JP6709176B2 - 基板収納容器の管理方法 - Google Patents
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Description
排気バルブの弁体の開放圧力が0.4kPa以上に設定され、排気バルブの開放圧力と、容器本体と蓋体の間からガスが漏れ出す蓋体で嵌合閉鎖された容器本体の内圧との関係が、排気バルブの弁体の開放圧力<容器本体と蓋体の間からガスが漏れ出す基板収納容器の内圧0.5kPa以上の関係であり、
シールガスケットがポリオレフィン系エラストマーにより成形されてそのデュロメータタイプAで測定された場合の硬度がA80以上90以下であり、このシールガスケットの圧潰量が0.5mm以上に設定され、
基板収納容器の外部から内部にパージガスを給気バルブにより供給するとともに、基板収納容器の内部から外部にガスを排気バルブにより排気し、この排気バルブから排気されるガスを計測することにより、基板収納容器の内部を管理することを特徴としている。
また、シールガスケットの圧潰量が0.5mm以上なので、実験結果から容器本体と蓋体の間からガスが漏洩するのを有効に防止できる。したがって、容器本体の排気バルブ側から排気されるガスの排気量の減少を抑制し、基板収納容器の内部が適切にパージされているかを容易に管理することが可能となる。
2 正面(開口部)
4 給気バルブ
6 排気バルブ
7 シール形成面
8 隣接面
20 蓋体
21 蓋本体
25 施錠操作リール
26 施錠バー
27 施錠爪
28 蓋カバー
30 シールガスケット
31 ガスケット本体
33 延出片
35 第一のシール片
37 第二のシール片
W 半導体ウェーハ(基板)
Claims (1)
- 基板を収納する容器本体と、この容器本体の開口部を嵌合閉鎖する蓋体と、これら容器本体と蓋体との間に圧潰されてシールするシールガスケットとを備え、容器本体に、容器本体の外部から内部にパージガスを供給する給気バルブが取り付けられるとともに、容器本体の内部から外部にガスを排気する排気バルブが取り付けられる基板収納容器の管理方法であって、
排気バルブの弁体の開放圧力が0.4kPa以上に設定され、排気バルブの開放圧力と、容器本体と蓋体の間からガスが漏れ出す蓋体で嵌合閉鎖された容器本体の内圧との関係が、排気バルブの弁体の開放圧力<容器本体と蓋体の間からガスが漏れ出す基板収納容器の内圧0.5kPa以上の関係であり、
シールガスケットがポリオレフィン系エラストマーにより成形されてそのデュロメータタイプAで測定された場合の硬度がA80以上90以下であり、このシールガスケットの圧潰量が0.5mm以上に設定され、
基板収納容器の外部から内部にパージガスを給気バルブにより供給するとともに、基板収納容器の内部から外部にガスを排気バルブにより排気し、この排気バルブから排気されるガスを計測することにより、基板収納容器の内部を管理することを特徴とする基板収納容器の管理方法。
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JP2017012393A JP6709176B2 (ja) | 2017-01-26 | 2017-01-26 | 基板収納容器の管理方法 |
Applications Claiming Priority (1)
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JP2017012393A JP6709176B2 (ja) | 2017-01-26 | 2017-01-26 | 基板収納容器の管理方法 |
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