버 부재(C1~C3)가 용기 본체(2)의 각부에 마련됨으로써, 각 부재의 간극을 막을 수 있으며, 이들 간극으로부터 수용 공간(20)으로 파티클이 침입할 가능성을 저감할 수 있다.
위치 결정 부재(54)는 금속 재료로 구성되어 있고, V자 면에는 내마모성의 표면 처리가 실시되어 있다. 따라서, 위치 결정 부재(54)가 수지 재료로 구성되는 경우와 비교하여 강도를 향상시킬 수 있다. 이 때문에, 패널 수납 용기(1)의 중량이 큰 경우라도, 위치 결정 부재(54)의 변형을 억제할 수 있다. 그 결과, 패널 수납 용기(1)의 위치를 안정시킬 수 있고, 패널 수납 용기(1)의 위치 결정 정밀도를 향상시키는 것이 가능해진다. 또한, 위치 결정 부재(54)의 V자 면은 장착 플레이트(52, 53)의 관통 구멍(52g, 53g)으로부터 노출되어 있다. 장착 플레이트(52, 53)는 수지 재료로 구성되어 있기 때문에, 핀이 관통 구멍(52g, 53g)을 획정하는 주연에 올라타더라도 핀이 미끄러지기 쉽다. 따라서, 핀이 V자 면으로 유도되고 V자 형상의 홈으로 유도될 수 있다.
반송 장치 또는 가공 장치 등의 외부 장치가 갖는 핀의 선단을 위치 결정 부재(54)의 V자 면에 당접시킴으로써, 패널 수납 용기(1)가 지지된다. 패널 수납 용기(1)에서는, 전방에 2개의 위치 결정 부재(54)가 마련되고, 후방에 1개의 위치 결정 부재(54)가 마련되어 있기 때문에, 패널 수납 용기(1)가 지지되어 있는 상태에서는 패널 수납 용기(1)의 앞부분보다도 뒷부분이 아래쪽으로 내려가는 경향이 있다. 이 때, 블록재(56)가 외부 장치에 당접함으로써, 패널 수납 용기(1)의 경사가 억제된다. 그 결과, 패널 수납 용기(1)의 변형을 억제하는 것이 가능해진다.
또한, 본 개시에 따른 패널 수납 용기는 상기 실시형태에 한정되지 않는다.
상기 실시형태에서는, 고정 부재의 일례로서 나사가 이용되고 있지만, 나사 대신에 다른 고정 부재가 이용되어도 된다.
상기 실시형태에서는, 플랜지(25)는 상 프레임재(25a), 하 프레임재(25b) 및 한 쌍의 측 프레임재(25c)를 연결함으로써 구성되어 있지만, 플랜지(25)는 일체 성형품이어도 된다.
상기 실시형태에서는, 보호 부재(29)는 한 쌍의 측 프레임재(25c)에 마련되어 있지만, 플랜지(25)를 구성하는 상 프레임재(25a), 하 프레임재(25b) 및 한 쌍의 측 프레임재(25c) 중 적어도 하나에 마련되어 있으면 된다. 예컨대, 보호 부재(29)는 한 쌍의 측 프레임재(25c)에는 마련되지 않고, 상 프레임재(25a) 및 하 프레임재(25b)에 마련되어도 된다. 보호 부재(29)는 상 프레임재(25a), 하 프레임재(25b) 및 한 쌍의 측 프레임재(25c)의 각각에 마련되어도 된다. 각 프레임재에서의 보호 부재(29)의 수 및 설치 위치는 임의로 설정될 수 있다.
상기 실시형태에서는, 보호 부재(29)는, 플랜지(25)에 착탈 가능하게 구성되어 있지만, 플랜지(25)에 고정되어도 된다. 상기 실시형태에서는, 보호 부재(29)는 플랜지(25)와는 다른 부재이지만, 보호 부재(29)와 일체로 구성되어도 된다.
보호 부재(29)는, 덮개체(3)의 외주면(3a)에 덮개체(3)와는 다른 부재로서 마련되어도 된다. 보호 부재(29)는 덮개체(3)와 일체로 구성되어도 된다. 이들 경우, 덮개체(3)가 개구(2a)를 폐색하고 있는 상태에서, 보호 부재(29)는 외주면(3a)으로부터 내주면(25s)을 향하여 돌출한다. 따라서, 덮개체(3)의 외주면(3a)이 플랜지(25)의 내주면(25s)에 접근한 경우에도, 덮개체(3)의 외주면(3a)이 플랜지(25)의 내주면(25s)에 접촉하기 전에 보호 부재(29)에 접촉할 가능성이 높아진다. 따라서, 패널 수납 용기(1)의 손상을 더욱 억제하는 것이 가능해진다.
또한, 보호 부재(29)는, 덮개체(3)에 착탈 가능하게 마련되어도 된다. 예컨대, 보호 부재(29)가 손상된 경우에, 보호 부재(29)를 새로운 보호 부재(29)로 교환함으로써, 보호 부재(29)의 손상이 수복된다. 따라서, 패널 수납 용기(1)의 손상을 억제하는 것이 가능해진다.
용기 본체(2)의 각 부재의 연결 방법은, 상기 실시형태와 상이하여도 된다. 상기 실시형태에서는, 용기 본체(2)는, 복수의 부품을 조합함으로써 구성되어 있지만, 일체 성형품이어도 된다. 패널 지지부(60)는 상기 실시형태와 상이한 구성을 가져도 된다.
1: 패널 수납 용기
2: 용기 본체
2a: 개구
3: 덮개체
3a: 외주면
25: 플랜지
25a: 상 프레임재(프레임부)
25b: 하 프레임재(프레임부)
25c: 측 프레임재(프레임부)
25s: 내주면
29: 보호 부재(제1 보호 부재, 제2 보호 부재)
31: 덮개 본체
2: 용기 본체
2a: 개구
3: 덮개체
3a: 외주면
25: 플랜지
25a: 상 프레임재(프레임부)
25b: 하 프레임재(프레임부)
25c: 측 프레임재(프레임부)
25s: 내주면
29: 보호 부재(제1 보호 부재, 제2 보호 부재)
31: 덮개 본체
Claims (7)
- 개구를 획정하는 플랜지를 포함하고, 복수의 패널을 수납하기 위한 용기 본체와,
상기 개구를 폐색하기 위한 덮개체와,
상기 덮개체가 상기 개구를 폐색하고 있는 상태에서 서로 마주하는 상기 덮개체의 외주면과 상기 플랜지의 내주면 사이에 마련된 볼록 형상의 보호 부재
를 구비하는, 패널 수납 용기. - 제1항에 있어서,
상기 보호 부재는, 상기 플랜지의 상기 내주면에 마련되고, 상기 덮개체가 상기 개구를 폐색하고 있는 상태에서 상기 내주면으로부터 상기 외주면을 향하여 돌출하여 있는, 패널 수납 용기. - 제2항에 있어서,
상기 보호 부재는, 상기 플랜지에 착탈 가능하게 마련되어 있는, 패널 수납 용기. - 제1항에 있어서,
상기 보호 부재는, 상기 덮개체의 상기 외주면에 마련되고, 상기 덮개체가 상기 개구를 폐색하고 있는 상태에서 상기 외주면으로부터 상기 내주면을 향하여 돌출하여 있는, 패널 수납 용기. - 제4항에 있어서,
상기 보호 부재는, 상기 덮개체에 착탈 가능하게 마련되어 있는, 패널 수납 용기. - 제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 플랜지는 직사각형상의 프레임체이고,
상기 보호 부재는 제1 보호 부재와, 제2 보호 부재를 포함하며,
상기 제1 보호 부재 및 상기 제2 보호 부재는, 상기 프레임체의 한 변을 이루는 프레임부의 양단에서의 상기 내주면과 상기 외주면의 사이에 마련되는, 패널 수납 용기. - 제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 덮개체는 상기 외주면을 포함하는 덮개 본체를 구비하고,
상기 덮개 본체는 금속 재료로 구성되어 있으며,
상기 플랜지는 수지 재료로 구성되어 있는, 패널 수납 용기.
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2021025297A JP7467367B2 (ja) | 2021-02-19 | 2021-02-19 | パネル収納容器 |
| JPJP-P-2021-025297 | 2021-02-19 | ||
| PCT/JP2021/033748 WO2022176244A1 (ja) | 2021-02-19 | 2021-09-14 | パネル収納容器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR20230147647A true KR20230147647A (ko) | 2023-10-23 |
Family
ID=82931318
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1020237030263A KR20230147647A (ko) | 2021-02-19 | 2021-09-14 | 패널 수납 용기 |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP7467367B2 (ko) |
| KR (1) | KR20230147647A (ko) |
| CN (1) | CN116601087A (ko) |
| TW (1) | TW202245094A (ko) |
| WO (1) | WO2022176244A1 (ko) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2019138982A1 (ja) | 2018-01-12 | 2019-07-18 | 信越ポリマー株式会社 | パネル収納容器 |
Family Cites Families (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6464081B2 (en) | 1999-01-06 | 2002-10-15 | Entegris, Inc. | Door guide for a wafer container |
| JP4150578B2 (ja) | 2002-12-02 | 2008-09-17 | ミライアル株式会社 | 薄板収納容器 |
| US8813990B1 (en) * | 2012-06-26 | 2014-08-26 | Metal Solutions Design & Fabrication, LLC | Container for transporting hazardous material |
| JP5921371B2 (ja) | 2012-07-13 | 2016-05-24 | 信越ポリマー株式会社 | 基板収納容器 |
| JP5988854B2 (ja) | 2012-12-11 | 2016-09-07 | 信越ポリマー株式会社 | 基板収納容器 |
| JP6396257B2 (ja) * | 2015-06-04 | 2018-09-26 | 信越ポリマー株式会社 | 基板収納容器 |
| JP6709176B2 (ja) | 2017-01-26 | 2020-06-10 | 信越ポリマー株式会社 | 基板収納容器の管理方法 |
| JP6881716B2 (ja) | 2017-08-07 | 2021-06-02 | 信越ポリマー株式会社 | パネル収納容器 |
-
2021
- 2021-02-19 JP JP2021025297A patent/JP7467367B2/ja active Active
- 2021-09-14 CN CN202180083606.4A patent/CN116601087A/zh active Pending
- 2021-09-14 WO PCT/JP2021/033748 patent/WO2022176244A1/ja active Application Filing
- 2021-09-14 KR KR1020237030263A patent/KR20230147647A/ko unknown
- 2021-10-01 TW TW110136776A patent/TW202245094A/zh unknown
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2019138982A1 (ja) | 2018-01-12 | 2019-07-18 | 信越ポリマー株式会社 | パネル収納容器 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2022127251A (ja) | 2022-08-31 |
| TW202245094A (zh) | 2022-11-16 |
| JP7467367B2 (ja) | 2024-04-15 |
| CN116601087A (zh) | 2023-08-15 |
| WO2022176244A1 (ja) | 2022-08-25 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP1049137B1 (en) | Identification structure of a substrate storage container | |
| CN111602234B (zh) | 面板收纳容器 | |
| US20200279761A1 (en) | Substrate storage container | |
| JP2019127272A (ja) | パネル収納容器 | |
| JP2019031297A (ja) | パネル収納容器 | |
| KR20230147647A (ko) | 패널 수납 용기 | |
| JP5916508B2 (ja) | 基板収納容器 | |
| CN217158137U (zh) | 面板收纳容器 | |
| KR20230001920U (ko) | 패널 수납 용기 | |
| WO2022215311A1 (ja) | パネル収納容器 | |
| CN217970454U (zh) | 面板收纳容器 | |
| CN219658676U (zh) | 面板收纳容器 | |
| CN219506549U (zh) | 面板收纳容器 | |
| JP2019033145A (ja) | パネル収納容器 | |
| JP2012164720A (ja) | 輸送箱 | |
| JP2023141949A (ja) | パネル収納容器 | |
| JP2023141839A (ja) | パネル収納容器 | |
| KR20200085328A (ko) | 기판 수납 용기 |