CN219658676U - 面板收纳容器 - Google Patents

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Abstract

本实用新型提供一种能够提高容器本体的收容空间内的气体的交换性能的面板收纳容器。面板收纳容器包括：容器本体，具有开口，划定用于将多个面板以在第一方向上排列的状态进行收纳的收容空间；盖体，用于堵塞开口；以及第一供气机构及第二供气机构，向收容空间供给气体，其中，容器本体划定收容空间并且包括在与第一方向交叉的第二方向上相互相向的第一侧壁与第二侧壁，第一供气机构从第一侧壁朝向第二侧壁向收容空间供给气体，第二供气机构从第二侧壁朝向第一侧壁向收容空间供给气体。

Description

面板收纳容器
技术领域
本公开涉及一种面板收纳容器。
背景技术
在收纳多块面板的面板收纳容器中，为了维持清洁性及低湿度而交换面板收纳容器内的气体。例如，在国际公开第2018/047541号中记载了一种基板收纳容器，其包括能够收纳多块基板的容器本体、及向容器本体的内部空间吹出气体的气体置换单元。
实用新型内容
在国际公开第2018/047541号所记载的基板收纳容器中，气体置换单元配置于容器本体的后方两端。在此结构中，越远离容器本体的后方，气体越难以遍布，因此有可能无法充分地进行容器本体的内部空间(收容空间)内的气体的交换。
本公开对能够提高容器本体的收容空间内的气体的交换性能的面板收纳容器进行说明。
本公开的一方面的面板收纳容器包括：容器本体，具有开口，划定用于将多个面板以在第一方向上排列的状态进行收纳的收容空间；盖体，用于堵塞开口；以及第一供气机构及第二供气机构，向收容空间供给气体。容器本体划定收容空间并且包括在与第一方向交叉的第二方向上相互相向的第一侧壁与第二侧壁。第一供气机构从第一侧壁朝向第二侧壁向收容空间供给气体。第二供气机构从第二侧壁朝向第一侧壁向收容空间供给气体。
在所述面板收纳容器中，从第一侧壁朝向第二侧壁向收容空间供给气体，并且从第二侧壁朝向第一侧壁向收容空间供给气体。由于第一侧壁与第二侧壁在第二方向上互相相向，因此在收容空间内的任一位置处，至第一侧壁为止的距离与至第二侧壁为止的距离的和均固定。因此，气体容易遍布于收容空间内。其结果，能够提高容器本体的收容空间内的气体的交换性能。
在若干实施方式中，第一供气机构可包括：供气阀，从容器本体的外部取入气体；放出部，沿着第一侧壁设置，放出气体；以及连接部，设置有将供气阀与放出部加以连接的流路。可在放出部设置有用于朝向第二侧壁放出气体的多个放出孔。在此情况下，即便供气阀与放出部分离，也可通过连接部将气体从供气阀供给至放出部。因此，可提高第一供气机构的配置的自由度。
在若干实施方式中，放出部可设置于收容空间内，包含在与第一方向及第二方向交叉的第三方向上排列的第一腔室及第二腔室。在连接部可设置有将供气阀与第一腔室加以连接的第一流路、及将供气阀与第二腔室加以连接的第二流路。在此情况下，收容空间内的放出部的配置的自由度提高。因此，能够在不会与设置于收容空间内的其他构件发生干涉的情况下将放出部配置于收容空间内。
在若干实施方式中，第一流路的流路长度可与第二流路的流路长度相等。在此情况下，由于可使开始从供气阀向第一腔室供给气体的时机与开始从供气阀向第二腔室供给气体的时机一致，因此可减少开始从第一腔室向收容空间供给气体的时机与开始从第二腔室向收容空间供给气体的时机的偏差。因此，可提高气体的直进性，因此气体更容易遍布于收容空间内。其结果，能够进一步提高容器本体的收容空间内的气体的交换性能。
在若干实施方式中，容器本体可包括：底板，划定收容空间；内壁，在第二方向上与第一侧壁相向；以及连结构件，将底板、第一侧壁及内壁加以连结。放出部可包含第一侧壁与内壁。在此情况下，由于使用构成容器本体的第一侧壁来构成放出部，因此能够削减第一供气机构中使用的专用零件的数量。
在若干实施方式中，可在连结构件设置有用于保持底板的第一卡合槽、用于保持第一侧壁的第二卡合槽、及用于保持内壁的第三卡合槽。在此情况下，仅通过将底板插入至第一卡合槽中，将第一侧壁插入至第二卡合槽中，将内壁插入至第三卡合槽中，便可将底板与第一侧壁及内壁加以连结。因此，可在不使用螺栓等紧固构件的情况下将底板与第一侧壁及内壁加以连结。其结果，能够削减零件的数量。
在若干实施方式中，多个放出孔可针对收纳多个面板的各者的每个收纳段而设置。气体的流动受到收纳于收容空间中的面板的阻碍。根据所述结构，由于向各收纳段供给气体，因此即便气体的流动受到面板的阻碍，也可使气体遍布于收容空间内。其结果，能够进一步提高收容空间内的气体的交换性能。
根据本公开，可提高容器本体的收容空间内的气体的交换性能。
附图说明
图1是一实施方式的面板收纳容器的分解立体图。
图2是图1所示的面板收纳容器的底面图。
图3是沿着图1的III-III线的剖面图。
图4是图3所示的供气机构的分解立体图。
图5是沿着图4的V-V线的剖面图。
图6是用于对由图3所示的供气机构进行的气体的供给进行说明的图。
图7是表示供气机构的变形例的图。
[符号的说明]
1：面板收纳容器
2：容器本体
2a：开口
3：盖体
20、73a：收容空间
21：顶板
22：底板
23A：侧壁(第一侧壁)
23B：侧壁(第二侧壁)
24：背面壁
25：凸缘
25h：上锁孔
26：框体
26a：框部
26b、26c：支柱
27：台座部
27a：支撑构件
28：轨道构件
29：侧板
31：盖本体
31h：钥匙孔
32：上锁机构
51：定位构件
52A：供气机构(第一供气机构)
52B：供气机构(第二供气机构)
53：排气阀
60：面板支撑部
61、62：支撑部
61a、62a：主轴
61b、62b：弹性体
63、64：止挡件
65：支撑体
71：供气阀
72：放出部
72a：贮存空间
73：连接部
73b：流路(第一流路)
73c：流路(第二流路)
73d、78d：流路
73h：导入端口
74：腔室(第一腔室)
74a、75a、76a：箱体
74b、75b、76b：连接管
74c、75c、76c：面
74h、75h、76h、77h：放出孔
75：腔室(第二腔室)
76：腔室
77：内壁
78：连结框架(连结构件)
78a：卡合槽(第一卡合槽)
78b：卡合槽(第二卡合槽)
78c：卡合槽(第三卡合槽)
79：配管
P：面板。
具体实施方式
以下，参照附图对本公开的实施方式进行详细说明。此外，附图的说明中，对相同元件标注相同符号，省略重复的说明。各图中，示出XYZ坐标系。Y轴方向(第三方向)是与X轴方向(第二方向)及Z轴方向(第一方向)交叉(此处为正交)的方向。Z轴方向是与X轴方向及Y轴方向交叉(此处为正交)的方向。作为一例，X轴方向是左右方向(宽度方向)，Y轴方向是前后方向(纵深方向)，Z轴方向是上下方向(高度方向)。为了方便说明，使用“前”、“后”、“上”、“下”、“左”、及“右”的用语，但不限定于这些方向。
参照图1，对一实施方式的面板收纳容器进行说明。图1是一实施方式的面板收纳容器的分解立体图。图1所示的面板收纳容器1是用于收纳多个面板P(参照图3)的容器。面板收纳容器1例如依照国际半导体设备暨材料协会(Semiconductor Equipment andMaterials International，SEMI)标准。作为面板P的例子，可列举液晶面板用的玻璃基板、及搭载有电子零件的面板。面板P具有矩形形状。作为面板P的尺寸的例子，可列举510mm×515mm及600mm×600mm。面板收纳容器1中能够收纳的面板P的块数是任意规定，例如可为6块，也可为12块，也可为16块，也可为24块。
面板收纳容器1例如用于制造电子零件组装品的制造装置。电子零件组装品例如是经由下述工序等而制造：在玻璃板及不锈钢板等大型的载体面板上搭载多数个电子零件；以环氧树脂等将这些电子零件加以密封；将经密封的电子零件以面板形态从载体面板剥下；以及将面板形态的电子零件分别切出。面板收纳容器1是用于在这些工序间移送面板P。
面板收纳容器1包含容器本体2及盖体3。
容器本体2是正面(前表面)经开放的、长方体形状的容器。换言之，容器本体2是在前表面设置有开口2a的、前开箱(front open box)型的容器。容器本体2收纳多个面板P。具体而言，容器本体2将多个面板P以在上下方向上排列的状态进行收纳。经由开口2a将面板P从容器本体2中取出或放入至容器本体2。容器本体2的详情将在下文叙述。
盖体3是用于堵塞容器本体2的开口2a的构件。盖体3经由衬垫等密封构件气密地堵塞容器本体2的开口2a。盖体3装卸自如地安装于划定开口2a的凸缘25。盖体3包含盖本体31及上锁机构32。盖本体31是盖体3的本体部分。盖本体31是矩形状的板材。盖本体31例如由铝及镁合金等金属材料所构成。盖本体31也可由聚碳酸酯树脂等热塑性树脂所构成。在盖本体31的前表面设置有钥匙孔31h。在钥匙孔31h插入未图示的钥匙。
上锁机构32是通过对插入至钥匙孔31h中的钥匙进行操作，从而将盖体3上锁或解锁。上锁机构32包含未图示的锁扣(latch)。在将盖体3安装于凸缘25的状态下，通过利用钥匙的操作将锁扣嵌入至设置于凸缘25的上锁孔25h中，从而将盖体3上锁。在将盖体3上锁的状态下，通过利用钥匙的操作将锁扣从上锁孔25h抽出，从而将盖体3解锁。
容器本体2及盖体3也可通过将由金属材料或树脂材料所成形的多个零件组合而构成。作为树脂材料的成形材料所含的树脂的例子，可列举热塑性树脂。作为热塑性树脂的例子，可列举：聚碳酸酯、环烯烃聚合物、聚醚酰亚胺、聚醚酮、聚醚醚酮、聚对苯二甲酸丁二酯、聚缩醛、液晶聚合物、聚甲基丙烯酸甲酯等丙烯酸树脂、及丙烯腈丁二烯苯乙烯共聚物。作为树脂材料的成形材料所含的树脂，可使用这些的合金(alloy)。
也可在这些树脂中添加导电物质及各种抗静电剂。导电物质例如包含碳纤维、碳粉末、碳纳米管或导电性聚合物等。作为抗静电剂，可使用阴离子系、阳离子系及非离子系等抗静电剂。也可添加苯并三唑系、水杨酸系、氰基丙烯酸酯系、草酰苯胺(oxalic acidanilide)系及受阻胺系的紫外线吸收剂。也可选择性地添加使刚性提高的玻璃纤维或碳纤维等。
其次，对容器本体2进行详细说明。容器本体2包含顶板21、底板22、侧壁23A(第一侧壁)、侧壁23B(第二侧壁)、背面壁24、凸缘25、框体26、台座部27(参照图2)、一对轨道构件28(参照图2)、及侧板(side plate)29。
顶板21、底板22、侧壁23A、侧壁23B、及背面壁24是大致矩形状的板材。顶板21与底板22在上下方向上相互相向，且大致平行地配置。侧壁23A与侧壁23B在左右方向上相互相向，且大致平行地配置。背面壁24将顶板21的后端与底板22的后端连结，并且将侧壁23A、侧壁23B的后端连结。由顶板21、底板22、侧壁23A、侧壁23B、及背面壁24划定用于收纳多个面板P的收容空间20。
顶板21、底板22及侧壁23A、侧壁23B例如由铝及不锈钢等金属材料所构成。背面壁24例如由能够从容器本体2的外部目视收容空间20的、透明的树脂材料所构成。背面壁24的一部分也可由透明的树脂材料所构成。作为透明的树脂材料的例子，可列举丙烯酸树脂、聚碳酸酯、氯乙烯树脂及环烯烃聚合物。
凸缘25是矩形状的框体，且跨及顶板21的前端、底板22的前端及侧壁23A、侧壁23B的前端而设置。通过凸缘25来划定开口2a。凸缘25例如由上文所述的树脂材料或铝及不锈钢等金属材料所构成。在凸缘25的上框部及下框部分别设置有在左右方向上分开排列的两个上锁孔25h。上框部的上锁孔25h与下框部的上锁孔25h设置于在上下方向上相互相向的位置。
框体26用于固定顶板21、底板22、侧壁23A、侧壁23B及背面壁24。框体26例如由铝及不锈钢等金属材料所构成。框体26设置于背面壁24的前表面。框体26具有框部26a(参照图3)、支柱26b(参照图3)、及一对支柱26c(参照图3)。框部26a是矩形状的构件，沿着背面壁24的周缘设置。
支柱26b及一对支柱26c是沿上下方向延伸的柱状构件。其中一个支柱26c、支柱26b及另一个支柱26c在左右方向上按此顺序排列，且相互大致平行地配置。支柱26b及一对支柱26c从框部26a的上框部延伸至下框部。支柱26b设置于框体26的左右方向上的中心，一对支柱26c设置于框体26的左右方向上的两端附近。在支柱26b设置有用于安装后述的主轴61a的多个嵌合孔。在支柱26c设置有用于安装后述的主轴62a的多个嵌合孔。
台座部27是成为容器本体2的基底(base)的部分。台座部27例如由铝及不锈钢等金属材料所构成。台座部27设置于底板22的下表面。台座部27是通过将多个柱状的支撑构件27a组合而构成。
一对轨道构件28是用于将面板收纳容器1载置于输送机等搬送装置的构件。各轨道构件28是沿前后方向延伸的板状构件。各轨道构件28例如由所述树脂材料所构成。一对轨道构件28在容器本体2的左右两端部设置于台座部27下。
侧板29是用于安装后述的支撑体65的构件。侧板29是沿上下方向延伸的板状构件。侧板29例如由铝及不锈钢等金属材料所构成。侧板29设置于侧壁23A、侧壁23B的外表面。在本实施方式中，在各侧壁设置有两个侧板29。两个侧板29在前后方向上排列，且相互大致平行地配置。一个侧板29设置于侧壁的前后方向上的中心附近，另一个侧板29设置于侧壁的前后方向上的前端附近。
在容器本体2的角部设置有用于防止颗粒(粒子)向收容空间20侵入的盖构件。
其次，参照图2对设置于容器本体2的底部的构件进行说明。图2是图1所示的面板收纳容器的底面图。如图2所示，面板收纳容器1还包含定位构件51、供气机构52A(第一供气机构)、供气机构52B(第二供气机构)、及排气阀53。
定位构件51是用于由搬送装置或加工装置等外部装置进行面板收纳容器1(容器本体2)的定位的构件。定位构件51例如由铝及不锈钢等金属材料所构成。定位构件51是V字状的板材。定位构件51朝向底板22(上方)凹陷。由定位构件51的V字面划定V字状的槽。可根据需要对V字面实施提高耐磨损性及滑动性的表面处理。在本实施方式中，面板收纳容器1包含三个定位构件51。定位构件51的数量及配置可适宜变更。
供气机构52A、供气机构52B是为了保持面板收纳容器1的内部(收容空间20)的清洁性及低湿度，用于向收容空间20内供给气体的机构。作为供给至收容空间20内的气体的例子，可列举惰性气体。供气机构52A从侧壁23A朝向侧壁23B向收容空间20供给气体。供气机构52B从侧壁23B朝向侧壁23A向收容空间20供给气体。关于供气机构52A、供气机构52B的详细情况，将在后文叙述。
排气阀53是用于从收容空间20排出气体的机构。在本实施方式中，面板收纳容器1包含两个排气阀53，各排气阀53设置于面板收纳容器1的前方。此外，排气阀53的数量及配置可任意变更。
其次，参照图3对收容空间20内的结构进行说明。图3是沿着图1的III-III线的剖面图。如图3所示，面板收纳容器1还包含面板支撑部60。面板支撑部60是用于支撑多个面板P的部分。面板支撑部60设置于容器本体2的内部(收容空间20)。面板支撑部60包含多个支撑部61、多个支撑部62、多个止挡件63及多个止挡件64。
支撑部61、支撑部62、止挡件63及止挡件64的数量是根据面板收纳容器1中能够收纳的面板P的块数而变更。在本实施方式中，面板支撑部60针对每一块面板P而包含一个支撑部61、两个支撑部62、两个止挡件63及两个止挡件64。换言之，由一个支撑部61、两个支撑部62、两个止挡件63及两个止挡件64形成收纳一块面板P的收纳段。
支撑部61是用于支撑面板P的左右方向上的中央部的部分。支撑部61具有主轴61a及多个弹性体61b。主轴61a是沿前后方向延伸的柱状(例如圆柱状)的构件。主轴61a用于支撑一块面板P。主轴61a的后端部嵌入至支柱26b的嵌合孔中，通过螺杆而固定于支柱26b。主轴61a例如由弯曲刚性高的材料所构成。作为主轴61a的构成材料的例子，可列举不锈钢及铝等金属、以及碳纤维强化塑料。
弹性体61b是设置于主轴61a的外周面的环状(例如圆环状)的构件。弹性体61b是为了抑制面板P的滑动，提高面板P的定位精度而设置。就防止面板P的滑动的观点而言，弹性体61b也可具有比主轴61a更高的摩擦力。就防止面板P的损伤的观点而言，弹性体61b也可具有比主轴61a更高的弹力性(缓冲性)。弹性体61b例如是由橡胶材料所构成。作为橡胶材料的例子，可列举乙烯丙烯二烯橡胶(Ethylene Propylene Diene Monomer，EPDM)、硅酮橡胶及氟橡胶。弹性体61b例如是O环。多个弹性体61b在主轴61a的延伸方向以一定的间隔排列。
支撑部62是用于支撑面板P的左右方向的两端部的部分。支撑部62具有主轴62a、多个弹性体62b及多个支撑体65。主轴62a是沿前后方向延伸的柱状(例如圆柱状)的构件。主轴62a用于支撑一块面板P。主轴62a的后端部嵌入至支柱26c的嵌合孔中，通过螺杆而固定于支柱26c。主轴62a例如由弯曲刚性高的材料所构成。作为主轴62a的构成材料的例子，可列举不锈钢及铝等金属、以及碳纤维强化塑料。
主轴62a的前后方向上的长度比面板P的前后方向上的长度而稍更长，且比主轴61a的前后方向上的长度更长。主轴61a与一对主轴62a在左右方向上排列。在一对主轴62a之间配置有主轴61a。
弹性体62b是设置于主轴62a的外周面的环状(例如圆环状)的构件。弹性体62b是为了抑制面板P的滑动，提高面板P的定位精度而设置。弹性体62b的构成材料及排列与弹性体61b的构成材料及排列相同，故而省略详细的说明。
支撑体65是用于保持(支撑)主轴62a，并且支撑面板P的左右方向上的端部的构件。在支撑体65的前端部分设置有沿前后方向贯通支撑体65的插通孔，使主轴62a插通插通孔。支撑体65的基端部分抵接于侧壁(侧壁23A、侧壁23B)的内表面，通过顶出销(未图示)对侧板29、侧壁、及支撑体65进行定位。在此状态下，螺杆从侧板29的外侧插通至设置于侧板29的插通孔中，且螺杆螺合于支撑体65的基端部分上设置的螺纹孔中。由此，在由支撑体65与侧板29夹着侧壁的状态下，支撑体65被固定于侧板29。
止挡件63是用于防止面板P飞出并且决定面板P的前端的位置的构件。止挡件63例如由上文所述的树脂材料所构成。止挡件63设置于主轴62a的前端部。例如，通过将主轴62a的前端部嵌入至设置于止挡件63的安装孔中，从而将止挡件63安装于主轴62a。
止挡件64是用于决定面板P的后端的位置的构件。止挡件64例如由上文所述的树脂材料所构成。止挡件64设置于主轴62a的后端部。止挡件64具有块状的形状。在止挡件64设置有用于供主轴62a沿前后方向插通的插通孔。在主轴62a插通至止挡件64的插通孔中的状态下，止挡件64的后表面抵接于支柱26c的前表面，并通过螺杆将止挡件64固定于支柱26c。
其次，参照图4及图5对供气机构52A、供气机构52B进行详细说明。图4是图3所示的供气机构的分解立体图。图5是沿着图4的V-V线的剖面图。供气机构52B具有与供气机构52A相同的结构，因此，此处对供气机构52A进行详细说明。如图4及图5所示，供气机构52A包含供气阀71、放出部72、及连接部73。供气阀71是用于从容器本体2的外部取入气体的机构。供气阀71收容于后述的收容空间73a中。
放出部72是向收容空间20放出气体的部分。放出部72沿着侧壁23A设置。放出部72包含腔室74(第一腔室)、腔室75(第二腔室)、及腔室76。腔室74～腔室76分别能够贮存气体，将所贮存的气体放出至收容空间20中。腔室74、腔室75、及腔室76设置于收容空间20内，并按此顺序沿前后方向排列。腔室74设置于盖体3堵塞开口2a的状态下的盖体3与前方的支撑体65之间。腔室75设置于两个支撑体65之间。腔室76设置于后方的支撑体65与背面壁24之间。
腔室74包含箱体74a及连接管74b。箱体74a具有扁平的箱型的形状，划定了能够贮存气体的空间。箱体74a沿着侧壁23A的内表面在上下方向上延伸，并且以沿着侧壁23A的内表面的方式配置。在箱体74a的面74c设置有多个放出孔74h。面74c是在左右方向上与侧壁23B(收容空间20)相向的面。各放出孔74h是用于朝向侧壁23B放出气体的孔。
多个放出孔74h在上下方向上排列。各放出孔74h延伸至面74c的前后方向上的两端缘附近。放出孔74h的数量与面板收纳容器1中能够收纳的面板P的块数相同。在面板P的每个收纳段设置一个放出孔74h。连接管74b是将箱体74a与后述的流路73b(第一流路)加以连接的配管。连接管74b设置于箱体74a的下表面，从箱体74a的下表面向下方突出。
腔室75包含箱体75a及连接管75b。箱体75a具有扁平的箱型的形状，划定了能够贮存气体的空间。箱体75a沿着侧壁23A的内表面在上下方向上延伸，并且以沿着侧壁23A的内表面的方式配置。在箱体75a的面75c设置有多个放出孔75h。面75c是在左右方向上与侧壁23B(收容空间20)相向的面。各放出孔75h是用于朝向侧壁23B放出气体的孔。
多个放出孔75h沿前后方向各两个地在上下方向上排列。沿前后方向排列的两个放出孔75h中的前方的放出孔75h从面75c的前端缘附近延伸至面75c的前后方向上的中央附近。沿前后方向排列的两个放出孔75h中的后方的放出孔75h从面75c的前后方向上的中央附近延伸至面75c的后端缘附近。放出孔75h的数量是面板收纳容器1中能够收纳的面板P的块数的两倍。在面板P的每个收纳段设置两个放出孔75h。连接管75b是将箱体75a与后述的流路73c(第二流路)加以连接的配管。连接管75b设置于箱体75a的下表面，从箱体75a的下表面向下方突出。
腔室76包含箱体76a及连接管76b。箱体76a具有扁平的箱型的形状，划定了能够贮存气体的空间。箱体76a沿着侧壁23A的内表面在上下方向上延伸，并且以沿着侧壁23A的内表面的方式配置。在箱体76a的面76c设置有多个放出孔76h。面76c是在左右方向上与侧壁23B(收容空间20)相向的面。各放出孔76h是用于朝向侧壁23B放出气体的孔。
多个放出孔76h在上下方向上排列。各放出孔76h延伸至面76c的前后方向上的两端缘附近。放出孔76h的数量与面板收纳容器1中能够收纳的面板P的块数相同。在面板P的每个收纳段设置一个放出孔76h。连接管76b是将箱体76a与后述的流路73d加以连接的配管。连接管76b设置于箱体76a的下表面，从箱体76a的下表面向下方突出。
连接部73是将供气阀71与放出部72加以连接的部分。在本实施方式中，连接部73是板状的构件，在其内部设置有收容空间73a、及流路73b、流路73c、流路73d。收容空间73a是用于收容供气阀71的空间。在划定收容空间73a的连接部73的底板设置有用于由供气阀71从容器本体2的外部取入气体的导入端口73h(参照图2及图6)。
流路73b将供气阀71与腔室74加以连接。具体而言，流路73b的一端与收容空间73a相连，流路73b的另一端连接于连接管74b。流路73c将供气阀71与腔室75加以连接。具体而言，流路73c的一端与收容空间73a相连，流路73c的另一端连接于连接管75b。流路73d将供气阀71与腔室76加以连接。具体而言，流路73d的一端与收容空间73a相连，流路73d的另一端连接于连接管76b。
在本实施方式中，流路73b、流路73c、及流路73d分别具有均匀的剖面形状，流路73b的剖面积与流路73c的剖面积及流路73d的剖面积相互相等。流路73b的流路长度与流路73c的流路长度及流路73d的流路长度相互相等。
其次，参照图6对收容空间20内的气体的交换进行说明。图6是用于对由图3所示的供气机构进行的气体的供给进行说明的图。如图6所示，在供气机构52A、供气机构52B中，从容器本体2的外部经由导入端口73h向供气阀71取入气体，所取入的气体通过连接部73内的流路73b～流路73d而供给至腔室74～腔室76。而且，气体从设置于每个收纳段的放出孔74h、放出孔75h、及放出孔76h供给至收容空间20中。此时，在供气机构52A中，从侧壁23A朝向侧壁23B供给气体，在供气机构52B中，从侧壁23B朝向侧壁23A供给气体。然后，收容空间20内的气体经由排气阀53排出至容器本体2的外部。通过以上操作，进行收容空间20内的气体的交换。
在以上说明的面板收纳容器1中，从侧壁23A朝向侧壁23B向收容空间20供给气体，并且从侧壁23B朝向侧壁23A向收容空间20供给气体。由于侧壁23A与侧壁23B在左右方向上相互相向，因此在收容空间20内的任一位置处，至侧壁23A为止的距离与至侧壁23B为止的距离的和均固定。换言之，在收容空间20内，随着远离供气机构52A而接近供气机构52B，因此可减少收容空间20内的气体供给量的不均。因此，气体容易遍布于收容空间20内。其结果，能够提高容器本体2的收容空间20内的气体的交换性能。由此，在收容空间20内，能够减少气体的浓度及湿度的不均。
气体的流动受到收纳于收容空间20中的面板P的阻碍。在面板收纳容器1中，针对收纳面板P的每个收纳段而设置有一个放出孔74h、两个放出孔75h、及一个放出孔76h。因此，由于向各收纳段供给气体，因此即便气体的流动受到面板P的阻碍，也可使气体遍布于收容空间20内。其结果，能够进一步提高收容空间20内的气体的交换性能。
供气阀71设置于底板22下，放出部72(腔室74～腔室76)设置于收容空间20内。如此，即便供气阀71与放出部72分离，也可通过连接部73从供气阀71向放出部72供给气体。因此，可提高供气机构52A、供气机构52B的配置的自由度。
放出部72包含腔室74～腔室76，在连接部73设置有将供气阀71与腔室74加以连接的流路73b、将供气阀71与腔室75加以连接的流路73c、及将供气阀71与腔室76加以连接的流路73d。根据此结构，收容空间20内的放出部72的配置的自由度提高。因此，能够在不与设置于收容空间20内的其他构件(例如，支撑体65)发生干涉的情况下将放出部72配置于收容空间20内。
由于腔室76靠近供气阀71，腔室74远离供气阀71，因此当以直线的流路将供气阀71与各腔室加以连接时，与腔室74相比，更早地向腔室76供给气体。在此情况下，首先可从腔室76向收容空间20供给气体。此时，由于未从腔室74、腔室75供给气体，因此从腔室76供给的气体容易扩散，有可能损害左右方向上的气体的直进性。在此情况下，气体有可能无法遍布于收容空间20内。
另一方面，在面板收纳容器1中，流路73b的流路长度与流路73c的流路长度及流路73d的流路长度相互相等。因此，由于可使开始从供气阀71向各腔室供给气体的时机一致，因此可减少开始从腔室74向收容空间20供给气体的时机与开始从腔室75向收容空间20供给气体的时机及开始从腔室76向收容空间20供给气体的时机的偏差。因此，可提高气体的直进性，因此气体更容易遍布于收容空间20内。其结果，能够进一步提高容器本体的收容空间内的气体的交换性能。
此外，本公开的面板收纳容器并不限定于所述实施方式。
流路73b的容积与腔室74的容积的和、跟流路73c的容积与腔室75的容积的和、及流路73d的容积与腔室76的容积的和可相互相等。在此情况下，从供气阀71至各放出孔为止的容积相互相等，因此，可使开始从各腔室向收容空间20供给气体的时机一致。
流路73b的流路长度与流路73c的流路长度及流路73d的流路长度可互不相同。在此情况下，虽然开始从各腔室向收容空间20供给气体的时机可能不同，但是通过延长气体的供给时间，可使气体充分地遍布于收容空间20内。
放出孔74h也可不针对每个收纳段设置。例如，可跨及多个收纳段而设置一个放出孔74h。同样地，放出孔75h也可不针对每个收纳段设置，放出孔76h也可不针对每个收纳段设置。
在所述实施方式中，放出部72包含三个腔室，但放出部72也可仅包含一个腔室，也可包含两个腔室，还可包含四个以上的腔室。设置于连接部73的流路的数量可根据放出部72中包含的腔室的数量来变更。
在所述实施方式中，放出部72与容器本体2为分体构件，但也可与容器本体2一体化。参照图7对供气机构52A、供气机构52B的变形例进行说明。图7是表示供气机构的变形例的图。供气机构52B具有与供气机构52A相同的结构，因此，此处对供气机构52A进行详细说明。如图7所示，变形例的供气机构52A与所述实施方式的供气机构52A的主要不同之处在于放出部72及连接部73的结构。
容器本体2还包含内壁77、连结框架78(连结构件)及配管79。内壁77在左右方向上与侧壁23A相向，且大致平行地配置。由侧壁23A与内壁77来构成放出部72。内壁77与侧壁23A隔开规定的间隔而配置，以使由侧壁23A与内壁77划定的贮存空间72a具有足以用于贮存供给至收容空间20中的气体的容积。在内壁77设置有多个放出孔77h。各放出孔77h是用于朝向侧壁23B放出气体的孔，且沿左右方向贯通内壁77。放出孔77h的数量及配置可与所述实施方式的放出孔74h、放出孔75h、及放出孔76h的数量及配置相同。
连结框架78是沿前后方向延伸的长条的构件。连结框架78将底板22与侧壁23A及内壁77加以连结并且对支撑构件27a及轨道构件28进行固定。在连结框架78设置有卡合槽78a(第一卡合槽)、卡合槽78b(第二卡合槽)、卡合槽78c(第三卡合槽)。卡合槽78a是用于保持底板22的槽。卡合槽78a设置于连结框架78的与侧壁23B相向的面，朝向侧壁23B开口并且沿前后方向延伸。底板22的侧端部插入至卡合槽78a中。
卡合槽78b是用于保持侧壁23A的槽。卡合槽78c是用于保持内壁77的槽。卡合槽78b及卡合槽78c设置于连结框架78的向上方突出的部分的上端，向上方开口并且沿前后方向延伸。侧壁23A的下端部插入至卡合槽78b中。内壁77的下端部插入至卡合槽78c中。
连结框架78载置于轨道构件28的上表面，且以在左右方向上与各支撑构件27a的侧端面接触的方式重叠。在此状态下，螺栓等紧固构件插通至沿左右方向贯通连结框架78的插通孔中，紧固构件螺合于设置在支撑构件27a的端面的螺纹孔中。进而，螺栓等紧固构件插通至沿上下方向贯通轨道构件28的插通孔中，紧固构件螺合于设置在连结框架78的下表面的螺纹孔中。
在连结框架78设置有将配管79与贮存空间72a加以连接的流路78d。配管79将供气阀71与流路78d以能够连通的方式加以连接。因此，在变形例的供气机构52A中，由连结框架78与配管79来构成连接部73。
在包括变形例的供气机构52A、供气机构52B的面板收纳容器中，关于与所述实施方式的面板收纳容器1共通的结构，也可起到与所述实施方式的面板收纳容器1相同的效果。进而，在包括变形例的供气机构52A、供气机构52B的面板收纳容器中，放出部72由侧壁23A(侧壁23B)与内壁77来构成。根据此结构，由于使用构成容器本体2的侧壁23A、侧壁23B来构成放出部72，因此能够削减供气机构52A、供气机构52B中使用的专用零件的数量。
在连结框架78设置有用于保持底板22的卡合槽78a、用于保持侧壁23A的卡合槽78b、及用于保持内壁77的卡合槽78c。根据此结构，仅通过将底板22插入至卡合槽78a中、将侧壁23A插入至卡合槽78b中、将内壁77插入至卡合槽78c中，便可将底板22与侧壁23A及内壁77加以连结。因此，可在不使用螺栓等紧固构件的情况下将底板22与侧壁23A及内壁77加以连结。其结果，能够削减零件的数量。

Claims (7)

1.一种面板收纳容器，其特征在于，包括：
容器本体，具有开口，划定用于将多个面板以在第一方向上排列的状态进行收纳的收容空间；
盖体，用于堵塞所述开口；以及
第一供气机构及第二供气机构，向所述收容空间供给气体，
所述容器本体划定所述收容空间并且包括在与所述第一方向交叉的第二方向上相互相向的第一侧壁与第二侧壁，
所述第一供气机构从所述第一侧壁朝向所述第二侧壁向所述收容空间供给气体，
所述第二供气机构从所述第二侧壁朝向所述第一侧壁向所述收容空间供给气体。
2.根据权利要求1所述的面板收纳容器，其特征在于，
所述第一供气机构包括：
供气阀，从所述容器本体的外部取入气体；
放出部，沿着所述第一侧壁设置，放出气体；以及
连接部，设置有将所述供气阀与所述放出部加以连接的流路，
在所述放出部设置有用于朝向所述第二侧壁放出气体的多个放出孔。
3.根据权利要求2所述的面板收纳容器，其特征在于，所述放出部设置于所述收容空间内，包含在与所述第一方向及所述第二方向交叉的第三方向上排列的第一腔室及第二腔室，
在所述连接部设置有将所述供气阀与所述第一腔室加以连接的第一流路、及将所述供气阀与所述第二腔室加以连接的第二流路。
4.根据权利要求3所述的面板收纳容器，其特征在于，所述第一流路的流路长度与所述第二流路的流路长度相等。
5.根据权利要求2所述的面板收纳容器，其特征在于，
所述容器本体包括：
底板，划定所述收容空间；
内壁，在所述第二方向上与所述第一侧壁相向；以及
连结构件，将所述底板、所述第一侧壁、及所述内壁加以连结，
所述放出部包含所述第一侧壁与所述内壁。
6.根据权利要求5所述的面板收纳容器，其特征在于，在所述连结构件设置有用于保持所述底板的第一卡合槽、用于保持所述第一侧壁的第二卡合槽、及用于保持所述内壁的第三卡合槽。
7.根据权利要求2至6中任一项所述的面板收纳容器，其特征在于，所述多个放出孔针对收纳所述多个面板的各者的每个收纳段而设置。
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